JP2005136200A - 窒化物半導体結晶層の作製方法、窒化物半導体結晶層、及び窒化物半導体結晶層作製用の基材 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 シリコン基板11上に、矩形状の開口部12Aを有するマスク部材12を介し、選択及び横方向の結晶成長を通じて厚さ200nm以上のAlN微結晶層13を形成する。次いで、AlN微結晶層13上に、一般式InxGayAlzN(0≦x,y,x≦1、x+y+z=1)で表される窒化物半導体結晶層14を形成する。
【選択図】図4
Description
シリコン基板を準備する工程と、
前記シリコン基板上に、厚さ200nm以上のAlN微結晶層を形成する工程と、
前記AlN微結晶層上に、一般式InxGayAlzN(0≦x,y,x≦1、x+y+z=1)で表される窒化物半導体結晶層を形成する工程と、
を具えることを特徴とする、窒化物半導体結晶層の作製方法に関する。
シリコン基板と、
前記シリコン基板上に形成された、厚さ200nm以上のAlN微結晶層と、
を具えることを特徴とする、窒化物半導体結晶層作製用の基材に関する。
図1〜図4は、本発明の窒化物半導体結晶層の作製方法の一例を示す工程図である。図1に示すように、最初にシリコン基板11を準備し、このシリコン基板11上に、スパッタリング法又はCVD法などの公知の方法を用いて、後にマスク部材を構成する下地層を一様に形成する。次いで、フォトリソグラフィ又は電子線リソグラフィなどの方法により、前記下地層をエッチングし、正方形状の開口部12Aを形成し、マスク部材12を完成する。
図1〜図4に示す工程に従って、MOCVD法によるGaN単結晶層の作製を試みた。なお、マスク部材の厚さtmは100nmとし、マスク部材における開口部の長さは300μm、隣接する開口部間隔は5μm〜10μmとした。また、AlN微結晶層は、MOCVD法により、基板温度約1000℃で厚さ200nmに形成した。さらに、GaN単結晶層を形成する際の基板温度も約1000℃とした。このとき、成長時間20分で約1μmのGaN単結晶層を作製することができた。なお、SEM観察の結果、前記GaN庵結晶層の表面は極めて平坦であることが確認された。
図1〜図4に示す工程に従って、HVPE法によるGaN単結晶層の作製を試みた。なお、マスク部材は実施例1と同じものを用い、AlN微結晶層は実施例1と同様にして形成した。その結果、基板温度約1000℃において、成長時間2時間で約40μmのGaN単結晶層を得ることができた。なお、SEM観察の結果、前記GaN庵結晶層の表面は極めて平坦であることが確認された。
12 マスク部材
12A (マスク部材の)開口部
13 AlN微結晶層
14 窒化物半導体結晶層
Claims (30)
- シリコン基板を準備する工程と、
前記シリコン基板上に、厚さ200nm以上のAlN微結晶層を形成する工程と、
前記AlN微結晶層上に、一般式InxGayAlzN(0≦x,y,x≦1、x+y+z=1)で表される窒化物半導体結晶層を形成する工程と、
を具えることを特徴とする、窒化物半導体結晶層の作製方法。 - 前記AlN微結晶層の厚さが200nm〜600nmであることを特徴とする、請求項1に記載の窒化物半導体結晶層の作製方法。
- 前記AlN微結晶層は前記シリコン基板を900℃〜1200℃に加熱した状態で、MOCVD法により形成することを特徴とする、請求項1又は2に記載の窒化物半導体結晶層の作製方法。
- 前記AlN微結晶層は前記シリコン基板上に形成された格子状のマスク部材を介して形成することを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一に記載の窒化物半導体結晶層の作製方法。
- 前記マスク部材は矩形状の開口部を有することを特徴とする、請求項4に記載の窒化物半導体結晶層の作製方法。
- 前記マスク部材の前記開口部の一辺の長さが50μm〜500μmであることを特徴とする、請求項5に記載の窒化物半導体結晶層の作製方法。
