JPH09326430A - 薄板の保持方法及び薄板の形状測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 シリコンウェーハのような大口径な薄板に対
して、自重による影響を排除し、薄板の形状測定を正確
に実施するための、薄板の保持方法、及び薄板の形状測
定装置を提供することを目的とする。 【解決手段】 薄板の保持方法であり、円盤状に形成し
た薄板の外周端を保持体により当接するとともに、前記
薄板の両面の相対する位置に向かって、気体を噴射して
前記両面に作用する気体の噴射力によって前記薄板を保
持するように構成した。円盤状に形成された薄板（ウェ
ーハ）１は、外周端を保持体（回転ローラ）２Ａ〜２Ｇ
に保持され、その両面を気体を噴出する上噴出管３Ａ〜
３Ｃと下噴出管４Ａ〜４Ｃとの間に配置され、前記噴出
管から噴出される気体の噴射力により、浮遊状態で前記
保持体の間に回転可能に保持される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、薄板の形状を測定
するために該薄板を保持する薄板の保持方法、及び薄板
の形状測定装置に関するものである。

【０００２】

【従来技術】従来より、シリコンウェーハは、単結晶の
インゴットをマルチワイヤソー、ＩＤソー等によって
０．８ｍｍ程度の厚さにスライスされて作製される。ウ
ェーハの直径が８インチ（２００ｍｍ）までの形状測定
においては、図７に示すように、取付台５０に設けた吸
着盤５１によりウェーハ面の中心部分を吸着してウェー
ハを回転させ、保持台５２に設けた微小変位計センサ５
３、５３によりウェーハ１の両面から測定し、形状の解
析を行っていた。

【０００３】ところが、ウェーハの直径が１２インチ
（３００ｍｍ）、１６インチ（４００ｍｍ）と大径にな
ると次のような問題点が発生する。図８に示すように、
ウェーハ１の中心部分を吸着して吊り下げているので、
ウェーハの自重によりたわみ量が増大する。このたわみ
量が大きくなり、センサの最小分解能の得られる測定範
囲内を越え、また、センサの作動距離を越えるとセンサ
の測定誤差が大きくなる。

【０００４】また、ウェーハの大径化により回転駆動す
るために慣性質量が大きくなり、吸着盤５１の保持吸着
力を増大させる必要があり、その吸引力のためにウェー
ハの変形の恐れが発生する。そして、吸引保持力が低い
と駆動中にウェーハがはずれてウェーハを破損する恐れ
がある。また、ウェーハの中央部分を吸着盤で保持する
ために、該吸着盤の接触により汚染するという問題があ
る。

【０００５】一方、この自重によるウェーハのたわみを
ウェーハを水平に載置した基準面に吸着させて吸収す
る、図９に示す方法が種々知られている。しかしなが
ら、図９に示すように、基台５５の基準面５５ａにウェ
ーハを吸着させると、該基準面の面精度が測定値に影響
を与えるために、基準面を精度良く製作することが必要
であり、高度な技術を要する。また、基台５５の基準面
５５ａにウェーハ１を密着させるために、ウェーハと基
準面との間にゴミが介在するとウェーハの吸着状態が変
化する。そして、基準面にウェーハ面が接触する面積が
広く、接触による汚染が問題となる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上述の事情に鑑み、本
発明は、シリコンウェーハのような大口径な薄板に対し
て、自重による影響を排除し、薄板の形状測定を正確に
実施するための、薄板の保持方法、及び薄板の形状測定
装置を提供することを目的とする。また、本発明の他の
目的は、薄板の大口径化による慣性質量の増加による形
象測定の困難性を排除して、構成が簡単な、薄板の保持
方法、及び薄板の形状測定装置を提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の第１発明は、薄板の保持方法であり、円盤
状に形成した薄板の外周端を保持体により当接するとと
もに、前記薄板の両面の相対する位置に向かって、気体
を噴射して前記両面に作用する気体の噴射力によって前
記薄板を保持するように構成した。また、前記薄板によ
り反射された気体の一部を噴射と逆方向に吸入するこ
と、また、前記保持体を回転可能なローラ状に形成し、
前記薄板を前記保持体により回転させて保持するか、も
しくは、円周面近傍に円周方向に沿って複数の帯電部分
を並設した静電回転板を前記薄板に部分的に重ねて配置
し、前記薄板を前記帯電部分の静電誘導により円周方向
に回転させて保持して構成することも、本発明の有効な
手段である。

