JP6425074B2 - 形状測定機及び形状測定方法 - Google Patents

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Description

本発明は、形状測定機及び形状測定方法に係り、特に被測定物の真円度を測定する真円度測定機等の形状測定機及び形状測定方法に関する。
特許文献1等に開示された従来の真円度測定機は、図14に示すように本体1、本体1に回転自在に設けられたテーブル2、及びテーブル2を回転駆動する回転駆動部3を備える。また、本体1に立設されたコラム4、コラム4の案内面に沿って上下方向に移動可能なキャリッジ5、及びキャリッジ5の案内面に沿って水平方向に移動可能なアーム6を備える。更に、アーム6の先端部に取り付けられた検出器ホルダ7、検出器ホルダ7に取り付けられた検出器8を備える。検出器8は、測定子9と差動トランス等の変位検出部とを有し、測定子9の変位を示す電気信号を出力する。
被測定物である円筒状のワークWは、その下面がテーブル2の上面に載置され、テーブルの上面において、ワークWの円筒面(外周面及び内周面)の中心軸が、テーブル2の回転軸と一致するように調心される。
コラム4は、テーブル2の回転軸と平行に立設される。キャリッジ5は、コラム4の案内面に沿って手動で移動されるが、モータ等を用いて自動で移動させてもよい。アーム6も同様に、キャリッジ5の案内面に沿って手動で移動されるが、モータ等を用いて自動で移動させてもよい。
検出器ホルダ7は、L字型に構成され、一方の端部がアーム6の先端に取り付けられ、他方の端部に検出器8が取り付けられる。
真円度測定を行なう場合には、まず、テーブル2の上面にワークWの下面を載置する。次に、ワークWの円筒面の中心軸を、テーブル2の回転軸に一致させる。次に、キャリッジ5を上下に移動して測定子9の上下方向の位置を調整するとともに、アーム6を水平に移動して測定子9の水平方向の位置を調整し、ワークWの形状を測定する外周面に測定子9を接触させる。この後、テーブル2を介してワークWを回転させてワークWの真円度を検出器8によって測定する。
特開2014−77765号公報
ところで、最近では、厚さ数ミリの薄肉の円筒状のワークWを測定する際に、以下の問題が取り上げられてきている。すなわち、前記薄肉のワークWの場合には、ワークWをテーブル2に載置する際に、ワークWを手で把持したときの握力等の僅かな外力によって、ワークWが変形する場合があった。従来の形状測定機では、ワークWが変形した状態でテーブル2に載置されると、テーブル2の上面とワークWの下面との間の摩擦力によって、ワークWは変形した状態が保持され、この状態で測定が行われる。
測定精度を粗く設定した場合には、ワークWの前記変形は問題とはならないが、測定精度が高い場合(例えば1μm以下の精度)には、前記変形によって精度のよい測定結果を得ることができないという問題があった。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、外力によって変形し易い被測定物であっても、その形状を精度よく測定することができる形状測定機及び形状測定方法を提供することを目的とする。
本発明の一態様は、前記目的を達成するために、被測定物の形状を測定する形状測定機において、前記被測定物の下面を少なくとも3点の支持点によって支持する支持部材と、前記支持部材に支持された前記被測定物の変形を補正する変形補正機構部と、を備えることを特徴とする形状測定機を提供する。
本発明の一態様は、前記目的を達成するために、被測定物の下面を、支持部材によって少なくとも3点の支持点によって支持し、前記支持部材に支持された前記被測定物の変形を変形補正機構部によって補正する変形補正工程と、前記被測定物に検出器の測定子を接触させ、前記被測定物及び前記測定子を相対的に移動させることにより、前記被測定物の形状を測定する形状測定工程と、を備えることを特徴とする形状測定方法を提供する。
本発明の一態様によれば、変形補正工程において、支持部材に支持された被測定物の変形を変形補正機構部によって補正する。そして、変形補正工程の後工程にて行われる形状測定工程にて被測定物の形状を測定する。これにより、本発明の一態様によれば、外力によって変形し易い被測定物であっても、その形状を精度よく測定することができる。
本発明の形状測定機の一態様は、前記変形補正機構部は、前記支持部材によって前記被測定物が支持された状態で、前記被測定物に対する前記支持部材の支持点を、前記3点の支持点を含む平面内で移動させる第1の支持点移動手段であることが好ましい。
本発明の形状測定方法の一態様は、前記変形補正工程では、前記支持部材によって前記被測定物が支持された状態で、前記被測定物に対する前記支持部材の支持点を、第1の支持点移動手段によって前記3点の支持点を含む平面内で移動させることが好ましい。
本発明の一態様によれば、変形補正工程において、第1の支持点移動手段は、被測定物に対する支持部材の支持点を、3点の支持点を含む平面内で移動させる。これにより、支持部材に支持された3点の支持点は、支持部材との間の摩擦力が開放されて元の形状に復帰する。つまり、被測定物のうち、支持部材によって支持されていない非支持部分は、他の部材との間で摩擦力が付与されていないため、非支持部分に生じていた変形は元の形状に復帰する。また、支持部材によって支持されている3点の支持点の支持部分は、支持部材との間の摩擦力によって変形が保持されるが、その3点の支持点が、3点の支持点を含む平面内で移動することにより、摩擦力が開放されて元の形状に復帰する。したがって、被測定物は、その全体が元の形状に復帰する。
本発明の形状測定機の一態様は、前記変形補正機構部は、前記支持部材に対して前記被測定物を鉛直方向に相対的に移動させることにより、前記支持部材の支持点を鉛直方向に移動させる第2の支持点移動手段であることが好ましい。
本発明の形状測定方法の一態様は、前記変形補正工程では、前記支持部材に対して前記被測定物を、第2の支持点移動手段によって鉛直方向に相対的に移動させることが好ましい。
本発明の一態様によれば、変形補正工程において、第2の支持点移動手段は、支持部材に対する3点の支持点の鉛直方向の相対位置を変化させる。これにより、支持部材に支持された3点の支持点は、支持部材との間の摩擦力が開放されて元の形状に復帰する。
本発明の形状測定機の一態様は、前記支持部材は、前記被測定物の中心軸に対して垂直な回転軸を有し、前記被測定物の下面を支持する少なくとも3本のローラを備えることが好ましい。
本発明の一態様によれば、被測定物の下面のうち、少なくとも3本のローラに載置される部分が支持点となる。3本のローラのうち少なくとも1本のローラを回転させると、支持点での摩擦力によって被測定物を、被測定物の中心軸を中心に回転させることができる。つまり、支持部材に支持された3点の支持点を、3点の支持点を含む平面内で移動させることができる。また、ローラは、直棒状であることが好ましい。
本発明の形状測定機の一態様は、前記少なくとも3本のローラは、円錐台形状に構成され、先端の小径部が前記被測定物の中心軸に向けて配置されることが好ましい。
本発明の一態様によれば、円錐台形状のローラを回転させると、少なくとも3本のローラのそれぞれの傾斜部に載置されている被測定物の下面は、つまり、少なくとも3点の支持点は、傾斜部の周速の違いによって、被測定物の外方に向けて力が付与される。そして、被測定物は、これらの力のバランスが取れる位置に、すなわち、ローラによる被測定物の回転中心に被測定物の中心軸が合致する位置に自動で移動される。この際に、ローラによる被測定物の回転中心と回転部材の回転軸とを予め合致させておくことにより、回転部材の回転軸に、被測定物の中心軸を合致させるという調心作業をローラの回転のみで行うことができる。
本発明の形状測定機の一態様は、前記少なくとも3本のローラは、等間隔に配置されることが好ましい。
本発明の一態様によれば、被測定物をバランスよく回転させることができる。
本発明の形状測定機の一態様は、円筒状の前記被測定物を、前記被測定物の中心軸を中心に回転させる回転部材を備え、前記回転部材の上面に前記支持部材と前記変形補正機構部とが備えられることが好ましい。
