JP6970549B2 - 欠陥検査システム及び欠陥検査方法 - Google Patents
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Description
Claims (6)
- 検査対象に光を照射する光源と、
前記光源から前記検査対象に照射されて前記検査対象を透過又は反射した前記光による2次元画像を離散時間ごとに撮像する撮像部と、
前記光源及び前記撮像部に対して前記検査対象を搬送方向に相対的に搬送する搬送部と、
前記撮像部により撮像された前記2次元画像の画像データを処理する画像処理部と、
を備え、
前記撮像部は、
前記2次元画像における前記搬送方向と合致する方向に輝度が変化する前記2次元画像を撮像し、
前記画像処理部は、
前記2次元画像を前記搬送方向に並列する複数のラインに分割し、前記撮像部により前記離散時間ごとに撮像された前記2次元画像のそれぞれにおける同じ位置の前記ラインを時系列順に並列させたライン分割画像の前記画像データに処理し、前記ライン分割画像のそれぞれの前記ラインを時系列順に並列させる時刻の範囲をずらすことにより、前記ライン分割画像のそれぞれが前記検査対象の同じ位置を示すように位置合わせを行うライン分割処理部と、
前記ライン分割処理部により処理された2以上の前記ライン分割画像に含まれる欠陥の種別の識別に関する機械学習の結果を蓄積したデータに基づいて前記検査対象の欠陥の種別を識別する欠陥種別識別部と、
を有する、欠陥検査システム。 - 前記欠陥種別識別部は、輝度が10%以上異なる2つの前記ライン分割画像に含まれる欠陥の種別の識別に関する機械学習の結果を蓄積したデータに基づいて前記検査対象の欠陥の種別を識別する、請求項1に記載の欠陥検査システム。
- 前記光源と前記検査対象との間に位置し、前記光源から前記検査対象に照射される前記光の一部を遮光することにより、前記撮像部で離散時間ごとに撮像される前記2次元画像に明部と暗部とを形成する遮光体をさらに備え、
前記搬送部は、
前記光源、前記遮光体及び前記撮像部に対して前記検査対象を前記明部と前記暗部との境界線に交わる前記搬送方向に相対的に搬送し、
前記欠陥種別識別部は、前記2次元画像における前記明部の位置の前記ラインを時系列順に並列させたライン分割画像と、前記2次元画像における前記暗部の位置の前記ラインを時系列順に並列させたライン分割画像とに含まれる欠陥の種別の識別に関する機械学習の結果を蓄積したデータに基づいて前記検査対象の欠陥の種別を識別する、請求項1又は2に記載の欠陥検査システム。 - 欠陥検査システムの光源から検査対象に光を照射する照射工程と、
前記欠陥検査システムの撮像部により、前記照射工程により前記光源から前記検査対象に照射されて前記検査対象を透過又は反射した前記光による2次元画像を離散時間ごとに撮像する撮像工程と、
前記欠陥検査システムの搬送部により、前記光源及び前記撮像部に対して前記検査対象を搬送方向に相対的に搬送する搬送工程と、
前記欠陥検査システムの画像処理部により、前記撮像工程で撮像された前記2次元画像の画像データを処理する画像処理工程と、
を備え、
前記撮像工程では、
前記2次元画像における前記搬送方向と合致する方向に輝度が変化する前記2次元画像を撮像し、
前記画像処理工程では、
前記2次元画像を前記搬送方向に並列する複数のラインに分割し、前記撮像工程で前記離散時間ごとに撮像された前記2次元画像のそれぞれにおける同じ位置の前記ラインを時系列順に並列させたライン分割画像の前記画像データに処理し、前記ライン分割画像のそれぞれの前記ラインを時系列順に並列させる時刻の範囲をずらすことにより、前記ライン分割画像のそれぞれが前記検査対象の同じ位置を示すように位置合わせを行うライン分割処理工程と、
前記ライン分割処理工程で処理された2以上の前記ライン分割画像に含まれる欠陥の種別の識別に関する機械学習の結果を蓄積したデータに基づいて前記検査対象の欠陥の種別を識別する欠陥種別識別工程と、
を有する、欠陥検査方法。 - 前記欠陥種別識別工程では、輝度が10%以上異なる2つの前記ライン分割画像に含まれる欠陥の種別の識別に関する機械学習の結果を蓄積したデータに基づいて前記検査対象の欠陥の種別を識別する、請求項4に記載の欠陥検査方法。
- 前記照射工程では、
光源と検査対象との間に位置し、前記光源から前記検査対象に照射される光の一部を遮光する遮光体により、前記撮像工程で離散時間ごとに撮像される前記2次元画像に明部と暗部とを形成し、
前記搬送工程では、
前記光源、前記遮光体及び前記撮像部に対して前記検査対象を前記明部と前記暗部との境界線に交わる前記搬送方向に相対的に搬送し、
前記欠陥種別識別工程では、
前記2次元画像における前記明部の位置の前記ラインを時系列順に並列させたライン分割画像と、前記2次元画像における前記暗部の位置の前記ラインを時系列順に並列させたライン分割画像とに含まれる欠陥の種別の識別に関する機械学習の結果を蓄積したデータに基づいて前記検査対象の欠陥の種別を識別する、請求項4又は5に記載の欠陥検査方法。
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