JP2007327019A - 接着促進剤、硬化性オルガノポリシロキサン組成物、および半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 平均式:R1 aSiO(4-a)/2(R1は、C1〜10の置換もしくは非置換のアルキル基、C2〜20のアルケニル基、C6〜20のアリール基、C1〜10のアルコキシ基、およびエポキシ基含有有機基からなる群より選択される基、但し、一分子中、前記アルケニル基含有量は全R1の少なくとも5モル%、前記アリール基含有量は全R1の少なくとも5モル%、前記アルコキシ基含有量は全R1の少なくとも5モル%、前記エポキシ基含有有機基含有量は全R1の少なくとも5モル%、aは1.0≦a<4.0を満たす数)で表される接着促進剤、これを含有する硬化性オルガノポリシロキサン組成物、および該組成物を用いてなる半導体装置。
【選択図】 図1
Description
R1 aSiO(4-a)/2
(式中、R1は、炭素原子数1〜10の置換もしくは非置換のアルキル基、炭素原子数2〜20のアルケニル基、炭素原子数6〜20のアリール基、炭素原子数1〜10のアルコキシ基、およびエポキシ基含有有機基からなる群より選択される基であり、但し、一分子中、前記アルケニル基の含有量は全R1の少なくとも5モル%であり、前記アリール基の含有量は全R1の少なくとも5モル%であり、前記アルコキシ基の含有量は全R1の少なくとも5モル%であり、前記エポキシ基含有有機基の含有量は全R1の少なくとも5モル%であり、aは1.0≦a<4.0を満たす数である。)
で表されることを特徴とする。
(A)平均式:
R2 bSiO(4-b)/2
(式中、R2は炭素原子数1〜10の置換もしくは非置換の一価炭化水素基であり、但し、一分子中、少なくとも2個のR2は脂肪族不飽和結合を有する一価炭化水素基であり、全R2の少なくとも20モル%はアリール基であり、bは0.5≦b≦2.2を満たす数である。)
で表されるオルガノポリシロキサン 100重量部、
(B)平均式:
R3 cHdSiO(4-c-d)/2
(式中、R3は炭素原子数1〜10の置換もしくは非置換の脂肪族不飽和結合を有さない一価炭化水素基であり、cおよびdは、1.0<c<2.2、0.002<d<1、および1.0<c+d<3.0を満たす数である。)
で表されるオルガノハイドロジェンポリシロキサン{(A)成分中の脂肪族不飽和結合を有する一価炭化水素基に対する本成分中のケイ素原子結合水素原子のモル比が0.3〜5となる量}、
(C)平均式:
R1 aSiO(4-a)/2
(式中、R1は、炭素原子数1〜10の置換もしくは非置換のアルキル基、炭素原子数2〜20のアルケニル基、炭素原子数6〜20のアリール基、炭素原子数1〜10のアルコキシ基、およびエポキシ基含有有機基からなる群より選択される基であり、但し、一分子中、前記アルケニル基の含有量は全R1の少なくとも5モル%であり、前記アリール基の含有量は全R1の少なくとも5モル%であり、前記アルコキシ基の含有量は全R1の少なくとも5モル%であり、前記エポキシ基含有有機基の含有量は全R1の少なくとも5モル%であり、aは1.0≦a<4.0を満たす数である。)
で表される接着促進剤 0.01〜50重量部、および
(D)ヒドロシリル化反応用触媒 触媒量
から少なくともなることを特徴とする。
本発明の接着促進剤は、平均式:
R1 aSiO(4-a)/2
で表される。式中、R1は、炭素原子数1〜10の置換もしくは非置換のアルキル基、炭素原子数2〜20のアルケニル基、炭素原子数6〜20のアリール基、炭素原子数1〜10のアルコキシ基、およびエポキシ基含有有機基からなる群より選択される基である。R1のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、t−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、3,3,3−トリフルオロプロピル基が例示され、好ましくは、メチル基、エチル基である。また、R1のアルケニル基としては、ビニル基、アリル基、プロペニル基、イソプロペニル基、ブテニル基、イソブテニル基、ペンテニル基、ヘプテニル基、ヘキセニル基、シクロヘキセニル基が例示され、好ましくは、ビニル基、アリル基、ヘキセニル基である。また、R1のアリール基としては、フェニル基、トリル基、キシリル基、ナフチル基が例示され、好ましくは、フェニル基である。また、R1のアルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基が例示され、好ましくは、メトキシ基、エトキシ基である。また、R1のエポキシ基含有有機基としては、2−グリシドキシエチル基、3−グリシドキシプロピル基、4−グリシドキシブチル基等のグリシドキシアルキル基;2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)−エチル基、3−(3,4−エポキシシクロヘキシル)−プロピル基等のエポキシシクロヘキシルアルキル基;4−オキシラニルブチル基、8−オキシラニルオクチル基等のオキシラニルアルキル基が例示され、好ましくは、グリシドキシアルキル基であり、特に好ましくは、3−グリシドキシプロピル基である。なお、本発明の接着促進剤において、一分子中、前記アルケニル基の含有量は全R1の少なくとも5モル%であり、好ましくは、全R1の5〜50モル%の範囲内である。