JP2018026413A - 接合装置および接合システム - Google Patents
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Abstract
Description
まず、実施形態に係る接合システムの構成について、図1〜図3を参照して説明する。図1は、実施形態にかかる接合システムの構成を示す模式平面図である。図2は、実施形態にかかる接合システムの構成を示す模式側面図である。図3は、第1基板および第2基板の模式側面図である。
次に、接合装置41の構成について図4および図5を参照して説明する。図4は、接合装置41の構成を示す模式平面図である。図5は、接合装置41の構成を示す模式側面図である。
次に、接合システム1の具体的な動作について図9〜図16を参照して説明する。図9は、接合システム1が実行する処理の一部を示すフローチャートである。また、図10〜図16は、接合処理の動作説明図である。なお、図9に示す各種の処理は、制御装置70による制御に基づいて実行される。
上述した実施形態では、接合装置41がストライカー190を備えており、ストライカー190により上ウェハW1の中心部を押し下げることにより、上ウェハW1の中心部と下ウェハW2の中心部とを接触させて両ウェハW1,W2を接合することとした。しかし、両ウェハW1,W2の接合方法は、ストライカー190を用いたものに限定されない。
W1 上ウェハ
W2 下ウェハ
41 接合装置
140 上チャック
141 下チャック
160 第1の下チャック移動部
190 ストライカー
200 隔壁
201 排気口
202 吸引管
203 圧力調整器
204 真空ポンプ
205 ガス導入口
206 ガス導入管
207 供給機器群
208 ガス供給源
211 天井部
212 周壁部
213 伸縮部
Claims (8)
- 第1基板を上方から吸着保持する第1保持部と、
前記第1保持部の下方に配置され、第2基板を下方から吸着保持する第2保持部と、
前記第1保持部または前記第2保持部を鉛直方向に沿って移動させる昇降機構と、
前記第1保持部または前記第2保持部に設けられ、前記第1基板と前記第2基板との接合処理が行われる処理空間を前記第1保持部および前記第2保持部とともに形成する隔壁と、
前記処理空間に対して不活性ガスを導入するガス導入口と、
前記ガス導入口を介して前記処理空間内に前記不活性ガスを供給するガス供給部と、
を備えることを特徴とする接合装置。 - 前記隔壁は、
上下方向に伸縮自在な伸縮部
を備えることを特徴とする請求項1に記載の接合装置。 - 前記第1保持部、前記第2保持部および前記隔壁の何れかに設けられ、前記処理空間を排気する排気口と、
前記排気口に接続され、前記処理空間を排気して減圧する減圧機構と
を備えることを特徴とする請求項1または2に記載の接合装置。 - 前記減圧機構を制御して前記処理空間内を減圧し、前記ガス供給部を制御して前記処理空間内の雰囲気を前記不活性ガスに置換することにより、大気圧よりも低く減圧された前記不活性ガスの雰囲気下で、前記第1基板と前記第2基板との接合処理を行う制御部
を備えることを特徴とする請求項3に記載の接合装置。 - 前記制御部は、
前記昇降機構を制御して前記第1保持部と前記第2保持部とを第1の距離まで接近させることにより前記処理空間を形成した後、前記減圧機構を制御して前記処理空間内を減圧し、かつ、前記ガス供給部を制御して前記処理空間内の雰囲気を前記不活性ガスに置換し、その後、前記昇降機構を制御して前記第1保持部と前記第2保持部とを前記第1の距離よりも短い第2の距離まで接近させて前記接合処理を行うこと
を特徴とする請求項4に記載の接合装置。 - 前記第1基板の中心部を上方から押圧して前記第2基板に接触させるストライカー
を備え、
前記制御部は、
前記ストライカーによる前記第1基板の押圧によって前記第1保持部と前記第1基板との間に生じる隙間を減圧した状態で前記接合処理を行うこと
を特徴とする請求項4または5に記載の接合装置。 - 前記ガス供給部は、
前記処理空間内に前記不活性ガスとしてヘリウムガスを供給すること
を特徴とする請求項1〜6のいずれか一つに記載の接合装置。 - 第1基板および第2基板の表面を改質する表面改質装置と、
改質された前記第1基板および前記第2基板の表面を親水化する表面親水化装置と、
親水化された前記第1基板と前記第2基板とを分子間力により接合する接合装置と
を備え、
前記接合装置は、
前記第1基板を上方から吸着保持する第1保持部と、
前記第1保持部の下方に配置され、前記第2基板を下方から吸着保持する第2保持部と、
前記第1保持部または前記第2保持部を鉛直方向に沿って移動させる昇降機構と、
前記第1保持部または前記第2保持部に設けられ、前記第1基板と前記第2基板との接合処理が行われる処理空間を前記第1保持部および前記第2保持部とともに形成する隔壁と、
前記処理空間に対して不活性ガスを導入するガス導入口と、
前記ガス導入口を介して前記処理空間内に前記不活性ガスを供給するガス供給部と、
を備えることを特徴とする接合システム。
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