【０００８】図１及び図２に示されるように、円盤状に
形成された薄板（ウェーハ）１は、外周端を保持体（回
転ローラ）２Ａ〜２Ｇに保持され、その両面を気体を噴
出する上噴出管３Ａ〜３Ｃと下噴出管４Ａ〜４Ｃとの間
に配置され、前記噴出管から噴出される気体の噴射力に
より、浮遊状態で前記保持体の間に回転可能に保持され
る。

【０００９】従って、このように構成すると、薄板の両
面の相対する位置に向かって気体を噴射して該薄板を浮
遊して保持しているので、ウェーハの自重によるたわみ
が小さく保持できるために形状測定センサの有効測定レ
ンジ内で測定することができ、大口径のウェーハの測定
に最適である。また、ウェーハの大径化により回転駆動
するために慣性質量が大きくなり、吸着盤の保持吸着力
を増大させ、ウェーハの変形の恐れがなく、吸引保持力
が低いことにより駆動中にウェーハがはずれてウェーハ
を破損する恐れがない。また、ウェーハの両面を部分的
に気体の噴出力で保持するために、吸着部材により汚染
することがない。そして、前記保持体によりウェーハの
外周端を保持しており、ウェーハ面内の複数箇所でウェ
ーハを非接触支持しているので、ウェーハを水平状態の
みでなく、垂直状態にも対応することができる。

【００１０】また、図４に示すように、噴出部１７Ｃａ
から噴出された気体の一部が薄板１により反射され、吸
入部１７Ｃｂにより噴射と逆方向に吸入するように構成
すると、ゴミがウェーハ面に付着していたか、あるいは
その近辺に浮遊していた場合でも該ゴミを吸引すること
ができ、噴射気体によりゴミを飛散させウェーハの測定
部分を汚染させる率が少ない。

【００１１】また、図２に示すように、回転ローラ２
は、図示しない回転駆動源に接続され、ウェーハ１の外
周に接続してウェーハ１を回転可能に構成される。尚、
必ずしもこの回転ローラ２の全部が駆動源に接続されて
いる必要なく、ウェーハ１を駆動可能な個数だけでよ
い。

【００１２】また、図６に示すように、薄板の円周面近
傍に円周方向に沿って複数の帯電部分２０を並設した静
電回転板１９を薄板１に部分的に重ねて配置し、前記帯
電部分２０の静電誘導により前記薄板１を円周方向に回
転駆動するように構成することもできる。この場合は、
回転ローラ２はウェーハを回転駆動する必要がなく、単
なる保持用のコロとして用いることが可能で、非接触で
薄板１を回転することができる。したがって、回転ロー
ラ２の薄板１との接触圧力は、薄板１を確実に回転駆動
させるために厳しく管理しなくても良い。

【００１３】本発明の第２発明は、薄板の形状測定装置
であり、薄板の両面の相対する位置に向かって、気体を
噴射する気体噴射手段と、前記薄板の外周端を当接して
保持するローラ状に形成された保持手段と、前記薄板を
外周方向に回転駆動する回転手段と、前記薄板の両面を
面方向に移動して薄板の形状を測定する測定手段とを備
えたことを特徴とする。

【００１４】また、前記薄板により反射された気体の一
部を噴射と逆方向に吸入する吸入手段を有したこと、ま
た、前記回転手段を、円周面近傍に円周方向に沿って複
数の帯電部分を並設した静電回転板を前記薄板に部分的
に重ねて配置することも、本発明の有効な手段である。

【００１５】円盤状に形成された薄板（ウェーハ）は、
外周端を保持体（回転ローラ）に保持され、その両面が
気体を噴出する上噴出管と下噴出管との間に配置され、
前記噴出管から噴出される気体の噴射力により、浮遊状
態で前記保持体の間に回転可能に保持され、図１及び図
２に示す回転ローラ２に図示しない駆動源（回転手段）
からの回転駆動力が伝達され、その駆動力により回転ロ
ーラ２からウェーハ１に回転力が伝達される。

