JP2007227343A - 基板密着装置及びこれを利用した有機電界発光表示装置の密封方法 - Google Patents

Abstract

【課題】接着される二つの基板を均一な空気圧で密着させることができるようにするプレートを具備することで、二つの基板を均一に密着できるようにした基板密着装置及びこれを利用した有機電界発光表示装置の密封方法を提供する。
【解決手段】一側の空気注入口、前記空気注入口と連通されて注入された空気が排出されるように上部面に形成された複数の排気口、前記複数の排気口を長方形で取り囲むように形成された溝、及び前記溝に挿入されて外圧が加えられない状態で少なくとも一部が前記溝の外部に突き出される弾性部材を備えた載置プレートと、前記載置プレートの下面に装着されて前記載置プレートを支持及び移動させる軸を含んでなり、前記載置プレートの弾性部材上に第１基板を載置させた後、前記軸によって前記載置プレートを上下移動させる。
【選択図】図３ｄ

Description

本発明は基板密着装置及びこれを利用した有機電界発光表示装置の密封方法に関し、より詳細には、接着される二つの基板を均一に密着させることができるようにした基板密着装置及びこれを利用した有機電界発光表示装置の密封方法に関する。

有機電界発光表示装置は、互いに対向する二つの電極の間に有機発光層を位置させてこれら二つの電極に電圧を印加することで、各電極から有機発光層に注入された正孔及び電子が結合して発生された励起分子が基底状態に戻りながら放出されるエネルギーを光で発光させる平板表示装置の一種である。

このような有機電界発光表示装置は、発光効率、輝度及び視野角がすぐれて応答速度が早く、軽量化及び薄膜化をはかることができ、次世代ディスプレイとして注目されている。

ところが、有機電界発光表示装置に具備された有機電界発光ダイオードは、周辺環境から酸素及び水気などが素子内部に流入される場合、電極物質の酸化及び剥離などで素子寿命が短縮され、発光効率が低下されるだけでなく、発光色が変質されうる。

これを防止するために、有機電界発光ダイオードが具備された画素領域は一般的に密封される。例えば、画素領域が形成された蒸着基板上に画素領域と重畳されるように吸湿材及びエポキシが塗布された封止基板を配置させて、二つの基板を密着させた後焼成または紫外線の照射などを通じてエポキシを溶融させた後硬化させることで、二つの基板を接着させて画素領域を密封する。

このとき、二つの基板を接着する過程で均一な力で密着させることが重要であるが、これは二つの基板が均一に密着されない場合相対的に小さい力を受けた部分がまともに密封されないか、密封以後離脱されやすいなどの問題点が発生されうるからである。

しかし、従来は、基板ステージ上に封止基板を載置させた後、画素領域と重畳されないように封止基板の縁にエポキシを塗布し、画素領域が形成された蒸着基板を封止基板の上部に配置して蒸着基板の重さによって二つの基板を密着させるか、あるいは、モーターによって動作される軸やスプリングの力を利用して二つの基板を密着させた。

しかし、蒸着基板の重さのみによって二つの基板を密着させる場合、画素領域と非画素領域の重さが異なる場合もあるし、垂れやスライディング現象などが発生することがあって二つの基板の間が均一に密着されなかった。また、モーターやスプリングの力を利用する場合にもモーターの軸部分の力が他の部分よりも大きく作用することがあるし、スプリングの弾性力もまた偏差があるので二つの基板の間が均一に密着されなかった。

また、吸湿材を具備しないで硝子基板にフリットを塗布して蒸着基板の画素領域を密封するような構造が特許文献１に開示されている。これによれば、溶融されたフリットを硬化させて二つの基板の間を完全に密封させるので、吸湿材を使う必要がなく、さらに効果的に画素領域を保護することができる。

しかし、フリットで画素領域を密封する場合にも画素領域が形成された蒸着基板上にフリットが塗布された封止基板を配置させて二つの基板を密着させる段階で、基板の垂れやスライディング現象などが発生することがあり、整列度が落ちて二つの基板の間が均一に密着されなかった。これによって、二つの基板の間の密封力が均一でなく、相対的に小さい力を受けた部分がまともに密封されないか、密封後離脱されやすいという問題点が発生した。

