JP2009543372A5

JP2009543372A5 -

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Publication number: JP2009543372A5
Application number: JP2009519426A
Authority: JP
Filing date: 2007-03-06
Publication date: 2010-12-02

Claims

装置であって、
ｎタイプ３族窒化物層及びｐタイプ３族窒化物層並びに該ｎタイプ３族窒化物層とｐタイプ３族窒化物層の間のジャンクションからなる構造体であって、該構造体が複数の角錐体を有する、構造体からなり、
該量子ウェルが該ジャンクションに位置し、
該ｎタイプ３族窒化物層と該ｐタイプ３族窒化物層の一方の連続面が該角錐体の外表面を形成している装置。
請求項１の装置において、該ｎタイプ及びｐタイプ３族窒化物層間に電圧が印加されるときに該角錐体から発光するように該構造体が構成された装置。
請求項２の装置において、該量子ウェルが量子ウェル層及びバリア層を有し、該量子ウェル層が該バリア層間に介在し、該量子ウェル層が一の３族窒化物からなり、該バリア層が他の３族窒化物からなる装置。
請求項３の装置において、該量子ウェル層の該一の３族窒化物がガリウムとインジウムの合金又はガリウムとアルミニウムの合金からなり、該バリア層の該他の３族窒化物が窒化ガリウムからなる装置。
装置であって、
基板上に配置されて発光するように構成された複数の結晶構造体であって、各構造体がｎタイプバリア領域及びｐタイプバリア領域並びにその間のジャンクションを有し、該ジャンクションが該ｎタイプバリア領域及び該ｐタイプバリア領域の表面に位置し、該表面が該基板の平坦面に対して傾斜している傾斜面である、複数の結晶構造体からなり、
該ｎタイプバリア領域及び該ｐタイプバリア領域の一方の該傾斜面が、該ｎタイプバリア領域及び該ｐタイプバリア領域の前記一方の平坦なベース部を介して連続的に相互接続され、該ｎタイプバリア領域及び該ｐタイプバリア領域の他方が、該傾斜面を連続的に被覆する外側層を備える、装置。
請求項５の装置において、該傾斜面の各々が該基板の平坦面に対して５５°以上６５°以下の角度をなしている装置。
装置を製造する方法であって、
発光することができる結晶構造体を形成するステップからなり、該形成するステップが、
第１のバリア領域を基板上に形成するステップであって、該第１のバリア領域がベース部及び該基板の平坦面に対して傾斜した傾斜面を有し、該傾斜面が該ベース部を介して相互接続され、該ベース部が該基板上に位置している、ステップ、及び
該傾斜面にジャンクションを形成するために、第２のバリア領域を該第１のバリア領域上に形成するステップであって、該第１のバリア領域がｎタイプ３族窒化物結晶又はｐタイプ３族窒化物結晶の一方からなり、該第２のバリア領域がｎタイプ３族窒化物結晶又はｐタイプ３族窒化物結晶の他方からなる、ステップ
を備え、
該第２のバリア領域が該相互接続された傾斜面を連続的に被覆し、量子ウェルが該ジャンクションに位置している、方法。
請求項７の方法において、該基板上のＡＩＮ層上のバリア核層上の該第１のバリア領域の一部分がＭ極性面を有し、及び該基板直上に該第１のバリア領域の異なる部分がＮ極性上面を有し、
該第１のバリア領域を形成するステップが、該第１のバリア領域のＮ極性面をウエットエッチングすることによって該傾斜面を形成することを含む、方法。
請求項５の装置において、該ｎタイプ及びｐタイプバリア領域間に電圧が印加されるときに前記結晶構造体の各々がその外表面から発光するように構成され、該構造体の該外表面が該基板の平坦面に対して傾斜している、装置。
請求項１の装置において、前記ｎタイプ３族窒化物層と前記ｐタイプ３族窒化物層の他方が前記ジャンクションにおいて窒素極性面を有する、装置。
請求項１の装置において、前記角錐体が六角角錐体である装置。
請求項５の装置において、前記ｎタイプ３バリア領域と前記ｐタイプバリア領域の他方が前記ジャンクションにおいてＮ極性面を有する、装置。
請求項７の方法において、前記傾斜面が角錐を形成している、方法。