JP5132096B2 - 活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物及び粘着シート - Google Patents

Description

本発明は、半導体、回路、各種プリント基板、各種マスク、リードフレームなどの微細加工部品の製造の際に表面保護や破損防止のために使用される低汚染性の再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物及び粘着シートに関する。特に、半導体ウエハの裏面研削時やダイシング時に使用される半導体ウエハ加工用粘着シートとして好適に用いられる再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物及び粘着シートに関する。

シリコン、ガリウム、砒素などの半導体ウエハは大径の状態で製造された後、ウエハの裏面を研削し、素子小片に切断分離（ダイシング）され、さらにマウント工程に移される。そして、ウエハの裏面を研削する際、半導体ウエハのパターン面を保護するために、基材（支持体）としてのプラスチックフィルム上に粘着剤を塗布することにより作製される粘着シートが用いられている。また、素子小片化からマウント工程では、ダイシング、洗浄、エキスパンディング、ピックアップ、マウンティングの各工程が加えられ、半導体ウエハのダイシング工程からピックアップ工程に至る工程では、基材（支持体）としてのプラスチックフィルム上に粘着剤を塗布することにより作製される粘着シートが用いられている。

前記裏面研削工程では、粘着シートは、半導体ウエハのパターン面を保護するために、剥がれることなく十分に接着していることが要求される。また、研削後は、半導体ウエハより容易に剥離できることが要求される。

また、前記ダイシング工程では、粘着シートは、切断分離した素子小片が粘着シートから剥がれ落ちないことが必要であるため、高粘着性が要求される。これに対し、ピックアップ工程では、粘着シートは、素子小片が容易に粘着シートから剥離できることが必要であるため、低粘着性が要求される。

この２つの相反した粘着性を制御するために、活性エネルギー線硬化型再剥離粘着シートが用いられている。つまり、活性エネルギー線照射前は高粘着であるため、素子小片が粘着シートから剥がれ落ちることを抑制でき、一方、照射後は粘着剤層が硬化し低粘着となるため、容易に素子小片を粘着シートから剥離することができる粘着シートである。

このような粘着シートとして、活性エネルギー線により反応する炭素−炭素不飽和結合を分子側鎖に含む活性エネルギー線反応型ポリマー用いることにより、粘着性の制御をした再剥離型粘着シートが提案されている（特許文献１参照）。しかし、上記ポリマーは、トルエンなどの有機溶剤を用い合成されるポリマーである。

このように、これまでは溶剤型のアクリル系粘着剤が用いられてきたが、これら溶剤型アクリル系粘着剤は、有機溶媒中で合成されるため、塗工時の溶剤の揮発が環境的に問題であり、水分散型のアクリル系粘着剤への転換が望まれている。

また、被着体への汚染は、低分子重合体が主たる原因物質である。エマルション重合法を用いて得られる重合体は一般に高分子量であり、被着体に対して低汚染が期待される。

しかし、特許文献１で用いられている手法や、アクリル重合体中のヒドロシル基と分子中にラジカル重合性不飽和結合およびイソシアネート基を含有する化合物を反応させて、ラジカル重合性不飽和結合を側鎖に有するアクリル重合体を得る手法などは、イソシアネート基と水とが反応してしまうため、水系では使用できない。

特開２０００−３５５６７８

従って、本発明の目的は、水系で塗工することができる水分散型の粘着剤組成物であって、該粘着剤組成物により形成される粘着剤層を有している粘着シートにおいて、活性エネルギー線の照射前は高粘着性を有するが、活性エネルギー線の照射により粘着性が低下し、低粘着性を有するようになる特性を発揮することができる活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物を提供することにある。
本発明の他の目的は、さらに、被着体を容易に再剥離することができる特性を発揮することができる活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着シートを提供することにある。
本発明の他の目的は、さらにまた、半導体ウエハ加工用粘着シートを提供することにある。

本発明者らは上記の問題を解決するために鋭意検討した結果、粘着剤組成物において、アクリルエマルション系重合体の成分や添加剤を適宜選択すると、水系で塗工することができる水分散型の粘着剤組成物であって、該粘着剤組成物により形成される粘着剤層を有している粘着シートにおいて、活性エネルギー線の照射前は高粘着性を有するが、活性エネルギー線の照射により粘着性が低下し、低粘着性を有するようになる特性を発揮することができる活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物を得ることができることを見出し、本発明を完成させた。

すなわち、本発明は、（メタ）アクリル酸アルキルエステルを主成分とし、ヒドロキシル基含有モノマーとを含有するモノマー混合物をエマルション重合して得られるアクリルエマルション系重合体、及び分子中にラジカル重合性不飽和結合とブロックイソシアネート基とを有する化合物から構成される活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物を提供する。

アクリルエマルション系重合体は、ラジカル重合性官能基を含む反応性乳化剤によるエマルション重合により得られる重合体が好ましい。

アクリルエマルション系重合体は、また、レドックス系重合開始剤によるエマルション重合により得られる重合体が好ましい。
分子中にラジカル重合性不飽和結合とブロックイソシアネート基とを有する化合物の配合量は、前記アクリルエマルション系重合体１００重量部に対し１０〜６０重量部であることが好ましい。

また、本発明は、支持体上に、前記活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物により形成される粘着剤層を有している活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着シートを提供する。

さらに、本発明は、前記活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着シートが用いられている半導体ウエハ加工用粘着シートを提供する。

本発明の活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物によれば、前記構成を有しているので、水系で塗工することができ、且つ該粘着剤組成物により形成された粘着剤層を有している粘着シートにおいて、活性エネルギー線の照射前は高粘着性を有するが、活性エネルギー線の照射により粘着性が低下し、低粘着性を有するようになる特性を発揮することができる。さらに、本発明の活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着シートは、被着体を容易に再剥離することができる特性を発揮することができる、

［活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物］
本発明の粘着剤組成物は、アクリルエマルション系重合体を主成分とする粘着剤組成物であって、（メタ）アクリル酸アルキルエステルを主成分とし、ヒドロキシル基含有モノマーを含有するモノマー混合物をエマルション重合して得られるアクリルエマルション系重合体、及び分子中にラジカル重合性不飽和結合とブロックイソシアネート基とを有する化合物から構成される水分散型の活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物である。