米国特許公開公報第２００４０２０７３１４号

したがって、本発明の目的は、接着される二つの基板を均一な空気圧で密着させることができるようにするプレートを具備することで、二つの基板を均一に密着できるようにした基板密着装置及びこれを利用した有機電界発光表示装置の密封方法を提供することである。

前記目的を果たすために、本発明の第１側面は、一側の空気注入口、前記空気注入口と連通されて注入された空気が排出されるように上部面に形成された複数の排気口、前記複数の排気口を長方形で取り囲むように形成された溝、及び前記溝に挿入されて外圧が加えられない状態で少なくとも一部が前記溝の外部に突き出される弾性部材を備えた載置プレートと、前記載置プレートの下面に装着されて前記載置プレートを支持及び移動させる軸とを含んでなり、前記載置プレートの弾性部材上に第１基板を載置させた後、前記軸によって前記載置プレートを上下移動させることを特徴とする基板密着装置を提供する。

好ましくは、前記弾性部材は前記空気注入口から注入された空気が前記排気口から排出されるとき形状が復元されて前記載置プレートと前記第１基板の間に密閉された空間を形成する。

さらに、前記第１基板と対向されるように配置される第２基板を支持するための基板ホルダーが含まれる。

また、前記載置プレートの内部に前記空気注入口及び排気口と連結された管が形成される。

また、前記溝は上部が下部より狭く形成される。

また、前記弾性部材はゴムでなる。

本発明の第２側面は、一側の空気注入口、前記空気注入口と連通されて注入された空気が排出されるように一面に形成された複数の排気口、前記複数の排気口を長方形で取り囲むように形成された溝、及び前記溝に挿入されて外圧が加えられない状態で少なくとも一部が前記溝の外部に突き出される弾性部材を備えた第１プレートと、前記第１プレートの他の一面に固定されて、前記第１プレートを支持及び移動させる第１軸と、前記第１プレートと対向されるように位置されて、内部に空気が吸入されるように第１プレートと対向される一面に形成された複数の吸入口、及び前記複数の吸入口と連通されて吸入された空気を排出させるための少なくとも一つの排出口を含む第２プレートと、前記第２プレートの他の一面に固定されて、前記第２プレートを支持する第２軸を含んでなる基板密着装置を提供する。

好ましくは、前記第１軸の移動によって前記第１及び第２プレートの間に位置される第１基板及び第２基板が密着される。

また、前記排出口は空気吸入装置と連結される。

また、前記空気吸入装置は真空ポンプである。

本発明の第３側面は、一側の空気注入口、前記空気注入口と連通される複数の排気口、及び前記複数の排気口を取り囲むように形成された溝に挿入された弾性部材を具備した載置プレート上に、前記弾性部材と重畳されるように第１基板を載置させる段階と、前記第１基板の上部に密封材が形成された第２基板を配置する段階と、前記空気注入口を通じて前記載置プレートと前記第１基板との間に所定の空気圧が維持されるように空気を注入する段階と、前記載置プレートの上下移動によって前記第１及び第２基板を密着させる段階と、前記密封材と対応される領域にレーザまたは赤外線を照射して前記第１及び第２基板を接着させる段階とを含む有機電界発光表示装置の密封方法を提供する。

好ましくは、前記第１基板は画素領域及び前記画素領域の外縁に形成された非画素領域を含み、前記第２基板は前記画素領域及び前記非画素領域の一部と重畳されるように配置する。

また、前記密封材は前記非画素領域と重畳されるように配置する。

また、前記密封材はフリットであることを特徴とする。

また、前記第２基板に前記レーザまたは赤外線を吸収する吸収材を含むフリットペーストを塗布して焼成させた後硬化させて前記フリットを形成する。前記フリットペーストを３００℃ないし７００℃の温度で焼成させる。

