KR101540885B1 - 웨이퍼의 결함 측정장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 웨이퍼의 손상을 방지하는 동시에 웨이퍼의 상/하면과 측면에 결함을 동시에 측정 가능한 웨이퍼의 결함 측정장치에 관한 것이다.
본 발명은 웨이퍼의 하면에 공기를 분사하여 웨이퍼를 부양시키는 하부 블로어; 상기 하부 블로어에 대해 승강 가능하게 구비되고, 웨이퍼의 상면에 공기를 분사하여 웨이퍼를 고정시키는 상부 블로어; 상기 상부 블로어 상측에 구비되고, 웨이퍼의 상면에 오염을 감지하는 상부 오염측정부; 상기 하부 블로어 하측에 구비되고, 웨이퍼의 하면에 오염을 감지하는 하부 오염측정부; 및 상기 상/하부 블로어 사이에 구비되고, 웨이퍼의 측면에 오염을 감지하는 측면 오염측정부;를 포함하는 웨이퍼의 결함 측정장치를 제공한다.

Description

웨이퍼의 결함 측정장치{Measuring device of wafer defects}
본 발명은 웨이퍼의 접촉에 의한 오염을 방지하는 동시에 웨이퍼의 상/하면과 측면에 결함을 동시에 측정 가능한 웨이퍼의 결함 측정장치에 관한 것이다.
일반적으로 웨이퍼는 여러 단계의 가공을 거치게 되는데, 각 공정이 진행되는 단계에서 웨이퍼에 오염, 크랙, 스크래치 등과 같은 결함이 발생될 수 있다.
웨이퍼의 표면 결함은 디바이스 공정에서 결함 발생 및 수율 악화 등의 악영향을 미칠 수 있으므로 웨이퍼 제조 공정 중에 다양한 웨이퍼 검사를 실시한다.
종래에 웨이퍼의 결함은 육안으로 검사되었으나, 육안 검사는 신뢰성이 떨어질 뿐 아니라 추가적인 웨이퍼 오염이 발생될 수 있기 때문에 별도의 장치에 의해 웨이퍼의 결함을 자동으로 검사하고 있다.
한국공개특허 제2010-0042340호에는 반도체 웨이퍼 후면 검사 장치가 개시되어 있는데, 중앙부가 오픈되고 반도체 웨이퍼 후면의 에지면을 지지하는 링 형상의 스테이지를 포함하도록 구성된다.
한국공개특허 제2004-0012404호에는 웨이퍼의 이면을 검사하는 장비에 채용되는 웨이퍼 지지체가 개시되어 있는데, 웨이퍼 스테이지 상으로 돌출되어 웨이퍼의 가장 자리 부위를 지지하는 스테이지 핀을 포함하도록 구성된다.
그러나, 종래 기술에 따른 웨이퍼의 결함 측정장치는 웨이퍼의 측면 또는 하면을 지지하기 때문에 웨이퍼의 측면 또는 하면에서 오염을 유발할 수 있으며, 웨이퍼의 결함 검사 과정에서 측정 오류가 발생하는 문제점이 있다.
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 웨이퍼의 접촉에 의한 오염을 저감시킬 수 있는 웨이퍼의 결함 측정장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 웨이퍼의 상/하면과 측면에서 동시에 결함을 측정할 수 있는 웨이퍼의 결함 측정장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명은 웨이퍼의 하면에 공기를 분사하여 웨이퍼를 부양시키는 하부 블로어; 상기 하부 블로어에 대해 승강 가능하게 구비되고, 웨이퍼의 상면에 공기를 분사하여 웨이퍼를 고정시키는 상부 블로어; 상기 상부 블로어 상측에 구비되고, 웨이퍼의 상면에 오염을 감지하는 상부 오염측정부; 상기 하부 블로어 하측에 구비되고, 웨이퍼의 하면에 오염을 감지하는 하부 오염측정부; 및 상기 상/하부 블로어 사이에 구비되고, 웨이퍼의 측면에 오염을 감지하는 측면 오염측정부;를 포함하는 웨이퍼의 결함 측정장치를 제공한다.
