JP4869590B2 - 画像処理装置、顕微鏡装置、検査装置および画像処理プログラム - Google Patents
画像処理装置、顕微鏡装置、検査装置および画像処理プログラム Download PDFInfo
- Publication number
- JP4869590B2 JP4869590B2 JP2004370269A JP2004370269A JP4869590B2 JP 4869590 B2 JP4869590 B2 JP 4869590B2 JP 2004370269 A JP2004370269 A JP 2004370269A JP 2004370269 A JP2004370269 A JP 2004370269A JP 4869590 B2 JP4869590 B2 JP 4869590B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- image
- luminance
- amount
- luminance information
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims description 61
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 39
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 142
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 115
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 51
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 40
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 38
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 14
- 235000019557 luminance Nutrition 0.000 description 193
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 15
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 12
- 208000003443 Unconsciousness Diseases 0.000 description 11
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 10
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 10
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 9
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 8
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 7
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 4
- 238000013139 quantization Methods 0.000 description 4
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 3
- 238000005282 brightening Methods 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000012886 linear function Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Input (AREA)
- Image Processing (AREA)
Description
好ましくは、前記判定手段は、画像の階調が再現されている再現域を定義し、前記輝度情報が前記再現域の範囲に含まれているか否かを判定する。さらに、前記第2の領域は、前記第1の領域とは異なる領域であり、前記第2の輝度情報は、該第2の領域における輝度の最大値あるいは輝度の最小値であってもよい。前記ルックアップテーブル更新手段は、最小2乗法を用いて前記ルックアップテーブルを更新することとしてもよい。あるいは、前記ルックアップテーブル更新手段は、輝度が制御された後の更新された輝度情報と前記ルックアップテーブルに基づき推定される輝度とのオフセットを用いて、該ルックアップテーブルを更新することとしてもよい。
<実施形態1>
図1は、本実施形態に係る画像処理装置を備えた検査装置の構成図である。検査装置1は、顕微鏡100および顕微鏡100の画像を処理するコンピュータ53を含んで構成される。コンピュータ53のメモリには、本実施形態に係る各種処理を実行させるためのプログラムが格納されている。検査装置1は、例えば、顕微鏡100から得られる被検査対象の画像により、被検査対象の検査を行うために用いられる。顕微鏡100は、紫外線観察が可能であり、落射照明による可視光光学系と紫外照明による紫外光光学系を備えている。
