JP2001349723A

JP2001349723A - 枚葉状サセプター形状測定装置

Info

Publication number: JP2001349723A
Application number: JP2000171409A
Authority: JP
Inventors: Daisuke Kitamura; 大輔北村; Yuichi Kanai; 裕一金井; Keisuke Yamazaki; 啓介山崎
Original assignee: Toshiba Ceramics Co Ltd
Current assignee: Coorstek KK
Priority date: 2000-06-08
Filing date: 2000-06-08
Publication date: 2001-12-21

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】煩雑な操作などを要せずに、枚葉状サセプター
の表面形状を高精度に測定・評価する。【解決手段】基台８の水平面に対して平行に設置された
ターンテーブル９上に同軸的に配置され、かつ枚葉状サ
セプター１１をターンテーブル９に対し離隔支持する少
なくとも３本の仮支持部材１２（１２ａ、１２ｂ）、と
複数の可動支持ピン１３（１３ａ、１３ｂ、１３ｃ）
と、仮支持部材もしくは可動支持ピンで支持された枚葉
状サセプターの外周端縁に対接して位置決めする少なく
とも３本のセンタリングピン１４（１４ａ、１４ｂ、１
４ｃ）と、枚葉状サセプターに対向配置され、枚葉状サ
セプターの径方向に直線的に移動する変位センサが付設
されたヘッドを有し、ターンテーブルの回転およびスラ
イドレール機構によるヘッドの直線的な移動によって枚
葉状サセプターの表面形状を測定するように構成され
た。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、シリコンウェハー
などの熱処理に用いる枚葉状サセプターの表面形状の測
定に適する枚葉状サセプター形状測定装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】たとえばシリコンウェハーは、直径約２
００mmの単結晶のインゴットをマルチワイヤソー、ＩＤ
ソーなどによって、０．６〜０．８mm程度の厚さにスラ
イスして作成される。このように、ウェハーは、薄層体
であるために反りを生じ易く、外力に対して容易に変形
する。したがって、たとえば熱処理中においては、ウェ
ハーに不要な応力が加わらないように、サセプターで保
持している。そして、こうしたサセプターの機能性から
して、サセプターの形状が重要視される。

【０００３】従来、この種の枚葉状サセプターの形状測
定装置として、たとえば図６に概略構成を断面的に示す
ような測定装置が使用されている。図６において、１は
基台、２は前記基台１の水平面に対して平行に設置され
たターンテーブル、３は前記ターンテーブル２面上に同
軸的に配置された枚葉状サセプター、４は前記枚葉状サ
セプター３に載置・装着されたウェハーである。なお、
ターンテーブル２は、ボールベアリング５で軸支され、
回転する構成を採っている。

【０００４】ここで、枚葉状サセプター３は、接触によ
るストレスがウェハー４に、加わらないように、同心円
状に段差付きで開口したり、あるいは図７に断面的に示
すごとく、同心円状に凹面化した構成が採られている。
つまり、対応箇所が段付けなど加工された枚葉状サセプ
ター３の外周縁部全周に亘って、もしくは全周のうちの
複数箇所で、ウェハー４を載置・装着する構成を採って
いる。そして、ウェハー４の大半が枚葉状サセプター３
に非接触状態を維持させ、枚葉状サセプター３との接触
によるストレスを回避している。

【０００５】また、６は前記基台１に支持され、かつ前
記ターンテーブル２面上に対向して設置されたＸ−Ｚロ
ボット、７は前記Ｘ−Ｚロボット６に装着された変位セ
ンサである。ここで、Ｘ−Ｚロボット６は、ボールネジ
６ａおよびリニアガイド６ｂで構成されている。すなわ
ち、ボールネジ６ａのスムースな運行と、このボールネ
ジ６ａを一定の方向に進退運行させるリニアガイド６ｂ
と、これらの進退・運行に従動する変位センサ７によっ
て、枚葉状サセプター３の表面形状を測定・評価する構
成となっている。

