JP5563372B2 - 外観検査装置 - Google Patents
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Description
所定の搬送面に沿って検査対象物を搬送する搬送手段と、該搬送手段によって搬送される前記検査対象物の表面形状を検査する表面形状検査手段とを備えた外観検査装置であって、
前記表面形状検査手段は、前記搬送手段の近傍に配設され、帯状のスリット光を、前記搬送面に対して垂直に、且つその照射ラインが前記検査対象物の搬送方向と直交するように、前記検査対象物表面に照射するスリット光照射部と、
前記検査対象物表面に照射されたスリット光の画像を撮像するエリアセンサカメラと、
前記検査対象物表面に照射されたスリット光の反射光を、前記検査対象物の搬送方向に沿った下流側から受光して前記エリアセンサカメラに導く光学経路を有する第1光学機構及び、前記反射光を前記搬送方向に沿った上流側から受光して前記エリアセンサカメラに導く光学経路を有する第2光学機構と、
前記エリアセンサカメラにより撮像された2つの画像を基に、前記検査対象物表面の形状特徴を認識して該形状に関する適否を判定する形状判定部とを備え、
前記第1光学機構及び第2光学機構の各光学経路は、前記各反射光を、前記エリアセンサカメラの所定バンド幅の領域内の結像部において、エリアセンサカメラのラスター方向に横並びで結像させる経路であり、
前記エリアセンサカメラは、前記所定バンド幅の領域内の画像データを出力するように構成された外観検査装置に係る。
前記搬送方向と直交し且つ前記搬送面と平行な第1軸の軸方向に沿って配設された反射面を有し、前記検査対象物表面に照射されたスリット光の反射光を前記反射面に受光して反射する第1ミラーと、
前記搬送面と直交する第2軸の軸方向に沿って配設された反射面を有し、前記第1ミラーによって反射された光を受光して反射する第2ミラーと、
前記搬送方向に沿って配設された反射面を有し、前記第2ミラーによって反射された光を受光して反射し、該反射光を前記エリアセンサカメラに導く第3ミラーとの3つのミラーから構成すると良い。
前記供給部3は、多数の検査対象物Kが投入されるホッパ4、ホッパ4の下端部から排出される検査対象物Kに振動を付与して前進させる振動フィーダ5、振動フィーダ5の搬送終端から排出される検査対象物Kを滑落させるシュート6、水平回転し、シュート6から供給された検査対象物Kを一列に整列して排出する整列テーブル7、垂直面内で回転する円盤状の部材を有し、前記整列テーブル7から排出された検査対象物Kをこの円盤状の部材の外周面に吸着して搬送する回転搬送部8からなり、多数の検査対象物Kを一列に整列させて、順次前記直線搬送部10に受け渡す。
図3は、図1における矢視A−A方向の一部断面図であるが、この図に示すように、前記直線搬送部10は、所定の間隔で対向するように配置された側板11,12と、この側板11,12の上面に形成されたガイド溝に案内され、当該ガイド溝に沿って走行するエンドレスの丸ベルト13,14とを備える。
前記表面形状検査部20は、画像撮像部21、形状判定部50及び選別部60から構成される。
10 直線搬送部
20 表面形状検査部
21 画像撮像部
22 エリアセンサカメラ
23 スリット光照射器
30 第1光学機構
31 第1ミラー
32 第2ミラー
35 第3ミラー
40 第2光学機構
41 第1ミラー
42 第2ミラー
50 形状判定部
60 選別部
Claims (4)
- 所定の搬送面に沿って検査対象物を搬送する搬送手段と、該搬送手段によって搬送される前記検査対象物の表面形状を検査する表面形状検査手段とを備えた外観検査装置であって、
前記表面形状検査手段は、前記搬送手段の近傍に配設され、帯状のスリット光を、前記搬送面に対して垂直に、且つその照射ラインが前記検査対象物の搬送方向と直交するように、前記検査対象物表面に照射するスリット光照射部と、
前記検査対象物表面に照射されたスリット光の画像を撮像するエリアセンサカメラと、
前記検査対象物表面に照射されたスリット光の反射光を、前記検査対象物の搬送方向に沿った下流側から受光して前記エリアセンサカメラに導く光学経路を有する第1光学機構及び、前記反射光を前記搬送方向に沿った上流側から受光して前記エリアセンサカメラに導く光学経路を有する第2光学機構と、
前記エリアセンサカメラにより撮像された画像を基に、前記検査対象物表面の形状特徴を認識して該形状に関する適否を判定する形状判定部とを備え、
前記第1光学機構及び第2光学機構の各光学経路は、前記各反射光を、前記エリアセンサカメラの結像部の所定バンド幅の領域内において、エリアセンサカメラのラスター方向に横並びで結像させる経路であり、
前記エリアセンサカメラは、前記所定バンド幅の領域内の画像データを出力するように構成されていることを特徴とする外観検査装置。 - 前記第1光学機構及び第2光学機構は、
前記搬送方向と直交し且つ前記搬送面と平行な第1軸の軸方向に沿って配設された反射面を有し、前記検査対象物表面に照射されたスリット光の反射光を前記反射面に受光して反射する第1ミラーと、
前記搬送面と直交する第2軸の軸方向に沿って配設された反射面を有し、前記第1ミラーによって反射された光を受光して反射する第2ミラーと、
前記搬送方向に沿って配設された反射面を有し、前記第2ミラーによって反射された光を受光して反射し、該反射光を前記エリアセンサカメラに導く第3ミラーとから構成されることを特徴とする請求項1記載の外観検査装置。 - 前記第1光学機構及び第2光学機構の各第1ミラーは、それぞれ同じ仰角の反射光を受光するように構成されている請求項2記載の外観検査装置。
- 前記第1光学機構及び第2光学機構は、
前記第1軸と平行な軸回りに前記第1ミラーを回転させる第1角度調整部と、
前記第2軸と平行な軸回りに前記第2ミラーを回転させる第2角度調整部とをそれぞれ備えていることを特徴とする請求項2又は3記載の外観検査装置。
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