- 前記マスク部材において、隣接する前記開口部の間隔が5μm〜10μmであることを特徴とする、請求項5又は6に記載の窒化物半導体結晶層の作製方法。
- 前記マスク部材の厚さが100nm以下であることを特徴とする、請求項4〜7のいずれか一に記載の窒化物半導体結晶層の作製方法。
- 前記マスク部材は、窒化シリコン、二酸化シリコン、及び窒化タングステンより選ばれる少なくとも一種から構成することを特徴とする、請求項4〜8のいずれか一に記載の窒化物半導体結晶層の作製方法。
- 前記窒化物半導体結晶層の厚さが5μm以上であることを特徴とする、請求項1〜9のいずれか一に記載の窒化物半導体結晶層の作製方法。
- 前記窒化物半導体結晶層はMOCVD法により作製することを特徴とする、請求項10に記載の窒化物半導体結晶層の作製方法。
- 前記窒化物半導体結晶層の厚さが100μm以上であることを特徴とする、請求項1〜9のいずれか一に記載の窒化物半導体結晶層の作製方法。
- 前記窒化物半導体結晶層はHVPE法により作製することを特徴とする、請求項12に記載の窒化物半導体結晶層の作製方法。
- 前記シリコン基板はウエハ状を呈し、その直径が4インチ以上であることを特徴とする、請求項10〜13のいずれか一に記載の窒化物半導体結晶層の作製方法。
- 前記窒化物半導体結晶層はGaを含むことを特徴とする、請求項1〜14のいずれか一に記載の窒化物半導体結晶層の作製方法。
- シリコン基板上に形成され、厚さが5μm以上であって、一般式InxGayAlzN(0≦x,y,x≦1、x+y+z=1)で表されることを特徴とする、窒化物半導体結晶層。
- MOCVD法により作製したことを特徴とする、請求項16に記載の窒化物半導体結晶層。
- シリコン基板上に形成され、厚さが100μm以上であって、一般式InxGayAlzN(0≦x,y,x≦1、x+y+z=1)で表されることを特徴とする、窒化物半導体結晶層。
- HVPE法により作製したことを特徴とする、請求項18に記載の窒化物半導体結晶層。
- 前記シリコン基板はウエハ状を呈し、その直径が4インチ以上であることを特徴とする、請求項16〜19のいずれか一に記載の窒化物半導体結晶層。
- Gaを含むことを特徴とする、請求項16〜20のいずれか一に記載の窒化物半導体結晶層。
- シリコン基板と、
前記シリコン基板上に形成された、厚さ200nm以上のAlN微結晶層と、
を具えることを特徴とする、窒化物半導体結晶層作製用の基材。 - 前記AlN微結晶層の厚さが200nm〜600nmであることを特徴とする、請求項22に記載の窒化物半導体結晶層作製用の基材。
- 前記AlN微結晶層は前記シリコン基板を900℃〜1200℃に加熱した状態で形成したことを特徴とする、請求項22又は23に記載の窒化物半導体結晶層作製用の基材。
- 前記AlN微結晶層は前記シリコン基板上に形成された格子状のマスク部材を介して形成したことを特徴とする、請求項22〜24のいずれか一に記載の窒化物半導体結晶層作製用の基材。
- 前記マスク部材は矩形状の開口部を有することを特徴とする、請求項25に記載の窒化物半導体結晶層作製用の基材。
- 前記マスク部材の前記開口部の一辺の長さが50μm〜500μmであることを特徴とする、請求項26に記載の窒化物半導体結晶層作製用の基材。
- 前記マスク部材において、隣接する前記開口部の間隔が5μm〜10μmであることを特徴とする、請求項26又は27に記載の窒化物半導体結晶層作製用の基材。
- 前記マスク部材の厚さが100nm以下であることを特徴とする、請求項25〜28のいずれか一に記載の窒化物半導体結晶層作製用の基材。
- 前記マスク部材は、窒化シリコン、二酸化シリコン、及び窒化タングステンより選ばれる少なくとも一種から構成したことを特徴とする、請求項25〜29のいずれか一に記載の窒化物半導体結晶層作製用の基材。
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