また、本発明の接着促進剤において、一分子中、前記アリール基の含有量は全R1の少なくとも5モル%であり、特に好ましくは、全R1の少なくとも10モル%である。また、本発明の接着促進剤において、一分子中、前記アルコキシ基の含有量は全R1の少なくとも5モル%である。また、本発明の接着促進剤において、一分子中、前記エポキシ基含有有機基の含有量は全R1の少なくとも5モル%であり、好ましくは、全R1の5〜50モル%の範囲内である。また、式中、aは1.0≦a<4.0を満たす数であり、好ましくは、1.0≦a≦3.5を満たす数であり、より好ましくは、2.0≦a≦3.0を満たす数であり、特に好ましくは、2.2≦a≦2.6を満たす数である。これは、aの値が上記範囲の下限未満であると、接着促進剤としての性能が低下する傾向があり、一方、上記範囲の上限を超えると、接着促進剤が低分子量となり、これを配合する組成物あるいはその硬化物から滲み出るおそれがあるからである。特に、本接着促進剤は、常温で液体であることが好ましい。その質量平均分子量は500〜5,000の範囲内であることが好ましく、特に、700〜3,000の範囲内であることが好ましい。また、その粘度は25℃において1〜10,000mPa・sの範囲内であることが好ましい。
R4 eR5 (1-e)SiO3/2
で表されるシロキサン単位1〜20モル%、一般式:
R4 fR5 gR6 hSiO2/2
で表されるシロキサン単位20〜80モル%、および一般式:
R4 iR5 jR6 kSiO1/2
で表されるシロキサン単位20〜80モル%からなるオルガノポリシロキサンであることが好ましい。式中、R4は炭素原子数2〜20のアルケニル基であり、具体的には、ビニル基、アリル基、プロペニル基、イソプロペニル基、ブテニル基、イソブテニル基、ペンテニル基、ヘプテニル基、ヘキセニル基、シクロヘキセニル基が例示され、好ましくは、ビニル基、アリル基、ヘキセニル基である。R5は、炭素原子数1〜10の置換もしくは非置換のアルキル基、炭素原子数6〜20のアリール基、およびエポキシ基含有有機基からなる群より選択される基であり、R5のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、t−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、3,3,3−トリフルオロプロピル基が例示され、R5のアリール基としては、フェニル基、トリル基、キシリル基、ナフチル基が例示され、R5のエポキシ基含有有機基としては、2−グリシドキシエチル基、3−グリシドキシプロピル基、4−グリシドキシブチル基等のグリシドキシアルキル基;2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)−エチル基、3−(3,4−エポキシシクロヘキシル)−プロピル基等のエポキシシクロヘキシルアルキル基;4−オキシラニルブチル基、8−オキシラニルオクチル基等のオキシラニルアルキル基が例示される。また、R6は炭素原子数1〜10のアルコキシ基であり、具体的には、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基が例示され、好ましくは、メトキシ基、エトキシ基であり、特に、得られる硬化物の接着性が良好であることから、メトキシ基であることが好ましい。但し、R4、R5、およびR6の合計に対するアルケニル基の含有量は少なくとも5モル%であり、アリール基の含有量は少なくとも5モル%であり、アルコキシ基の含有量は少なくとも5モル%であり、エポキシ基含有有機基の含有量は少なくとも5モル%である。また、上式中、eは0または1であり、fは0または1であり、gは0〜2の整数であり、hは0または1であり、かつf+g+hは2であり、iは0または1であり、jは0〜3の整数であり、kは0〜2の整数であり、かつi+j+kは3である。
本発明の硬化性オルガノポリシロキサン組成物は、
(A)平均式:
R2 bSiO(4-b)/2
(式中、R2は炭素原子数1〜10の置換もしくは非置換の一価炭化水素基であり、但し、一分子中、少なくとも2個のR2は脂肪族不飽和結合を有する一価炭化水素基であり、全R2の少なくとも20モル%はアリール基であり、bは0.5≦b≦2.2を満たす数である。)
で表されるオルガノポリシロキサン 100重量部、
(B)平均式:
R3 cHdSiO(4-c-d)/2
(式中、R3は炭素原子数1〜10の置換もしくは非置換の脂肪族不飽和結合を有さない一価炭化水素基であり、cおよびdは、1.0<c<2.2、0.002<d<1、および1.0<c+d<3.0を満たす数である。)
で表されるオルガノハイドロジェンポリシロキサン{(A)成分中の脂肪族不飽和結合を有する一価炭化水素基に対する本成分中のケイ素原子結合水素原子のモル比が0.3〜5となる量}、
(C)平均式:
R1 aSiO(4-a)/2
(式中、R1は、炭素原子数1〜10の置換もしくは非置換のアルキル基、炭素原子数2〜20のアルケニル基、炭素原子数6〜20のアリール基、炭素原子数1〜10のアルコキシ基、およびエポキシ基含有有機基からなる群より選択される基であり、但し、一分子中、前記アルケニル基の含有量は全R1の少なくとも5モル%であり、前記アリール基の含有量は全R1の少なくとも5モル%であり、前記アルコキシ基の含有量は全R1の少なくとも5モル%であり、前記エポキシ基含有有機基の含有量は全R1の少なくとも5モル%であり、aは1.0≦a<4.0を満たす数である。)
