JPH11295047A - 照明装置 - Google Patents

照明装置

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JPH11295047A
JPH11295047A JP10844398A JP10844398A JPH11295047A JP H11295047 A JPH11295047 A JP H11295047A JP 10844398 A JP10844398 A JP 10844398A JP 10844398 A JP10844398 A JP 10844398A JP H11295047 A JPH11295047 A JP H11295047A
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light
group
illuminant
red
lighting device
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JP10844398A
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Soichi Okuhara
聰一 奥原
Akira Fukui
亮 福井
Koichi Tanaka
光一 田中
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Omron Corp
Original Assignee
Omron Corp
Omron Tateisi Electronics Co
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 発光色の異なる２種類以上のＬＥＤを用いた
照明装置を提供する。 【構成】 撮像装置１の光軸を中心として，赤色ＬＥＤ
群21Ａ，緑色ＬＥＤ群22Ａおよび青色ＬＥＤ群23Ａが，
同心円状に三段に設けられている。赤色ＬＥＤ群21Ａ，
緑色ＬＥＤ群22Ａおよび青色ＬＥＤ群23Ａの前面には拡
散板28が設けられている。高出力，高輝度の三色の光が
拡散板28によって拡散され，均一化されて，プリント基
板２に照射される。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【技術分野】この発明は，照明装置に関し，さらに詳し
くはこの照明装置により照明される対象物を撮像装置を
用いて撮像し，この撮像により得られる画像データを処
理して対象物を検査する検査装置等において用いられる
照明装置に関する。
【０００２】
【従来技術とその問題点】工業製品などの目視検査を自
動化するために自動検査装置が普及している。この自動
検査装置には画像処理システムが導入されている。一例
として実装部品検査装置と挙げると，この装置はプリン
ト配線基板上における複数の電子，電気部品，電子，電
気素子等の実装の良否（部品の有無，姿勢，はんだ付け
状態など）を，画像処理により判定するものである。各
電子部品の実装状態の検査は，照明装置による照明下で
電子部品等が実装されたプリント基板をＣＣＤカメラに
よって撮像し，得られた画像データを画像処理装置に取
り込み，２値化処理，特徴パラメータの検出処理などに
より得られたデータに基づいて行われる。
【０００３】このような検査装置で用いられる従来の照
明装置は，赤（Ｒ），緑（Ｇ）および青（Ｂ）の色を発
生する円環状蛍光管（白色蛍光管の前面に色フィルタを
設ける場合が多い）を三段に配置することにより構成さ
れる。これにより，下方の対象物（部品が実装されたプ
リント配線基板）が異なる角度で異なる色によって照射
されることになる。
【０００４】このような蛍光管を用いた従来の照明装置
には，以下のような問題があった。
【０００５】(1) 蛍光管の寿命が短いので，頻繁に蛍光
管を交換しなければならない。 (2) 蛍光管の形状による制約が大きく，自由な照射角度
が実現しにくい。 (3) 蛍光管のソケット部では光が出射されないので，そ
の部分だけが暗くなり，プリント基板に対する照射光に
