JP3222155B2 - 自動焦点調整装置 - Google Patents

自動焦点調整装置

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JP3222155B2 JP18636191A JP18636191A JP3222155B2 JP 3222155 B2 JP3222155 B2 JP 3222155B2 JP 18636191 A JP18636191 A JP 18636191A JP 18636191 A JP18636191 A JP 18636191A JP 3222155 B2 JP3222155 B2 JP 3222155B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は顕微鏡等の自動焦点調整
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、顕微鏡等を中心に構成されるシス
テムにおいては、TVカメラによる顕微鏡像の観察が増
加している。そして、それらのシステムにおける自動焦
点調整装置は、2次元イメ−ジセンサとしてのTVカメ
ラのビデオ信号を利用したものと、専用の焦点検出用イ
メ−ジセンサを使用したものに大別される。
【0003】前者のシステムの一例として特開昭64−
54408号がある。これは山登り方式を改善したもの
であり、顕微鏡等を中心に構成されるシステムにおいて
は、図4に示すような構成を有する。また、後者のシス
テムは図5に示すような構成を有し、TVカメラとこれ
に接続されたモニタとで構成される顕微鏡TVカメラシ
ステムと、イメ−ジセンサ部と制御部とから構成される
自動焦点調整装置とはそれぞれ独立したシステムとして
構成されている。このようなシステムの自動焦点調整装
置としての先行例としては、特開昭53−50851号
と特開昭55−106421号がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】前記したTVカメラの
ビデオ信号を利用した山登り方式のオートフォーカスシ
ステムにおいては、(1)合焦度検出に際し、合焦位置
が前ピン、後ピン側のどちらにあるかが、一ケ所で得ら
れる情報からは判断できず何ケ所かの合焦度検出値より
方向を判断するので合焦位置を検出するまでの所要時間
が比較的長い。(2)TVカメラにはモニタに映像を良
好に写すためにCCDを使用した撮像部が構成されてい
るが、CCDを使用したTVカメラはオートフォーカス
用としての観点から見ると以下のような問題を有してい
る。 (a)顕微鏡等の高精細画像の全空間周波数にわたる情
報をサンプリングしきれない場合がある。
【0005】(b)開口率が低く、暗い物体に対するオ
ートフォーカスの場合、出力信号のS/Nレベルをオー
トフォーカスに使用するのに十分確保できない場合があ
る。 (c)フレーム周波数(フィールド周波数)が一定であ
り、このことは高速のオ−トフォ−カスに適さない。
【0006】また、前記した専用の焦点検出用イメ−ジ
センサを使用したシステムは、一般に光路差方式と呼ば
れているが、調整のしやすさ、コストの面から1次元イ
メ−ジセンサが使用される場合が多い。しかしながら、
1次元イメ−ジセンサを用いた場合、(a)1次元イメ
−ジセンサ部以外に物体が存在する場合、1次元イメ−
ジセンサに物体像が結像せず合焦不能となる。(b)1
次元イメ−ジセンサの画素配列方向に、物体像が空間周
波数成分をもたない時は合焦不能となる等の欠点があ
る。
【0007】本発明の自動焦点調整装置はこのような課
題に着目してなされたもので、その目的とするところ
は、1次元イメ−ジセンサの出力と2次元イメ−ジセン
サの出力とを適宜選択的に使用することによって、1次
元イメ−ジセンサの高速性と2次元イメ−ジセンサの汎
用性とを最大限に生かすことができる自動焦点調整装置
を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、第1の発明に係る自動焦点調整装置は、変換可能
な対物レンズを含む顕微鏡の結像光学系と、この結像光
学系の予定結像面の近傍の2つの物体像を撮像する1次
元イメージセンサと、結像面の物体像を撮像する2次元
イメージセンサと、前記1次元及び2次元イメージセン
サに物体像を投影するための光学系と、前記2次元イメ
ージセンサからの出力信号を受ける映像信号入力部と、
前記1次元イメージセンサからの出力信号と前記2次元
イメージセンサからの出力信号に基づいて前記結像光学
系の合焦度を検出して焦点調整を行う制御手段とを具備
し、前記制御手段は、前記対物レンズの倍率が中低倍の
場合は前記1次元イメージセンサからの出力信号に基づ
いて前記結像光学系の合焦度を検出して焦点調節を行な
い、前記1次元イメージセンサからの出力信号では合焦
度検出が困難な高倍対物レンズの場合は前記2次元イメ