顕微鏡100における可視光光学系は、可視光観察用の可視照明光源5からの光を、照明系レンズ6を介してハーフミラー25で反射させ、可視光用の対物レンズ3を通して標本29に照射する。標本29で反射した光は、対物レンズ3を通り、ハーフミラー25を透過する。透過光はダイクロイックミラー26、結像レンズ7を介して拡大像を像位置9に結像し、鏡筒双眼部8で目視観察される。なお、本実施形態で使用されるダイクロイックミラー26は、可視光を透過し、紫外光は反射する特性を有する。
Y´=Y×2^(X/4) (1)
(1)式をXについて整理すると、(2)式を得る。
LumObj=(ThTD+ThTL)/2 (3)
輝度レベルLumXは、調光処理によって目標輝度LumObjにされることになる。このときの調光レベル変更ステップをStXとすると、目標輝度LumObjと実際の輝度レベルLumXとは、(4)式の関係式で表される。
(4)式は、調光レベルが1ステップ変化することで、明るさは(2^LumEv)倍になることより導出される。(4)式を調光レベル変更ステップStXについて解くと、下の(5)式のように表される。(5)式より、調光処理における調光レベル変更ステップStXが、入力画像の輝度レベルLumX、目標輝度LumObjおよび1ステップの単位光量LumEvから算出されることがわかる。
図8の調光処理によって、図6の輝度レベルに応じて調光レベル変更ステップのnが決定され、調光レベルが適宜調節される。しかし、図6を用いて説明したように、輝度レベルが白とび範囲Wや黒つぶれ範囲Bにある場合は、光量は所定のレベル分増減させる制御が実行される。白とびや黒つぶれが生じるような、画像の輝度レベルが目標輝度範囲Tから離れている場合、図9の処理によって画像の明るさを調節する。なお、本実施形態においては、図9の処理は、図8に示される、参照領域の輝度レベルに基づいた調光処理を実行する前に実行される。
調光テーブル特性を表す(1)式を一般化し、入力画像の参照輝度値PS1をy(0)、y(0)からnステップだけ調光レベルを変更したときの画像の参照輝度値PS2をy(n)、1ステップの調光レベルにおける光量変化をxとすると、これらの関係は下の(6)式で表される。
なお、光量変化xは、(x−EV)の変化に相当する。
(6)式を対数変換し、Y=log(y(n))、B=log(y(0))、A=xおよびX=n×log2と置換すると、次式に示されるように、線形の関数として表される。
(6)式から、P個のXおよびYについてのデータを得る。ここでは、調光レベルの変更nステップを変えたものを複数個利用して、P個分のデータを算出する。P個のデータXやYの和をΣで表すと、(7)式を最小2乗法で解くことで、A、Bはそれぞれ下の(8)、(9)式のように表される。
上記の実施形態1においては、調光テーブル特性を補正する際に最小2乗法を用いているが、実施形態2においては、理論値と実際の値とで異なる領域についてのみ調光テーブル特性を補正する点において異なる。以下、実施形態1と異なる点について中心に説明する。
オフセット係数Cor(X)は、調光テーブルより推測される輝度Yest(X)に対する、輝度の実測値Ymea(X)の相違の割合を表す。推定輝度Yest(X)に比べて輝度の実測値Ymea(X)が大きい場合、Cor(X)>0となる。逆に、推定輝度Yest(X)に比べて輝度の実測値Ymea(X)が小さい場合は、Cor(X)<0となる。例えば、Yest(X)=100とする。このとき、Ymea(X)=103とすると、(10)式よりCor(X)=0.03となる。Ymea(X)=97とすると、Cor(X)=−0.03となる。Ymea(X)=100で理論値と実測値が一致しているとすると、Cor(X)=0となる。
(11)式により、輝度Y1(XX)は、設計上の調光テーブル特性にほぼ一致するように、Y2(XX)に補正される。例えば、Y1(XX)=103、Cor(XX)=0.03とする。このとき、(11)式よりY2(XX)=99.91が得られる。Y1(XX)=97、Cor(XX)=−0.03とすると、Y2(XX)=99.91が得られる。このように、元の設計値である100にほぼ一致するように補正される。
得られたYobj(X´)が目標輝度範囲内にあるか否かを参照し、Yobj(X´)の値が実際に許容できない場合には、調光レベル変更ステップを増減する等の対応をとる。調光レベル変更ステップを適宜増減することにより、調光テーブル特性のずれの、調光処理への影響を抑えることができる。本実施形態においては、実施形態1とは異なり特性が数式としてモデル化できない場合であっても適用することができる。すなわち、調光テーブル特性と実測値とのずれが大きい領域が局所的に存在する場合等であっても、本実施形態に係る補正の方法を適用することで、調光テーブル全体への影響を最小限に抑えつつ、ずれのある箇所については適切に調光テーブルの補正がなされる。
52 キャプチャボード
53 コンピュータ
54 モニタ
100 顕微鏡
102 減光部
110 画像処理部(画像処理装置)
Claims (12)
- 撮像装置より得た画像の明るさを調節して表示画面に表示する画像処理装置において、
前記撮像装置より得た画像を前記表示画面に表示したときの該画像の所定の領域における輝度に基づく輝度情報を算出する、輝度情報算出手段と、
前記輝度情報の値が所定の範囲に含まれているか否かを判定する判定手段と、
前記撮像装置への入射光量と、該入射光量の制御によって調節される、調光レベルとの関係を示したルックアップテーブルと、
前記輝度情報と前記ルックアップテーブルとに基づいて、前記画像に対する調光レベルの変更量を算出する、調光レベル変更量算出手段と、