むらが生じやすい。 (4) 蛍光管の前面に設けられる赤色，緑色および青色の
フィルタによる光量の損失が大きい。
【０００６】
【発明の開示】この発明は，寿命の長い照明装置を提供
することを目的とする。
【０００７】この発明はまた，比較的自由な照射角度設
計が行えるようにすることを目的とする。
【０００８】この発明はさらに，蛍光管のソケット部の
ように広い範囲にわたって暗くなる部分が生じないよう
にするものである。
【０００９】この発明は色フィルタによる光量損失を無
くすようにするものである。
【００１０】さらにこの発明は，常に一定の明るさに保
つことができるようにすることを目的とする。
【００１１】この発明による照明装置は，対象物を撮像
する撮像装置の光軸を中心に，対象物を照明する第１の
色の複数の発光体を含む第１の発光体群と，第１の色と
異なる第２の色の複数の発光体を含む第２の発光体群と
が，対象物を照明する角度を異ならせて少なくとも２段
に配置されているものである。
【００１２】必要ならば上記第１および第２の色と異な
る第３の色の複数の発光体を含む第３の発光体群がさら
に設けられる。
【００１３】発光体の例として半導体発光素子（ＬＥ
Ｄ）を挙げることができる。この発明によると，発光
体，特にＬＥＤを用いており，ＬＥＤは寿命が比較的長
いので，寿命の長い照明装置を実現することができる。
また，多数の発光体を用いており，蛍光管のソケット部
のように暗くなる部分をなくすことができるので均一な
照明が可能となる。発光体の配置の仕方によって照明角
度を自由に設計することができる。
【００１４】好ましい実施態様においては，上記発光体
群の前面に光拡散手段が配置される。発光体からの光が
光拡散手段により拡散するので，均一な照明が可能とな
る。
【００１５】さらに好ましい実施態様においては，上記
発光体群が上記撮像装置の光軸を中心に同心円状に配置
される。また，上記発光体群が対象物の位置からほぼ等
距離の位置に配置される。これらの構成も均一な照明の
実現に寄与する。
【００１６】他の実施態様においては，上記撮像装置の
光軸とほぼ同じ方向から対象物を照明する補助発光体群
がさらに設けられる。好ましくは補助発光体群を移動自
在に設ける。補助発光体群の有無に応じて撮像装置によ
る撮像角度を変えることができる。
【００１７】好ましい実施態様では，上記発光体群の外
側を覆うカバーが設けられる。カバーにより，外力等か
ら発光体群を保護することができるとともに，外部環境
の変化の影響を受けにくくすることができる。
【００１８】さらに他の実施態様では，上記発光体群内
の少なくとも１つの発光体から光を受光する受光素子が
設けられる。この受光素子の出力信号に基づいて発光体
群の発光輝度（明るさ）をフィードバック制御すること
が可能である。
【００１９】好ましくは上記受光素子の受光信号に基づ
いて少なくとも発光体群ごとに発光体の明るさを制御す
る制御手段が設けられる。発光体群ごとに明るさの制御
が可能となる。
【００２０】他の好ましい実施態様においては，上記発
光体群が複数に区分され，各区分の発光体が区分ごとに
着脱自在に設けられた基板にそれぞれ取り付けられる。
発光体に故障が生じたときには，故障した発光体を含む
基板と交換することにより，修繕が可能であり，迅速な
対応ができるようになる。
【００２１】
【実施例の説明】図１および図２は実装部品検査装置に
用いる照明装置を示すものであり，図１は実装部品検査
装置に用いる照明装置と，撮像装置と，プリント基板と
の位置関係を表す斜視図を，図２は照明装置の拡大断面
図（撮像装置を除く）を示している。
【００２２】撮像装置１は，検査対象であるプリント配
線基板２（以下，プリント基板２という）が置かれる
（搬入される）ＸＹステージ（図示略）の上方に配置さ
れている。プリント基板２の上には複数の電子，部品，
電子，電気部品等（以下，部品３という）が実装されて
いる。図１および図２においては，簡便に，一つの部品
３のみが図示されている。このことは後述する他の例
（図３および図６）においても同様である。
【００２３】赤色（Ｒ），緑色（Ｇ）および青色（Ｂ）
の三原色の半導体発光素子（以下，ＬＥＤという）群21
