JP6412873B2 - 粘着シート - Google Patents
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Description
図1は本発明の一実施形態に係る粘着シートの断面図である。本実施形態に係る粘着シート1は、基材2と、基材2の一方の面(図1では上側の面)に積層された粘着剤層3とを備えて構成される。本実施形態に係る粘着シート1は、例えば、被着体を半導体ウエハ等とするダイシングシート、バックグラインドシートなどの半導体加工用の粘着シートとして使用することができるが、これに限定されるものではない。以下、ダイシングシートまたはバックグラインドシートとして使用される場合を中心に説明する。
本実施形態に係る粘着シート1の基材2は、粘着シート1の使用工程で所望の機能を発揮する限り、例えば、バックグラインド工程、ダイシング工程、エキスパンド工程などにおいて破断しない限り、その構成材料は特に限定されず、通常は樹脂系の材料を主材とするフィルム(樹脂フィルム)を主体として構成され、好ましくは樹脂フィルムから構成される。その樹脂フィルムの具体例として、エチレン−酢酸ビニル共重合体フィルム、エチレン−(メタ)アクリル酸共重合体フィルム、エチレン−(メタ)アクリル酸エステル共重合体フィルム等のエチレン系共重合フィルム;低密度ポリエチレン(LDPE)フィルム、直鎖低密度ポリエチレン(LLDPE)フィルム、高密度ポリエチレン(HDPE)フィルム等のポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリブテンフィルム、ポリブタジエンフィルム、ポリメチルペンテンフィルム、エチレン−ノルボルネン共重合体フィルム、ノルボルネン樹脂フィルム等の、オレフィン系炭化水素のみを重合単量体としたポリオレフィン系フィルム;ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共重合体フィルム等のポリ塩化ビニル系フィルム;ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリブチレンテレフタレートフィルム等のポリエステル系フィルム;ポリウレタンフィルム;ポリイミドフィルム;ポリスチレンフィルム;ポリカーボネートフィルム;フッ素樹脂フィルムなどが挙げられる。またこれらの架橋フィルム、アイオノマーフィルムのような変性フィルムも用いられる。上記の基材2はこれらの1種からなる樹脂フィルムでもよいし、さらにこれらを2種類以上組み合わせた積層フィルムであってもよい。なお、本明細書における「(メタ)アクリル酸」は、アクリル酸およびメタクリル酸の両方を意味する。他の類似用語についても同様である。
粘着剤層3は、エネルギー線硬化性の(メタ)アクリル酸エステル共重合体(A)と、エポキシ系架橋剤(B)とを含有する粘着剤組成物から形成される。
エネルギー線硬化性の(メタ)アクリル酸エステル共重合体(A)は、(メタ)アクリル酸アルキルエステルモノマー(A1)と、水酸基を有する水酸基含有モノマー(A2)と、エポキシ基と反応可能な官能基(水酸基を除く)を有する官能基含有モノマー(A3)とを共重合したアクリル系共重合体(AP)と、水酸基と反応可能な官能基およびエネルギー線硬化性の炭素−炭素二重結合を有する硬化性基含有化合物(A4)とを反応させて得られるものである。
エポキシ系架橋剤(B)は、(メタ)アクリル酸エステル共重合体(A)中のエポキシ基と反応可能な官能基と反応して、(メタ)アクリル酸エステル共重合体(A)を架橋する。(メタ)アクリル酸エステル共重合体(A)中のエポキシ基と反応可能な官能基は、官能基含有モノマー(A3)由来のものであり、(メタ)アクリル酸エステル共重合体(A)中に適量存在するため、架橋の程度を好ましい範囲に制御することができる。これにより、得られる粘着剤層3において、エネルギー線照射前には粘着剤層3の凝集性を良好に維持し、エネルギー線照射後には基材2との密着性を十分に高くすることができる。
本実施形態における粘着剤層3を形成する粘着剤組成物は、上記の成分に加えて、光重合開始剤、帯電防止剤、染料や顔料などの着色材料、難燃剤、フィラー等の各種添加剤を含有してもよい。
