JP2011223233A - ラインセンサカメラおよびこれを備えた撮像装置 - Google Patents

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【課題】表面の凹凸を有する撮像対象物を鮮明に撮像することができるラインセンサカメラおよびこれ備えた撮像装置を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明のラインセンサカメラ10は、対物レンズ24と、対物レンズ24の結像深度内に配設され、複数の撮像素子29から成るラインスキャンセンサ28をスキャン方向に複数組連設した撮像部27と、を備え、複数組のラインスキャンセンサ27は、相互の結像位置が異なるように配設されていることを特徴とする。
【選択図】図3

Description

本発明は、複数の撮像素子から成るラインスキャンセンサを有したラインセンサカメラおよびこれを備えた撮像装置に関する。
従来、この種の技術として、ラインセンサ(ラインスキャンセンサ)を有したCCDカメラ(ラインセンサカメラ)を、撮像対象物である光学パネルの上方に設置し、光学パネルの表示面に焦点を合わせた状態で、CCDカメラと光学パネルとを相対移動させて、ラインセンサの撮像エリアを光学パネルの表示面に沿って走査して、光学パネルを撮像する撮像手段および撮像方法が知られている(特許文献1参照)。当該撮像手段は、ライン状の各撮像エリアに対応する連続した撮像画像を取り込んで合成させることで、エリア状の撮像画像を生成しての光学パネルを撮像する。
特開閉2006−242821号公報
しかし、上記の撮像手段は、サインセンサカメラの移動開始位置における撮像エリアで撮像対象物の表示面に焦点を合わせた状態で、すなわち、焦点位置が深度方向において一定に固定されたまま、撮像エリアを走査して撮像するため、撮像対象物の浮きやたわみにより表示面に凹凸が生じていた場合、撮像(生成)されたエリア状の撮像画像に焦点が合わずにぼやけた部分が発生してしまうという問題があった。また、全てのエリアを鮮明に撮像するためには、焦点調整処理を何度も繰り返さなければならないという問題もある。
本発明は、上記の点に鑑み、表面の凹凸を有する撮像対象物を鮮明に撮像することができるラインセンサカメラおよびこれ備えた撮像装置を提供することを課題とする。
本発明のラインセンサカメラは、対物レンズと、対物レンズの結像深度内に配設され、複数の撮像素子から成るラインスキャンセンサをスキャン方向に複数組連設した撮像部と、を備え、複数組のラインスキャンセンサは、相互の結像位置が異なるように配設されていることを特徴とする。
上記の構成によれば、結像位置が異なる複数のラインスキャンセンサにより、撮像部が有するライン状の撮像エリアにおいて、焦点位置の異なった撮像画像を取り込むことができる。また、ラインセンサカメラと撮像対象物とを相対移動させることで、ライン状の撮像エリアを走査させて、焦点位置の異なった複数のエリア状の撮像画像を取り込むことができる。よって、焦点が合った撮像データを抽出・合成することにより、表面に凹凸を持った撮像対象物の表面全体を、鮮明に撮像することができる。また、焦点調整処理を何度も行うことなく、容易に、表面に凹凸を持った撮像対象物を、鮮明に撮像することができる。
この場合、複数組のラインスキャンセンサは、それぞれの受光面を対物レンズの光軸に対し傾いた面内に沿わせて配設されていることが好ましい。
上記の構成によれば、複数の撮像素子を平面状に連ね、所定の角度だけ傾けることで撮像部を構成できるため、焦点位置の異なった撮像画像を取り込むことができるラインセンサカメラを簡単な構成で製造することができる。また、対物レンズの結像深度内において、各ラインスキャンセンサの結像位置が連続的に異なるように配置されているため、深度方向の凹凸に対して感度良く撮像することができる。