【０００６】ところで、半導体素子ないし半導体装置の
高性能化などに伴って、たとえばシリコンウェハー４の
品質管理も重要視されており、こうした動向に対応して
枚葉状サセプター３の形状測定装置の高精度化が要求さ
れている。すなわち、ウェハー４の表面形状は、最終的
に、半導体装置の歩留まり、品質・信頼性などに係るの
で、前記ウェハー４の熱処理に、支持具的に使用する枚
葉状サセプター３の形状測定精度が重要視されている。

【０００７】たとえば、半導体の製造においては、その
生産効率などの点から、ウェハー４の大口径化が図られ
ており、このウェハー４の大口径化に伴って枚葉状サセ
プター３も必然的に大口径化している。しかしながら、
従来の枚葉状サセプター３の構造において、段付け面で
外周部を支持する方式を採った場合（図６参照）、加熱
処理過程で載置・装着したウェハー４が反りを起こし、
段付け面の角部においてスリップを生ずるという問題が
ある。一方、ウェハー４の装着支持面を凹面化した構成
の場合（図７参照）も、凹面化の状態（曲率）によって
は、下方からの加熱による熱伝達状態の相違に基づい
て、ウェハー４の温度分布が不均一化し易く、結果的
に、ウェハー４の反り発生を招来し、極端の場合、ウェ
ハー４がスリップを起こすという不都合がある。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】そこで、各種ウェハー
の熱処理条件、ウェハーの特性、省エネルギーなどを考
慮し、枚葉状サセプター３の凹面化の状態（曲率）の設
計、枚葉状サセプター３の薄肉化、加熱時における枚葉
状サセプター３の支持方式などの検討・実用化が進めら
れている。たとえば、加熱効率を挙げるため、ウェハー
４の載置・装着面を凹面化した構成の枚葉状サセプター
３を３点で支持する方式が実用化されている。

【０００９】しかし、上記３点支持方式を採った場合、
枚葉状サセプター３の自重による撓み（反り）が無視で
きない程大きくなる。たとえば、厚さ６．５ｍｍ、直径
１５０ｍｍの場合の撓みが１μｍであるのに対し、厚さ
６．５ｍｍ、直径２２５ｍｍの場合の撓み７μｍ、厚さ
６．５ｍｍ、直径３２５ｍｍの場合の撓み３０μｍであ
る（いずれも計算値）。このような撓みの問題は、枚葉
状サセプター３が薄肉化する程顕著となり、測定精度を
大幅に損なう恐れがあり、実用的には、十分な対応策と
いえない。

【００１０】上記自重による撓み（反り）の問題に対し
て、縦型ないし垂直方向にターンテーブルを配置し、そ
のターンテーブルの平坦面に沿わせて薄層体を縦型に配
置する一方、薄層体外周面をターンテーブル面に予め設
置しておいた係止片で係止させ、回転させる方式が提案
されている。すなわち、ターンテーブルをその軸中心に
回転させ、ターンテーブルの回転遠心力によって、薄層
体を外周方向に伸張させて、縦方向の重力に起因する薄
層体の撓みを矯正する一方、薄層体に対向し離隔（非接
触）配置した測定部によって表面形状を測定する方式が
知られている。

【００１１】しかしながら、ターンテーブルを縦型ない
し垂直方向に配置する測定装置の場合は、枚葉状被検体
の供給・装着などの操作が煩雑であるだけでなく、測定
装置の機構・構造も複雑化するので、生産性ないし量産
性およびメンテナンスなどの点で、なお、問題が残され
ている。

【００１２】本発明は、上記事情に対応してなされたも
ので、煩雑な操作などを要せずに、枚葉状サセプターの
表面形状を高精度に測定・評価できる枚葉状サセプター
形状測定装置の提供を目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、水平
に設置され、かつ回転可能なターンテーブルと、前記タ
ーンテーブル面に同軸的に配置され、かつ枚葉状サセプ
ターをターンテーブル面からに離して支持する仮支持部
材と、前記ターンテーブル面にその中心軸から外周方向
へ放射状に進退・移動可能に配置され、かつ先端面が枚
葉状サセプターを載置・支持する複数の可動支持ピン
と、前記仮支持部材の先端面に対する可動支持ピンの先
端面位置を上下移動させる可動支持ピン移動機構と、前
記枚葉状サセプターに対向して配置され、かつ枚葉状サ
セプターの径方向に直線的に移動するヘッドを備えたス
ライドレール機構と、前記ヘッドに付設された変位セン
サとを有し、前記ターンテーブルの回転およびスライド
レール機構によるヘッドの直線的な移動によって、支持
された枚葉状サセプターの表面形状を測定するように構
成されたことを特徴とする枚葉状サセプター形状測定装
置である。

