JP2008177586A - GaN系半導体およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 GaN系半導体のファセット構造を形成しながら成長させて隣接するファセット構造を合体させる。ファセット構造が成長するにしたがい下地からの転位が曲がり低転位領域が形成される。更にファセット構造を成長させて隣接するファセット構造を合体させることでファセット面とファセット面とが重なる領域に曲がった転位を集める。
【選択図】 図1
Description
なる基板上にIII−V族化合物半導体結晶膜をエピタキシャル成長させる方法及びこの
成長方法これによって得られるIII−V族化合物半導体膜に関する。特に結晶欠陥の少
ない半導体膜の形成が困難なGaN系半導体のエピタキシャル成長方法の適用に有効であ
る。
上に形成されたGaN系半導体素子及びその製造方法に関する。
Vと大きく、かつ直接遷移型であることから青色発光素子材料として注目されている。
キシャル層と同じ物質のバルク結晶を用いることが望ましい。しかしながら、GaNのよ
うな結晶では、窒素の解離圧が高いことによりバルク結晶の作製が非常に困難であった。
したがってバルク結晶の作製が非常に困難な材料を用いてデバイスを作製する場合は、例
えばサファイア(Al2O3)基板などのような格子定数、熱膨張係数などの物理的性質や
、化学的性質も全く異なる基板が用いられてきた。
歪みや、欠陥が発生し、特に厚い膜を成長した場合には、クラックが発生することが非特
許文献1に報告されている。このような場合には、デバイスとしての性能が極端に悪くな
るばかりではなく、成長層が粉々に破壊されるという結果をしばしば招いた。
シャル成長層を得るために、最初の結晶成長で1μmのSiO2膜でストライプを形成し
たサファイア基板上にGaN膜の選択成長を行い、格子欠陥や転位を特定の領域に集中さ
せることが特許文献1号公報に記載されている。しかし特許文献1の例ではSiO2膜部
分で成長が起こらないために全面に平坦な成長層を得ることができず、素子形成箇所に制
約が生じていた。
長を行っても、基板やエピタキシャル成長層への歪みや欠陥の発生が少なく、また厚い膜
を成長してもクラックが入りにくいエピタキシャル成長層を得るための成長方法を提供す
ることにある。
結晶欠陥の少ないGaN系半導体膜を提供することにある。
上にGaN系半導体素子構造(例えばGaN系半導体発光素子構造)を作製することによ
り、優れた素子特性の得られるGaN系半導体素子(例えばGaN系半導体発光素子)を
提供することにある。
くとも格子定数及び熱膨張係数のいずれか一方が前記基板と異なるGaN系半導体により前
記成長領域にファセット構造を形成する工程と、前記ファセット構造における転位を曲げ
るとともに、前記成長領域に隣接する複数のファセット構造を合体させる工程と、を有す
ることを特徴とする。
と、GaN系半導体により前記成長領域にファセット構造を形成する工程と、前記ファセッ
ト構造における転位を曲げるとともに、前記成長領域に隣接する複数のファセット構造を
合体させる工程と、を有することを特徴とする。
前記マスク材料を覆うGaN系半導体と、を有し、前記基板は、少なくとも格子定数及び熱
膨張係数のいずれか一方が前記GaN系半導体と異なり、前記GaN系半導体の転位は曲がって
いることを特徴とする。
るマスク材料と、前記マスク材料を覆うGaN系半導体と、を有し、前記GaN系半導体の転位
は曲がっていることを特徴とする。
複数の成長領域に跨って前記基板を覆うGaN系半導体と、を有し前記基板の格子定数や熱
膨張係数は前記GaN系半導体と異なり、前記GaN系半導体の転位は曲がっていることを特徴
とする。
成長領域と、前記複数の成長領域に跨って前記GaN系半導体表面を覆うGaN系半導体と、を
有し前記GaN系半導体の転位は曲がっていることを特徴とする。
領域を制限し、ファセット成長を促すことで、成長するGaN系半導体層と基板結晶の熱
膨張係数差、および格子定数差によって生じるクラックを抑え、欠陥の導入を抑制して、
高品質のGaN系半導体を形成することができる。
造や、トランジスタ構造を作製することができ、その特性が飛躍的に向上することが期待
される。
のエピタキシャル成長を例に図1を参照して説明する。
その材料と格子定数や熱膨張係数の似た性質を有するIII−V族化合物半導体12を基
板上に成長し、その表面上にフォトリソグラフィー法とウエットエッチング法を用いて基
板上の成長領域を制限するマスク14を形成する。マスクの形状はストライプとし、この