【００１６】そして、取付壁５Ａ、５Ｂに設けられたガ
イド軸管６Ａ、６Ｂに摺動可能に嵌合するセンサ取付部
７Ａ、７Ｂ、該取付部に設けられたセンサ８Ａ、８Ｂ、
及びセンサによる電気信号を処理する図示しない演算部
により測定手段が構成され、前記センサがガイド軸管６
Ａ、６Ｂを摺動することによりウェーハ１の平面形状が
測定される。

【００１７】従って、前記保持体によりウェーハの外周
端を保持しているので、ウェーハを水平状態のみでな
く、垂直状態にも対応することができ、ウェーハの自重
によるたわみが小さく保持できるために形状測定センサ
の分解能が高いレンジで測定することができるので、大
口径のウェーハの測定に最適である。

【００１８】また、前記気体噴射手段、前記保持手段、
前記回転手段及び前記測定手段を装置基台に設けるとと
もに、前記装置基台に前記薄板の両面に所定間隔離間し
て設けた両ガイド軸部の始端及び終端を固設し、前記両
ガイド軸部の軸方向に摺動可能に前記測定手段に付属す
る測定センサを配置して構成すると好ましい。

【００１９】このように構成すると、両ガイド軸部の始
端及び終端は装置基台に固設されているので、センサの
保持構造が片持ち梁でなく、測定時の駆動等の外乱によ
り、振動が発生して測定誤差を生じることがない。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明を図に示した実施例
を用いて詳細に説明する。但し、この実施例に記載され
る構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは特
に特定的な記載が無い限り、この発明の範囲をそれのみ
に限定する趣旨ではなく単なる説明例に過ぎない。

【００２１】図１及び図２において、円盤状に形成され
た薄板（ウェーハ）１は、外周端が保持体（回転ロー
ラ）２Ａ〜２Ｇに保持され、その両面が気体を噴出する
上噴出管３Ａ〜３Ｃと下噴出管４Ａ〜４Ｃとの間に配置
されている。前記噴出管３、４は、図示しないブロア機
構に接続され、前記噴出管から噴出される気体はウェー
ハ１の表面を押し、該気体はウェーハ１の表面に沿って
噴出管の外周方向に流れ、その過程で噴出気体はその噴
射力により、ウェーハ１を浮上させるとともに、その近
辺に存在した細かいゴミ、チリ等を吹き飛ばし、ウェー
ハ１を浮遊状態で前記保持体２Ａ〜２Ｇの間に回転可能
に保持される。

【００２２】前記保持体２は、回転ローラ２Ａ〜２Ｇに
より構成され、該回転ローラ２のうち一部のローラは図
示しない回転源と連結して、回転力をウェーハ１の外周
端に伝達可能に構成され、他の、図１においては回転ロ
ーラ２Ｄ〜２Ｇは、図２に示すように、実線で示す回転
ローラ２と仮想線で示す回転ローラ２′間を上下動可能
に構成され、回転ローラ２が仮想線の状態に退避したと
きに、ウェーハ１は図２上矢印方向に挿入、退出され
る。

【００２３】したがって、回転ローラ２はウェーハ１を
周方向に回転させる接触圧力を得るために所定の押圧力
がウェーハ１の中心方向に付与されるとともに、噴出管
から噴出される気体は、該接触圧力があってもウェーハ
１を浮上できる噴出力に設定される。そして、ウェーハ
１に両面から同じ噴出力によって、気体が噴出されるた
めに、ウェーハ１は噴出管の先端部から離れた位置に浮
遊して保持される。

【００２４】取付壁５Ａ、５Ｂは図示しない基台から延
設され、該取付壁５Ａ、５Ｂ間に設けられたガイド軸管
６Ａ、６Ｂには、センサ取付部７Ａ、７Ｂが摺動可能に
嵌合され、該取付部には非接触の測定手段としてセンサ
８Ａ、８Ｂ、及びセンサによる電気信号を処理する図示
しない演算部により測定手段が構成され、前記センサが
ガイド軸管６Ａ、６Ｂを摺動することによりウェーハ１
の平面形状が測定される。尚、この測定手段はレーザそ
の他の光学的測定手段を用いて、光切断法により測定し
てもよく、また、ＣＣＤ素子を用いて表面形状を測定し
てもい。