본 발명에 따른 웨이퍼의 결함 측정장치는 웨이퍼의 상/하면을 공기를 분사하는 상/하부 블로어를 구비함으로써, 웨이퍼를 부양 및 고정시킨 상태에서 웨이퍼의 결함을 측정할 수 있기 때문에 웨이퍼의 상/하면과 접촉을 없앨 수 있어 웨이퍼의 오염을 방지할 수 있고, 나아가 웨이퍼의 불량률을 줄일 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명에 따른 웨이퍼의 결함 측정장치는 웨이퍼의 오염을 감지하기 위하여 상부 오염측정부와 하부 오염측정부 및 측면 오염측정부를 상/하부 블로어와 간섭 없이 구비함으로써, 웨이퍼를 부양 및 고정시킨 상태에서 웨이퍼의 상/하면과 측면에서 동시에 결함을 측정할 수 있기 때문에 웨이퍼 전체에서 결함을 신속하게 감지할 수 있고, 나아가 웨이퍼의 생산성을 높일 수 있는 이점이 있다.
도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼의 결함 측정장치가 도시된 사시도.
도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼의 결함 측정장치가 도시된 측면도.
도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼의 결함 측정장치가 도시된 평면도.
도 4는 본 발명에 따른 웨이퍼의 결함 측정장치에 적용된 공기의 분사압을 제어하는 구조가 도시된 도면.
도 5는 도 4에 적용된 하부 블로어 구조의 일예가 도시된 도면.
도 6은 도 4에 적용된 상부 블로어 구조의 일예가 도시된 도면.
도 7은 본 발명에 따른 웨이퍼의 결함 측정장치에 적용된 웨이퍼의 노치 지지구조가 도시된 도면.
도 8은 도 7에 적용된 노치 그리퍼 구조의 일예가 도시된 도면.
도 9는 본 발명에 따른 웨이퍼의 결합 측정장치에 적용된 스토퍼가 도시된 도면.
도 10a 내지 도 10d는 본 발명에 따른 웨이퍼의 결함 측정장치의 작동 일예가 도시된 도면.
이하에서는, 본 실시예에 대하여 첨부되는 도면을 참조하여 상세하게 살펴보도록 한다. 다만, 본 실시예가 개시하는 사항으로부터 본 실시예가 갖는 발명의 사상의 범위가 정해질 수 있을 것이며, 본 실시예가 갖는 발명의 사상은 제안되는 실시예에 대하여 구성요소의 추가, 삭제, 변경 등의 실시변형을 포함한다고 할 것이다.
도 1 내지 도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼의 결함 측정장치가 도시된 사시도이다.
본 발명에 따른 웨이퍼의 결함 측정장치는 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 웨이퍼(W)의 상/하면에 공기를 분사시키는 상/하부 블로어(110,120)와, 웨이퍼(W)의 상/하면과 측면에서 오염을 감지하는 상/하부 오염측정부(130,140) 및 측면 오염측정부(150)와, 웨이퍼(W)의 승강을 안내하는 승강 가이드부(160)와, 웨이퍼(W)의 노치를 감지하는 노치 측정 카메라(170)와, 웨이퍼(W)의 노치를 잡아주는 노치 그리퍼(180)와, 웨이퍼의 노치 반대편을 반경 방향으로 지지하는 스토퍼(190)를 포함하도록 구성된다.
상기 하부 블로어(110)는 웨이퍼(W)의 하면에 공기를 분사시킴으로써, 웨이퍼(W)를 부양시키기 위하여 구비된다.
실시예에서, 상기 하부 블로어(110)는 웨이퍼(W)의 직경보다 큰 링 형상으로 형성된 하부 유로(111)와, 상기 하부 유로(111)의 원주 방향으로 일정 간격을 두고 구비된 하부 분사구(111h)로 이루어질 수 있으며, 상기 하부 유로(111)는 고정된 형태로 구성된다.
이때, 상기 하부 블로어(110)는 웨이퍼(W)의 하면을 안정적으로 지지하기 위하여 웨이퍼의 중심(C)과 에지(E) 사이의 중간인 1/2 지점에 공기를 분사하도록 구성된다.
일예로, 상기 하부 유로(111)의 내주면을 경사진 형태로 구성하거나, 상기 하부 분사구(111h)의 각도를 경사진 형태로 구성할 수 있으며, 한정되지 아니한다.
상기 상부 블로어(120)는 웨이퍼(W)의 상면에 공기를 분사시킴으로써, 부양된 웨이퍼(W)를 고정시키기 위하여 구비된다.
실시예에서, 상기 상부 블로어(120)는 웨이퍼(W)의 직경보다 큰 링 형상으로 형성된 상부 유로(121)와, 상기 상부 유로(121)에 공기를 공급하는 공급 유로(122)와, 상기 상부 유로(121)의 원주 방향으로 일정 간격을 두고 구비된 하부 분사구(121h)로 이루어질 수 있으며, 상기 상부 유로(121)는 상하 방향으로 승강 가능한 형태로 구성된다.