本発明の一態様によれば、支持部材と変形補正機構部とを回転部材の上面に備えることにより、変形補正工程の後、形状測定工程にて直ちに被測定物を、回転部材によって回転させて被測定物の円筒面の形状を測定することができる。
本発明の形状測定機の一態様は、前記被測定物の円筒面に当接して前記被測定物を移動させ、前記被測定物の中心軸を、前記被測定物を回転させる回転中心軸に合わせる調心機構部を備えることが好ましい。
本発明の形状測定方法の一態様は、前記変形補正工程の前工程に、円筒状の前記被測定物の中心軸を、前記被測定物を回転させる回転部材の回転中心軸に合わせる調心工程を備えることが好ましい。
本発明の一態様によれば、調心工程を備えることにより、被測定物の円筒面の形状を精度よく測定することができる。
本発明の形状測定機及び形状測定方法によれば、外力によって変形し易い被測定物であっても、その形状を精度よく測定することができる。
実施形態の真円度測定機の構成を示したブロック図 第1の実施形態の変形補正機構部の平面図 (A)は調心前の状態を示した調心機構部の平面図、(B)は調心後の状態を示した調心機構部の平面図 (A)は変形補正機構部によるワークの変形を元の形状に復帰させる前の状態を示した平面図、(B)は変形補正機構部によるワークの変形を元の形状に復帰させた状態を示した平面図 調心機構部を構成する送り装置の構成を示した側面図 ワークWの要部拡大図 (A)は実施形態の真円度測定機によって測定されたワークの真円度データ図、(B)は従来の真円度測定機によって測定されたワークの真円度データ図 図5に示した直棒状のローラに代えて円錐台形状のローラが適用された摩擦力解除機構部の側面図 図2等に示したローラの変形例を示したローラの断面図 ワークの内壁面にエアーを噴射してワークの形状復帰をサポートする説明図 第2の実施形態の変形補正機構部の平面図 断面D字形ローラの回転機構部の構成を示した側面図 支持部材と断面D字形ローラの高さ関係を示した説明図 従来の真円度測定機の構成を示した斜視図
以下、添付図面に従って本発明に係る形状測定機及び形状測定方法の好ましい実施形態について詳説する。
図1は、本発明の形状測定機が適用された実施形態の真円度測定機10の構成を示すブロック図である。
〔真円度測定機10の構成〕
真円度測定機10の本体12には、回転部材であるテーブル14が設けられる。テーブル14の上面には、第1の実施形態の変形補正機構部16及び調心機構部18が設けられる。変形補正機構部16は変形補正工程にて駆動され、調心機構部18は、調心工程にて駆動される。被測定物であるワークWは、その下面が変形補正機構部16としても兼用される、支持部材としての3本のローラ54、56、58を介してテーブル14の上面に載置される。変形補正機構部16、調心機構部18、及びローラ54、56、58については後述する。
実施形態では、測定対象のワークWとして、ステンレス又はアルミニウム製の厚さ4〜5mmの薄肉の円筒状ワークを例示する。なお、ワークWとしては、これに限定されるものではなく、ワークWを手で把持したときの握力等の僅かな外力によって変形するものであれば、如何なる形状のものでも適用できる。
テーブル14は、X方向微動つまみ20及びY方向微動つまみ22が操作されることによって、X方向及びY方向に微動送り移動される。また、テーブル14は、X方向傾斜つまみ24及びY方向傾斜つまみ26が操作されることによってX方向及びY方向に対して傾斜移動される。ここでいうX方向、Y方向とは水平面上で直交する2方向を指している。
また、テーブル14は、その回転中心軸である回転軸28が軸受30を介して、モータ32の出力軸34に連結されている。出力軸34にはエンコーダ36が取り付けられ、出力軸34の回転角度がエンコーダ36によって高精度で読み込まれる。
真円度測定機10は、測定子38がワークWの外周面に接触して変位することにより、ワークWの外周面の形状を測定する検出器40を有している。検出器40からの検出信号は、増幅器42、A/D変換器44を介して演算/処理手段46に出力され、処理結果が表示手段48に表示される。また、真円度測定機10の動作はプログラム50によって制御される。