本発明の活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物で用いられるアクリルエマルション系重合体は、モノマー主成分としての（メタ）アクリル酸アルキルエステルと、ヒドロキシル基含有モノマーとを少なくとも含有するモノマー混合物をエマルション重合することにより得られる。

このような（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸イソブチル、（メタ）アクリル酸イソアミル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸イソオクチル、（メタ）アクリル酸イソノニル、（メタ）アクリル酸イソデシルなどが挙げられる。

（メタ）アクリル酸アルキルエステルの割合は、モノマー混合物のモノマー成分全量に対して、５０重量％以上（好ましくは６０重量％以上、さらに好ましくは７０重量％以上）であることが重要である。アクリルエマルション系重合体の形成に用いられるモノマー混合物において、モノマー主成分として用いられているためである。なお、（メタ）アクリル酸エステルは、単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。

ヒドロキシル基含有モノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシプロパン、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸４−ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸６−ヒドロキシヘキシルなどが挙げられる。

ヒドロキシル基含有モノマーは、モノマー混合物のモノマー成分１００重量部に対して、０．５〜５０重量部（好ましくは５〜４０重量部、さらに好ましくは１５〜３０重量部）含有することが好ましい。ヒドロキシル基含有モノマーが０．５重量部より少ないと、ポリマーへの炭素−炭素二重結合の導入量が少なくなり、粘着力の制御が困難となる場合があり、一方、５０重量部より多いと、アクリルエマルション系重合体の溶液粘度が高くなり、基材や剥離ライナーへ粘着剤を塗布する時に、塗工すじなどの問題が発生する場合があるためである。なお、ヒドロキシル基含有モノマーは、単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。

前記モノマー混合物には、エマルション粒子の安定化、粘着剤層の基材に対する密着性の向上、被着体への初期接着性の向上などを目的として、必要に応じて、共重合性モノマーが含まれていてもよい。

このような共重合性モノマーとしては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、クロトン酸、アクリル酸ダイマー、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノアクリレート、フタル酸モノヒドロキシエチルアクリレート、酢酸ビニル、スチレン、アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グリシジル、Ｎ，Ｎ−ジエチルアクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチルアクリルアミド、Ｎ−イソプロピルアクリルアミド、アクリロイルモルホリンなどが挙げられる。

共重合性モノマーの使用量としては、適宜選択することができるが、例えば、モノマー混合物のモノマー成分全量に対して、６０重量％以下（例えば、０．５〜６０重量％）、好ましくは２５重量％以下（例えば、０．７〜２５重量％）であることが好ましい。なお、共重合性モノマーは、単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。

さらに、前記モノマー混合物には、必要に応じて、カルボニル基含有モノマーが含まれていてもよい。

このようなカルボニル基含有モノマーとしては、（メタ）アクリル酸アクリルエステルと重合可能であり、ケト基及び／又はアルデヒド基を含むものであれば特に制限されないが、例えば、ダイアセトンアクリルアミド、ダイアセトンメタクリルアミド、アクロレイン、ホルミルスチロール、ビニルメチルケトン、ビニルエチルケトン、ビニルイソブチルケトン、ジアセトンアクリレート、ジアセトンメタクリレート、アセトニトリルアクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリレートアセトアセテート、ブタンジオールアクリレートアセトアセテート等が挙げられる。これらの中で、特にダイアセトンアクリルアミドを好適に使用することができる。

カルボニル基含有モノマーの使用量としては、適宜選択することができるが、例えば、モノマー混合物のモノマー成分１００重量部に対して、０．５〜１０重量部（好ましくは０．５〜７重量部、さらに好ましくは０．７〜４重量）であることが好ましい。カルボニル基含有モノマーが０．５重量部より少ないと、後述するヒドラジン架橋剤との反応点が少なくなり、該粘着剤組成物からなる粘着剤層を有する粘着シートを被着体から剥離した後の被着体への汚染物が多くなり、一方、１０重量部より多いと、アクリルエマルション系重合体の溶液粘度が高くなり、基材や剥離ライナーへ粘着剤を塗布する時に、塗工すじなどの問題が発生する場合があるためである。なお、カルボニル基含有モノマーは、単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。

また本発明においては、後述する粘着剤組成物のゲル分率を調整するために、アクリルエマルション系重合体を重合する際に多官能モノマー成分を共重合することができる。多官能モノマーとしては、例えば、ジエチレングリコールジアクリレート、ジエチレングリコールジメタクリレート、エチレングリコールジアクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、テトラエチレングリコールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、１，６−ヘキサンジオールジメタクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート等の多官能（メタ）アクリレート類、ジビニルベンゼン等の多官能芳香族ビニル化合物などが挙げられる。

多官能モノマーの使用量としては、必要に応じて適宜選択することができる。なお、多官能モノマーは、単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。

アクリルエマルション系重合体は、上記モノマー混合物に重合開始剤及び乳化剤などを加え、通常のエマルション重合方法を用いることにより、合成（形成）される。エマルション重合は、一般的な一括重合、連続滴下重合、分割滴下重合など任意の方法を用いることができ、その方法は特に限定されるものではない。また、重合温度は、用いる開始剤の種類等に応じて、例えば５〜１００℃程度の範囲内から選択することができる。

本発明においては、アクリルエマルション系重合体は、ウエハ等の被着体への有機物汚染量の減少に特に効果があることから、一括重合でかつ低温（例えば５０℃以下、好ましくは３０℃以下）で重合することが望ましい。このような条件で重合を行うと、高分子量体が得られやすく、低分子量体が少なくなるため、ウエハへの有機物汚染が減少するものと推定される。