Ａ，22Ａおよび23Ａが設けられている。赤色ＬＥＤ群21
Ａは多数の赤色ＬＥＤ21を含み，これらの赤色ＬＥＤ21
が取付基板24の表側面（ＸＹステージに向かう面）に実
装されている。同じように，緑色ＬＥＤ群22Ａおよび青
色ＬＥＤ群23Ａは多数の緑色ＬＥＤ22および青色ＬＥＤ
23を有し，これらの緑色ＬＥＤ22および青色ＬＥＤ23は
それぞれ取付基板25および26の表側面に実装されてい
る。取付基板24，25および26は，それぞれ一枚のもので
もよいし，後述するように，それぞれ複数枚に分割する
こともできる。取付基板24，25および26は支持体27に固
定されている。
【００２４】赤色ＬＥＤ群21Ａの赤色ＬＥＤ21，緑色Ｌ
ＥＤ群22Ａの緑色ＬＥＤ22および青色ＬＥＤ群23Ａの青
色ＬＥＤ23は，上方から真下に向かう撮像装置１の光軸
を中心に同心円状に配置されている。また，これらのＬ
ＥＤ群21Ａ，22Ａおよび23Ａは上から下に向かって赤
色，緑色，青色の順に三段にわたって配置されるととも
に，最上段の赤色ＬＥＤ群21Ａの取付角度が最も水平に
近く，最下段の青色ＬＥＤ群23Ａの取付角度が最も垂直
に近いというように，それぞれ角度を違えて配置されて
いる。
【００２５】赤ＬＥＤ群21Ａ，緑色ＬＥＤ群22Ａおよび
青色ＬＥＤ群23Ａの赤色ＬＥＤ21，緑色ＬＥＤ22および
青色ＬＥＤ23はＸＹステージの中心からほぼ等距離にあ
る。また赤色ＬＥＤ群21Ａ，緑色ＬＥＤ群22Ａおよび青
色ＬＥＤ群23Ａから出射する赤色，緑色および青色の光
は，それぞれ異なる角度（各色ごとの平均的な照射角度
が異なる）でＸＹステージ上のプリント基板２（部品
３）に照射される。
【００２６】赤色ＬＥＤ群21Ａ，緑色ＬＥＤ群22Ａおよ
び青色ＬＥＤ群23Ａの前面（これらのＬＥＤ群とＸＹス
テージとの間）には，出射光を拡散するための拡散板28
がそれぞれ設けられ，支持体27に取付け固定されてい
る。拡散板28には屈折率の異なるシート状の拡散材料を
張り合わせたものや，アクリル板の表面を粗面としたも
のなどが用いられる。赤色ＬＥＤ群21Ａ，緑色ＬＥＤ群
22Ａおよび青色ＬＥＤ群23Ａから出射された光が拡散板
28によって拡散され，それらの輝度が均一化されて照射
される。
【００２７】支持体27は半球形の形状を持ち，その頂点
部分には円形のカメラ穴29があけられている。支持体27
は，その外方に設けられた基台（カバー）11の内面に固
定されている。基台11もまた半球形の形状を有し，支持
体27を覆うように配置されている。基台11の頂点部分に
は円形のカメラ穴12があけられている。
【００２８】基台11とその内側に固定された支持体27と
の間には間隔があけられている。支持体27の内側に配置
された多数の赤色ＬＥＤ21，緑色ＬＥＤ22および青色Ｌ
ＥＤ23は外部環境の影響を受けにくい。外部環境の変化
によって赤色ＬＥＤ21，緑色ＬＥＤ22および青色ＬＥＤ
23に生じる特性変化（光量の変化等）を，小さいものに
することができる。
【００２９】撮像装置１は基台11の上方に設けられ（撮
像装置取付台に固定され），そのカメラ部分が基台11の
カメラ穴12および支持体27のカメラ穴29から下方にのぞ
み，プリント基板２（部品３）が撮像される。撮像デー
タ（画像データ）が撮像装置１から外部に設けられた画
像処理装置（図示略）に取り込まれる。
【００３０】ＬＥＤは高輝度，高出力の光を出射する。
このような光を出射する赤色ＬＥＤ21，緑色ＬＥＤ22お
よび青色ＬＥＤ23が，撮像装置１の光軸を中心に同心円
状に，三段に配置されている。プリント基板２（部品
３）は高輝度，高出力の赤色，緑色および青色光によっ
て異なる照射角度から照明されることになる。また，Ｌ
ＥＤは寿命が長いので，交換作業の回数が少なくてす
む。さらに，多数のＬＥＤを光源として用いているの
で，ＬＥＤの数の増減や光照射角度の変更を比較的容易
に行うことができる。また，ＬＥＤには蛍光灯のソケッ
ト部にあたる部分がないので，暗くなる部分が生じるこ
となく広範囲でかつ均一な光照射が達成される。さら
に，赤色ＬＥＤ群21Ａ，緑色ＬＥＤ群22Ａおよび青色Ｌ