また、前記フリットは前記レーザまたは赤外線を吸収して溶融されることで前記第１及び第２基板に接着される。

また、前記第２基板上に前記密封材と対応されるようにパターニングされたマスクを配置する。

また、前記レーザ及び赤外線の波長は８００ｎｍないし１２００ｎｍである。

上述したように、本発明による基板密着装置及びこれを利用した有機電界発光表示装置の密封方法によれば、有機電界発光表示装置の第１及び第２基板が密着されるとき均一な空気圧を加えることで、基板の垂れやスライディング現象を防止して整列された状態を維持しながら第１及び第２基板が均一に密着されることができる。これによって、二つの基板の間を均一に密封しながら密封力を高めることができる。

以下、本発明の属する技術分野において通常の知識を有する者が本発明を容易に実施することができる好ましい実施形態を添付された図１ないし図７を参照して詳しく説明する。

図１は、本発明の第１実施形態による基板密着装置を示す断面図である。そして、図２は図１に示された載置プレートを示す平面図である。

図１及び図２を参照すれば、本発明の第１実施形態による基板密着装置１００は、プレート（載置プレート）１１０と、載置プレート１１０の一面に固定された軸１２０を具備する。

載置プレート１１０は、内部に空気などを内包することができる空間を含むように形成されて、載置プレート１１０の上部面には空気などを外部に排出できる複数の排気口１１６が形成される。ここで、単に載置プレート１１０の内部に空間を形成したが、載置プレート１１０内部には空気注入口１１８及び排気口１１６を連結する管が形成されうる。

そして、載置プレート１１０の一側には排気口１１６と連通されて、載置プレート１１０内部に空気などを注入するための空気注入口１１８が形成される。すなわち、載置プレート１１０は、空気注入口１１８を通じて内部に注入された空気が上部面に形成された複数の排気口１１６を通じて排出されるように構成される。

また、排気口１１６が形成された載置プレート１１０の一面には排気口１１６を長方形で取り囲む溝１１２が形成されて、この溝１１２にはゴムのように弾性を持つ材質でなる弾性部材１１４が挿入される。ここで、弾性部材１１４は外圧が加えられない状態で少なくとも一部が溝１１２の外部に突き出されて、溝１１２の上部は下部より狭く形成されて弾性部材１１４が簡単に離脱されないようにする。このとき、弾性部材１１４は多様な形状に形成されうるが、例えば、弾性部材１１４はチューブ（断面リング）形状に形成されうる。

軸１２０は、載置プレート１１０の排気口１１６が形成された面と反対側の面、すなわち、下部面に固定されて載置プレート１１０を支持及び上下移動させる。

このような基板密着装置１００は、載置プレート１１０の排気口１１６が形成された面に基板(図示せず)が載置されたとき、基板に均一な圧力をかけて基板の平坦度を維持しながら軸１２０によって載置プレート１１０を上下移動させる。したがって、載置プレート１１０は有機電界発光表示装置を密封するとき二つの基板を密着させるのに利用することができ、これについての詳細な説明は後述する。

図３ａないし図３ｅは、図１に示された基板密着装置を利用して有機電界発光表示装置を密封する方法を示す断面図である。図３ａないし図３ｅではフリットで密封する有機電界発光表示装置の密封方法を示したが、本発明はこれに限定されるものではない。

図３ａないし図３ｅを参照すれば、有機電界発光表示装置を密封するためには、まず、載置プレート１１０上に、画素領域３１５及び画素領域３１５の外縁に形成された非画素領域を含む第１基板３１０を載置プレート１１０の弾性部材１１４と重畳されるように載置させる。すると、第１基板３１０の重さによって載置プレート１１０の溝１１２に挿入されていた弾性部材１１４は上部が押された形状に変形される(図３ａ)。

以後、図示されないロボットアームなどを利用して、縁に密封材３２５が形成された第２基板３２０を第１基板３１０の上部に配置した後、基板ホルダー３４０などで固定及び支持する。