【００１４】請求項２の発明は、請求項１記載の枚葉状
サセプター形状測定装置において、複数の可動支持ピン
が、同期して放射状に進退・移動するように構成されて
いることを特徴とする。

【００１５】請求項３の発明は、請求項１もしくは請求
項２記載の枚葉状サセプター形状測定装置において、タ
ーンテーブル面にその中心軸から外周方向へ放射状に進
退・移動な複数のセンタリングピンが配置されているこ
とを特徴とする。

【００１６】請求項４の発明は、請求項１ないし請求項
３いずれか一記載の枚葉状サセプター形状測定装置にお
いて、可動支持ピンの先端部が着脱自在な部材で構成さ
れていることを特徴とする。

【００１７】請求項１ないし４の発明において、ターン
テーブルを水平面に対して平行に設置する基台は、一般
的に、除振台付きの石定盤であり、エアベアリングを介
してターンテーブルの回転軸を軸支し、また、この回転
軸を回転駆動する回転駆動系、たとえばモータなどが隣
接配置されている。ここで、ターンテーブルの回転軸を
軸支するエアベアリングは、回転駆動時における径方向
および上端面の振れが、たとえばダイヤルゲージによる
測定で、高々１μｍ程度の範囲内に収まるように、設定
することが好ましい。

【００１８】請求項１ないし４の発明において、ターン
テーブルは、たとえば厚さ１０〜２０ｍｍ程度、直径３
００〜５００ｍｍ程度の円板状であり、一般的に、アル
ミニウム、ジュラルミン、ステンレス鋼などを素材とし
て形成されている。また、回転駆動時における径方向お
よび上端面の振れが、たとえばダイヤルゲージによる測
定で、高々１μｍ程度の範囲内に収まるように設定され
る。

【００１９】請求項１ないし４の発明において、ターン
テーブル上に枚葉状サセプターを同軸的に、かつターン
テーブルに対し離隔して支持する仮支持部材は、基本的
には、枚葉状サセプターを仮にもしくは一時的に支持す
るもので、略平面的に支持するために、少なくとも３本
を略等間隔に配置されている。ここで、仮支持部材は、
たとえば径５〜２０ｍｍ程度、長さ２０〜５０ｍｍ程
度のピン状もしくは棒状のもので、進退・伸縮型に構成
されたものでもよい。そして、この仮支持部材は、ター
ンテーブルに固定的に付設した専用的な構成としてもよ
いが、着脱自在型の配置・構成としてもよい。また、枚
葉状サセプターの口径によっては、それら仮支持部材に
可動支持ピンの機能を持たせてもよい。なお、被測定体
となる枚葉状サセプターは、仮支持部材などの支持端面
に対して、平坦面を採った構造、あるいは凸湾曲した構
造など、いずれの場合も対象となる。

【００２０】また、ターンテーブル面にその中心軸から
外周方向へ放射状に進退・移動可能に配置された可動支
持ピンは、その先端面が枚葉状サセプターを載置・支持
するために、少なくとも３本である。そして、これらの
可動支持ピンは、ターンテーブルの中心軸に対して同心
円的な位置関係を保持し、かつ中心軸から外周方向へ放
射状に進退・移動して、その先端部で枚葉状サセプター
を載置・支持する。なお、可動支持ピンは、枚葉状サセ
プターを載置・支持する機能を呈する限り、その先端部
の形状など制限されない。