で表される接着促進剤 0.01〜50重量部、および
(D)ヒドロシリル化反応用触媒 触媒量
から少なくともなる。
R2 bSiO(4-b)/2
で表されるオルガノポリシロキサンである。(A)成分の分子構造は特に限定されず、例えば、直鎖状、一部分岐を有する直鎖状、分岐鎖状、網状が挙げられる。式中、R2は炭素原子数1〜10の置換もしくは非置換の一価炭化水素基であり、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、t−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基等のアルキル基;ビニル基、アリル基、プロペニル基、イソプロペニル基、ブテニル基、イソブテニル基、ペンテニル基、ヘプテニル基、ヘキセニル基、シクロヘキセニル基等のアルケニル基;フェニル基、トリル基、キシリル基、ナフチル基等のアリール基;ベンジル基、フェネチル基等のアラルキル基;3−クロロプロピル基、2−ブロモエチル基、3,3,3−トリフルオロプロピル基等のハロゲン化アルキル基が挙げられる。但し、一分子中、少なくとも2個のR2は脂肪族不飽和結合を有する一価炭化水素基であり、好ましくは、前記アルケニル基であり、特に好ましくは、ビニル基、アリル基、ヘキセニル基である。また、一分子中、全R2の少なくとも20モル%はアリール基であり、好ましくは、フェニル基である。また、上式中、bは0.5≦b≦2.2を満たす数である。
R2 b'SiO(4-b')/2
(式中、R2は炭素原子数1〜10の置換もしくは非置換の一価炭化水素基であり、但し、一分子中、少なくとも2個のR2は脂肪族不飽和結合を有する一価炭化水素基であり、全R2の少なくとも20モル%はアリール基であり、b'は1.9≦b'≦2.2を満たす数である。)
で表されるオルガノポリシロキサンと(A2)平均式:
R2 b"SiO(4-b")/2
(式中、R2は前記と同じであり、b"は0.5≦b"≦1.7を満たす数である。)
で表されオルガノポリシロキサンの混合物であることが好ましい。
R2 b'SiO(4-b')/2
で表され、直鎖状、一部分岐を有する直鎖状、あるいは分岐鎖状の分子構造を有するオルガノポリシロキサンである。(A1)成分は25℃において液状あるいは生ゴム状であり、好ましくは、25℃における粘度が10〜10,000,000mPa・sの範囲内であり、より好ましくは、100〜1,000,000mPa・sの範囲内であり、特に好ましくは、100〜100,000mPa・sの範囲内である。また、式中、R2は炭素原子数1〜10の置換もしくは非置換の一価炭化水素基であり、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、t−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基等のアルキル基;ビニル基、アリル基、プロペニル基、イソプロペニル基、ブテニル基、イソブテニル基、ヘキセニル基、シクロヘキセニル基等のアルケニル基;フェニル基、トリル基、キシリル基、ナフチル基等のアリール基;ベンジル基、フェニルエチル基等のアラルキル基;3−クロロプロピル基、2−ブロモエチル基、3,3,3−トリフルオロプロピル基等のハロゲン化アルキル基が例示される。但し、一分子中、少なくとも2個のR2は脂肪族不飽和結合を有する一価炭化水素基であり、好ましくは、前記アルケニル基であり、特に好ましくは、ビニル基、アリル基、ヘキセニル基である。また、硬化物の物理強度が高く、高屈折率にできることから、一分子中、全R2の少なくとも20モル%はアリール基であり、好ましくは、全R2の少なくとも40モル%はアリール基である。
R2 b"SiO(4-b")/2
で表される、分岐鎖状もしくは網状のオルガノポリシロキサンであり、25℃において液状あるいは固体状である。式中、R2は炭素原子数1〜10の置換もしくは非置換の一価炭化水素基であり、前記と同様の基が例示される。但し、一分子中、少なくとも2個のR2は脂肪族不飽和結合を有する一価炭化水素基であり、好ましくは、前記アルケニル基であり、特に好ましくは、ビニル基、アリル基、ヘキセニル基である。また、硬化物の物理強度が高く、高屈折率にできることから、一分子中、全R2の少なくとも20モル%はアリール基であり、好ましくは、全R2の少なくとも40モル%はアリール基である。また、上式中、b"は0.5≦b"≦1.7を満たす数である。
R2 3SiO1/2
で表されるシロキサン単位(いわゆる、M単位)、一般式:
R2 2SiO2/2
で表されるシロキサン単位(いわゆる、D単位)、一般式:
R2SiO3/2
で表されるシロキサン単位(いわゆる、T単位)、一般式:
SiO4/2
で表されるシロキサン単位(いわゆる、Q単位)から構成され、上記T単位のみからなるオルガノポリシロキサン、あるいは、上記T単位とその他の単位からなるオルガノポリシロキサン、上記Q単位とその他の単位からなるオルガノポリシロキサンが例示される。前記シロキサン単位中のR2は炭素原子数1〜10の置換もしくは非置換の一価炭化水素基であり、前記と同様の基が例示される。ただし、一分子中、少なくとも2個のR2は脂肪族不飽和結合を有する一価炭化水素基であり、全R2の少なくとも20モル%はアリール基である。なお、少量であればその他の基としてシラノール基やアルコキシ基を含有していてもよい。