軸受30には、超高精度の静圧エアーベアリングが用いられ、この軸受30によってテーブル14は例えば0.005μmの回転精度で回転される。また、検出器40には、差動変圧器を用いた電気マイクロメータが使用され、ワークWに接触する測定子38の変位量が前記電気マイクロメータによって検出される。
〈変形補正機構部16及び調心機構部18〉
図2は、変形補正機構部16の平面図である。図3(A)、(B)は、調心機構部18の平面図であり、図2に示した変形補正機構部16を取り外して見た平面図である。また、図3(A)は調心前の状態を示した平面図であり、図3(B)は調心後の状態を示した平面図である。
《変形補正機構部16》
図2の如く、変形補正機構部16は、テーブル14の上面(図1参照)に固定される。
変形補正機構部16は、平面視正三角形状のベース板52、ワークWの下面が載置されて支持される3本の直棒状のローラ54、56、58、及びローラ54を回転させるハンドル60を備えている。ローラ54、56、58が支持部材を構成する。また、ローラ54、56、58を含み、ローラ54を回転させるハンドル60が第1の支持点移動手段を構成する。
ベース板52は、テーブル14の上面において、ベース板52の重心Gがテーブル14の回転軸28(図1参照)と同軸上となる位置に固定される。
3本のローラ54、56、58は、重心Gを中心として放射状に配置されるとともに、円周方向において120度の間隔(等間隔)をもって配置される。また、3本のローラ54、56、58は、それぞれの両端部がベース板52に取り付けられた軸受62、64に回転自在に支持されて、各々の回転軸54A、56A、58Aがテーブル14の上面と並行に配置される。
すなわち、3本のローラ54、56、58は、3本のローラ54、56、58にその下面が載置されたワークWに対し、ワークWの中心軸WA(図1参照)に対して垂直な回転軸54A、56A、58Aを有する。
図4は、3本のローラ54、56、58にその下面が支持されたワークWの平面図である。また、図4(A)は、変形補正機構部16によるワークWの変形を元の形状に復帰させる前の状態を示した平面図であり、図4(B)は、変形補正機構部16によるワークWの変形を元の形状に復帰させた状態、つまりワークWの変形を補正した状態を示した平面図である。なお、変形補正機構部16の作用は後述する。
図4(A)の如くワークWは、3本のローラ54、56、58にその下面が支持されることにより、その下面が互いに離れた3点の支持点a、b、cによって、3本のローラ54、56、58に支持される。
なお、ローラ54〜58の本数は3本に限定されるものではなく、ワークWの下面を安定的に支持可能な3本以上であればよい。
《調心機構部18》
図3の如く調心機構部18は、調心(センタリングともいう)用の爪66を備えた3個のブロック68、3個のブロック68を重心Gに対して各々進退移動させる3台の送り装置70、72、74、3個のブロック68を同期させて進退移動させるギヤ部76、及び送り装置70を駆動するハンドル78を備える。
図5は、送り装置70の構成を示した側面図である。なお、送り装置72、74の構成は送り装置70と同一であるので、ここでは送り装置70の構成について説明する。
送り装置70は、ねじ軸80及びナット82から構成される。
送り装置70〜74の3本のねじ軸80は、図3の如く重心Gを中心として放射状に配置されるとともに、円周方向において120度の間隔(等間隔)をもって配置される。また、3本のねじ軸80は、それぞれの両端部が軸受62、64に回転自在に支持されて、テーブル14の上面と並行に配置される。すなわち、3本のねじ軸80は、図5の如く3本のローラ54〜58の下方に配置される。また、送り装置70のねじ軸80がハンドル78によって回転される。
ナット82は、ねじ軸80に螺合されるとともに、ブロック68に固定される。
3個のブロック68は、その下面がベース板52の上面に摺動可能に載置されるとともに、3本のねじ軸80の軸方向位置において同一位置にナット82を介して配置されている。