アクリルエマルション系重合体の合成のために使用する乳化剤は、公知の乳化剤から適宜選択して使用することができ特に制限されないが、例えばビニル基、プロペニル基、イソプロペニル基、ビニルエーテル基（ビニルオキシ基）、アリルエーテル基（アリルオキシ基）などのラジカル重合性官能基を有する反応性乳化剤を使用するとウエハへの汚染を大きく低減することができる。このような反応性乳化剤の市販の例として、商品名「アデカソープＳＥ−１０Ｎ」（旭電化工業株式会社製）、商品名「アクアロンＨＳ−２０」「アクアロンＨＳ−１０」「アクアロンＨＳ−５０」（第一工業製薬株式会社製）などが挙げられる。又は、カルボキシル基又はその塩を含有する乳化剤を使用し、架橋剤としてヒドラジン架橋剤に加えて後述するカルボキシル基と反応し得る官能基を有する架橋剤を併用することもウエハへの汚染低減に効果的である。カルボキシル基又はその塩を含有する乳化剤としては、例えばマレイン酸、イタコン酸、フマル酸、スルホコハク酸などのジカルボン酸のハーフエステルやハーフアミド又はこれらの塩などが挙げられる。特に、例えばスルホコハク酸モノプロペニルエステルや、スルホコハク酸モノアリルエステルなどの分子内にプロペニル基やアリルオキシ基などの重合性官能基を有し、且つカルボキシル基を含有する反応性乳化剤を使用し、さらにカルボキシル基と反応し得る官能基を有する架橋剤を併用することはウエハへの有機汚染低減の点から好ましい。このような乳化剤の市販の例として具体的には、商品名「ニューコール２９３」「ＲＡ５４１１」「ＲＡ５４４」（日本乳化剤株式会社製）などを例示できる。

乳化剤としては、粘着剤組成物の諸特性向上のために、例えばラウリル硫酸ナトリウム、ラウリル硫酸アンモニウム、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸ナトリウム、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル硫酸ナトリウムなどのアニオン系乳化剤；ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテルなどのノニオン系乳化剤等、一般的な乳化剤を上記反応性乳化剤と併用してもよい。なお、乳化剤は１種又は２種以上を選択して使用することができる。

半導体ウエハ加工用粘着シートでは、特に不純物イオンが問題となる場合があるため、不純物イオンを取り除き、ＳＯ₄ ^2-イオン濃度が１００μｇ／ｇ以下である乳化剤を使用することが望ましい。不純物イオンを取り除く方法としては、イオン交換樹脂法、膜分離法、アルコールを用いた不純物の沈殿ろ過法など適宜な方法を用いることができる。なお、乳化剤としてアニオン系乳化剤を使用する場合であれば、アンモニウム塩乳化剤を用いることが望ましい。

乳化剤の使用量は、モノマー混合物１００重量部に対して、例えば０．１〜７重量部、好ましくは０．５〜４重量部程度の範囲から選択することができる。乳化剤の配合量が５重量部を超えると粘着剤の凝集力が低下して被着体への汚染量が増加し、また乳化剤自身による汚染も起こる場合がある。乳化剤の配合量が０．１重量部未満では安定した乳化が維持できない場合があり何れも好ましくない。

重合開始剤としては、たとえば、２，２′−アゾビスイソブチロニトリル、２，２′−アゾビス（２−アミジノプロパン）ジヒドロクロライド、２，２′−アゾビス（Ｎ，Ｎ′−ジメチレンイソブチルアミジン）などのアゾ系、過硫酸カリウム、過硫酸アンモニウムなどの過硫酸塩、ベンゾイルパーオキサイド、ｔ−ブチルハイドロパーオキサイドなどの過酸化物系や、過酸化水素水とアスコルビン酸、過酸化水素水と鉄（ＩＩ）塩、過硫酸塩と亜硫酸水素ナトリウムなどのレドックス系重合開始剤などがあげられる。これらの中で、ウエハ等被着体への有機物汚染量の減少に特に効果があることから、レドックス系重合開始剤を用いることが望ましい。

この理由については明確でないが、レドックス系重合開始剤を用いることで高分子量体が得られやすく低分子量成分が少ないことに起因しているものと推定される。また粘着シートにて不純物イオンが問題となる場合には、イオン成分を含まない開始剤を用いることが要求され、たとえば過酸化水素水とアスコルビン酸などの組み合わせが好適に使用される。また、レドックス系重合開始剤を用いる場合は、重合温度は５０℃以下、好ましくは３０℃以下にすることが望ましい。

これらの重合開始剤は、その種類やアクリルモノマーの種類に応じて、その使用量が決定されるが、通常は、全モノマー混合物１００重量部あたり、０．００１〜０．１重量部の範囲で使用するのが望ましい。

本発明においては、アクリルポリマーの分子量を調整するために連鎖移動剤を用いても良い。連鎖移動剤としては、特に限定されるものではないが、たとえばラウリルメルカプタン、メルカプト酢酸、２−メルカプトエタノール、チオグリコール酸２−エチルヘキシル、２，３−ジメチルカプト−１−プロパノールなどが挙げられ、その目的、用途に応じて１種または２種以上が用いられる。

本発明の活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物は、上述のアクリルアクリルエマルション系重合体に、少なくとも分子中にラジカル重合性不飽和結合とブロックイソシアネート基とを有する化合物を配合することにより得られる。

本発明で用いられる分子中にラジカル重合性不飽和結合とブロックイソシアネート基とを有する化合物とは、分子中に、各種モノマーとの共重合が可能なラジカル重合性不飽和結合、及び通常の条件ではイソシアネート基を他の官能基でマスク（保護）することによりイソシアネート基の反応性を抑える一方、加熱により脱ブロックして、活性なイソシアネート基を再生させることができるイソシアネートブロック体（ブロックイソシアネート基）を有する化合物のことをいう。

このような分子中にラジカル重合性不飽和結合とブロックイソシアネート基とを有する化合物の市販品としては、例えば、分子中にラジカル重合性不飽和結合、及び３，５−ジメチルピラゾリルのようなピラゾール系のブロックイソシアネート基（イソシアネートブロック体）を有する化合物である２−［（３，５−ジメチルピラゾリル）カルボキシアミノ］エチルメタクリレート（商品名「カレンズＭＯＩ−ＢＰ」昭和電工株式会社製）；分子中にラジカル重合性不飽和結合、及びメチルエチルケトンオキシムのようなオキシム系のブロックイソシアネート基（イソシアネートブロック体）を有する化合物であるメタクリル酸２−（０−［１’メチルプロビリデンアミノ］カルボキシアミノ）エチル（商品名「カレンズＭＯＩ−ＢＭ」昭和電工株式会社製）などが挙げられる。