R3 cHdSiO(4-c-d)/2
で表されるオルガノポリシロキサンである。式中、R3は炭素原子数1〜10の置換もしくは非置換の脂肪族不飽和結合を有さない一価炭化水素基であり、具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、t−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基等のアルキル基;フェニル基、トリル基、キシリル基、ナフチル基等のアリール基;ベンジル基、フェニルエチル基等のアラルキル基;3−クロロプロピル基、2−ブロモエチル基、3,3,3−トリフルオロプロピル基等のハロゲン化アルキル基が例示される。また、式中、R3はアルキル基のみ、特にはメチル基のみであってもよいが、アルキル基とアリール基、特には、メチル基とフェニル基であることが好ましい。一分子中のフェニル基の含有量が多いと、硬化物はより高屈折率となり、光透過性が向上するので、一分子中の全R3の5モル%以上がフェニル基であることが好ましく、特には、一分子中の全R3の10モル%以上がフェニル基であることが好ましい。また、上式中、c、dはそれぞれ1.0<c<2.2、0.002<d<1、および1.0<c+d<3.0を満たす数である。dは0.002<d<1を満たす数であるが、(A)成分との反応性の点で好ましくは0.02<d<1を満たす数である。このような(B)成分の分子構造に特に制限はなく、例えば、直鎖状、一部分岐を有する直鎖状、分岐鎖状、環状、網状が挙げられる。(A)成分との混和性の点で、25℃において液状のものが好ましい。(B)成分中のケイ素原子結合水素原子は、分子鎖末端、分子鎖途中、分子鎖末端と分子鎖途中のいずれに位置してもよい。一分子中のケイ素原子数は3〜500の範囲内であることが好ましく、特には、3〜10の範囲内であることが好ましい。
R1 aSiO(4-a)/2
で表される。式中、R1は、炭素原子数1〜10の置換もしくは非置換のアルキル基、炭素原子数2〜20のアルケニル基、炭素原子数6〜20のアリール基、炭素原子数1〜10のアルコキシ基、およびエポキシ基含有有機基からなる群より選択される基であり、前記と同様の基が例示される。但し、(C)成分の一分子中、前記アルケニル基の含有量は全R1の少なくとも5モル%であり、好ましくは、全R1の5〜50モル%の範囲内である。また、(C)成分の一分子中、前記アリール基の含有量は全R1の少なくとも5モル%であり、特に好ましくは、全R1の少なくとも10モル%である。また、(C)成分の一分子中、前記アルコキシ基の含有量は全R1の少なくとも5モル%である。また、(C)成分の一分子中、前記エポキシ基含有有機基の含有量は全R1の少なくとも5モル%であり、好ましくは、全R1の5〜50モル%の範囲内である。また、式中、aは1.0≦a<4.0を満たす数であり、前記の理由から、好ましくは、1.0≦a≦3.5を満たす数であり、より好ましくは、2.0≦a≦3.0を満たす数であり、特に好ましくは、2.2≦a≦2.6を満たす数である。このような(C)成分の調製方法については前記のとおりである。
本発明の半導体装置は、半導体素子が上記硬化性オルガノポリシロキサン組成物の硬化物により封止されていることを特徴とする。この半導体素子は発光用半導体素子、受光用半導体素子などのいずれでもよい。光半導体素子の代表例は、LEDチップであり、液相成長法やMOCVD法により基板上にInN、AlN、GaN、ZnSe、SiC、GaP、GaAs、GaAlAs、GaAlN、AlInGaP、InGaN、AlInGaN等の半導体を発光層として形成したものが好適である。本発明の半導体装置としては、例えば、表面実装型の発光ダイオード(LED)が挙げられる。この発光ダイオードは、光半導体素子(例、LEDチップ)が断面凹型の耐熱性有機樹脂(例えば、ポリフタルアミド樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ポリエーテルニトリル樹脂)製ケースの内部に載置されており、該ケース内に上記硬化性オルガノポリシロキサン組成物を充填して硬化させており、該光半導体素子(例、LEDチップ)が上記硬化性オルガノポリシロキサン組成物の透光性の硬化物により封止されている。ここで使用する硬化性オルガノポリシロキサン組成物は、JIS K 6253-1997「加硫ゴム及び熱可塑性ゴムの硬さ試験方法」に規定されるタイプAデュロメータにより測定した硬さが15〜50位のエラストマー状になるものが適切である。上記硬化性オルガノポリシロキサン組成物は硬化途上で接触している耐熱性有機樹脂、光半導体素子(例、LEDチップ)、内部電極(インナーリード)、ボンデイングワイヤなどに耐久性良く接着している。このような発光ダイオード(LED)は砲弾型であってもよく、発光ダイオード(LED)の他に、フォトカプラー、CCDが例示される。
硬化性オルガノポリシロキサン組成物の屈折率を、アッベ式屈折率計を用いて25℃で測定した。なお、光源として、可視光(589nm)を用いた。
[硬化性オルガノポリシロキサン組成物の硬化物の光透過率]
