JP7026309B2 - 光学式外観検査装置、及びこれを用いた光学式外観検査システム - Google Patents
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Description
上記本発明の光学式外観検査装置において、撮影手段は、検査対象物を撮影して撮影映像を取得するものであり、各種の撮像素子を伴って構成される。特にこの撮影手段は、撮影した画像データを電子データとして取得できるものが望ましい。これは処理手段における画像解析処理を円滑に行う為である。かかる撮像素子としては、CMOSイメージセンサやCCDイメージセンサであってよい。特に、当該撮影手段がCMOSイメージセンサカメラの様に任意のライン毎に撮影できるカメラが望ましい。かかる任意のラインごとに撮影可能なカメラは、複数のフォトダイオードを一列に配置したフォトダイオード列を備えて構成する事ができ、このフォトダイオード列を複数設ける事で、処理手段は、複数のラインにおける画像データを取得することができる。一方、CCDイメージセンサ等の様に面状の撮影画像を取得するカメラであれば、検査対象物を撮影した面状の撮影画像から複数ラインで画像を抜き出して、解析対象となる画像データを取得する事ができる。
<処理手段の構成について>
処理手段は、前記撮影手段が撮影した撮影画像を取得すると共に、検査対象物に照射した光の強さが異なる領域からそれぞれ選択した複数ラインにおける画像データについて、色及び/又は明るさの変化を解析し、検査対象物における夫々の外観上の欠陥の有無を判断する装置である。この処理手段が解析する画像データは、撮影手段による撮影画像を直接使用する他、当該撮影画像を加工した画像であって良い。即ち、この処理手段は、撮影手段から撮影画像を取得し、取得した撮影画像を解析対象となる画像データとするか、又は取得した撮影画像について画像処理を行って作成した画像データについて、色及び/又は明るさの変化を解析し、検査対象物における外観上の欠陥を検査しても良い。よって、この処理手段は、当該解析・判断に必要な数値計算や情報処理、機器制御などを行う為、及び必要に応じて画像処理を行う為のCPU(Central Processing Unit)やメモリ等を伴って構成される。なお、撮影画像に対する画像処理としては、撮影画像から任意の領域の抽出処理、撮影画像の結合処理、及び明度、彩度、コントラスト等の補正処理を含む。
前記処理手段が解析する複数ラインの画像データは、検査対象物に照射した光の強さが異なる領域からそれぞれ選択された複数ラインの画像データである。この「検査対象物に照射した光」とは、当該検査対象物で反射した光、又は当該検査対象物を透過した光のことであり、前記複数ラインの画像データは、当該反射光又は透過光の強さが異なる領域から夫々選択される。かかる「検査対象物に照射した光」の強さは、検査対象物に向かう光(検査対象物に照射する光)によっても測定する事ができ、これは検査対象物における光の照射側の輝度を計測するか、単一色の検査対象物の反射光又は透過光の輝度を計測する事によって特定する事ができる。
前記処理手段は、上記のように「光の強さが異なる領域」、「照射中心領域、輪郭領域、及び非照射領域」、又は「高輝度領域、輝度変化領域、及び低輝度安定領域」において、夫々複数ラインにおける画像データを取得し、必要に応じて画像処理を行って、解析・判断する事により、検査対象物に付着した異物や、検査対象物の外観に出現している変色等の欠陥、検査対象物の外面におけるなだらかな凹凸欠陥、及びキズ・バリ等の急峻な凹凸欠陥等、異なる種類の様々な欠損を検査する事ができる。この時、夫々の領域から選択される複数ラインにおける画像データは、夫々のラインにおいて幅を異ならせることができ、また複数ラインにおける画像データの何れか又は全てのライン幅を任意に調整する事もできる。
上記のように、複数のライン毎に取得したライン状の画像を、各ラインごとに面画像に展開したものを画像データとして使用し、この画像データに基づいて、検査対象物における外観の欠陥を検査する場合には、前記撮影手段における撮影の為の走査は、検査時間を短縮する為に、1回で完了する事が望ましい。本発明においては、撮影手段を1回走査させるだけで、照明手段が光を照射している領域との関係で異なる位置(ライン)の画像データを取得できる事から、1回の走査で様々な種類の外観上の欠陥を検査する事ができる。
「最大輝度モード」は、走査方向に交差する向きで並んでいる画素列同士において、走査方向に並んだ画素同士で輝度が最大となる画素を抽出して、これを1ラインに合成した画像データを取得するモードである。このモードでは、明欠陥を対象とした最高輝度値で検査に使用する1ラインの画像データを生成する事ができる。
「最小輝度モード」は、前記走査方向に並んだ画素同士で輝度が最小となる画素を抽出して、これを1ラインに合成した画像データを取得するモードである。このモードでは、暗欠陥を対象とした最低輝度値で検査に使用する1ラインの画像データを生成する事ができる。
「平均輝度モード」は、走査方向に交差する向きで並んでいる画素列同士において、走査方向に並んだ画素同士の輝度の平均値を算出し、これを1ラインに合成した画像データを取得するモードである。このモードは各画素における輝度の平均を算出している事から、おおよそソフトフィルターを介したような処理画像を検査用の画像データとして取得する事ができる。