ギヤ部76は、各々のねじ軸80の端部に連結されたベベルギヤ84、ベベルギヤ84に噛合されたベベルギヤ86を備える。したがって、送り装置70のねじ軸80をハンドル78によって回転させると、ねじ軸80のベベルギヤ84からベベルギヤ86を介して、送り装置72、74の各々のねじ軸80のベベルギヤ84に回転力が伝達される。これにより、3本のねじ軸80が同時に回転され、これによって、3個のブロック68が、ねじ軸80の軸方向位置において同一位置を維持しつつ、図3(B)の矢印A方向、及び図5の矢印B方向に同期して進退移動される。
なお、図5において、符号88は、ベベルギヤ86の下端軸を支持する軸受であり、符号90は、ベベルギヤ86の上端軸を支持する軸受である。
〔真円度測定機10の作用〕
まず、図5の如く、ハンドル78を逆回転させて、爪66を外側(矢印B方向)に退避移動させ、3本のローラ54、56、58にワークWの下面を載置する際にワークWの下面が爪66に衝突しないようにする。
次に、図4(A)の如く、ワークWの下面を3本のローラ54、56、58に載置する。このとき、ワークWは、ワークWを手で把持したときの握力によって変形した状態で3本のローラ54、56、58に載置されるが、3本のローラ54、56、58との接触点である支持点a、b、c以外の下面(非支持部分)は、3本のローラ54、56、58に接触されておらず、3本のローラ54、56、58との間に生じる摩擦力もないので、元の形状に復帰する。
次に、図3(B)の如く、ハンドル78を正転させて3個の爪66をワークWの外周面(円筒面)に接触させてワークWの調心を行う(変形補正工程の前工程で行われる調心工程)。これにより、ワークWの中心軸WAがテーブル14の回転軸28に合致する。
次に、ハンドル78を逆回転させて、爪66をワークWの外周面から外側に退避移動させる。
次に、図4(B)の如く、ハンドル60を適量回転させる。これにより、ローラ54が回転することでワークWが矢印C方向に回転され、ワークWの回転に追従して他のローラ56、58も回転する。このとき、ワークWの下面に対する支持点a、b、cは、3本のローラ54、56、58との接触位置から、支持点a、b、cを含む平面内で、ワークWの円周方向に水平に移動し、図4(A)に示した元の位置から、その位置が変化する。これにより、支持点a、b、cは、3本のローラ54、56、58との間の摩擦力が開放される(変形補正工程)。
すなわち、3本のローラ54、56、58とワークWの下面との間の摩擦力に起因するワークWの変形位置(支持点a、b、c)が、3本のローラ54、56、58との接触位置から離れる。
これにより、図6のワークWの要部拡大図に示すように、支持点aが存在する、ワークWの破線で示す変形部分WBの前記摩擦力が開放されるので、ワークWは矢印D方向に元の形状に弾性的に復帰する。
したがって、実施形態の真円度測定機10によれば、外力によって変形し易い円筒状のワークWであっても、その後に行われる形状測定工程にて、ワークWの形状を精度よく測定することができる。
なお、変形補正工程におけるワークWの回転角度は、特に規定されるものではなく、3本のローラ54、56、58から支持点a、b、cが水平方向に十分に移動する位置まで移動させる回転角度であればよい。例えば30度〜60度の範囲であってもよい。
次に、図1の如く、検出器40の測定子38をワークWの外周面に接触させた状態で、テーブル14をモータ32によって1回転させ、ワークWの外周面の1周分のデータを採取する。アナログ電圧値として得られた検出信号は、増幅器42で増幅され、A/D変換器44でデジタル信号に変換されて演算/処理手段46に出力される。演算/処理手段46は、エンコーダ36から出力される回転角度データと、検出器40によって検出された変位データとからワークWの外周面の真円度を演算し、その結果を表示手段48で表示させる。
なお、ワークWを非回転とし、検出器40をワークWの中心軸WAを中心に回転させてもよく、ワークW及び検出器40をワークWの中心軸WAを中心に回転させてもよい。つまり、検出器40の測定子38とワークWとを、ワークWの中心軸WAを中心に相対的に回転させればよい。
〈実施例と比較例〉
図7(A)は、実施形態の真円度測定機10によって測定されたワークWの真円度データ図であり、図7(B)は、図14の従来の真円度測定機によって測定されたワークWの真円度データ図である。また、双方の測定においては、測定精度を1μmに設定して実施した。