ＥＤ群23Ａの赤色ＬＥＤ21，緑色ＬＥＤ22および青色Ｌ
ＥＤ23はＸＹステージの中心からほぼ等距離にあるの
で，プリント基板２上への赤色，緑色および青色の光の
均一化が図られる。
【００３１】図３は実装部品検査装置に用いる照明装置
の他の例を示す断面図である。図２と同じものには同一
の符号を付し，重複した説明を避ける。
【００３２】この照明装置は，プリント基板２を基板面
に垂直な方向から撮像する直視撮像と，プリント基板２
を斜め上方から撮像する斜視撮像との両方の機能をもつ
実装部品検査装置に好適なものである。図３は直視撮像
時における照明装置の状態を示している。図２に示す照
明装置とは，i)基台11および支持体27の頂点部分にあけ
られたカメラ穴12，29の直径が大きい点， ii)支持体27
に取付られた赤色ＬＥＤ群21Ａの実装領域が小さく，赤
色ＬＥＤ21の数が少ない点，およびiii)基台11のカメラ
穴12の上方に複数の赤色ＬＥＤ21が下向きに取付られた
補助照明基板20が設けられている点，が異なる。
【００３３】補助照明基板20の中央部には，カメラ穴が
あけられ，このカメラ穴の周囲の位置に多数の赤色ＬＥ
Ｄ21が設けられている。直視撮像では，支持体27の内面
に実装された複数の赤色ＬＥＤ21，緑色ＬＥＤ22および
青色ＬＥＤ23から三色の光が出射されるとともに，補助
照明用赤色ＬＥＤ21からも赤色光が出射される。赤色Ｌ
ＥＤ群21Ａからの赤色光が補強される。補助照明基板20
のカメラ穴，基台11のカメラ穴12および支持体27のカメ
ラ穴29を通して撮像装置（図示略）によりＸＹステージ
上のプリント基板２（部品３）が撮像される。
【００３４】一方，斜視撮像時においては，補助照明基
板20が側方に退避させられる。基台11のカメラ穴12およ
び支持体27のカメラ穴29の上方にはプリント基板２を斜
め上方から撮像するための機構（ミラー機構：図示略）
が配置される。斜視撮像ではカメラ穴12（29）の周縁の
位置から，斜めにプリント基板２が撮像される。
【００３５】図４は，ＬＥＤの前面に配置される拡散板
の配置例を示すものである。
【００３６】プリント基板２に照射する光は，均等でむ
らのない光であることが好ましく，このため赤色ＬＥＤ
群21Ａ，緑色ＬＥＤ群22Ａおよび青色ＬＥＤ群23Ａの前
面には，上述のように，出射光を拡散する拡散板28がそ
れぞれ設けられている。ここで，拡散板を通して出射さ
れる光をより均等でむらのない光にするためには，拡散
板とＬＥＤ群を構成する各ＬＥＤの距離とを，均一にす
るとよい。図４(A) に示すように，平面形状の取付基板
41に多数の赤色ＬＥＤ21，緑色ＬＥＤ22または青色ＬＥ
Ｄ23を取付ける場合には，拡散板28にも平板状のものを
使用するとよい。一方，図４(B) に示すように，曲面状
に形成された曲面取付基板41Ａに多数の赤色ＬＥＤ21，
緑色ＬＥＤ22または青色ＬＥＤ23を取付ける場合には，
拡散板28Ａも曲面状のものを使用するとよい。
【００３７】ＬＥＤ群の取付基板を複数に分割した実施
例について説明する。図５は，赤色ＬＥＤ群21Ａ，緑色
ＬＥＤ群22Ａおよび青色ＬＥＤ群23Ａが実装された照明
装置を，下側から見た状態を示すものである。図５にお
いて分かりやすくするために，基台11，支持体27および
多数の赤色ＬＥＤ21，緑色ＬＥＤ22および青色ＬＥＤ23
が平面的に示されている。
【００３８】ＬＥＤ自体の寿命が長いので，ＬＥＤを用
いた照明装置においては，ＬＥＤの交換の回数は蛍光管
に比べて少ない。しかしながら，多数のＬＥＤのうちの
１つに故障が生じたり，実装不良等が判明した場合に
は，均一な照射光を得るために，その不良素子の交換作
業が必要とされる。密集して取り付けられたＬＥＤは素
子単位で取り替えるのが困難なので，交換作業に相当の
時間がかかる。このため，検査ラインが長時間ストップ
してしまう問題がある。できるだけ迅速に交換作業を行
う必要がある。
【００３９】赤色ＬＥＤ群21Ａについて２つの取付基板
21ａおよび21ｂが設けられている。これらの取付基板21
ａ，21ｂは下面からみて半円環状であり，２つの取付基
