JP3433739B2 - 照射装置およびその照射装置を使用した基板検査装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、撮像装置により撮
像された色相光別の反射光像を色相別の撮像パターンに
基づいて基板表面を検査する基板検査装置における基板
表面に複数の色相光を照射する照射装置およびこれを使
用する基板検査装置であって、特に、撮像装置で得られ
た撮像パターンに基づいて基板表面、例えば基板に実装
された部品の半田実装部位における半田の傾斜角度等を
検査する基板検査装置における照射装置およびこれを使
用した基板検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、このような基板検査装置は、基板
表面に２種類以上の色相光を照射する複数のＬＥＤを備
えた照明装置と、基板表面上に照射された各色相光の反
射光像を色相光別に撮像する撮像装置とを有し、この撮
像装置で得られた色相光別の撮像パターンに基づいて基
板表面を検査するものである。

【０００３】このような基板検査装置に使用される照射
装置として、本出願人は特開平１１-２９５０４７号公
報に掲げるものを考案している。

【０００４】図１２は従来の照射装置を使用した基板検
査装置の概略構成を示す説明図である。

【０００５】図１２において基板検査装置１００は、検
査対象である基板表面１０１に３色の色相光を照射する
赤色ＬＥＤ群１１１Ａ、緑色ＬＥＤ群１１１Ｂ及び青色
ＬＥＤ群１１１Ｃを備えた照明装置１１０と、基板表面
１０１上に照射された各色相光の反射光像を色相光別に
撮像するＣＣＤカメラ１２０と、このＣＣＤカメラ１２
０の撮像軸に配置し、基板表面１０１に対して斜視方向
からの反射光像をＣＣＤカメラ１２０に撮像させる斜視
用光学ユニット１３０とを有し、このＣＣＤカメラ１２
０で得られた色相光別の撮像パターンに基づいて基板表
面１０１を検査するものである。

【０００６】また、斜視用光学ユニット１３０は、その
基板表面１０１上の対象物（フィレット）の向きに応じ
て、ＣＣＤカメラ１２０の撮像軸を中心に回転する構成
としている。

【０００７】この基板検査装置１００においては、斜視
用光学ユニット１３０を使用することで、例えばＱＦＪ
部品等の半田付けを検査するような、基板表面１０１に
対して斜視方向からの反射光像を撮像する斜視撮像機能
と、斜視用光学ユニット１３０を使用することなく、例
えば一般的なＩＣ部品等の半田付けを検査するような、
基板表面１０１に対して直視方向からの反射光像を撮像
する直視撮像機能とを有している。

【０００８】照明装置１１０は、ＣＣＤカメラ１２０の
撮像軸を中心にして基板表面１０１への照射角度が異な
るように同心円状に三段配置された赤色ＬＥＤ群１１１
Ａ、緑色ＬＥＤ群１１１Ｂ及び青色ＬＥＤ群１１１Ｃ
と、これら赤色ＬＥＤ群１１１Ａ、緑色ＬＥＤ群１１１
Ｂ及び青色ＬＥＤ群１１１Ｃの前面に配置され、これら
ＬＥＤ群１１１からの３色の色相光を拡散する拡散板１
１２と、これら赤色ＬＥＤ群１１１Ａ、緑色ＬＥＤ群１
１１Ｂ、青色ＬＥＤ群１１１Ｃ及び拡散板１１２を収容
し、ＣＣＤカメラ１２０が基板表面１０１の反射光像を
撮像するためのカメラ穴１１３Ａを形成した照明フード
１１３とを有している。

【０００９】このような照明装置１１０によれば、赤色
ＬＥＤ群１１１Ａ、緑色ＬＥＤ群１１１Ｂ及び青色ＬＥ
Ｄ群１１１Ｃから照射される高出力及び高輝度の３色の
色相光を、拡散板１１２を通じて拡散することで、その
基板表面１０１を広範囲かつ、均一な光照射を実現する
ことができる。

【００１０】斜視用光学ユニット１３０は、ＣＣＤカメ
ラ１２０の撮像軸上に配置され、光路長変化に応じてカ
メラのピント合わせを行う光路長調整レンズ１３１と、
基板表面１０１に関わる斜視方向からの反射光像を、光
路長調整レンズ１３１を通じてＣＣＤカメラ１２０に反
射する反射板ユニット１３２とを有し、この反射板ユニ
ット１３２は、基板表面１０１の斜視方向からの反射光
を反射する第１反射板１３２Ａと、この第１反射板１３
２Ａで反射した反射光を、光路長調整レンズ１３１を通
じてＣＣＤカメラ１２０に反射する第２反射板１３２Ｂ
とを有している。

【００１１】また、照明フード１１３のカメラ穴１１３
Ａは、斜視用光学ユニット１３０を照明装置１１０外部
に配置していることから、この斜視用光学ユニット１３
０を使用してＣＣＤカメラ１２０が基板表面１０１の反
射光像を撮像するためには、そのカメラ穴１１３Ａの口
径を大きくしなければならず、しかも、そのカメラ穴１
１３Ａの口径が大きいことから、自ずと、赤色ＬＥＤ群
１１１Ａ（緑色ＬＥＤ群１１１Ｂ）のＬＥＤ数が少なく
なる。

【００１２】例えば斜視用光学ユニット１３０の斜視角
度を１５度とした場合には、赤色ＬＥＤ群１１１ＡのＬ
ＥＤ数が少なくなり、斜視角度を３０度とした場合には
赤色ＬＥＤ群１１１Ａ及び緑色ＬＥＤ群１１１ＢのＬＥ
Ｄ数が少なくなる。

【００１３】これらＬＥＤ数が少なくなることは斜視撮
像時においては大きな問題とはならないものの、直視撮
像時においては非常に大きな問題となる。

【００１４】そこで、基板検査装置１００においては、
図１３に示すように、ＬＥＤ数の減少に伴う照射光量の
減少を補償するため、例えば斜視用光学ユニット１３０
の斜視角度を１５度とした場合には赤色ＬＥＤ群１１１
Ａを補償するための補償用赤色ＬＥＤ群１１５Ａを設け
ると共に、斜視用光学ユニット１３０の斜視角度を３０
度とした場合には赤色ＬＥＤ群１１１Ａ及び緑色ＬＥＤ
群１１１Ｂを補償するための補償用赤色ＬＥＤ群１１５
Ａ及び補償用緑色ＬＥＤ群１１５Ｂを設けている。尚、
図１３においては、その説明の便宜上、その左半分を斜
視角度１５度とした場合と、その右半分を斜視角度３０
度とした場合とを併せて図示している。

【００１５】図１４は従来の基板検査装置１００の照明
装置１１０内部の概略構成を示すブロック図である。

【００１６】図１４に示す照明装置１１０は、赤色ＬＥ
Ｄ群１１１Ａを駆動制御する赤色ＬＥＤ駆動制御回路１
４１Ａと、緑色ＬＥＤ群１１１Ｂを駆動制御する緑色Ｌ
ＥＤ駆動制御回路１４１Ｂと、青色ＬＥＤ群１１１Ｃを
駆動制御する青色ＬＥＤ駆動制御回路１４１Ｃと、この
照明装置１１０全体に電力を供給する電源回路１４２と
を有している。

【００１７】赤色ＬＥＤ駆動制御回路１４１Ａ、緑色Ｌ
ＥＤ駆動制御回路１４１Ｂ及び青色ＬＥＤ駆動制御回路
１４１Ｃは、夫々、電源回路１４２からの駆動電流に基
づいてＬＥＤ群１１１を駆動制御する電流駆動回路１４
３と、駆動制御されたＬＥＤ群１１１の色相光を受光す
るフォトカプラ１４４と、このフォトカプラ１４４から
受光出力を増幅する増幅回路１４５と、この増幅した受
光出力に基づいて、ＬＥＤ群１１１の光出力が一定とな
るように、電源回路１２０からの駆動電流を制御する定
電流制御回路１４６とを有している。

【００１８】次に、このような従来の基板検査装置１０
０の動作について説明する。

【００１９】先ず、直視撮像時における基板検査装置１
００では、図１３に示すように、斜視角度１５度の斜視
用光学ユニット１３０（斜視角度３０度の斜視用光学ユ
ニット１３０）を退避して、補償用赤色ＬＥＤ群１１５
Ａ（補償用赤色ＬＥＤ群１１５Ａ及び補償用緑色ＬＥＤ
群１１５Ｂ）を所定位置に配置する。

【００２０】基板検査装置１００は、赤色ＬＥＤ群１１
１Ａ、緑色ＬＥＤ群１１１Ｂ及び青色ＬＥＤ群１１１Ｃ
から３色の色相光を基板表面１０１に照射すると共に、
補償用赤色ＬＥＤ群１１５Ａ（補償用赤色ＬＥＤ群１１
５Ａ及び補償用緑色ＬＥＤ群１１５Ｂ）からの色相光を
基板表面１０１に照射する。

【００２１】ＣＣＤカメラ１２０は、カメラ穴１１３Ａ
を通して、直視方向からの反射光像を色相光別に撮像
し、この色相光別の撮像パターンに基づいて基板表面１
０１を検査する。

【００２２】また、斜視撮像時における基板検査装置１
００では、補償用赤色ＬＥＤ群１１５Ａ（補償用赤色Ｌ
ＥＤ群１１５Ａ及び補償用緑色ＬＥＤ群１１５Ｂ）を退
避し、斜視用光学ユニット１３０を所定位置に配置す
る。

【００２３】基板検査装置１００は、赤色ＬＥＤ群１１
１Ａ、緑色ＬＥＤ群１１１Ｂ及び青色ＬＥＤ群１１１Ｃ
から３色の色相光を基板表面１０１に照射する。

【００２４】斜視用光学ユニット１３０内の反射板ユニ
ット１３２は、基板表面１０１に対する斜視方向からの
反射光を第１反射板１３２Ａに反射すると共に、この第
１反射板１３２Ａで反射した反射光を、第２反射板１３
２Ｂで反射して光路長調整レンズ１３１を経由してＣＣ
Ｄカメラ１２０に反射する。