また、複数組のラインスキャンセンサは、それぞれ受光面を対物レンズの光軸に直交させた状態で階段状に配設されていることが好ましい。
この場合、各ラインスキャンセンサは、TDI方式で読み出される複数のセンサアレイで構成されていることが好ましい。
上記の構成によれば、同一の撮像エリアに対して多重スキャンし、各焦点位置の撮像画像を高感度に得ることができるため、全体としてより高感度なラインセンサカメラを実現することができる。
また、対物レンズは、光軸がスキャン方向に傾くように斜めに配設されていることが好ましい。
上記の構成によれば、撮像部を既存のままの構成で、対物レンズの傾きにより、焦点位置の異なる複数の撮像画像を得ることができるため、簡単な構成で、表面に凹凸を持った撮像対象物を、鮮明に撮像可能なラインセンサカメラを実現することができる。
これらの場合、撮像素子は、CCDセンサまたはCMOSセンサで構成されていることが好ましい。
上記の構成によれば、小型で感度のよいラインセンサカメラを提供することができる。
本発明の撮像装置は、上記のラインセンサカメラと、複数組のラインスキャンセンサの撮像結果を、撮像素子単位で順に読み出す画像読出し手段と、読み出した複数の単位撮像画像のうちから合焦画像を抽出する合焦画像抽出手段と、抽出した合焦画像を合成して合焦撮像画像を生成する合焦撮像画像生成手段と、を備えたことを特徴とする撮像装置。
上記の構成によれば、撮像対象物の表面に凹凸が生じていても、焦点位置の異なった単位撮像画像のうちから焦点の合った合焦画像を抽出・合成するため、全体として鮮明な撮像画像を得ることができる。
撮像装置を模式的に表した斜視図である。 第1実施形態に係るラインセンサカメラの模式断面図である。 第1実施形態に係るラインセンサカメラの模式断面図である。 第1実施形態に係る撮像部および撮像データの模式図である。 第2実施形態に係るラインセンサカメラの模式断面図である。 第2実施形態に係る撮像部の模式図である。 第3実施形態に係るラインセンサカメラの模式断面図である。
以下、添付の図面を参照し、本発明の一実施形態に係るラインセンサカメラおよびこれを備えた撮像装置について説明する。図1に示すように、撮像装置1は、撮像ターゲット2の上方に配設され、ライン状の撮像エリアAを有するラインセンサカメラ10と、ラインセンサカメラ10を撮像ターゲット2の上方で移動させるカメラ移動機構11と、ラインセンサカメラ10およびカメラ移動機構11を統括制御する制御装置12と、を備えている。
撮像ターゲット2は、リールツーリールで送られるシート状の印刷媒体であり、撮像ターゲット2の被撮像エリア3が図外のシート送り機構により送られて、吸着ステージにセットされる。ラインセンサカメラ10による撮像処理が終了すると、シート送り機構より撮像済みの被撮像エリア3が吸着ステージ上から送り出され、未撮像の被撮像エリア3が吸着ステージに新たに送り込まれる。
カメラ移動機構11は、図外の支軸に支持され、X軸方向(水平方向)に延設されたカメラレール13と、カメラレール13にスライド自在に設けられたカメラスライダ14と、を有している。ラインセンサカメラ10は、カメラスライダ14に搭載され、カメラ移動機構11は、カメラスライダ14をカメラレール13に沿ってスライドさせることにより、ラインセンサカメラ10をX軸方向(スキャン方向)に移動させる。ラインセンサカメラ10は、直下に撮像ターゲット2の幅方向にライン状の撮像エリアAを有しており、カメラ移動機構11は、この撮像エリアAが、被撮像エリア3の前端から後端までを走査するように、ラインセンサカメラ10を移動させる。
制御装置12は、カメラ移動機構11の駆動を制御する移動制御部15と、ラインセンサカメラ10の駆動を制御する撮像制御部16と、ラインセンサカメラ10により撮像された撮像画像を処理する画像処理部17と、を有している。