粘着剤層3の厚さは、粘着シート1が使用される工程において適切に機能できる限り、限定されない。例えば粘着シート1がダイシングシートやバックグラインドシートとして使用される場合、粘着剤層3の厚さは、1〜80μmであることが好ましく、特に3〜60μmであることが好ましく、さらには5〜35μmであることが好ましい。粘着剤層3の厚さが1μm以上であると、粘着シート1の粘着力のばらつきを小さく抑えることができる。また、粘着剤層3の厚さが80μm以下であると、粘着剤層3を塗工用組成物の塗工により形成するときに、乾燥に時間がかかり過ぎることを回避することができる。
本実施形態に係る粘着シート1は、被着体に粘着剤層3を貼付するまでの間、粘着剤層3を保護する目的で、粘着剤層3の基材2側の面と反対側の面に、剥離シートが積層されていてもよい。剥離シートの構成は任意であり、フィルム自体が保護膜形成フィルム1に対し剥離性を有するプラスチックフィルム、およびプラスチックフィルムを剥離剤等により剥離処理したものが例示される。プラスチックフィルムの具体例としては、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステルフィルム、およびポリプロピレンやポリエチレン等のポリオレフィンフィルムが挙げられる。剥離剤としては、シリコーン系、フッ素系、長鎖アルキル系等を用いることができるが、これらの中で、安価で安定した性能が得られるシリコーン系が好ましい。剥離シートの厚さについては特に制限はないが、通常20〜250μm程度である。
粘着シート1のエネルギー線照射前およびエネルギー線照射後の粘着力は、粘着シート1の用途によって異なるが、例えば粘着シート1がダイシングシートやバックグラインドシートとして使用される場合、粘着シート1のエネルギー線照射前の粘着力は、500〜30000mN/25mmであることが好ましく、特に750〜22000mN/25mmであることが好ましく、さらには1000〜18000mN/25mmであることが好ましい。エネルギー線照射前の粘着力が上記の範囲内にあることで、加工中のワークを強固に保持することができ、また、チップ飛散の発生を抑制することができる。
粘着シート1の製造方法は、前述の粘着剤組成物から形成される粘着剤層3を基材2の一の面に積層できれば、詳細な方法は特に限定されない。一例を挙げれば、前述の粘着剤組成物、および所望によりさらに溶媒または分散媒を含有する塗工用組成物を調製し、基材1の一の面上に、ダイコーター、カーテンコーター、スプレーコーター、スリットコーター、ナイフコーター等によりその塗工用組成物を塗布して塗膜を形成し、当該塗膜を乾燥させることにより、粘着剤層3を形成することができる。塗工用組成物は、塗布を行うことが可能であればその性状は特に限定されず、粘着剤層3を形成するための成分を溶質として含有する場合もあれば、分散質として含有する場合もある。
本実施形態に係る粘着シート1をダイシングシートとして使用する場合の使用方法を以下に説明する。
アクリル酸ラウリル89.5質量部と、アクリル酸2−ヒドロキシエチル10質量部と、アクリル酸0.5質量部とを共重合し、アクリル系共重合体を得た。このアクリル系共重合体と、メタクリロイルオキシエチルイソシアネート(MOI)とを、MOIの反応量がアクリル系共重合体100g当たり12.1g(アクリル系共重合体中のアクリル酸2−ヒドロキシエチル単位100モル当たり95モル(95モル%))となるように反応させて、エネルギー線硬化性の(メタ)アクリル酸エステル共重合体(重量平均分子量:60万)を得た。
[(メタ)アクリル酸エステル共重合体]
LA:アクリル酸ラウリル
HEA:アクリル酸2−ヒドロキシエチル
AAc:アクリル酸
BA:アクリル酸n−ブチル
2−EHA:アクリル酸2−エチルヘキシル
iOA:アクリル酸イソオクチル
[架橋剤]
epoxy:ポリグリシジルアミン系化合物(三菱ガス化学社製,TETRAD−C)
TDI−TMP:トリレンジイソシアネートとトリメチロールプロパントリアクリレートとの付加物(トーヨーケム社製,BHS8515)
HDI−TMP:ヘキサメチレンジイソシアネートとトリメチロールプロパントリアクリレートとの付加物(トーヨーケム社製,Bxx4773)
(メタ)アクリル酸エステル共重合体を構成する各モノマーの割合、メタクリロイルオキシエチルイソシアネート(MOI)の反応量、ならびに架橋剤の種類および配合量を表1に示すように変更する以外、実施例1と同様にして粘着シートを製造した。なお、比較例1〜3で使用した架橋剤は、イソシアネート系架橋剤(TDI−TMPまたはHDI−TMP)であった。
実施例および比較例にて製造した粘着シートに対し、紫外線照射装置(リンテック社製:RAD−2000m/12)を用い、窒素雰囲気下にて粘着シートの基材側から紫外線(UV)照射(照度230mW/cm2,光量190mJ/cm2)を行った。その後、硬化した粘着剤層に対し、カッターナイフで縦横5mm角の碁盤目を400マス形成した。
実施例および比較例にて製造した粘着シートを幅25mm×長さ200mmに裁断し、これを試験片とした。シリコンミラーウエハ(直径8インチ,厚さ50μm)のミラー面に、1kg重の荷重を加えて粘着シートを貼付し、23℃、50%RHの雰囲気下に20分間放置した。その後、JIS Z0237;2000に準じ、万能型引張試験機(オリエンテック社製,TENSILON/UTM−4−100)を用いて、剥離速度300mm/分、剥離角度180°にて粘着シートの粘着力を測定し、エネルギー線照射前の粘着力(mN/25mm)とした。結果を表2に示す。
実施例および比較例にて製造した粘着シートを、23℃、50%RHの雰囲気下、シリコンミラーウエハ(直径8インチ,厚さ50μm)のミラー面に、貼付圧0.3MPa、貼付速度5mm/秒で粘着シートを貼付した。また、同じ貼付条件にて、上記粘着シートの周縁部にリングフレームを貼付した。そして、当該粘着シートを、リングフレームの外周に沿った形状に裁断し、これを評価サンプルとした。
2…基材
3…粘着剤層
Claims (8)
- 基材と、前記基材の少なくとも一方の面に積層された粘着剤層とを備えており、
前記粘着剤層は、エネルギー線硬化性の(メタ)アクリル酸エステル共重合体(A)と、エポキシ系架橋剤(B)とを含有する粘着剤組成物から形成されたものであり、
前記(メタ)アクリル酸エステル共重合体(A)は、
(メタ)アクリル酸アルキルエステルモノマー(A1)と、水酸基を有する水酸基含有モノマー(A2)と、エポキシ基と反応可能な官能基(水酸基を除く)を有する官能基含有モノマー(A3)とを共重合したアクリル系共重合体(AP)と、
水酸基と反応可能な官能基およびエネルギー線硬化性の炭素−炭素二重結合を有する硬化性基含有化合物(A4)と
を反応させて得られるものであり、
前記粘着剤組成物が、アンモニア、アルカリ性を示すアンモニウム塩、1級アミン、2級アミン、3級アミン、1分子中に複数のNを有するアミノ化合物および環式アミノ化合物を含有しない
ことを特徴とする粘着シート。 - 前記(メタ)アクリル酸エステル共重合体(A)は、前記硬化性基含有化合物(A4)に由来する硬化性基を、当該(メタ)アクリル酸エステル共重合体(A)が有する水酸基に対して、50モル%以上含有することを特徴とする請求項1に記載の粘着シート。
- 前記(メタ)アクリル酸エステル共重合体(A)全体の質量に占める前記(メタ)アクリル酸アルキルエステルモノマー(A1)由来の構造部分の質量の割合は、50〜99質量%であることを特徴とする請求項1または2に記載の粘着シート。
- 前記(メタ)アクリル酸アルキルエステルモノマー(A1)のアルキル基の炭素数は、6以上であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の粘着シート。
- 前記(メタ)アクリル酸エステル共重合体(A)全体の質量に占める前記官能基含有モノマー(A3)由来の構造部分の質量の割合は、0.1〜5質量%であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の粘着シート。
- 前記アクリル系共重合体(AP)全体の質量に占める前記水酸基含有モノマー(A2)由来の構造部分の質量の割合は、1〜25質量%であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の粘着シート。
- 前記基材は、オレフィン系炭化水素のみを重合単量体としたポリオレフィン系フィルムを主体とするものであることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の粘着シート。
- 前記粘着シートは、半導体加工用の粘着シートであることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載の粘着シート。
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