【００２５】第１実施例は、このように構成されている
ので、噴出管３、４から噴出される気体により浮遊状態
で保持され、回転ローラ２からの回転力がウェーハ１に
伝達されてウェーハ１が回転している状態で、センサ８
Ａ、８Ｂがガイド軸管６Ａ、６Ｂに沿って移動すること
で、ウェーハ１の形状が測定される。

【００２６】そして、本実施例は、前記気体噴射手段、
前記保持手段、前記回転手段及び前記測定手段を装置基
台に設けるとともに、前記装置基台に前記薄板の両面に
所定間隔離間して設けた両ガイド軸部の始端及び終端を
固設し、前記両ガイド軸部の軸方向に摺動可能に前記測
定手段に付属する測定センサを配置して構成しているの
で、両ガイド軸部の始端及び終端は装置基台に固設さ
れ、センサの保持構造が片持ち梁でなく、測定時の駆動
等の外乱により、振動が発生して測定誤差を生じること
がない。

【００２７】また、本実施例によると、ウェーハの自重
によるたわみが小さく保持できるために形状測定センサ
の分解能が高いレンジで測定することができるので、大
口径のウェーハの測定に最適である。また、ウェーハの
大径化により回転駆動するために慣性質量が大きくな
り、吸着盤の保持吸着力を増大させ、ウェーハの変形の
恐れがなく、吸引保持力が低いことにより駆動中にウェ
ーハがはずれてウェーハを破損する恐れがない。また、
ウェーハの両面を部分的に気体の噴出力で保持するため
に、吸着部材により汚染することがない。そして、前記
保持体によりウェーハの外周端を保持しているので、ウ
ェーハを水平状態のみでなく、垂直状態にも対応するこ
とができる。

【００２８】図３は、本発明の第２実施例であり、
（ａ）は正面図、（ｂ）は左側面図である。これらの図
において、基台１０の後端部に左取付壁１１Ａ及び右取
付壁１１Ｂが立設し、両取付壁１１Ａと１１Ｂが対面す
る側に、前記両取付壁にまたがって回転ローラ２０Ａ〜
２０Ｄが回動可能に配設されている。この回転ローラ２
０Ａ〜２０Ｄは、取付壁１１Ａもしくは１１Ｂ内に配置
された歯車列を介して基台１０内に内臓されている駆動
源から駆動力が伝達されるように構成されている。

【００２９】回転ローラ２０Ｅは、（ａ）に示すよう
に、回転軸２０Ｅａに回動可能に設けられ、該回転軸は
取付壁１１Ｂに、水平状態の実線の２０Ｅの位置と仮想
線２０Ｅ′の直立した位置の間を移動可能であるととも
に、水平位置においてウェーハ１の中心方向に向かって
付勢力が与えられている。したがって、回転ローラ２０
Ｅが直立状態のとき、ウェーハ１は着脱が可能である。

【００３０】両取付壁１１Ａと１１Ｂが対面する側に、
気体を噴出する左噴出管１３Ａ〜１３Ｃと右噴出管１４
Ａ〜１４Ｃとが配置されている。前記噴出管１３、１４
は、基台１０内に内臓されている図示しないブロア機構
に接続されている。

【００３１】基台１０の上面１０ａには、脚部１６Ａ、
１６Ｂを介して取付板１５が前記基台１０の上面１０ａ
を摺動可能に配置され、該取付板１５から延設された左
支柱１２Ａ、及び右支柱１２Ｂが立設され、該左支柱１
２Ａ及び右支柱１２Ｂの上部には、それぞれ非接触の測
定手段としてセンサ９Ａ、９Ｂがウェーハ１の両面に対
面して設けられ、該センサによる電気信号を処理する演
算部は前記基台１０の内部に設けられ、前記センサ及び
演算部により測定手段が構成され、取付板１５が基台１
０の上面１０ａを摺動することにより、ウェーハ１の中
心部分から周辺部まで前記センサがサーチしてウェーハ
１の平面形状が測定される。