ときマスク14の厚さは10nmから2μm程度であり、成長領域13およびマスク14
のストライプ幅は、通常0.1μmから10μm程度とした(図1(a))。
ク14の付いた基板をエピタキシャル装置の反応管に挿入して、水素ガス、窒素ガス、ま
たは、水素と窒素の混合ガスとV族原料ガスを供給しながら基板11を所定の成長温度ま
で昇温する。温度が安定してからIII族原料を供給して、成長領域13にIII−V族
化合物半導体15を成長する。結晶成長方法は、好ましくはIII族原料に塩化物を用い
る塩化物輸送法による気相成長(VPE:Vapor Phase Epitaxy)で行うが、III族
原料に有機金属を用いる有機金属化合物気相成長(MOCVD:Metal Organic Vapor
Phase Epitaxy)を用いてもよい。
3のみで結晶成長が起こり、成長領域上のIII−V族化合物半導体15にはファセット
構造が形成される。このときのIII−V族化合物半導体15の成長条件はファセット構
造が形成されるよう650℃から1100℃の成長温度、III族原料の供給量に対し等
倍から200000倍を供給するV族原料の供給量の範囲で行う。(図1(b))。
造の面に対して垂直な方向に成長が進むため、成長領域だけでなくマスク14を覆うよう
になる。そして隣接する成長領域のIII−V族化合物半導体15のファセット構造と接
触する(図1(c))。
最終的には、平坦な表面を有するIII−V族化合物半導体膜15を得ることができる(
図1(e))。
うと、基板との界面で発生した結晶欠陥にともなう転位は、界面と垂直方向に伸びるため
に、たとえエピタキシャル膜を厚くしても、転位の低減は見られない。
る。このファセットは成長速度が他の面より遅いために現れる。ファセットの出現により
転位がファセットに向かって進み、基板と垂直に伸びていた転位が垂直な方向へ伸びるこ
とができなくなる。結晶欠陥はファセットの成長とともに横方向に曲げられ、エピタキシ
ャル膜の膜厚増加に伴い、成長領域では結晶欠陥が減少していき、結晶の端に出てしまう
か、閉ループを形成することがわかった。これにより、エピタキシャル膜内の欠陥の低減
が計られる。このようにファセット構造を形成して成長することで、結晶欠陥を大幅に減
らせる。
合物半導体15の成長が速いため、ファセット構造のうち基板面と同じ面が消えるのがは
やい。したがって基板と垂直に伸びる転位は、はやくからファセット構造のうち基板面と
異なる面の方向に伸びることになりIII−V族化合物半導体15における垂直に伸びる
転位を大幅に減らすことができる。
気相成長と比べて成長速度が遅くなるが、上述のようにのIII−V族化合物半導体15
のファセット構造のうち基板面と同じ面がはやく消えるようにすればよい。例えば成長領
域に対するマスクの面積を大きくすればマスク上からの成長種の供給量が増えるため成長
領域におけるIII−V族化合物半導体15の成長をはやめることができる。
のエピタキシャル成長を例に図5を参照して説明する。
製しているため説明を省略する。第2の実施の形態では、III−V族化合物半導体のエ
ピタキシャル成長を行い成長層を平坦化した後に、第2のマスクを設け(図5(c))、
第1の実施の形態と同様にファセット構造を形成し、平坦化を行っている(図5(d))
。
たIII−V族化合物半導体膜の欠陥密度をさらに低減することができる。
材料を結晶成長する場合に有効であり、Al2O3,Si,SiC,MgAl2O4,LiG
aO2,ZnO等の基板への、GaN、GaAlN、InGaN、InN等のIII−V
族化合物半導体の成長に適用できる。
質と格子定数や熱膨張係数の似た性質を有するIII−V族化合物半導体膜表面にマスク
を形成した例を示したが、基板11表面に直接マスクを形成して図1(b)〜(e)ある
いは図5(b)〜(d)のプロセスを行っても同様な効果が得られる。
ついて説明を行ったが、これに限られるものではなく、ファセット構造が現れるものであ
れば、成長領域の形状が矩形状、丸状、又は三角状となるマスクでもよい。
の形態は、第1の実施の形態あるいは第2の実施の形態で説明したIII−V族化合物半
導体のエピタキシャル成長をGaN系半導体の成長に利用しGaN系半導体膜を形成する
ものである。
シャル成長をGaN系半導体に利用したものであり、共通する箇所については説明を簡略
化する。
グラフィー法とウエットエッチング法を用いて基板上の成長領域を制限するマスクを形成
する。
GaN系半導体の結晶成長方法は、III族原料にガリウム(Ga)と塩化水素(HCl
)の反応生成物である塩化ガリウム(GaCl)とV族原料にアンモニア(NH3)ガス