ージセンサからの出力信号に基づいて焦点調節を行なう
ようにする。また、第2の発明に係る自動焦点調整装置
は、複数の検鏡法を実行可能な顕微鏡の結像光学系と、
この結像光学系の予定結像面の近傍の2つの物体像を撮
像する1次元イメージセンサと、結像面の物体像を撮像
する2次元イメージセンサと、前記1次元及び2次元イ
メージセンサに物体像を投影するための光学系と、前記
2次元イメージセンサからの出力信号を受ける映像信号
入力部と、前記1次元イメージセンサからの出力信号と
前記2次元イメージセンサからの出力信号に基づいて前
記結像光学系の合焦度を検出して焦点調整を行う制御手
段とを具備し、前記制御手段は、前記顕微鏡の検鏡法に
応じて前記2次元イメージセンサからの出力信号または
前記1次元イメージセンサからの出力信号のいずれか一
方に基づいて前記結像光学系の合焦度を検出して焦点調
節を行なう。また、第3の発明に係る自動焦点調整装置
は、第2の発明において、前記制御手段は前記検鏡法が
蛍光観察法の場合に前記2次元イメージセンサからの出
力信号に基づいて焦点調節を行なうようにする。また、
第4の発明に係る自動焦点調整装置は、第1または第2
の発明において、高倍対物レンズの場合、前記2次元イ
メージセンサからの出力信号に基づく山 登り方式によっ
て前記結像光学系の合焦度を検出する。
【0009】
【作用】すなわち、第1の発明では、結像光学系の対物
レンズの倍率が中低倍の場合は前記1次元イメージセン
からの出力信号に基づいて焦点調節を行ない、前記1
次元イメージセンサからの出力信号では合焦度検出が困
難な高倍対物レンズの場合は前記2次元イメージセンサ
からの出力信号に基づいて焦点調節を行なうようにす
る。また、第2の発明では、顕微鏡の検鏡法に応じて2
次元イメージセンサまたは1次元イメージセンサのいず
れか一方の出力信号に基づいて焦点調節を行なうように
する。
【0010】
【実施例】図2は本発明の自動焦点調整装置を顕微鏡に
適用した場合のシステム構成図である。図において、本
発明の自動焦点調整装置は2次元イメ−ジセンサ部(T
Vカメラ)30と、1次元イメージセンサ部31と、映
像信号入力部35と制御部34と、ステージ上下駆動部
33とから構成される。図2では、1次元イメージセン
サ部31と制御部34とが別個に構成されているが、こ
れらを同一ユニットとしても何ら変わりはない。
【0011】顕微鏡32に取り付けられた2次元イメ−
ジセンサ部30の出力信号は映像信号入力部35に入力
されており、同時にモニタ36にも映像信号入力部35
を介して出力されている。図2ではステージ上下駆動部
33によってステ−ジを上下に移動して顕微鏡32の結
像光学系と物体との相対距離を可変しているが、顕微鏡
32の結像光学系、又はその一部を上下駆動しても何ら
変わりはない。以下に、図1を参照して本発明の第1の
実施例にかかる自動焦点調整装置の詳細な構成を説明す
る。
【0012】1は結像光学系であり、31は予定結像面
近傍の2つの物体像を撮像する1次元イメージセンサで
ある。投影光学系4a,4bは物体からの光線を受けて
1次元イメージセンサ部31に2つの物体像を投影する
ものであり、ハーフミラーとミラー、又はプリズムなど
によって構成される。補正回路5は、1次元イメージセ
ンサ部31の出力について、固定パターン雑音、暗電流
成分などを補正する回路であり、第1タイミングコント
ロ−ラ10からのクロック信号に同期して各画素に対し
て補正を行う。可変ゲインアンプ6は第1タイミングコ
ントロ−ラ10からのコントロール信号によってゲイン
をコントロールする。第1A/Dコンバータ7は第1タ
イミングコントロ−ラ10からのクロック信号に同期し
てA/D変換を行う。ドライバ8は第1タイミングコン
トロ−ラ10からのクロック信号を受けて1次元イメー
ジセンサ部31をドライブ可能な信号に変換して1次元
イメージセンサ部31に供給する。
【0013】メモリ回路9は高速で読み出される映像信
号を一時蓄積するものである。蓄積動作は第1タイミン
グコントロ−ラ10からのクロック信号に同期して行わ
れる。
【0014】投影光学系4cは物体からの光線を分割し
て2次元イメ−ジセンサ部30に投射する。2次元イメ
−ジセンサ部30からの映像信号は映像信号入力部35
に入力され以下の処理がなされる。すなわち、この映像
信号はゲート回路16、同期分離回路14に入力され
る。ゲート回路はTVカメラの撮像面中の合焦度評価用
サンプリングエリアを決定するためのものである。そし
てサンプリングエリア内の映像信号はHPF17によっ
て高域の周波数成分のみとなり、次の検波回路18で振
幅検波される。振幅検波された信号は第2A/Dコンバ
−タ19によってA/D変換され、データラッチ積算回
路20によって、1フィールド分の合焦度評価値が生成
される。
【0015】第2タイミングコントローラ15は制御部
34よりサンプリングエリア設定のためのデータを受
け、同時に、同期分離回路14より水平垂直同期信号を