【００２５】ＣＣＤカメラ１２０は、カメラ穴１１３Ａ
及び斜視用光学ユニット１３０を経由して、斜視方向か
らの反射光像を色相光別に撮像し、この色相光別の撮像
パターンに基づいて基板表面１０１を検査する。

【００２６】このように従来の基板検査装置１００によ
れば、斜視撮像時においては、補償用赤色ＬＥＤ群１１
５Ａ（補償用赤色ＬＥＤ群１１５Ａ及び補償用緑色ＬＥ
Ｄ群１１５Ｂ）を退避して、図１２に示すように斜視用
光学ユニット１３０を配置することで斜視方向からの反
射光像を撮像することができると共に、直視撮像時にお
いては斜視用光学ユニット１３０を退避して、図１３に
示すように補償用赤色ＬＥＤ群１１５Ａ（補償用赤色Ｌ
ＥＤ群１１５Ａ及び補償用緑色ＬＥＤ群１１５Ｂ）を配
置することで直視方向からの反射光像を撮像することが
できる。

【００２７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の基板検査装置１００によれば、直視撮像時には斜視
用光学ユニット１３０を退避する必要があるため、その
斜視用光学ユニット１３０を照明装置１１０の外部に配
置するようにしてあるが、例えば斜視撮像時に斜視用光
学ユニット１３０を使用する場合、基板表面１０１及び
ＣＣＤカメラ１２０間の光路長（Ｌ１＋Ｌ２＋Ｌ３）
は、直視撮像時に比較して長くなるのは当然であるが、
例えば斜視用光学ユニット１３０の斜視角度を大きくす
ると、基板表面１０１及び第１反射板１３２Ａ間の光路
長Ｌ３と、第１反射板１３２Ａ及び第２反射板１３２Ｂ
間の光路長Ｌ２とが長くなる。

【００２８】例えば各ＬＥＤ群１１１の発光面及び基板
表面１０１間を２５０ｍｍ、直視撮像時における基板表
面１０１及びＣＣＤカメラ１２０間の光路長を３５０ｍ
ｍとした場合、例えば基板表面１０１から２８０ｍｍの
位置で反射板ユニット１３２を配置し、その斜視用光学
ユニット１３０の斜視角度を１５度とすると、斜視撮像
時の光路長（Ｌ１＋Ｌ２＋Ｌ３）は４３５ｍｍとなる
が、その斜視用光学ユニット１３０の斜視角度を３０度
とすると、斜視撮像時の光路長（Ｌ１＋Ｌ２’＋Ｌ
３’）は５５５ｍｍとなり、その直視撮像時の光路長と
比較すると、その光路長は１．６倍となることで、ＣＣ
Ｄカメラ１２０で得られる反射光像は直視撮像時の約４
０％の明るさとなってしまうため、非常に暗くなり、その
信号対雑音比が低下して、その結果、検査性能が低下し
てしまう。

【００２９】また、上記従来の基板検査装置１００によ
れば、斜視用光学ユニット１３０の斜視角度を大きくす
ると、カメラ穴１１３Ａの口径を大きくしなければなら
ず、その分、赤色ＬＥＤ群１１１Ａ及び緑色ＬＥＤ群１
１１ＢのＬＥＤ数が減って、補償用赤色ＬＥＤ群１１５
Ａ及び補償用緑色ＬＥＤ群１１５Ｂ等の補償用照射手段
を増設しなければならず、さらに、斜視撮像時において
は、これら補償用赤色ＬＥＤ群１１５Ａ及び補償用緑色
ＬＥＤ群１１５Ｂを退避する機構もおおがかりとなり、
その製造コストも高くなる。

【００３０】また、上記従来の基板検査装置１００によ
れば、直視撮像時においては赤色ＬＥＤ群１１１Ａ、緑
色ＬＥＤ群１１１Ｂ及び青色ＬＥＤ群１１１Ｃの他に、
補償用赤色ＬＥＤ群１１５Ａ及び補償用緑色ＬＥＤ群１
１５Ｂからの補償用の色相光を照射するようにしたが、
これら補償用ＬＥＤ群１１５及び照明用ＬＥＤ群１１１
間で色相光の継ぎ目が生じるため、図１５に示すように
ＣＣＤカメラ１２０で投影された基板表面１０１のフィ
レットで継ぎ目１０１Ａに見えることから、ユーザに違
和感を与えるおそれがある。

【００３１】また、上記従来の基板検査装置１００によ
れば、斜視撮像時においては補償用ＬＥＤ群１１５を退
避するようにしているため、赤色ＬＥＤ群１１１Ａ（赤
色ＬＥＤ群１１１Ａ及び緑色ＬＥＤ群１１１Ｂ）が不足
していることから、ＣＣＤカメラ１２０の撮像軸上の赤
色相光及び緑色相光が不足し、これら赤色相光及び緑色
相光の反射光が弱くなり、これら赤色相光及び緑色相光
の反射光が暗くなってしまうことから、その信号対雑音
比が低下し、その結果、検査性能が低下してしまう。

【００３２】また、上記従来の基板検査装置１００によ
れば、斜視撮像時においては基板表面１０１を垂直方向
に照射するＬＥＤ群１１１がなかったため、その部分の
十分な反射光像が得られないことから、その部分、例え
ばランド部分が暗くなってしまう。

【００３３】また、上記従来の基板検査装置１００によ
れば、赤色ＬＥＤ駆動制御回路１４１Ａ、緑色ＬＥＤ駆
動制御回路１４１Ｂ及び青色ＬＥＤ駆動制御回路１４１
Ｃ等の色相光毎にＬＥＤ駆動制御回路１４１を有し、斜
視撮像時又は直視撮像時であっても、同一のＬＥＤ駆動
制御回路１４１で駆動電流を制御するようにしたが、直
視撮像時及び斜視撮像時ではＣＣＤカメラ１２０で得ら
れる反射光像の光量が異なるにも関わらず、斜視撮像時
及び直視撮像時で同一の駆動制御を行っていることか
ら、例えば斜視撮像時にＣＣＤカメラ１２０で得られる
反射光像の光量が減衰したとしても、この光量減衰に十
分対処することができず、その信号対雑音比が低下し、
その結果、検査性能が低下してしまう。

【００３４】本発明は上記点に鑑みてなされたものであ
り、その目的とするところは、斜視用光学ユニットの斜
視角度を大きくしたとしても、斜視撮像時はもちろんの
こと、直視撮像時においても検査性能に優れ、かつ、そ
の製造コストが安価な照射装置およびこれを使用する基
板検査装置を提供することにある。

【００３５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、撮像装置により撮像された色相光別の反射
光像を色相別の撮像パターンに基づいて基板表面を検査
する基板検査装置における前記基板表面に複数の色相光
を照射する照射装置であって、該照射装置内に、前記撮
像装置の撮像軸上に配置し、前記基板表面に対して直視
方向又は斜視方向からの反射光像を前記撮像装置に撮像
させる光学用ユニットを設けて構成した。

【００３６】複数の照射手段は、例えば撮像装置の撮像
軸を中心にして基板表面への照射角度が異なるように同
心円状に三段配置された赤色ＬＥＤ群、緑色ＬＥＤ群及
び青色ＬＥＤ群に相当するものである。

【００３７】撮像装置は、基板表面上に照射された各色
相光の反射光像を色相光別に撮像する、例えばＣＣＤカ
メラに相当するものである。

【００３８】光学用ユニットは、撮像装置の撮像軸上に
配置し、基板表面に対して直視方向又は斜視方向からの
反射光像を撮像装置に撮像させるものであり、例えば第
１反射板及び第２反射板を備えた反射板ユニットで構成
し、斜視撮像時においては基板表面からの反射光像を第
２反射板及び第１反射板を経由して撮像装置に撮像させ
るユニットである。

【００３９】従って、本発明によれば、前記撮像装置の
撮像軸上に配置し、基板表面に対して直視方向又は斜視
方向からの反射光像を前記撮像装置に撮像させる光学用
ユニットを前記照射装置内に設けるようにした、つま
り、光学用ユニット及び基板表面間の距離を短縮化する
ことで、例えば光学用ユニットの斜視角度を大きくした
としても、従来に比して、基板表面及び撮像装置間の光
路長を抑えることができ、さらには撮像装置で得られる
反射光像が暗くなることもないことから、その信号対雑
音比が低下することもなく、その結果、良好な検査性能
が得ることができる。

【００４０】さらに、本発明によれば、光学用ユニット
を照射装置内に設けたことから、例えば光学用ユニット
の斜視角度を大きくしたとしても、カメラ穴の口径を大
きくする必要もなく、その分、照射手段の数が減ること
もなく、さらに補償用照射手段を設ける必要もない、そ
の結果、補償用照射手段を退避する機構も必要ないの
で、その製造コストを安価に抑えることができる。

【００４１】さらに、本発明によれば、補償用照射手段
を必要としないため、従来のように照射手段である赤色
ＬＥＤ群及び補償用赤色ＬＥＤ群間に反射光像の継ぎ目
が生じるようなこともないことから、ユーザに違和感を
与えるおそれもない。

【００４２】また、本発明は、前記光学用ユニットが、
前記斜視方向からの反射光を反射する反射板を備えた反
射板ユニットと、この反射板ユニットを前記撮像装置の
撮像軸の直交方向にスライドさせる駆動機構とを有し、
前記駆動機構にて前記反射板ユニットが第１所定位置に
スライドすると、前記反射板ユニット内部の反射板を経
由して前記斜視方向からの反射光像を前記撮像装置に撮
像させると共に、前記駆動機構にて前記反射板ユニット
が第２所定位置にスライドすると、前記反射板ユニット
内部の反射板を経由せずに、前記直視方向からの反射光
像を前記撮像装置に撮像させるようにした。

【００４３】反射板は、例えば基板表面からの反射光を
第２反射板に反射する第１反射板と、第１反射板からの
反射光を撮像装置に反射する第２反射板とで構成してい
る。

【００４４】第１所定位置とは、例えば撮像軸の直交方
向における斜視撮像時のスライド位置であり、例えば第
１反射板が基板表面からの反射光を第２反射板に反射
し、この第２反射板が反射光を撮像装置に反射するよう
な反射板ユニットの位置に相当するものである。