硬化性オルガノポリシロキサン組成物を2枚のガラス板間に入れ150℃で1時間保持して硬化させ(光路長0.2mm)、光透過率を、可視光(波長400nm〜700nm)の範囲において任意の波長で測定できる自記分光光度計を用いて25℃で測定した。ガラス板込みの光透過率とガラス板のみの光透過率を測定して、その差を硬化物の光透過率とした。なお、表1中には波長450nmにおける光透過率を記載した。
[硬化性オルガノポリシロキサン組成物の硬化物の硬さ]
硬化性オルガノポリシロキサン組成物を150℃で1時間プレス成形することによりシート状の硬化物を作製した。この硬化物の硬さをJIS K 6253-1997「加硫ゴム及び熱可塑性ゴムの硬さ試験方法」に規定されるタイプAデュロメータにより測定した。
[硬化性オルガノポリシロキサン組成物の硬化物の引張り強さと伸び]
硬化性オルガノポリシロキサン組成物を150℃で1時間プレス成形することにより、JIS K 6251-1993「加硫ゴムの引張試験方法」に規定されるダンベル状3号形の硬化物を作製した。この硬化物の引張強さをJIS K 6251-1993に規定される方法により測定した。
[硬化性オルガノポリシロキサン組成物の硬化物の引裂き強さ]
硬化性オルガノポリシロキサン組成物を150℃で1時間プレス成形することによりJIS K 6252-1993「加硫ゴムの引裂試験方法」に規定されるクレセント形の硬化物を作製した。この硬化物の引裂き強さをJIS K 6252-1993に規定される方法により測定した。
[硬化性オルガノポリシロキサン組成物の硬化物のポリフタルアミド(PFA)樹脂板への接着力]
2枚のポリフタルアミド(PPA)樹脂板(幅25mm、長さ50mm、厚さ1mm)間にポリテトラフルオロエチレン樹脂製スペーサ(幅10mm、長さ20mm、厚さ1mm)を挟み込み、その隙間に硬化性オルガノポリシロキサン組成物を充填し、クリップで留め、150℃の熱風循環式オーブン中に1時間保持して硬化させた。室温に冷却後、クリップとスペーサを外して引張試験機により該ポリフタルアミド(PPA)樹脂板を水平反対方向に引張って破壊時の応力を測定した。
[硬化性オルガノポリシロキサン組成物の硬化物のアルミニウム板への接着力]
2枚のアルミニウム板(幅25mm、長さ75mm、厚さ1mm)間にポリテトラフルオロエチレン樹脂製スペーサ(幅10mm、長さ20mm、厚さ1mm)を挟み込み、その隙間に硬化性オルガノポリシロキサン組成物を充填し、クリップで留め、150℃の熱風循環式オーブン中に1時間保持して硬化させた。室温に冷却後、クリップとスペーサを外して引張試験機により該アルミニウム板を水平反対方向に引張って破壊時の応力を測定した。
底部が塞がった円筒状のポリフタルアミド(PPA)樹脂ケース1(内径2.0mm、深さ1.0mm)の内底部の中心部に向かってインナーリード3が側壁から延出しており、インナーリード3の中央部上にLEDチップ2が載置されており、LEDチップ2とインナーリード3はボンディングワイヤ4により電気的に接続している前駆体の、ポリフタルアミド(PPA)樹脂ケース1内に、各実施例または各比較例の硬化性オルガノポリシロキサン組成物を脱泡してディスペンサーを用いて注入し、該組成物を表1に示す1次硬化温度および2次硬化温度で各1時間保持して硬化させることにより、各々16個の図1に示す表面実装型の発光ダイオード(LED)を作製した。
上記表面実装型の発光ダイオード(LED)16個について、ポリフタルアミド(PPA)樹脂ケース1内壁と該組成物の硬化物との間の界面状態を光学顕微鏡で観察し、剥離した個数/16個を剥離率とした。
[恒温恒湿保持後の剥離率]
上記表面実装型の発光ダイオード(LED)16個を30℃/70RH%の空気中に72時間保持した後、25℃に戻して、ポリフタルアミド(PPA)樹脂ケース1内壁と該組成物の硬化物との間の界面状態を光学顕微鏡で観察し、剥離した個数/16個を剥離率とした。
[280℃/30秒間保持後の剥離率]
上記恒温恒湿保持後の表面実装型の発光ダイオード(LED)16個を280℃のオーブン内に30秒間置いた後、25℃に戻して、ポリフタルアミド(PPA)樹脂ケース1内壁と該組成物の硬化物との間の界面状態を光学顕微鏡で観察し、剥離した個数/16個を剥離率とした。
[熱衝撃サイクル後の剥離率]
上記280℃/30秒間保持後の表面実装型の発光ダイオード(LED)16個を、マイナス40℃に30分間保持した後、100℃に30分間保持し、この温度サイクル(−40℃⇔100℃)を合計5回繰り返した後、25℃に戻して、ポリフタルアミド(PPA)樹脂ケース1内壁と該組成物の硬化物との間の界面状態を光学顕微鏡で観察し、剥離した個数/16個を剥離率とした。
温度計、攪拌機、Dean−Stark管と還流冷却管を備えた200mLのフラスコをアルゴンガスで置換し、このフラスコに3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン50.0g、平均式:
HO[CH3(CH2=CH)SiO]10H
で表されるシラノール基末端メチルビニルポリシロキサン25.0g、1,3,5,7−テトラフェニル−1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン25.0gを仕込んだ。次に、攪拌しながら、水酸化カリウム0.02gを添加し、加熱し、生成したメタノールを還流しながら一部を留去し、130℃で1時間保持した。その後、室温まで冷却し、10質量%のトリメチルクロロシランのトルエン溶液0.5gを滴下し、1時間攪拌した。反応液を濾過し、濾液を減圧下で加熱することにより、メタノール、トルエン、低沸点物を留去して、粘度25mPa・sの淡黄色透明液体78gを得た。この淡黄色透明液体は、ゲルパーミエーションクロマトグラフ分析により、質量平均分子量が1,400であり、13C−および29Si−核磁気共鳴スペクトル分析により、平均単位式:
[CH3(C6H5)SiO2/2]0.15[CH3(CH2=CH)SiO2/2]0.24(EpSiO3/2)0.19(CH3O1/2)0.42
(式中、Epは3−グリシドキシプロピル基を示す。)
で表されるオルガノポリシロキサンであることが確認された。なお、このオルガノポリシロキサンは、平均式:
R2.40SiO0.80
で表され、全R基中のフェニル基の含有率は11モル%であり、全R基中のビニル基の含有率は17モル%であり、全R基中の3−グリシドキシプロピル基の含有率は14モル%であり、全R基中のメトキシ基の含有率は30モル%である。このオルガノポリシロキサンを接着促進剤(C−1)とした。
温度計、攪拌機、Dean−Stark管と還流冷却管を備えた200mLのフラスコをアルゴンガスで置換し、このフラスコに3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン40.0g、平均式:
HO[CH3(CH2=CH)SiO]10H
で表されるシラノール基末端メチルビニルポリシロキサン20.0g、1,3,5,7−テトラフェニル−1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン40.0gを仕込んだ。次に、攪拌しながら、水酸化カリウム0.02gを添加し、加熱し、生成したメタノールを還流しながら一部を留去し、130℃で1時間保持した。その後、室温まで冷却し、合成珪酸アルミニウムを0.4gを投入し、1時間攪拌した。反応液を濾過し、濾液を減圧下で加熱することにより、メタノール、トルエン、低沸点物を留去して、粘度33mPa・sの淡黄色透明液体87gを得た。この淡黄色透明液体は、ゲルパーミエーションクロマトグラフ分析により、質量平均分子量が1,150であり、13C−および29Si−核磁気共鳴スペクトル分析により、平均単位式:
[CH3(C6H5)SiO2/2]0.28[CH3(CH2=CH)SiO2/2]0.18(EpSiO3/2)0.17(CH3O1/2)0.37
(式中、Epは3−グリシドキシプロピル基を示す。)
で表されるオルガノポリシロキサンであることが確認された。なお、このオルガノポリシロキサンは、平均式:
R2.32SiO0.84
で表され、全R基中のフェニル基の含有率は19モル%であり、全R基中のビニル基の含有率は12モル%であり、全R基中の3−グリシドキシプロピル基の含有率は12モル%であり、全R基中のメトキシ基の含有率は25モル%である。このオルガノポリシロキサンを接着促進剤(C−2)とした。
温度計、攪拌機、Dean−Stark管と還流冷却管を備えた200mLのフラスコをアルゴンガスで置換し、このフラスコに3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン50.0g、平均式:
HO[CH3(CH2=CH)SiO]10H
で表されるシラノール基末端メチルビニルポリシロキサン25.0g、オクタフェニルシクロテトラシロキサン25.0gを仕込んだ。次に、攪拌しながら、水酸化カリウム0.02gを添加し、加熱し、生成したメタノールを還流しながら一部を留去し、130℃で1時間保持した。その後、室温まで冷却し、酢酸0.04gを滴下し、1時間攪拌した。反応液を濾過し、濾液を減圧下で加熱することにより、メタノール、トルエン、酢酸、低沸点物を留去して、粘度300mPa・sの淡黄色透明液体60gを得た。この淡黄色透明液体は、ゲルパーミエーションクロマトグラフ分析により、質量平均分子量が1,300であり、13C−および29Si−核磁気共鳴スペクトル分析により、平均単位式:
[(C6H5)2SiO2/2]0.28[CH3(CH2=CH)SiO2/2]0.18(EpSiO3/2)0.17(CH3O1/2)0.37
(式中、Epは3−グリシドキシプロピル基を示す。)
で表されるオルガノポリシロキサンであることが確認された。なお、このオルガノポリシロキサンは、平均式:
R2.32SiO0.84
で表され、全R基中のフェニル基の含有率は38モル%であり、全R基中のビニル基の含有率は12モル%であり、全R基中の3−グリシドキシプロピル基の含有率は12モル%であり、全R基中のメトキシ基の含有率は25モル%である。このオルガノポリシロキサンを接着促進剤(C−3)とした。
温度計、攪拌機、Dean−Stark管と還流冷却管を備えた200mLのフラスコをアルゴンガスで置換し、このフラスコに3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン56.5g、平均式:
HO[(CH3)2SiO]7H
で表されるシラノール基末端ジメチルポリシロキサン16.0g、1,3,5,7−テトラメチル−1,3,5,7−テトラビニルシクロテトラシロキサン27.5gを仕込んだ。次に、攪拌しながら、水酸化カリウム0.02gを添加し、加熱し、生成したメタノールを還流しながら一部を留去し、130℃で1時間保持した。その後、室温まで冷却し、10質量%のトリメチルクロロシランのトルエン溶液0.5gを滴下し、1時間攪拌した。反応液を濾過し、濾液を減圧下で加熱することにより、メタノール、トルエン、低沸点物を留去して、粘度28mPa・sの淡黄色透明液体80gを得た。この淡黄色透明液体は、ゲルパーミエーションクロマトグラフ分析により、質量平均分子量が1,100であり、13C−および29Si−核磁気共鳴スペクトル分析により、平均単位式:
[(CH3)2SiO2/2]0.15[CH3(CH2=CH)SiO2/2]0.24(EpSiO3/2)0.19(CH3O1/2)0.42
(式中、Epは3−グリシドキシプロピル基を示す。)
で表されるオルガノポリシロキサンであることが確認された。なお、このオルガノポリシロキサンは、平均式:
R2.40SiO0.80
で表され、全R基中のビニル基の含有率は17モル%であり、全R基中の3−グリシドキシプロピル基の含有率は14モル%であり、全R基中のメトキシ基の含有率は30モル%である。このオルガノポリシロキサンを接着促進剤(C−4)とした。
温度計、攪拌機、Dean−Stark管と還流冷却管を備えた200mLのフラスコをアルゴンガスで置換し、このフラスコに3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン49.0g、平均式:
HO[(CH3)2SiO]7H
で表されるシラノール基末端ジメチルポリシロキサン27.5g、1,3,5,7−テトラメチル−1,3,5,7−テトラビニルシクロテトラシロキサン23.5gを仕込んだ。次に、攪拌しながら、水酸化カリウム0.02gを添加し、加熱し、生成したメタノールを還流しながら一部を留去し、130℃で1時間保持した。その後、室温まで冷却し、合成珪酸アルミニウムを0.4g入れて1時間攪拌した。反応液を濾過し、濾液を減圧下で加熱することにより、メタノール、トルエン、低沸点物を留去して、粘度22mPa・sの淡黄色透明液体75gを得た。この淡黄色透明液体は、ゲルパーミエーションクロマトグラフ分析により、質量平均分子量が950であり、13C−および29Si−核磁気共鳴スペクトル分析により、平均単位式:
[(CH3)2SiO2/2]0.28[CH3(CH2=CH)SiO2/2]0.18(EpSiO3/2)0.17(CH3O1/2)0.37
(式中、Epは3−グリシドキシプロピル基を示す。)
で表されるオルガノポリシロキサンであることが確認された。なお、このオルガノポリシロキサンは、平均式:
R2.32SiO0.84
で表され、全R基中のビニル基の含有率は12モル%であり、全R基中の3−グリシドキシプロピル基の含有率は12モル%であり、全R基中のメトキシ基の含有率は25モル%である。このオルガノポリシロキサンを接着促進剤(C−5)とした。
下記に示す成分を表1に示した質量部で混合して硬化性オルガノポリシロキサン組成物を調製した。これらの硬化性オルガノポリシロキサン組成物の特性、これらの組成物を硬化して得られる硬化物の特性、およびこれらの組成物を用いて作製した表面実装型発光ダイオード(LED)の特性を上記のとおり評価し、それらの結果を表1に示した。
(CH3)2(CH2=CH)SiO[CH3(C6H5)SiO]30Si(CH3)2(CH=CH2)
で表されるメチルフェニルポリシロキサン(平均単位式:R2.06SiO0.96で表され、全R基中のフェニル基の含有率は45モル%である。)
(A−2):粘度15,000mPa・sであり、平均式:
(CH3)2(CH2=CH)SiO[CH3(C6H5)SiO]120Si(CH3)2(CH=CH2)
で表されるメチルフェニルポリシロキサン(平均単位式:R2.02SiO0.99で表され、全R基中のフェニル基の含有率は49モル%である。)
(A−3):質量平均分子量が2,400であり、25℃において白色固体で、トルエン可溶性の平均単位式:
(C6H5SiO3/2)0.75[(CH3)2(CH2=CH)SiO1/2]0.25
で表されるオルガノポリシロキサン(平均単位式:R1.5SiO1.25で表され、全R基中のフェニル基の含有率は50モル%である。)
(A−4):質量平均分子量が7,700であり、25℃における粘度が100,000Pa・sである平均単位式:
(C6H5SiO3/2)0.75[(CH3)2(CH2=CH)SiO1/2]0.10[(CH3)2SiO2/2]0.15
で表されるオルガノポリシロキサン(平均単位式:R1.35SiO1.325で表され、全R基中のフェニル基の含有率は56モル%である。)
(B−1):粘度1.7mPa・sである、式:
[(CH3)2HSiO]3Si(C6H5)
で表されるオルガノポリシロキサン(平均単位式:R1.75H0.75SiO0.75で表され、全R基中のフェニル基の含有率は14モル%である。)
(B−2):粘度4.0mPa・sである、式:
H(CH3)2SiO(C6H5)2SiOSi(CH3)2H
で表されるオルガノポリシロキサン(平均単位式:R2.0H0.67SiO0.67で表され、全R基中のフェニル基の含有率は33モル%である。)
(B−3):質量平均分子量が1,000であり、粘度が750mPa・sである平均単位式:
(C6H5SiO3/2)0.60[H(CH3)2SiO1/2]0.40
で表されるオルガノポリシロキサン(平均単位式:R1.40H0.40SiO1.10で表され、全R基中のフェニル基の含有率は43モル%である。)