板21ａ，21ｂとによって多数の赤色ＬＥＤ21は円環状に
配置されかつ等しく取付けられている。緑色ＬＥＤ群22
Ａについては円環形状を３等分した形（下面からみて）
の３つの取付基板22ａ，22ｂおよび22ｃが設けられ，こ
れらの取付基板22ａ〜22ｃに多数の緑色ＬＥＤ22が等し
く取付けられている。青色ＬＥＤ群23Ａに関しては円環
を４等分した形（下面からみて）の４つの取付基板23
ａ，23ｂ，23ｃおよび23ｄが設けられ，これらの取付基
板23ａ〜23ｄに多数の青色ＬＥＤ21が等しく取付けられ
ている。
【００４０】ＬＥＤが素子単位で故障した場合であって
も，交換作業は取付基板を単位として行われる。交換作
業に精密さが要求されないので，交換作業に要する時間
が短縮化される。検査ラインを長時間ストップさせるこ
となく，効率のよい交換作業を行うことができる。支持
体27から取り外した取付基板における故障したＬＥＤ素
子の取り替えは別の場所で行うことができ，修理した取
付基板を再び光源として再利用することもできる。
【００４１】図６は駆動制御回路を備えた照明装置の断
面図を，駆動制御回路のブロック図とともに示すもので
ある。図７は図６に示す駆動制御回路のブロック図をＬ
ＥＤの接続形態を含めて示すものである。図２に示すも
のと同じものには同一の符号を付し，重複した説明を省
略する。
【００４２】赤色，緑色および青色の３色の光の制御の
ために３組の駆動制御回路が設けられている。これらの
駆動制御回路はそれぞれ光カプラ30，増幅回路33，定電
流制御回路34および電流駆動回路35から構成されてい
る。これらの駆動制御回路の構成は赤色，緑色および青
色のＬＥＤ群21Ａ，22Ａ，23Ａについて同じであるか
ら，赤色ＬＥＤ群21Ａについて設けられた駆動制御回路
について説明する。
【００４３】駆動制御回路に設けられる光カプラ30はＬ
ＥＤ31と受光素子（たとえばフォトダイオード，以下Ｐ
Ｄと略す）32とから構成される。ＬＥＤ31の光がＰＤ32
に受光される。赤ＬＥＤ群21Ａを構成する多数の赤色Ｌ
ＥＤ21は直列に接続されており，光カプラ30のＬＥＤ31
もまたこれらの赤色ＬＥＤ21に直列に接続されている。
好ましくはＬＥＤ31は赤色ＬＥＤ21と同じものである。
光カプラ30は支持体27の裏側すなわち基台11と支持体27
との間に配置されている。
【００４４】ＰＤ32の出力は増幅回路33によって増幅さ
れた後，定電流制御回路34に入力する。赤色ＬＥＤ21は
電流駆動回路35によって電流駆動される。定電流制御回
路34は，増幅回路33からの入力に基づいて，赤色ＬＥＤ
群21Ａの光出力が常に一定になるように，電源回路36か
ら電流駆動回路35に与えられる赤色ＬＥＤ群21Ａの駆動
電流を制御する。多数の赤色ＬＥＤ21を代表するものと
してＬＥＤ31が設けられており，このＬＥＤ31の発光出
力に基づいて多数の赤色ＬＥＤ21の駆動電流がフィード
バック制御される。緑色および青色のＬＥＤ22，23も同
じようにそれらの発光出力が常に一定となるようにそれ
ぞれの駆動制御回路によって駆動制御される。
【００４５】ＬＥＤの光出力は経年変化，周囲温度，そ
の他の環境条件により影響を受けて変動する。特に，多
数のＬＥＤが発光することにより，ＬＥＤの分布に応じ
て場所ごとに温度差が生じやすい。上記のフィードバッ
ク制御によってこれらの環境変化による発光出力の変動
を抑制することができる。
【００４６】発光色ごとに電流駆動回路35が設けられて
いるので，赤色ＬＥＤ群21Ａ，緑色ＬＥＤ群22Ａおよび
青色ＬＥＤ群23Ａのうち，いずれか１つまたはいずれか
２つの発光色のＬＥＤ群を発光させるように，各発光色
のＬＥＤ群を制御することもできる。赤色，緑色および
青色の三色の光を照射したときに得られる画像データに
加えて，一色のみの光を照射した場合の画像データ，い
ずれか二色の光を照射した場合の画像データをも，画像
処理装置に取り込むことができる。
【００４７】同一色を発光する複数のＬＥＤを，さらに
複数のグループに分割して，この分割されたグループご
とに上述した駆動電流のフィードバック制御を行うこと