を用いる塩化物輸送法による気相成長(VPE:VaporPhase Epitaxy )であるハイド
ライドVPE法や、Ga原料に有機金属を用いる有機金属化合物気相成長(MOCVD:
Metal Organic Vapor Phase Epitaxy)を用いる。成長温度は650℃から1100
℃で行い、V族原料の供給量はIII族原料の供給量に対し等倍から200000倍を供
給すればよい。
体が初期段階ではマスク上に成長せず成長領域のみで結晶成長が起こり、成長領域上のG
aN系半導体膜には基板の面方位とは異なる面方位のファセット構造が形成される。
方向に成長が進むため、成長領域だけでなくマスクを覆うようになる。そして隣接する成
長領域のGaN系半導体のファセット構造と接触する。さらにエピタキシャル成長を続け
ると、GaN系半導体によりファセット構造が埋め込まれ、最終的には、平坦な表面を有
するGaN系半導体膜を得ることができる。
してサファイア基板、SiC基板等を用いてきたが、これらの基板はGaN系半導体とは
格子定数や熱膨張率が異なっている。このためGaN系半導体のエピタキシャル成長を行
うと、基板との界面で発生した結晶欠陥にともなう転位が界面と垂直方向に伸び、たとえ
エピタキシャル膜を厚くしても転位の低減は見られなかった。
定数の異なる基板材料上のマスク材料により選択的に形成された成長領域に、基板面方位
とは異なる面方位のファセット構造を有するGaN系半導体をエピタキシャル成長してい
る。このファセットは成長速度が他の面より遅いために現れ、ファセットの出現により、
基板とGaN系半導体の界面付近から発生した転位がファセットに向かって進むようにな
り、基板と垂直に伸びていた転位が垂直な方向へ伸びることができなくなる。
GaN系半導体のエピタキシャル成長による膜厚の増加に伴い、成長領域では結晶欠陥が
減少していき、結晶の端に出てしまうか、閉ループを形成する。これにより、エピタキシ
ャル膜内の欠陥の低減が計られる。
るGaN系半導体膜を成長することで、GaN系半導体膜の結晶欠陥を大幅に減らすこと
が可能となる。
から基板(サファイア基板等)とマスクとGaN系半導体の一部を除去することで、結晶
欠陥の少ないGaN系半導体膜の基板として用いることができる。このようなGaN系半
導体膜上にGaN系半導体素子を作製することで、GaN系半導体素子の積層構造の結晶
性を改善することができる。
となっていたGaN系半導体発光素子における基板裏面への電極形成が可能になる。
き開面が異なるヘテロ基板上にレーザ構造を形成しても、へき開による共振器ミラーの作
製が可能になる。
エピタキシャル成長を用いた記載としたが、第2の実施の形態でも適用可能である。
面に直接マスクを形成する例を示したが、基板上にGaN系半導体を成長した後に、該G
aN系半導体表面にマスクを形成しても同様な効果が得られる。
態と同様な材料、寸法、形状を適用することができる。また本実施の形態におけるGaN
系半導体膜としてはGaN、AlGaN、InGaN等があげられるがGaNが最も好ま
しい。
系半導体発光素子の他にFETやHBTなどのデバイスにも適用可能である。
の実施の形態のエピタキシャル成長を利用してGaN系半導体厚膜を成長し、さらにこの
GaN系半導体厚膜上にGaN系半導体素子を作製するものである。
発光素子を用いた場合について説明する。
でマスクと成長領域に分離する。基板には、GaN系半導体と熱膨張係数や格子定数の異
なる基板材料上にGaN系半導体が形成された基板を用いる。
N系半導体にファセットが出現する形状とする。
長法は、III族原料にガリウム(Ga)と塩化水素(HCl)の反応生成物である塩化
ガリウム(GaCl)とV族原料にアンモニア(NH3 )ガスを用いるハイドライドVP
E法が好ましいが、有機金属化学気相成長法(MOVPE)を用いてもよい。
が初期段階ではマスク上に成長せず成長領域のみで結晶成長が起こり、成長領域上のGa
N系半導体には基板の面方位とは異なる面方位のファセット構造が形成される。
方向に成長が進むため、成長領域だけでなくマスクを覆うようになる。そして隣接する成
長領域のGaN系半導体膜のファセット構造と接触する。さらにエピタキシャル成長を続
けると、GaN系半導体によりファセット構造が埋め込まれ、最終的には、平坦な表面を
有するGaN系半導体膜を得ることができる。
導体膜を形成した後、GaN系半導体膜が形成された基板をMOCVD装置にセットし、
所定の温度、ガス流量、V/III比で、n型GaN層、n型AlGaNクラット層、n