受けてサンプリングエリア設定のためのゲート制御信号
を生成しゲート回路16に送る。 又、同時に、第2A
/Dコンバータ19、データラッチ積算回路20、さら
に2次元イメ−ジセンサ部30を駆動するためのドライ
バ−21にタイミング信号を送る。そして、1フィール
ド分の焦点評価値が生成されると、第2タイミングコン
トローラ15より制御部34に割込み信号を出力する。
【0016】制御部34は、第1、第2タイミングコン
トローラ10,15の制御や、メモリ回路9より画像デ
ータを読み出し、合焦評価の演算を行ったり、データラ
ッチ積算回路20よりTVカメラ入力による合焦評価値
を読み込み、モータドライバー12に制御信号を送りモ
ータ13によって焦点調整を行う。
【0017】すなわち、制御部34は映像信号入力部3
5に映像信号がきていない場合は、1次元イメージセン
サ部31に入力される画像情報をもとに、自動焦点調整
を行う。このとき、1次元イメージセンサ部31には前
ピン、後ピン像が入力されており、光電変換されたイメ
ージセンサ出力は補正回路5によって暗電流ノイズなど
がキャンセルされ、可変ゲインアンプ6によって前ピン
像出力、後ピン像出力のバランスを調整する。このよう
に前処理が施された信号を用いて、前ピン、後ピン信号
それぞれから隣接画素差分の和などの合焦評価値を求
め、それらの差より自動焦点調整を行う。
【0018】一方、映像信号入力部35に2次元イメ−
ジセンサ(TVカメラ)30からの映像信号が入力され
ている場合は、最初のステップとして映像信号入力部3
5に映像信号がきていない場合と同様に、1次元イメー
ジセンサ部31の出力によって自動焦点調整を行う。そ
して、その結果、合焦不能となった場合は、第2ステッ
プとして映像信号入力部35に入力される2次元の映像
情報を使って自動焦点調整を行う。これより、最初のス
テップで自動合焦調整が終了した場合は最も高速に合焦
動作を完了することができるとともに、1次元イメージ
センサ部31上に対象物体が結像しない場合や、1次元
イメージセンサ部31上の対象物体の情報が非常に少な
い場合でも、第2ステップを実行することによって自動
合焦ができるようになる。
【0019】また、上記した実施例において、1次元イ
メ−ジセンサからの評価値でデフォ−カス方向を判断
し、2次元イメ−ジセンサによってデフォ−カス量を判
断してもよい。図3は本発明の第2の実施例の構成図で
あり、映像信号入力部の構成をデジタル化し高機能にし
たものである。
【0020】図3において、図1と同様のゲート回路1
6を通過したサンプリングエリア内の映像信号は第2タ
イミングコントローラ15からのタイミング信号に応答
して第2A/Dコンバータ19によってA/D変換さ
れ、DSP用メモリ24に画像データとして、蓄積され
る。DSP(デジタルシグナルプロセッサ)22は、第
2タイミングコントローラ15からのタイミング信号に
応答して画像データの蓄積を認識し、DSP用メモリ2
4よりデータをロードし、合焦度の評価値を演算する。
【0021】制御部34は、デュアルポートRAM23
を介して、DSP22が演算した合焦度評価値をロード
する。第1実施例とは異なり、2次元の画像データがD
SP用メモリ24に蓄積されるので、映像信号の走査方
向のみではなく、縦、横、斜め方向の画像の空間周波数
成分について、コントラストなどの評価ができることに
なる。
【0022】これによって、第1実施例の2ステップ方
式で合焦動作を行った場合、2ステップ目で、物体像が
空間周波数成分をもたず1次元イメ−ジセンサで合焦が
困難である物体でも合焦可能となる。なぜなら、第1実
施例では2次元イメ−ジセンサ(TVカメラ)30の走
査方向と1次元イメ−ジセンサ31のピッチ方向がほぼ
一致しているからである。
【0023】以下に、本発明の第3実施例を説明する。
第3実施例においては、顕微鏡の対物倍率が変換された
場合や、検鏡法が変えられる場合などについての適用例
であり、その構成は第1実施例と同様である。
【0024】顕微鏡の対物倍率が低倍〜高倍にわたって
変化されうる場合、前ピン、後ピン用のセンサー間の光
路差は一種類で対応するのは困難であり、低〜中倍用
に、光路差を設定し、高倍では山登りサーチ方式を行う
ことが、オートフォーカスの適用範囲を広げる一つの解
決策であると考えられる。よって高倍においては正確に
結像面にあるTVカメラの出力信号をもとに合焦動作を
行い、低〜中倍ではイメージセンサの出力を使用するこ
とが有効である。又、検鏡法によって標本分布の特性が
顕著なものがあり、例えば、蛍光検鏡で標本分布が非常
に粗い場合は、最初から映像信号を使ってオートフォー
カスをかけることによって、第1、第2実施例の2ステ
ップ方式で行った場合の第1ステップにおける合焦不能
によるロスタイムを軽減できる。
【0025】以上の説明から明らかなように、本発明の
実施例によれば、光路差方式の自動焦点調整装置に映像