【００４５】第２所定位置とは、例えば撮像軸の直交方
向における直視撮像時のスライド位置であり、例えば基
板表面からの反射光が第１反射板及び第２反射板で反射
することなく、直接、撮像装置に反射するような反射板ユ
ニットの位置に相当するものである。

【００４６】従って、本発明によれば、駆動機構にて前
記反射板ユニットが第１所定位置にスライドすると、前
記反射板ユニット内部の反射板を経由して前記斜視方向
からの反射光像を前記撮像装置に撮像させると共に、前
記駆動機構にて前記反射板ユニットが第２所定位置にス
ライドすると、前記反射板ユニット内部の反射板を経由
せずに、前記直視方向からの反射光像を前記撮像装置に
撮像させるようにしたので、直視撮像時であっても、前
記光学用ユニットは照明装置から搬出する必要がなく、
しかも、補償用照射手段を設ける必要もない。

【００４７】また、本発明は、前記反射板ユニットが、
前記第１所定位置にスライドすると、前記基板表面に対
して垂直方向に所定色相光を照射する補助照射手段を有
するようにした。

【００４８】補助照射手段は、例えば斜視撮像時に基板
表面に対して垂直方向に赤色相光を基板表面を照射する
補助赤色ＬＥＤ群に相当するものである。

【００４９】従って、本発明によれば、第１所定位置に
スライドすると、前記基板表面に対して垂直方向に所定
色相光を照射する補助照射手段を反射板ユニットに設け
るようにしたので、斜視撮像時においては基板表面を垂
直に所定色相光を照射することができるため、例えばラ
ンド部分での十分な反射光像を得ることができる。

【００５０】また、本発明は、前記光学用ユニットが、
前記斜視方向からの反射光を反射する反射板を備えた反
射板ユニットと、前記光学用ユニットの端部を支点にし
て、前記反射板ユニットを回動する駆動機構とを有し、
前記駆動機構にて前記反射板ユニットが第１所定位置に
回動すると、前記反射板ユニット内部の反射板を経由し
て前記斜視方向からの反射光像を前記撮像装置に撮像さ
せると共に、前記駆動機構にて前記反射板ユニットが第
２所定位置に回動すると、前記反射板ユニット内部の反
射板を経由せずに、前記直視方向からの反射光像を前記
撮像装置に撮像させるようにした。

【００５１】反射板は、例えば基板表面からの反射光を
第２反射板に反射する第１反射板と、第１反射板からの
反射光を撮像装置に反射する第２反射板とで構成してい
る。

【００５２】第１所定位置とは、例えば光学用ユニット
の端部を支点にして回動する回動方向の斜視撮像時にお
ける回動位置であり、例えば第１反射板が基板表面から
の反射光を第２反射板に反射し、この第２反射板が反射
光を撮像装置に反射するような反射板ユニットの位置に
相当するものである。

【００５３】第２所定位置とは、例えば回動方向の直視
撮像時における回動位置であり、例えば基板表面からの
反射光が第１反射板及び第２反射板で反射することな
く、直接、撮像装置に反射するような反射板ユニットの位
置に相当するものである。

【００５４】従って、本発明によれば、前記駆動機構に
て前記反射板ユニットが第１所定位置に回動すると、前
記反射板ユニット内部の反射板を経由して前記斜視方向
からの反射光像を前記撮像装置に撮像させると共に、前
記駆動機構にて前記反射板ユニットが第２所定位置に回
動すると、前記反射板ユニット内部の反射板を経由せず
に、前記直視方向からの反射光像を前記撮像装置に撮像
させるようにしたので、直視撮像時であっても、前記光
学用ユニットを照明装置から搬出する必要もなく、しか
も、補償用照射手段を設ける必要もない。

【００５５】また、本発明は、前記照射装置が第１照明
装置と、第２照明装置とで構成し、前記照射装置を第１
照明装置及び第２照明装置に分割することで、前記照射
装置内部を開口すると共に、前記第１照明装置及び第２
照明装置を合併することで、前記照射装置内部の開口を
閉塞する照明開閉機構と、前記直視方向からの反射光像
を前記撮像装置に撮像させる場合、前記照明開閉機構を
通じて前記照射装置内部を開口することで、この照射装
置内部に収容した光学用ユニットを搬出すると共に、前
記斜視方向からの反射光像を前記撮像装置に撮像させる
場合、前記照明開閉機構を通じて前記照明装置内部を開
口することで、前記照射装置内部に前記光学用ユニット
を搬入する搬出入機構とを有するようにした。

【００５６】前記照射装置は、第１照明装置及び第２照
明装置で構成し、これら第１照明装置及び第２照明装置
を合併することで照射装置内部の開口を閉塞すると共
に、第１照明装置及び第２照明装置に分割することで照
射装置内部を開口するものである。

【００５７】前記照射装置内部の閉塞とは、例えば照射
装置内部に収容した光学用ユニットが搬出できない状態
であり、前記照射装置内部の開口とは、例えば照射装置
内部に収容した光学用ユニットが搬出又は搬入可能な状
態である。

【００５８】従って、本発明によれば、前記直視方向か
らの反射光像を前記撮像装置に撮像させる場合、前記照
明開閉機構を通じて前記照明装置内部を開口すること
で、この照明装置内部に収容した光学用ユニットを搬出
すると共に、前記斜視方向からの反射光像を前記撮像装
置に撮像させる場合、前記照明開閉機構を通じて前記照
射装置内部を開口することで、前記照射装置内部に前記
光学用ユニットを搬入するようにしたので、直視撮像及
び斜視撮像双方に対応可能であり、その上、補償用照射
手段を設ける必要もない。

【００５９】また、本発明は、前記照射装置が、前記直
視方向からの反射光像を前記撮像装置に撮像させる直視
用コマンドを検出すると、直視用出力レベルに基づい
て、前記照射手段の出力レベルを制御する直視用制御手
段と、前記斜視方向からの反射光像を前記撮像装置に撮
像させる斜視用コマンドを検出すると、斜視用出力レベ
ルに基づいて、前記照射装置の出力レベルを制御する斜
視用制御手段とを有するようにした。

【００６０】直視用コマンドは、直視方向からの反射光
像を撮像装置に撮像させるためのコマンドに相当するも
のである。

【００６１】斜視用コマンドは、斜視方向からの反射光
像を撮像装置に撮像させるためのコマンドに相当するも
のである。

【００６２】直視用制御手段は、直視撮像時における直
視用出力レベルに基づいて、前記照射装置の出力レベル
を制御する、例えば直視撮像時における定電流制御回路
の電流レベルを調整する直視時電流レベル回路に相当す
るものである。

【００６３】斜視用制御手段は、斜視撮像時における斜
視用出力レベルに基づいて、前記照射装置の出力レベル
を制御する、例えば斜視撮像時における定電流制御回路
の電流レベルを調整する斜視時電流レベル回路に相当す
るものである。

【００６４】尚、斜視用出力レベルは、直視用出力レベ
ルよりも高めに設定してある。

【００６５】従って、本発明によれば、直視撮像時にお
いては直視用出力レベルに基づいて、前記照射装置の出
力レベルを制御する直視用制御手段と、斜視撮像時にお
いては斜視用出力レベルに基づいて、前記照射装置の出
力レベルを制御する斜視用制御手段とを別個に設けるよ
うにした、つまり、直視撮像時及び斜視撮像時に夫々適
した個別の駆動制御を行うようにしたので、例えば斜視
撮像時に撮像装置で得られる反射光像の光量が減衰した
としても、この光量減衰に十分対処することができ、そ
の信号対雑音比が低下することもなく、その結果、良好
な検査性能が得ることができる。

【００６６】また、本発明は、前記斜視用制御手段が、
前記斜視用コマンドを検出すると、前記反射板ユニット
内部の反射板が正反射する側の照射手段を選択し、この
選択した照射手段の出力レベルをオフ、又は減衰制御す
るようにした。

【００６７】従って、本発明の基板検査装置における照
射装置によれば、斜視撮像時に反射板ユニット内部の反
射板が正反射する側の照射手段を選択し、この選択した
照射手段の出力レベルをオフ、又は減衰制御するように
したので、例えば光沢のある基板表面からの不必要な反
射光が撮像装置に入光するのを防止することができる。

【００６８】また、本発明は、前記撮像装置が、前記直
視方向からの反射光像を前記撮像装置に撮像させる直視
用コマンドを検出すると、直視用カメラ露光時間を設定
する直視用露光時間設定手段と、前記斜視方向からの反
射光像を前記撮像装置に撮像させる斜視用コマンドを検
出すると、斜視用カメラ露光時間を設定する斜視用露光
時間設定手段とを有するようにした。

【００６９】直視用露光時間設定手段は、例えば直視撮
像時に撮像装置の直視用カメラ露光時間を設定する直視
用露光時間設定回路に相当するものである。

【００７０】斜視用露光時間設定手段は、例えば斜視撮
像時に撮像装置の斜視用カメラ露光時間を設定する斜視
用露光時間設定回路に相当するものである。

【００７１】尚、斜視用カメラ露光時間は、直視用カメ
ラ露光時間よりも長めに設定してある。

【００７２】従って、本発明によれば、直視撮像時に直
視用カメラ露光時間を設定すると共に、斜視撮像時に斜
視用カメラ露光時間を設定するようにした、つまり、直
視撮像時及び斜視撮像時に夫々適した個別のカメラ露光
時間を設定するようにしたので、例えば斜視撮像時にお
いてはカメラ露光時間を長くすることで画像を明るく
し、信号対雑音比の低下を防止することができる。

【００７３】また、本発明は、前記撮像装置が、前記直
視方向からの反射光像を前記撮像装置に撮像させる直視
用コマンドを検出すると、直視用カメラ入光量に基づい
てカメラ入光量を制御する直視用入光量制御手段と、前
記斜視方向からの反射光像を前記撮像装置に撮像させる
斜視用コマンドを検出すると、斜視用カメラ入光量に基
づいてカメラ入光量を制御する斜視用入光量制御手段と
を有するようにした。

【００７４】従って、本発明によれば、直視撮像時にお
いては直視用カメラ入光量に基づいてカメラ入光量を制
御すると共に、斜視撮像時においては斜視用カメラ入光
量に基づいてカメラ入光量を制御するようにした、つま
り、直視撮像時及び斜視撮像時に夫々適したカメラ入光
量を個別に制御するようにしたので、例えば斜視撮像時
においてはカメラ入光量を増大することで画像を明るく
し、信号対雑音比の低下を防止することができる。

【００７５】また、本発明は、前記撮像装置が、前記直
視方向からの反射光像を前記撮像装置に撮像させる直視
用コマンドを検出すると、直視用カメラ入光量を得るニ
ュートラルデンシティフィルタを、前記撮像装置の撮像
軸上に配置するフィルタ配置手段を有するようにした。

【００７６】従って、本発明によれば、直視撮像時にお
いては直視用カメラ入光量を得るニュートラルデンシテ
ィフィルタを撮像装置の撮像軸上に配置するようにし
た、つまり、直視撮像時においてはニュートラルデンシ
ティフィルタを配置するようにしたので、例えば斜視撮
像時においてはカメラ入光量を増大することで画像を明
るくし、信号対雑音比の低下を防止することができる。

【００７７】また、本発明は、前記撮像装置が、前記直
視方向からの反射光像を前記撮像装置に撮像させる直視
用コマンドを検出すると、直視用カメラ入光量に基づい
てカメラレンズの絞りを調整すると共に、前記斜視方向
からの反射光像を前記撮像装置に撮像させる斜視用コマ
ンドを検出すると、斜視用カメラ入光量に基づいてカメ
ラレンズの絞りを調整するカメラレンズ絞り調整手段を
有するようにした。

【００７８】従って、本発明によれば、直視撮像時にお
いては直視用カメラ入光量に基づいてカメラレンズの絞
りを調整すると共に、斜視撮像時においては斜視用カメ
ラ入光量に基づいてカメラレンズの絞りを調整するよう
にした、つまり、直視撮像時及び斜視撮像時に夫々適し
たカメラレンズの絞りを調整するようにしたので、例え
ば斜視撮像時においてはカメラ入光量を増大することで
画像を明るくし、信号対雑音比の低下を防止することが
できる。

【００７９】

【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施の形態に示す照射装置を使用した基板検査装置につい
て説明する。図１は第１の実施の形態に示す基板検査装
置の概略構成を示す説明図である。

【００８０】図１において基板検査装置１は、直視撮像
機能及び斜視撮像機能を有し、基板表面１０１に色相光
を照射する照明装置１０と、基板表面１０１上に照射さ
れた各色相光の反射光像を色相光別に撮像するＣＣＤカ
メラ２０と、照明装置１０内において、ＣＣＤカメラ２
０の撮像軸上に配置し、基板表面１０１に対して直視方
向又は斜視方向からの反射光像をＣＣＤカメラ２０に撮
像させる光学用ユニット３０とを有し、このＣＣＤカメ
ラ２０で得られた色相光別の撮像パターンに基づいて基
板表面１０１を検査するものである。

【００８１】また、光学用ユニット３０は、その基板表
面１０１上の対象物（フィレット）の向きに応じて、Ｃ
ＣＤカメラ２０の撮像軸を中心に回転する構成としてい
る。

【００８２】照明装置１０は、ＣＣＤカメラ２０の撮像
軸を中心にして基板表面１０１への照射角度が異なるよ
うに同心円状に三段配置された赤色ＬＥＤ群１１Ａ、緑
色ＬＥＤ群１１Ｂ及び青色ＬＥＤ群１１Ｃと、これら赤
色ＬＥＤ群１１Ａ、緑色ＬＥＤ群１１Ｂ及び青色ＬＥＤ
群１１Ｃの前面に配置され、これらＬＥＤ群１１からの
３色の色相光を拡散する拡散板１２と、これら赤色ＬＥ
Ｄ群１１Ａ、緑色ＬＥＤ群１１Ｂ、青色ＬＥＤ群１１Ｃ
及び拡散板１２を収容し、ＣＣＤカメラ２０が基板表面
１０１の反射光像を撮像するためのカメラ穴１３Ａを形
成した照明フード１３とを有している。

【００８３】光学用ユニット３０は、ＣＣＤカメラ２０
の撮像軸上に配置され、光路長変化に応じてカメラのピ
ント合わせを行う光路長調整レンズ３１と、基板表面１
０１に関わる斜視方向からの反射光を、光路長調整レン
ズ３１を通じてＣＣＤカメラ２０に反射する反射板ユニ
ット３２と、この反射板ユニット３２をＣＣＤカメラ２
０の撮像軸の直交方向にスライドさせる駆動機構３３と
を有している。

【００８４】反射板ユニット３２は、基板表面１０１の
斜視方向からの反射光を反射する第１反射板３２Ａと、
この第１反射板３２Ａで反射した反射光を、光路長調整
レンズ３１を通じてＣＣＤカメラ２０に反射する第２反
射板３２Ｂとを有している。

【００８５】この駆動機構３３は、基板検査装置１の装
置フレーム２に取付けられ、反射板ユニット３２及び光
路長調整レンズ３１を撮像軸の直交方向にスライドさせ
るエアーシリンダ３３Ａと、後述する第１所定位置及び
第２所定位置に反射板ユニット３２をスライド位置決め
するためのストッパ３３Ｂと、照明装置１０内部で反射
板ユニット３２を周方向にベルト３３Ｃで回転させるた
めの回転機構３３Ｄとを有している。

【００８６】駆動機構３３が反射板ユニット３２を第１
所定位置（実線）にスライドすると、光路長調整レンズ
３１も撮像軸上に配置されることで、反射板ユニット３
２内部の第１反射板３２Ａは基板表面１０１の斜視方向
からの反射光を第２反射板３２Ｂに反射すると共に、第
２反射板３２Ｂは、その反射光を、光路長調整レンズ３
１を経由してＣＣＤカメラ２０に反射するものである。

【００８７】駆動機構３３が反射板ユニット３２を第２
所定位置（点線）にスライドすると、光路長調整レンズ
３１、第１反射板３２Ａ及び第２反射板３２Ｂが撮像軸
上から外れることで、反射板ユニット３２内部の第１反
射板３２Ａ及び第２反射板３２Ｂ、及び光路長調整レン
ズ３１を経由せずに、基板表面１０１の直視方向からの
反射光をＣＣＤカメラ２０に反射するものである。

【００８８】また、赤色ＬＥＤ群１１Ａは、図２に示す
ように照射領域Ｒ−１、Ｒ−２，Ｒ−３及びＲ−４のよ
うに４方向から基板表面１０１に赤色相光を照射するも
のであり、緑色ＬＥＤ群１１Ｂは、照射領域Ｇ−１、Ｇ
−２，Ｇ−３及びＧ−４のように４方向から基板表面１
０１に緑色相光を照射するものであり、青色ＬＥＤ群１
１Ｃは、照射領域Ｂ−１，Ｂ−２，Ｂ−３及びＢ−４の
ように４方向から基板表面１０１に青色相光を照射する
ものである。

【００８９】図３は第１の実施の形態に示す基板検査装
置１内部の概略構成を示すブロック図である。

【００９０】図３に示す基板検査装置１は、ＣＣＤカメ
ラ２０と、光学用ユニット３０にて直視方向からの反射
光像をＣＣＤカメラ２０に撮像させる直視用コマンドや
斜視方向からの反射光像をＣＣＤカメラ２０に撮像させ
る斜視用コマンドを入力する制御入力部４１と、この制
御入力部４１からの直視用コマンド又は斜視用コマンド
に基づいて赤色ＬＥＤ群１１Ａ、緑色ＬＥＤ群１１Ｂ及
び青色ＬＥＤ群１１ＣをＯＮ／ＯＦＦ制御するＯＮ／Ｏ
ＦＦ制御回路４２と、照明装置１０内部の赤色ＬＥＤ群
１１Ａを駆動制御する赤色ＬＥＤ駆動制御回路４３Ａ
と、照明装置１０内部の緑色ＬＥＤ群１１Ｂを駆動制御
する緑色ＬＥＤ駆動制御回路４３Ｂと、照明装置１０内
部の青色ＬＥＤ群１１Ｃを駆動制御する青色ＬＥＤ駆動
制御回路４３Ｃと、光学用ユニット３０内部の反射板ユ
ニット３２をスライドする駆動機構３３と、この駆動機
構３３を駆動制御する駆動制御回路４４と、照明装置１
０及び光学用ユニット３０全体に電力を供給する電源回
路４５とを有している。

【００９１】赤色ＬＥＤ駆動制御回路４３Ａは、照射領
域Ｒ−１、Ｒ−２，Ｒ−３，Ｒ−４毎の赤色ＬＥＤ群１
１Ａと、この赤色ＬＥＤ群１１Ａの点灯駆動電流を制御
する点灯電流制御回路５１と、直視撮像時の直視時電流
レベルを設定する直視時電流レベル回路５２と、斜視撮
像時の斜視時電流レベルを設定する斜視時電流レベル回
路５３と、これら直視時電流レベル回路５２又は斜視時
電流レベル回路５３を切換設定する切換設定回路５４
と、直視時電流レベル回路５２若しくは斜視時電流レベ
ル回路５３にてレベル設定した駆動電流に基づいて各照
射領域の赤色ＬＥＤ群１１Ａを駆動制御する電流駆動回
路５５と、電流駆動回路５５から照射領域の赤色ＬＥＤ
群１１Ａへの駆動電流をＯＮ／ＯＦＦするスイッチ回路
５６と、点灯中の赤色ＬＥＤ群１１Ａからの赤色相光を
受光するフォトカプラ５７と、このフォトカプラ５７か
ら受光出力を増幅する増幅回路５８と、この増幅した受
光出力に基づいて、赤色ＬＥＤ群１１Ａの光出力が一定
となるように、電源回路４５からの駆動電流を制御する
定電流制御回路５９とを有している。

【００９２】尚、斜視時電流レベルは、直視時電流レベ
ルよりも高めに設定してあるものとする。

【００９３】また、緑色ＬＥＤ駆動制御回路４３Ｂ及び
青色ＬＥＤ駆動制御回路４３Ｃも同様に、夫々、照射領
域毎の各色ＬＥＤ群１１、点灯電流制御回路５１、直視
時電流レベル回路５２、斜視時電流レベル回路５３、切
換設定回路５４、電流駆動回路５５、スイッチ回路５
６、フォトカプラ５７、増幅回路５８及び定電流制御回
路５９を有している。

【００９４】ＣＣＤカメラ２０は、カメラ露光時間を設
定制御する露光時間制御回路２１と、直視撮像時におけ
る直視時カメラ露光時間を設定する直視時露光時間回路
２２と、斜視撮像時における斜視時カメラ露光時間を設
定する斜視時露光時間回路２３と、これら直視時露光時
間回路２２若しくは斜視時露光時間回路２３を切換設定
する切換設定回路２４と、この切換設定回路２４にて切
換設定したカメラ露光時間に基づいて撮像を行う撮像回
路２５とを有している。

【００９５】尚、斜視時カメラ露光時間は、直視時カメ
ラ露光時間よりも長めに設定してあるものとする。

【００９６】次に第１の実施の形態に示す基板検査装置
１の動作について説明する。

【００９７】まずは、直視撮像時の基板検査装置１の動
作について説明する。図５は直視撮像時における基板検
査装置１の動作状態を示す説明図である。

【００９８】基板検査装置１は、制御入力部４１を通じ
て直視用コマンドを検出すると、この直視用コマンドに
基づいて、赤色ＬＥＤ駆動制御回路４３Ａ、緑色ＬＥＤ
駆動制御回路４３Ｂ、青色ＬＥＤ駆動制御回路４３Ｃ、
ＯＮ／ＯＦＦ制御回路４２、ＣＣＤカメラ２０及び駆動
制御回路４４を制御する。

【００９９】基板検査装置１の駆動制御回路４４は、光
学用ユニット３０内の駆動機構３３を通じて、図５に示
すように反射板ユニット３２を第２所定位置にスライド
する。この際、反射板ユニット３２内の第１反射板３２
Ａ及び第２反射板３２Ｂと、光路長調整レンズ３１とは
ＣＣＤカメラ２０の撮像軸から外れ、その撮像軸は第１
反射板３２Ａ及び第２反射板３２Ｂ間となる。

【０１００】ＯＮ／ＯＦＦ制御回路４２は、制御入力部
４１からの直視用コマンドを検出すると、各色相光の照
射領域のＬＥＤ群１１を点灯すべく、各スイッチ回路５
６をＯＮ制御する。

【０１０１】赤色ＬＥＤ駆動制御回路４３Ａの点灯電流
制御回路５１は、制御入力部４１からの直視用コマンド
を検出すると、電源回路４５からの駆動電流の供給を開
始すると共に、切換設定回路５４を通じて直視時電流レ
ベル回路５２を切換選択する。

【０１０２】さらに、点灯電流制御回路５１は、電源回
路４５からの駆動電流を、切換設定回路５４を通じて直
視時電流レベル回路５２に供給する。直視時電流レベル
回路５２は、直視時電流レベルに基づいて駆動電流の出
力レベルを調整し、このレベル調整した駆動電流を定電
流制御回路５９に供給する。

【０１０３】定電流制御回路５９は、直視時電流レベル
回路５２にてレベル調整した駆動電流を安定化し、この
安定化した駆動電流を電流駆動回路５５に供給する。さ
らに電流駆動回路５５は、レベル調整した駆動電流を照
射領域Ｒ−１，Ｒ−２，Ｒ−３，Ｒ−４毎の赤色ＬＥＤ
群１１Ａに供給する。

【０１０４】そして、各赤色ＬＥＤ群１１Ａは、照射領
域毎に赤色相光を照射することになる。また、緑色ＬＥ
Ｄ駆動制御回路４３Ｂ及び青色ＬＥＤ駆動制御回路４３
Ｃにおいても、制御入力部４１からの直視用コマンドを
検出すると、同様に、直視時電流レベルに基づいて照射
領域毎の緑色ＬＥＤ群１１Ｂ及び青色ＬＥＤ群１１Ｃを
点灯制御することで、緑色ＬＥＤ群１１Ｂ及び青色ＬＥ
Ｄ群１１Ｃは、照射領域毎に緑色相光及び青色相光を照
射することになる。

【０１０５】さらに、ＣＣＤカメラ２０の露光時間制御
回路２１は、制御入力部４１からの直視用コマンドを検
出すると、切換設定回路２４を直視時露光時間回路２２
に切換設定すると共に、この直視時露光時間回路２２に
て設定したカメラ露光時間に基づいて、撮像回路２５に
直視方向からの反射光像を撮像させる。

【０１０６】つまり、直視撮像時においては、図５に示
すように光学用ユニット３０内の反射板ユニット３２が
第２所定位置にスライドすることで、光路長調整レンズ
３１、第１反射板３２Ａ及び第２反射板３２ＢがＣＣＤ
カメラ２０の撮像軸から外れるので、赤色ＬＥＤ群１１
Ａ、緑色ＬＥＤ群１１Ｂ及び青色ＬＥＤ群１１Ｃから照
射した各色相光は基板表面１０１上の照射領域に照射さ
れ、その直視方向からの反射光像を、光路長調整レンズ
３１、第１反射板３２Ａ及び第２反射板を経由せずに、
ＣＣＤカメラ２０が撮像することになる。

【０１０７】次に斜視撮像時における基板検査装置１の
動作について説明する。図４は斜視撮像時における基板
検査装置１の動作状態を示す説明図である。

【０１０８】基板検査装置１は、制御入力部４１を通じ
て斜視用コマンドを検出すると、この斜視用コマンドに
基づいて、赤色ＬＥＤ駆動制御回路４３Ａ、緑色ＬＥＤ
駆動制御回路４３Ｂ、青色ＬＥＤ駆動制御回路４３Ｃ、
ＯＮ／ＯＦＦ制御回路４２、ＣＣＤカメラ２０、駆動制
御回路４４を制御する。

【０１０９】基板検査装置１の駆動制御回路４４は、制
御入力部４１を通じて斜視用コマンドを検出すると、光
学用ユニット３０内の駆動機構３３を通じて、図４に示
すように反射板ユニット３２を第１所定位置にスライド
する。この際、反射板ユニット３２内の第２反射板３２
Ｂ及び光路長調整レンズ３１は、ＣＣＤカメラ２０の撮
像軸上に配置されたことになる。

【０１１０】ＯＮ／ＯＦＦ制御回路４２は、制御入力部
４１からの斜視用コマンドを検出すると、各色相光の照
射領域のＬＥＤ群１１を点灯すべく、各スイッチ回路５
６をＯＮ制御する。

【０１１１】赤色ＬＥＤ駆動制御回路４３Ａの点灯電流
制御回路５１は、制御入力部４１からの斜視用コマンド
を検出すると、電源回路４５からの駆動電流の供給を開
始すると共に、切換設定回路５４を通じて斜視時電流レ
ベル回路５３を切換選択する。

【０１１２】さらに、点灯電流制御回路５１は、電源回
路４５からの駆動電流を、切換設定回路５４を通じて斜
視時電流レベル回路５３に供給する。斜視時電流レベル
回路５３は、斜視時電流レベルに基づいて駆動電流の出
力レベルを調整し、このレベル調整した駆動電流を定電
流制御回路５９に供給する。

【０１１３】定電流制御回路５９は、斜視時電流レベル
回路５３にてレベル調整した駆動電流を安定化し、この
安定化した駆動電流を電流駆動回路５５に供給する。さ
らに電流駆動回路５５は、レベル調整した駆動電流を照
射領域毎の赤色ＬＥＤ群１１Ａに供給する。

【０１１４】そして、各赤色ＬＥＤ群１１Ａは、照射領
域毎に赤色相光を照射することになる。また、緑色ＬＥ
Ｄ駆動制御回路４３Ｂ及び青色ＬＥＤ駆動制御回路４３
Ｃにおいても、制御入力部４１からの斜視用コマンドを
検出すると、同様に、斜視時電流レベルに基づいて照射
領域毎の緑色ＬＥＤ群１１Ｂ及び青色ＬＥＤ群１１Ｃを
点灯制御することで、緑色ＬＥＤ群１１Ｂ及び青色ＬＥ
Ｄ群１１Ｃは、照射領域毎に緑色相光及び青色相光を照
射することになる。

【０１１５】つまり、斜視時電流レベルは、斜視撮像時
に設定されるため、その光路長が長くなることから、直
視時電流レベルよりも高いレベルで設定することにな
る。

【０１１６】さらに、ＣＣＤカメラ２０の露光時間制御
回路２１は、制御入力部４１からの斜視用コマンドを検
出すると、切換設定回路２４を斜視時露光時間回路２３
に切換設定すると共に、この斜視時露光時間回路２３に
て設定したカメラ露光時間に基づいて、撮像回路２５に
斜視方向からの反射光像を撮像させる。

【０１１７】つまり、斜視撮像時においては、図４に示
すように光学用ユニット３０内の反射板ユニット３２が
第１所定位置にスライドすることで、ひいてはＣＣＤカ
メラ２０の撮像軸上に第２反射板３２Ｂ及び光路長調整
レンズ３１を配置し、赤色ＬＥＤ群１１Ａ、緑色ＬＥＤ
群１１Ｂ及び青色ＬＥＤ群１１Ｃから照射した各色相光
は基板表面１０１上の照射領域に照射され、基板表面１
０１の斜視方向からの反射光を第１反射板３２Ａに反射
すると共に、この第１反射板３２Ａで反射した反射光を
第２反射板３２Ｂに反射し、この第２反射板３２Ｂで反
射した反射光像をＣＣＤカメラ２０に撮像することにな
る。

【０１１８】第１の実施の形態によれば、ＣＣＤカメラ
２０の撮像軸上に配置し、基板表面１０１に対して直視
方向又は斜視方向からの反射光像をＣＣＤカメラ２０に
撮像させる光学用ユニット３０を照明装置１０内に設け
るようにした、つまり、光学用ユニット３０及び基板表
面１０１間の距離を短縮化することで、図６に示すよう
に、例えば光学用ユニット３０の斜視角度を１５度から
３０度に傾けたとしても、従来に比して、基板表面１０
１及びＣＣＤカメラ２０間の光路長を抑えることがで
き、ＣＣＤカメラ２０で得られる反射光が暗くなること
もないことから、その信号対雑音比が低下することもな
く、その結果、良好な検査性能が得ることができる。

【０１１９】さらに、第１の実施の形態によれば、光学
用ユニット３０を照明装置１０内に設けたことから、例
えば光学用ユニット３０の斜視角度を大きくしたとして
も、カメラ穴１３Ａの口径を大きくする必要はないた
め、その分、例えば上段に配置した赤色ＬＥＤ群１１Ａ
や緑色ＬＥＤ群１１ＢのＬＥＤ数が減ることもないこと
から、さらに補償用照射手段を増設する必要もなくな
る。その結果、補償用照射手段を退避する機構も必要な
いので、その製造コストを安価に抑えることができる。

【０１２０】さらに、第１の実施の形態によれば、補償
用照射手段を必要としないことから、従来のように赤色
ＬＥＤ群１１Ａ及び補償用赤色ＬＥＤ群間で色相光の継
ぎ目が生じることもなくなり、ＣＣＤカメラ１２０で投
影された基板表面１０１のフィレットで継ぎ目が見える
こともないため、ユーザに違和感を与えるおそれもな
い。

【０１２１】さらに、第１の実施の形態によれば、斜視
撮像時においては反射板ユニット３２が第１所定位置に
スライドすると、反射板ユニット３２内部の第１反射板
３２Ａ及び第２反射板３２Ｂ、光路長調整レンズ３１を
経由して斜視方向からの反射光像をＣＣＤカメラ２０に
撮像させると共に、直視撮像時においては反射板ユニッ
ト３２が第２所定位置にスライドすると、反射板ユニッ
ト３２内部の第１反射板３２Ａ及び第２反射板３２Ｂ、
光路長調整レンズ３１を経由せずに、直視方向からの反
射光像をＣＣＤカメラ２０に撮像させるようにしたの
で、直視撮像時であっても、光学用ユニット３０を照明
装置１０から搬出する必要はなく、しかも、補償用照射
手段を設ける必要もない。

【０１２２】また、第１の実施の形態によれば、直視撮
像時においては直視時電流レベルに基づいて、各色ＬＥ
Ｄ群１１の出力レベルを制御する直視時電流レベル回路
５２と、斜視撮像時においては斜視時電流レベルに基づ
いて、各色ＬＥＤ群１１の出力レベルを制御する斜視時
電流レベル回路５３とを別個に設けるようにした、つま
り、直視撮像時及び斜視撮像時に夫々適した個別の駆動
制御を行うようにしたので、例えば斜視撮像時にＣＣＤ
カメラ２０で得られる反射光像の光量が減衰したとして
も、この光量減衰に十分対処することができ、その信号
対雑音比が低下することもなく、その結果、良好な検査
性能が得ることができる。

【０１２３】さらに、第１の実施の形態によれば、直視
撮像時においては、そのＣＣＤカメラ２０側で直視時カ
メラ露光時間を設定すると共に、斜視撮像時において
は、そのＣＣＤカメラ２０側で斜視時カメラ露光時間を
設定するようにした、つまり、直視撮像時及び斜視撮像
時に夫々適した個別のカメラ露光時間を設定するように
したので、例えば斜視撮像時においてはカメラ露光時間
を長くすることで画像を明るくし、信号対雑音比の低下
を防止することができる。

【０１２４】尚、上記第１の実施の形態においては、直
視撮像時又は斜視撮像時でカメラ露光時間を可変設定す
ることで、斜視撮像時での画像が暗くなる状態に対処す
るようにしたが、ＣＣＤカメラ２０が、直視用コマンド
を検出すると、直視用カメラ入光量に基づいてカメラ入
光量を制御する直視用入光量制御手段と、斜視用コマン
ドを検出すると、斜視用カメラ入光量に基づいてカメラ
入光量を制御する斜視用入光量制御手段とを有するよう
にしても良く、この場合、直視撮像時及び斜視撮像時に
夫々適したカメラ入光量を個別に制御するようにしたの
で、例えば斜視撮像時においてはカメラ入光量を増大す
ることで画像を明るくし、信号対雑音比の低下を防止す
ることができる。

【０１２５】また、同様に、ＣＣＤカメラ２０が、直視
用コマンドを検出すると、直視用カメラ入光量を得るニ
ュートラルデンシティフィルタを、ＣＣＤカメラ２０の
撮像軸上に配置すると共に、斜視用コマンドを検出する
と、斜視用カメラ入光量を得るニュートラルデンシティ
フィルタをＣＣＤカメラ２０の撮像軸上に配置するフィ
ルタ配置手段を有するようにしても良く、この場合、直
視撮像時及び斜視撮像時に夫々適した個別のニュートラ
ルデンシティフィルタを配置するようにしたので、例え
ば斜視撮像時においてはカメラ入光量を増大することで
画像を明るくし、信号対雑音比の低下を防止することが
できる。尚、斜視撮像時においては、必ずしもニュート
ラルデンシティフィルタが必要もないことから、直視撮
像時においてのみ、ニュートラルデンシティフィルタを
撮像軸上に配置するようにしても良い。

【０１２６】さらに、ＣＣＤカメラ２０が、直視用コマ
ンドを検出すると、直視用カメラ入光量に基づいてカメ
ラレンズの絞りを調整すると共に、斜視用コマンドを検
出すると、斜視用カメラ入光量に基づいてカメラレンズ
の絞りを調整するカメラレンズ絞り調整手段を有するよ
うにしても良く、この場合、直視撮像時及び斜視撮像時
に夫々適したカメラレンズの絞りを調整するようにした
ので、例えば斜視撮像時においてはカメラ入光量を増大
することで画像を明るくし、信号対雑音比の低下を防止
することができる。

【０１２７】また、上記第１の実施の形態おいては、斜
視用コマンドを検出すると、斜視用出力レベルに基づい
て各色ＬＥＤ群１１の出力レベルを調整するようにした
が、図７に示すように反射板ユニット３２内部の第１反
射板３２Ａが正反射する照射領域Ｒ−３，Ｒ−４側の赤
色ＬＥＤ群１１Ａを選択し、この選択した赤色ＬＥＤ群
１１Ａの出力レベルをオフ、又は減衰制御するようにし
ても良く、この場合には、例えば光沢のある基板表面１
０１からの不必要な反射光がＣＣＤカメラ２０に入光す
るのを防止することができる。

【０１２８】また、上記第１の実施の形態においては、
斜視撮像時においては基板表面１０１に対して垂直方向
に赤色相光を照射することができなかったが、例えば図
８に示すように反射板ユニット３２の下面に、例えば赤
色相光を照射する補助赤色ＬＥＤ群６０を設け、反射板
ユニット３２が第１所定位置にスライドすると、補助赤
色ＬＥＤ群６０から赤色相光を基板表面１０１の垂直方
向にある照射領域Ｒ−５に照射するようにしても良く、
この場合には、斜視撮像時においては基板表面１０１を
垂直方向に照射することができるため、例えばランド部
分の十分な反射光像を得ることができる。

【０１２９】また、上記第１の実施の形態においては、
照明装置１０内部に設けた光学用ユニット３０の反射板
ユニット３２を、駆動機構３３を通じてスライドさせる
ことで、斜視撮像用若しくは直視撮像用に切換変更可能
としたが、図９に示すような構成としても良い。

【０１３０】では、第２の実施の形態に示す基板検査装
置における照射装置について説明する。図９（ａ）は第
２の実施の形態に示す基板検査装置１Ａの斜視撮像時及
び直視撮像時における動作状態、図９（ｂ）は基板検査
装置１Ａの斜視撮像時における動作状態、図９（ｃ）は
基板検査装置１Ａの直視撮像時における動作状態を示す
説明図である。尚、第１の実施の形態に示す基板検査装
置１と重複する構成については同一符号を付すことで、
その構成及び動作の説明については省略する。

【０１３１】図９に示す基板検査装置１Ａが第１の実施
の形態に示す基板検査装置１と異なるところは、光学用
ユニットの構成にある。

【０１３２】図９に示す光学用ユニット６０は、基板表
面１０１の斜視方向からの反射光を反射する第１反射板
６２Ａ及び、この第１反射板６２Ａにて反射した反射光
を、光路長調整レンズ６１を経由してＣＣＤカメラ２０
に反射する第２反射板６２Ｂを備えた反射板ユニット６
２と、光学用ユニット６０の端部６０Ａを支点にして、
反射板ユニット６２を回動する駆動機構６３とを有し、
図９（ａ）及び（ｂ）に示すように、駆動機構６３にて
反射板ユニット６２が第１所定位置に回動すると、反射
板ユニット６２内部の第１反射板６２Ａ、第２反射板６
２Ｂ及び光路長調整レンズ６１を経由して斜視方向から
の反射光像をＣＣＤカメラ２０に撮像させると共に、駆
動機構６３にて反射板ユニット６２が第２所定位置に回
動すると、反射板ユニット６２内部の第１反射板６２
Ａ、第２反射板６２Ｂ及び光路長調整レンズ６１を経由
せず、直視方向からの反射光像をＣＣＤカメラ２０に撮
像させるようにした。

