JP2009242733A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009242733A5 JP2009242733A5 JP2008093897A JP2008093897A JP2009242733A5 JP 2009242733 A5 JP2009242733 A5 JP 2009242733A5 JP 2008093897 A JP2008093897 A JP 2008093897A JP 2008093897 A JP2008093897 A JP 2008093897A JP 2009242733 A5 JP2009242733 A5 JP 2009242733A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- weight
- parts
- group
- acrylic
- solid content
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 24
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 13
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 13
- 229920006243 acrylic copolymer Polymers 0.000 description 9
- -1 isocyanate compound Chemical class 0.000 description 8
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 description 6
- 239000003522 acrylic cement Substances 0.000 description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 6
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 6
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 description 6
- 239000012948 isocyanate Substances 0.000 description 6
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 6
- OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxyethyl prop-2-enoate Chemical compound OCCOC(=O)C=C OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N butyl acrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C=C CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 4
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 4
- RBQRWNWVPQDTJJ-UHFFFAOYSA-N methacryloyloxyethyl isocyanate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCN=C=O RBQRWNWVPQDTJJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 4
- QNODIIQQMGDSEF-UHFFFAOYSA-N (1-hydroxycyclohexyl)-phenylmethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1(O)CCCCC1 QNODIIQQMGDSEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 238000010528 free radical solution polymerization reaction Methods 0.000 description 3
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 3
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M Methacrylate Chemical compound CC(=C)C([O-])=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000005529 alkyleneoxy group Chemical group 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000011987 methylation Effects 0.000 description 2
- 238000007069 methylation reaction Methods 0.000 description 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 230000036314 physical performance Effects 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2008093897A JP5727688B2 (ja) | 2008-03-31 | 2008-03-31 | エネルギー線硬化型重合体、エネルギー線硬化型粘着剤組成物、粘着シートおよび半導体ウエハの加工方法 |
| US12/935,677 US8304920B2 (en) | 2008-03-31 | 2009-03-12 | Energy ray-curable polymer, an energy ray-curable adhesive composition, an adhesive sheet and a processing method of a semiconductor wafer |