型GaN光ガイド層、アンドープInGaN量子井戸層とアンドープInGaN障壁層か
らなる多重量子井戸構造活性層、p型AlGaN層、p型GaN光ガイド層、p型AlG
aNクラッド層、p型GaNコンタクト層を順次形成しレーザー構造を作製する。
びGaN系半導体膜の一部を研磨してGaN系半導体膜を露出させる。露出したGaN系
半導体膜の面、すなわちGaN系半導体発光素子裏面側にn型電極を形成し表面側にp型
電極を形成する。
体素子構造を成長することにより、従来のサファイア基板を用いた成長で問題となってい
たGaN系半導体素子構造におけるエピタキシャル成長膜の結晶性が改善でき、GaN系
半導体素子特性を向上させることができる。
形成することができるため、従来のようにドライエッチング等複雑な作製工程で電極をG
aN系半導体膜の表面に形成することなく素子を作製でき電極作製工程が簡略化できる。
N系半導体厚膜を形成した後に基板、マスクを除去することで、へき開によりGaN系半
導体レーザ構造の共振器ミラー面を形成できる。このため従来のドライエッチング等によ
る複雑な工程で共振器ミラー面を形成したものに比べ大幅に簡略化でき歩留まりも大幅に
向上できる。
成、成長法を採ることが可能である。
の実施の形態の適用もできる。
クを除去したが、GaN系半導体膜形成後に基板、マスクとGaN系半導体膜の一部を除
去した後にGaN系半導体素子の積層構造を作製してもよい。
膜上に形成されたGaN系半導体素子の結晶性の効果だけ得たいのであれば、基板、マス
クの除去を行わず、GaN系半導体素子表面側に電極を形成する構成としてもよい。
態と同様な材料、寸法、形状を適用することができる。また本実施の形態におけるGaN
系半導体膜としてはGaN、AlGaN、InGaN等があげられるがGaNが最も好ま
しい。
系半導体発光素子の他にFETやHBTなどのデバイスにも適用可能である。
基板として、(0001)面サファイア(Al2O3)基板11上に1μm程度の膜厚のG
aN膜12をあらかじめ形成した基板を用いた。このGaN膜12表面にSiO2膜を形
成し、フォトリソグラフィー法とウエットエッチングでマスク14と成長領域13に分離
した。成長領域13およびマスク14は、それぞれ5μmおよび2μmの幅のストライプ
状である。ストライプ方向は<11−20>方向とした((図1(a))。
(HCl)の反応生成物である塩化ガリウム(GaCl)とV族原料にアンモニア(NH
3 )ガスを用いるハイドライドVPE法を用いた。基板11をハイドライドの成長装置に
セットし、水素雰囲気で成長温度1000℃に昇温する。成長温度が安定してから、HC
l流量を20cc/毎分で供給し、NH3流量1000cc/毎分で5分程度供給するこ
とで、成長領域13にGaN膜15の{1−101}面からなるファセット構造を成長さ
せた(図1(b))。さらに、20分間程度エピタキシャル成長を続け、マスク14を覆
うまでファセット構造16を発達させた(図1(c))。
終的には、5時間の成長で200μm程度の平坦な表面を有するGaN膜を形成させた(
図1(e))。GaN膜15を形成後、アンモニアガスを供給しながら、常温まで冷却し
成長装置より取り出した。
るファセットを形成して結晶成長を行っている。このファセットは成長速度が他の面より
遅いために現れてくる。ファセットが現れる前は、基板と垂直に伸びていた転位が、ファ
セットの出現でこの方向へ伸びることができなくなる。
、エピタキシャル膜の膜厚増加に伴い、結晶の端に出ることがわかった。これにより、エ
ピタキシャル膜内の欠陥の低減が計られる。
熱膨張係数が違うにもかかわらずクラックが入っていないことが確認された。しかも、厚
膜成長を行ったGaN膜には、欠陥が非常に少なく、欠陥密度は106cm2程度であった
。
HBTなどの高品質なデバイス構造を成長することで、デバイス特性を向上させることが
可能となる。
として用いることもできる。
成したが、有機金属化合物気相成長法(MOCVD)を用いても同様な効果が得られる。
またAl2O3基板11を用いたが、Si基板、ZnO基板、SiC基板、LiGaO2基
板、MgAl2O4基板等を用いても同様な効果が得られる。さらにAl2O3基板11上に
GaN膜12をあらかじめ形成したが、基板11上に直接マスクを形成してもよい。
縁体膜でもよい。この実施例ではマスク14の幅を2μmとしたが、マスクを埋め込むこ
とのできる幅であれば同様な効果が得られる。さらにストライプを<11−20>方向に
形成したが、ファセットが形成されれば、これと垂直の方向<1−100>でもよく、こ
れらの方向から傾けた角度であっても結晶成長の条件により、成長領域にファセット構造