이때, 상기 상부 블로어(110)도 상기 하부 블로어와 마찬가지로 웨이퍼(W)의 상면을 안정적으로 눌러주기 위하여 웨이퍼의 중심(C)과 에지(E) 사이의 중간인 1/2 지점에 공기를 분사하도록 구성된다.
일예로, 상기 상부 유로(121)의 내주면을 경사진 형태로 구성하거나, 상기 상부 분사구(121h)의 각도를 경사진 형태로 구성할 수 있으며, 한정되지 아니한다.
상기와 같은 상/하부 블로어(110,120)는 웨이퍼(W)를 수평하게 부양 및 고정시키기 위하여 공기압을 제어하게 되는데, 이러한 구성은 하기에서 보다 상세히 설명하기로 한다.
상기 상부 오염측정부(130)는 웨이퍼(W)의 상면 전체를 촬영할 수 있는 카메라 형태로써, 상기 상부 블로어(120)의 상측에 이동 가능한 형태로 구비되고, 상기 하부 오염측정부(140)는 웨이퍼(W)의 하면 전체를 촬영할 수 있는 카메라 형태로써, 상기 하부 블로어(110)의 하측에 이동 가능한 형태로 구비된다.
실시예에서, 상기 상/하부 오염측정부(130,140)는 Area CCD 또는 Area CMOS camera가 사용될 수 있으며, 이에 한정되지 아니한다.
상기 측면 오염측정부(151,152)는 웨이퍼(W)의 측면을 촬영할 수 있는 두 개의 카메라로써, 상기 측면 오염측정부(151,152)는 웨이퍼의 원주 방향을 따라서 이동 가능한 형태로 구비된다.
실시예에서, 상기 측면 오염측정부(151,152)는 CCD Line Scan camera가 사용될 수 있으며, 이에 한정되지 아니한다.
상기 승강 가이드부(160)는 웨이퍼(W)가 내측에 수용될 수 있도록 웨이퍼(W)의 직경보다 큰 원통 형상으로써, 공기를 분사시켜 웨이퍼(W)를 부양시키더라도 정해진 범위 내에서 이탈되는 것을 방지하기 위하여 구비된다.
이때, 상기 승강 가이드부(160) 외측에 상기 측면 오염측정부(151,152)가 구비되는데, 상기 측면 오염측정부(151,152)에 의해 웨이퍼(W)의 측면을 측정할 수 있도록 상기 승강 가이드부(160)의 원주 방향을 따라 형성된 별도의 측정 공간(h1)이 구비된다.
상기 노치 감지부(170)와 노치 그리퍼(180)는 상기 스토퍼(190)와 서로 반대 방향에 구비되며, 상기 노치 그리퍼(180)와 스토퍼(190)는 웨이퍼(W)의 측면을 서로 반대 방향에서 최소한의 면적으로만 접촉하도록 구성되는데, 이러한 구성은 하기에서 보다 상세히 설명하기로 한다.
도 4 내지 도 6은 본 발명에 따른 웨이퍼의 결함 측정장치에 적용된 공기의 분사압을 제어하기 위한 상/하부 블로어의 일예가 도시된 도면이다.
상기 상/하부 블로어(110,120)는 도 4에 도시된 바와 같이 상기 상/하부 유로(111,121)에 공급되는 공기의 분사압을 제어하는 상/하부 레귤레이터(112,123)와, 상기 상/하부 레귤레이터(112,123)의 작동을 제어하기 위한 컨트롤러와, 상기 컨트롤러에 웨이퍼의 상/하면의 위치를 감지하여 전송하는 상/하부 리미트 센서(115,125)를 더 포함하도록 구성된다.
따라서, 상기 상/하부 리미트 센서(115,125)에 의해 웨이퍼의 승강 위치가 감지되면, 상기 컨트롤러는 웨이퍼의 승강 위치를 고려하여 상기 상/하부 레귤레이터(115,125)의 작동을 제어하여 상기 상/하부 유로(111,121)에 공급되는 공기의 분사압을 제어함으로써, 웨이퍼를 상기에서 설명한 측면 오염측정부와 수평한 위치로 부양 및 고정시킬 수 있으며, 상기 승강 가이드부(160)에 의해 웨이퍼가 수직 방향으로 이동되더라도 수평 방향으로 이탈되는 것을 방지할 수 있다.