| PCT/JP2009/054742 WO2009122878A1 (ja) | 2008-03-31 | 2009-03-12 | エネルギー線硬化型重合体、エネルギー線硬化型粘着剤組成物、粘着シートおよび半導体ウエハの加工方法 |
| KR1020107021627A KR101606217B1 (ko) | 2008-03-31 | 2009-03-12 | 에너지선 경화형 중합체, 에너지선 경화형 점착제 조성물, 점착 시트 및 반도체 웨이퍼의 가공방법 |
| US13/570,306 US20120302041A1 (en) | 2008-03-31 | 2012-08-09 | Energy Ray-Curable Polymer, an Energy Ray-Curable Adhesive Composition, an Adhesive Sheet and a Processing Method of a Semiconductor Wafer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2008093897A JP5727688B2 (ja) | 2008-03-31 | 2008-03-31 | エネルギー線硬化型重合体、エネルギー線硬化型粘着剤組成物、粘着シートおよび半導体ウエハの加工方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2009242733A JP2009242733A (ja) | 2009-10-22 |
| JP2009242733A5 true JP2009242733A5 (enExample) | 2011-01-06 |
| JP5727688B2 JP5727688B2 (ja) | 2015-06-03 |
Family
ID=41135264
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2008093897A Active JP5727688B2 (ja) | 2008-03-31 | 2008-03-31 | エネルギー線硬化型重合体、エネルギー線硬化型粘着剤組成物、粘着シートおよび半導体ウエハの加工方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US8304920B2 (enExample) |
| JP (1) | JP5727688B2 (enExample) |
| KR (1) | KR101606217B1 (enExample) |
| WO (1) | WO2009122878A1 (enExample) |
Families Citing this family (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5302951B2 (ja) * | 2008-03-03 | 2013-10-02 | リンテック株式会社 | 粘着シート |
| JP5727688B2 (ja) * | 2008-03-31 | 2015-06-03 | リンテック株式会社 | エネルギー線硬化型重合体、エネルギー線硬化型粘着剤組成物、粘着シートおよび半導体ウエハの加工方法 |
| JP6085076B2 (ja) * | 2009-03-16 | 2017-02-22 | リンテック株式会社 | 粘着シートおよび半導体ウエハの加工方法、半導体チップの製造方法 |
| JP5534896B2 (ja) * | 2010-03-30 | 2014-07-02 | 古河電気工業株式会社 | 帯電防止性半導体加工用粘着テープ |
| JP5210346B2 (ja) * | 2010-04-19 | 2013-06-12 | 電気化学工業株式会社 | 粘着シート及び電子部品の製造方法 |
| KR101143109B1 (ko) * | 2010-08-05 | 2012-05-08 | 후루카와 덴키 고교 가부시키가이샤 | 점착 필름 및 반도체 웨이퍼 가공용 테이프 |
| KR102032590B1 (ko) * | 2012-05-14 | 2019-10-15 | 린텍 가부시키가이샤 | 접착성 수지층이 부착된 시트 및 반도체 장치의 제조 방법 |
| JP6318750B2 (ja) * | 2014-03-20 | 2018-05-09 | 住友ベークライト株式会社 | 半導体用ウエハ加工用粘着テープ |
| JP2016138165A (ja) * | 2015-01-26 | 2016-08-04 | 日本化薬株式会社 | 感光性樹脂組成物 |
| EP3344720B1 (en) | 2015-08-31 | 2020-10-14 | 3M Innovative Properties Company | Articles comprising (meth)acrylate pressure-sensitive adhesive with enhanced adhesion to wet surfaces |
| CN107920923A (zh) | 2015-08-31 | 2018-04-17 | 3M创新有限公司 | 包含对湿表面具有增强的粘附性的(甲基)丙烯酸酯压敏粘合剂的负压伤口治疗敷料 |
| KR102069936B1 (ko) * | 2016-04-29 | 2020-01-23 | 주식회사 엘지화학 | 발열체 |
| KR102309379B1 (ko) | 2017-12-22 | 2021-10-06 | 동우 화인켐 주식회사 | 점착 시트, 이를 포함하는 광학부재 및 표시장치 |
| KR20190080265A (ko) | 2017-12-28 | 2019-07-08 | 동우 화인켐 주식회사 | 점착제 조성물 및 이로부터 제조된 점착 시트 |
| KR20190086850A (ko) | 2018-01-15 | 2019-07-24 | 동우 화인켐 주식회사 | 점착 시트, 이를 포함하는 광학부재 및 표시장치 |