を形成することができる。なおファセット構造が形成される結晶成長の条件は材料によっ
てそれぞれ異なる。
nN膜をエピタキシャル成長しても同様な効果が得られる。さらに成長するIII−V族
化合物に不純物の添加しても同様な効果が得られる。
て説明する。
のAl0.1Ga0.9N膜12をあらかじめ形成した結晶を用いた。このAl0.1Ga0.9N膜
12表面にSiO2膜を形成し、フォトリソグラフィー法とウエットエッチングでマスク
14と成長領域13に分離した。成長領域13、およびマスク14は、それぞれ2μm、
および10μmの幅のストライプ状である。ストライプ方向は<1−100>方向とした
((図1(a))。
(HCl)の反応生成物である塩化ガリウム(GaCl)とV族原料にアンモニア(NH
3 )ガスを用いるハイドライドVPE法を用いた。基板11をハイドライドの成長装置に
セットし、水素雰囲気で成長温度1000℃に昇温する。成長温度が安定してから、HC
l流量を20cc/毎分で供給し、NH3 流量2000cc/毎分で5分程度供給するこ
とで、成長領域13にGaN膜15の{1−101}面からなるファセット構造を成長さ
せた(図1(b))。
セット構造15を発達させた(図1(c))。
終的には、5時間の成長で200μm程度の平坦な表面を有するGaN膜を形成させた(
図1(e))。GaN膜15の形成後、NH3ガスを供給しながら常温なで冷却し、成長
装置より取り出す。
膨張係数が違うにもかかわらずクラックが入っていないことが確認された。しかも、厚膜
成長を行ったGaN膜には、欠陥が非常に少なく欠陥密度は106cm2程度であった。
HBTなどの高品質なデバイス構造を成長することで、デバイス特性を向上させることが
可能となる。
て用いることもできる。
成したが、有機金属化合物気相成長法(MOCVD)を用いても同様な効果が得られる。
また本実施例では、SiC基板11を用いたが、Si基板、ZnO基板、Al2O3基板基
板、LiGaO2基板、MgAl2O4基板等を用いても同様な効果が得られる。さらにS
iC基板11上に膜厚のGaN膜12をあらかじめ形成したが、基板11上に直接マスク
を形成してもよい。
縁体膜でもよい。この実施例ではマスク14の幅を10μmとしたが、マスクを埋め込む
ことのできる幅であれば同様な効果が得られる。さらにストライプを<1−100>方向
に形成したが、ファセットが形成されれば、これと垂直の方向<1−120>でもよく、
これらの方向から傾けた角度であっても結晶成長の条件により、成長領域にファセット構
造を形成することができる。なおファセット構造が形成される結晶成長の条件は材料によ
ってそれぞれ異なる。
任意のものでよく、この膜としてその他にAlN、InGaNなどを用いても同様な効果
が得られる。さらにGaNのエピタキシャル成長について述べたが、InGaN膜、Al
GaN膜、InN膜をエピタキシャル成長しても同様な効果が得られる。また成長するI
II−V族化合物に不純物の添加しても同様な効果が得られる。
基板21表面にSiO2膜23を形成し、フォトリソグラフィー法とウエットエッチング
でマスク23と成長領域22に分離した。成長領域22、およびマスク23は、それぞれ
4μm、および3μmの幅のストライプ状である。ストライプ方向は<11−20>方向
とした((図2(a))。
ライドVPE法を用いた。この手法では、III族原料にガリウム(Ga)と塩化水素(
HCl)の反応生成物である塩化ガリウム(GaCl)と、V族原料にアンモニア(NH
3)ガスを用いる。
で熱処理した後、500℃に降温させ、HCl流量を0.5cc/毎分で供給し、NH3
流量1000cc/毎分で5分程度供給することで、結晶成長領域23に約20nmの
膜厚のGaNバッファ層24を形成する(図2(b))。
ら、HCl流量を20cc/毎分で供給し、NH3 流量1500cc/毎分で5分程度供
給することで、成長領域22のGaNバッファー層24上にGaNの{1−101}面か
らなるファセット構造25を成長させた(図2(c))。
構造を発達させた後、ファセット構造を埋め込みながら成長を続け、最終的には、5時間
の成長で200μm程度の平坦な表面を有するGaN膜25を形成させた(図2(d))
。GaN膜25の形成後、NH3 ガスを供給しながら常温まで冷却し成長装置より取り出
す。
数や熱膨張係数が違うにもかかわらずクラックが入っていないことが確認された。しかも
、厚膜成長を行ったGaN膜には、欠陥が非常に少なく、106cm2程度であった。
HBTなどの高品質なデバイス構造を成長することで、デバイス特性を向上させることが