信号入力を可能とすることにより、以下のような効果が
ある。
【0026】(1) 光路差方式ではセンサとして1次
元イメ−ジセンサが用いられることが多いが、例えば、
a)1次元イメ−ジセンサ上に物体像がないと合焦不能
となったり、b)1次元イメ−ジセンサの画素配列方向
に物体像が空間周波数成分をもたないとき合焦不能とな
るといった従来の問題点を解決することができる。
【0027】(2) 一般に1次元イメ−ジセンサなど
は可視光線の受光が中心であるので、可視域外の波長を
受光する場合、センサーとしては、安定動作は望めな
い。しかしながら、不可視画像を可視化するTVカメラ
システムの出力を本装置の映像信号入力に入力すれば、
例えば赤外線や紫外線などによる不可視画像に対しても
合焦動作が可能となる。
【0028】
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、1
次元イメ−ジセンサの出力と2次元イメ−ジセンサの出
力とを適宜選択的に使用することによって、1次元イメ
−ジセンサの高速性と2次元イメ−ジセンサの汎用性と
を最大限に生かすことができる自動焦点調整装置を提供
することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例にかかる自動焦点調整装置
の構成図。
【図2】本発明の自動焦点調整装置を顕微鏡に適用した
場合のシステム構成図。
【図3】本発明の第2実施例にかかる自動焦点調整装置
の構成図。
【図4】従来の自動焦点調整装置を適用した場合のシス
テム構成図。
【図5】従来の自動焦点調整装置を適用した場合のシス
テム構成図。
【符号の説明】 30…2次元イメ−ジセンサ部(TVカメラ部)、31
…1次元イメ−ジセンサ部、32…顕微鏡、33…ステ
−ジ上下駆動部、34…制御部、35…映像信号入力
部、36…モニタ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02B 7/28 - 7/40 G02B 21/06 - 21/36 H04N 5/222 - 5/257

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 変換可能な対物レンズを含む顕微鏡の結
    像光学系と、 この結像光学系の予定結像面の近傍の2つの物体像を撮
    像する1次元イメージセンサと、 結像面の物体像を撮像する2次元イメージセンサと、 前記1次元及び2次元イメージセンサに物体像を投影す
    るための光学系と、 前記2次元イメージセンサからの出力信号を受ける映像
    信号入力部と、 前記1次元イメージセンサからの出力信号と前記2次元
    イメージセンサからの出力信号に基づいて前記結像光学
    系の合焦度を検出して焦点調整を行う制御手段とを具備
    し、 前記制御手段は、前記対物レンズの倍率が中低倍の場合
    は前記1次元イメージセンサからの出力信号に基づいて
    前記結像光学系の合焦度を検出して焦点調節を行ない、
    前記1次元イメージセンサからの出力信号では合焦度検
    出が困難な高倍対物レンズの場合は前記2次元イメージ
    センサからの出力信号に基づいて焦点調節を行なうよう
    にしたことを特徴とする自動焦点調整装置。
  2. 【請求項2】 複数の検鏡法を実行可能な顕微鏡の結像
    光学系と、 この結像光学系の予定結像面の近傍の2つの物体像を撮
    像する1次元イメージセンサと、 結像面の物体像を撮像する2次元イメージセンサと、 前記1次元及び2次元イメージセンサに物体像を投影す
    るための光学系と、 前記2次元イメージセンサからの出力信号を受ける映像
    信号入力部と、 前記1次元イメージセンサからの出力信号と前記2次元
    イメージセンサからの出力信号に基づいて前記結像光学
    系の合焦度を検出して焦点調整を行う制御手段とを具備
    し、 前記制御手段は、前記顕微鏡の検鏡法に応じて前記2次
    元イメージセンサからの出力信号または前記1次元イメ
    ージセンサからの出力信号のいずれか一方に基づいて前
    記結像光学系の合焦度を検出して焦点調節を行なうよう
    にしたことを特徴とする自動焦点調整装置。
  3. 【請求項3】 前記制御手段は、前記検鏡法が蛍光観察
    法の場合に前記2次元イメージセンサからの出力信号に
    基づいて焦点調節を行なうようにしたことを特徴とする
    請求項2記載の自動焦点調整装置。
  4. 【請求項4】 前記高倍対物レンズの場合、前記2次元
    イメージセンサからの出力信号に基づく山登り方式によ
    って前記結像光学系の合焦度を検出することを特徴とす
    る請求項1または2記載の自動焦点調整装置。
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