| KR102332228B1 (ko) | 2018-01-24 | 2021-11-29 | 동우 화인켐 주식회사 | 점착 시트, 이를 포함하는 광학부재 및 화상표시장치 |
| KR102203869B1 (ko) | 2018-03-28 | 2021-01-18 | 주식회사 엘지화학 | 임시고정용 점착시트 및 이를 사용한 반도체 장치의 제조 방법 |
| KR102203870B1 (ko) | 2018-04-12 | 2021-01-18 | 주식회사 엘지화학 | 임시고정용 점착시트 및 이를 사용한 반도체 장치의 제조 방법 |
| ES3039924T3 (en) * | 2019-02-19 | 2025-10-27 | Nitto Denko Corp | Method for manufacturing laminate of two-dimensional material, and laminate |
| EP3950867A4 (en) * | 2019-03-29 | 2022-12-14 | Showa Denko K.K. | COMPOSITION FOR ADHESIVES, EXTERNAL HOUSING MATERIAL FOR ELECTRICITY STORAGE DEVICES AND METHOD OF MAKING THEREOF |
| JP2022051554A (ja) * | 2020-09-18 | 2022-03-31 | 三菱ケミカル株式会社 | 粘着剤組成物および粘着シート、並びにアクリル系樹脂 |
| CN113061208A (zh) * | 2021-04-01 | 2021-07-02 | 湖北科技学院 | 一种电子束辐照引发制备磺胺二甲基嘧啶分子印迹聚合物的方法 |
| WO2023162968A1 (ja) * | 2022-02-22 | 2023-08-31 | 日産化学株式会社 | 自己架橋性ポリマーを含む光硬化性樹脂組成物 |
Family Cites Families (30)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5270431A (en) | 1987-07-23 | 1993-12-14 | Basf Aktiengesellschaft | Preparation of oligomeric or polymeric radiation-reactive intermediates for solvent-structured layers |
| DE3724368A1 (de) | 1987-07-23 | 1989-02-02 | Basf Ag | Verfahren zur herstellung oligomerer oder polymerer strahlungsreaktiver vorstufen fuer loesungsmittelstrukturierte schichten |
| DE3914374A1 (de) | 1989-04-29 | 1990-10-31 | Basf Ag | Durch ultraviolette strahlung unter luftsauerstoffatmosphaere vernetzbare copolymerisate |
| JPH03168209A (ja) * | 1989-11-29 | 1991-07-22 | Dainippon Ink & Chem Inc | 水溶性エネルギー線硬化型樹脂組成物 |
| JP3189275B2 (ja) * | 1990-08-31 | 2001-07-16 | 大日本インキ化学工業株式会社 | 活性エネルギー線硬化型樹脂組成物 |
| JPH05335411A (ja) | 1992-06-02 | 1993-12-17 | Toshiba Corp | ペレットの製造方法 |
| JP3191176B2 (ja) * | 1992-07-01 | 2001-07-23 | ソニーケミカル株式会社 | 粘着剤組成物 |
| JP2775383B2 (ja) * | 1993-09-07 | 1998-07-16 | 昭和高分子株式会社 | 熱硬化性粘着剤組成物 |
| JPH09291264A (ja) | 1996-04-24 | 1997-11-11 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 紫外線硬化型粘着剤組成物 |
| JP2000328023A (ja) | 1999-05-21 | 2000-11-28 | Lintec Corp | 粘着シート |
| US7641966B2 (en) | 1999-06-14 | 2010-01-05 | Nitto Denko Corporation | Re-release adhesive and re-release adhesive sheet |
| JP2002187906A (ja) | 2000-12-21 | 2002-07-05 | Lintec Corp | 高分子量光重合開始剤及びそれを用いた光硬化性材料 |
| JP4999231B2 (ja) | 2001-01-15 | 2012-08-15 | ロックペイント株式会社 | ラミネーション用接着剤組成物及びその製造方法 |
| JP4877689B2 (ja) * | 2001-08-30 | 2012-02-15 | 日東電工株式会社 | エネルギー線硬化型熱剥離性粘着シート、及びこれを用いた切断片の製造方法 |
| JP4841802B2 (ja) | 2003-05-02 | 2011-12-21 | リンテック株式会社 | 粘着シートおよびその使用方法 |
| WO2005011977A1 (ja) | 2003-07-30 | 2005-02-10 | Dainippon Ink And Chemicals, Inc. | 成形用積層シート |
| JP4566527B2 (ja) | 2003-08-08 | 2010-10-20 | 日東電工株式会社 | 再剥離型粘着シート |
| JP4275522B2 (ja) * | 2003-12-26 | 2009-06-10 | 日東電工株式会社 | ダイシング・ダイボンドフィルム |