【００２１】ここで、可動支持ピンは、たとえば径５〜
２０ｍｍ程度、長さ２０〜５０ｍｍ程度であり、載置・
支持する枚葉状サセプターの口径ないし支持位置に応じ
て、予め設けた挿入孔に対する選択的な挿着、あるいは
レール摺動方式ななどによって適宜移動もしくは摺動
し、かつ筒所定の位置に固定される構成を採っている。
なお、この可動支持ピンは、環状部材に突起状の支持部
を設けた構成とし、ターンテーブルに対して着脱自在型
としてもよい。

【００２２】さらに、可動支持ピン移動機構は、可動支
持ピンを植設方向（可動支持ピンの軸方向）に進退させ
るもので、各可動支持ピンごとに分けた構成としてもよ
いし、同期させた構成としてもよい。すなわち、可動支
持ピン移動機構は、仮支持部材の先端面で一時的もしく
は仮に支持させた枚葉状サセプターを、必要に応じて測
定時に可動支持ピンの先端部での支持に切り換え、測定
後、再び仮支持部材の先端面による仮支持に戻せるよう
に機能する。つまり、枚葉状サセプターのセッティン
グ、枚葉状サセプターの形状測定、枚葉状サセプターの
取り外し操作などに対応して、仮支持部材の先端部での
支持もしくは可動支持ピンの先端部での支持に適宜切り
換えることとができるように、可動支持ピン移動機構で
駆動・制御される。

【００２３】請求項１〜４の発明において、スライドレ
ール機構は、被測定体としての枚葉状サセプターに対向
して配置され、かつその枚葉状サセプターの径方向に直
線的に、変位センサ付きのヘッドを移動させる機能を備
えている。ここで、スライドレール機構は、たとえば真
直度０．１〜１μｍ程度、ストローク３５０〜６００ｍ
ｍ程度のエアスライドなどが挙げられる。また、前記ヘ
ッドに付設された変位センサは、たとえば分解能０．１
〜１μｍ程度のＣＣＤ式レーザセンサなど、非接触式の
変位センサである。

【００２４】さらに、非接触式の変位センサは、ターン
テーブルの回転およびスライドレール機構によるヘッド
の直線的な移動によって、被検体である枚葉状サセプタ
ーの表面形状を測定するように構成されている。なお、
変位センサがＣＣＤ式レーザセンサの場合、枚葉状サセ
プターの表面形状による影響を受けると、測定データが
不安定になり易いので、イレギュラーデータを削除し、
残りデータから近似円弧を求めるなどの補正を行うこと
が望ましい。

【００２５】なお、請求項１〜４の発明において、枚葉
状サセプターのセッティング操作の簡略化を図るため
に、仮支持部材や可動支持ピンの配置に準じて、ターン
テーブル上に同心円的にセンタリングピンを配置するこ
とが望ましい。ここで、センタリングピンは、たとえば
フッ素系樹脂製などが挙げられる。

【００２６】請求項１ないし４の発明では、先ず、枚葉
状サセプターは、ターンテーブルに対して仮支持部材に
より、適正に載置・支持される一方、センタリングピン
を有する場合はターンテーブルに対する同軸的な配置
が、より容易に確保される。次ぎに、要すれば、可動支
持ピンの放射方向への進退および高さ方向への進行によ
り、前記仮定的な載置・支持から、形状測定を行える適
正な状態に、枚葉状サセプターを載置・支持に切り換え
る。

【００２７】この状態で、ターンテーブルを間欠回転さ
せる一方、変位センサを連続送り（走査）することによ
り、放射方向、表面形状を測定することができる。ま
た、ターンテーブルを連続回転させ、変位センサを連続
送りすることにより渦巻き状に、表面形状を測定でき、
さらに、ターンテーブルを連続回転させ、変位センサを
間欠送りすることにより同心円状に表面形状を測定する
ことができる。

【００２８】

【発明の実施態様】以下、図１〜図５を参照して実施例
を説明する。

【００２９】図１は、実施例に係る枚葉状サセプター表
面形状測定装置の要部構成を示す斜視図である。図１に
おいて、８はターンテーブル９を水平面に対して平行に
設置する基台で、たとえば除振台８ａ付きの長さ１００
０ｍｍ、幅７５０ｍｍ、厚さ１５０ｍｍの石定盤であ
る。そして、この石定盤８のほぼ中心位置には、厚さ方
向に貫通する形で透視的に示すように、エアベアリング
１０が配置され、このエアベアリング１０によってター
ンテーブル９の回転軸が軸支されている。