移動制御部15は、カメラ移動機構11のカメラスライダ14を駆動させ、ラインセンサカメラ10の移動開始・停止タイミング、移動スピードを制御する。撮像制御部16は、ラインセンサカメラ10の焦点調整処理、スキャンタイミング、スピード等を制御する。制御装置12は、移動制御部15および撮像制御部16によりラインセンサカメラ10の移動とスキャン動作を同期制御して、ラインセンサカメラ10が撮像ターゲット2の被撮像エリア3上を移動中にラインセンサカメラ10を駆動させることで、連続スキャン動作を行う。
画像処理部17は、ラインセンサカメラ10によりスキャン動作と並行して出力された電気信号を受け取り、画素(撮像素子29)単位の単位撮像データ31(単位撮像画像)を読み出す。読み出した複数の単位撮像データ31を合成することにより、撮像ターゲット2の被撮像エリア3に対応した撮像データ32を生成する。本発明では特に、焦点位置の異なった複数の撮像データ32の中から、焦点の合った単位合焦データ33を抽出・合成(図4参照、詳しくは後述する)して合焦撮像画像を生成する。
なお、撮像装置1は、ラインセンサカメラ10を固定し、撮像ターゲット2を移動させてスキャンする形態としてもよい。すなわち、ラインセンサカメラ10と、撮像ターゲット2とが相対的に移動する構成であればよい。
図2ないし図4を参照し、第1実施形態に係るラインセンサカメラ10について説明する。図2は、紙面を貫通する方向をX軸方向とした模式断面図であり、図3は、紙面を貫通する方向をY軸方向とした模式断面図である。ラインセンサカメラ10は、撮像ターゲット2からの入射光を集光・結像する光学ユニット21と、光学ユニットにより結像された像を撮像する撮像ユニット22と、を有している。光学ユニット21は、鏡筒23と、鏡筒23内に設けられた結像レンズ24(対物レンズ)と、結像レンズ24を光軸方向に昇降させるレンズ昇降機構25と、を有している。結像レンズ24は、撮像ターゲット2からの入射光を集光して結像する。レンズ昇降機構25は、アクチュエーター等で構成され、撮像ターゲット2とラインセンサカメラ10との距離に応じて、結像レンズ24を光軸方向に昇降させることで、結像レンズ24の結像位置(焦点位置)を調節する。
撮像ユニット22は、撮像ケース26と、結像レンズ24と同軸上で、撮像ケース26内の結像保障範囲B(結像深度)に配置された撮像部27と、光電変換部(図示省略)と、を有している。撮像部27は、ラインスキャンセンサ28が複数連ねて構成され、結像レンズ24によって結像された結像光を受光する。ラインスキャンセンサ28は、CCDセンサもしくはCMOSセンサで構成された撮像素子29を複数直線状に連ねて構成されている。光電変換部は、順次、撮像素子29が受光した光量に応じた電気信号を制御装置12の画像処理部17へ出力する。
図3および図4に示すように、撮像部27は、複数のラインスキャンセンサ28がX軸方向に連ねられ、さらに、撮像部27の受光面30が結像レンズ24の光軸に対して、X軸方向に傾けて配置されている。撮像部27の受光面30の傾きは、撮像ケース26内の結像保障範囲B内に収められている。すなわち、各ラインスキャンセンサ28が、結像保障範囲B内において、結像位置の異なる位置に配置されているため、ある程度の鮮明度を保った焦点位置の異なる撮像データ32を得ることができる。
図2および図3に示すように、撮像エリアAは、撮像部27(ラインスキャンセンサ28)に対応した撮像ターゲット2上の領域であり、ラインセンサカメラ10および撮像ターゲット2が共に停止状態でスキャンされたときに撮像可能なエリアである。また、結像保障範囲B(結像深度)とは、撮像ケース26内において結像レンズ24の結像位置を中心として設定された所定の範囲であり、結像レンズ24による結像光がこの範囲内で撮像(受光)された撮像データ32は所定の明るさ、鮮明度が保障されるものとする。本発明の撮像部27は、複数のラインスキャンセンサ28が結像保障範囲B内において、光軸方向に位置ずれして配置されている。よって、撮像エリアAは、垂直方向に幅(撮像可能深度範囲C)を持ち、焦点位置の異なった撮像データ32を撮像することができる。
