JP6334051B2 - ウェハーの欠陥測定装置 - Google Patents
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Description
[付記1]
ウェハーの下面に空気を噴射してウェハーを浮揚させる下部ブロワと、
前記下部ブロワに対して昇降可能に具備され、ウェハーの上面に空気を噴射してウェハーを固定させる上部ブロワと、
前記上部ブロワの上側に具備され、ウェハーの上面の汚染を感知する上部汚染測定部と、
前記下部ブロワの下側に具備され、ウェハーの下面の汚染を感知する下部汚染測定部と、
前記上部ブロワと前記下部ブロワとの間に具備され、ウェハーの側面の汚染を感知する側面汚染測定部と、を含む、
ウェハーの欠陥測定装置。
前記上部ブロワと前記下部ブロワは、
空気が流動できるリング状の流路と、
前記流路に一定間隔を置いてウェハーの上下面に空気を噴射させることができる複数個の噴射口と、を含む、
付記1に記載のウェハーの欠陥測定装置。
前記上部ブロワと前記下部ブロワは、
前記ウェハーの上下面に噴射される空気の噴射角度が45゜であり、
前記ウェハーの中心とエッジとの間の中間地点に空気を噴射させる、
付記2に記載のウェハーの欠陥測定装置。
前記流路の前記噴射口は、少なくとも二つ以上のグループに分かれるように複数個の流路ユニットに区画され、
前記流路ユニットは、空気の噴射圧を調節するためにそれぞれのレギュレーターと連結される、
付記2に記載のウェハーの欠陥測定装置。
前記上部ブロワと前記下部ブロワは、
ウェハーの上下面の傾きを感知するリミットセンサーをさらに含み、
前記レギュレーターは、前記リミットセンサーで感知された傾きにしたがって前記流路ユニットに供給される空気の噴射圧を調節する、
付記4に記載のウェハーの欠陥測定装置。
前記側面汚染測定部は、
ウェハーの円周方向に移動可能な少なくとも二つ以上のカメラである、
付記1に記載のウェハーの欠陥測定装置。
前記上部ブロワと前記下部ブロワとの間に具備され、ウェハーの昇降移動を案内する昇降ガイド部をさらに含む、
付記1〜6のいずれか一項に記載のウェハーの欠陥測定装置。
ウェハーのノッチを測定するノッチ測定カメラと、
前記ノッチ測定カメラによって測定されたウェハーのノッチをグリップするノッチグリッパーと、
前記ノッチグリッパーと反対方向に具備されてウェハーのノッチの反対側を半径方向に支持するストッパーと、をさらに含む、
付記1〜6のいずれか一項に記載のウェハーの欠陥測定装置。
前記ノッチグリッパーは、
ウェハーのノッチ部の上下面及び側面の一部と接触される部分が緩衝材質で構成される、
付記8に記載のウェハーの欠陥測定装置。
前記ノッチグリッパーは、
ウェハーのノッチ部側面の一部との接触面積を減らすためにラウンドの形状に形成された側面部を含む、
付記8に記載のウェハーの欠陥測定装置。
前記ストッパーは、
ウェハーの半径方向に緩衝支持可能であるように空圧式で制御される、
付記8に記載のウェハーの欠陥測定装置。
120 : 上部ブロワ
130 : 上部汚染測定部
140 : 下部汚染測定部
151、152 : 側面汚染測定部
160 : 昇降ガイド部
170 : ノッチ測定カメラ
180 : ノッチグリッパー
190 : ストッパー
Claims (10)
- ウェハーの下面に空気を噴射してウェハーを浮揚させる下部ブロワと、
前記下部ブロワに対して昇降可能に具備され、ウェハーの上面に空気を噴射してウェハーを固定させる上部ブロワと、
前記上部ブロワの上側に具備され、ウェハーの上面の汚染を感知する上部汚染測定部と、
前記下部ブロワの下側に具備され、ウェハーの下面の汚染を感知する下部汚染測定部と、
前記上部ブロワと前記下部ブロワとの間に具備され、ウェハーの側面の汚染を感知する側面汚染測定部と、を含み、