もできる。たとえば，図５に示すように，同一色の光を
出射するＬＥＤ群を複数の取付基板に分割して取付け，
取付基板ごとに駆動制御回路を設ける。取付基板ごとに
光出力のフィードバック制御が行われ，取付基板を単位
とした出射光の制御が行われる。プリント基板２に照射
する光の制御を，より細かく行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】照明装置の全体を示す斜視図である。
【図２】照明装置の断面図である。
【図３】照明装置の他の例を示す断面図である。
【図４】（Ａ）および（Ｂ）はそれぞれ拡散板の配置例
を示す断面図である。
【図５】ＬＥＤの取付例を示すものであり，ＬＥＤが実
装された基台を下から見た平面図である。
【図６】照明装置の断面図を，駆動制御回路のブロック
図とともに示す。
【図７】図６に示す駆動制御回路のブロック図と，ＬＥ
Ｄの接続形態を示す。
【符号の説明】
１ 撮像装置 ２ プリント基板 ３ 実装部品 11 基台 27 支持体 21 赤色ＬＥＤ 21Ａ 赤色ＬＥＤ群 22 緑色ＬＥＤ 22Ａ 緑色ＬＥＤ群 23 青色ＬＥＤ 23Ａ 青色ＬＥＤ群 28 拡散版 30 光カプラ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田中 光一 京都府京都市右京区山ノ内山ノ下町24番地 株式会社オムロンライフサイエンス研究 所内

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 対象物を撮像する撮像装置の光軸を中心
    に，対象物を照明する第１の色の複数の発光体を含む第
    １の発光体群と，第１の色と異なる第２の色の複数の発
    光体を含む第２の発光体群とが，対象物を照明する角度
    を異ならせて少なくとも２段に配置されている，照明装
    置。
  2. 【請求項２】 上記第１の発光体群と第２の発光体群が
    上記撮像装置の光軸を中心に同心円状に配置されてい
    る，請求項１に記載の照明装置。
  3. 【請求項３】 上記第１および第２の色と異なる第３の
    色の複数の発光体を含む第３の発光体群がさらに設けら
    れている，請求項１に記載の照明装置。
  4. 【請求項４】 上記第１，第２および第３の発光体群が
    対象物の位置からほぼ等距離の位置に配置されている，
    請求項３に記載の照明装置。
  5. 【請求項５】 上記発光体群の前面に光拡散手段が配置
    されている，請求項１から４のいずれか一項に記載の照
    明装置。
  6. 【請求項６】 対象物を撮像する撮像装置の光軸を中心
    に，対象物を照明する赤色の発光体群，緑色の発光体群
    および青色の発光体群が同心円状にかつ対象物を照明す
    る角度を異ならせて，対象物の位置からほぼ等距離の位
    置に配置されている，照明装置。
  7. 【請求項７】 上記照明装置の光軸とほぼ同じ方向から
    対象物を照明する補助発光体群をさらに備えた，請求項
    ６に記載の照明装置。
  8. 【請求項８】 上記発光体群の外側を覆うカバーが設け
    られている，請求項１から７のいずれか一項に記載の照
    明装置。
  9. 【請求項９】 上記発光体群内の少なくとも１つの発光
    体から光を受光する受光素子を備えた，請求項１から８
    のいずれか一項に記載の照明装置。
  10. 【請求項１０】 上記受光素子の受光信号に基づいて少
    なくとも発光体群ごとに発光体の明るさを制御する制御
    手段がさらに設けられている，請求項９に記載の照明装
    置。
  11. 【請求項１１】 上記発光体群が複数に区分され，各区
    分の発光体が区分ごとに着脱自在に設けられた基板にそ
    れぞれ取り付けられている，請求項１から10のいずれか
    一項に記載の照明装置。
  12. 【請求項１２】 請求項１から11のいずれか一項に記載
    の照明装置を備えた検査装置。
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