現在の調光レベルと前記調光レベルの変更量から変更する光量についての光量制御情報を生成する光量制御情報生成手段と、
前記光量制御情報に基づいて、前記撮像装置への入射光量を制御する制御手段と
を備え、
前記輝度情報算出手段は、前記画像の第1の領域における第1の輝度情報、および第2の領域における第2の輝度情報を算出し、
前記調光レベル変更量算出手段は、前記判定手段により前記第1の輝度情報の値が前記所定の範囲にないと判定されたときは、前記第2の輝度情報と前記ルックアップテーブルとに基づいて、前記画像に対する調光レベルの変更量を算出する
ことを特徴とする画像処理装置。 - 前記輝度情報算出手段は、前記制御手段によって入射光量が制御された後、前記所定の領域における更新された輝度情報を算出し、
前記更新された輝度情報と、前記ルックアップテーブルに基づき推定される輝度とを比較する比較手段と、
前記比較手段の比較結果に基づいて、前記ルックアップテーブルを更新するルックアップテーブル更新手段と
を更に備えたことを特徴とする請求項1に記載の画像処理装置。 - 前記輝度情報は、前記所定の領域における輝度の最大値あるいは輝度の最小値から構成される
ことを特徴とする請求項1に記載の画像処理装置。 - 前記判定手段は、画像の階調が再現されている再現域を定義し、前記輝度情報が前記再現域の範囲に含まれているか否かを判定する
ことを特徴とする請求項1に記載の画像処理装置。 - 前記第2の領域は、前記第1の領域とは異なる領域であり、前記第2の輝度情報は、該第2の領域における輝度の最大値あるいは輝度の最小値である
ことを特徴とする請求項1に記載の画像処理装置。 - 前記ルックアップテーブル更新手段は、最小2乗法を用いて前記ルックアップテーブルを更新する
ことを特徴とする請求項2に記載の画像処理装置。 - 前記ルックアップテーブル更新手段は、輝度が制御された後の更新された輝度情報と前記ルックアップテーブルに基づき推定される輝度とのオフセットを用いて、該ルックアップテーブルを更新する
ことを特徴とする請求項2に記載の画像処理装置。 - 前記光量制御情報は、前記撮像装置についての光量制御情報と該撮像装置の撮像の対象を照射する照明装置についての光量制御情報とから構成される
ことを特徴とする請求項1に記載の画像処理装置。 - 前記光量制御情報は、前記撮像装置の露出時間に関する情報から構成される
ことを特徴とする請求項1に記載の画像処理装置。 - 顕微鏡を介して被検査対象の画像を撮像装置で取得し、該撮像装置より得た画像の明るさを調節して表示画面に表示する顕微鏡装置において、
前記撮像装置より得た画像を前記表示画面に表示したときの該画像の所定の領域における輝度に基づく輝度情報を算出する、輝度情報算出手段と、
前記輝度情報の値が所定の範囲に含まれているか否かを判定する判定手段と、
前記撮像装置への入射光量と、該入射光量の制御によって調節される、調光レベルとの関係を示したルックアップテーブルと、
前記輝度情報と前記ルックアップテーブルとに基づいて、前記画像に対する調光レベルの変更量を算出する、調光レベル変更量算出手段と、
現在の調光レベルと前記調光レベルの変化量から変更する光量についての光量制御情報を生成する光量制御情報生成手段と、
前記光量制御情報に基づいて、前記撮像装置への入射光量を制御する制御手段と
を備え、
前記輝度情報算出手段は、前記画像の第1の領域における第1の輝度情報、および第2の領域における第2の輝度情報を算出し、
前記調光レベル変更量算出手段は、前記判定手段により前記第1の輝度情報の値が前記所定の範囲にないと判定されたときは、前記第2の輝度情報と前記ルックアップテーブルとに基づいて、前記画像に対する調光レベルの変更量を算出する
ことを特徴とする顕微鏡装置。 - 被検査対象の画像を撮像装置で取得し、該撮像装置より得た画像の明るさを調節して表示画面に表示して検査する検査装置において、
前記撮像装置より得た画像を前記表示画面に表示したときの該画像の所定の領域における輝度に基づく輝度情報を算出する、輝度情報算出手段と、
前記輝度情報の値が所定の範囲に含まれているか否かを判定する判定手段と、
前記撮像装置への入射光量と、該入射光量の制御によって調節される、調光レベルとの関係を示したルックアップテーブルと、
前記輝度情報と前記ルックアップテーブルとに基づいて、前記画像に対する調光レベルの変更量を算出する、調光レベル変更量算出手段と、
現在の調光レベルと前記調光レベルの変更量から変更する光量についての光量制御情報を生成する光量制御情報生成手段と、
前記光量制御情報に基づいて、前記撮像装置への入射光量を制御する制御手段と
を備え、
前記輝度情報算出手段は、前記画像の第1の領域における第1の輝度情報、および第2の領域における第2の輝度情報を算出し、
前記調光レベル変更量算出手段は、前記判定手段により前記第1の輝度情報の値が前記所定の範囲にないと判定されたときは、前記第2の輝度情報と前記ルックアップテーブルとに基づいて、前記画像に対する調光レベルの変更量を算出する
ことを特徴とする検査装置。 - 撮像装置より得た画像の明るさを調節して表示画面に表示する処理をコンピュータに実行させるための画像処理プログラムにおいて、
前記撮像装置より得た画像を前記表示画面に表示したときの該画像の所定の領域における輝度に基づく輝度情報を算出し、
前記輝度情報の値が所定の範囲に含まれているか否かを判定し、
前記輝度情報と、前記撮像装置への入射光量と該入射光量の制御によって調節される調光レベルとの関係を示したルックアップテーブルとに基づいて、前記画像に対する調光レベルの変更量を算出し、