前記上部ブロワと前記下部ブロワは、
空気が流動できるリング状の流路と、
前記流路に一定間隔を置いてウェハーの上下面に空気を噴射させることができる複数個の噴射口と、を含む、
ウェハーの欠陥測定装置。 - 前記上部ブロワと前記下部ブロワは、
前記ウェハーの上下面に噴射される空気の噴射角度が45゜であり、
前記ウェハーの中心とエッジとの間の中間地点に空気を噴射させる、
請求項1に記載のウェハーの欠陥測定装置。 - 前記流路の前記噴射口は、少なくとも二つ以上のグループに分かれるように複数個の流路ユニットに区画され、
前記流路ユニットは、空気の噴射圧を調節するためにそれぞれのレギュレーターと連結される、
請求項1に記載のウェハーの欠陥測定装置。 - 前記上部ブロワと前記下部ブロワは、
ウェハーの上下面の傾きを感知するリミットセンサーをさらに含み、
前記レギュレーターは、前記リミットセンサーで感知された傾きにしたがって前記流路ユニットに供給される空気の噴射圧を調節する、
請求項3に記載のウェハーの欠陥測定装置。 - ウェハーの下面に空気を噴射してウェハーを浮揚させる下部ブロワと、
前記下部ブロワに対して昇降可能に具備され、ウェハーの上面に空気を噴射してウェハーを固定させる上部ブロワと、
前記上部ブロワの上側に具備され、ウェハーの上面の汚染を感知する上部汚染測定部と、
前記下部ブロワの下側に具備され、ウェハーの下面の汚染を感知する下部汚染測定部と、
前記上部ブロワと前記下部ブロワとの間に具備され、ウェハーの側面の汚染を感知する側面汚染測定部と、を含み、
前記側面汚染測定部は、
ウェハーの円周方向に移動可能な少なくとも二つ以上のカメラである、
ウェハーの欠陥測定装置。 - ウェハーの下面に空気を噴射してウェハーを浮揚させる下部ブロワと、
前記下部ブロワに対して昇降可能に具備され、ウェハーの上面に空気を噴射してウェハーを固定させる上部ブロワと、
前記上部ブロワの上側に具備され、ウェハーの上面の汚染を感知する上部汚染測定部と、
前記下部ブロワの下側に具備され、ウェハーの下面の汚染を感知する下部汚染測定部と、
前記上部ブロワと前記下部ブロワとの間に具備され、ウェハーの側面の汚染を感知する側面汚染測定部と、
前記上部ブロワと前記下部ブロワとの間に具備され、ウェハーの昇降移動を案内する昇降ガイド部と、を含む、
ウェハーの欠陥測定装置。 - ウェハーの下面に空気を噴射してウェハーを浮揚させる下部ブロワと、
前記下部ブロワに対して昇降可能に具備され、ウェハーの上面に空気を噴射してウェハーを固定させる上部ブロワと、
前記上部ブロワの上側に具備され、ウェハーの上面の汚染を感知する上部汚染測定部と、
前記下部ブロワの下側に具備され、ウェハーの下面の汚染を感知する下部汚染測定部と、
前記上部ブロワと前記下部ブロワとの間に具備され、ウェハーの側面の汚染を感知する側面汚染測定部と、
ウェハーのノッチを測定するノッチ測定カメラと、
前記ノッチ測定カメラによって測定されたウェハーのノッチをグリップするノッチグリッパーと、
前記ノッチグリッパーと反対方向に具備されてウェハーのノッチの反対側を半径方向に支持するストッパーと、を含む、
ウェハーの欠陥測定装置。 - 前記ノッチグリッパーは、
ウェハーのノッチ部の上下面及び側面の一部と接触される部分が緩衝材質で構成される、
請求項7に記載のウェハーの欠陥測定装置。 - 前記ノッチグリッパーは、
ウェハーのノッチ部側面の一部との接触面積を減らすためにラウンドの形状に形成された側面部を含む、
請求項7に記載のウェハーの欠陥測定装置。 - 前記ストッパーは、
ウェハーの半径方向に緩衝支持可能であるように空圧式で制御される、
請求項7に記載のウェハーの欠陥測定装置。
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