図7(B)の真円度データ図によれば、元の形状にワークWが復帰できていないことが分かり、これに対して図7(B)の真円度データ図によれば、元の形状にワークWが復帰した後、ワークWが測定されたことが分かる。よって、変形補正機構部16を備えることによって、測定精度を大幅に向上することができた。
〔ローラの他の形態〕
図8は、図5に示した直棒状のローラ54、56、58に代えて、円錐台形状のローラ92が適用された変形補正機構部の側面図である。このローラ92は、先端の小径部92AがワークWの中心軸WAに向けて配置されている。
円錐台形状のローラ92を回転させると、3本のローラ92のそれぞれの傾斜部に載置されているワークWの下面は、つまり、3箇所の支持点a、b、c(cは不図示)は、傾斜部の周速の違いによって、ワークWの外方に向けて力が付与される。そして、ワークWは、これらの3方向の力のバランスが取れる位置に、すなわち、ローラ92によるワークWの回転中心(つまり重心G)にワークWの中心軸WAが合致する位置に自動で移動される。
したがって、重心GにワークWの中心軸WAを合致させることができる。この際に、重心Gとテーブル14の回転軸28とを予め合致させておくことにより、回転軸28に、ワークWの中心軸WAを合致させるという調心作業を、ローラ92の回転のみで行うことができる。
図2等に示した3本のローラ54、56、58、及び図8に示した3本のローラ92は、等間隔に配置されているので、ワークWをバランスよく回転させることができる。
図9は、図2等に示したローラ54、56、58の変形例を示したローラ94の断面図である。
このローラ94の表面には、突起95が備えられている。ワークWの下面WCは、ローラ94の矢印E方向の回転によって、突起95により上方に突き上げられ、この後、突起95が下面WCから退避することにより落下してローラ94の外周面に当接する。突起95が下面WCから上方に退避した直後において、ワークWの下面WCは、宙に浮いた状態となるので、この瞬間にワークWは、ローラ94との摩擦力が開放されて元の形状に復帰する。
図10は、ワークWの内側にエアー配管96を挿入し、エアー配管96のノズル98からワークWの内壁面に向けてエアー100を噴射することを示した説明図である。エアー100によってワークWの内圧を高めることにより、ワークWの形状復帰を効果的にサポートすることができる。
以上説明した真円度測定機10では、支持部材としてローラを用い、ローラにてワークWの下面を少なくとも3点の支持点で支持したが、ワークWの下面を少なくとも3点の支持点で支持可能な支持部材であれば適用できる。
図11は、第2の実施形態の変形補正機構部110の平面図である。なお、変形補正機構部110を説明するに当たり、図1〜図5に示した変形補正機構部16と同一又は類似の部材には同一の符号を付し、その説明は省略する。
変形補正機構部110は、支持部材である3本の長尺状の受け台112と、第2の支持点移動手段である3本の断面D字形ローラ(以下、「Dカットローラ」と称する。)114と、を備える。
受け台112は、ベース板52の上面において、重心Gを中心に放射状に、かつ重心Gを中心とする円周方向に等間隔に固定され、その上面112AにワークWの下面WCが載置される。すなわち、ベース板52の上面に対する3本の受け台112の高さは、同一の高さに設定されている。
Dカットローラ114は、それぞれの両端部がベース板52に取り付けられた軸受62、64に回転自在に支持されて、各々の回転軸114Aがテーブル14の上面と並行に配置される。3本のDカットローラ114と3本の受け台112とは、重心Gを中心とする円周方向に交互に、かつ等間隔に配置されている。
図12は、Dカットローラ114の回転機構部の構成を示した側面図である。なお、図12では、調心機構部18が示されているが、調心機構部18の構成、作用は図3に示した調心機構部18と同様であるので、ここではその説明を省略する。
3本のDカットローラ114のうち1本のDカットローラ114の基端部にはハンドル60が設けられ、ハンドル60の回動操作によってDカットローラ114が回転軸114Aを中心に回転される。Dカットローラ114の先端部には、ベベルギヤ116が設けられ、ベベルギヤ116は、ベベルギヤ118に噛合されている。また、ベベルギヤ118には、残りの2本のDカットローラ114の先端部に設けられたベベルギヤ116が噛合されている。したがって、ハンドル60によって1本のDカットローラ114を回転させると、その回転力がベベルギヤ116、118を介して残りの2本のDカットローラ114のベベルギヤ116に伝達される。これにより、3本のDカットローラ114が同期して回転される。
また、ワークWの下面WCを3本の受け台112に載置する際に、3本のDカットローラ114は、その表面に備えたフラット面114Bが上方を向くように回転方向の位置が設定されている。
図13は、ベース板52の上面に対する受け台112とDカットローラ114の高さ関係を示した説明図である。
二点鎖線で示すように、Dカットローラ114のフラット面114Bが上方に向いた位置では、フラット面114Bよりも受け台112の上面112Aの高さが高く設定されている。また、Dカットローラ114が矢印F方向に回動されて、Dカットローラ114の円周面114Cが実線の如く上方を向いた位置では、受け台112の上面112Aの高さよりも円周面114Cの高さが高く設定されている。
したがって、Dカットローラ114の円周面114Cが上方を向いた位置では、3本の受け台112に支持された、ワークWの下面WCの3点の支持点a、b、c(図11参照)が、受け台112の上面112Aに対して鉛直方向の上方に移動する。
〔変形補正機構部110の作用〕
図11、図12の如く、ワークWの下面WCを3本の受け台112の上面112Aに載置する。このとき、ワークWは、ワークWを手で把持したときの握力によって変形した状態で3本の受け台112の上面112Aに載置されるが、3本の受け台112との接触点である支持点a、b、c以外の下面WCは、3本の受け台112に接触されておらず、3本の受け台112との間に生じる摩擦力もないので、元の形状に復帰する。
次に、ハンドル60を所定角度(例えば、20°〜30°)回動させると、3本のDカットローラ114が同時に回動し、ワークWの下面WCが、図13の実線で示すように、3本のDカットローラ114の円周面114Cによって上方に突き上げられる。これにより、下面WCが、受け台112の上面112Aから上昇されて、上面112Aから離間する。この動作によって、ワークWの支持点a、b、cが受け台112から上方に移動するので、支持点a、b、cを含むその近傍部分の歪が解放される。これにより、支持点a、b、cを含むその近傍部分が元の形状に復帰する。
ワークWの下面WCを受け台112の上方に離間させる変形補正機構部110によれば、ワークWが上昇した瞬間に前記歪を解放できるので、ハンドル60を回動させる歪取りの回数は2回程度で充分である。
この後、ハンドル60を元に戻し、ワークWの下面WCを3本の受け台112の上面112Aに載置する。この後、前述した形状測定工程を実施する。
なお、第2の実施形態の変形補正機構部110では、第2の支持点移動手段として、Dカットローラ114を適用したが、これに限定されるものではなく、ワークWの下面WCの支持点a、b、cを受け台112に対して上方に移動させることができる手段であれば適用できる。
また、第2の支持点移動手段として、ワークWの下面WCから受け台112を下降移動させて、ワークWの下面WCの支持点a、b、cを受け台112から下方に移動させる手段を適用してもよい。すなわち、第2の支持点移動手段は、受け台112に対する支持点a、b、cの鉛直方向の相対位置を変更し、支持点a、b、cを受け台112の上面112Aから移動させる手段であれば適用できる。
更にまた、実施形態にて説明した変形補正機構部16、110は、適用が真円度測定機10に限定されるものではなく、3次元形状測定機等、他の形状測定機にも適用できる。