可能となる。またMgAl2O4基板21を研磨等によって除去することで、GaN膜25
を基板材料として用いることもできる。
成したが、有機金属化合物気相成長法(MOCVD)を用いても同様な効果が得られる。
また実施例では、MgAl2O4基板21を用いたが、Si基板、ZnO基板、SiC基板
、LiGaO2 基板、Al2 O3 基板等を用いても同様な効果が得られる。さらにMgA
l2 O4 21上に直接マスクを形成したが、基板21上にGaN膜をあらかじめ形成して
もよい。
縁体膜でもよい。さらにマスク24の幅を10μmとしたが、マスクを埋め込むことので
きる幅であれば同様な効果が得られる。本実施例では、ストライプを<11−20>方向
に形成したが、ファセットが形成されれば、これと垂直の方向<1−100>でもよく、
これらの方向から傾けた角度でも結晶成長の条件により、成長領域にファセット構造を形
成することができる。なお、ファセット構造が形成される結晶成長の条件は材料によって
それぞれ異なる。
め、結晶欠陥をより少なくすることが可能となる。
AlGaN膜、InN膜をエピタキシャル成長しても同様な効果が得られる。さらに成長
するIII−V族化合物に不純物の添加しても同様な効果が得られる。
3は選択的にエピタキシャル成長する成長領域の形状を丸形状、三角形状及び矩形状とし
た概略図である。
GaN膜42をあらかじめ形成した結晶基板を用いた。
チングでマスク43と成長領域44に分離した。成長領域44は、4μmの直径の丸状(
図3(a))、一辺が3μmの三角形状(図3(b))、および5μm角の矩形状(図3
(c))の3種類となるマスクをそれぞれ用いた。
(TMGa)及びトリメチルアルミニウム(TMAl)とV族原料にアンモニア(NH3
)ガスを用いる有機金属化合物気相成長法を用いた。
体膜を形成する工程の概略図である。基板41を有機金属化合物気相成長装置にセットし
、水素ガスとNH3ガスを供給しながら1050℃の成長温度に昇温する。成長温度が安
定してから、トリメチルガリウム流量を5cc/毎分で供給し、NH3 流量5000cc
/毎分で10分程度供給することで、成長領域44にGaN膜45の{1−101}面か
らなるファセット構造を成長させた(図4(a))。
のファセット構造を発達させた(図4(b))。
4(c))、最終的には、12時間の成長で100μm程度の平坦な表面を有するGaN
膜45を形成させた(図4(d))。
面が得られ、サファイア基板41にクラックが入っていないことが確認された。また、本
実施例では成長領域の形状を丸状、三角形状、および矩形状の3種類としたが、マスク領
域を埋め込むことのできる形状であれは多角形の形状、大きさによらず同様の効果がある
。
HBTなどの高品質なデバイス構造を成長することで、デバイス特性を向上させることが
可能となる。
として用いることもできる。
成したが、有機金属化合物気相成長法(MOCVD)を用いても同様な効果が得られる。
またAl2O3基板41を用いたが、Si基板、ZnO基板、SiC基板、LiGaO2基
板、MgAl2O4基板等を用いても同様な効果が得られる。さらにAl2O3基板41上に
膜厚のGaN膜42をあらかじめ形成したが、基板41上に直接マスクを形成してもよい
。
縁体膜でもよい。
nN膜をエピタキシャル成長しても同様な効果が得られる。さらに成長するIII−V族
化合物に不純物を添加しても同様な効果が得られる。
基板51を用いた。
グで第1のマスク53と第1の成長領域54に分離した。第1の成長領域54、および第
1のマスク53は、それぞれ2μm、および5μmのストライプ状とした。ストライプ方
向は、<11−20>とした(図5(a))。
族原料にガリウム(Ga)と塩化水素(HCl)の反応生成物である塩化ガリウム(Ga
Cl)とV族原料にアンモニア(NH3)ガスを用いるハイドライドVPE法を用いた。
基板51をハイドライドの成長装置にセットし、水素雰囲気で成長温度1000℃に昇温
する。650℃の温度から基板51をNH3ガス雰囲気にする。成長温度が安定してから
、HCl流量を10cc/毎分で供給し、NH3流量4000cc/毎分で60分間の成
長で、第1の実施例で説明した図1の(a)から(e)の成長工程を経て、第1のマスク
53を埋め込んだ第1のGaN膜55を形成する(図5(b))。第1のGaN膜55を
形成後、NH3ガス雰囲気で常温まで冷却し、成長装置より取り出す。
57を形成する。それぞれのストライプ幅は、2μm、および5μmであり、ストライプ
方向は<11−20>とした(図5(c))。この基板51上に、再び、第1の実施例で