【００３０】なお、ターンテーブル９の回転軸を軸支す
るエアベアリング１０は、回転駆動時における径方向お
よび上端面の振れが、ダイヤルゲージによる測定で１μ
ｍ以下に設定されている。そして、ターンテーブル９の
回転軸は、図示を省略した駆動モータ、たとえばステッ
ピングモータによって回転駆動源として回転する構成に
なっている。

【００３１】また、ターンテーブル９は、各種サイズの
枚葉状サセプター１１の測定を行えるように、たとえば
直径４５０ｍｍ程度のジュラルミン製円板が選ばれてお
り、また、その厚さは１２ｍｍ程度で、回転駆動時にお
ける径方向および上面の振れが、たとえばダイヤルゲー
ジによる測定で、１μｍ以下に収まるように設定されて
いる。

【００３２】さらに、１２はターンテーブル９上に枚葉
状サセプター１１を同軸的に、かつターンテーブル９に
対し離隔保持する仮支持部材、１３はターンテーブル９
の中心から外周方向へ放射状に可動可能に配置され、表
面形状を測定する枚葉状サセプター１１を支持する可動
支持ピン、１４は枚葉状サセプター１１のセンタリング
を行うセンタリングピンである。ここで、仮支持部材１
２は、ターンテーブル９の回転軸を基点として、たとえ
ば１２０度の角度で径方向に伸びる線上に、同心円的に
ほぼ垂直に植設されて、枚葉状サセプター１１を同軸的
に仮に載置・装着（セッティング）する。

【００３３】一方、可動支持ピン１３も、ターンテーブ
ル９の回転軸を基点として、たとえば１２０度の角度
で、かつ前記仮支持部材１２を植設した線と同一もしく
は異なる径方向に伸びる線上に、同心円的に、また、高
さの調整・設定を任意に行える構成でほぼ垂直に植設さ
れている。つまり、枚葉状サセプター１１の口径、肉厚
などに応じて適切に、そして適正な表面形状測定を行え
るように、枚葉状サセプター１１を同軸的に載置・支持
する。さらに、センタリングピン１３は、ターンテーブ
ル９にほぼ垂直に植設されて、前記同軸的に載置・装着
支持される枚葉状サセプター１１のセンタリングを行
う。

【００３４】なお、この実施例では、サイズの異なった
枚葉状サセプター１１の載置・装着ができるように、た
とえば図２に上面的に、また、図３に図２のＡ−Ａ線に
沿った断面的にそれぞれ示すように、仮支持部材１２
は、３本で一組１２ａ、１２ｂを、可動支持ピン１３
も、３本で一組１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、…をそれぞれ
形成し、各組を形成する仮支持部材１２ａ、１２ｂ、お
よび可動支持ピン１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、…ごとに１
３０°の角度で径方向に延びる線上に同心円的に、挿着
型もしくは摺動・スライド型にそれぞれ配置されてい
る。

【００３５】ここで、仮支持部材１２ａ、１２ｂは、径
９ｍｍ、長さ２４ｍｍの先端が半球状であり、また、可
動支持ピン１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、…は、径９ｍｍ、
長さ２４ｍｍの円柱状で、また、センタリングピン１４
ａ、１４ｂ、…は、径１２ｍｍ、長さ３８ｍｍの円柱状
である。なお、各組の仮支持部材１２ａ、１２ｂ、可動
支持ピン１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、…、およびセンタリ
ングピン１４ａ、１４ｂ、…は、それぞれ被測定体とな
る枚葉状サセプター１１のサイズに対応して適宜選択・
設定するため、厚さ方向へ進退するようにターンテーブ
ル９に設置されている。