(C−1):実施例1で調製した接着促進剤
(C−2):実施例2で調製した接着促進剤
(C−3):実施例3で調製した接着促進剤
(C−4):比較例1で調製した接着促進剤
(C−5):比較例2で調製した接着促進剤
(D−1):白金−1,3−ジビニルテトラメチルジシロキサン錯体
(E−1):2−フェニル−3−ブチン−2−オール
2 LEDチップ
3 インナーリード
4 ボンディングワイヤ
5 硬化性オルガノポリシロキサン組成物の硬化物
Claims (14)
- 平均式:
R1 aSiO(4-a)/2
(式中、R1は、炭素原子数1〜10の置換もしくは非置換のアルキル基、炭素原子数2〜20のアルケニル基、炭素原子数6〜20のアリール基、炭素原子数1〜10のアルコキシ基、およびエポキシ基含有有機基からなる群より選択される基であり、但し、一分子中、前記アルケニル基の含有量は全R1の少なくとも5モル%であり、前記アリール基の含有量は全R1の少なくとも5モル%であり、前記アルコキシ基の含有量は全R1の少なくとも5モル%であり、前記エポキシ基含有有機基の含有量は全R1の少なくとも5モル%であり、aは1.0≦a<4.0を満たす数である。)
で表される接着促進剤。 - 炭素原子数2〜20のアルケニル基の含有量が全R1の5〜50モル%である、請求項1記載の接着促進剤。
- 炭素原子数6〜20のアリール基の含有量が全R1の少なくとも10モル%である、請求項1記載の接着促進剤。
- エポキシ基含有有機基の含有量が全R1の5〜50モル%である、請求項1記載の接着促進剤。
- エポキシ基含有有機基がグリシドキシアルキル基、エポキシシクロヘキシルアルキル基、またはオキシラニルアルキル基である、請求項1記載の接着促進剤。
- (A)平均式:
R2 bSiO(4-b)/2
(式中、R2は炭素原子数1〜10の置換もしくは非置換の一価炭化水素基であり、但し、一分子中、少なくとも2個のR2は脂肪族不飽和結合を有する一価炭化水素基であり、全R2の少なくとも20モル%はアリール基であり、bは0.5≦b≦2.2を満たす数である。)
で表されるオルガノポリシロキサン 100重量部、
(B)平均式:
R3 cHdSiO(4-c-d)/2
(式中、R3は炭素原子数1〜10の置換もしくは非置換の脂肪族不飽和結合を有さない一価炭化水素基であり、cおよびdは、1.0<c<2.2、0.002<d<1、および1.0<c+d<3.0を満たす数である。)
で表されるオルガノハイドロジェンポリシロキサン{(A)成分中の脂肪族不飽和結合を有する一価炭化水素基に対する本成分中のケイ素原子結合水素原子のモル比が0.3〜5となる量}、
(C)平均式:
R1 aSiO(4-a)/2
(式中、R1は、炭素原子数1〜10の置換もしくは非置換のアルキル基、炭素原子数2〜20のアルケニル基、炭素原子数6〜20のアリール基、炭素原子数1〜10のアルコキシ基、およびエポキシ基含有有機基からなる群より選択される基であり、但し、一分子中、前記アルケニル基の含有量は全R1の少なくとも5モル%であり、前記アリール基の含有量は全R1の少なくとも5モル%であり、前記アルコキシ基の含有量は全R1の少なくとも5モル%であり、前記エポキシ基含有有機基の含有量は全R1の少なくとも5モル%であり、aは1.0≦a<4.0を満たす数である。)
で表される接着促進剤 0.01〜50重量部、および
(D)ヒドロシリル化反応用触媒 触媒量
から少なくともなる硬化性オルガノポリシロキサン組成物。 - (A)成分が、
(A1)平均式:
R2 b'SiO(4-b')/2
(式中、R2は炭素原子数1〜10の置換もしくは非置換の一価炭化水素基であり、但し、一分子中、少なくとも2個のR2は脂肪族不飽和結合を有する一価炭化水素基であり、全R2の少なくとも20モル%はアリール基であり、b'は1.9≦b'≦2.2を満たす数である。)
で表されるオルガノポリシロキサン30〜99質量%と
(A2)平均式:
R2 b"SiO(4-b")/2
(式中、R2は前記と同じであり、b"は0.5≦b"≦1.7を満たす数である。)
で表されオルガノポリシロキサン70〜1質量%との混合物である、請求項6記載の硬化性オルガノポリシロキサン組成物。 - (B)成分の一分子中のR3の少なくとも20モル%がアリール基である、請求項6記載の硬化性オルガノポリシロキサン組成物。
- (C)成分中の炭素原子数2〜20のアルケニル基の含有量が、一分子中の全R1の5〜50モル%である、請求項6記載の硬化性オルガノポリシロキサン組成物。
- (C)成分中の炭素原子数6〜20のアリール基の含有量が、一分子中の全R1の少なくとも10モル%である、請求項6記載の硬化性オルガノポリシロキサン組成物。
- (C)成分中のエポキシ基含有有機基の含有量が、一分子中の全R1の5〜50モル%である、請求項6記載の硬化性オルガノポリシロキサン組成物。
- (C)成分中のエポキシ基含有有機基がグリシドキシアルキル基、エポキシシクロヘキシルアルキル基、またはオキシラニルアルキル基である、請求項6記載の硬化性オルガノポリシロキサン組成物。
- 半導体素子が請求項6乃至12のいずれか1項に記載の硬化性オルガノポリシロキサン組成物の硬化物により封止されていることを特徴とする半導体装置。
- 半導体素子が発光素子であることを特徴とする、請求項13記載の半導体装置。
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