JP2010133847A - 被測定物の高さ調整装置及びこれを備えた表面形状測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ワークWの高さを調整する高さ調整装置10が、測定用テーブル2上に昇降自在に設けられた昇降体82と、昇降体を支持するとともに、測定用テーブル表面に対して傾斜した傾斜面81aを有し、当該傾斜面の昇降体に対する相対移動により昇降体を昇降させるテーパブロックとを備え、昇降体は、前記被測定物を支持する球状部材102と、傾斜面に回転自在に当接するローラ103とを有する構成とする。
【選択図】図5
Description
2 測定用テーブル
3 センサ
4 仮置き用テーブル
5 ワーク搬送機構
10 高さ測定装置
11 ガイドバー
12 スライダ
15 支持アーム
16 ガイドパネル
25 フリーボールベアリング
31 シャフト
32 支持ベース
33 エアパッド
35 板バネユニット
36 板バネ
50 支持孔
51 シャフトハウジング
53 固定部材
54 軸受
55 軸受
56 プーリベアリング
57 プーリ
61 オルダム機構
62 前後ガイドキー
63 上部スライダ
64 左右ガイドキー
65 下部スライダ
66 センタプレート
81 テーパブロック
81a 傾斜面
82 昇降体
84 ネジ軸
86 ナット
87 軸受ユニット
88 カップリング
93 減速機
94 操作ノブ
101 本体(昇降体)
102 球状部材
103 ローラ
111 サイドガイドプレート
112 センタガイドプレート
113 固定具
117 操作ハンドル
120 昇降装置
123 支持ブロック
125 ボールネジ
126 移動台
131 前後スライダ
132 ベースプレート
133 前後ガイドレール
134 上下ガイドレール
135 上下スライダ
141〜144 分割片
151 サブガイドバー
152 サブスライダ
H ハーネス
W ワーク
Claims (4)
- 回転自在の測定用テーブル上において、被測定物の高さを調整する高さ調整装置であって、
前記測定用テーブル上に昇降自在に設けられた昇降体と、
前記昇降体を支持するとともに、前記測定用テーブル表面に対して傾斜した傾斜面を有し、当該傾斜面の前記昇降体に対する相対移動により前記昇降体を昇降させる支持ブロックと
を備え、
前記昇降体は、前記被測定物を支持する支持部材と、前記傾斜面に回転自在に当接するローラ部材とを有することを特徴とする被測定物の高さ調整装置。 - 前記支持ブロックに螺合し、その回転に基づき前記支持ブロックを直線的に移動させるネジ軸と、
前記ネジ軸に対する回転駆動力が入力される入力部材と、
前記ネジ軸と前記入力部材との間に設けられた減速機と
を更に備えたことを特徴とする、請求項1に記載の被測定物の高さ調整装置。 - 前記支持部材は、前記被測定物の下面に接触する球面部を有することを特徴とする、請求項1または請求項2に記載の被測定物の高さ調整装置。
- 請求項1から請求項3のいずれかに記載の被測定物の高さ調整装置を備えた表面形状測定装置。
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