JP2006331501A - 半導体記憶装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】小型化可能な半導体記憶装置を提供すること。
【解決手段】フローティングゲートと制御ゲートとを含むメモリセルMCと、複数の前記メモリセルを備えたメモリセルアレイ26と、同一行の前記メモリセルMCの前記制御ゲートを接続するワード線WLと、前記ワード線WLを選択するロウデコーダ21a、21bと、前記ワード線WL毎に設けられ、ドレインが前記ワード線WLに接続され、ソースに第1電圧BD1が印加され、非選択ワード線WLに前記第1電圧BD1を転送する第1MOSトランジスタ43と、前記ワード線WL毎に設けられ、ドレインが前記ワード線WLに接続され、ソースに第2電圧が印加され、選択ワード線WLに前記第2電圧を転送する第2MOSトランジスタ44とを具備し、前記第1MOSトランジスタ43のバックゲートバイアスVPW2は、前記ソースの電位とは独立して制御される。
【選択図】図5
【解決手段】フローティングゲートと制御ゲートとを含むメモリセルMCと、複数の前記メモリセルを備えたメモリセルアレイ26と、同一行の前記メモリセルMCの前記制御ゲートを接続するワード線WLと、前記ワード線WLを選択するロウデコーダ21a、21bと、前記ワード線WL毎に設けられ、ドレインが前記ワード線WLに接続され、ソースに第1電圧BD1が印加され、非選択ワード線WLに前記第1電圧BD1を転送する第1MOSトランジスタ43と、前記ワード線WL毎に設けられ、ドレインが前記ワード線WLに接続され、ソースに第2電圧が印加され、選択ワード線WLに前記第2電圧を転送する第2MOSトランジスタ44とを具備し、前記第1MOSトランジスタ43のバックゲートバイアスVPW2は、前記ソースの電位とは独立して制御される。
【選択図】図5
Description
この発明は、半導体記憶装置に関する。例えば、フローティングゲートとコントロールゲートとを有するMOSトランジスタを含む半導体メモリに関する。
従来から、不揮発性半導体メモリとして、NOR型フラッシュメモリやNAND型フラッシュメモリが知られており、広く使用されている。また近年では、NOR型フラッシュメモリとNAND型フラッシュメモリの両者の長所を兼ね備えたフラッシュメモリが提案されている(例えば非特許文献1参照、以下2Trフラッシュメモリと呼ぶ)。
上記フラッシュメモリは、動作時において、マトリクス状に配置されたメモリセルのワード線がロウデコーダによって選択される。そして、ロウデコーダの構成に関する種々の提案がなされている(例えば特許文献1参照)。
しかしながら上記従来のロウデコーダであると、ロウデコーダのサイズが大きく、フラッシュメモリの小型化を阻む原因ともなっていた。
Wei-Hua Liu 著、"A 2-Transistor Source-select(2TS) Flash EEPROM for 1.8V-Only Application"、Non-Volatile Semiconductor Memory Workshop 4.1、1997年 特開2000−49312号公報
Wei-Hua Liu 著、"A 2-Transistor Source-select(2TS) Flash EEPROM for 1.8V-Only Application"、Non-Volatile Semiconductor Memory Workshop 4.1、1997年
この発明は上記事情に鑑みてなされたもので、その目的は、小型化可能な半導体記憶装置を提供することにある。
この発明の一態様に係る半導体記憶装置は、フローティングゲートと、前記フローティングゲート上に形成された制御ゲートとを備えたMOSトランジスタを含む複数のメモリセルと、マトリクス状に配置された前記メモリセルを備えたメモリセルアレイと、同一行にある前記メモリセルの前記MOSトランジスタの前記制御ゲートを共通接続するワード線と、前記ワード線を選択するためのロウアドレス信号をデコードするロウデコーダと、前記ワード線毎に設けられ、ドレインが前記ワード線に接続され、ソースに第1電圧が印加され、前記ロウデコーダによって非選択とされた前記ワード線に前記第1電圧を転送する第1MOSトランジスタと、前記ワード線毎に設けられ、ドレインが前記ワード線に接続され、ソースに第2電圧が印加され、前記ロウデコーダによって選択された前記ワード線に前記第2電圧を転送する第2MOSトランジスタとを具備し、前記第1MOSトランジスタのバックゲートバイアスは、該第1MOSトランジスタの前記ソースの電位とは独立して制御される。
本発明によれば、小型化可能な半導体記憶装置を提供出来る。
以下、この発明の実施形態を図面を参照して説明する。この説明に際し、全図にわたり、共通する部分には共通する参照符号を付す。
この発明の第1の実施形態に係る半導体記憶装置について図1を用いて説明する。図1は、本実施形態に係るLSIのブロック図である。図示するように、LSI10は4つメモリコア部11〜14、アドレスバッファ15、制御部16、書き込み回路17、センスアンプ18、ブロックデコーダ19、電圧発生回路20、グローバルロウデコーダ21a、21b、グローバルカラムゲート22a、22b、ローカルカラムゲート駆動部23a、23b、グローバルカラムゲート駆動部24、及びカラムデコーダ25を備えている。
メモリコア部11〜14はNOR型のフラッシュメモリセルを備えており、それぞれ同一の構成とされている。各メモリコア部11〜14は、メモリセルアレイ26、ローカルロウデコーダ27、ローカルカラムゲート28、及びウェルデコーダ29を備えている。
アドレスバッファ15は、外部からアドレス信号を受けて保持する。制御部16は、LSI10の全体的な制御を行う。書き込み回路17は、外部から書き込みデータを受け、メモリセルにデータを書き込む。センスアンプ18は、メモリセルから読み出されたデータをセンスする。ブロックデコーダ19は、いずれかのメモリコア部11〜14を選択して電圧を供給する。電圧発生回路20はチャージポンプ回路を備えており、外部から供給される電圧Vcc1に基づいて正電圧及び負電圧を発生する。
図2はメモリセルアレイ26のブロック図である。図示するようにメモリセルアレイ26はマトリクス状に配置された複数のメモリセルMC00〜MCmnを備えている。メモリセルMC00〜MCmnの各々は、半導体基板上にゲート絶縁膜を介在して形成されたフローティングゲートと、フローティングゲート状にゲート間絶縁膜を介在して形成された制御ゲートとを備えている。同一行に配置されたメモリセルの制御ゲートは、ローカルワード線WL0〜WLmのいずれかに共通接続される。同一列に配置されたメモリセルのドレインは、ローカルビット線BL0〜BLnのいずれかに共通接続される。メモリセルのソースはソース線SLに共通接続される。
ローカルカラムゲート28は、ローカルビット線のいずれかを選択して、グローバルビット線GBLに接続する。メモリコア部11、13にそれぞれ配置されたローカルカラムゲート28は、グローバルビット線GBLを介してグローバルカラムゲート22aに接続される。このグローバルカラムゲート22aは、グローバルビット線GBLを選択する。同様に、メモリコア部12、14にそれぞれ配置されたローカルカラムゲート28は、グローバルビット線GBLを介してグローバルカラムゲート22bに接続される。グローバルカラムゲート22bはグローバルビット線GBLを選択する。メモリコア部11、12に配置されたローカルカラムゲート28は、配線L1を介してそれぞれローカルカラムゲート駆動部23aに接続される。ローカルカラムゲート駆動部23aは、アドレスバッファ15から供給されたカラムアドレスに従って、メモリコア部11、13に配置されたローカルカラムゲート28を駆動する。メモリコア部13、14に配置されたローカルカラムゲート28は、配線L2を介してローカルカラムゲート駆動部23bに接続される。ローカルカラムゲート駆動部23bは、アドレスバッファ15から供給されるカラムアドレス信号に応じて、メモリコア部13、14に配置されたローカルカラムゲート28を駆動する。更にグローバルカラムゲート22a、22bは、配線L3を介してグローバルカラムゲート駆動部24に接続される。グローバルカラムゲート駆動部24は、アドレスバッファ15から供給されるカラムアドレス信号に応じて、グローバルカラムゲート22a、22bのいずれかを選択して駆動する。ローカルカラムゲート駆動部23a、23b、グローバルカラムゲート駆動部24は、カラムデコーダ25に接続される。カラムデコーダ25はアドレスバッファ15から供給されるカラムアドレス信号に応じて、ローカルカラムゲート駆動部23a、23b、グローバルカラムゲート駆動部24のいずれかを駆動する。
グローバルカラムゲート22a、22bは、データ線DLを介して書き込み回路17に接続されている。データの書き込み時、グローバルカラムゲート22a、22bは、カラムデコーダ25及びグローバルカラムゲート駆動部24により選択的に駆動され、書き込み回路17からのデータをローカルカラムゲート駆動部23aまたは23bにより選択されたローカルカラムゲート28に供給する。またデータの読み出し時、グローバルカラムゲート22a、22bは、選択されたメモリセルアレイ26のメモリセルからローカルカラムゲート28に読み出されたデータをセンスアンプ18に供給する。
図3はグローバルビット線の1本に接続されたメモリセルアレイ26とローカルカラムゲート28の構成を示している。図示するようにローカルカラムゲート28は、複数のnチャネルMOSトランジスタ31〜34を備えている。MOSトランジスタ31〜34の電流経路の一端はグローバルビット線GBLに接続されている。また電流経路の他端はローカルビット線BL0〜BL3にそれぞれ接続され、各ゲートにはローカルカラムゲート駆動部23aまたは23bから出力された選択信号CA0〜CA3が供給される。MOSトランジスタ31〜34は、選択信号CA0〜CA3に応じて導通され、選択されたローカルビット線をグローバルビット線GBLに接続する。なお図3の例であると、ローカルカラムゲート28はMOSトランジスタ31〜34を備えており、4本のローカルビット線BL毎に1本のグローバルビット線GBLが設けられている。従って、ローカルビット線BLの本数を(n+1)本とすると、グローバルビット線GBLは(n+1)/4本である。しかしこれは一例に過ぎず、例えば8本のローカルビット線毎に1本のグローバルビット線を設けても良いし、または2本のローカルビット線毎に1本のグローバルビット線を設けても良いし、適宜変更出来る。
図4は、グローバルカラムゲート22a、22bの構成を示している。グローバルカラムゲート22a、22bは、複数のnチャネルMOSトランジスタ35〜38を備えている。MOSトランジスタ35〜38の電流経路の一端は、データ線DLを介して書き込み回路17及びセンスアンプ18に接続される。MOSトランジスタ35〜38の電流経路の他端はグローバルビット線GBL0〜GBL3にそれぞれ接続され、各ゲートにはグローバルカラムゲート駆動部24から出力された選択信号CA4〜CA7が供給されている。MOSトランジスタ35〜38は、選択信号CA4〜CA7に応じて導通され、グローバルビット線GBL0〜GBL3が選択される。なお図4はグローバルビット線GBLが4本の場合を示しているが、その本数はこれに限定されることなく、グローバルビット線の数に応じてMOSトランジスタを設ければ良い。
図1に戻って説明を続ける。
ウェルデコーダ29は、メモリセルアレイ26が形成されているウェル領域に電圧を供給する。
ウェルデコーダ29は、メモリセルアレイ26が形成されているウェル領域に電圧を供給する。
ローカルロウデコーダ27は、アドレスバッファ15から供給されるロウアドレス信号に応じてローカルワード線WLを選択する。メモリコア部11、12にそれぞれ配置されたローカルロウデコーダ21は、第1グローバルワード線GWL1及び第2グローバルワード線GWL2を介してグローバルロウデコーダ21aに接続されている。このグローバルロウデコーダ21aは、アドレスバッファ15から供給されるアドレス信号に応じてメモリコア部11のローカルロウデコーダ27、またはメモリコア部12のローカルロウデコーダ27を選択する。同様に、メモリコア部13、14にそれぞれ配置されたローカルロウデコーダ27は、第1グローバルワード線GWL1及び第2グローバルワード線GWL2を介してグローバルロウデコーダ21bに接続されている。グローバルロウデコーダ21bは、アドレスバッファ15から供給されるアドレス信号に応じてメモリコア部13のローカルロウデコーダ27、またはメモリコア部14のローカルロウデコーダ27を選択する。
図5はグローバルロウデコーダ21a及びメモリコア部11、12の一部領域の回路図である。図示するように、グローバルロウデコーダ21aは、ロウアドレスデコード回路40、45及びレベルシフタ41を備えている。ロウアドレスデコード回路40はローカルワード線WL0〜WLm毎に設けられたNANDゲートであり、アドレスバッファ15から与えられるロウアドレス信号をデコードする。そして、(m+1)個のロウアドレスデコード回路40の出力が、それぞれ第2グローバルワード線GWL2−0〜GWL2−mに出力される。第2グローバルワード線GWL2−0〜GWL2−mは、メモリコア部11、12で共通に使用される。ロウアドレス信号に一致する第2グローバルワード線に対応するロウアドレスコード回路40は“L”レベルを出力し、一致しない第2グローバルワード線に対応するロウアドレスコード回路40は“H”レベルを出力する。
ロウアドレスデコード回路45は、2本のローカルワード線WLにつき1個、換言すれば、2本の第2グローバルワード線GWL2につき1個設けられたANDゲートである。すなわちロウアドレスデコード回路45は、グローバルワード線GWL2−0、GWL2−2、GWL2−4、…に対応して配置される。ロウアドレスデコード回路45はロウアドレス信号をデコードする。そしてロウアドレス信号に一致する場合に“H”レベルを出力し、不一致の場合に“L”レベルを出力する。
レベルシフタ41はロウアドレスデコード回路45毎に設けられる。そして対応するロウアドレスデコード回路45の出力を反転させてレベルシフトした上で、第1グローバルワード線GWL1−0〜GWL((m/2)−1)に出力する。第1グローバルワード線GWL1−0〜GWL((m/2)−1)は、メモリコア部11、12で共通に使用される。
ローカルロウデコーダ27は、ローカルワード線WL0〜WLm毎に設けられたスイッチ群42を備えている。スイッチ群42の各々は、nチャネルMOSトランジスタ43及びpチャネルMOSトランジスタ44を備えている。nチャネルMOSトランジスタ43のゲートは対応する第2グローバルワード線GWL2−0〜GWL2−mのいずれかに接続され、ドレインは対応するローカルワード線WL0〜WLmのいずれかに接続され、ソースは第1ブロックデコード配線BD1に接続されている。pチャネルMOSトランジスタ44のゲートは対応する第1グローバルワード線GWL1−0〜GWL((m/2)−1)のいずれかに接続され、ドレインは対応するローカルワード線WL0〜WLmのいずれかに接続され、ソースは第2ブロックデコード配線BD2−0、BD2−1のいずれかに接続されている。
上記構成のローカルロウデコーダ27において、ローカルワード線WL0〜WLmのそれぞれに対応したスイッチ群42には、第2グローバルワード線GWL2−0〜GWL2−mがそれぞれ接続される。また2本のローカルワード線WLに対応したスイッチ群42毎に第1グローバルワード線GWL1−0〜GWL((m/2)−1)が設けられている。すなわち、ローカルワード線WL0、WL1に対応した2つのスイッチ群42に第1グローバルワード線GWL1−0が接続され、ローカルワード線WL2、WL3に対応した2つのスイッチ群42に第1グローバルワード線GWL1−1が接続され、ローカルワード線WL4、WL5に対応した2つのスイッチ群42に第1グローバルワード線GWL1−2が接続される。なお、第1ブロックデコード配線BD1及び第2ブロックデコード配線BD2−0、BD2−1には、例えばブロックデコーダ19によって電圧が与えられる。またnチャネルMOSトランジスタ43のウェル電位は、そのソース電位とは別個に与えることが可能であり、ブロックデコーダ19から与えられる。pチャネルMOSトランジスタ44も同様であり、そのウェル電位はソース電位と別個に与えることが可能であり、ブロックデコーダ19から与えられる。上記ではメモリコア部11、12関してのみ説明したが、メモリコア部13、14については同様の構成である。
図6はレベルシフタ41の回路図である。図示するようにレベルシフタ41は、pチャネルMOSトランジスタ50、51、nチャネルMOSトランジスタ52〜55、及びインバータ56を備えている。MOSトランジスタ50のソースは電源電位に接続され、ドレインはMOSトランジスタ52のドレイン及びMOSトランジスタ51のゲートに接続され、ゲートはMOSトランジスタ51、53のドレインに接続されている。MOSトランジスタ51のソースは電源電位に接続されている。MOSトランジスタ52、53のソースはそれぞれMOSトランジスタ54、55のドレインに接続され、ゲートには2.5V(2×Vref)が印加されている。MOSトランジスタ54、55は、MOSトランジスタ50〜53よりもゲート絶縁膜の薄い低耐圧MOSトランジスタであり、ソースが接地電位に接続されている。そして、MOSトランジスタ54のゲートがレベルシフタ41の入力端子INとなり、信号が入力される。MOSトランジスタ55のゲートには、入力端子INへの入力信号がインバータ56で反転された信号が入力される。またMOSトランジスタ50のドレインとMOSトランジスタ52のドレインとの接続ノードが、レベルシフタ41の出力端子OUTとなる。
レベルシフタ41には、図7の構成を用いても良い。図示するように、図6の構成においてMOSトランジスタ52、53を廃し、MOSトランジスタ54、55のドレインがそれぞれMOSトランジスタ50、51のドレインに接続されると共に、MOSトランジスタ54、55として高耐圧MOSトランジスタを用いている。
図8は、グローバルロウデコーダ21a、ローカルロウデコーダ27、及びメモリセルアレイ26の断面構造を簡略に示す図である。図8はメモリコア部11、12に関するものであるが、メモリコア部13、14に関しても同様である。
図示するようにp型半導体基板60の表面内に、互いに離隔されたn型ウェル領域61〜65が形成されている。半導体基板60上及びp型ウェル領域65上には、ロウアドレスデコード回路40を形成するためのMOSトランジスタが設けられる。このMOSトランジスタは、ローカルロウデコーダ27を形成するためのMOSトランジスタよりもゲート絶縁膜の薄い低耐圧MOSトランジスタである。
n型ウェル領域61、63表面の一部領域内にはそれぞれp型ウェル領域66、68が形成されている。n型ウェル領域61、63及びp型ウェル領域66、68はローカルロウデコーダ27を形成するために使用される。そして、n型ウェル領域61、64上にMOSトランジスタ44が形成され、p型ウェル領域66、68上にMOSトランジスタ43が形成される。
n型ウェル領域62、64表面の一部領域内にはそれぞれp型ウェル領域67、69が形成されている。n型ウェル領域61、63及びp型ウェル領域67、69はメモリセルアレイ26を形成するために使用される。そしてp型ウェル領域67、69上に、フラッシュセルとなるMOSトランジスタが形成される。
なおMOSトランジスタ43が形成されるp型ウェル領域66には電位VPW2が与えられる。VPW2はMOSトランジスタ43のソース電位(BD1の電位)とは独立に設定可能である。またMOSトランジスタ44が形成されるn型ウェル領域61には電位VNW2が与えられる。VNW2はMOSトランジスタ44のソース電位(BD2の電位)とは独立に設定可能である。
図8では図示を省略したが、レベルシフタ41はローカルロウデコーダ27と同様に、p型半導体基板60表面に形成されたn型ウェル領域と、このn型ウェル領域表面に形成されたp型ウェル領域上に形成される。
図9は、ローカルロウデコーダ27及びメモリセルアレイ26の一部領域の平面図である。なお、図中における(Mi、i=1、2、3、4)なる記載は、その配線がi層目のレベルにある配線層であることを意味している。
まずメモリセルアレイ26について説明する。図示するように、半導体基板60中には第1方向に沿ったストライプ形状の素子領域AAが複数形成されている。半導体基板60上には、複数の素子領域を跨ぐようにして、第1方向に直交する第2方向に沿ったストライプ形状のローカルワード線WLが形成されている。ローカルワード線WLは、素子領域AA上にゲート絶縁膜を介在して形成されたフローティングゲートと、フローティングゲート上にゲート間絶縁膜を介在して形成された制御ゲートとを含む積層構造を有している。そして、上記積層構造をゲート電極に用いたMOSトランジスタ、すなわちメモリセルMCがAA上に形成されている。メモリセルMCは、隣接するもの同士でソースまたはドレインを共用している。また、コンタクトプラグCP1によって同一行にあるメモリセルMCのソースを共通接続するソース線SLが、メモリセルMCよりも上のレベルにある第1層目の金属配線層によって形成されている。更に、コンタクトプラグCP2によって同一列にあるメモリセルMCのドレインを共通接続するローカルビット線BLが、第4層目の金属配線層によって形成されている。また、第2層目の金属配線層によって形成された第2グローバルワード線GWL2、及び第3層目の金属配線層によって形成された第1グローバルワード線GWL1がメモリセルアレイ26内を通過している。これらの金属配線層は、第2方向に沿ったストライプ形状に形成されている。
次にローカルロウデコーダ27について説明する。図示するように、半導体基板60中にはマトリクス状に素子領域AAが形成されている。個々の素子領域AAにはMOSトランジスタ43またはMOSトランジスタ44が形成される。素子領域は次のような関係を持って配置されている。すなわち第1方向に沿っては、2本のローカルワード線WLにつき1個の素子領域AAが形成される。第2方向に沿っては、1行あたり4つの素子領域AAが形成される。従って、メモリセルMCが((m+1)×(n+1))個あったとすると、ローカルロウデコーダ27は(((m+1)/2)×4)個の素子領域AAを含む。そして、同一行に設けられた2個のMOSトランジスタ43及び2個のMOSトランジスタ44は、これらに対応付けられて設けられた2本のローカルワード線WLを選択するために用いられる。また、同一列に設けられたMOSトランジスタ44は、同一の第2ブロックデコード配線BD2に接続される。
各素子領域AA上には、第1方向に沿ったストライプ形状のゲート電極70、71が形成されている。そして、同一列にあるMOSトランジスタ43のソースを共通接続するように、第1方向に沿ったストライプ形状の第1ブロックデコード配線BD1が形成されている。第1ブロックデコード配線BD1は、第1層目の金属配線層を用いて形成され、コンタクトプラグCP4によってMOSトランジスタ43と接続されている。また、同一列にあるMOSトランジスタ44のソースを共通接続するようにして、第1方向に沿ったストライプ形状の第2ブロックデコード配線BD2−0、BD2−1が形成されている。第2ブロックデコード配線BD2−0、BD2−1は、第1層目の金属配線層を用いて形成され、コンタクトプラグCP6によってMOSトランジスタ44と接続されている。
更に、同一行にあるMOSトランジスタ44のゲートを共通接続するようにして、第2方向に沿ったストライプ形状の第1グローバルワード線GWL1が形成されている。第1グローバルワード線GWL1は第3層目の金属配線層を用いて形成され、コンタクトプラグCP5によってMOSトランジスタ44に接続されている。第1グローバルワード線GWLの一端はレベルシフタ41に接続され、他端はメモリセルアレイ26上を通過し、同一行にある別のローカルロウデコーダ27に達する。また、同一行にあるMOSトランジスタ43のドレインと、MOSトランジスタ44のドレインとを接続するようにして、第2方向に沿ったストライプ形状の金属配線層72が形成されている。金属配線層72は第2層目の金属配線層を用いて形成され、コンタクトプラグCP7、CP8によってそれぞれMOSトランジスタ43、44に接続されている。更に金属配線層72は、コンタクトプラグCP9によってローカルワード線WLに接続されている。また、第2方向に沿ったストライプ形状の第2層目の金属配線層を用いて、第2グローバルワード線GWL2−0〜GWL2−mが設けられている。第2グローバルワード線GWL2−0〜GWL2−mは、コンタクトプラグCP3によって、対応するMOSトランジスタ43のゲート70に接続されている。
次に、上記メモリセルアレイ26及びローカルロウデコーダ27の断面構造について説明する。まずメモリセルアレイ26の構成について説明する。図10は図9におけるY1−Y1’線方向に沿った断面図であり、図11は図9におけるX1−X1’線方向に沿った断面図である。以下ではメモリコア部11に着目して説明するが、その他のメモリコア部12〜14についても同様である。
図示するように、p型半導体基板60の表面領域内にはn型ウェル領域62が形成され、n型ウェル領域62の表面領域内にはp型ウェル領域67が形成されている。p型ウェル領域67上にはゲート絶縁膜80を介在して、メモリセルMCとなるMOSトランジスタのゲート電極が形成されている。メモリセルMCのゲート電極は、ゲート絶縁膜80上に形成された多結晶シリコン層(フローティングゲート)81、多結晶シリコン層81上に形成されたゲート間絶縁膜82、及びゲート間絶縁膜82上に形成された多結晶シリコン層(制御ゲート)83を有している。フローティングゲート81は、図11に示すように個々のメモリセル毎に分離されている。他方、制御ゲート83は同一行のメモリセル間で共通接続されている。そして隣接するゲート電極間に位置するp型ウェル領域67表面内には、不純物拡散層84が形成されている。不純物拡散層84は、隣接するトランジスタ同士で共用されている。
そしてp型ウェル領域67上には、上記メモリセルを被覆するようにして、層間絶縁膜85が形成されている。層間絶縁膜85中には、2つのメモリセルMCが共有する不純物拡散層(ソース領域)84に達するコンタクトプラグCP1が形成されている。そして層間絶縁膜85上には、コンタクトプラグCP1に接続される金属配線層86が形成されている。金属配線層86はソース線SLとして機能する。また層間絶縁膜85中には、2つのメモリセルMCが共有する不純物拡散層(ドレイン領域)84に達するコンタクトプラグCP10が形成されている。そして層間絶縁膜85上には、コンタクトプラグCP10に接続される金属配線層87が形成されている。
層間絶縁膜85上には、金属配線層86、87を被覆するようにして、層間絶縁膜88が形成されている。層間絶縁膜88中には、金属配線層87に達するコンタクトプラグCP11が形成されている。そして層間絶縁膜88上には、コンタクトプラグCP11に接続された金属配線層89が形成されている。また層間絶縁膜88上には、金属配線層90、94が形成されている。金属配線層90、94は共に第2グローバルワード線として機能する。
層間絶縁膜88上には、金属配線層89、90、94を被覆するようにして、層間絶縁膜92が形成されている。層間絶縁膜92中には、金属配線層89に達するコンタクトプラグCP12が形成されている。そして層間絶縁膜92上には、コンタクトプラグCP12に接続された金属配線層93が形成されている。また層間絶縁膜92上には、金属配線層91が形成されている。金属配線層91は第1グローバルワード線として機能する。
層間絶縁膜92上には、金属配線層91、93を被覆するようにして、層間絶縁膜95が形成されている。層間絶縁膜95中には、金属配線層93に達するコンタクトプラグCP13が形成されている。そして層間絶縁膜95上には、複数のコンタクトプラグCP13に接続された金属配線層96が形成されている。金属配線層96はローカルビット線BLとして機能する。すなわち、コンタクトプラグCP10〜CP13及び金属配線層87、89、93が、図9におけるコンタクトプラグCP2として機能する。そして層間絶縁膜95上に、金属配線層97を被覆するようにして層間絶縁膜97が形成されている。
次に図11を用いてローカルロウデコーダ27の断面構造について説明する。
図示するように、p型半導体基板60の表面領域内にはn型ウェル領域61が形成され、n型ウェル領域61の表面領域内にはp型ウェル領域66が形成されている。p型ウェル領域66上にはMOSトランジスタ43が形成されている。すなわち、p型ウェル領域66の表面内に、ソース及びドレインとなる不純物拡散層98が形成され、隣接する不純物拡散層98間のウェル領域66上にはゲート絶縁膜99を介在してゲート電極70が形成されている。またn型ウェル領域61上にはMOSトランジスタ44が形成されている。すなわち、n型ウェル領域61の表面内に、ソース及びドレインとなる不純物拡散層100が形成され、隣接する不純物拡散層100間のウェル領域61上にゲート絶縁膜101を介在してゲート電極71が形成されている。各トランジスタ間は、素子分離領域STIによって電気的に分離されている。
図示するように、p型半導体基板60の表面領域内にはn型ウェル領域61が形成され、n型ウェル領域61の表面領域内にはp型ウェル領域66が形成されている。p型ウェル領域66上にはMOSトランジスタ43が形成されている。すなわち、p型ウェル領域66の表面内に、ソース及びドレインとなる不純物拡散層98が形成され、隣接する不純物拡散層98間のウェル領域66上にはゲート絶縁膜99を介在してゲート電極70が形成されている。またn型ウェル領域61上にはMOSトランジスタ44が形成されている。すなわち、n型ウェル領域61の表面内に、ソース及びドレインとなる不純物拡散層100が形成され、隣接する不純物拡散層100間のウェル領域61上にゲート絶縁膜101を介在してゲート電極71が形成されている。各トランジスタ間は、素子分離領域STIによって電気的に分離されている。
そして、MOSトランジスタ43、44を被覆するようにして、ウェル領域61、66上に層間絶縁膜85が形成されている。層間絶縁膜85中には、MOSトランジスタ43のソースに達するコンタクトプラグCP4が形成されている。そして層間絶縁膜85上には、コンタクトプラグCP4に接続される金属配線層102が形成されている。金属配線層102は第1ブロックデコード配線BD1として機能する。また層間絶縁膜85中には、MOSトランジスタ43のドレインに達するコンタクトプラグCP14が形成されている。そして層間絶縁膜85上には、コンタクトプラグCP14に接続される金属配線層104が形成されている。更に層間絶縁膜85中には、MOSトランジスタ44のソースに達するコンタクトプラグCP6が形成されている。そして層間絶縁膜85上には、コンタクトプラグCP6に接続される金属配線層103が形成されている。金属配線層103はブロックデコード配線BD2として機能する。また層間絶縁膜85中には、MOSトランジスタ44のドレインに達するコンタクトプラグCP18が形成されている。そして層間絶縁膜85上には、コンタクトプラグCP18に接続される金属配線層105が形成されている。更に層間絶縁膜85中には、MOSトランジスタ44のゲート電極71に達するコンタクトプラグCP16が形成されている。そして層間絶縁膜85上には、コンタクトプラグCP16に接続される金属配線層106が形成されている。
層間絶縁膜85上には層間絶縁膜88が形成されている。層間絶縁膜88中には、金属配線層104、105、106にそれぞれ達するコンタクトプラグCP15、CP19、CP17が形成されている。そして層間絶縁膜88上には、コンタクトプラグCP15、CP19に接続された金属配線層72が形成されている。すなわち、コンタクトプラグCP14、CP15及び金属配線層104が図9におけるコンタクトプラグCP7に相当する。また、コンタクトプラグCP18、CP19及び金属配線層105が図9におけるコンタクトプラグCP8に相当する。
更にローカルロウデコーダ27とメモリセルアレイ26との境界部分において、層間絶縁膜85中にCP20が形成され、層間絶縁膜85上に金属配線層107が形成され、層間絶縁膜88中にコンタクトプラグCP21が形成されている。そして、コンタクトプラグCP20、CP21及び金属配線層107によって、金属配線層72と制御ゲート83とが接続されている。すなわち、コンタクトプラグCP20、CP21及び金属配線層107は、図9におけるコンタクトプラグCP9として機能する。
また層間絶縁膜88上には、図示せぬ領域で第2グローバルワード線GWL2が形成されている。そして第2グローバルワード線GWL2は、図示せぬ領域で、対応するMOSトランジスタ43のゲート電極70とコンタクトプラグCP3によって接続される。
層間絶縁膜88上には層間絶縁膜92が形成されている。層間絶縁膜92中には、コンタクトプラグCP17に接続されるコンタクトプラグCP22が形成される。そして層間絶縁膜92上には金属配線層91が形成される。金属配線層91は第1グローバルワード線GWL1として機能するもので、同一行のコンタクトプラグCP17は同一の第1グローバルワード線GWL1(金属配線層91)に接続される。すなわち、コンタクトプラグCP16、CP17、CP22及び金属配線層106は、図9におけるコンタクトプラグCP5として機能する。
そして層間絶縁膜92上には層間絶縁膜95が形成され、層間絶縁膜95上には、ビット線となる金属配線層95、93が形成される。
次に、上記構成のNOR型フラッシュメモリの動作について説明する。
<書き込み動作>
まず書き込み動作について説明する。例えば図2の構成において、メモリセルMC00〜MC07がデータの書き込み時に選択された場合、これらのメモリセルが共有するローカルワード線WL0にはVPP1(9V)が印加され、その他のローカルワード線には0Vが印加される。非選択メモリセルアレイのローカルワード線も0Vである。
<書き込み動作>
まず書き込み動作について説明する。例えば図2の構成において、メモリセルMC00〜MC07がデータの書き込み時に選択された場合、これらのメモリセルが共有するローカルワード線WL0にはVPP1(9V)が印加され、その他のローカルワード線には0Vが印加される。非選択メモリセルアレイのローカルワード線も0Vである。
ローカルビット線の電圧は書き込みデータに依存する。データ“0”を書き込むローカルビット線にはVdp(5V)が印加され、“1”データを書き込むローカルビット線には0Vが印加される。ソース線SLは0Vとされる。非選択メモリセルアレイのビット線は0Vである。
すると、ゲートがVPP1、ドレインがVdpのメモリセルでは、ソースからドレインに移動する電子の中には高エネルギーを持つものがあり(ホットエレクトロン)、これがゲート方向の電界によってフローティングゲートに到達する。このようにして、フローティングゲート中の電子の数が相対的に少ない“1”状態のメモリセルは、電子の数が相対的に多い“0”状態のメモリセルに代わる。
ゲートとドレインとの電圧関係が上記以外のメモリセルではドレイン電流が流れず、メモリセルのデータは変わらない。
<読み出し動作>
次に読み出し動作について説明する。図2の構成において、メモリセルMC00〜MC07がデータ読み出しに選択された場合、これらのメモリセルが共有するローカルワード線WL0に電圧Vcc2(4.75V)が印加される。その他のワード線は0Vとされる。非選択メモリセルアレイのローカルワード線も0Vである。
次に読み出し動作について説明する。図2の構成において、メモリセルMC00〜MC07がデータ読み出しに選択された場合、これらのメモリセルが共有するローカルワード線WL0に電圧Vcc2(4.75V)が印加される。その他のワード線は0Vとされる。非選択メモリセルアレイのローカルワード線も0Vである。
選択されたローカルビット線には電圧Vd(1V)が印加され、非選択ローカルビット線には0Vが印加される。またソース線SLは0Vとされる。すると、“1”状態のメモリセルでは電流が流れ、“0”状態のメモリセルは電流が流れない。この電流をセンスすることにより、データ“0”または“1”を読み出すことが出来る。
<消去動作>
次に消去動作について説明する。データの消去はメモリセルアレイ単位に一括して行われる。この時、選択メモリセルアレイの全てのローカルワード線がVBB(−7V)とされ、p型ウェル領域67及びn型ウェル領域62がVPP2(11V)とされる。ソース線及びローカルビット線はフローティングとされる。すると、ゲート絶縁膜80の高電界が印加され、フローティングゲート81内の電子はFNトンネリングによってp型ウェル領域67に移動する。その結果、メモリセルのデータが“1”となる。この際、非選択メモリコアのp型ウェル領域及びワード線は0Vとされているので、データは消去されない。
次に消去動作について説明する。データの消去はメモリセルアレイ単位に一括して行われる。この時、選択メモリセルアレイの全てのローカルワード線がVBB(−7V)とされ、p型ウェル領域67及びn型ウェル領域62がVPP2(11V)とされる。ソース線及びローカルビット線はフローティングとされる。すると、ゲート絶縁膜80の高電界が印加され、フローティングゲート81内の電子はFNトンネリングによってp型ウェル領域67に移動する。その結果、メモリセルのデータが“1”となる。この際、非選択メモリコアのp型ウェル領域及びワード線は0Vとされているので、データは消去されない。
なおデータの消去方法は、上記のようにウェル領域にバイアス電圧を印加する方法の他、ソースにバイアス電圧を印加する方法がある。この場合には、ソースとゲートのオーバーラップ部でトンネル電流が流れ、データが消去される。
<消去ベリファイ動作>
上記データ消去により、全てのメモリセルの閾値電圧は、データ“0”からデータ“1”の方向にシフトされる。その後、消去ベリファイ動作を行って、消去セルの閾値電圧の上限が所定の値VEV(例えば3.5V)以下であるか否かを確認する。従って、消去ベリファイ動作では選択ローカルワード線WLにVEVを印加して読み出し動作を行うことにより、消去ベリファイを行う。
上記データ消去により、全てのメモリセルの閾値電圧は、データ“0”からデータ“1”の方向にシフトされる。その後、消去ベリファイ動作を行って、消去セルの閾値電圧の上限が所定の値VEV(例えば3.5V)以下であるか否かを確認する。従って、消去ベリファイ動作では選択ローカルワード線WLにVEVを印加して読み出し動作を行うことにより、消去ベリファイを行う。
図12はメモリセルの閾値電圧Vthとメモリセル数との関係を示すグラフである。NOR型フラッシュメモリのように選択トランジスタを有しないフラッシュメモリでは、図12に示すように、閾値電圧が負の値になる場合がある(これを過消去セルと呼ぶ)。そのため、消去ベリファイ時は過消去セルの影響を排除するため、すなわち過消去セルを確実にオフ状態とさせておくために、非選択ローカルワード線WLに例えば−1.5Vを印加する。
次に、上記読み出し動作、書き込み動作、消去動作、及び消去ベリファイ動作時におけるグローバルロウデコーダ21a、21b及びローカルロウデコーダ27の動作の詳細について、図13乃至図16を用いて説明する。図13乃至図16はグローバルロウデコーダ21a、並びにメモリコア部11、12のメモリセルアレイ26及びローカルロウデコーダ27の回路図である。なお以下では、メモリコア部11が選択され、且つ読み出し動作、書き込み動作、及び消去ベリファイ動作時にはメモリコア部11のローカルワード線WL0が選択される場合を例に挙げて説明する。
<読み出し動作>
まず読み出し動作について図13を用いて説明する。ローカルワード線WL0(選択ローカルワード線)に相当するロウアドレス信号が与えられることで、選択ローカルワード線WL0に対応するロウアドレスデコード回路40及びロウアドレスデコード回路45の出力は、それぞれ“L”レベル(0V)、“H”レベル(1.8V)となる。他方、その他のローカルワード線WL1〜WLm(非選択ワード線)に対応するロウアドレスデコード回路40及びロウアドレスデコード回路45の出力は、それぞれ“H”レベル、“L”レベルとなる。すなわち、第1グローバルワード線GWL1−0が“L”レベル(0V)、その他の第1グローバルワード線が“H”レベル(4.75V)、第2グローバルワード線GWL2−0が“L”レベル(0V)、その他の第2グローバルワード線が“H”レベル(1.8V)となる。
まず読み出し動作について図13を用いて説明する。ローカルワード線WL0(選択ローカルワード線)に相当するロウアドレス信号が与えられることで、選択ローカルワード線WL0に対応するロウアドレスデコード回路40及びロウアドレスデコード回路45の出力は、それぞれ“L”レベル(0V)、“H”レベル(1.8V)となる。他方、その他のローカルワード線WL1〜WLm(非選択ワード線)に対応するロウアドレスデコード回路40及びロウアドレスデコード回路45の出力は、それぞれ“H”レベル、“L”レベルとなる。すなわち、第1グローバルワード線GWL1−0が“L”レベル(0V)、その他の第1グローバルワード線が“H”レベル(4.75V)、第2グローバルワード線GWL2−0が“L”レベル(0V)、その他の第2グローバルワード線が“H”レベル(1.8V)となる。
またブロックデコーダ19は、VPW2、VNW2としてそれぞれ0V、4.75Vを供給する。更にブロックデコーダ19は、選択メモリコア部11におけるブロックデコード配線BD1に0V、ブロックデコード配線BD2−0、BD2−1にそれぞれ4.75V、0Vを印加し、非選択メモリコア部12におけるブロックデコード配線BD1に0V、ブロックデコード配線BD2−0、BD2−1に0Vを印加する。
すると、選択メモリコア部11においては、選択ローカルワード線WL0に対応するMOSトランジスタ43がオフ状態、MOSトランジスタ44がオン状態となる。従ってローカルワード線WL0には第2ブロックデコード配線BD2−0の電位(4.75V)が印加される。また非選択ローカルワード線WL1〜WLmに関しては、MOSトランジスタ43がオン状態、MOSトランジスタ44がオフ状態となる。従ってローカルワード線WL1〜WLmにはブロックデコード配線BD1の電位(0V)が印加される。
非選択メモリコア部12においては、ローカルワード線WL0に対応するMOSトランジスタ43、44が共にオフ状態であるので、ローカルワード線WL0は電気的にフローティングとなる。その他のローカルワード線WL1〜WLmに関しては、MOSトランジスタ43がオン状態、MOSトランジスタ44がオフ状態となる。従ってローカルワード線WL1〜WLmにはブロックデコード配線BD1の電位(0V)が印加される。
<書き込み動作>
次に書き込み動作について図14を用いて説明する。選択ローカルワード線WL0に相当するロウアドレス信号が与えられることで、選択ローカルワード線WL0に対応するロウアドレスデコード回路40及びロウアドレスデコード回路45の出力は、それぞれ“L”レベル(0V)及び“H”レベル(1.8V)となる。他方、その他のローカルワード線WL1〜WLmに対応するロウアドレスデコード回路40及びロウアドレスデコード回路45の出力は、それぞれ“H”レベル及び“L”レベルとなる。すなわち、第1グローバルワード線GWL1−0が“L”レベル(0V)、その他の第1グローバルワード線が“H”レベル(9V)、第2グローバルワード線GWL2−0が“L”レベル(0V)、その他の第2グローバルワード線が“H”レベル(1.8V)となる。
次に書き込み動作について図14を用いて説明する。選択ローカルワード線WL0に相当するロウアドレス信号が与えられることで、選択ローカルワード線WL0に対応するロウアドレスデコード回路40及びロウアドレスデコード回路45の出力は、それぞれ“L”レベル(0V)及び“H”レベル(1.8V)となる。他方、その他のローカルワード線WL1〜WLmに対応するロウアドレスデコード回路40及びロウアドレスデコード回路45の出力は、それぞれ“H”レベル及び“L”レベルとなる。すなわち、第1グローバルワード線GWL1−0が“L”レベル(0V)、その他の第1グローバルワード線が“H”レベル(9V)、第2グローバルワード線GWL2−0が“L”レベル(0V)、その他の第2グローバルワード線が“H”レベル(1.8V)となる。
またブロックデコーダ19は、VPW2、VNW2としてそれぞれ0V、9Vを供給する。更にブロックデコーダ19は、選択メモリコア部11におけるブロックデコード配線BD1に0V、ブロックデコード配線BD2−0、BD2−1にそれぞれ9V、0Vを印加し、非選択メモリコア部12におけるブロックデコード配線BD1に0V、ブロックデコード配線BD2−0、BD−1に0Vを印加する。
すると、選択メモリコア部11においては、選択ローカルワード線WL0に対応するMOSトランジスタ43がオフ状態、MOSトランジスタ44がオン状態となる。従ってローカルワード線WL0には第2ブロックデコード配線BD2−0の電位(9V)が印加される。また非選択ローカルワード線WL1〜WLmに関しては、MOSトランジスタ43がオン状態、MOSトランジスタ44がオフ状態となる。従ってローカルワード線WL1〜WLmにはブロックデコード配線BD1の電位(0V)が印加される。
非選択メモリコア部12においては、ローカルワード線WL0に対応するMOSトランジスタ43、44が共にオフ状態であるので、ローカルワード線WL0は電気的にフローティングとなる。その他のローカルワード線WL1〜WLmに関しては、MOSトランジスタ43がオン状態、MOSトランジスタ44がオフ状態となる。従ってローカルワード線WL1〜WLmにはブロックデコード配線BD1の電位(0V)が印加される。
<消去動作>
次に消去動作について図15を用いて説明する。消去時には全てのロウアドレスデコード回路40の出力は“H”レベル(1.8V)となり、全てのロウアドレスデコード回路45の出力が“L”レベル(0V)となる。すなわち、全てのローカルワード線が非選択状態とされ、全ての第1、第2グローバルワード線が“H”レベル(1.8V)となる。またブロックデコーダ19は、VPW2、VNW2としてそれぞれ−7V、11Vを供給する。更にブロックデコーダ19は、選択メモリコア部11におけるブロックデコード配線BD1に−7V、ブロックデコード配線BD2−0に1.8V、BD2−1に0Vを印加する。またブロックデコーダ19は、非選択メモリコア部におけるブロックデコード配線BD1、BD2−0、BD2−1に0Vを印加する。
次に消去動作について図15を用いて説明する。消去時には全てのロウアドレスデコード回路40の出力は“H”レベル(1.8V)となり、全てのロウアドレスデコード回路45の出力が“L”レベル(0V)となる。すなわち、全てのローカルワード線が非選択状態とされ、全ての第1、第2グローバルワード線が“H”レベル(1.8V)となる。またブロックデコーダ19は、VPW2、VNW2としてそれぞれ−7V、11Vを供給する。更にブロックデコーダ19は、選択メモリコア部11におけるブロックデコード配線BD1に−7V、ブロックデコード配線BD2−0に1.8V、BD2−1に0Vを印加する。またブロックデコーダ19は、非選択メモリコア部におけるブロックデコード配線BD1、BD2−0、BD2−1に0Vを印加する。
すると、選択メモリコア部11においては、ローカルワード線WL0〜WLmに対応するMOSトランジスタ43がオン状態、MOSトランジスタ44がオフ状態となる。従ってローカルワード線WL0〜WLmにはブロックデコード配線BD1の電位(−7V)が印加される。
非選択メモリコア部12においては、MOSトランジスタ43、44がオフ状態となる。従ってローカルワード線WL0〜WLmは電気的にフローティングの状態となる。
<消去ベリファイ動作>
次に消去ベリファイ動作について図16を用いて説明する。選択ローカルワード線WL0に相当するロウアドレス信号が与えられることで、選択ローカルワード線WL0に対応するロウアドレスデコード回路40及びロウアドレスデコード回路45の出力は、それぞれ“L”レベル(0V)、“H”レベル(1.8V)となる。他方、その他の非選択ローカルワード線WL1〜WLmに対応するロウアドレスデコード回路40及びロウアドレスデコード回路45の出力は、それぞれ“H”レベル(1.8V)、“L”レベル(0V)となる。すなわち、第1グローバルワード線GWL1−0が“L”レベル(0V)、その他の第1グローバルワード線が“H”レベル(3.5V)、第2グローバルワード線GWL2−0が“L”レベル(0V)、その他の第2グローバルワード線が“H”レベル(1.8V)となる。
次に消去ベリファイ動作について図16を用いて説明する。選択ローカルワード線WL0に相当するロウアドレス信号が与えられることで、選択ローカルワード線WL0に対応するロウアドレスデコード回路40及びロウアドレスデコード回路45の出力は、それぞれ“L”レベル(0V)、“H”レベル(1.8V)となる。他方、その他の非選択ローカルワード線WL1〜WLmに対応するロウアドレスデコード回路40及びロウアドレスデコード回路45の出力は、それぞれ“H”レベル(1.8V)、“L”レベル(0V)となる。すなわち、第1グローバルワード線GWL1−0が“L”レベル(0V)、その他の第1グローバルワード線が“H”レベル(3.5V)、第2グローバルワード線GWL2−0が“L”レベル(0V)、その他の第2グローバルワード線が“H”レベル(1.8V)となる。
またブロックデコーダ19は、VPW2、VNW2としてそれぞれ−3V、3.5Vを供給する。更にブロックデコーダ19は、選択メモリコア部11におけるブロックデコード配線BD1に−1.5V、ブロックデコード配線BD2−0、BD−1にそれぞれ3.5V、0Vを印加し、非選択メモリコア部12におけるブロックデコード配線BD1、BD2−0、BD2−1に0Vを印加する。
すると、選択メモリコア部11においては、選択ローカルワード線WL0に対応するMOSトランジスタ43がオフ状態、MOSトランジスタ44がオン状態となる。従ってローカルワード線WL0には第2ブロックデコード配線BD2−0の電位(3.5V)が印加される。また非選択ローカルワード線WL1〜WLmに関しては、MOSトランジスタ43がオン状態、MOSトランジスタ44がオフ状態となる。従ってローカルワード線WL1〜WLmにはブロックデコード配線BD1の電位(−1.5V)が印加される。
非選択メモリコア部12においては、ローカルワード線WL0に対応するMOSトランジスタ43、44が共にオフ状態であるので、ローカルワード線WL0は電気的にフローティングとなる。その他のローカルワード線WL1〜WLmに関しては、MOSトランジスタ43がオン状態、MOSトランジスタ44がオフ状態となる。従ってローカルワード線WL1〜WLmにはブロックデコード配線BD1の電位(0V)が印加される。
上記のように、この発明の第1の実施形態に係るNOR型フラッシュメモリであると、次の効果を得ることが出来る。
(1)ロウデコーダを小型化出来る(その1)
本実施形態に係るNOR型フラッシュメモリは、メモリセルの制御ゲートを選択するためのロウデコーダとして、グローバルロウデコーダ21a、21b、及びローカルロウデコーダ27を備えている。
(1)ロウデコーダを小型化出来る(その1)
本実施形態に係るNOR型フラッシュメモリは、メモリセルの制御ゲートを選択するためのロウデコーダとして、グローバルロウデコーダ21a、21b、及びローカルロウデコーダ27を備えている。
従来のNOR型フラッシュメモリであると、例えば特開2000−49312号公報の図5に示されるように、ローカルロウデコーダは少なくとも3個のMOSトランジスタを必要としていた。なぜなら、消去動作時において負電圧を転送する必要があるからである。特開2000−49312号公報の手法であると、MOSトランジスタ51cによって、ウェル領域に与えられた負電圧をワード線WLに転送している。
この点、本実施形態に係る構成であると、図5に示すようにローカルロウデコーダ27は2個のMOSトランジスタで形成出来る。従って、ローカルロウデコーダ27のサイズを従来に比べて小さく出来る。特に、ローカルロウデコーダに使用されるMOSトランジスタは高耐圧型の比較的サイズの大きいトランジスタであること、またスイッチ群42はワード線毎に設けられていることことから、スイッチ群42内のトランジスタ数を削減出来ることは、ロウデコーダの小型化に非常に大きく寄与する。
なお、ローカルロウデコーダ27内のMOSトランジスタを減らす為に、本実施形態ではブロックデコード配線BD1、BD2を設け、更にローカルロウデコーダ27のウェル領域の電位をブロックデコーダ19によって制御している。すなわち、
・ロウアドレス信号に対応するスイッチ群42においては、pチャネルMOSトランジスタ44によって第2ブロックデコード配線BD2の電位を選択ワード線に転送する。
・ロウアドレス信号に対応しないスイッチ群42においては、nチャネルMOSトランジスタ43によって第1ブロックデコード配線BD1の電位を非選択ワード線に転送する。
・以上の関係を満たすように、MOSトランジスタ43、44のオン/オフを、第1、第2グローバルワード線GWL1、GWL2、第2ブロックデコード配線BD2、及びウェル電位によって制御する。
・ロウアドレス信号に対応するスイッチ群42においては、pチャネルMOSトランジスタ44によって第2ブロックデコード配線BD2の電位を選択ワード線に転送する。
・ロウアドレス信号に対応しないスイッチ群42においては、nチャネルMOSトランジスタ43によって第1ブロックデコード配線BD1の電位を非選択ワード線に転送する。
・以上の関係を満たすように、MOSトランジスタ43、44のオン/オフを、第1、第2グローバルワード線GWL1、GWL2、第2ブロックデコード配線BD2、及びウェル電位によって制御する。
また消去ベリファイ動作時には、ブロックデコーダ19はp型ウェル領域にブロックデコード配線BD1よりも低い電圧を印加する(図16参照)。すると、バックゲートバイアス効果によって、選択ローカルワード線に対応するnチャネルMOSトランジスタ43の閾値電圧が上昇し、カットオフ状態となる。これによりpチャネルMOSトランジスタ44により読み出し電圧(3.5V)を選択ローカルワード線に安定して供給できる。
また、選択メモリコア部ではブロックデコード配線BD2−0、BD2−1に互いに相補な信号が与えられるのに対して、非選択メモリコア部では同じ信号が印加される。その結果、非選択メモリコア部において、選択ローカルワード線と同一の第2グローバルワード線に接続されたワード線は、電気的にフローティングな状態となる場合がある。すなわち、ワード線は電圧が印加されていない状態となる。その結果、メモリセルのゲート絶縁膜には電圧ストレスがかからず、メモリセルの信頼性の向上に繋がる。
(2)ロウデコーダを小型化出来る(その2)
本実施形態においてグローバルロウデコーダ21a、21bは、レベルシフタ41を備えている。従来のNOR型フラッシュメモリであると、例えば特開2000−49312号公報の図4に示されるように、レベルシフタはワード線毎に必要であった。
本実施形態においてグローバルロウデコーダ21a、21bは、レベルシフタ41を備えている。従来のNOR型フラッシュメモリであると、例えば特開2000−49312号公報の図4に示されるように、レベルシフタはワード線毎に必要であった。
この点、本実施形態に係る構成であると、図5に示すように、2本のローカルワード線で1個のレベルシフタ41を共有している。すなわち、レベルシフタ41の数を従来の半分にすることが出来る。従って、ロウデコーダのサイズを小型化出来る。なお、レベルシフタを半減するためにブロックデコード配線BD2を設ける必要があるが、その為には単に配線スペースがあれば良く、ロウデコーダのサイズの縮小化を妨げるものとはならない。
また本実施形態に係る構成であると、レベルシフタ41のサイズを小さくできる。従来のNOR型フラッシュメモリであると、例えば特開2000−49312号公報の図4に示されるように、レベルシフタはMOSトランジスタ41b〜41gから構成される1段目と、MOSトランジスタ41d〜41eから構成される2段目とを含む2段構えの構成を有している。このような構成を有する理由は、消去時に負電圧を出力する必要があるからである。
しかし本実施形態に係る構成であると、消去時に用いられる負電圧はnチャネルMOSトランジスタ43が転送する。従ってレベルシフタ41は負電圧を出力する必要がない。従って、レベルシフタ41を図6、図7に示すような簡易な構成(1段のみの構成)とすることが出来る。そのため、レベルシフタ41のサイズを小型化出来る。
なおレベルシフタ41は、図6の構成とすることで、高速動作が可能となる。なぜなら、MOSトランジスタ54、55には、MOSトランジスタ50〜53よりも低耐圧(ゲート絶縁膜の薄い)のトランジスタを使用出来るからである。他方、図7の構成であると、MOSトランジスタ54、55に高耐圧のトランジスタを用いている。従って動作速度は図6より劣るが、MOSトランジスタ52、53が不要となり、レベルシフタを更に小型化出来る。
(3)ロウデコーダを小型化出来る(その3)
本実施形態に係る構成であると、ロウアドレスデコード回路40はnチャネルMOSトランジスタ43のゲートを制御する。従って、ロウアドレスデコード回路40となるNANDゲートを構成するMOSトランジスタには、レベルシフタ41やスイッチ群41内のMOSトランジスタよりも低耐圧のトランジスタを使用出来る。これはロウアドレスデコード回路45についても同様である。従ってグローバルロウデコーダ21a、21bを小型化出来る。
本実施形態に係る構成であると、ロウアドレスデコード回路40はnチャネルMOSトランジスタ43のゲートを制御する。従って、ロウアドレスデコード回路40となるNANDゲートを構成するMOSトランジスタには、レベルシフタ41やスイッチ群41内のMOSトランジスタよりも低耐圧のトランジスタを使用出来る。これはロウアドレスデコード回路45についても同様である。従ってグローバルロウデコーダ21a、21bを小型化出来る。
なお、上記実施形態では、ロウアドレスデコード回路40となるNANDゲートはローカルワード線毎に設けられている。しかし図17に示すように、複数のローカルワード線で1個のロウアドレスデコード回路40を共有しても良い。但しこの場合には、非選択ローカルワード線が電気的にフローティングの状態となる。すると、ローカルワード線はカップリングノイズやビット線リーク電流の問題などが発生するおそれがある。従って、本実施形態のようにローカルワード線毎にロウアドレスデコード回路40を設けた方が、回路の安定動作の観点からは好ましい。
次にこの発明の第2の実施形態に係る半導体記憶装置について説明する。本実施形態は、上記第1の実施形態においてロウアドレスデコード回路45及びレベルシフタ41の数を削減したものである。図18は本実施形態に係るNOR型フラッシュメモリのグローバルロウデコーダ21a、メモリコア部11、12の回路図である。
第1の実施形態では、2本のローカルワード線毎に1個のロウアドレスデコード回路45及びレベルシフタ41が設けられている。これに対して本実施形態では、図18に示すようにロウアドレスデコード回路45及びレベルシフタ41が、4本のローカルワード線毎に設けられている。すなわち、第1グローバルワード線GWL1が、4本のローカルワード線WLによって共通に使用されている。この場合、第1グローバルワード線GWL1を共用する4本のローカルワード線WLに関するMOSトランジスタ44は、それぞれ異なる第2ブロックデコード配線BD2に接続されている。この4本の第2ブロックデコード配線BD2−0〜BD2−3によって、選択ローカルワード線以外は非選択とされる。
図19は、本実施形態に係るローカルロウデコーダ27及びメモリセルアレイ26の平面図である。図示するように、MOSトランジスタ43、44は、メモリセルアレイ26に、ワード線方向で隣接するように配置されている。MOSトランジスタ43、44はマトリクス状に配置されている。第1の実施形態では1本の第1グローバルワード線を2本のローカルワード線が共用しているので、2本のローカルワード線毎に1行のMOSトランジスタ43、44が配置される。そして1行あたりMOSトランジスタ43、33は各2個含まれている。これに対して本実施形態であると、1本の第1グローバルワード線を4本のローカルワード線が共用している。従って、4本のローカルワード線毎に1行のMOSトランジスタ43、44が配置される。そして1行あたりMOSトランジスタ43、33は各4個含まれている。
メモリセル及びローカルロウデコーダの断面構成は、基本的には第1の実施形態で説明した図9及び図10と同様である。異なる点は、層間絶縁膜88上に第2グローバルワード線GWL2−0〜GWL2−3として機能する金属配線層(第1の実施形態における金属配線層90、94)が、4セルピッチ内に4本形成される点である。
次に本実施形態に係るNOR型フラッシュメモリの動作について、グローバルロウデコーダ21a及びローカルロウデコーダ27に着目して以下説明する。図20乃至図23はグローバルロウデコーダ21a、並びにメモリコア部11、12のメモリセルアレイ26及びローカルロウデコーダ27の回路図である。なお以下では、メモリコア部11が選択され、且つ読み出し動作、書き込み動作、及び消去ベリファイ動作時にはメモリコア部11のローカルワード線WL0が選択される場合を例に挙げ、上記第1の実施形態と異なる点についてのみ説明する。
<読み出し動作>
まず読み出し動作について図20を用いて説明する。ローカルワード線WL0(選択ローカルワード線)に相当するロウアドレス信号が与えられることで、第1グローバルワード線GWL1−0が“L”レベル(0V)となる。従って、ローカルワード線WL0〜WL3に対応するMOSトランジスタ44のゲートには0Vが印加される。ブロックデコーダ19は、選択メモリコア部11におけるブロックデコード配線BD1に0V、ブロックデコード配線BD2−0に4.75V、BD2−1〜BD2−3に0Vを印加する。非選択メモリコア部12におけるブロックデコード配線BD2−0〜BD2−3は全て0Vとされる。
まず読み出し動作について図20を用いて説明する。ローカルワード線WL0(選択ローカルワード線)に相当するロウアドレス信号が与えられることで、第1グローバルワード線GWL1−0が“L”レベル(0V)となる。従って、ローカルワード線WL0〜WL3に対応するMOSトランジスタ44のゲートには0Vが印加される。ブロックデコーダ19は、選択メモリコア部11におけるブロックデコード配線BD1に0V、ブロックデコード配線BD2−0に4.75V、BD2−1〜BD2−3に0Vを印加する。非選択メモリコア部12におけるブロックデコード配線BD2−0〜BD2−3は全て0Vとされる。
すると第1の実施形態と同様に、選択メモリコア部11においては、選択ローカルワード線WL0に対応するMOSトランジスタ43がオフ状態、MOSトランジスタ44がオン状態となる。従ってローカルワード線WL0には第2ブロックデコード配線BD2−0の電位(4.75V)が印加される。また非選択ローカルワード線WL1〜WLmに関しては、MOSトランジスタ43がオン状態、MOSトランジスタ44がオフ状態となる。従ってローカルワード線WL1〜WLmにはブロックデコード配線BD1の電位(0V)が印加される。
<書き込み動作>
次に書き込み動作について図21を用いて説明する。選択ローカルワード線WL0に相当するロウアドレス信号が与えられることで、第1グローバルワード線GWL1−0が“L”レベル(0V)となる。従って、ローカルワード線WL0〜WL3に対応するMOSトランジスタ44のゲートには0Vが印加される。ブロックデコーダ19は、選択メモリコア部11におけるブロックデコード配線BD1に0V、ブロックデコード配線BD2−0に9V、BD2−1〜BD2−3に0Vを印加する。非選択メモリコア部12におけるブロックデコード配線BD2−0〜BD2−3は全て0Vとされる。更にブロックデコーダ19は、VPW1、VNW2にそれぞれ0V、9Vを印加する。
次に書き込み動作について図21を用いて説明する。選択ローカルワード線WL0に相当するロウアドレス信号が与えられることで、第1グローバルワード線GWL1−0が“L”レベル(0V)となる。従って、ローカルワード線WL0〜WL3に対応するMOSトランジスタ44のゲートには0Vが印加される。ブロックデコーダ19は、選択メモリコア部11におけるブロックデコード配線BD1に0V、ブロックデコード配線BD2−0に9V、BD2−1〜BD2−3に0Vを印加する。非選択メモリコア部12におけるブロックデコード配線BD2−0〜BD2−3は全て0Vとされる。更にブロックデコーダ19は、VPW1、VNW2にそれぞれ0V、9Vを印加する。
すると第1の実施形態と同様に、選択メモリコア部11においては、選択ローカルワード線WL0に対応するMOSトランジスタ43がオフ状態、MOSトランジスタ44がオン状態となる。従ってローカルワード線WL0には第2ブロックデコード配線BD2−0の電位(9V)が印加される。また非選択ローカルワード線WL1〜WLmに関しては、MOSトランジスタ43がオン状態、MOSトランジスタ44がオフ状態となる。従ってローカルワード線WL1〜WLmにはブロックデコード配線BD1の電位(0V)が印加される。
<消去動作>
次に消去動作について図22を用いて説明する。消去時には全ての第1、第2グローバルワード線が“H”レベル(1.8V)となる。ブロックデコーダ19は、選択メモリコア部11におけるブロックデコード配線BD1に−7V、ブロックデコード配線BD2−0に1.8V、BD2−1〜BD2−3に0Vを印加する。またブロックデコーダ19は、非選択メモリコア部におけるブロックデコード配線BD1、BD2−0〜BD−3に0Vを印加する。更にブロックデコーダ19は、VPW1、VNW2にそれぞれ0V、11Vを印加する。
次に消去動作について図22を用いて説明する。消去時には全ての第1、第2グローバルワード線が“H”レベル(1.8V)となる。ブロックデコーダ19は、選択メモリコア部11におけるブロックデコード配線BD1に−7V、ブロックデコード配線BD2−0に1.8V、BD2−1〜BD2−3に0Vを印加する。またブロックデコーダ19は、非選択メモリコア部におけるブロックデコード配線BD1、BD2−0〜BD−3に0Vを印加する。更にブロックデコーダ19は、VPW1、VNW2にそれぞれ0V、11Vを印加する。
すると、選択メモリコア部11においては、ローカルワード線WL0〜WLmに対応するMOSトランジスタ43がオン状態、MOSトランジスタ44がオフ状態となる。従ってローカルワード線WL0〜WLmにはブロックデコード配線BD1の電位(−7V)が印加される。
非選択メモリコア部12においては、MOSトランジスタ43、44がオフ状態となる。従ってローカルワード線WL0〜WLmは電気的にフローティングの状態となる。
<消去ベリファイ動作>
次に消去ベリファイ動作について図23を用いて説明する。選択ローカルワード線WL0に相当するロウアドレス信号が与えられることで、第1グローバルワード線GWL1−0が“L”レベル(0V)となる。従って、ローカルワード線WL0〜WL3に対応するMOSトランジスタ44のゲートには0Vが印加される。ブロックデコーダ19は、選択メモリコア部11におけるブロックデコード配線BD1に−1.5V、ブロックデコード配線BD2−0に3.5V、BD2−1〜BD2−3に0Vを印加し、非選択メモリコア部12におけるブロックデコード配線BD1、BD2−0〜BD2−3に0Vを印加する。
次に消去ベリファイ動作について図23を用いて説明する。選択ローカルワード線WL0に相当するロウアドレス信号が与えられることで、第1グローバルワード線GWL1−0が“L”レベル(0V)となる。従って、ローカルワード線WL0〜WL3に対応するMOSトランジスタ44のゲートには0Vが印加される。ブロックデコーダ19は、選択メモリコア部11におけるブロックデコード配線BD1に−1.5V、ブロックデコード配線BD2−0に3.5V、BD2−1〜BD2−3に0Vを印加し、非選択メモリコア部12におけるブロックデコード配線BD1、BD2−0〜BD2−3に0Vを印加する。
すると、選択メモリコア部11においては、選択ローカルワード線WL0に対応するMOSトランジスタ43がオフ状態、MOSトランジスタ44がオン状態となる。従ってローカルワード線WL0には第2ブロックデコード配線BD2−0の電位(3.5V)が印加される。また非選択ローカルワード線WL1〜WLmに関しては、MOSトランジスタ43がオン状態、MOSトランジスタ44がオフ状態となる。従ってローカルワード線WL1〜WLmにはブロックデコード配線BD1の電位(−1.5V)が印加される。
上記のように、この発明の第2の実施形態に係る半導体記憶装置によれば、第1の実施形態で説明した(1)乃至(3)の効果に加えて、更に下記(4)の効果が得られる。
(4)ロウデコーダを小型化出来る(その4)
本実施形態であると、1本の第1グローバルワード線GWL1を4本のローカルワード線で共用している。従って、ロウアドレスデコード回路45及びレベルシフタ41の数を第1の実施形態の半分にすることが出来る。従って、グローバルロウデコーダのサイズを、第1の実施形態に比べて大幅に縮小出来る。また、グローバルロウデコーダの部品点数が減るので、セルサイズが縮小化された場合でも本実施形態は実施可能であり、半導体メモリの更なる小型化が進行した場合に、本実施形態は特に有効である。
本実施形態であると、1本の第1グローバルワード線GWL1を4本のローカルワード線で共用している。従って、ロウアドレスデコード回路45及びレベルシフタ41の数を第1の実施形態の半分にすることが出来る。従って、グローバルロウデコーダのサイズを、第1の実施形態に比べて大幅に縮小出来る。また、グローバルロウデコーダの部品点数が減るので、セルサイズが縮小化された場合でも本実施形態は実施可能であり、半導体メモリの更なる小型化が進行した場合に、本実施形態は特に有効である。
次にこの発明の第3の実施形態に係る半導体記憶装置について説明する。本実施形態は、上記第1の実施形態を2Trフラッシュメモリに適用したものである。従って、LSI10の構成はほぼ図1と同様であり、以下では第1の実施形態と異なる点についてのみ説明する。
図24は、本実施形態に係る2Trフラッシュメモリのメモリセルアレイ26の回路図である。図示するようにメモリセルアレイ26は、((m+1)×(n+1)、但しm、nは自然数)個のメモリセルブロックBLK、メモリセルブロックBLK毎に設けられた書き込み用カラムセレクタWCS、読み出し用カラムセレクタRCS、及び書き込み禁止用カラムセレクタICSを有している。
各々のメモリセルブロックBLKは、複数のメモリセルMCを含んでいる。メモリセルMCは、2Trフラッシュメモリのメモリセルである。すなわち、メモリセルMCの各々は、1個のメモリセルトランジスタMTと1個の選択トランジスタSTとを有している。そして、メモリセルトランジスタMTのソースは、選択トランジスタSTのドレインに接続されている。メモリセルトランジスタMTは、半導体基板上にゲート絶縁膜を介在して形成されたフローティングゲートと、フローティングゲート上にゲート間絶縁膜を介在して形成されたコントロールゲートとを有する積層ゲート構造を備えている。列方向で隣接するメモリセルMC同士は、メモリセルトランジスタMTのドレイン領域、または選択トランジスタSTのソース領域を共有している。各々のメモリセルブロックBLKには、メモリセルMCが(4×4)個、含まれている。列方向に配置されたメモリセルMCの数は、図24では4個であるが、この数は一例に過ぎず、例えば8個や16個等でも良く、限定されるものではない。4列に並ぶメモリセルMCのメモリセルトランジスタMTのドレイン領域は、4本のローカルビット線LBL0〜LBL3にそれぞれ接続されている。ローカルビット線LBL0〜LBL3の一端は書き込み用カラムセレクタWCSに接続され、他端は読み出し用カラムセレクタRCSに接続されている。
メモリセルアレイ26内において、同一行のメモリセルトランジスタMTの制御ゲートは、ローカルワード線WL0〜WL(4m−1)のいずれかに共通接続されている。同一行の選択トランジスタSTのゲートは、セレクトゲート線SG0〜SG(4m−1)のいずれかに共通接続されている。ローカルビット線LBL0〜LBL3は各々のメモリセルブロックBLK内においてのみメモリセルトランジスタを共通接続するのに対して、ワード線WL及びセレクトゲート線SGは、同一行にあるメモリセルトランジスタ及び選択トランジスタをメモリセルブロック間においても共通接続する。ローカルワード線WL0〜WL(4m−1)はローカルロウデコーダ27に接続される。セレクトゲート線SG0〜SG(4m−1)はグローバルロウデコーダ21a、21bに接続されている。また、選択トランジスタSTのソース領域は、複数のメモリセルブロックBLK間で共通接続され、ソース線ドライバに接続されている。
次に書き込み用カラムセレクタWCSの構成について説明する。書き込み用カラムセレクタWCSの各々は、4つのMOSトランジスタ111〜114を備えている。MOSトランジスタ111〜114の電流経路の一端はローカルビット線LBL0〜LBL3の一端にそれぞれ接続されている。そして、MOSトランジスタ111と112の電流経路の他端が共通接続され、MOSトランジスタ113と114の電流経路の他端が共通接続されている。このMOSトランジスタ111と112の共通接続ノードをノードN10、MOSトランジスタ113と114の共通接続ノードをN11と以下では呼ぶこととする。MOSトランジスタ111〜114のゲートは、書き込み用カラム選択線WCSL0〜WCSL(2m−1)のいずれかに接続されている。なお、同一行にある書き込み用カラムセレクタWCSに含まれるMOSトランジスタ111、113は、同一の書き込み用カラム選択線WCSL(i−1)(i:1、3、5、…)に接続され、同一行にある書き込み用カラムセレクタWCSに含まれるMOSトランジスタ112、114は、同一の書き込み用カラム選択線WCSLiに接続される。書き込み用カラム選択線WCSL0〜WCSL(2m−1)は、書き込み時において、ローカルカラムゲート駆動部23a、23bによって選択される。
書き込み用カラムセレクタWCS内のノードN10、N11は、それぞれ書き込み用グローバルビット線WGBL0〜WGBL(2n−1)のいずれかに接続されている。書き込み用グローバルビット線WGBL0〜WGBL(2n−1)のそれぞれは、同一列にある書き込み用カラムセレクタWCSのノードN10同士、またはノードN11同士を共通接続する。そして、書き込み用グローバルビット線WGBL0〜WGBL(2n−1)は、書き込み用回路17に接続されている。
次に読み出し用カラムセレクタRCSの構成について説明する。読み出し用カラムセレクタRCSの各々は、4つのMOSトランジスタ115〜118を備えている。MOSトランジスタ115〜118の電流経路の一端はローカルビット線LBL0〜LBL3の他端にそれぞれ接続されている。そして、MOSトランジスタ115〜118の電流経路の他端は、互いに共通接続されている。MOSトランジスタ115〜118の共通接続ノードをノードN20と以下では呼ぶこととする。MOSトランジスタ115〜118のゲートは、それぞれ異なる読み出し用カラム選択線RCSL0〜RCSL(4m−1)に接続されている。なお、同一行にある読み出し用カラムセレクタRCSに含まれるMOSトランジスタ115〜118のそれぞれは、同一の読み出し用カラム選択線RCSL0〜RCSL(4m−1)に接続されている。読み出し用カラム選択線RCSL0〜RCSL(4m−1)は、読み出し時において、ローカルカラムゲート駆動部23a、23bによって選択される。
読み出し用カラムセレクタRCS内のノードN20は、読み出し用グローバルビット線RGBL0〜RGBL(n−1)のいずれかに接続されている。読み出し用グローバルビット線RGBL0〜RGBL(n−1)のそれぞれは、同一列にある読み出し用カラムセレクタRCS内のノードN20同士を共通接続する。そして、読み出し用グローバルビット線RGBL0〜RGBL(n−1)は、グローバルカラムゲート22a、22bを介してセンスアンプ18に接続されている。
次に書き込み禁止用カラムセレクタICSの構成について説明する。書き込み禁止用セレクタICSの各々は、4つのMOSトランジスタ141〜144を備えている。MOSトランジスタ141〜144の電流経路の一端はローカルビット線LBL0〜LBL3の一端にそれぞれ接続されている。そして、MOSトランジスタ141〜144の電流経路の他端には書き込み禁止電圧VPIが共通に印加される。MOSトランジスタ141〜144のゲートは、書き込み禁止用カラム選択線ICSL0〜ICSL(2m−1)のいずれかに接続されている。なお、同一行にある書き込み禁止用カラムセレクタICSに含まれるMOSトランジスタ141、143は、同一の書き込み用カラム選択線ICSL(i−1)(i:1、3、5、…)に接続され、同一行にある書き込み禁止用カラムセレクタICSに含まれるMOSトランジスタ142、144は、同一の書き込み用カラム選択線WCSLiに接続される。書き込み禁止用カラム選択線ICSL0〜ICSL(2m−1)は、書き込み時において、ローカルカラムゲート駆動部23a、23bによって選択される。なお、メモリセルブロック内のメモリセル数、読み出し用グローバルビット線RGBL、及び書き込み用グローバルビット線WGBLの本数は、本例に限ったものではない。
上記構成において、書き込み用カラムセレクタWCS、読み出し用カラムセレクタRCS、及び書き込み禁止用カラムセレクタICSが、図1におけるローカルカラムゲート28に相当する。
図25は書き込み回路17の回路図である。図示するように書き込み回路17は、書き込み回路150、スイッチ群180、及び入力バッファ190を備えている。
まず書き込み回路150について説明する。書き込み回路150はラッチ回路群151及びリセット回路152を備えている。ラッチ回路群151は、書き込み用グローバルビット線WGBL0〜WGBL(2n−1)毎に設けられたラッチ回路153を備えている。ラッチ回路153の各々は、2つのインバータ154、155を備えている。インバータ154の入力端は、インバータ155の出力端に接続され、インバータ154の出力端は、インバータ155の入力端に接続されている。そして、インバータ154の入力端とインバータ155の出力端との接続ノードがラッチ回路153の出力ノードとなり、対応する書き込み用グローバルビット線に接続されている。インバータ154、155はそれぞれ、電流経路が直列接続されたnチャネルMOSトランジスタ156及びpチャネルMOSトランジスタ157を備えている。nチャネルMOSトランジスタ156のソースはVBLPWノードに接続され、pチャネルMOSトランジスタ157のソースは書き込み禁止電圧ノードVPIに接続されている。nチャネルMOSトランジスタ156のゲートとpチャネルMOSトランジスタ157のゲートとは共通接続されている。そして、インバータ155のpチャネルMOSトランジスタ157のドレインとnチャネルMOSトランジスタ156のドレインとの接続ノードが、インバータ154のpチャネルMOSトランジスタ157のゲートとnチャネルMOSトランジスタ156のゲートとの接続ノードに接続され、更に書き込み用グローバルビット線に接続されている。また、インバータ154のpチャネルMOSトランジスタ157のドレインとnチャネルMOSトランジスタ156のドレインとの接続ノードが、インバータ155のpチャネルMOSトランジスタ157のゲートとnチャネルMOSトランジスタ156のゲートとの接続ノードに接続され、この接続ノードがラッチ回路153の入力ノードとなる。
まず書き込み回路150について説明する。書き込み回路150はラッチ回路群151及びリセット回路152を備えている。ラッチ回路群151は、書き込み用グローバルビット線WGBL0〜WGBL(2n−1)毎に設けられたラッチ回路153を備えている。ラッチ回路153の各々は、2つのインバータ154、155を備えている。インバータ154の入力端は、インバータ155の出力端に接続され、インバータ154の出力端は、インバータ155の入力端に接続されている。そして、インバータ154の入力端とインバータ155の出力端との接続ノードがラッチ回路153の出力ノードとなり、対応する書き込み用グローバルビット線に接続されている。インバータ154、155はそれぞれ、電流経路が直列接続されたnチャネルMOSトランジスタ156及びpチャネルMOSトランジスタ157を備えている。nチャネルMOSトランジスタ156のソースはVBLPWノードに接続され、pチャネルMOSトランジスタ157のソースは書き込み禁止電圧ノードVPIに接続されている。nチャネルMOSトランジスタ156のゲートとpチャネルMOSトランジスタ157のゲートとは共通接続されている。そして、インバータ155のpチャネルMOSトランジスタ157のドレインとnチャネルMOSトランジスタ156のドレインとの接続ノードが、インバータ154のpチャネルMOSトランジスタ157のゲートとnチャネルMOSトランジスタ156のゲートとの接続ノードに接続され、更に書き込み用グローバルビット線に接続されている。また、インバータ154のpチャネルMOSトランジスタ157のドレインとnチャネルMOSトランジスタ156のドレインとの接続ノードが、インバータ155のpチャネルMOSトランジスタ157のゲートとnチャネルMOSトランジスタ156のゲートとの接続ノードに接続され、この接続ノードがラッチ回路153の入力ノードとなる。
リセット回路152は、書き込み用グローバルビット線WGBL0〜WGBL(2n−1)毎に設けられたnチャネルMOSトランジスタ158を備えている。各nチャネルMOSトランジスタ158のドレインは対応する書き込み用グローバルビット線に接続され、ソースはVBLPWノードに共通接続され、ゲートはWGBLRSTノードに共通接続されている。
スイッチ群180は、ラッチ回路153毎に設けられたnチャネルMOSトランジスタ181、及びnチャネルMOSトランジスタ182を備えている。MOSトランジスタ181の電流経路の一端は、対応するラッチ回路153の入力ノードに接続されている。そして、隣接するラッチ回路にそれぞれ接続された2つのMOSトランジスタ181の電流経路の他端は共通接続されている。すなわち、書き込み用グローバルビット線WGBL0、WGBL1にそれぞれ対応するラッチ回路153に接続されたMOSトランジスタ181同士が、その電流経路の他端を共通としている。書き込み用グローバルビット線WGBL2、WGBL3にそれぞれ対応するラッチ回路153に接続されたMOSトランジスタ181同士もまた同じである。そして、書き込み用グローバルビット線WGBL(i−1)(i=1、3、5、…)に対応するラッチ回路153に接続されたMOSトランジスタ181のゲートは、WDH0ノードに共通接続され、書き込み用グローバルビット線WGBLiに対応するラッチ回路153に接続されたMOSトランジスタ181のゲートはWDH1ノードに共通接続されている。そして、互いに共通接続されたMOSトランジスタ181の電流経路の他端は、MOSトランジスタ182の電流経路の一端に接続されている。MOSトランジスタ182のゲートには、一括して正電圧Vcc2が印加される。なお以下では、MOSトランジスタ181とラッチ回路153の入力ノードとの接続ノードを、それぞれノードA0〜A(2n−1)と呼ぶことにする。
次に入力バッファ190について説明する。入力バッファ190は、スイッチ群180内のMOSトランジスタ182毎に設けられたインバータ191を備えている。インバータ191の入力ノードには、アドレスバッファ15から与えられる書き込みデータが入力され、出力ノードはMOSトランジスタ182の電流経路の他端に接続されている。インバータ191は、その高電圧側電源電位をVcc2、低電圧電源電位を0Vとして動作する。以下では、インバータ191の出力ノードとMOSトランジスタ182との接続ノードをそれぞれノードTOWDI0〜TOWDI((2n−1)/2)と呼ぶことにする。
図26は、ローカルロウデコーダ27、メモリセルアレイ26、及びグローバルロウデコーダ21a、21bの回路図である。図示するように、グローバルロウデコーダ21a、21bは、書き込み用デコーダ120及びセレクトゲートデコーダ130を含んでいる。
書き込み用デコーダ120は、第1の実施形態で説明したグローバルロウデコーダと同様に、ローカルロウデコーダ27を制御する。また書き込み時において、メモリセルアレイが形成されたp型ウェル領域及び全てのセレクトゲート線SG0〜SG(4m−1)に負電位VBB1(−7V)を印加する。また消去時において、全ワード線に負電位VBB2(−8V)を印加すると共に、メモリセルアレイが形成されたp型ウェル領域に正電圧VPPを印加する。セレクトゲートデコーダ130は、読み出し時においてセレクトゲート線SG0〜SG(4m−1)のいずれかを選択し、選択セレクトゲート線に正電位Vcc2を印加する。
上記書き込み用デコーダ120及びセレクトゲートデコーダ130の構成について説明する。まず、セレクトゲートデコーダ130の構成について説明する。セレクトゲートデコーダ130は、アドレスデコード部131及びスイッチ素子群132を備えている。アドレスデコード部131は、セレクトゲート線SG毎に設けられ、電源電圧Vcc2で動作し、(i+1)ビットのロウアドレス信号RA0〜RAiをデコードしてロウアドレスデコード信号を得るロウアドレスデコード回路133を備えている。ロウアドレスデコード回路133は、NAND回路134及びインバータ135を有している。NAND回路134は、ロウアドレス信号RA0〜RAiの各ビットのNAND演算を行う。そして、インバータ135がNAND演算結果を反転して、ロウアドレスデコード信号として出力する。
スイッチ素子群132は、nチャネルMOSトランジスタ136を有している。nチャネルMOSトランジスタ136は、セレクトゲート線SG0〜SG(4m−1)毎に設けられている。そして、インバータ135の出力が、nチャネルMOSトランジスタ136の電流経路を介して、セレクトゲート線SG0〜SG(4m−1)に与えられる。なお、nチャネルMOSトランジスタ136のゲートには、制御信号ZISOGが入力される。そして、制御信号ZISOGによって、書き込み動作及び消去動作時には、MOSトランジスタ136はオフ状態とされ、読み出し動作時にはオン状態とされる。
次に、書き込み用デコーダ120の構成について説明する。書き込み用デコーダ120は、アドレスデコード部121及びスイッチ素子群122を備えている。アドレスデコード部121は、ロウアドレスデコード回路123、126及びレベルシフタ124を備えている。ロウアドレスデコード回路123はセレクトゲート線SG毎に設けられた例えばNANDゲートであり、(i+1)ビットのロウアドレス信号RA0〜RAiをデコードしてロウアドレスデコード信号を得る。そしてロウアドレスデコード回路123の出力が、第2グローバルワード線GWL2−0〜GWL2−(4m−1)に与えられる。ロウアドレスデコード回路126は、2本のローカルワード線毎に設けられた例えばANDゲートである。レベルシフタ124はロウアドレスデコード回路126毎に設けられ、ロウアドレスデコード回路126の出力を反転、レベルシフトして、その出力を第1グローバルワード線GWL1−0〜GWL1−((4m−1)/2)に与える。すなわち、本実施形態に係るロウアドレスデコード回路123、126及びレベルシフタ124は、第1の実施形態で説明したロウアドレスデコード回路40、45及びレベルシフタ41にそれぞれ相当する。
ローカルロウデコーダ27の構成は第1の実施形態と同様であるので説明は省略する。
次に、上記構成のフラッシュメモリのメモリセルアレイ26の断面構造について図27を用いて説明する。図27はメモリセルアレイ110のビット線方向に沿った断面図である。
図示するように、p型半導体基板60の表面領域内にn型ウェル領域62が形成され、n型ウェル領域62の表面領域内にp型ウェル領域67が形成されている。p型ウェル領域67上には、ゲート絶縁膜80が形成され、ゲート絶縁膜80上に、メモリセルトランジスタMT及び選択トランジスタSTのゲート電極が形成されている。メモリセルトランジスタMT及び選択トランジスタSTのゲート電極は、ゲート絶縁膜80上に形成された多結晶シリコン層81、多結晶シリコン層81上に形成されたゲート間絶縁膜82、及びゲート間絶縁膜82上に形成された多結晶シリコン層83を有している。ゲート間絶縁膜82は、例えばシリコン酸化膜、またはシリコン酸化膜とシリコン窒化膜との積層構造であるON膜、NO膜、またはONO膜で形成される。
メモリセルトランジスタMTにおいては、多結晶シリコン層81は、ワード線方向において隣接する素子領域AA間で互いに分離されており、フローティングゲート(FG)として機能する。他方、多結晶シリコン層83は、隣接する素子領域AA間で共通接続され、制御ゲート(ローカルワード線WL)として機能する。
選択トランジスタSTにおいては、多結晶シリコン層81、83は、ワード線方向において隣接する素子領域AA間で共通接続されている。そして、多結晶シリコン層81、83が、セレクトゲート線SGとして機能する。但し、多結晶シリコン層83を電気的にフローティングとして、多結晶シリコン層81のみを実質的にセレクトゲート線として機能させても良い。
隣接するゲート電極間に位置するp型ウェル領域67表面内には、不純物拡散層84が形成されている。不純物拡散層84は、隣接するトランジスタ同士で共用されている。
メモリセルトランジスタMTと選択トランジスタSTとを含むメモリセルMCは次のような関係を有して形成されている。すなわち、隣接するメモリセルMCは、互いに選択トランジスタST同士、またはメモリセルトランジスタMT同士が隣り合っている。そして、隣り合ったもの同士は不純物拡散層84を共有している。従って、隣接する2つのメモリセルMC、MCは、選択トランジスタST同士が隣り合う場合には、2つの選択トランジスタST、STが共有する不純物拡散層(ソース領域)84を中心にして、対称に配置されている。逆に、メモリセルトランジスタMT同士が隣り合う場合には、2つのメモリセルトランジスタMT、MTが共有する不純物拡散層(ドレイン領域)84を中心にして、対称に配置されている。
その他の構成は第1の実施形態と同様であり、選択トランジスタSTのソース84上にコンタクトプラグCP1が形成され、メモリセルトランジスタMTのドレイン84上にコンタクトプラグCP2が形成されている。なお本実施形態では、例えば層間絶縁膜92上に、セレクトゲート線のシャント配線ととして機能する金属配線層192が形成されている。金属配線層192は図示せぬ領域で選択トランジスタSTの多結晶シリコン層81と接続され、セレクトゲートデコーダの出力する信号を伝達する。
次に、上記構成の2Trフラッシュメモリの動作について、図28を用いて以下説明する。図28は、各種信号及び各ノードの電圧のタイミングチャートである。なお以下では、フローティングゲートに電子が注入されておらず閾値電圧が負である状態を“1”データが書き込まれている状態、フローティングゲートに電子が注入され、閾値電圧が正である状態を“0”データが書き込まれている状態と定義する。また説明の簡単化の為に、2本の書き込み用グローバルビット線WGBL0、WGBL1及び1本の読み出し用グローバルビット線RGBL0を有するメモリセルアレイの場合を例に説明する。
<初期動作>
まず、初期動作について図29を用いて説明する。初期動作とは、データの書き込み、読み出し、及び消去などにあたって、最初に行われる動作のことである。初期動作は、図28において、時刻t0〜t1の期間に行われる。図29は、初期動作時における、書き込み用グローバルビット線WGBL0、WGBL1に対応した入力バッファ190、スイッチ群180、及び書き込み回路150の回路図である。
まず、初期動作について図29を用いて説明する。初期動作とは、データの書き込み、読み出し、及び消去などにあたって、最初に行われる動作のことである。初期動作は、図28において、時刻t0〜t1の期間に行われる。図29は、初期動作時における、書き込み用グローバルビット線WGBL0、WGBL1に対応した入力バッファ190、スイッチ群180、及び書き込み回路150の回路図である。
まず初期動作にあたっては、信号WDH0、WDH1が共に“L”レベル(0V)とされる。これによりスイッチ群180内のMOSトランジスタ181がオフ状態となり、書き込み回路150と入力バッファ190とは電気的に分離される。また、ラッチ回路153の高電圧電源電圧として与えられる書き込み禁止電圧VPIがVcc2とされ、VBLPWが0Vとされる。そして、信号WGBLRSTが“H”レベル(Vcc2)とされ、全ての書き込み用グローバルビット線WGBL0、WGBL1がリセットされる。すなわち、書き込み回路50内のMOSトランジスタ158がオン状態とされ、VBLPWノードから0Vが書き込み用グローバルビット線WGBL0、WGBL1に与えられる。この結果、全てのラッチ回路153の出力ノードは“L”レベル(0V)となり、入力ノード(ノードA0、A1)は“H”レベル(Vcc2)となる。
以上のように、初期動作において、書き込み用グローバルビット線が0Vにされると共に、ノードA0、A1にVcc2が与えられる。
<データラッチ動作>
次に、データラッチ動作について図30及び図31を用いて説明する。データラッチ動作とは、データの書き込みにあたって、各ラッチ回路153に対して、書き込みデータを入力する動作のことである。データラッチ動作は、図28において、時刻t1〜t2の間に行われる。図30、図31はデータラッチ動作時における、入力バッファ190、スイッチ群180、及び書き込み回路150の回路図であり、図30は“0”データが入力された場合、図31は“1”データが入力された場合について示している。以下では、書き込み用グローバルビット線WGBL0に接続されたメモリセルに“0”データを書き込み(WGBL0が選択状態)、WGBL1に接続されたメモリセルに“1”データを書き込む(WGBL1が非選択状態)場合を例に挙げて説明する。
次に、データラッチ動作について図30及び図31を用いて説明する。データラッチ動作とは、データの書き込みにあたって、各ラッチ回路153に対して、書き込みデータを入力する動作のことである。データラッチ動作は、図28において、時刻t1〜t2の間に行われる。図30、図31はデータラッチ動作時における、入力バッファ190、スイッチ群180、及び書き込み回路150の回路図であり、図30は“0”データが入力された場合、図31は“1”データが入力された場合について示している。以下では、書き込み用グローバルビット線WGBL0に接続されたメモリセルに“0”データを書き込み(WGBL0が選択状態)、WGBL1に接続されたメモリセルに“1”データを書き込む(WGBL1が非選択状態)場合を例に挙げて説明する。
まず図30を用いて“0”データが入力された際について説明する。データラッチ動作にあたっては、信号WGBLRSTが0Vとされ、MOSトランジスタ158はオフ状態とされる。これにより、各書き込み用グローバルビット線WGBL0、WGBL1はVBLPWノードと電気的に分離される。更に、書き込み用グローバルビット線WGBL0に対応するラッチ回路153にデータをラッチさせる為に、信号WDH0が“H”レベル(Vcc2)とされ、書き込み用グローバルビット線WGBL0に対応するMOSトランジスタ181がオン状態となる。他方、書き込み用グローバルビット線WGBL1に対応するMOSトランジスタ181はオフ状態となる。従って、入力バッファ190と、書き込み用グローバルビット線WGBL0に対応するラッチ回路153とが電気的に接続される。
そして、入力バッファ190のインバータに“0”データが入力される。“0”データが入力される際には、インバータ191の入力ノードに0Vが印加される。“0”データはインバータ191で反転される。その結果、TOWDI0ノードの電位はVcc2となる。すると、MOSトランジスタ182のゲートにはVcc2が印加されているので、MOSトランジスタ182はカットオフの状態となる。従って、ラッチ回路153は時刻t0〜t1で与えられたデータを保持し続ける。すなわち、ノードA0はVcc2のままであり、書き込み用グローバルビット線WGBL0は0Vのままである。
次に図31を用いて“1”データを入力する場合について説明する。“0”データを入力する場合と異なるのは、WDH0=0V、WDH1=Vcc2とされることにより、書き込み用グローバルビット線WGBL1に対応するMOSトランジスタ181がオン状態とされる点である。
そして入力バッファに“1”データが入力される。“1”データが入力される際には、インバータ191の入力ノードにVcc2が印加される。従って、TOWDI0ノードの電位は0Vとなる。このTOWDI0ノードの電位は、MOSトランジスタ181の電流経路を介してラッチ回路153に入力される。その結果、ノードA1の電位はVcc2から0Vに反転し、書き込み用グローバルビット線WGBL1の電位は0VからVcc2に反転する。