【００３２】本第２実施例はこのように構成されている
ので、回転ローラ２０はウェーハ１を周方向に回転させ
る接触圧力を得るために所定の押圧力がウェーハ１の中
心方向に付与されるが、噴出管１３、１４から噴出され
る気体は、該接触圧力があってもウェーハ１を図３
（ａ）上、右行もしくは左行できる噴出力に設定され
る。そして、ウェーハ１に両面から同じ噴出力によっ
て、気体が噴出されるために、ウェーハ１は噴出管の先
端部から離れた位置に立設浮遊して保持される。

【００３３】前記噴出管１３、１４から噴出される気体
はウェーハ１の表面を押し、該気体はウェーハ１の表面
に沿って噴出管の外周方向に流れ、その過程で噴出気体
はその噴射力により、ウェーハ１を両噴出管の中間位置
に浮遊させるとともに、その近辺に存在した細かいゴ
ミ、チリ等を吹き飛ばし、ウェーハ１を浮遊状態で回転
可能に保持される。

【００３４】したがって、回転ローラ２からの回転力が
ウェーハ１に伝達されてウェーハ１が回転している状態
で、センサ９Ａ、９Ｂがウェーハ１の中心部分と周辺部
分との間を移動することで、ウェーハ１の表面形状が測
定される。

【００３５】よって、本実施例によると、ウェーハ１を
立設しているので、ウェーハの自重によるたわみが小さ
く保持できるために形状測定センサの有効測定レンジ内
で測定することができるので、大口径のウェーハの測定
に最適である。また、ウェーハの大径化により回転駆動
するために慣性質量が大きくなり、吸着盤の保持吸着力
を増大させ、ウェーハの変形の恐れがなく、吸引保持力
が低いことにより駆動中にウェーハが吸着盤からはずれ
てウェーハを破損する恐れがない。また、ウェーハの両
面を部分的に気体の噴出力で保持するために、吸着部材
により汚染することがない。

【００３６】図４は、薄板の浮遊保持形態を示す第２実
施例図であり、第１実施例の浮遊保持形態は噴出管によ
り気体を噴出させるだけであるのに対して、本実施例は
噴出管に代えて噴出吸入手段１７を用い噴出気体の一部
を吸入するようになしたものである。図４に示すよう
に、噴出吸入管１７Ａ〜１７Ｃは噴出部１７Ａａ〜１７
Ｃａを形成する大径の円筒部と、該円筒部の中心部分に
それより小さい径の吸入部１７Ａｂ〜１７Ｃｂを形成す
る円筒部を挿入した形態を有している。尚、図４におい
ては、外側が噴出部、内側が吸入部で構成されている
が、外側が吸入部、内側が噴出部であってもよい。

【００３７】この実施例においては、噴出部１７Ｃａか
ら噴出された気体の一部が薄板１により反射され、吸入
部１７Ｃｂにより噴射と逆方向に吸入するように構成さ
れているので、ウェーハ面に付着していたか、あるいは
その近辺に浮遊していたゴミが存在しても、それを吸引
することができ、噴射気体によりゴミを飛散させウェー
ハの測定部分を汚染させる率が少ない。

【００３８】図５は、薄板の浮遊保持形態を示す第３実
施例図であり、第２実施例の浮遊保持形態との相違は、
噴出吸入手段１７が円筒であるのに対して、噴出吸入手
段１８がリング溝状に形成した点であり、作用及び効果
は前記第２実施例と同様であり、説明は省略する。

【００３９】図６は、薄板の回転駆動形態を示す第２実
施例図であり、第１実施例における回転駆動形態はウェ
ーハ１をその外周端と接触する回転ローラによって回動
しているのに対して、本実施例は回転ローラ２を絶縁体
で形成し、ウェーハ１の外周端保持に用い、ウェーハ１
を、円周面近傍に円周方向に沿って複数の帯電部分２０
を並設した静電回転板１９を薄板１に部分的に重ねて配
置し、前記帯電部分２０の静電誘導により前記薄板１を
円周方向に回転駆動するように構成したものである。

