JP6400967B2 - 基板処理装置 - Google Patents
基板処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6400967B2 JP6400967B2 JP2014147606A JP2014147606A JP6400967B2 JP 6400967 B2 JP6400967 B2 JP 6400967B2 JP 2014147606 A JP2014147606 A JP 2014147606A JP 2014147606 A JP2014147606 A JP 2014147606A JP 6400967 B2 JP6400967 B2 JP 6400967B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- disposed
- light
- chamber
- chuck
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
11 チャック
12 第2チャック
13 支持部
14 案内部
21 回転軸
22 軸
23 孔部
24 カム板
25 連結部材
31 第1昇降板
32 第2昇降板
33 従動磁石
34 駆動磁石
35 バネ
39 フランジ部
50 センサー機構
51 投光部
52 受光部
53 透光性部材
54 透光性部材
61 モータ
62 エアシリンダ
63 スライダー
64 案内部材
71 移動部材
73 移動部材
80 制御部
81 記憶部
91 回転チャンバー
92 固定チャンバー
100 半導体ウエハ
Claims (4)
- 基板を回転させながら基板に処理液を供給して処理する基板処理装置であって、
モータの駆動により回転する回転チャンバーと、
前記回転チャンバーに配設され、前記基板の端縁に当接することにより前記基板を保持する複数のチャックと、
前記回転チャンバーに配設された従動磁石の移動に伴って、前記複数のチャックを、前記基板を保持する保持位置と前記基板を受け渡し可能な受渡位置との間で同期して移動させる、前記回転チャンバーに配設された開閉機構と、
固定チャンバーと、
前記固定チャンバーに配設され、前記従動磁石を移動させるための駆動磁石と、
前記駆動磁石を移動させるための移動機構と、
前記複数のチャックの移動に伴って移動する移動部材に対して光を照射する投光部と、前記移動部材において反射された光を受光する受光部とを有し、前記投光部から前記移動部材に照射され前記移動部材で反射して前記受光部により受光された光から前記移動部材の移動を検出する、前記固定チャンバーに配設されたセンサー機構と、
を備え、
前記従動磁石および前記開閉機構は前記回転チャンバー内に収納されるとともに、前記駆動磁石、前記移動機構および前記センサー機構は前記固定チャンバー内に収納されることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置において、
前記従動磁石を備え、前記回転チャンバー内に昇降可能に配設された第1昇降板と、
前記駆動磁石を備え、前記固定チャンバー内において前記第1昇降板と対向配置された第2昇降板と、を備え、
前記開閉機構は、前記複数のチャックと前記第1昇降板とに接続され、前記第1昇降板の昇降動作に伴って、前記複数のチャックを、前記基板を保持する保持位置と前記基板を受け渡し可能な受渡位置との間で同期して移動させるとともに、
前記移動機構は、前記第2昇降板を昇降させるための、前記固定チャンバー内に配設された昇降機構から構成され、
前記センサー機構は、前記投光部から前記第1昇降板に光を照射し、前記受光部により前記第1昇降板で反射した光を受光する基板処理装置。 - 請求項2に記載の基板処理装置において、
前記複数のチャックが前記保持位置に向かう方向に前記第1昇降板を付勢するバネを備える基板処理装置。 - 請求項2または請求項3に記載の基板処理装置において、
前記回転チャンバーと前記固定チャンバーにおける、前記投光部および受光部と前記第1昇降板との間の領域は、透光性部材から構成される基板処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014147606A JP6400967B2 (ja) | 2014-07-18 | 2014-07-18 | 基板処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014147606A JP6400967B2 (ja) | 2014-07-18 | 2014-07-18 | 基板処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016025186A JP2016025186A (ja) | 2016-02-08 |
JP6400967B2 true JP6400967B2 (ja) | 2018-10-03 |
Family
ID=55271718
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014147606A Active JP6400967B2 (ja) | 2014-07-18 | 2014-07-18 | 基板処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6400967B2 (ja) |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7018555B2 (en) * | 2002-07-26 | 2006-03-28 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Substrate treatment method and substrate treatment apparatus |
JP4365605B2 (ja) * | 2002-07-26 | 2009-11-18 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板保持装置および基板保持方法、ならびにそれらを用いた基板処理装置および基板処理方法 |
JP2005019456A (ja) * | 2003-06-23 | 2005-01-20 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板保持装置、ならびにそれを用いた基板処理装置、基板保持方法および基板処理方法 |
US20080158531A1 (en) * | 2006-11-15 | 2008-07-03 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, exposure method, and method for producing device |
KR100865941B1 (ko) * | 2006-11-28 | 2008-10-30 | 세메스 주식회사 | 스핀헤드 및 상기 스핀헤드의 기판 척킹/언척킹방법,그리고 상기 스핀헤드를 구비하는 기판 처리 장치 |
KR101036605B1 (ko) * | 2008-06-30 | 2011-05-24 | 세메스 주식회사 | 기판 지지 유닛 및 이를 이용한 매엽식 기판 연마 장치 |
US8172646B2 (en) * | 2009-02-27 | 2012-05-08 | Novellus Systems, Inc. | Magnetically actuated chuck for edge bevel removal |
-
2014
- 2014-07-18 JP JP2014147606A patent/JP6400967B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016025186A (ja) | 2016-02-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9082798B2 (en) | Substrate collecting method | |
KR102050149B1 (ko) | 기판 반송 로봇 및 그것의 운전 방법 | |
EP2053648A1 (en) | Substrate conveyance device and vertical heat treatment equipment | |
TWI619586B (zh) | 基板搬送機器人及基板檢測方法 | |
JP2017528921A (ja) | 半導体ウェハ洗浄装置及び半導体ウェハ洗浄方法 | |
JP4564022B2 (ja) | 基板搬送装置及び縦型熱処理装置 | |
WO2014115472A1 (ja) | 移載装置及び移載方法 | |
KR100976604B1 (ko) | 웨이퍼 에지영역 검사장치, 이를 이용하는 웨이퍼 에지영역검사방법 및 웨이퍼 정렬방법 | |
WO2016125752A1 (ja) | 基板搬送ロボットおよび基板搬送方法 | |
JP2016046360A (ja) | 基板処理装置 | |
TW201616259A (zh) | 加工裝置 | |
JP6334051B2 (ja) | ウェハーの欠陥測定装置 | |
US10672640B2 (en) | Semiconductor processing apparatus and semiconductor processing method | |
JP6400967B2 (ja) | 基板処理装置 | |
KR20100013124A (ko) | 기판 처리 장치 | |
CN111312644A (zh) | 晶圆自动对位装置以及刻蚀机 | |
JP6067392B2 (ja) | 基板保持装置および基板処理方法 | |
KR20130002796U (ko) | 반도체 제조설비의 웨이퍼 리프팅 장치 | |
KR100763251B1 (ko) | 웨이퍼 이송 장치 | |
KR20070010667A (ko) | 리프트 장치를 채택한 반도체 제조설비 | |
KR102076166B1 (ko) | 정렬부가 포함된 카세트모듈 로드락 장치 | |
KR101259930B1 (ko) | 웨이퍼 얼라인 장치 | |
JP4925944B2 (ja) | 電子部品装着装置 | |
JP2014146746A (ja) | 基板保持装置 | |
KR20190007376A (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170626 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180307 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180320 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180508 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180821 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180906 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6400967 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |