JPH1131880A - 半田付け外観検査装置 - Google Patents

半田付け外観検査装置

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JPH1131880A
JPH1131880A JP18692097A JP18692097A JPH1131880A JP H1131880 A JPH1131880 A JP H1131880A JP 18692097 A JP18692097 A JP 18692097A JP 18692097 A JP18692097 A JP 18692097A JP H1131880 A JPH1131880 A JP H1131880A
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gloss
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image
illumination
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JP18692097A
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Inventor
Koichi Kobayashi
剛一 小林
Katsuyoshi Mishiro
勝善 御代
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Iwaki Electronics Co Ltd
Original Assignee
Iwaki Electronics Co Ltd
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  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、半田付けした被検査物を照明して
撮像装置で撮影し半田付けの良否を検査する半田付け外
観検査装置に関し、半田表面の光沢/半光沢に応じて半
球状リングライトを同時に点灯する段数を可変し被検査
物を照射する角度を最適に可変して半田表面上にできる
反射光パターンの形状をほぼ同じになるようにし、半田
表面の光沢(鏡面)や半光沢に依存しないようにして、
判別アルゴリズムを簡略化し判別精度を向上、更にハレ
ーションや乱反射ノイズを防止して判別精度の向上を図
ることを目的とする。 【解決手段】 半球上にリング状であって複数に分割し
たライトについて当該半球の天頂近傍から半球の下辺ま
で複数段配置した半球状リングライトと、この半球状リ
ングライトを同時に点灯する段数を可変して被検査物を
照射する角度を半田表面の光沢度に応じて切り替えて照
明する手段と、この手段によって切り替えられたリング
ライトを使って照明された被検査物を撮影する半球状リ
ングライトの天頂あるいは半球状の任意のサイドに配置
した撮像装置とを備えるように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半田付けした被検
査物を照明して撮像装置で撮影し半田付けの良否を検査
する半田付け外観検査装置であって、プリント回路基板
上に実装された電子部品等の半田付け部の状態を検査す
る半田付け外観検査装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、プリント回路基板上に実装された
電子部品等の半田付け部の状態を検査する半田付け外観
検査装置は、図9に示すように、被検査物の上方に半球
状(ドーム状)に配置した複数段のリング状のライトに
よって当該被検査物を照射し、真上あるいは斜め上方に
配置した撮像装置(カメラ)によって撮影し、被検査物
の半田付け部の画像をもとに半田付けの良否を検査して
いた。以下図9の従来の構成および半田付け検査につい
て簡単に説明する。
【0003】図9の(a)は、半球状の複数段のライト
の段をオーバーラップさせて被検査物を照明する場合の
構成例を示す。図9の(a−1)は、半球状の複数段の
ライトの段をオーバーラップさせている様子を示す。撮
像装置(カメラ)は、真上あるいは斜め上方に配置して
被検査物を撮影する。
【0004】図9の(a−2)は、半球状の複数段のラ
イトの段をオーバーラップさせている様子を示す。照明
は、トップ照明、ミドル照明、およびボトム照明の3種
類の方向から被検査物を照射する。部品は回路基板上に
配置されそのリードピンが半田付けされたものである。
【0005】図9の(b)は、半球状の複数段のライト
の段を分離して被検査物を照明する場合の構成例を示
す。図9の(b−1)は、半球状の複数段のライトの段
を分離している様子を示す。撮像装置(カメラ)は、真
上あるいは図示しないが斜め上方に配置して被検査物を
撮影する。
【0006】図9の(b−2)は、半球状の複数段のラ
イトの段を分離している様子を示す。照明は、トップ照
明、ミドル照明、およびボトム照明の3種類の方向から
被検査物を照射する。部品は回路基板上に配置されその
リードピンが半田付けされたものである。
【0007】図9の(c)は、半田表面の反射光パター
ンの説明図を示す。図9の(c−1)は、被検査物であ
る部品のリードピンを回路基板のパッドに半田付けした
様子を示す。斜線の部分が半田付けした部分であって、
検査対象である。
【0008】図9の(c−2)は、図9の(a−2)あ
るいは(b−2)のいずれかの固定した状態で撮像装置
で図9の(c−1)の半田フィレットの部分を撮影した
反射光パターンの画像である。図示のような形状は正常
に半田付けされたときのフィレット部の画像である。
【0009】図9の(c−3)は、図9の(c−1)の
半田フィレットの部分が鏡面半田(半田の表面が鏡面状
態)であったときに撮像装置で撮影した半田表面の反射
光パターンであって、ほどよい幅を持ち、正常の半田付
けされていると検査されるものである。
【0010】一方、図9の(c−4)は、図9の(c−
3)と同一の照明を使用したときに、半光沢半田(半田
の表面が半光沢状態)であったときの撮像装置で撮影し
た半田表面の反射光パターンであって、これは、図9の
(c−3)と同一形状の半田フィレット部分を照明し撮
影しているにもかかわらず、半田の表面が半光沢状態で
あるために、図9の(c−3)の半田表面の反射光パタ
ーンに比べ、非常に広い反射光パターン幅が撮影され、
正常の半田付け状態(半田フィレット)であるにもかか
わらず、正常に半田付けされているとは検査できないも
のであり、これを正常と検査するために複雑なアルゴリ
ズムを用いてソフト的に判定する必要が生じてしまって
いた。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
の図9の(a)あるいは(b)のようにトップ照明、ミ
ドル照明、ボトム照明に順次切り替えて被検査物を照明
し、回路基板上の被検査物の半田付け部を照明してその
ときの画像を撮像装置で撮影し、半田フィレット部の形
状をもとに半田付けが良好/不良を判断していたので
は、正常に半田付けされていても半田フィレットの表面
が鏡面あるいは半光沢の差によって図9の(c−3)あ
るいは(c−4)のように変化してしまい、撮像装置で
撮影した後の画像をもとに検査するアルゴリズムが複雑
となってしまうと共に、判別(検査)精度を良好に保ち
難いという問題が発生した。
【0012】本発明は、これらの問題を解決するため、
半田フィレットの光沢/半光沢に応じて半球状リングラ
イトを同時に点灯する段数を可変し被検査物を照射する
角度を最適に可変して半田表面上にできる反射光パター
ンの形状をほぼ同じになるようにし、半田フィレット表
面の鏡面や半光沢に依存しないようにして、判別アルゴ
リズムを簡略化し判別精度を向上、更にハレーションや
乱反射ノイズを防止して判別精度の向上を図ることを目
的としている。
【0013】
【課題を解決するための手段】図1を参照して課題を解
決するための手段を説明する。図1において、撮像装置
(カメラ)1は、照明2によって照明された部品3の半
田フィレットの部分の画像を撮影するものである。
【0014】照明(ライト)2は、リングライトであっ
て、複数に分割したライトについて半球の天頂近傍から
半球の下辺まで複数段配置した半球状リングライトであ
り、半球状リングライトを同時に点灯する段数を可変し
て被検査物を照射する大きい角度α1あるいは小さい角
度α2とになるように半田フィレット表面の光沢・非光
沢に対応して切り替えて照明するものである。
【0015】次に、動作を説明する。照明2である半球
状リングライトを同時に点灯する段数を可変して被検査
物を照射する大きい角度α1あるいは小さい角度α2と
になるように半田フィレットの光沢・非光沢に対応して
切り替え、この切り替えたときの半球状ライトを用いて
照明した被検査物(部品3)を真上あるいは斜め上に配
置した撮像装置1で撮影し、半田付け部の半田表面上に
できる反射光パターンの幅が当該半田フィレットの表面
が光沢あるいは半光沢に関係なく、ほぼ同じ幅にした画
像を使用して半田付けの検査を行うようにしている。
【0016】この際、撮像装置1は半球状リングライト
を使って照明した被検査物(部品3)を撮影する半球状
リングライトの天頂あるいは半球状の任意のサイドに配
置するようにしている。
【0017】また、任意のサイドに撮像装置1を配置し
たときにその対面する分割したリングライトを消灯して
被検査物のハレーションを防止するようにしている。ま
た、半球の天頂近傍から半球の下辺まで複数段配置した
半球状リングライトについて、同時に点灯する段数を可
変して被検査物を照射する大きい角度α1あるいは小さ
い角度α2のもとで、トップ、ミドル、ボトムに切り替
えて被検査物を照明し、半田表面上にできる反射光パタ
ーンの形状およびその連続性を検査するようにしてい
る。
【0018】従って、半田フィレットの鏡面/半光沢に
応じて半球状リングライト(照明2)を同時に点灯する
段数を可変し被検査物(部品3)を照射する角度を最適
に可変して半田表面上の反射光パターンの形状をほぼ同
じになるようにすることにより、半田フィレット表面の
鏡面や半光沢に依存しないようにして、判別アルゴリズ
ムを簡略化し判別精度を向上、更にハレーションや乱反
射ノイズを防止して判別精度の向上を図ることが可能と
なる。
【0019】
【発明の実施の形態】次に、図1から図8を用いて本発
明の実施の形態および動作を順次詳細に説明する。
【0020】図1は、本発明の実施例構成図を示す。図
1の(a)は、半球上にリングライトおよび撮像装置を
配置した様子の斜視図を示す。
【0021】図1の(a)において、撮像装置(カメ
ラ)1は、半球の天頂あるいは斜め上方に配置し、半球
の下の面のほぼ中央に配置した回路基板4上の部品の半
田付け部分を撮影するものである。
【0022】図1の(b)は、半球の側面断面図を示
す。照明(ライト)2は、図示のように、角度α1と角
度α2のもとで部品3を照射するように切り替え可能と
したものである。
【0023】図1の(c)は、上面から照明2の配置を
見た模式図を示す。照明2は、右下に記載したように、
6段の各段を図示の下記のように分割し、全体で40グ
ループに分割している。
【0024】 第1サークル:4グループに分割 第2サークル:4グループに分割 第3サークル:8グループに分割 第4サークル:8グループに分割 第5サークル:8グループに分割 第6サークル:8グループに分割 以上のように、半球上に天頂から半球の下辺までを6段
に分割して第1サークルないし第6サークルとし、各サ
ークルは上記のように第1サークルと第2サークルは4
グループに分割し、第3ないし第6サークルは8グルー
プにそれぞれ分割している。
【0025】次に、図2のフローチャートに示す手順に
従い、図1の構成の動作を詳細に説明する。図2は、本
発明の動作説明フローチャートを示す。
【0026】図2において、S1は、半田の種類を判別
する。これは、部品3のリードピンを半田付けした半田
の種類が光沢(鏡面)か半光沢のいずれかの種類か判別
する。光沢の場合には、S2でTOP2本、MID2
本、BOT2本でそれぞれ照明して撮影する。これは、
半田フィレットが光沢(鏡面)の種類と判明したので、
既述した図1の(c)の照明2のうちの、 TOP2本(第1サークルと第2サークルの2本) MID2本(第3サークルと第4サークルの2本) BOT2本(第5サークルと第6サークルの2本) のそれぞれの照明で部品3を撮像装置1を用いてそれぞ
れ撮影する。そして、S4に進む。一方、S1で半光沢
と判別された場合には、S3でTOP1本、MID1
本、BOT1本でそれぞれ照明して撮影する。これは、
半田フィレットが半光沢の種類と判明したので、既述し
た図1の(c)の照明2のうちの、 TOP1本(第1サークルあるいは第2サークルの1
本) MID1本(第3サークルあるいは第4サークルの1
本) BOT1本(第5サークルあるいは第6サークルの1
本) のそれぞれの照明で部品3を撮像装置1を用いてそれぞ
れ撮影する。そして、S4に進む。
【0027】S4は、なじみ検査する。これは、後述す
る図3に示すように、S2あるいはS3で撮影した画像
をもとに半田がよくなじんでいるか検査する。S5は、
フィレットの形状を検査する。これは、後述する図4に
示すように、半田フィレットの形状をもとに充分な半田
が行き渡って良好に半田付けされているか否かを判別す
る。
【0028】以上のように、半田の種類(光沢/非光沢
の種類)に応じて図1の(c)の照明2の段数を光沢の
場合に2段、半光沢の場合に1段に切り替えて撮像装置
1で撮影したときの半田フィレットの幅がほぼ一定にな
るように照明2を行い、当該半田表面が光沢あるいは半
光沢のいずれであってもほぼ一定の幅の反射光パターン
の画像を撮像装置1で撮影し、このほぼ一定の幅の反射
光パターンの画像をもとになじみ検査、およびフィレッ
ト形状検査を簡略化した検査アルゴリズムで実行でき、
しかも検査の精度を高めることが可能となる。
【0029】図3は、本発明のなじみ検査の説明図を示
す。なお、図3は被検査物としてチップ部品の電極部を
例に説明する。図3の(a)は、チップ部品の電極部と
回路基板上のパッドに半田が充分になじんだ様子を示
す。図中のの部分が半田がパッドになじんだ部分であ
る。
【0030】図3の(b)は、半田が回路基板上のパッ
ドになじんでいない様子を示す。図中のの部分が半田
がパッドになじんでいない部分である。図3の(c)
は、部品3の電極部を回路基板4上のパッドに半田付け
した半田表面の反射光パターン(斜線部)の幅が狭い場
合の画像例を示す。
【0031】図3の(c−1)は、図3の(a)の充分
になじんだ半田フィレットのT(TOP画像)およびM
(MID画像)を示す。この場合には、半田フィレット
がなじんだ図3の(a)のであるので、Tの反射光パ
ターンの左端とMの反射光パターンの右端とがつなが
り、TとMの各反射光パターンが連続しており、すきま
がなく、半田フィレットがパッドに充分なじんでいると
検査できる。
【0032】図3の(c−2)は、図3の(b)のなじ
んでいない半田フィレットのT(TOP画像)およびM
(MID画像)を示す。この場合には、半田フィレット
がなじんでいない図3の(b)のであるので、Tの反
射光パターンの左端とMの反射光パターンの右端とがつ
ながらなく、すきまがあり、半田フィレットがパッドに
なじんでいないと検査できる。
【0033】以上の図3の(c)の照明2の幅が狭い場
合には、図3の(c−1)、(c−2)を用いて説明し
たように、半田付け部の反射光パターンのT画像とM画
像をもとになじみの有無の検査を容易にすることが可能
となる。
【0034】図3の(d)は、部品3の電極部を回路基
板4上のパッドに半田付けした半田表面の反射光パター
ン(斜線部)の幅が広い場合の画像例を示す。図3の
(d−1)は、図3の(a)の充分になじんだ半田フィ
レットのT(TOP画像)およびM(MID画像)を示
す。この場合には、半田フィレットがなじんだ図3の
(a)のであるので、Tの反射光パターンの左端とM
の反射光パターンの右端とがつながり、TとMの各反射
光パターンが連続しており、すきまがなく、半田フィレ
ットがパッドに充分なじんでいると検査できる。
【0035】図3の(d−2)は、図3の(b)のなじ
んでいない半田フィレットのT(TOP画像)およびM
(MID画像)を示す。この場合には、半田フィレット
がなじんでいない図3の(b)のであるので、Tの反
射光パターンの左端とMの反射光パターンの右端とがつ
ながらなく、すきまがあるべきであるが、図示のように
半田フィレットの幅が広すぎて切れの検出が不可とな
り、半田フィレットがパッドになじんでいないと検査で
きなかった場合である。この場合には、既述した図2で
半光沢と判断し、照明2の幅(照射する角度)を狭く
(例えばTOP2本から1本、MID2本から1本、B
OT2本から1本にして狭く)することにより、既述し
たように半田表面の反射光パターンの幅を狭く(図3の
(c)の幅とほぼ等しく)し、図3の(c)に示すよう
な画像が得られるようにして、正確になじみを検査でき
るようにする。
【0036】以上の図3の(d)の照明2の幅が広い場
合には、図3の(d−1)、(d−2)を用いて説明し
たように、半田付け部の反射光パターンのT画像とM画
像(更にB画像)をもとになじみの有無を正確に検査で
きないので、図3の(c)のように照明2の幅(照射す
る角度)を狭くして反射光パターンの幅を狭くすること
により正確になじみが検査できるようにする。
【0037】図4は、本発明のフィレット形状検査の説
明図を示す。ここで、 T:TOP画像(TOPの照明を用いて撮像装置1で撮
影した半田フィレット部の反射光パターン画像) M:MID画像(MIDの照明を用いて撮像装置1で撮
影した半田フィレット部の反射光パターン画像) B:BOT画像(BOTの照明を用いて撮像装置1で撮
影した半田フィレット部の反射光パターン画像) をそれぞれ表す。
【0038】図4の(a)は、TOP、MID、BOT
の照明2の幅が広い場合(TOPが2本、MIDが2
本、BOTが2本の広い場合)を示す。この場合には、
反射光パターン(斜線部)の幅が図示のようになり、そ
の重心を求める場合に反射光パターンの幅が広いために
精度が劣化し、既述した図2のフィレット形状検査で判
別精度が低下してしまう。
【0039】図4の(b)は、TOP、MID、BOT
の照明2の幅が狭い場合(TOPが1本、MIDが1
本、BOTが1本の狭い場合)を示す。この場合には、
反射光パターン(斜線部)の幅が図示のようになり、そ
の重心を求める場合に反射光パターンの幅が狭く判別精
度が高くなり、既述した図2のフィレット形状検査のと
きにフィレット形状の状態の判別を精度高く検査するこ
とが可能となる。
【0040】図5は、本発明の反射光パターンの説明図
を示す。なお、図5は被検査物としてチップ部品の電極
部を例に説明する。図5の(a)は、部品3の電極部と
回路基板4上のパッドとを半田付けした様子を示す。
【0041】図5の(b)は、半田フィレットの表面が
光沢の場合を示す。図5の(b−1)は、B(BOT画
像)として、既述した図1の(c)の第5サークと第6
サークルの2本のリングライトを使用して照明したとき
の反射光パターンのB画像を示す。B画像の反射光パタ
ーンの幅は最適である。
【0042】図5の(b−2)は、T(TOP画像)と
して、既述した図1の(c)の第1サークの1本のリン
グライトを使用して照明したときの反射光パターンのT
画像を示す。T画像の反射光パターンの幅が狭く、部分
的に切れてしまい、照明の幅が狭すぎ、広くする必要が
ある場合である。
【0043】図5の(c)は、半田フィレットの表面が
半光沢の場合を示す。図5の(c−1)は、B(BOT
画像)として、既述した図1の(c)の第5サークと第
6サークルの2本のリングライトを使用して照明したと
きの反射光パターンのB画像を示す。B画像の反射光パ
ターンの幅は広すぎて判別精度が低下する。
【0044】図5の(c−2)は、T(TOP画像)と
して、既述した図1の(c)の第1サークの1本のリン
グライトを使用して照明したときの反射光パターンのT
画像を示す。T画像の反射光パターンの幅はほどよく最
適である。
【0045】以上のように、半田フィレットの表面が光
沢の場合にはここでは2本のリングライトで照明したと
きに最適の幅の半田フィレットの画像が得られ、半田フ
ィレットの表面が半光沢の場合にはここでは1本のリン
グライトで照明したときに最適の幅の半田フィレットの
画像を得ることができる。
【0046】図6は、本発明のサイドカメラ検査フロー
チャートを示す。図6において、S11は、サイドカメ
ラ使用か否かを判別する。YESの場合には、S12で
カメラ(4方向)の対面照明を消し、図2の(A)のS
1に進む。一方、NOの場合には、そのまま図2の
(A)のS1に進む。
【0047】以上によって、サイドカメラを使用して後
述する図7に示すようにトップカメラでは撮影できない
Jリードの半田付け部分の画像を撮影でき、そのときに
ハレーションを生じる対面のリングライトを消して、検
査の妨害となる反射光が入らないようにした後、図2の
S1以降によって最適な反射光パターン幅を持つ画像像
を得て、なじみ検査、フィレット形状検査を行うことが
可能となる。
【0048】図7は、本発明のサイドカメラの説明図を
示す。これは、上部のトップカメラでは、回路基板4上
に実装しようとする部品がJリードを持つ場合には、図
示のようにJリードの半田付けの部分の画像を撮影でき
ないので、サイドカメラによってJリードの半田付け部
分の画像(反射光パターン)を撮影する。この場合に
は、図6を用いて既述したように、サイドカメラに対面
するリングライトを消して反射光が入ってハレーション
を生じないようにする。
【0049】図8は、本発明のサイドカメラのハレーシ
ョン説明図を示す。図8の(a)は、回路基板4上の部
品3が既述したJリードピンの場合にこのJリードピン
の半田付け部分をサイドカメラで撮影するときの照明の
様子を示す。サイドカメラ1に対面するリングライト
(T、M、B)をそれぞれ消して撮影し、リングライト
からの光が図8の(b)に示すように回路基板4上で反
射してサイドカメラ1に入射しハレーションを生じない
ようにする。
【0050】図8の(b)は、ハレーション例を示す。
これは、回路基板4上の部品3を、図8の(a)に示す
サイドカメラ1で撮影したときに生じるハレーションで
あって、このハレーションの影響により、検査部分の検
査精度が得られなくなる問題が発生する。このためハレ
ーションを生じないようにするために当該サイドカメラ
1の対面のリングライトを消すようにする。これによ
り、サイドカメラ1でJリードなどを撮影したときのハ