また、分子中にラジカル重合性不飽和結合とブロックイソシアネート基とを有する化合物としては、市販品を使用できるほか、公知の方法で調製して使用することもできる。例えば、ラジカル重合性不飽和結合を有しているイソシアネート化合物とブロック剤とを溶媒中０〜２００℃程度の温度で撹拌し、濃縮、濾過、抽出、晶析、蒸留等の公知の分離精製手段を用いて分離することにより得ることができる。

ラジカル重合性不飽和結合を有しているイソシアネート化合物としては、例えば、２−イソシアネートエチルメタクリレート、２−イソシアネートエチルアクリレート、４−イソシアネートブチルメタクリレート、４−イソシアネートブチルアクリレートなどが挙げられる。また、ラジカル重合性不飽和結合を有するモノアルコールと下記イソシアネート化合物との反応生成物を用いてもよい。

ラジカル重合性不飽和結合を有するモノアルコールとしては、例えば、ヒドロキシエチルアクリレート、ヒドロキシプロピルアクリレート、ヒドロキシブチルクリレート、ヒドロキシエチルメタクリレート、ヒドロキシブチルメタクリレート、ヒドロキシブチルアクリレート、アリルアルコールなどが挙げられる。

ラジカル重合性不飽和結合を有するモノアルコールと反応させるイソシアネート化合物としては、１分子中に２個以上のイソシアネート基を有する化合物が好ましく、例えば、エチレンジイソシアネート、テトラメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート（ＨＤＩ）、ドデカメチレンジイソシアネートなどの脂肪族ポリイソシアネート；シクロペンチレンジイソシアネート、シクロヘキシレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート（ＩＰＤＩ）、ジシクロヘキシルメタン−４，４′−ジイソシアネート（水添ＭＤＩ）、メチルシクロヘキシレンジイソシアネート（水添ＴＤＩ）などの脂環式ポリイソシアネート；１，３−又は１，４−フェニレンジイソシアネート、２，４−又は２，６−トリレンジイソシアネート（ＴＤＩ）、２，２′−又は２，４′−又は４，４′−ジフェニルメタンジイソシアネート（ＭＤＩ）、３−クロロ−４−メチルフェニルジイソシアネート、４−クロロフェニルジイソシアネートなどの芳香族ポリイソシアネート；ｍ−又はｐ−キシリレンジイソシアネート（ＸＤＩ）、α，α，α′，α′−テトラメチルキシリレンジイソシアネート（ＴＭＸＤＩ）などの芳香脂肪族ポリイソシアネート；ポリメチレンポリフェニルポリイソシアネート；トリメチロ−ルプロパン／トリレンジイソシアネート３量体付加物（商品名「コロネートＬ」日本ポリウレタン工業社製）、トリメチロールプロパン／ヘキサメチレンジイソシアネート３量体付加物（商品名「コロネートＨＬ」日本ポリウレタン工業社製）、ヘキサメチレンジイソシアネートのイソシアヌレート体（商品名「コロネートＨＸ」日本ポリウレタン工業社製）などのイソシアネート付加物；上記各ポリイソシアネートの変性物などが挙げられる。

ブロック剤としては、例えば、ε−カプロラクタム、δ−バレロラクタム、γ−ブチロラクタムなどのラクタム類；メチルエチルケトオキシム、メチルイソブチルケトオキシム、メチルイソアミルケトオキシム、アセトフェノンオキシム、ベンゾフェノンオキシム、シクロヘキサノンオキシムなどのオキシム類；フェノール、クレゾール、エチルフェノール、ブチルフェノール、ノニルフェノール、カテコール、ニトロフェノールなどのフェノール類；メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、ブタノール、シクロヘキサノール、トリメチロールプロパンなどのアルコール類；ブチルメルカプタン、ドデシルメルカプタンなどのメルカプタン類；マロン酸ジメチル、マロン酸ジエチル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、アセチルアセトンなどの活性メチレン化合物；アセトアニリド、酢酸アミドなどのアミド類；コハク酸イミド、マレイン酸イミドなどのイミド類；３，５−ジメチルピラゾールなどのピラゾール類；１，２，４−トリアゾールなどのトリアゾール類；重亜硫酸ソーダなどの亜硫酸塩類；Ｎ，Ｎ′−ジフェニルホルムアミジン、Ｎ，Ｎ′−ビス（２−メチルフェニル）ホルムアミジン、Ｎ，Ｎ′−ビス（３−メチルフェニル）ホルムアミジン、Ｎ，Ｎ′−ビス（４−メチルフェニル）ホルムアミジン、Ｎ，Ｎ′−ビス（３，５−ジメチルフェニル）ホルムアミジンなどのＮ，Ｎ′−ジアリールホルムアミジン類などが挙げられる。これらのブロック剤は単独で又は２種以上を組み合わせて使用できる。上記のブロック剤の中でも、粘着剤組成物のポットライフが長く、しかも比較的低温（例えば、８０〜１２０℃）で架橋反応が進行するという点で、Ｎ，Ｎ′−ジアリールホルムアミジン類などが好ましい。

本発明の粘着剤組成物において、分子中にラジカル重合性不飽和結合およびブロックイソシアネート基を含有する化合物の配合量は、アクリルエマルション系重合体１００重量部に対して、例えば、１〜６０重量部、好ましくは１０〜４０重量部である。配合量が１重量部より少ないと、粘着シートにおいて、活性エネルギー線を照射することにより粘着性を低下させることが困難となる場合があり、一方、配合量が６０重量部を超えると、粘着シートにおいて、高粘着性を発現することができない場合がある。なお、分子中にラジカル重合性不飽和結合およびブロックイソシアネート基を含有する化合物は、単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。

また、活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物により形成される粘着剤層は、活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物を、基材などの支持体上に塗布し、粘着剤組成物層を形成させた後、該粘着剤層組成物層を、加熱・乾燥（例えば、１２０度の温度での３分間の加熱・乾燥など）することにより、形成される。