ここで、撮像装置1の撮像処理について説明する。図4は、撮像部27および撮像部27が撮像する撮像データ32の関係を示したイメージ図である。撮像装置1(制御装置12)は、ラインセンサカメラ10(撮像部27)を撮像開始位置に移動させ、この撮像開始位置において撮像ターゲット2の表面に焦点が合うように焦点調整処理を行う。このとき、結像レンズ24の結像位置は、光軸方向において中心に配置されたラインスキャンセンサ28の受光面30に調節され、上下に位置ずれした他のラインスキャンセンサ28は、結像保障範囲B内に収まるようになっている。
この状態で、ラインセンサカメラ10を駆動させながら撮像終了位置までX軸方向に移動させ、被撮像エリア3をスキャンする。このとき、画像処理部17は、ラインセンサカメラ10のスキャン動作と並行して、スキャン済みの単位撮像データ31を読み出す。各ラインスキャンセンサ28は、それぞれ焦点位置の異なった部分をスキャンし、スキャン終了時には、画像処理部17は図示のように積層された複数の撮像データ32を得る。
撮像ターゲット2の表面に凹凸があった場合、仮想的に積層された焦点位置の異なる複数の撮像データ32において、撮像ターゲット2の表面位置が焦点位置と一致する単位撮像データ31が、焦点の合った単位合焦データ33(合焦画像)となる。画像処理部17は、複数の単位撮像データ31の中から、単位合焦データ33を抽出する。そして、抽出した単位合焦データ33を合成して合焦撮像画像を生成する。
このように、ラインセンサカメラ10において、複数のラインスキャンセンサ28を、結像保障範囲Bにおいて、結像位置が異なるように配置することで、焦点位置が異なった複数の撮像データ32を撮像することができ、画像処理部17の処理により、表面に凹凸のある撮像対象ターゲット2の表面を鮮明に撮像することができる。また、本実施形態においては、複数のラインスキャンセンサ28を水平に連ねたものを結像レンズ24の光軸に対して傾けることで、容易に上記の構成を得ることができる。また、光軸方向において、各ラインスキャンセンサ28の結像位置が連続的に異なるように配置されているため、深度方向の凹凸に対して感度良く撮像することができる。
また、抽出した単位合焦データ33を解析して、各単位合焦データ33の焦点深度を算出することで、被撮像エリア3における撮像ターゲット2の表面の凹凸の高さを計測することも可能である。
なお、請求項における「画像読出し手段」「合焦画像抽出手段」「合焦撮像画像生成手段」とは、撮像部27および画像処理部17を指す。
図5を参照し、第2実施形態に係るラインセンサカメラ10について説明する。同図(a)は、紙面を貫通する方向をX軸方向とし、(b)は、紙面を貫通する方向をY軸方向とした模式断面図である。同図(b)に示すように、撮像部27は、受光面30が結像レンズ24の光軸に対して直交するように形成されたラインスキャンセンサ28が3つX軸方向に連ねられ、さらに、各ラインスキャンセンサ28は、撮像ケース26内の結像保障範囲B内で、階段状に構成されている。
図6(a)は、本実施形態に係るラ撮像部27の上面図であり、(b)は、Y軸方向における側面図である。同図(a)に示すように、撮像部27を構成する各ラインスキャンセンサ28は、他の実施形態と異なり、撮像素子29を複数ライン(図示では3ライン)水平に連ねて構成されている。そして、各ラインスキャンセンサ28は、いわゆるTDI(Time Delay Integration)方式で撮像データ32が読み出される。すなわち、撮像エリアAの1画素に対して3回の多重キャンを行い、各焦点位置において、より明るく鮮明な撮像データ32を得ることができる。このラインスキャンセンサ28を結像位置が異なるように配置することで、全体としてより高感度なラインセンサカメラ10を実現することができる。