現在の調光レベルと前記調光レベルの変更量から変更する光量についての光量制御情報を生成し、
前記光量制御情報に基づいて、前記撮像装置への入射光量を制御する
処理を実行させ、
前記輝度情報を算出する処理においては、前記画像の第1の領域における第1の輝度情報、および第2の領域における第2の輝度情報を算出し、
前記調光レベルの変更量を算出する処理においては、前記輝度情報の値が所定の範囲に含まれているか否かの判定により前記第1の輝度情報の値が前記所定の範囲にないと判定されたときは、前記第2の輝度情報と前記ルックアップテーブルとに基づいて、前記画像に対する調光レベルの変更量を算出する
ことを特徴とする画像処理プログラム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004370269A JP4869590B2 (ja) | 2004-12-21 | 2004-12-21 | 画像処理装置、顕微鏡装置、検査装置および画像処理プログラム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004370269A JP4869590B2 (ja) | 2004-12-21 | 2004-12-21 | 画像処理装置、顕微鏡装置、検査装置および画像処理プログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006177737A JP2006177737A (ja) | 2006-07-06 |
JP4869590B2 true JP4869590B2 (ja) | 2012-02-08 |
Family
ID=36731991
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004370269A Active JP4869590B2 (ja) | 2004-12-21 | 2004-12-21 | 画像処理装置、顕微鏡装置、検査装置および画像処理プログラム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4869590B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5060808B2 (ja) * | 2007-03-27 | 2012-10-31 | オリンパス株式会社 | 外観検査装置 |
JP5161024B2 (ja) * | 2008-10-10 | 2013-03-13 | 富士フイルム株式会社 | 3次元形状計測用撮影装置および方法並びにプログラム |
US8294762B2 (en) | 2008-10-10 | 2012-10-23 | Fujifilm Corporation | Three-dimensional shape measurement photographing apparatus, method, and program |
JP5243980B2 (ja) * | 2009-01-28 | 2013-07-24 | 新東エスプレシジョン株式会社 | 二次元測定装置 |
JP6249513B1 (ja) | 2017-03-27 | 2017-12-20 | レーザーテック株式会社 | 補正方法、補正装置及び検査装置 |
JP2020003659A (ja) * | 2018-06-28 | 2020-01-09 | オリンパス株式会社 | 拡大観察装置 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3262839B2 (ja) * | 1991-07-10 | 2002-03-04 | オリンパス光学工業株式会社 | 閃光発光制御装置 |
JP3598165B2 (ja) * | 1996-03-04 | 2004-12-08 | 富士写真フイルム株式会社 | フイルムスキャナ |
JP3926897B2 (ja) * | 1997-10-09 | 2007-06-06 | オリンパス株式会社 | ストロボ装置 |
JP2001091469A (ja) * | 1999-09-21 | 2001-04-06 | Olympus Optical Co Ltd | 表面欠陥検査装置 |
JP4100846B2 (ja) * | 1999-12-24 | 2008-06-11 | Ntn株式会社 | 表面性状検査方法および表面性状検査装置 |
JP2001337403A (ja) * | 2000-05-25 | 2001-12-07 | Noritsu Koki Co Ltd | 変換テーブルの作成方法、この方法に基づいて作成された変換テーブルを備える露光装置及び露光装置を備える写真処理装置 |
JP2003232749A (ja) * | 2002-02-06 | 2003-08-22 | Hamamatsu Photonics Kk | 半導体デバイス故障解析装置 |
JP2003256814A (ja) * | 2002-02-27 | 2003-09-12 | Olympus Optical Co Ltd | 基板検査装置 |
JP4021351B2 (ja) * | 2003-03-24 | 2007-12-12 | 株式会社新川 | ボンディング用照明装置及びボンディング用照明装置の較正方法 |
-
2004