該粘着剤層組成物層を加熱するのは、加熱により、分子中にラジカル重合性不飽和結合およびブロックイソシアネート基を含有する化合物において、イソシアネートブロック体が脱ブロックしてイソシアネート基が生じ、さらに、この生じたイソシアネート基と前記アクリルエマルション系重合体中のヒドロキシル基とが反応し、粘着剤層を形成する、ラジカル重合性不飽和結合をポリマーの側鎖として有するアクリル重合体を得ることができるためである。

また、本発明の粘着剤組成物は、粘着剤組成物のゲル分率を調整するために、前述したアクリルエマルション系重合体を重合する際に多官能モノマー成分を共重合させること以外に、架橋剤が添加されていてもよい。

架橋剤としては、例えば、多官能性のエポキシ系架橋剤、イソシアネ―ト系架橋剤、アジリジン系架橋剤、メラミン樹脂系架橋剤、過酸化物系架橋剤、カルボジイミド系架橋剤、ヒドラジン架橋剤などが挙げられる。なお、多官能性とは２官能性以上のことを意味する。

このような架橋剤の具体的な例としては、Ｎ，Ｎ，Ｎ′，Ｎ′−テトラグリシジル−ｍ−キシレンジアミン、１，３−ビス（Ｎ，Ｎ−グリシジルアミノメチル）シクロヘキサン、１，６−ヘキサンジオールグリシジルエーテル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、ポリグリセロールポリグリシジルエーテルなどのエポキシ系架橋剤；トリレンジイソシアネート（ブロック）などのブロックイソシアネート系架橋剤；商品名「カルボジライトＶ−０１」（日清紡績株式会社製）などの油溶性カルボジイミド系架橋剤や商品名「カルボジライトＶ−０２」（日清紡績株式会社製）などの親水化処理カルボジイミド系架橋剤などのカルボジイミド系架橋剤；商品名「エラストロンＢＮ−６９」（第一工業製薬株式会社製）などの水分散イソシアネート系架橋剤；商品名「エポクロスＷＳ−５００」（株式会社日本触媒製）などのオキサゾリン系架橋剤；商品名「ケミタイトＰＺ−３３」（株式会社日本触媒製）などのアジリジン系架橋剤；ヘキサメチロールメラミンなどの活性メチロール；ヘキサメトキシメチルメラミンなどの活性アルコキシメチル；商品名「オルガチックスＡｌ１３５」（松本製薬工業株式会社製）などの金属キレート；アジピン酸ジヒドラジド、商品名「アミキュアＶＤＨ」「アミキュアＵＤＨ」（味の素ファインテクノ株式会社製）などのヒドラジン系架橋剤などが挙げられる。

これらの架橋剤の添加量は、粘着剤組成物のゲル分率が好ましい範囲内となるように、適宜選択される。例えば、架橋剤としてヒドラジン系架橋剤を添加する場合、アクリルエマルション系重合体１００重量部に対して、０．１〜３重量部（好ましくは、０．３〜１重量部）程度である。また、架橋剤は、単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。なお、本発明の活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物には、ゲル分率の調整のために、上記以外の架橋剤（例えば過酸化水素系架橋剤など）が添加されていてもよい。

本発明の活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物には、該粘着剤組成物により形成された粘着剤層の活性エネルギー線照射前後の粘着力（粘着性）を制御する目的で、ラジカル重合性多官能モノマーが添加されていてもよい。

このようなラジカル重合性多官能モノマーとしては、例えば、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリレートと多価アルコールとのエステル化物；エステルアクリルオリゴマー；２−プロペニル−ジ−３−ブテニルシアヌレート、トリス（２−メタクリロキシエチル）イソシアヌレート等のイソシアヌレート又はイソシアヌレート化合物等が挙げられる。前述のモノマー成分の粘度は、特に制限されるものではないが、対シリコンミラーウエハへの活性エネルギー線硬化前の粘着力を高めるために、２５℃における粘度（Ｂ型粘度計により測定）が５Ｐａ・ｓｅｃ以上のものが好ましい。

これらのラジカル重合性多官能モノマーの添加量は、粘着力（粘着性）が好ましい範囲内となるように適宜選択されるが、例えばアクリルエマルション系重合体１００重量部に対して、１０〜１５０重量部程度である。また、ラジカル重合性多官能モノマーは、単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。

ラジカル重合性多官能モノマー成分の添加方法としては、特に限定されるものではないが、例えば、多官能モノマー成分を水に分散させエマルションとし添加する方法が挙げられる。この方法は、作業性に優れている。なお、水に分散させる際には、分散剤や乳化剤が用いられる。かかる際に用いられる分散剤や乳化剤としては、特に限定されるものではないが、例えば、ラジカル重合性官能基を導入した反応性乳化剤や高分子量の分散剤などを用いることが好ましい。

粘着力（粘着性）を低下させる際に用いられる活性エネルギー線としては、例えば、α線、β線、γ線、中性子線、電子線などの電離性放射線や、紫外線などが挙げられ、特に、紫外線が好適である。なお、活性エネルギー光線の照射エネルギー、照射時間、照射方法などは、粘着力（粘着性）を低下させることができる限り、特に制限されることはない。

本発明の粘着剤組成物には、光反応開始剤（光増感剤）が含まれていてもよい。本発明の粘着剤組成物により形成された粘着剤層の粘着力（粘着性）を低下させるために、活性エネルギー線を照射することによる硬化処理が行われるが、かかる硬化処理を容易に行うためである。

このような光反応開始剤（光増感剤）としては、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインアルキルエーテル類；ベンジル、ベンゾイン、ベンゾフェノン、α−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン等の芳香族ケトン類；ベンジルジメチルケタール等の芳香族ケタール類；ポリビニルベンゾフェノン、クロロチオキサントン、ドデシルチオキサントン、ジメチルチオキサントン、ジエチルチオキサントン等のチオキサントン類などが挙げられる。