説明した図1の(a)から(e)の成長工程を経て、第2のマスク57を埋め込み、およ
そ150μmの第2のGaN層58を成長させ平坦化した表面を得た(図5(d))。
cm2以下と極めて少ないものであった。ここでは、2段階の選択成長について述べたが
、上記工程を繰り返すことでさらに欠陥密度を減少させることができる。
成したが、有機金属化合物気相成長法(MOCVD)を用いても同様な効果が得られる。
またAl2O3基板51を用いたが、Si基板、ZnO基板、SiC基板、LiGaO2基
板、MgAl2O4基板等を用いても同様な効果が得られる。さらにAl2O3基板51上に
GaN膜52を成長した後にマスクを形成したが、これに限らず、基板上にGaN膜52
を成長せず、直接第1のマスク53を成長してもよい。
縁体膜でもよい。さらに成長領域がストライプとなるようにパターニングされたマスクを
用いたが、これに限らず、丸形状、矩形状、三角形状でもよい。またGaNのエピタキシ
ャル成長について述べたが、InGaN膜、AlGaN膜、InN膜をエピタキシャル成
長しても同様な効果が得られる。さらに成長するIII−V族化合物に不純物の添加して
も同様な効果が得られる。
が、これに限られるものではなく、基板と格子定数あるいは熱膨張係数が異なるIII−
V族化合物半導体の成長に適用可能であることはいうまでもない。
発明のエピタキシャル成長をGaN膜の成長に用い、さらにこのGaN膜上にGaN系半
導体レーザを製造する工程を説明するための概略図である。
サファイア基板61を用いた。この基板61表面にSiO2膜を形成し、第1から第4の
実施例と同様にフォトリソグラフィー法とウエットエッチングで第1のマスク63と第1
の成長領域64に分離した。第1の成長領域64、および第1のマスク63は、それぞれ
5μm、および2μmのストライプ状とした。ストライプ方向は、<11−20>方向か
ら10度傾けて形成した(図6(a))。
族原料にガリウム(Ga)と塩化水素(HCl)の反応生成物である塩化ガリウム(Ga
Cl)とV族原料にアンモニア(NH3 )ガスを用いるハイドライドVPE法を用いた。
基板61をハイドライドの成長装置にセットし、水素雰囲気で成長温度1000℃に昇温
する。650℃の温度から基板51をNH3ガス雰囲気にする。成長温度が安定してから
、HCl流量を40cc/毎分で供給し、NH3 流量1000cc/毎分、およびシラン
(SiH4)流量0.01cc/毎分で150分間の成長で、第1の実施例で説明した図
1の(a)から(e)の成長工程を経て、第1のマスク63を埋め込んだ膜厚200μm
の第1のGaN膜65を形成する(図5(b))。第1のGaN膜65を形成後、NH3
ガス雰囲気で常温まで冷却し、成長装置より取り出す。GaN膜65は、n型で、1×1
018cm-3以上のキャリア濃度であった。
を用いて作製した。GaN膜65を形成後、MOCVD装置にセットし、水素雰囲気で成
長温度1050℃に昇温する。650℃の温度からNH3ガス雰囲気にする。Siを添加
した1μmの厚さのn型GaN層66、Siを添加した0.4μmの厚さのn型Al0.15
Ga0.85Nクラット層67、Siを添加した0.1μmの厚さのn型GaN光ガイド層6
8、2.5nmの厚さのアンドープIn0.2Ga0.8N量子井戸層と5nmの厚さのアンド
ープIn0.05Ga0.95N障壁層からなる10周期の多重量子井戸構造活性層69、マグネ
シウム(Mg)を添加した20nmの厚さのp型Al0.2Ga0.8N層70、Mgを添加し
た0.1μmの厚さのp型GaN光ガイド層71、Mgを添加した0.4μmの厚さのp
型Al0.15Ga0.85Nクラッド層72、Mgを添加した0.5μmの厚さのp型GaNコ
ンタクト層73を順次形成しレーザー構造を作製した。p型のGaNコンタクト層73を
形成した後は、HN3 ガス雰囲気で常温まで冷却し、成長装置より取り出す(図6(c)
)。2.5nmの厚さのアンドープIn0.2Ga0.8N量子井戸層と5nmの厚さのアンド
ープIn0.05Ga0.95N障壁層からなる多重量子井戸構造活性層69は、780℃の温度
で形成した。
板61、GaN層62、SiO2マスク63、およびGaN膜65の50μm研磨してG
aN膜65を露出させる。露出したGaN層65面には、チタン(Ti)−アルミ(Al
)のn型電極74を形成し、p型のGaN層73上にはニッケル(Ni)−金(Au)の
p型電極75を形成する(図6(d))。
ッチング等複雑な作製工程でn型の電極を窒化物表面に形成することなく素子を形成でき