【００３６】さらにまた、１５は枚葉状サセプター１１
に対向して配置され、かつ枚葉状サセプター１１の径方
向に直線的に移動するヘッド１５ａを備えたエアスライ
ドレール機構である。この実施例では、真直度１μｍ／
４２０ｍｍ、ストローク４６０ｍｍのエアスライドであ
る。そして、前記エアスライド１５のヘッド１５ａに
は、変位センサ１６が付設されている。ここで、変位セ
ンサ１５は、分解能１μｍ、測定範囲±５ｍｍのＣＣＤ
式レーザセンサである。

【００３７】次に、上記構成の測定装置による枚葉状サ
セプター１１の表面形状測定例を説明する。先ず、ター
ンテーブル９の仮支持部材１２ａもしくは１２ｂ、およ
びセンタリングピン１４ａもしくは１４ｂによってター
ンテーブル９上に、枚葉状サセプター１１を離隔ないし
浮揚状態にセットする。その後、可動支持ピン１３（１
３ａ、１３ｂ、１３ｃ、…）を径方向に摺動させる一
方、可動支持ピン１３の先端部の高さを仮支持部材１２
ａ、１２ｂ先端部の高さよりも高くし、仮支持部材１２
ａ、１２ｂによる枚葉状サセプター１１の支持を可動支
持ピン１３による支持に切り換える。ここで、可動支持
ピン１３に対する枚葉状サセプター１１の支持切り換え
は、枚葉状サセプター１１の口径（サイズ）により、可
動支持ピン１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、…のいずれかが適
宜選択され、また、各可動支持ピン１３ａ、１３ｂ、１
３ｃ、…の先端部位置、高さが同一になるように設定さ
れる。

【００３８】この状態（ターンテーブル９は停止）で、
エアスライド１５のヘッド１５ａ、換言すると変位セン
サ１６を枚葉状サセプター１１の径方向に直線的に走査
する。なお、この変位センサ１６の走査は、枚葉状サセ
プター１１の外径を超えて行われる。その後、ターンテ
ーブル９を一定角度（たとえば９０度）回転させて、上
記と同様に変位センサ１６を枚葉状サセプター１１の径
方向に直線的に走査する。このような操作を繰り返すこ
とにより、図４（ａ）に示すように、枚葉状サセプター
１１の放射方向について表面形状の測定が行われる。

【００３９】また、ターンテーブル９を回転させなが
ら、変位センサ１６を枚葉状サセプター１１の中心から
外周（もしくは外周から中心）方向に走査することによ
り、図４（ｂ）に示すごとく、枚葉状サセプター１１に
ついて渦巻き状の表面形状が測定される。さらに、ター
ンテーブル９を回転させながら、変位センサ１６を枚葉
状サセプター１１の中心から外周（もしくは外周から中
心）方向に間欠的に走査することにより、図４（ｃ）に
示すごとく、枚葉状サセプター１１について同心円状の
表面形状が測定される。

【００４０】そして、この表面形状測定においては、エ
アスライド１５の真直度やエアベアリング１０の回転精
度が高いこと、さらには枚葉状サセプター１１の撓みの
低減・矯正が効果的に行われるため、測定精度±１０μ
ｍ以下の状態での測定・評価が行われる。

【００４１】たとえば、ターンテーブル９を一定角度回
転させて、変位センサ１５を枚葉状サセプター１１の径
方向（X軸およびY軸）に直線的に走査したときの結果を
図５（ａ）、（ｂ）に示す。ここで、図５（ａ）はX軸
について、図５（ｂ）はY軸方向についてそれぞれ示
し、このレーザセンサ１６による出力値には±５μｍ程
度のばらつきが認められた。

【００４２】そして、上記各測定データからイレギュラ
ーデータを削除し、残りのデータから近似円弧を求めて
補正を行うと、基準測定値とほぼ同様の傾向で、誤差は
±２μｍ以下であつた。なお、基準測定値は、測定範囲
±１５μｍ、分解能１μｍの電気マイクロメーターＥＭ
−３０Ｐ（東京精密社製）による接触式の測定によるも
のである。