그런데, 최근 웨이퍼의 직경이 300mm, 450mm 등과 같이 커질수록 상기 상/하부 유로(111,121)의 직경도 커지기 때문에 상기 상/하부 유로(111,121)에서 공기가 주입되는 부분과 거리가 멀어질수록 상기 상/하부 분사구(111h,121h)를 통하여 분사되는 공기압이 낮아질 수 있으며, 이로 인하여 웨이퍼가 기울어질 수 있다.
이러한 문제점을 보완하기 위하여 상/하부 블로어(110,120)는 상기 상/하부 유로(110,120)를 원주 방향으로 구획된 복수개의 유로 유닛 형태로 구성하고, 상기 상/하부 레귤레이터(112,123)를 각각의 유로 유닛에 공급되는 공기의 분사압을 개별적으로 제어하는 형태로 구성할 수 있다.
보다 상세하게, 상기 상부 블로어(110)는 도 5에 도시된 바와 같이 상부 유로를 원주 방향으로 구획한 복수개의 상부 유로 유닛(111a,111b,111c,111d)과, 각각의 상부 유로 유닛(111a,111b,111c,111d)으로 공급되는 공기의 분사압을 제어하는 복수개의 상부 레귤레이터(112a,112b,112c,112d)로 구성될 수 있다.
실시예에서, 상기 상부 유로 유닛들(111a,111b,111c,111d)은 4개로 구성되며, 각각의 상부 유로 유닛들(111a,111b,111c,111d)은 3~4개의 분사구들(111h)을 포함하도록 구획될 수 있는데, 하나의 상부 유로 유닛(111a,111b,111c,111d)에 포함된 분사구들(111h)에서는 동일한 공기압의 공기가 분사될 수 있도록 나누어지는 것이 바람직하다.
또한, 상기 하부 블로어(120)도 상기 상부 블로어와 마찬가지로 도 6에 도시된 바와 같이 복수개의 하부 유로 유닛(121a,121b,121c,121d)과, 복수개의 하부 레귤레이터(123a,123b,123c,123d)로 구성될 수 있다.
실시예에서, 상기 하부 유로 유닛들(121a,121b,121c,121d)도 4개로 구성되며, 각각의 하부 유로 유닛들(121a,121b,121c,121d)도 3~4개의 분사구들(121h)을 포함하도록 구획될 수 있다.
상기와 같이 구성된 상/하부 블로어(110,120)가 기울어진 웨이퍼를 수평하게 제어하는 과정을 살펴보면, 다음과 같다.
상기에서 설명된 상/하부 리미트 센서(115,125 : 도 4에 도시)에 의해 웨이퍼의 기울어진 방향 및 기울어진 정도를 고려하여 컨트롤러가 각각의 상/하부 레귤레이터(112a~112d,123a~123d)의 공기압을 제어하면, 각각의 상/하부 레귤레이터(112a~112d,123a~123d)는 각각의 상/하부 유로 유닛(111a~111d,121a~121d)으로 공급되는 공기압을 서로 다르게 제어함으로써, 상기 상/하부 분사구들(111h,121h)에서 분사되는 공기에 의해 웨이퍼를 수평한 위치에서 부양 및 고정시킬 수 있다.
일예로, 측면 오염측정부와 수평한 위치를 기준으로 웨이퍼의 특정 지점이 하향으로 기울어지면, 웨이퍼의 특정 지점에 위치한 하부 유로 유닛으로 공급되는 공기압을 높이거나, 웨이퍼의 특정 지점에 위치한 상부 유로 유닛으로 공급되는 공기압을 낮추도록 제어할 수 있다.
도 7 내지 도 9는 본 발명에 따른 웨이퍼의 결함 측정장치에 적용된 웨이퍼의 측면을 지지하는 구조의 일예가 도시된 도면이다.
웨이퍼를 상기에서 설명한 상/하부 블로어 사이에 로딩할 때에 웨이퍼를 보다 안정적으로 지지하기 위하여 웨이퍼의 측면에 구비된 노치와 그 반대편을 지지하도록 구성되는데, 이를 위하여 노치 측정 카메라 및 노치 그리퍼와, 스토퍼가 구비된다.
도 7에 도시된 바와 같이 노치 측정 카메라(170)와 노치 그리퍼(180)는 상기에서 설명한 승강 가이드부 내주면에 상/하측에 구비된다.