るため電極作製工程が簡略化できる。
基板上に作製したレーザ構造の共振器ミラーはへき開により形成することが困難であった
。
ため、サファイア基板やマスク材料を除去してもGaN65上に形成したGaN系半導体
のレーザ構造には影響がなく、またGaN層65上のレーザ構造はへき開により共振器ミ
ラー面を形成できる利点を持っているため、従来のドライエッチング等による複雑な工程
で共振器ミラー面を形成したものに比べ大幅に簡略化でき歩留まりも大幅に向上した。
aN膜62、SiO2マスク63を研磨したが、レーザー構造を作製する前にサファイア
基板61、GaN膜62、SiO2マスク63を研磨しても同様な効果が得られる。
、およびGaN膜65の一部を研磨して、n型の電極を形成したが、研磨を行わずにドラ
イエッチングによりn型のGaN層66または65まで除去しn型電極を形成し、共振器
ミラー面を形成することで従来の構造を作製することもできる。
12 基板に形成されたIII−V族化合物半導体膜
13 III−V族化合物半導体を成長させる成長領域
14 マスク
15 エピタキシャル成長したIII−V族化合物半導体膜
16 III−V族化合物半導体のファセット構造
21 (0001)面のサファイア基板
22 GaN膜
23 マスク
25 エピタキシャル成長したGaN膜
31 (111)面のMgAl2O4基板
32 1μmのGaN膜、またはAlGaN膜
32 基板上に形成された成長領域
33 基板上に形成したSiO2膜のマスク
34 エピタキシャル成長したGaNバッファ層
35 ハイドライドVPE法で成長したGaN膜
43 マスク44 成長領域
51 (0001)面のサファイア基板
53 第1のマスク
54 第1の成長領域
55 第1のGaN層
56 第2の成長領域
57 第2のマスク
58 第2のGaN層
65 n型GaN膜
66 n型GaN層
67 n型Al0.15Ga0.85Nクラット層
68 n型GaN光ガイド層
69 10周期の多重量子井戸構造活性層
70 p型Al0.2Ga0.8N層
71 p型GaN光ガイド層
72 p型Al0.15Ga0.85Nクラット層
73 p型GaNコンタクト層
74 Ti-Alのn型電極
75 Ni-Auのp型電極
Claims (8)
- 基板表面に複数の成長領域を形成する工程と、
少なくとも格子定数及び熱膨張係数のいずれか一方が前記基板と異なるGaN系半導体により前記成長領域にファセット構造を形成する工程と、
前記ファセット構造における転位を曲げるとともに、前記成長領域に隣接する複数のファセット構造を合体させる工程と、
を有することを特徴とする半導体素子の製造方法。
- GaN系半導体表面に複数の成長領域を形成する工程と、
GaN系半導体により前記成長領域にファセット構造を形成する工程と、
前記ファセット構造における転位を曲げるとともに、前記成長領域に隣接する複数のファセット構造を合体させる工程と、
を有することを特徴とする半導体素子の製造方法。
- 基板と、
前記基板の表面に成長領域を形成するマスク材料と、
前記マスク材料を覆うGaN系半導体と、を有し、
前記基板は、少なくとも格子定数及び熱膨張係数のいずれか一方が前記GaN系半導体と異なり、
前記GaN系半導体の転位は曲がっていることを特徴とする半導体素子。
- GaN系半導体表面と、
前記GaN系半導体表面に成長領域を形成するマスク材料と、
前記マスク材料を覆うGaN系半導体と、を有し、
前記GaN系半導体の転位は曲がっていることを特徴とする半導体素子。
- 前記GaN系半導体は、前記成長領域に形成されたファセット構造のGaN系半導体が更に成長することで形成したGaN系半導体であることを特徴とする請求項3または4に記載の半導体素子。
- 基板と、
前記基板の表面に形成された複数の成長領域と、
前記複数の成長領域に跨って前記基板を覆うGaN系半導体と、を有し
前記基板の格子定数や熱膨張係数は前記GaN系半導体と異なり、
前記GaN系半導体の転位は曲がっていることを特徴とする半導体素子。
- GaN系半導体表面と、
前記GaN系半導体表面に形成された複数の成長領域と、
前記複数の成長領域に跨って前記GaN系半導体表面を覆うGaN系半導体と、を有し
前記GaN系半導体の転位は曲がっていることを特徴とする半導体素子。
- 前記GaN系半導体は、前記複数の成長領域に形成したファセット構造のGaN系半導体が成長することで形成したGaN系半導体であることを特徴とする請求項6または7に記載の半導体素子。
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