密封材３２５は多様に設定されうるが、本実施形態では密封材３２５がフリットの場合について説明する。フリットは、本来添加剤が含まれたパウダー形態の硝子原料を意味するが、硝子技術分野では通常的にフリットが溶融されて形成された硝子を同時に意味したりするので、本明細書では両者をすべて意味することにする。

このようなフリットは、硝子材料と、レーザを吸収する吸収材と、熱膨脹係数を減少させるためのフィラー(filler)を含んで構成されて、フリットペースト状態で第２基板３２０に塗布された後焼成されてペーストに含まれた水気や有機バインダーが除去された後硬化される。

ここで、フリットペーストは硝子粉末に酸化物粉末及び有機物を添加してゲル状態に作ったもので、フリットを焼成する温度は３００℃ないし７００℃範囲で設定することが好ましい。

このとき、フリットを焼成する温度が３００℃以下の場合には焼成工程を進行しても有機物がよく消滅しない。そして、焼成温度が７００℃以上の場合には焼成温度の増加に対応してレーザビームの強さも比例して大きくならなければならないので焼成温度を７００℃以上に高めることは好ましくない。

第２基板３２０は画素領域３１５及び非画素領域の少なくとも一部と重畳されるように第１基板３１０の上部に配置されて、このときフリット３２５は非画素領域と重畳されるように位置される。ただし、フリット３２５によって第１及び第２基板３１０、３２０を接着するからフリット３２５が塗布された面が第１基板３１０に向かうように配置される。そして、第２基板３２０上にはフリット３２５部分が露出するようにパターニングされたマスク３３０が配置される。

ここで、第１及び第２基板３１０、３２０が密着されていない状態で第２基板３２０上にマスク３３０を配置したが、マスク３３０は第１及び第２基板３１０、３２０が密着された以後配置することも可能である。このとき、マスク３３０は所定の金属パターンが形成された石英基板でなることも可能である。この場合、マスク３３０は所定の重さを持って、フレームなどによって固定されうる(図３ｂ)。

その後、空気注入口１１８を通じて空気を載置プレート１１０内部に注入させれば、内部の空気が排気口１１６を通じて第１基板３１０の方に噴射される。すると、噴射される空気の圧力によって載置プレート１１０と第１基板３１０の間に空間が形成される。このとき、空間が形成されることによって形状が復元された弾性部材１１４によって載置プレート１１０と第１基板３１０の間には密閉された空間が形成されるので、第１基板３１０の全体面は均一な空気圧によって支持される。

ここで、空気を注入するときには弾性部材１１４と第１基板３１０との接触状態が維持されるように所定の圧力で空気を注入する。このような状態で、軸１２０を移動させて載置プレート１１０を上下移動させ、載置プレート１１０の上下移動によって第１基板３１０と第２基板３２０を密着させる(図３ｃ)。

第１及び第２基板３１０、３２０が均一に密着された状態で、マスク３３０の上部からレーザまたは赤外線を照射してフリット３２５を溶融させる。このとき、照射されるレーザまたは赤外線の波長は８００ｎｍないし１２００ｎｍ(より好ましくは８１０ｎｍ)、ビームサイズ(Beam size)は直径１.０ｎｍないし３.０ｎｍ、出力電力は２５ワットないし４５ワットになることが好ましい(図３ｄ)。

その後、溶融されたフリット３２５が硬化されながら第１及び第２基板３１０、３２０に接着されて画素領域３１５が密封される。ここで、フリット３２５は第１及び第２基板３１０、３２０の間を完全に密封して画素領域３１５に酸素及び水気などが流入されることを効果的に遮断する(図３ｅ)。

前述の有機電界発光表示装置の密封方法では、フリット３２５を第２基板３２０に塗布して第１及び第２基板３１０、３２０を接着させたが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、フリット３２５は画素領域３１５が形成された第１基板３１０の非画素領域に塗布されることも可能であり、また、第１及び第２基板３１０、３２０の両方に塗布されて第１及び第２基板３１０、３２０を接着させることもできる。

