JP2007256562A - 顕微鏡カメラ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】顕微鏡41と、光源の光量を調整する調光器44と、アンプゲインとシャッタスピードにより調光制御可能な撮像装置40とを有し、調光器による輝度調整とカメラによる輝度調整とを、映像の輝度値により制御可能で、被写体やレンズ倍率に依存しない調光を行う。
【選択図】 図2
Description
そして、被写体の映像が、反射光として、顕微鏡 41 の光軸に平行に、対物レンズとハーフミラーを通過してその焦点面に位置するカメラ 40 の光電変換素子に入力する。
調光器 44 は、内部に光の透過率の異なるフィルタが複数枚円盤状に配置され、その円盤を回転させることで調光するものや、光を遮断する絞り羽の大きさを変化させることで調光するものがあるが、どちらとも、PC 46 などの外部機器により、その調光を制御する(例えば、特許文献1または特許文献2参照。)。
図3を参照して、従来の線幅測定装置での調光のシーケンスを説明する。図3は、従来の顕微鏡カメラでの調光手順を示すフローチャートである。調光は、PC 46 のアプリケーションソフトウエアの一部を実行することによって行う。
輝度値範囲I判定ステップ 23 では、平均輝度値算出ステップ 22 で算出した平均輝度値 YAVが目標値 Y1未満であるか否かを判定する。平均輝度値 YAV が目標値 Y1 未満と判定した場合には、調光器設定最大判定ステップ 24 に進み、平均輝度値 YAV が目標値 Y1 以上であると判定した場合には、輝度値範囲II判定ステップ 26 に進む。
また、調光器 43 の調整値がまだ最大に設定されていない( No )場合には、調光器設定上げステップ 25 に進む。
調光器設定上げステップ 25 では、平均輝度値 YAV が目標値 Y1 未満であるので、調光器 43 の設定を一段階上げて、被写体に照射する光の強さを一段階上げ、平均輝度値算出ステップ 22 に移動し、処理を繰り返す。
調光器設定下げステップ 28 では、調光器 43 の設定を一段階下げて、被写体に照射する光の強さを一段階下げ、平均輝度値算出ステップ 22 に移動し、処理を繰り返す。
本発明の目的は、上記のような問題を解決し、ノイズの影響が小さい最適な調光を実現することにある。
即ち、線幅測定装置等の画像処理を利用した顕微鏡カメラシステムにおいて、顕微鏡と、光源の光量を調整する調光器と、アンプゲインとシャッタスピードにより調光制御可能な撮像装置とを有し、調光器による輝度調整とカメラによる輝度調整とを、映像の輝度値により制御可能で、被写体やレンズ倍率に依存しない調光を行う。
また望ましくは、本発明の顕微鏡カメラは、映像の輝度値が目標とする輝度値よりも小さい時は、(1)調光器、(2)シャッタスピード(露光時間)、(3)アンプゲインの順に輝度調整を行う手段を切替え、逆に映像の輝度値が目標とする輝度値よりも大きい時は、(1)アンプゲイン、(2)シャッタスピード、(3)調光器の順に輝度調整を行う手段を切替えることで、ノイズによる影響を抑える。
そして輝度値範囲I判定ステップ 3 では、平均輝度値算出ステップ 2 で算出した平均輝度値 YAVが目標値 Y1未満であるか否かを判定する。平均輝度値 YAV が目標値 Y1 未満と判定した場合には、調光器設定最大判定ステップ 4 に進み、平均輝度値 YAV が目標値 Y1 以上であると判定した場合には、輝度値範囲II判定ステップ 10 に進む。
また、調光器 43 の調整値がまだ最大に設定されていない( No )場合には、調光器設定上げステップ 5 に進む。
調光器設定上げステップ 5 では、平均輝度値 YAV が目標値 Y1 未満であるので、調光器 43 の設定を一段階上げて、被写体に照射する光の強さを一段階上げ、平均輝度値算出ステップ 2 に移動し、処理を繰り返す。
なお、調光器 43 の調整値が最大の設定とは、その調光器 43 から出力される光の強さが最大ということで、逆に、調整値が最小とは、調光器 43 から出力される光の強さが最小ということである。
また、シャッタ速度 T が最長の設定でない( No )場合には、シャッタ速度下げステップ 7 に進む。
シャッタ速度下げステップ 7 では、シャッタ速度 T を一段階長い時間に設定して平均輝度値算出ステップ 2 に移動し、処理を繰り返す。
また、カメラ 40 のアンプゲイン G がまだ最大設定でない( No )場合には、ゲイン上げステップ 9 に進む。
ゲイン上げステップ 9 では、カメラ 40 のアンプゲイン G を一段階上げ、平均輝度値算出ステップ 2 に進み、処理を繰り返す。
ゲイン下げステップ 12 では、アンプゲイン G を一段階下げ、平均輝度値算出ステップ 2 に進み、処理を繰り返す。
シャッタ速度上げステップ 14 では、シャッタ速度 T を一段階短い時間に設定して平均輝度値算出ステップ 2 に移動し、処理を繰り返す。
調光器設定下げステップ 16 では、調光器 43 の設定を一段階下げて、被写体に照射する光の強さを一段階下げ、平均輝度値算出ステップ 2 に移動し、処理を繰り返す。
また、上記実施例では、同軸落射(反射)方式の顕微鏡カメラで説明したが、透過方式の顕微鏡カメラであっても良いし、反射方式と透過方式を併用する顕微鏡カメラでも適用できることは自明である。
また、本発明の映像輝度の調整方法は、線幅測定装置に限らず、顕微鏡と撮像装置を組合せた観察方式すべてに適用できることは自明である。
Claims (2)
- 顕微鏡カメラにおいて、被写体像を拡大する顕微鏡と、上記顕微鏡によって拡大された被写体像を撮像するカメラと、上記カメラに入射する被写体像の光の強さを変更するための調光器とを有し、上記カメラは撮像した上記被写体像の映像信号の利得を制御するアンプゲインと露光時間を調整可能なシャッタとを備え、更に、上記調光器と上記アンプゲインと上記シャッタのシャッタ速度を上記カメラの出力する映像信号の輝度値により制御する制御部とを有することを特徴とする顕微鏡カメラ。
- 請求項1記載の顕微鏡カメラにおいて、映像の輝度値が目標とする輝度値よりも、小さい時は調光器、シャッタスピード、アンプゲインの順に調光を行う機能を有し、逆に映像の輝度値が目標とする輝度値よりも、大きい時はアンプゲイン、シャッタスピード、調光器の順に調光を行うことを特徴とする顕微鏡カメラ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006080128A JP2007256562A (ja) | 2006-03-23 | 2006-03-23 | 顕微鏡カメラ |
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JP2006080128A JP2007256562A (ja) | 2006-03-23 | 2006-03-23 | 顕微鏡カメラ |
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JP2007256562A true JP2007256562A (ja) | 2007-10-04 |
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JP (1) | JP2007256562A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2006
- 2006-03-23 JP JP2006080128A patent/JP2007256562A/ja active Pending
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