【００４０】前記静電回転板１９は絶縁体で形成され、
帯電部分２０は導体で形成されている。今、前記帯電部
分２０が正に帯電されていると、ウェーハ１は絶縁体の
回転ローラ２によって保持されるとともに、噴出気体に
より浮遊されているので、前記帯電部分２０と対面する
ウェーハ１の面には負の電荷が現れ、前記静電回転板１
９が矢印の方向に回転するとウェーハ１は反時計方向に
回転する。この場合は、回転ローラ２は単なる保持用の
コロとして用い、無接触で薄板１を回転することができ
るので、回転ローラ２の薄板１との接触圧力を確実に薄
板１に伝達するように厳しい管理が不要である。

【００４１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、シリコ
ンウェーハのような大口径な薄板に対して、自重による
影響を排除し、薄板の形状測定を正確に実施するため
の、薄板の保持方法、及び薄板の形状測定装置を提供す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の薄板の形状測定装置に係る第１実施
例を示す図であり、図２のＢ−Ｂ矢視図である。

【図２】 図１のＡ−Ａ断面図である。

【図３】 本発明の薄板の形状測定装置に係る第２実施
例を示す図である。

【図４】 薄板の浮遊保持形態を示す第２実施例であ
る。

【図５】 薄板の浮遊保持形態を示す第３実施例図であ
る。

【図６】 薄板の回転駆動形態を示す第２実施例図であ
る。

【図７】 従来の形状測定装置を示す図である。

【図８】 ウェーハが自重によりたわみ状態を示す図で
ある。

【図９】 他の従来例を示す図である。

【符号の説明】

１ ウェーハ（薄板） ２ 回転ローラ（２Ａ〜２Ｇ） ３ 上噴出管（３Ａ〜３Ｃ） ４ 下噴出管（４Ａ〜４Ｃ） ５ 取付壁（５Ａ、５Ｂ） ６ ガイド軸管（６Ａ、６Ｂ） ７ センサ取付部（７Ａ、７Ｂ） ８ センサ（８Ａ、８Ｂ） ９ センサ（９Ａ、９Ｂ） １０ 基台

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 直居 薫 神奈川県川崎市幸区下平間239番地 黒田 精工株式会社内 (72)発明者 阿部 耕三 神奈川県川崎市中原区井田1618番地 新日 本製鐵株式会社技術開発本部内

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 円盤状に形成した薄板の外周端を保持体
   により当接するとともに、前記薄板の両面の相対する位
   置に向かって、気体を噴射して前記両面に作用する気体
   の噴射力によって前記薄板を保持することを特徴とする
   薄板の保持方法。
2. 【請求項２】 前記薄板により反射された気体の一部を
   噴射と逆方向に吸入することを特徴とする請求項１記載
   の薄板の保持方法。
3. 【請求項３】 前記保持体を回転可能なローラ状に形成
   し、前記薄板を前記保持体により回転させて保持する
   か、 もしくは、円周面近傍に円周方向に沿って複数の帯電部
   分を並設した静電回転板を前記薄板に部分的に重ねて配
   置し、前記薄板を前記帯電部分の静電誘導により円周方
   向に回転させて保持することを特徴とする請求項１記載
   の薄板の保持方法。
4. 【請求項４】 薄板の両面の相対する位置に向かって、
   気体を噴射する気体噴射手段と、 前記薄板の外周端を当接して保持するローラ状に形成さ
   れた保持手段と、 前記薄板を外周方向に回転駆動する回転手段と、 前記薄板の両面を面方向に移動して薄板の形状を測定す
   る測定手段とを備えたことを特徴とする薄板の形状測定
   装置。
5. 【請求項５】 前記薄板により反射された気体の一部を
   噴射と逆方向に吸入する吸入手段を有したことを特徴と
   する請求項４記載の薄板の形状測定装置。
6. 【請求項６】 前記回転手段を、円周面近傍に円周方向
   に沿って複数の帯電部分を並設した静電回転板を前記薄
   板に部分的に重ねて配置することにより構成したことを
   特徴とする請求項４記載の薄板の形状測定装置。
7. 【請求項７】 前記気体噴射手段、前記保持手段、前記
   回転手段及び前記測定手段を装置基台に設けるととも
   に、前記装置基台に前記薄板の両面に所定間隔離間して
   設けた両ガイド軸部の始端及び終端を固設し、前記両ガ
   イド軸部の軸方向に摺動可能に前記測定手段に付属する
   測定センサを配置したことを特徴とする請求項４記載の
   薄板の形状測定装置。