レーションを無くし、画像の質の低下を無くして高精度
になじみ検査およびフィレット検査などを行うことが可
能となる。
【0051】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
半田フィレットの光沢/半光沢に応じて半球状リングラ
イト(照明2)を同時に点灯する段数を可変し被検査物
(部品3)を照射する角度を最適に可変して半田表面上
の反射光パターンの形状をほぼ同じになるようにする構
成を採用しているため、半田フィレットの光沢(鏡面)
や半光沢に依存しないようにして、判別アルゴリズムを
簡略化し判別精度を向上、更にハレーションや乱反射ノ
イズを防止して判別精度の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例構成図である。
【図2】本発明の動作説明フローチャートである。
【図3】本発明のなじみ検査の説明図である。
【図4】本発明のフィレット形状検査の説明図である。
【図5】本発明の反射光パターンの説明図である。
【図6】本発明のサイドカメラ検査フローチャートであ
る。
【図7】本発明のサイドカメラの説明図である。
【図8】本発明のサイドカメラのハレーション説明図で
ある。
【図9】従来技術の説明図である。
【符号の説明】
1:撮像装置(カメラ) 2:照明(ライト) 3:部品 4:回路基板

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】半田付けした被検査物を照明して撮像装置
    で撮影し半田付けの良否を検査する半田付け外観検査装
    置において、 半球上にリング状であって複数に分割したライトについ
    て当該半球の天頂近傍から半球の下辺まで複数段配置し
    た半球状リングライトと、 この半球状リングライトを同時に点灯する段数を可変し
    て被検査物を照射する角度αを半田表面の光沢度に応じ
    て切り替えて照明する手段と、 この手段によって切り替えられたリングライトを使って
    照明された被検査物を撮影する上記半球状リングライト
    の天頂あるいは半球状の任意のサイドに配置した撮像装
    置とを備えたことを特徴とする半田付け外観検査装置。
  2. 【請求項2】上記任意のサイドに撮像装置を配置したと
    きにその対面する分割したリングライトを消灯して被検
    査物のハレーションを防止したことを特徴とする請求項
    1記載の半田付け外観検査装置。
  3. 【請求項3】上記半球の天頂近傍から半球の下辺まで複
    数段配置した半球状リングライトについて、同時に点灯
    する段数を可変して被検査物を照射する角度αを調整し
    た状態で、トップ、ミドル、ボトムに切り替えて被検査
    物を照明し、半田表面上にできる反射光パターンの形状
    およびその連続性を検査することを特徴とする請求項1
    記載あるいは請求項2記載の半田付け外観検査装置。
JP18692097A 1997-07-11 1997-07-11 半田付け外観検査装置 Pending JPH1131880A (ja)

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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002340814A (ja) * 2001-05-18 2002-11-27 Omron Corp 照射装置およびその照射装置を使用した基板検査装置
WO2004063733A1 (en) * 2003-01-09 2004-07-29 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Image recognition apparatus and image recognition method
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JP2017090360A (ja) * 2015-11-16 2017-05-25 日産自動車株式会社 表面検査装置および表面検査方法
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WO2023233973A1 (ja) * 2022-05-31 2023-12-07 株式会社サキコーポレーション 検査装置

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