一方、図３ａないし図３ｅでは便宜上個別の有機電界発光表示装置を密封する方法を示したが、実際には図４に示されたように複数の有機電界発光表示装置セルがマザー基板単位に密封されることも可能である。

図４を参照すれば、画素領域４１５が具備された複数の有機電界発光表示装置が形成された第１基板４１０と、非画素領域と対応されるようにフリット４２５が形成された第２基板４２０は、前述の第１実施形態による基板密着装置１００によって均一に密着されて密封される。

その後、密封された有機電界発光表示装置はスクライビングされて個々の有機電界発光表示装置に分離される。第１実施形態による基板密着装置１００によって有機電界発光表示装置が密封される方法は、図３ａないし図３ｅで説明したので、これに対する詳細な説明は略する。

図５は、本発明の第２実施形態による基板密着装置を示す断面図である。そして、図６は図５に示された第２プレートを示す平面図である。

図５及び図６を参照すれば、本発明の第２実施形態による基板密着装置５００は、第１軸５２０に固定された第１プレート５１０と、第１プレート５１０に対向されるように位置された第２プレート５３０を具備する。

第１プレート５１０は、内部に空気などを内包することができる空間を含むように形成されて、第１プレート５１０の一面、例えば、第２プレート５３０と対向される一面には空気などを外部に排出することができる複数の排気口５１６が形成される。そして、第１プレート５１０の一側には排気口５１６と連通されて第１プレート５１０内部に空気などを注入するための空気注入口５１８が形成される。

すなわち、第１プレート５１０は空気注入口５１８を通じて内部に注入された空気が一面に形成された複数の排気口５１６を通じて排出されるように構成される。また、排気口５１６が形成された第１プレート５１０の一面には排気口５１６を長方形で取り囲むように溝５１２が形成されて、この溝５１２にはゴムのように弾性を持つ材質でなる弾性部材５１４が挿入される。

ここで、弾性部材５１４の少なくとも一部は外圧が加えられていない状態で溝５１２の外部に突き出されるように形成されて、溝５１２の図５における下部は上部より狭く形成されて弾性部材５１４が簡単に離脱されないようにする。弾性部材５１４は多様な形状に形成されうるし、例えば、チューブ（断面リング）形状に形成されうる。

このような第１プレート５１０はその下部に有機電界発光表示装置の第１及び第２基板が配置されたとき、排気口５１６が形成された面と反対側の面に位置された第１軸５２０によって上下移動しながら基板に所定の均一な空気圧を加えて基板の平坦度を維持しながら第１及び第２基板を均一に密着させる。

第２プレート５３０は第２軸５３２によって支持されて、内部に空気などが移動できる通路を含むように形成されて、第２プレート５３０の一面、例えば、第１プレート５１０に対向される一面には空気を吸いこむことができる複数の吸入口５３５が形成される。

吸入口５３５はこれと連通される排出口を通じて第２プレート５３０の一側に位置された真空ポンプなどの空気吸入装置５３１と連結される。これによって、吸入口５３５を通じて第２プレート５３０の内部に吸入された空気は排出口を通じて空気吸入装置５３１に排出される。

このような第２プレート５３０の上部に基板(図示せず)が載置されるとき、第２プレート５３０と基板の間の空気は第２プレート５３０の吸入口５３５を通じて空気吸入装置５３１に吸入されながら、基板が第２プレート５３０に完全に密着されて固定される。

図７は、図５に示された基板密着装置を利用して有機電界発光表示装置を密封する方法を示す断面図である。図７ではエポキシで有機電界発光表示装置の第１及び第２基板５５０、５４０を密封する方法を示したが、本発明はこれに限定されるものではない。

図７を参照すれば、第２プレート５３０上に縁にエポキシ５４５が塗布された第２基板５４０を載置させて、吸入口５３５を通じて空気を吸いこむことで第２基板５４０を固定させた後、画素領域５５５が形成された第１基板５５０を第２基板５４０の上部に配置させて、第１プレート５１０内部に空気を注入して第１プレート５１０と第１基板５５０の間に一定の空気圧を維持させることで第１及び第２基板５５０、５４０を均一に密着させる。