【０１３３】次に第２の実施の形態に示す基板検査装置
１Ａの動作について説明する。

【０１３４】まずは、直視撮像時における基板検査装置
１Ａの動作について説明する。

【０１３５】基板検査装置１Ａの駆動制御回路４４は、
制御入力部４１からの直視用コマンドを検出すると、図
９（ｃ）に示すように駆動機構６３を通じて反射板ユニ
ット６２を第２所定位置に回動する。

【０１３６】さらに、反射板ユニット６２が第２所定位
置に回動すると、反射板ユニット６２内の第１反射板６
２Ａ及び第２反射板６２Ｂは畳まれることで、これら第
１反射板６２Ａ及び第２反射板６２ＢはＣＣＤカメラ２
０の撮像軸に影響を及ぼさない位置に配置されることに
なる。また、光路長調整レンズ６１も撮像軸から外れた
位置に配置されることになる。

【０１３７】つまり、直視撮像時においては光学用ユニ
ット６０内の反射板ユニット６２が第２所定位置に回動
することで、反射板ユニット６２内の第１反射板６２Ａ
及び第２反射板６２Ｂは畳まれ、これら第１反射板６２
Ａ及び第２反射板６２ＢはＣＣＤカメラ２０の撮像軸に
影響を及ぼさない位置に配置されるため、赤色ＬＥＤ群
１１Ａ、緑色ＬＥＤ群１１Ｂ及び青色ＬＥＤ群１１Ｃか
ら照射した各色相光は基板表面１０１上の照射領域に照
射され、その直視方向からの反射光像を第１反射板６２
Ａ、第２反射板６２Ｂ及び光路長調整レンズ６１を経由
せずに、ＣＣＤカメラ２０が撮像することになる。

【０１３８】次に斜視撮像時における基板検査装置１Ａ
の動作について説明する。

【０１３９】基板検査装置１Ａの駆動制御回路４４は、
制御入力部４１からの斜視用コマンドを検出すると、図
９（ｂ）に示すように駆動機構３３を通じて反射板ユニ
ット６２を第１所定位置に回動する。

【０１４０】さらに反射板ユニット６２が第１所定位置
に回動すると、反射板ユニット６２内の第２反射板６２
ＢはＣＣＤカメラ２０の撮像軸上に配置されることにな
る。また、同様に、光路長調整レンズ６１も撮像軸上に
配置されることになる。

【０１４１】つまり、斜視撮像時においては光学用ユニ
ット３０内の反射板ユニット６２が第１所定位置に回動
することで、ＣＣＤカメラ２０の撮像軸上に第２反射板
６２Ｂを配置し、赤色ＬＥＤ群１１Ａ、緑色ＬＥＤ群１
１Ｂ及び青色ＬＥＤ群１１Ｃから照射した各色相光は基
板表面１０１上の照射領域に照射され、基板表面１０１
の斜視方向からの反射光を第１反射板６２Ａに反射する
と共に、この第１反射板６２Ａで反射した反射光を第２
反射板６２Ｂに反射し、この第２反射板６２Ｂで反射し
た反射光像を、光路長調整レンズ６１を経由してＣＣＤ
カメラ２０に撮像することになる。

【０１４２】第２の実施の形態によれば、反射板ユニッ
ト６２が第１所定位置に回動すると、反射板ユニット６
２内部の第１反射板６２Ａ、第２反射板６２Ｂ及び光路
長レンズ６１を経由して斜視方向からの反射光像をＣＣ
Ｄカメラ２０に撮像させると共に、反射板ユニット６２
が第２所定位置に回動すると、反射板ユニット６２内部
の第１反射板６２Ａ、第２反射板６２Ｂ及び光路長調整
レンズ６１を経由せず、直視方向からの反射光像をＣＣ
Ｄカメラ２０に撮像させるようにしたので、直視撮像時
であっても、光学用ユニット３０は照明装置１０から搬
出する必要もなく、さらには補償用照射手段を設ける必
要もない。

【０１４３】尚、上記第１及び第２の実施の形態におい
ては、光学用ユニット３０（６０）を照明装置１０内部
に配置することで、光学用ユニット３０（６０）の斜視
角度が大きくなったとしても、斜視撮像時での基板表面
１０１及びＣＣＤカメラ２０間の光路長を極力短くしな
がら、しかも、直視撮像時においては照明装置１０内か
ら光学用ユニット３０（６０）を搬出する機構を必要と
しないとする技術的思想に着目して詳細に説明してきた
が、斜視角度が大きくなったとしても、斜視撮像時での
基板表面１０１及びＣＣＤカメラ２０間の光路長を極力
短くするという技術的思想にのみ着目するとすれば、次
に説明するような構成としても良い。

【０１４４】では、このような第３の実施の形態に示す
基板検査装置における照射装置について説明する。図１
０（ａ）は第３の実施の形態に示す基板検査装置の斜視
撮像時における動作状態、図１０（ｂ）は直視撮像時に
おける動作状態を示す説明図である。尚、第１の実施の
形態に示す基板検査装置１と同一の構成については同一
符号を付すことで、その構成及び動作の説明については
省略する。

【０１４５】図１０に示す基板検査装置１Ｂが第１の実
施の形態に示す基板検査装置１と異なるところは、図１
１に示すように照明装置１０が第１照明装置１０Ａと、
第２照明装置１０Ｂとで構成し、照明装置１０は、図１
１（ｂ）に示すように照明装置１０を第１照明装置１０
Ａ及び第２照明装置１０Ｂに分割することで、照明装置
１０内部を開口すると共に、図１１（ａ）に示すように
第１照明装置１０Ａ及び第２照明装置１０Ｂを合併する
ことで、照明装置１０内部の開口を閉塞する照明開閉機
構７１と、直視方向からの反射光像をＣＣＤカメラ２０
に撮像させる場合、照明開閉機構７１を通じて照明装置
２０内部を開口することで、この照明装置２０内部に収
容した斜視用光学ユニット７３を搬出すると共に、斜視
方向からの反射光像をＣＣＤカメラ２０に撮像させる場
合、照明開閉機構７１を通じて照明装置２０内部を開口
することで、照明装置２０内部に斜視用光学ユニット７
３を搬入する搬出入機構７２とを有する点にある。

【０１４６】照明装置１０内部の閉塞とは、例えば照明
装置１０内部に収容した斜視用光学ユニット７３が搬出
できない状態であり、照明装置１０内部の開口とは、例
えば照明装置１０内部に収容した斜視用光学ユニット７
３が搬出又は搬入可能な状態である。

【０１４７】次に第３の実施の形態に示す基板検査装置
１Ｂの動作について説明する。

【０１４８】まず、斜視撮像時における基板検査装置１
Ｂの動作について説明する。

【０１４９】図１０（ａ）及び図１１（ａ）に示す基板
検査装置１Ｂは、斜視用コマンドを検出すると、第１照
明装置１０Ａ及び第２照明装置１０Ｂで構成する照明装
置１０内に斜視用光学ユニット７３を配置した状態とな
る。

【０１５０】赤色ＬＥＤ群１１Ａ、緑色ＬＥＤ群１１Ｂ
及び青色ＬＥＤ群１１Ｃが各色相光を基板表面１０１に
照射する。この照明装置１０内の斜視用光学ユニット７
３の反射板ユニット７４は、その基板表面１０１からの
反射光を第１反射板７４Ａに反射すると共に、この反射
光を、第２反射板７４Ｂに反射して光路長調整レンズ７
５を経由することで、斜視方向からの反射光像をＣＣＤ
カメラ２０に反射する。

【０１５１】また、直視撮像時における基板検査装置１
Ｂの動作について説明する。

【０１５２】図１０（ｂ）に示す基板検査装置１Ｂの照
明開閉機構７１は、直視用コマンドを検出すると、図１
１（ｂ）に示すように照明装置１０を第１照明装置１０
Ａ及び第２照明装置１０Ｂに分割することで照明装置１
０内部を開口する。

【０１５３】さらに、搬出入機構７２は、図１１（ｃ）
に示すように照明装置１０内部に収容した斜視用光学ユ
ニット７３を搬出すると共に、照明開閉機構７１が第１
照明装置１０Ａ及び第２照明装置１０Ｂを合併すること
で照明装置１０内部の開口を閉塞する。

【０１５４】基板検査装置１Ｂは、赤色ＬＥＤ群１１
Ａ、緑色ＬＥＤ群１１Ｂ及び青色ＬＥＤ群１１Ｃからの
色相光を基板表面１０１に照射し、その基板表面１０１
の直視方向からの反射光像をＣＣＤカメラ２０に撮像さ
せる。

【０１５５】この後、基板検査装置１Ｂは、斜視用コマ
ンドを検出すると、照明開閉機構７１で第１照明装置１
０Ａ及び第２照明装置１０Ｂを分割して照明装置１０内
部を開口することで、搬出入機構７２で照明装置１０外
部に配置した斜視用光学ユニット７３を照明装置１０内
に配置し、照明開閉機構７１で第１照明装置１０Ａ及び
第２照明装置１０Ｂを合併することで照明装置１０内部
の開口を閉塞する。

【０１５６】第３の実施の形態によれば、直視方向から
の反射光像をＣＣＤカメラ２０に撮像させる場合、照明
開閉機構７１を通じて照明装置２０内部を開口すること
で、この照明装置２０内部に収容した斜視用光学ユニッ
ト７３を搬出すると共に、斜視方向からの反射光像をＣ
ＣＤカメラ２０に撮像させる場合、照明開閉機構７１を
通じて照明装置２０内部を開口することで、照明装置２
０内部に斜視用光学ユニット７３を搬入するようにした
ので、直視撮像及び斜視撮像双方に対応可能であり、そ
の上、斜視撮像時においては斜視用光学ユニット７３を
照明装置１０内部に配置することで、斜視角度が大きく
なったとしても、斜視撮像時における基板表面１０１及
びＣＣＤカメラ２０間の光路長を抑えることができ、ひ
いては補償用照射手段を設ける必要もない。