さらに、上記光反応開始剤（光増感剤）の中でも、作業性向上の点から、水溶性や水分散性の優れたものが好ましい。例えば、１−［４−（２−ヒドロキシエトキシ）−フェニル］−２−ヒドロキシ−２−メチル−１―プロパン―１−オン（商品名「イルガキュア２９５９」：チバ・スペシャリティー・ケミカルズ社製）、商品名「ＥＳＡＣＵＲＥ ＫＩＰ ＥＭ」「ＥＳＡＣＵＲＥ ＤＰ ２５０」（ランベルティー社製）などが挙げられる。

光反応開始剤（光増感剤）の使用量としては、特に制限されないが、例えば、活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物の全モノマー成分１００重量部に対して０．１〜１０重量部（好ましくは、０．５〜５重量部）の範囲から選択することができる。また、光反応開始剤（光増感剤）は、単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。

また、本発明の粘着剤組成物には、必要に応じて、上記の成分の他に、各種添加剤が含まれていてもよい。このような添加剤しては、例えば、公知・慣用の各種粘着付与剤、老化防止剤、充填剤、着色剤等が挙げられる。

本発明の活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物は、水系で塗工することができる水分散型の粘着剤組成物であるため、水系塗工型の粘着剤層を形成することができ、且つ該粘着剤組成物により形成される粘着剤層を有する粘着シートにおいて、活性エネルギー線の照射前は高粘着性（高粘着力）を有するが、活性エネルギー線の照射により粘着剤層が硬化して、粘着性が低下し、低粘着性（低粘着力）を有するようになる特性を発揮することができる。

［活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着シート］
本発明の活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着シートは、支持体（基材）上に、前記活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物により形成される粘着剤層を有している。また、粘着剤層の粘着面を保護する目的で、粘着剤層上に剥離フィルム（セパレータ）を有していることが好ましい。さらに、支持体と粘着剤層との間に、研削時のウエハ破損防止などのために応力を緩和するような適宜な中間層を有していてもよい。

また、本発明の活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着シートは、両面が粘着面となっている両面粘着シートの形態であってもよいし、片面のみが粘着面となっている片面粘着シートの形態であってもよい。

さらに、本発明の活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着シートは、ロール状に巻回された形態で形成されていてもよく、シートが積層された形態で形成されていてもよい。すなわち、活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着シートは、シート状、テープ状などの形態を有することができる。なお、ロール状に巻回された状態又は形態の活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着シートとしては、粘着面を剥離フィルム（セパレータ）により保護した状態でロール状に巻回された状態又は形態を有していてもよく、粘着面を支持体の他方の面に形成された剥離処理層（背面処理層）により保護した状態でロール状に巻回された状態又は形態を有していてもよい。なお、支持体の面に剥離処理層（背面処理層）を形成させる際に用いられる剥離処理剤（剥離剤）としては、例えば、シリコーン系剥離剤や長鎖アルキル系剥離剤などが挙げられる。

本発明の活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着シートにおいて、被着体との粘着面を提供する粘着剤層は、前記活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物を用いて、適宜な支持体（基材）や剥離フィルム等の上に、活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物層を形成した後、適宜に加熱・乾燥（例えば、１２０℃、３分間の加熱・乾燥）させることにより形成される。

このような粘着剤層の厚さとしては、例えば、５〜１００μｍ（好ましくは、１０〜４０μｍ）程度である。また、粘着剤層は単層であってもよく、２以上の層で構成されていてもよい。

支持体（基材）としては、適宜な薄葉体であれば特に制限されないが、例えば、ポリオレフィン系樹脂、ポリエステル系樹脂、塩化ビニル系樹脂、酢酸ビニル系樹脂、ポリイミド系樹脂などのプラスチックフィルムや、金属箔などが用いられる。

このような支持体の厚さとしては、例えば、５０〜３００μｍ（好ましくは、７０〜２００μｍ）程度である。また、支持体は、１種または２種以上を組み合わせて使用してもよい。さらに、支持体の片面又は両面には、粘着剤層との密着力の向上等を目的に、コロナ処理やプラズマ処理等の物理的処理、下塗り剤等の化学的処理などを適宜な表面処理が施されていてもよい。

粘着面を保護する剥離フィルム（セパレータ）としては、特に制限されず、例えば、公知乃至慣用の剥離フィルムを用いることができる。

本発明の活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着シートは、適宜な方法で作製される。例えば、支持体上に、前記活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物を塗布し、活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物層を形成した後、加熱・乾燥を行うことにより粘着剤層を形成させ、該粘着剤層上に剥離フィルムを設けることにより、作製される。また、支持体に剥離フィルム上に形成させた粘着剤層を転写する方法を用いて、作製されていてもよい。

本発明の活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着シートは、前記活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物により形成される粘着剤層を有するため、活性エネルギー線の照射前は被着体に対して高粘着性（高粘着力）を有するが、活性エネルギー線の照射により粘着剤層が硬化することにより、粘着性が低下し、被着体に対して低粘着性（低粘着力）を有するようになる特性を有する。このため、本発明の活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着シートは、活性エネルギー線を照射することより、被着体を容易に粘着面から再剥離することができる。なお、被着体に活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着シートを貼付した状態では、通常、活性エネルギー線の照射は、粘着シート側から行われる。このため、本発明の活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着シートで用いられる支持体は、活性エネルギー線の照射による粘着剤層の硬化を阻害しないように、光透過性を有するものが好ましい。

本発明の活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着シートは、低汚染性の再剥離型粘着シートであり、且つ活性エネルギー線の照射により、被着体を容易に粘着面から再剥離することができる特性を有する。このため、特に半導体ウエハ加工用粘着シート、たとえば裏面研削用粘着シート、ダイシング用粘着シート、裏面研削とダイシング両工程で使用される粘着シートとして好適に用いることができる。なお、本発明の活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着シートは、その用途においてなんら限定されるものではなく、例えば、半導体、回路、各種プリント基板、各種マスク、リードフレームなどの微細加工部品の製造の際の表面保護や破損防止、あるいは異物等の除去、マスキング等にも使用することができる。

以下に実施例を挙げて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれら実施例により何ら限定されるものではない。

（実施例１）
冷却管、窒素導入管、温度計、撹拌装置を備えた反応容器に、水：２００重量部、アクリル酸２−エチルヘキシル：５０重量部、メタクリル酸ｎ−ブチル：３０重量部、メタクリル酸２−ヒドロキシエチル：１７重量部、アクリル酸：２重量部、ダイアセトンアクリルアミド：１重量部、及びエーテルサルフェート型の反応性ノニオンアニオン系界面活性剤（商品名「アデカソープＳＥ−１０Ｎ」：旭電化工業株式会社製）をアルコール沈殿ろ過により精製し、不純物であるＳＯ₄ ^2-のイオン濃度を５６０μｇ／ｇから７０μｇ／ｇ以下とした乳化剤：２重量部を乳化機で乳化して得られるエマルション溶液を仕込み、撹拌下１時間窒素置換した。以降、重合中の内浴温度は２５℃に制御した。ここに、過酸化水素水（３０重量％含有）：０．１重量部を加えた後、アスコルビン酸：０．０５重量部及び水：１０重量部からなるアスコルビン酸水溶液を１ｍｌ添加し重合を開始させた。重合開始から、５時間後から残りのアスコルビン酸水溶液を２時間かけて滴下し、更に２時間反応を熟成し完了した。その後、１０％のアンモニア水で中和してアクリル系重合体（「アクリル系重合体（Ａ）」と称する場合がある。）を作製した。
アクリル系重合体（Ａ）：１００重量部に、分子中にラジカル重合性不飽和結合およびブロックイソシアネート基を含有する化合物として２−［（３，５−ジメチルピラゾリル)カルボキシアミノ］エチルメタクリレート（商品名「カレンズＭＯＩ−ＢＰ」：昭和電工株式会社製）：３０重量部（対粘着剤固形分１００重量部）、ヒドラジン架橋剤としてアジピン酸ジヒドラジド：０．５重量部（対粘着剤固形分１００部）、光重合開始剤として１−［４−（２−ヒドロキシエトキシ）−フェニル］−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン（商品名「イルガキュア２９５９」：チバ・スペシャリティー・ケミカルズ社製）：２重量部（対粘着剤固形分１００重量部）を添加してなるアクリル系粘着剤組成物を、シリコーン剥離処理を施したポリエステルフィルム（厚さ：５０μｍ）のシリコーン剥離処理を施した面に、乾燥後の厚さが１５μｍとなるように塗工し、１２０℃、３分間の条件で乾燥させ、粘着剤層を形成させた。
粘着剤層の粘着剤表面に、コロナ放電式で表面酸化処理をしたエチレン−酢酸ビニル共重合体フィルム（厚さ：１３５μｍ）を貼り合せ、粘着剤層を転写することにより、粘着シートを作製した。

（実施例２）
冷却管、窒素導入管、温度計、撹拌装置を備えた反応容器に、水：２００重量部、アクリル酸ｎ−ブチル：６０重量部、メタクリル酸ｎ−ブチル：２０重量部、メタクリル酸２−ヒドロキシエチル：１７重量部、アクリル酸：２重量部、ダイアセトンアクリルアミド：１重量部、及びエーテルサルフェート型の反応性ノニオンアニオン系界面活性剤（商品名「アデカソープＳＥ−１０Ｎ」：旭電化工業株式会社製）をアルコール沈殿ろ過により精製し、不純物であるＳＯ₄ ^2-のイオン濃度を５６０μｇ／ｇから７０μｇ／ｇ以下とした乳化剤：２重量部を乳化機で乳化して得られるエマルション溶液を仕込み、撹拌下１時間窒素置換した。以降、重合中の内浴温度は５７℃に制御した。ここに、アゾ系重合開始剤として２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−カルボキシエチル）−２−メチルプロピオンアミジン］水和物（商品名「ＶＡ−０５７」：和光純薬工業株式会社製）：０．０３重量部（対粘着剤固形分１００重量部）を加えて、重合を開始させた。重合開始から４時間後、内浴温度を６５℃とし、更に１時間反応を熟成し完了した。その後、１０％のアンモニア水で中和してアクリル系重合体（「アクリル系重合体（Ｂ）」と称する場合がある。）を作製した。
続いて、アクリル系重合体（Ａ）の代わりに、アクリル系重合体（Ｂ）を用いたこと以外は、実施例１と同様にして、粘着シートを作製した。

（実施例３）
モノマーを、アクリル酸２−エチルヘキシル：５０重量部、メタクリル酸ｎ−ブチル：３０重量部、メタクリル酸２−ヒドロキシエチル：１７重量部、アクリル酸：２重量部、ダイアセトンアクリルアミド：１重量部とし、乳化剤をノニオンアニオン系界面活性剤（商品名「ハイテノールＬＡ−１６」：花王株式会社製）：２重量部としたこと以外は、実施例２と同様にして、アクリル系重合体（「アクリル系重合体（Ｃ）」と称する場合がある。）を作製した。
続いて、アクリル系重合体（Ａ）の代わりに、アクリル系重合体（Ｃ）を用いたこと以外は、実施例１と同様にして、粘着シートを作製した。

（比較例１）
アクリル系重合体（Ａ）：１００重量部に、ヒドラジン架橋剤としてアジピン酸ジヒドラジド：０．５重量部（対粘着剤固形分１００重量部）、光重合開始剤として１−［４−（２−ヒドロキシエトキシ）−フェニル］−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン（商品名「イルガキュア２９５９」：チバ・スペシャリティー・ケミカルズ社製）：２重量部（対粘着剤固形分１００重量部）を添加してなるアクリル粘着剤組成物を、シリコーン剥離処理を施したポリエステルフィルム（厚さ：５０μｍ）のシリコーン剥離処理を施した面に、乾燥後の厚さが１５μｍとなるように塗工し、１２０℃、３分間の条件で乾燥させ、粘着剤層を形成させた。
ポリエステルフィルム上の粘着剤層の粘着剤表面に、コロナ放電式で表面酸化処理をしたエチレン−酢酸ビニル共重合体フィルム（厚さ：１３５μｍ）を貼り合せ、粘着剤層を転写することにより、粘着シートを作製した。

（比較例２）
モノマーを、アクリル酸２−エチルヘキシル：６０重量部、メタクリル酸ｎ−ブチル：３７重量部、アクリル酸：２重量部、ダイアセトンアクリルアミド：１重量部としたこと以外は、実施例１と同様にして、アクリル系重合体（「アクリル系重合体（Ｄ）」と称する場合がある。）を作製した。
続いて、アクリル系重合体（Ａ）の代わりに、アクリル系重合体（Ｄ）を用いたこと以外は、実施例１と同様にして、粘着シートを作製した。

（比較例３）
アクリル系重合体（Ａ）：１００重量部に、分子中にラジカル重合性不飽和結合およびイソシアネート基を含有する化合物として２−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート（２−イソシアトエチルメタクリレート）（商品名「カレンズＭＯＩ」：昭和電工株式会社製）：３０重量部（対粘着剤固形分１００重量部）、ヒドラジン架橋剤としてアジピン酸ジヒドラジド：０．５重量部（対粘着剤固形分１００部）、光重合開始剤として１−［４−（２−ヒドロキシエトキシ）−フェニル］−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン（商品名「イルガキュア２９５９」：チバ・スペシャリティー・ケミカルズ社製）：２重量部（対粘着剤固形分１００重量部）を添加してなるアクリル系粘着剤組成物を、シリコーン剥離処理を施したポリエステルフィルム（厚さ：５０μｍ）のシリコーン剥離処理を施した面に、乾燥後の厚さが１５μｍとなるように塗工し、１２０℃、３分間の条件で乾燥させ、粘着剤層を形成させた。
粘着剤層の粘着剤表面に、コロナ放電式で表面酸化処理をしたエチレン−酢酸ビニル共重合体フィルム（厚さ：１３５μｍ）を貼り合せ、粘着剤層を転写することにより、粘着シートを作製した。

（評価試験）
実施例１〜３、及び比較例１〜３で得られた粘着テープについて、下記の測定方法により、活性エネルギー照射前の粘着力、活性エネルギー照射後の粘着力、対ウエハ有機物汚染増加量を測定した。それぞれの測定結果を表１に示した。

（活性エネルギー照射前の粘着力の測定方法）
粘着シート（２０ｍｍ×１００ｍｍ）を、シリコンミラーウエハ面（商品名「ＣＺＮ＜１００＞２．５−３．５」（４インチ）：信越半導体株式会社製）へ、２３℃雰囲気下ハンドローラーを一往復さることにより、圧着させた。
２３℃で３０分間経過後、その剥離に要する力を測定した（１８０度剥離、引張り速度３００ｍｍ／分、２３℃×５０％ＲＨ雰囲気下）。

（活性エネルギー照射後の粘着力の測定方法）
粘着シート（２０ｍｍ×１００ｍｍ）を、シリコンミラーウエハ面（商品名「ＣＺＮ＜１００＞２．５−３．５」（４インチ）：信越半導体株式会社製）へ、２３℃雰囲気下ハンドローラーを一往復さることにより、圧着させた。
２３℃で３０分間経過後、紫外線照射装置（商品名「ＵＭ８１０」：日東精機株式会社製）を用いて、紫外線を粘着シート面側から照射し（光量：４５０ｍＪ／ｃｍ²）、その後、サンプルを剥離に要する力を測定した（１８０度剥離、引張り速度３００ｍｍ／分、２３℃×５０％ＲＨ雰囲気下）。

（対ウエハ有機物汚染増加量）
粘着シート片を、アルミ蒸着ウエハ（１２〜１３ａｔｏｍｉｃ％）に、テープ貼り合せ機（商品名「ＤＲ８５００−II」：日東精機株式会社製）にて貼付け（貼り付け圧力：０．２５ＭＰａ、貼り付け速度２．４ｍ／分）、４０℃中に１日放置後、粘着シート片をテープ剥離機（商品名「ＨＲ８５００−II」：日東精機株式会社製）にて、紫外線を粘着シート面側から照射（光量：４５０ｍＪ／ｃｍ²）後、粘着シート片を剥離し（剥離速度８ｍ／分、剥離角度１８０度）、ウエハ上に転写した有機物をＥＳＣＡ（商品名「ｍｏｄｅｌ５４００」：アルバックファイ社製）を用いて測定した。全くシートを貼り付けていないウエハも同様に分析し、検出された炭素原子のａｔｏｍｉｃ％の増加量により有機物の転写量を評価した。

なお、比較例３の粘着シートは、粘着剤層に凝集物を生じため、粘着シートとして用いることができなかった。

実施例の粘着シートで用いられた粘着剤組成物は、水系で調製することができ、さらに、水系で支持体に塗工することができた。
また、実施例の粘着シートにおいて、被着体に対する粘着力は、活性エネルギー線の照射前の方が高く、また、活性エネルギー線の照射により、大きく低下することが確認できた。
さらに、実施例２は、乳化剤として反応性乳化剤を使用したため、反応性乳化剤ではない乳化剤を使用した実施例３と比較して、被着体であるウエハへの汚染が少ないことが確認でき、さらにまた、実施例１は、レドックス系開始剤を使用し、重合温度を低温としたため、被着体であるウエハへの汚染がより少ないことが確認できた。

Claims (6)

1. （メタ）アクリル酸アルキルエステルを主成分とし、ヒドロキシル基含有モノマーを含有するモノマー混合物をエマルション重合して得られるアクリルエマルション系重合体、及び分子中にラジカル重合性不飽和結合とブロックイソシアネート基とを有する化合物から構成される活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物。
2. アクリルエマルション系重合体が、ラジカル重合性官能基を含む反応性乳化剤によるエマルション重合により得られる重合体である請求項１記載の活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物。
3. アクリルエマルション系重合体が、レドックス系重合開始剤によるエマルション重合により得られる重合体である請求項１又は２記載の活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物。
4. 分子中にラジカル重合性不飽和結合とブロックイソシアネート基とを有する化合物の配合量が、前記アクリルエマルション系重合体１００重量部に対し１０〜６０重量部である請求項１〜３の何れか１項に記載の活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物。
5. 支持体上に、請求項１〜４のいずれかの項に記載の活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着剤組成物により形成される粘着剤層を有している活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着シート。
6. 請求項５記載の活性エネルギー線硬化型再剥離用水分散型アクリル系粘着シートが用いられている半導体ウエハ加工用粘着シート。