第１及び第２基板５５０、５４０が均一に密着されれば、焼成または紫外線の照射などを通じてエポキシ５４５を溶融させた後硬化させることで、二つの基板５５０、５４０を接着させて画素領域５５５を密封する。ここで、第１プレート５１０によって第１基板５５０と密着プレート５１０の間の空気圧を一定に維持する方法は第１実施形態で説明したので、これに対する詳細な説明は略する。

前述のように本発明による基板密着装置１００、５００は、排気口１１６、５１６を取り囲むように形成された溝１１２、５１２に挿入された弾性部材１１４、５１４と、第１基板３１０、５５０が配置される面に形成された複数の排気口１１６、５１６と、空気注入口１１８、５１８が具備されたプレート１１０、５１０を具備する。

これによって、本発明では有機電界発光表示装置の第１及び第２基板３１０、３２０、５５０、５４０が密着されるとき均一な空気圧を加えることで、基板の平坦度を高めて基板の垂れやスライディング現象を防止して整列された状態を維持しながら第１及び第２基板３１０、３２０、５５０、５４０が均一に密着されるようにする。

また、複数の吸入口５３５が形成された第２プレート５３０を具備することで、第２基板５４０が第２プレート５３０上に載置されるとき、第２基板５４０が第２プレート５３０上に完全に密着されてスライディング現象なしに安定的に第２基板５４０を固定することができる。これによって、整列された状態を維持しながら二つの基板の間を均一に密封し、密封力を高めることができる。

以上、本発明の好ましい実施形態を挙げて詳細に説明したが、本発明は、上記の実施形態に限定されるのではなく、本発明の技術的思想の範囲内で当分野における通常の知識を有する者によって多様に変形されることができる。

本発明の第１実施形態による基板密着装置を示す断面図である。 図１に示された載置プレートを示す平面図である。 図１に示された基板密着装置を利用して有機電界発光表示装置を密封する方法を示す断面図である。 図１に示された基板密着装置を利用して有機電界発光表示装置を密封する方法を示す断面図である。 図１に示された基板密着装置を利用して有機電界発光表示装置を密封する方法を示す断面図である。 図１に示された基板密着装置を利用して有機電界発光表示装置を密封する方法を示す断面図である。 図１に示された基板密着装置を利用して有機電界発光表示装置を密封する方法を示す断面図である。 図１に示された基板密着装置を利用してマザー基板単位で有機電界発光表示装置を密封する方法を示す断面図である。 本発明の第２実施形態による基板密着装置を示す断面図である。 図５に示された第２プレートを示す平面図である。 図５に示された基板密着装置を利用して有機電界発光表示装置を密封する方法を示す断面図である。

符号の説明

１００、５００ 基板密着装置
１１０、５１０、５３０ プレート
１１４、５１４ 弾性部材
１１６、５１６ 排気口
１１８、５１８ 空気注入口
１２０、５２０、５３２ 軸
３１０、４１０、５５０ 第１基板
３２０、４２０、５４０ 第２基板
３２５、４２５ フリット
３３０ マスク
５３１ 空気吸入装置
５３５ 吸入口
５４５ エポキシ

Claims (19)