【０１５７】

【発明の効果】上記のように構成された本発明によれ
ば、撮像装置の撮像軸上に配置し、基板表面に対して直
視方向又は斜視方向からの反射光像を撮像装置に撮像さ
せる光学用ユニットを照明装置内に設けるようにした、
つまり、光学用ユニット及び基板表面間の距離を短縮化
することで、例えば光学用ユニットの斜視角度を大きく
したとしても、従来に比して、基板表面及び撮像装置間
の光路長を抑えることができ、さらには撮像装置で得ら
れる反射光像が暗くなることもないことから、その信号
対雑音比が低下することもなく、その結果、良好な検査
性能が得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明における第１の実施の形態に示す基板検
査装置の概略構成を示す説明図である。

【図２】第１の実施の形態に示す基板検査装置の照射領
域を端的に示す説明図である。

【図３】第１の実施の形態に示す基板検査装置内部の概
略構成を示すブロック図である。

【図４】第１の実施の形態に示す基板検査装置の斜視撮
像時における動作状態を示す説明図である。

【図５】第１の実施の形態に示す基板検査装置の直視撮
像時における動作状態を示す説明図である。

【図６】第１の実施の形態に示す基板検査装置の斜視撮
像時の光路長の比較関係を示す説明図である。

【図７】他の実施の形態に示す基板検査装置の斜視撮像
時の照射領域を端的に示す説明図である。

【図８】他の実施の形態に示す基板検査装置の斜視撮像
時の照射領域を端的に示す説明図である。

【図９】（ａ）第２の実施の形態に示す基板検査装置の
斜視撮像時及び直視撮像時における動作状態を示す説明
図である。 （ｂ）第２の実施の形態に示す基板検査装置の斜視撮像
時の動作状態を示す説明図である。 （ｃ）第２の実施の形態に示す基板検査装置の直視撮像
時の動作状態を示す説明図である。

【図１０】（ａ）第３の実施の形態に示す基板検査装置
の斜視撮像時の動作状態を示す説明図である。 （ｂ）第３の実施の形態に示す基板検査装置の直視撮像
時の動作状態を示す説明図である。

【図１１】（ａ）第３の実施の形態に示す基板検査装置
の斜視撮像時における照明装置の動作状態を示す説明図
である。 （ｂ）第３の実施の形態に示す基板検査装置の斜視又は
直視撮像切換時における照明装置の動作状態を示す説明
図である。 （ｃ）第３の実施の形態に示す基板検査装置の直視撮像
時における照明装置の動作状態を示す説明図である。

【図１２】従来技術における基板検査装置の斜視撮像時
の動作状態を示す説明図である。

【図１３】従来技術における基板検査装置の直視撮像時
の動作状態を示す説明図である。

【図１４】従来技術の基板検査装置内部の概略構成を示
すブロック図である。

【図１５】従来技術の基板検査装置の直視撮像時におけ
る動作状態を示す説明図である。

【符号の説明】

１ 基板検査装置 １Ａ 基板検査装置 １Ｂ 基板検査装置 １０ 照明装置 １１ ＬＥＤ群（照射手段） １１Ａ 赤色ＬＥＤ群（照射手段） １１Ｂ 緑色ＬＥＤ群（照射手段） １１Ｃ 青色ＬＥＤ群（照射手段） ２０ ＣＣＤカメラ（撮像装置） ２２ 直視時露光時間回路（直視用露光時間設定手段） ２３ 斜視時露光時間回路（斜視用露光時間設定手段） ３０ 光学用ユニット ３２ 反射板ユニット ３２Ａ 第１反射板（反射板） ３２Ｂ 第２反射板（反射板） ３３ 駆動機構（スライド機構、回動機構） ５２ 直視時電流レベル回路（直視用制御手段） ５３ 斜視時電流レベル回路（斜視用制御手段） ６０ 補助赤色ＬＥＤ群（補助照射手段） ６３ 駆動機構 ７１ 照明開閉機構 ７２ 搬出入機構 ７３ 斜視用光学ユニット １０１ 基板表面

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01N 21/84 - 21/958

Claims (11)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 撮像装置により撮像された色相光別の反
   射光像を色相別の撮像パターンに基づいて基板表面を検
   査する基板検査装置における前記基板表面に複数の色相
   光を照射する照射装置であって、 該照射装置内に、前記撮像装置の撮像軸上に配置し、前
   記基板表面に対して直視方向又は斜視方向からの反射光
   像を前記撮像装置に撮像させる光学用ユニットを設けた
   ことを特徴とする照射装置。
2. 【請求項２】 前記光学用ユニットは、 前記斜視方向からの反射光を反射する反射板を備えた反
   射板ユニットと、 この反射板ユニットを前記撮像装置の撮像軸の直交方向
   にスライドさせる駆動機構とを有し、 前記駆動機構にて前記反射板ユニットが第１所定位置に
   スライドすると、前記反射板ユニット内部の反射板を経
   由して前記斜視方向からの反射光像を前記撮像装置に撮
   像させると共に、 前記駆動機構にて前記反射板ユニットが第２所定位置に
   スライドすると、前記反射板ユニット内部の反射板を経
   由せずに、前記直視方向からの反射光像を前記撮像装置
   に撮像させることを特徴とする請求項１記載の照射装
   置。
3. 【請求項３】 前記反射板ユニットは、 前記第１所定位置にスライドすると、前記基板表面に対
   して垂直方向に所定色相光を照射する補助照射手段を有
   することを特徴とする請求項２記載の照射装置。
4. 【請求項４】 前記光学用ユニットは、 前記斜視方向からの反射光を反射する反射板を備えた反
   射板ユニットと、 前記光学用ユニットの端部を支点にして、前記反射板ユ
   ニットを回動する駆動機構とを有し、 前記駆動機構にて前記反射板ユニットが第１所定位置に
   回動すると、前記反射板ユニット内部の反射板を経由し
   て前記斜視方向からの反射光像を前記撮像装置に撮像さ
   せると共に、 前記駆動機構にて前記反射板ユニットが第２所定位置に
   回動すると、前記反射板ユニット内部の反射板を経由せ
   ずに、前記直視方向からの反射光像を前記撮像装置に撮
   像させることを特徴とする請求項１記載の照射装置。
5. 【請求項５】 前記照射装置は、第１照明装置と、第２
   照明装置とで構成し、 前記照射装置は、 前記照射装置を第１照明装置及び第２照明装置に分割す
   ることで、前記照射装置内部を開口すると共に、前記第
   １照明装置及び第２照明装置を合併することで、前記照
   射装置内部の開口を閉塞する照明開閉機構と、 前記直視方向からの反射光像を前記撮像装置に撮像させ
   る場合、前記照明開閉機構を通じて前記照射装置内部を
   開口することで、この照射装置内部に収容した光学用ユ
   ニットを搬出すると共に、前記斜視方向からの反射光像
   を前記撮像装置に撮像させる場合、前記照明開閉機構を
   通じて前記照射装置内部を開口することで、前記照射装
   置内部に前記光学用ユニットを搬入する搬出入機構とを
   有することを特徴とする請求項１記載の照射装置。
6. 【請求項６】 前記照射装置は、 前記直視方向からの反射光像を前記撮像装置に撮像させ
   る直視用コマンドを検出すると、直視用出力レベルに基
   づいて、前記照射装置の出力レベルを制御する直視用制
   御手段と、 前記斜視方向からの反射光像を前記撮像装置に撮像させ
   る斜視用コマンドを検出すると、斜視用出力レベルに基
   づいて、前記照射装置の出力レベルを制御する斜視用制
   御手段とを有することを特徴とする請求項１、２、３、
   ４又は５記載の照射装置。
7. 【請求項７】 請求項６記載の照射装置を使用する基板
   検査装置であって、前記斜視用制御手段が、 前記斜視用コマンドを検出すると、前記反射板ユニット
   内部の反射板が正反射する側の照射手段を選択し、この
   選択した照射手段の出力レベルをオフ、又は減衰制御す
   ることを特徴とする照射装置を使用する基板検査装置。
8. 【請求項８】 請求項１，２，３，４または５記載の照
   射装置を使用する基板検査装置であって、前記撮像装置
   が、 前記直視方向からの反射光像を前記撮像装置に撮像させ
   る直視用コマンドを検出すると、直視用カメラ露光時間
   を設定する直視用露光時間設定手段と、 前記斜視方向からの反射光像を前記撮像装置に撮像させ
   る斜視用コマンドを検出すると、斜視用カメラ露光時間
   を設定する斜視用露光時間設定手段とを有することを特
   徴とする照射装置を使用する基板検査装置。
9. 【請求項９】 請求項１，２，３，４または５記載の照
   射装置を使用する基板検査装置であって、前記撮像装置
   が、 前記直視方向からの反射光像を前記撮像装置に撮像させ
   る直視用コマンドを検出すると、直視用カメラ入光量に
   基づいてカメラ入光量を制御する直視用入光量制御手段
   と、 前記斜視方向からの反射光像を前記撮像装置に撮像させ
   る斜視用コマンドを検出すると、斜視用カメラ入光量に
   基づいてカメラ入光量を制御する斜視用入光量制御手段
   とを有することを特徴とする照射装置を使用する基板検
   査装置。
10. 【請求項１０】 請求項１，２，３，４または５記載の
    照射装置を使用する基板検査装置であって、前記撮像装
    置が、 前記直視方向からの反射光像を前記撮像装置に撮像させ
    る直視用コマンドを検出すると、直視用カメラ入光量を
    得るニュートラルデンシティフィルタを前記撮像装置の
    撮像軸上に配置するフィルタ配置手段を有することを特
    徴とする照射装置を使用する基板検査装置。
11. 【請求項１１】 請求項１，２，３，４または５記載の
    照射装置を使用する基板検査装置であって、前記撮像装
    置が、 前記直視方向からの反射光像を前記撮像装置に撮像させ
    る直視用コマンドを検出すると、直視用カメラ入光量に
    基づいてカメラレンズの絞りを調整すると共に、 前記斜視方向からの反射光像を前記撮像装置に撮像させ
    る斜視用コマンドを検出すると、斜視用カメラ入光量に
    基づいてカメラレンズの絞りを調整するカメラレンズ絞
    り調整手段を有することを特徴とする照射装置を使用す
    る基板検査装置。