また、本発明にかかる光学式外観検査装置では、更に検査対象物を搬送する為の構成などを伴う事で、光学式外観検査システムとする事ができる。即ち、前記本発明にかかる光学式外観検査装置を用いて構成された光学式外観検査システムであって、更に、検査対象物を載せ置いて此れを搬送する検査対象物移動手段と、当該検査対象移動手段による検査対象物の移動速度又は移動距離を検出する移送検出手段とを備えており、前記処理手段が取得した撮影画像は、移送検出手段から取得した移動速度又は移動量に基づいて算出した撮影位置と関連付けて取得するように構成した光学式外観検査システムとする事ができる。
11 検査対象物移動手段
20 外観検査ステーション
30 検査ステーション
31 検出手段
40 搬出ステーション
50,150 光学式外観検査装置
51,151 撮影手段
52,152 照明手段
53 処理手段
54 移送検出手段
60 光学式外観検査システム
W 検査対象物
Claims (6)
- 検査対象物を撮影手段に対して相対的に移動させて走査しながら検査対象物を撮影した画像から外観上の欠陥の有無を判断する光学式外観検査装置に使用する撮影手段であって、
検査対象物において、照明手段が照射した光の強さが異なる領域(A1、A2、A3)を、検査対象物の走査方向に並んだ、走査方向と交差する向きに延伸する複数のライン状の画像(L1、L2、L3)で撮影する、エリアセンサからなる撮影部と、
撮影部が撮影した画像における複数のライン状の画像(L1、L2、L3)の夫々について、走査方向に交差する向きに延伸するライン状の画像(L1、L2、L3)ごとに、当該延伸するライン状の画像内に区画された走査方向に並んだ複数の領域(A1~D1、A2~D2、A3~D3、A4~D4、A5~D5、A6~D6、A7~D7、A8~D8、A9~D9)同士で明るさを比較した上で、この比較に基づいて、輝度が最大であるか、輝度が最小であるか、輝度の平均値からなるか、又は輝度が中間である、特定の領域(B1、C2、A3、B4、C5、D6、B7、C8、A9)を抽出し、この抽出した特定の領域(B1、C2、A3、B4、C5、D6、B7、C8、A9)を組み合わせて、1列の画像データ(B1+C2+A3+B4+C5+D6+B7+C8+A9)に合成することで、データ量を減じて検査スピードを速める画像処理部とからなり、
前記1列の画像データを合成する為の複数のライン状の画像(L1、L2、L3)は、撮影部が1回の撮影で取得した画像から、照明手段において照射している領域内(A1)、及び照明手段において照射している領域外(A3)の夫々の領域から選択して抽出されており、
前記撮影部は、検査対象物が移動する毎に多数回の撮影を行うことを特徴とする、光学式外観検査装置用の撮影手段。
- 検査対象物を撮影する、請求項1に記載の撮影手段と、
当該撮影手段が撮影した撮影画像を使用して、検査対象物における外観上の欠陥の有無を解析・判断する処理手段と
検査対象物に光を照射する照明手段とからなり、
当該処理手段は、撮影手段から撮影画像を取得すると共に、照明手段において照射している領域内(A1)、及び照明手段において照射している領域外(A3)の夫々の領域から選択した、走査方向に交差する向きに延伸する複数のライン状の画像(L1、L2、L3)の夫々から合成した1列の画像データ(B1+C2+A3+B4+C5+D6+B7+C8+A9)について、明るさの変化を解析し、検査対象物における夫々の外観上の欠陥の有無を判断する事を特徴とする、光学式外観検査装置。
- 前記走査方向に交差する向きに延伸する複数のライン状の画像(L1、L2、L3)は、照明手段によって光が照射されている領域の中心部分である照射中心領域(A1)、照明手段によって光が照射されている領域の輪郭領域(A2)、及び当該輪郭領域の近傍であって照明手段による光で照射されていない非照射領域(A3)の少なくとも何れか2つ以上の領域内で選択されている、請求項2に記載の光学式外観検査装置。
- 前記走査方向に交差する向きに延伸する複数のライン状の画像(L1、L2、L3)は、検査対象物に照射している光の輝度が最も高い高輝度領域(A1)、当該輝度が急激に変化している輝度変化領域(A2)、及び当該輝度変化位置よりも低い輝度でその変化が安定している低輝度安定領域(A3)の少なくとも何れか2つ以上の領域内で選択されている、請求項2に記載の光学式外観検査装置。
- 前記処理手段は、検査対象物を撮影手段に対して相対的に移動させて走査させることにより、走査方向に交差する向きに延伸する複数のライン状の画像(L1、L2、L3)において合成した1列の画像データ(B1+C2+A3+B4+C5+D6+B7+C8+A9)を取得し、これを夫々のライン状の画像(L1、L2、L3)ごとに結合して展開した複数の面画像について、明るさの変化を解析し、
当該処理手段における複数のライン状の画像(L1、L2、L3)は、撮影手段における1回の走査によって取得される、請求項2~4の何れか一項に記載の光学式外観検査装置。
- 請求項2~5の何れか一項に記載の光学式外観検査装置を用いて構成された光学式外観検査システムであって、
更に、検査対象物を載せ置いて此れを搬送する検査対象物移動手段と、当該検査対象物移動手段による検査対象物の移動速度又は移動距離を検出する移送検出手段とを備えており、
前記処理手段が取得した撮影画像は、移送検出手段から取得した移動速度又は移動量に基づいて算出した撮影位置と関連付けられている事を特徴とする、光学式外観検査システム。
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