1. 一側の空気注入口、前記空気注入口と連通されて注入された空気が排出されるように上部面に形成された複数の排気口、前記複数の排気口を長方形で取り囲むように形成された溝、及び前記溝に挿入されて外圧が加えられない状態で少なくとも一部が前記溝の外部に突き出される弾性部材を備えたプレートと、
   前記プレートの下面に装着されて前記プレートを支持及び移動させる軸とを含んでなり、
   前記プレートの弾性部材上に第１基板を載置させた後、前記軸によって前記プレートを上下移動させることを特徴とする基板密着装置。
2. 前記弾性部材は、前記空気注入口から注入された空気が前記排気口から排出されるとき形状が復元されて前記プレートと前記第１基板との間に密閉された空間を形成することを特徴とする請求項１に記載の基板密着装置。
3. 前記第１基板と対向されるように配置される第２基板を支持するための基板ホルダーがさらに含まれることを特徴とする請求項１に記載の基板密着装置。
4. 前記プレートの内部に前記空気注入口及び排気口と連結された管が形成されたことを特徴とする請求項１に記載の基板密着装置。
5. 前記溝は、上部が下部より狭く形成されたことを特徴とする請求項１に記載の基板密着装置。
6. 前記弾性部材は、ゴムでなることを特徴とする請求項１に記載の基板密着装置。
7. 一側の空気注入口、前記空気注入口と連通されて注入された空気が排出されるように一面に形成された複数の排気口、前記複数の排気口を長方形で取り囲むように形成された溝、及び前記溝に挿入されて外圧が加えられない状態で少なくとも一部が前記溝の外部に突き出される弾性部材を備えた第１プレートと、
   前記第１プレートの他の一面に固定されて、前記第１プレートを支持及び移動させる第１軸と、
   前記第１プレートと対向されるように位置されて、内部に空気が吸入されるように第１プレートと対向される一面に形成された複数の吸入口、及び前記複数の吸入口と連通されて吸入された空気を排出させるための少なくとも一つの排出口を備えた第２プレートと、
   前記第２プレートの他の一面に固定されて、前記第２プレートを支持する第２軸を含んでなることを特徴とする基板密着装置。
8. 前記第１軸の移動によって前記第１及び第２プレートの間に位置される第１基板及び第２基板が密着されることを特徴とする請求項７に記載の基板密着装置。
9. 前記排出口は、空気吸入装置と連結されたことを特徴とする請求項７に記載の基板密着装置。
10. 前記空気吸入装置は、真空ポンプであることを特徴とする請求項７に記載の基板密着装置。
11. 一側の空気注入口、前記空気注入口と連通される複数の排気口、及び前記複数の排気口を取り囲むように形成された溝に挿入された弾性部材を具備したプレート上に、前記弾性部材と重畳されるように第１基板を載置させる段階と、
    前記第１基板の上部に、密封材が形成された第２基板を配置する段階と、
    前記空気注入口を通じて前記プレートと前記第１基板との間に所定の空気圧が維持されるように空気を注入する段階と、
    前記プレートの上下移動によって前記第１及び第２基板を密着させる段階と、
    前記密封材と対応される領域にレーザまたは赤外線を照射して前記第１及び第２基板を接着させる段階と、
    を含むことを特徴とする有機電界発光表示装置の密封方法。
12. 前記第１基板は、画素領域及び前記画素領域の外縁に形成された非画素領域を含み、前記第２基板は、前記画素領域及び前記非画素領域の一部と重畳されるように配置することを特徴とする請求項１１に記載の有機電界発光表示装置の密封方法。
13. 前記密封材は、前記非画素領域と重畳されるように配置することを特徴とする請求項１２に記載の有機電界発光表示装置の密封方法。
14. 前記密封材は、フリットであることを特徴とする請求項１１に記載の有機電界発光表示装置の密封方法。
15. 前記第２基板に前記レーザまたは赤外線を吸収する吸収材を含むフリットペーストを塗布して焼成させた後、硬化させて前記フリットを形成することを特徴とする請求項１４に記載の有機電界発光表示装置の密封方法。
16. 前記フリットペーストを３００℃ないし７００℃の温度で焼成させることを特徴とする請求項１５に記載の有機電界発光表示装置の密封方法。
17. 前記フリットは、前記レーザまたは赤外線を吸収して溶融されることで前記第１及び第２基板に接着されることを特徴とする請求項１４に記載の有機電界発光表示装置の密封方法。
18. 前記第２基板上に前記密封材と対応されるようにパターニングされたマスクを配置することを特徴とする請求項１１に記載の有機電界発光表示装置の密封方法。
19. 前記レーザ及び赤外線の波長は、８００ｎｍないし１２００ｎｍであることを特徴とする請求項１１に記載の有機電界発光表示装置の密封方法。

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