【００４３】本発明は、上記実施例に限定されるもので
なく、発明の趣旨を逸脱しない範囲でいろいろの変形を
採ることができる。たとえば、エアベアリング、エアス
ライド、変位センサなどを、他の等価的な手段で代替す
ることもできるし、また、可動支持ピンの先端部を着脱
可能な帽子状（頂面平坦、半球型、扁平型など）にし
て、適宜使い分けするようにしてもよい。

【００４４】

【発明の効果】請求項１ないし４の発明によれば、枚葉
状サセプターが支持ピンによって、ターンテーブルに対
して水平に載置・支持される一方、センタリングピンの
外周面対接によって、ターンテーブルに対して同軸的な
配置が容易、確実になされる。しかも、ターンテーブル
の回転に伴う自重による撓みの発生も容易に矯正され、
また、ターンテーブルの回転精度の良さ、およびスライ
ドレール機構の高い精度などに伴って、大口径の枚葉状
サセプターにおける表面形状を精度よく測定できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例に係る測定装置の要部構成を示す斜視
図。

【図２】実施例に係る測定装置のターンテーブルの構成
を示す上面図。

【図３】実施例に係る測定装置のターンテーブルの構成
を示す側面図。

【図４】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、実施例に係る測定
装置のターンテーブルの回転と変位センサの走査方向と
の互いに異なる関係例を示す模式図。

【図５】（ａ）、（ｂ）は、実施例に係る測定装置によ
る枚葉状サセプターの測定例を示す曲線図。

【図６】従来の測定装置の要部構成例を示す斜視図。

【図７】従来の測定装置における枚葉状サセプターの載
置・装着部の構成例を示す断面図。

【符号の説明】

８……基台９……ターンテーブル１１……枚葉状サセプター１２、１２ａ、１２ｂ……仮支持部材１３、１３ａ、１３ｂ、１３ｃ……可動支持ピン１４、１４ａ、１４ｂ……センタリングピン１５……スライドレール機構１５ａ……ヘッド１６……変位センサ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｈ０１Ｌ 21/66 Ｈ０１Ｌ 21/66 Ｊ (72)発明者山崎啓介神奈川県秦野市曾屋30番地東芝セラミックス株式会社開発研究所内Ｆターム(参考） 2F069 AA52 BB40 CC07 DD25 DD30 GG01 GG04 GG06 GG07 GG52 GG62 HH02 HH09 HH24 HH30 JJ07 JJ17 JJ25 LL02 MM02 MM13 MM24 MM26 MM32 MM34 PP02 RR01 RR03 4M106 AA20 CA24 DB02 DB08 DJ02 DJ04 DJ06

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】水平に設置され、かつ回転可能なターン
テーブルと、前記ターンテーブル面に同軸的に配置さ
れ、かつ枚葉状サセプターをターンテーブル面から離し
て仮支持する仮支持部材と、前記ターンテーブル面にそ
の中心軸から外周方向へ放射状に進退・移動可能に配置
され、かつ先端面が枚葉状サセプターを載置・支持する
複数の可動支持ピンと、前記仮支持部材の先端面に対し
て可動支持ピンの先端面位置を上下移動させる可動支持
ピン移動機構と、前記枚葉状サセプターに対向して配置
され、かつ枚葉状サセプターの径方向に直線的に移動す
るヘッドを備えたスライドレール機構と、前記ヘッドに
付設された変位センサとを有し、前記ターンテーブルの
回転およびスライドレール機構によるヘッドの直線的な
移動によって、載置・支持された枚葉状サセプターの表
面形状を測定するように構成されたことを特徴とする枚
葉状サセプター形状測定装置。
【請求項２】複数の可動支持ピンが、同期して放射状
に進退・移動するように構成されていることを特徴とす
る請求項１記載の枚葉状サセプター形状測定装置。
【請求項３】ターンテーブル面にその中心軸から外周
方向へ放射状に進退・移動な複数のセンタリングピンが
配置されていることを特徴とする請求項１もしくは請求
項２記載の枚葉状サセプター形状測定装置。
【請求項４】可動支持ピンの先端部が着脱自在な部材
で構成されていることを特徴とする請求項１ないし請求
項３いずれか一記載の枚葉状サセプター形状測定装置。