W…ワーク、10…真円度測定機、12…本体、14…テーブル、16…変形補正機構部、18…調心機構部、20…X方向微動つまみ、22…Y方向微動つまみ、24…X方向傾斜つまみ、26…Y方向傾斜つまみ、28…回転軸、30…軸受、32…モータ、34…出力軸、36…エンコーダ、38…測定子、40…検出器、42…増幅器、44…A/D変換器、46…演算/処理手段、48…表示手段、50…プログラム、52…ベース板、54、56、58…ローラ、60…ハンドル、62、64…軸受、66…爪、68…ブロック、70、72、74…送り装置、76…ギヤ部、78…ハンドル、80…ねじ軸、82…ナット、84、86…ベベルギヤ、88、90…軸受、92…ローラ、94…ローラ、95…突起、96…エアー配管、98…ノズル、100…エアー、110…変形補正機構部、112…受け台、114…Dカットローラ、116、118…ベベルギヤ

Claims (10)

  1. 被測定物の形状を測定する形状測定機において、
    前記被測定物の下面を少なくとも3点の支持点によって支持する支持部材と、
    前記支持部材によって前記被測定物が支持された状態で、前記支持部材に対して前記被測定物を前記被測定物の下面に直交する方向の回りに相対的に回転させて、前記支持部材と前記被測定物との間に生じた摩擦力を一旦開放することにより、前記支持部材に支持された前記被測定物の変形を補正する変形補正機構部と、
    を備えることを特徴とする形状測定機。
  2. 前記支持部材は、前記被測定物の中心軸に対して垂直な回転軸を有し、前記被測定物の下面を支持する少なくとも3本のローラを備える請求項1に記載の形状測定機。
  3. 前記少なくとも3本のローラは、円錐台形状に構成され、先端の小径部が前記被測定物の中心軸に向けて配置される請求項に記載の形状測定機。
  4. 前記少なくとも3本のローラは、等間隔に配置される請求項又はに記載の形状測定機。
  5. 被測定物の形状を測定する形状測定機において、
    前記被測定物の下面を少なくとも3点の支持点によって支持する支持部材と、
    前記支持部材と前記被測定物との間を離間させて、前記支持部材と前記被測定物との間に生じた摩擦力を一旦開放することにより、前記支持部材に支持された前記被測定物の変形を補正する変形補正機構部と、
    を備えることを特徴とする形状測定機。
  6. 円筒状の前記被測定物を、前記被測定物の中心軸を中心に回転させる回転部材を備え、前記回転部材の上面に前記支持部材と前記変形補正機構部とが備えられる請求項1からのいずれか1項に記載の形状測定機。
  7. 前記被測定物の円筒面に当接して前記被測定物を移動させ、前記被測定物の中心軸を、前記回転部材の回転中心軸に合わせる調心機構部を備える請求項に記載の形状測定機。
  8. 被測定物の下面を、支持部材によって少なくとも3点の支持点によって支持し、前記支持部材によって前記被測定物が支持された状態で、前記支持部材に対して前記被測定物を前記被測定物の下面に直交する方向の回りに相対的に回転させて、前記支持部材と前記被測定物との間に生じた摩擦力を一旦開放することにより、前記支持部材に支持された前記被測定物の変形を変形補正機構部によって補正する変形補正工程と、
    前記被測定物に検出器の測定子を接触させ、前記被測定物及び前記測定子を相対的に移動させることにより、前記被測定物の形状を測定する形状測定工程と、
    を備えることを特徴とする形状測定方法。
  9. 被測定物の下面を、支持部材によって少なくとも3点の支持点によって支持し、前記支持部材と前記被測定物との間を離間させて、前記支持部材と前記被測定物との間に生じた摩擦力を一旦開放することにより、前記支持部材に支持された前記被測定物の変形を変形補正機構部によって補正する変形補正工程と、
    前記被測定物に検出器の測定子を接触させ、前記被測定物及び前記測定子を相対的に移動させることにより、前記被測定物の形状を測定する形状測定工程と、
    を備えることを特徴とする形状測定方法。
  10. 前記変形補正工程の前工程に、円筒状の前記被測定物の中心軸を、前記被測定物を回転させる回転部材の回転中心軸に合わせる調心工程を備える請求項又はに記載の形状測定方法。

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