- 2004-12-21 JP JP2004370269A patent/JP4869590B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006177737A (ja) | 2006-07-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6882835B2 (ja) | 画像を表示するためのシステム及び方法 | |
US8994714B2 (en) | Method and system for display calibration with feedback determined by a camera device | |
US8736674B2 (en) | Method and system for 3D display calibration with feedback determined by a camera device | |
JP2019032516A (ja) | 実用のための、ディスプレイシステムの色及び彩度を較正するためのシステム及び方法 | |
CN103220482B (zh) | 一种全自由度调整投影画面位置及尺寸的方法 | |
JPH0284888A (ja) | X線撮影のための光学画像処理方法及びシステム | |
JP2009520398A (ja) | 変動する照明条件の下で表示部を自動的に調整する装置及び方法 | |
JP6045355B2 (ja) | 画像処理装置、顕微鏡システム、及び画像処理プログラム | |
US9829690B2 (en) | Microscopic imaging device, microscopic imaging method, and microscopic imaging program | |
US20150116477A1 (en) | Microscopic Imaging Device, Microscopic Imaging Method, and Microscopic Imaging Program | |
JP4869590B2 (ja) | 画像処理装置、顕微鏡装置、検査装置および画像処理プログラム | |
KR20060044572A (ko) | 검사장치 | |
JP2003324670A (ja) | 投写型映像表示装置 | |
JP2005099150A (ja) | 画像表示装置の画像補正データ算出方法 | |
JP2008003063A (ja) | シェーディング補正方法、欠陥検出方法、欠陥検出装置、欠陥検出装置の制御方法プログラム | |
US10481378B2 (en) | Interactive graphical representation of image quality and control thereof | |
US20230020363A1 (en) | Projection apparatus, projection method, and computer-readable storage medium | |
JP3783790B2 (ja) | レーザー顕微鏡 | |
WO2011010357A1 (ja) | 絞り制御回路、プロジェクター装置、絞り制御プログラム及び絞り制御方法 | |
KR100704759B1 (ko) | 광학 장치의 광량 제어 장치 | |
US7145733B2 (en) | Projector and exposure adjustment method | |
JP4594772B2 (ja) | 検査装置 | |
JP2007256562A (ja) | 顕微鏡カメラ | |
JP3852453B2 (ja) | プロジェクタ及び露出調整方法 | |
KR100830503B1 (ko) | 영상 표시 장치 및 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071213 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100428 |
|
RD12 | Notification of acceptance of power of sub attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7432 Effective date: 20100513 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20100513 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100706 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100902 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110315 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110511 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111025 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111116 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4869590 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141125 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |