JP2008241377A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20110199480A1 (en) * 2009-07-09 2011-08-18 Camtek Ltd. Optical inspection system using multi-facet imaging
JP2011095148A (ja) * 2009-10-30 2011-05-12 Mec:Kk 欠陥検査装置
JP5563372B2 (ja) * 2010-05-20 2014-07-30 第一実業ビスウィル株式会社 外観検査装置
JP6067407B2 (ja) * 2013-02-20 2017-01-25 第一実業ビスウィル株式会社 検査装置
KR101525700B1 (ko) * 2013-12-09 2015-06-03 삼성전기주식회사 칩 부품의 외관 검사장치
KR101540885B1 (ko) 2014-07-29 2015-07-30 주식회사 엘지실트론 웨이퍼의 결함 측정장치
WO2017031710A1 (en) 2015-08-26 2017-03-02 Abb Schweiz Ag Object multi-perspective inspection apparatus and method therefor
CN107622963B (zh) * 2017-09-25 2019-11-01 武汉新芯集成电路制造有限公司 一种晶圆方向识别系统及晶圆传送盒
TWI838367B (zh) * 2018-05-01 2024-04-11 日商奈米系統解決股份有限公司 檢查裝置
IT201900016187A1 (it) * 2019-09-12 2021-03-12 Scm Group Spa Sistema di controllo per macchine bordatrici
EP3798621B1 (en) 2019-09-27 2022-11-23 SCHOTT Schweiz AG Apparatus for inspecting a pharmaceutical container
EP3797883B1 (en) 2019-09-27 2022-06-08 SCHOTT Schweiz AG Apparatus for inspecting a pharmaceutical container
EP3855175B1 (en) * 2020-01-23 2023-03-29 SCHOTT Pharma Schweiz AG Detection and characterization of defects in pharmaceutical cylindrical containers
JP7351273B2 (ja) * 2020-08-25 2023-09-27 株式会社Sumco 半導体ウェーハの割れの発生率低減方法
JP2024158608A (ja) * 2023-04-28 2024-11-08 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 撮像装置、基板観察装置、基板処理装置および撮像方法
US20250297969A1 (en) * 2024-03-22 2025-09-25 Tokyo Electron Limited Reflecting non-planar surfaces integrated with laser scan for poseidon tool integration
CN119511609B (zh) * 2024-11-20 2025-12-26 上海御微半导体技术有限公司 轮廓背光切换装置及检测设备

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5852551A (ja) * 1981-09-24 1983-03-28 Fuji Electric Co Ltd 固形剤外観検査装置における光学調整機構
JPS63133006A (ja) * 1986-11-26 1988-06-04 Bridgestone Corp レタ−タイヤの判別装置
JP2738300B2 (ja) * 1994-06-20 1998-04-08 白柳式撰果機株式会社 塊状青果物のカメラ選別機に用いる間接照明型多面撮影装置
JP3282786B2 (ja) * 1996-07-29 2002-05-20 東芝セラミックス株式会社 ウエハの形状認識装置
JPH1183749A (ja) * 1997-09-01 1999-03-26 Fujitsu Ltd 半導体検査装置
JP4385419B2 (ja) * 1998-11-30 2009-12-16 株式会社ニコン 外観検査方法及び外観検査装置
JP2001208694A (ja) * 2000-01-31 2001-08-03 Toshiba Corp 試料処理装置および試料処理方法、フォトマスクの製造方法
JP3941375B2 (ja) * 2000-10-26 2007-07-04 ソニー株式会社 基板周縁検査方法、電子基板の製造方法および基板周縁検査装置
KR100389129B1 (ko) * 2001-03-06 2003-06-25 삼성전자주식회사 멀티 펑션 웨이퍼 얼라이너
JP3433739B2 (ja) * 2001-05-18 2003-08-04 オムロン株式会社 照射装置およびその照射装置を使用した基板検査装置
US6633379B2 (en) * 2001-06-08 2003-10-14 Semiconductor 300 Gmbh & Co. Kg Apparatus and method for measuring the degradation of a tool
CN1260800C (zh) * 2001-09-19 2006-06-21 奥林巴斯光学工业株式会社 半导体晶片检查设备
JP3709426B2 (ja) * 2001-11-02 2005-10-26 日本エレクトロセンサリデバイス株式会社 表面欠陥検出方法および表面欠陥検出装置
JP3629244B2 (ja) * 2002-02-19 2005-03-16 本多エレクトロン株式会社 ウエーハ用検査装置
US6809808B2 (en) * 2002-03-22 2004-10-26 Applied Materials, Inc. Wafer defect detection system with traveling lens multi-beam scanner
JP4093460B2 (ja) * 2002-09-13 2008-06-04 Ｙｋｋ株式会社 複雑な形状をもつ物品の外観検査装置
US6947588B2 (en) * 2003-07-14 2005-09-20 August Technology Corp. Edge normal process
KR100579322B1 (ko) * 2003-11-28 2006-05-12 삼성코닝정밀유리 주식회사 유리기판의 커팅면 검사장치
US7280197B1 (en) * 2004-07-27 2007-10-09 Kla-Tehcor Technologies Corporation Wafer edge inspection apparatus
JP2006064975A (ja) * 2004-08-26 2006-03-09 Olympus Corp 顕微鏡および薄板エッジ検査装置
TWI388798B (zh) * 2004-11-30 2013-03-11 芝浦機械電子裝置股份有限公司 表面檢查裝置及表面檢查方法
JP4869590B2 (ja) * 2004-12-21 2012-02-08 オリンパス株式会社 画像処理装置、顕微鏡装置、検査装置および画像処理プログラム
JPWO2006118152A1 (ja) * 2005-04-27 2008-12-18 オリンパス株式会社 外観検査装置及び外観検査方法並びに外観検査装置に装着可能な周縁部検査ユニット
JP4663725B2 (ja) * 2005-08-10 2011-04-06 株式会社レイテックス 端部傷検査装置
WO2007120491A2 (en) * 2006-04-03 2007-10-25 Rudolph Technologies, Inc. Wafer bevel inspection mechanism
JP2008008636A (ja) * 2006-06-27 2008-01-17 Reitetsukusu:Kk 端部検査装置の校正方法

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