図7を参照し、第3実施形態に係るラインセンサカメラ10について詳述する。同図(a)は、紙面を貫通する方向をX軸方向とし、(b)は、紙面を貫通する方向をY軸方向とした模式断面図である。撮像部27は、複数(図示では3つ)のラインスキャンセンサ28がX軸方向に水平に連ねて構成されている。また、結像レンズ24は、各ラインスキャンセンサ28の焦点位置が異なるように光軸に対してX軸方向に傾けて鏡筒23内に取り付けられている。これにより、焦点位置の異なる撮像データ32を得ることができる。
この構成によれば、撮像部27を既存のままの構成で、結像レンズ24を傾倒させるだけで、焦点位置の異なる複数の撮像データ32を得ることができるため、簡単な構成で、表面に凹凸を持った撮像ターゲット2を、鮮明に撮像可能なラインセンサカメラ10を実現することができる。
これまで説明してきたラインセンサカメラ10および撮像装置1によれば、結像位置が異なる複数のラインスキャンセンサ28により、焦点位置の異なった撮像データ32を撮像することができる。よって、焦点が合った単位合焦データ33を抽出・合成することにより、表面に凹凸を持った撮像対象物の表面全体を、鮮明に撮像することができる。また、焦点調整処理を何度も行うことなく、容易に、表面に凹凸を持った撮像ターゲット2を、鮮明に撮像することができる。
1:撮像装置 10:ラインセンサカメラ 12:制御装置 17:画像処理部 24:結像レンズ 27:撮像部 28:ラインスキャンセンサ 29:撮像素子 30:受光面 31:単位撮像データ 32:撮像データ 33:単位合焦データ

Claims (7)

  1. 対物レンズと、
    前記対物レンズの結像深度内に配設され、複数の撮像素子から成るラインスキャンセンサをスキャン方向に複数組連設した撮像部と、を備え、
    複数組の前記ラインスキャンセンサは、相互の結像位置が異なるように配設されていることを特徴とするラインセンサカメラ。
  2. 複数組の前記ラインスキャンセンサは、それぞれの受光面を前記対物レンズの光軸に対し傾いた面内に沿わせて配設されていることを特徴とする請求項1に記載のラインセンサカメラ。
  3. 複数組の前記ラインスキャンセンサは、それぞれ受光面を前記対物レンズの光軸に直交させた状態で階段状に配設されていることを特徴とする請求項1に記載のラインセンサカメラ。
  4. 前記各ラインスキャンセンサは、TDI方式で読み出される複数のセンサアレイで構成されていることを特徴とする請求項3に記載のラインセンサカメラ。
  5. 前記対物レンズは、光軸がスキャン方向に傾くように斜めに配設されていることを特徴とする請求項1に記載のラインセンサカメラ。
  6. 前記撮像素子は、CCDセンサまたはCMOSセンサで構成されていることを特徴とする請求項1ないし5に記載のラインセンサカメラ。
  7. 請求項1ないし6のいずれかに記載のラインセンサカメラと、
    複数組の前記ラインスキャンセンサの撮像結果を、前記撮像素子単位で順に読み出す画像読出し手段と、
    読み出した複数の単位撮像画像のうちから合焦画像を抽出する合焦画像抽出手段と、
    抽出した合焦画像を合成して合焦撮像画像を生成する合焦撮像画像生成手段と、を備えたことを特徴とする撮像装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN106662537A (zh) * 2015-01-29 2017-05-10 株式会社Decsys 光学式外观检查装置以及使用该装置的光学式外观检查系统

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