| JP2005236082A (ja) * | 2004-02-20 | 2005-09-02 | Nitto Denko Corp | レーザーダイシング用粘着シート及びその製造方法 |
| JP2005263876A (ja) * | 2004-03-16 | 2005-09-29 | Lintec Corp | 両面粘着シートおよび脆質部材の転写方法 |
| JP2005292435A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Toppan Printing Co Ltd | 光硬化性樹脂組成物 |
| JP4721834B2 (ja) * | 2005-09-06 | 2011-07-13 | 日東電工株式会社 | 粘着シート及びこの粘着シートを用いた製品の加工方法 |
| JP2007277282A (ja) * | 2006-04-03 | 2007-10-25 | Nitto Denko Corp | 半導体ウエハ加工用粘着シート |
| JP4991348B2 (ja) * | 2006-04-06 | 2012-08-01 | リンテック株式会社 | 粘着シート |
| JP5132096B2 (ja) * | 2006-07-13 | 2013-01-30 | 日東電工株式会社 | 活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物及び粘着シート |
| JP2008028026A (ja) * | 2006-07-19 | 2008-02-07 | Nitto Denko Corp | ダイシング用粘着テープ又はシート、被加工物のダイシング方法、及び被加工物の切断片のピックアップ方法 |
| US20090017323A1 (en) | 2007-07-13 | 2009-01-15 | 3M Innovative Properties Company | Layered body and method for manufacturing thin substrate using the layered body |
| JP5302951B2 (ja) | 2008-03-03 | 2013-10-02 | リンテック株式会社 | 粘着シート |
| JP5727688B2 (ja) * | 2008-03-31 | 2015-06-03 | リンテック株式会社 | エネルギー線硬化型重合体、エネルギー線硬化型粘着剤組成物、粘着シートおよび半導体ウエハの加工方法 |
| JP6085076B2 (ja) | 2009-03-16 | 2017-02-22 | リンテック株式会社 | 粘着シートおよび半導体ウエハの加工方法、半導体チップの製造方法 |
-
2008
- 2008-03-31 JP JP2008093897A patent/JP5727688B2/ja active Active
-
2009
- 2009-03-12 WO PCT/JP2009/054742 patent/WO2009122878A1/ja not_active Ceased
- 2009-03-12 US US12/935,677 patent/US8304920B2/en active Active
- 2009-03-12 KR KR1020107021627A patent/KR101606217B1/ko active Active
-
2012
- 2012-08-09 US US13/570,306 patent/US20120302041A1/en not_active Abandoned
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2009242733A5 (enExample) | ||
| JP7207778B2 (ja) | 半導体加工用粘着テープ、及び半導体装置の製造方法 | |
| JP5727688B2 (ja) | エネルギー線硬化型重合体、エネルギー線硬化型粘着剤組成物、粘着シートおよび半導体ウエハの加工方法 | |
| CN1227314C (zh) | 可除去的压敏粘合片 | |
| JP6018747B2 (ja) | ウエハ加工用粘着シート、該シートを用いた半導体ウエハの加工方法 | |
| EP3327098A1 (en) | Adhesive resin layer and adhesive resin film | |
| CN106463375B (zh) | 切割片 | |
| KR20100135568A (ko) | 아크릴계 다이싱용 점착제 조성물 및 그 테이프 | |
| JP6412873B2 (ja) | 粘着シート | |
| JP2013213075A (ja) | 半導体加工用粘着テープ | |
| JP2010202833A (ja) | 電子部品加工用粘着テープ | |
| JP2009245989A (ja) | 半導体ウエハ加工用粘着シートおよびその使用方法 | |
| TW202031856A (zh) | 工件加工用片材 | |
| CN111149191B (zh) | 工件加工用片及已加工工件的制造方法 | |
| KR20150111864A (ko) | 점착 시트 | |
| TWI791485B (zh) | 隱形切割用黏著片及半導體裝置的製造方法 | |
| JP2019145575A (ja) | マスキング材 | |
| JP6547408B2 (ja) | 研削された基材の製造方法、並びにこれに用いられるフィルム状粘着剤及び積層体 | |
| JP2019075449A (ja) | ダイシングダイボンディングシート及び半導体チップの製造方法 | |
| WO2020195744A1 (ja) | ワーク加工用シート | |
| TW201940625A (zh) | 半導體加工用黏著帶 | |
| JP5827562B2 (ja) | 板状部材加工用粘着シート | |
| JP5328132B2 (ja) | 半導体加工用テープ | |
| JP6600249B2 (ja) | 粘着テープ及び粘着テープの剥離方法 | |
| JP2010222493A (ja) | 電子部品加工用粘着テープ |