상기 노치 측정 카메라(170)는 로봇암에 의해 로딩되는 웨이퍼의 노치를 측정한 다음, 웨이퍼의 측정된 노치 위치를 고려하여 로봇암은 웨이퍼의 노치가 상기 노치 그리퍼(180)에 맞물리도록 동작한다.
상기 노치 그리퍼(180)는 도 8에 도시된 바와 같이 웨이퍼의 노치(N)를 최소한의 면적만 접하도록 구성되는데, 커버부(181)와, 완충 재질의 완충부(182)로 구성된다.
상기 커버부(181)는 측면이 'ㄷ' 형태로 구성되는데, 상면부(181a)와, 하면부(181b)와, 측면부(181c)로 이루어지며, 상기 완충부(182)를 수용할 수 있는 형태로 구성된다.
상기 완충부(182)는 상기 커버부(181) 내측에 구비된 형태로써, 직접 웨이퍼와 맞닿더라도 충격을 완화할 수 있도록 완충 재질로 구성되며, 상기 커버부(181)와 마찬가지로 상면부(182a)와, 하면부(182b)와, 측면부(182c)로 이루어진다.
이때, 상기 상/하면부(182a,182b)는 평판 형상으로 구성되지만, 상기 측면부(182c)는 웨이퍼의 측면과 직접 맞닿는 면적을 최소화하기 위하여 볼록하게 라운드진 형상으로 구성되는 것이 바람직하다.
상기 스토퍼(190)는 도 9에 도시된 바와 같이 웨이퍼(W)의 노치와 반대편을 최소한의 면적만 접하도록 구성되는데, 접촉부(191)와, 스프링부(192)와, 공압 제어기(193)로 구성된다.
상기 접촉부(191)는 직접 웨이퍼(W)의 노치 반대편과 접촉하는 부재로써, 상기 스프링부(192)와 공압 제어기(193)에 의해 웨이퍼(W)의 반경 방향으로 완충 가능하게 지지되고, 다양한 직경의 웨이퍼(W)를 지지하도록 구성될 수 있다.
도 10a 내지 도 10d는 본 발명에 따른 웨이퍼의 결함 측정장치의 작동 일예가 도시된 도면이다.
도 10a에 도시된 바와 같이 상기 상부 블로어(110)가 상승하고, 로봇암에 의해 웨이퍼(W)가 상기 상/하부 블로어(110,120) 사이에 로딩된다.
도 10b에 도시된 바와 같이 상기 노치 측정 카메라에 의해 웨이퍼의 노치(N)가 측정되면, 로봇암은 웨이퍼(W)를 내려 웨이퍼의 노치(N)가 상기 노치 그리퍼(180)에 그립되도록 하고, 웨이퍼(W)의 반대편이 상기 스토퍼에 의해 완충 지지되도록 한다.
이때, 웨이퍼의 노치(N) 측면과 접촉하는 상기 노치 그리퍼(180)의 측면부(182c)가 라운드지기 때문에 웨이퍼(W)의 접촉에 의한 오염을 최소화할 수 있으며, 보다 안정적으로 웨이퍼(W)를 지지할 수 있다.
도 10c에 도시된 바와 같이 상기 하부 블로어(110)의 하부 분사구(111h)를 통하여 웨이퍼(W)의 하면에 공기를 분사하면, 웨이퍼(W)가 부양되는데, 상기 승강 가이드부(160)에 의해 안내됨에 따라 이탈되지 않는다.
이때, 상기 하부 분사구들(111h)은 웨이퍼(W)의 하면 중심과 에지 사이의 중간 지점으로 공기를 분사시키기 때문에 안정적으로 웨이퍼(W)를 부양시킬 수 있다.
물론, 웨이퍼(W)가 상기 노치 그리퍼와 스토퍼에 의해 지지되는 동시에 상기 하부 블로어(120)에 의해 부양되는 동안, 로봇암은 웨이퍼(W)와 분리된 다음, 빠져나간다.
또한, 상기 상부 블로어(120)가 하강하면서 상기 상부 분사구(121h)를 통하여 웨이퍼(W)의 상면에 공기를 분사하면, 웨이퍼(W)가 상기 상/하부 블로어(110,120)에서 분사되는 공기압에 의해 부양된 상태에서 고정된다.
이때, 웨이퍼(W)는 상기 측면 오염측정부(151,152)와 수평한 위치에서 부양 및 고정되는데, 상기에서 자세히 설명한 바와 같이 상/하부 리미트 센서에 의해 감지된 신호에 따라 상기 상/하부 분사구들(111h,121h)에서 분사되는 공기압을 제어할 수 있으며, 자세한 설명은 생략하기로 한다.
도 10d에 도시된 바와 같이 상기 상/하면 오염측정부(130,140)가 웨이퍼(W)의 상/하측에 위치한 다음, 상기 상/하면 오염측정부(130,140)가 웨이퍼(W)의 상/하면에 결함을 측정하고, 상기 측면 오염측정부(151,152)가 원주 방향으로 이동하면서 웨이퍼(W)의 측면에 결함을 측정한다.
상기와 같이, 상기 상/하면 오염측정부(130,140)와 측면 오염측정부(151,152)가 동시에 웨이퍼(W)의 상/하면과 측면에서 결함을 측정할 수 있다.
110 : 하부 블로어 120 : 상부 블로어
130 : 상부 오염측정부 140 : 하부 오염측정부
151,152 : 측면 오염측정부 160 : 승강 가이드부
170 : 노치 측정 카메라 180 : 노치 그리퍼
190 : 스토퍼

Claims (11)

  1. 웨이퍼의 하면에 공기를 분사하여 웨이퍼를 부양시키는 하부 블로어;
    상기 하부 블로어에 대해 승강 가능하게 구비되고, 웨이퍼의 상면에 공기를 분사하여 웨이퍼를 고정시키는 상부 블로어;
    상기 상부 블로어 상측에 구비되고, 웨이퍼의 상면에 오염을 감지하는 상부 오염측정부;
    상기 하부 블로어 하측에 구비되고, 웨이퍼의 하면에 오염을 감지하는 하부 오염측정부; 및
    상기 상/하부 블로어 사이에 구비되고, 웨이퍼의 측면에 오염을 감지하는 측면 오염측정부;를 포함하는 웨이퍼의 결함 측정장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 상/하부 블로어는,
    공기가 유동될 수 있는 링 형태의 유로와,
    상기 유로에 일정 간격을 두고 웨이퍼의 상/하면으로 공기를 분사시킬 수 있는 복수개의 분사구를 포함하는 웨이퍼의 결함 측정장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 상/하부 블로어는,
    상기 웨이퍼의 상/하면에 분사되는 공기의 분사각도가 45°가 되고,
    상기 웨이퍼의 중심과 에지 사이의 중간 지점으로 공기를 분사시키는 웨이퍼의 결함 측정장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 유로는 상기 분사구들은 적어도 두 개 이상의 그룹으로 나뉘도록 복수개의 유닛 유로로 구획되고,
    상기 유닛 유로들은 공기의 분사압을 조절하기 위하여 각각의 레귤레이터와 연결되는 웨이퍼의 결함 측정장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 상/하부 블로어는,
    웨이퍼의 상/하면 기울어짐을 감지하기 위하여 리미트 센서를 더 포함하고,
    상기 레귤레이터는 상기 리미트 센서에서 감지된 기울기에 따라 상기 유닛 유로들로 공급되는 공기의 분사압을 조절하는 웨이퍼의 결함 측정장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 측면 오염 측정부는,
    웨이퍼의 원주 방향으로 이동 가능한 적어도 두 개 이상의 카메라인 웨이퍼의 결함 측정장치.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 상/하부 블로어 사이에 구비되고, 웨이퍼의 승강 이동을 안내하는 승강 가이드부;를 웨이퍼의 결합 측정장치.
  8. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    웨이퍼의 노치를 측정하는 노치 측정 카메라;
    상기 노치 측정 카메라에 의해 측정된 웨이퍼의 노치를 잡아주는 노치 그리퍼; 및
    상기 노치 그리퍼와 반대 방향에 구비되고 웨이퍼의 노치 반대편을 반경 방향으로 지지하는 스토퍼;를 더 포함하는 웨이퍼의 결함 측정장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 노치 그리퍼는,
    웨이퍼의 노치부 상/하/측면 일부와 접촉되는 부분이 완충 재질로 구성된 웨이퍼의 결함 측정장치.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 노치 그리퍼는,
    웨이퍼의 노치부 측면 일부와 접촉 면적을 줄이기 위하여 라운드지게 형성된 측면부를 포함하는 웨이퍼의 결함 측정장치.
  11. 제8항에 있어서
    상기 스토퍼는,
    웨이퍼의 반경 방향으로 완충 지지 가능하도록 공압식으로 제어되는 웨이퍼의 결함 측정장치.
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