以上のように、データラッチ動作においては、“1”書き込みを行うメモリセルに対応したラッチ回路内のデータが、初期状態から反転される。すなわち、“0”書き込み(電子を注入)するときには、実質的にはデータは外部から入力されず、“1”書き込み(電子を注入しない=非選択)するときには、データを外部から取り込む。
<書き込み動作>
次に書き込み動作について図32を用いて説明する。データの書き込みは、同一行にある全てのメモリセルブロックに対して一括して行われる。但し、各メモリセルブロック内において、同時に書き込まれるメモリセルは、ローカルビット線LBL0、LBL1のいずれかに接続されたメモリセルと、ローカルビット線LBL2、LBL3のいずれかに接続されたメモリセルの2つである。
次に書き込み動作について図32を用いて説明する。データの書き込みは、同一行にある全てのメモリセルブロックに対して一括して行われる。但し、各メモリセルブロック内において、同時に書き込まれるメモリセルは、ローカルビット線LBL0、LBL1のいずれかに接続されたメモリセルと、ローカルビット線LBL2、LBL3のいずれかに接続されたメモリセルの2つである。
書き込み動作は、図28において、時刻t2〜t3の期間に行われる。また図32は、書き込み動作時におけるメモリセルアレイ26及び書き込み回路150の回路図である。図32において、ローカルワード線WL0、及びローカルビット線LBL0、LBL2に接続されたメモリセルトランジスタMTにデータを書き込むものとし、そのうち、ローカルビット線LBL0に接続されたメモリセルトランジスタMTに“0”データを書き込み、ローカルビット線LBL2に接続されたメモリセルトランジスタMTに“1”データを書き込むものとする。換言すれば、ローカルビット線LBL0に接続されたメモリセルが選択され、ローカルビット線LBL2に接続されたメモリセルが非選択とされる。
まず書き込み動作にあたって、信号WGBLRSTはVBB1(−7V)とされて、MOSトランジスタ158はオフ状態となる。そして、書き込み禁止電圧VPIがVcc2から0Vに変化し、VBLPWノードの電位が0VからVBB1に変化する。なお、VPIの電位は、−7Vではなく、その他の負電位であっても良い。
すると、ラッチ回路153内のインバータ154、155の低電圧側の電源電圧が0VからVBB1に変化し、高電圧側の電源電圧がVcc2から0Vに変化するから、ノードA0、A1の電位はそれぞれ0V、VBB1に変化する。また書き込み用グローバルビット線WGBL0、WGBL1の電位もそれぞれVBB1、0Vに変化する。
そして、選択ワード線WL0に正電圧VPP(12V)が印加される。また分離用MOSトランジスタ125がオン状態とされることによって、VSGPWノードから、全セレクトゲート線SG0〜SG(4m−1)に負電位VBB1(−7V)が印加される。更に、書き込み用デコーダ20によってメモリセルが形成されている基板(p型ウェル領域67)には負電位VBB1が印加される。なお、書き込み時においては、信号ZISOGは“L”レベルとされており、セレクトゲートデコーダ130のロウアドレスデコード回路133は、セレクトゲート線から電気的に分離されている。
また、選択ワード線WL0を含むメモリセルブロックBLKに対応する書き込み用カラムセレクタWCSに接続された2本の書き込み用カラム選択線のうち、書き込み用カラム選択線WCSL0が選択される。これにより、書き込み用カラムセレクタWCS内のMOSトランジスタ111、113がオン状態とされる。その結果、書き込み用グローバルビット線WGBL0とローカルビット線LBL0とが電気的に接続され、書き込み用グローバルビット線WGBL1とローカルビット線LBL2とが電気的に接続される。
また、選択ワード線WL0を含まないメモリセルブロックBLKに対応する書き込み用カラムセレクタWCSに接続された書き込み用カラム選択線は全て非選択とされる。そのため、選択ローカルワード線を含まないメモリセルブロックBLKに対応する書き込み用カラムセレクタWCS内のMOSトランジスタ111〜114はオフ状態とされる。
更に、全ての読み出し用カラム選択線RCSL0〜RCSL(4m−1)が非選択とされる。これにより、全ての読み出し用カラムセレクタRCS内のMOSトランジスタ115〜118はオフ状態とされる。従って、読み出し用グローバルビット線RGBLとローカルビット線LBL0〜LBL3とは、電気的に分離されている。
更に、非選択とされるローカルビット線LBL1、LBL3に接続されるMOSトランジスタ142、144をオン状態とすべく、書き込み禁止用カラム選択線ICSL1が“H”レベル(Vcc2)とされる。選択ローカルビット線LBL0、LBL2に対応するMOSトランジスタ141、143に接続される書き込み禁止用カラム選択線ICSL0は“L”レベルとされ、MOSトランジスタ141、143はオフ状態である。その結果、非選択ローカルビット線LBL1、LBL3には書き込み禁止電圧VPI=0Vが印加される。
上記の結果、書き込み用カラムセレクタWCS内のMOSトランジスタ111を介して、書き込み用グローバルビット線WGBL0から、選択ローカルワード線WL0を含むメモリセルブロックBLKのローカルビット線LBL0に、書き込み電圧(VBB1)が与えられる。更に、MOSトランジスタ113を介して、書き込み用グローバルビット線WGBL1から、選択ワード線WL0を含むメモリセルブロックBLKのローカルビット線LBL2に、書き込み禁止電圧VPI(0V)が与えられる。
その結果、書き込み用グローバルビット線WGBL1及びローカルワード線WL0に接続されたメモリセルトランジスタMTにおいては、ゲート・チャネル間の電位差が十分ではない(VPP−VPI=12V)ため、フローティングゲートに電子は注入されない。すなわち、メモリセルMCは負の閾値を維持する。すなわち“1”データが書き込まれる。また、非選択ローカルビット線LBL1、LBL3及びローカルワード線WL0に接続されたメモリセルトランジスタMTにおいても、チャネルにVPIが印加されているため、フローティングゲートに電子は注入されず、メモリセルMCは負の閾値を保持する。他方、書き込み用グローバルビット線WGBL0及びローカルワード線WL0に接続されたメモリセルトランジスタMTにおいては、ゲート・チャネル間の電位差が十分である(VPP−VBB1=19V)ため、FN tunnelingによってフローティングゲートに電子が注入される。その結果、メモリセルトランジスタMTの閾値は正に変化する、すなわち“0”データが書き込まれる。
以上のようにして、1ページのメモリセルトランジスタに一括してデータが書き込まれる。
<読み出し動作>
次に読み出し動作について図33を用いて説明する。図28においては時刻t3〜t4の期間が読み出し動作を示す。図33は、2Trフラッシュメモリのメモリセルアレイ26、及び書き込み回路150の回路図である。図33は、ローカルビット線LBL0とローカルワード線WL0に接続されたメモリセルトランジスタMTからデータを読み出す場合について示している。データは、メモリセルブロックBLKあたり1つのメモリセルMCから読み出される。但し1つのメモリセルブロックBLKあたり複数本の読み出し用グローバルビット線が存在する場合には、その数だけデータが読み出される。
次に読み出し動作について図33を用いて説明する。図28においては時刻t3〜t4の期間が読み出し動作を示す。図33は、2Trフラッシュメモリのメモリセルアレイ26、及び書き込み回路150の回路図である。図33は、ローカルビット線LBL0とローカルワード線WL0に接続されたメモリセルトランジスタMTからデータを読み出す場合について示している。データは、メモリセルブロックBLKあたり1つのメモリセルMCから読み出される。但し1つのメモリセルブロックBLKあたり複数本の読み出し用グローバルビット線が存在する場合には、その数だけデータが読み出される。
図33に示すように、まず、選択セレクトゲート線SG0を含むメモリセルブロックBLKに対応する読み出し用カラムセレクタRCSに接続された、4本の読み出し用カラム選択線RCSL0〜RCSL3のうち、読み出し用カラム選択線RCSL0が選択される。これにより、選択セレクトゲート線SG0を含むメモリセルブロックBLKに対応する読み出し用カラムセレクタRCS内のMOSトランジスタ115がオン状態とされる。
また、全ての書き込み用カラム選択線WCSL0〜WCSL(2m−1)が非選択とされる。これにより、全ての書き込み用カラム選択線WCSL0〜WCSL(2m−1)内の4つのMOSトランジスタ11〜14全てがオフ状態とされる。従って、書き込み用グローバルビット線WGBLとローカルビット線LBL0〜LBL3とは、電気的に分離されている。
また、信号WGBLRSTが“H”レベル(Vcc2)とされることにより、書き込み回路150内のMOSトランジスタ158がオン状態となる。またVBLPWノードには0Vが与えられている。従って、読み出し動作時において全ての書き込み用グローバルビット線WGBL0、WGBL1は0Vとされる。
更に、読み出し用グローバルビット線RGBL0がプリチャージされる。読み出し用グローバルビット線の電位が所定のプリチャージ電位に達した後、信号ZISOGが“H”レベルとされ、分離用MOSトランジスタ135がオン状態とされる。そしてセレクトゲートデコーダ130はセレクトゲート線SG0を選択(“H”レベル:Vcc2=3V)する。また、ローカルロウデコーダ27は全てのワード線WL0〜WL(4m−1)を非選択(0V)とし、且つp型ウェル領域67の電位VPW1は0Vとされる。更に、ソース線の電位が0Vとされる。なお、読み出し時において信号WSGは“L”レベルとされ、書き込み用デコーダ120のロウアドレスデコード回路123とセレクトゲート線とは電気的に分離されている。
すると、セレクトゲート線SG0に接続された選択トランジスタSTがオン状態となり、選択ローカルワード線WL0及び選択ローカルビット線LBL0に接続されているメモリセルトランジスタMTに書き込まれているデータが“1”であれば、読み出し用グローバルビット線RGBL0からソース線に電流が流れる。他方、書き込まれているデータが“0”であれば、電流は流れない。
そして、読み出し用グローバルビット線の電位変化をセンスアンプ18が増幅する。以上のようにして、データの読み出し動作が行われる。
<消去動作>
次に消去動作について、図34を用いて説明する。消去動作は、図28における時刻t4以降に行われる。図34は、消去動作時におけるメモリセルアレイ26の回路図である。データの消去は、p型ウェル領域67を共通とする全てのメモリセルMCから一括して行われる。消去動作は、FN tunnelingによってフローティングゲートから電子を引き抜くことによって行われる。
次に消去動作について、図34を用いて説明する。消去動作は、図28における時刻t4以降に行われる。図34は、消去動作時におけるメモリセルアレイ26の回路図である。データの消去は、p型ウェル領域67を共通とする全てのメモリセルMCから一括して行われる。消去動作は、FN tunnelingによってフローティングゲートから電子を引き抜くことによって行われる。
消去動作にあたっては、MOSトランジスタ111〜118、141〜144の全てがオフ状態とされる。従って、全書き込み用グローバルビット線WGBL0、WGBL1は、ラッチ回路151、センスアンプ18、VBLPWノード、及びVPIノードと電気的に分離されて、フローティングの状態となる。
そしてローカルロウデコーダ27は、選択ブロック内における全てのローカルワード線WL0〜WL(4m−1)に負電圧VBB2を印加する。更に、メモリセルが形成されている基板(p型ウェル領域67)には正電位VPPが印加される。なお、消去時においては、信号ZISOG、WSGは“L”レベルとされており、ロウアドレスデコード回路123、133は、セレクトゲート線から電気的に分離されている。
その結果、メモリセルMCのメモリセルトランジスタのフローティングゲートから電子がFN tunnelingによって半導体基板に引き抜かれる。これにより、ローカルワード線WL0〜WL(4m−1)に接続された全てのメモリセルMCのデータが消去され、閾値電圧が負となる。なお、セレクトゲート線の電位は、p型ウェル領域67とのカップリングによってほぼVPPにまで上昇する。以上のようにして、一括してデータが消去される。
次に、上記書き込み動作、読み出し動作、及び消去動作時におけるグローバルロウデコーダ21a、21b及びローカルロウデコーダ27の動作の詳細について、図35乃至図37を用いて説明する。図35乃至図37は書き込み用デコーダ120、セレクトゲートデコーダ130、及びメモリコア部11のメモリセルアレイ26及びローカルロウデコーダ27の回路図である。なお以下では、メモリコア部11が選択され、且つ書き込み動作及び読み出し動作時にはメモリコア部11のローカルワード線WL0が選択される場合を例に挙げて説明する。
<書き込み動作>
まず書き込み動作について図35を用いて説明する。選択ローカルワード線WL0に相当するロウアドレス信号が与えられることで、選択ローカルワード線WL0に対応するロウアドレスデコード回路123、126の出力は、それぞれ“L”レベル(0V)及び“H”レベル(Vcc2)となる。他方、その他のローカルワード線WL1〜WL(4m−1)に対応するロウアドレスデコード回路123、126の出力は、それぞれ“H”レベル(Vcc2)及び“L”レベル(0V)となる。すなわち、第1グローバルワード線GWL1−0が“H”レベル(VPP)、その他の第1グローバルワード線が“L”レベル(0V)、第2グローバルワード線GWL2−0が“L”レベル(0V)、その他の第2グローバルワード線が“H”レベル(Vcc2)となる。
まず書き込み動作について図35を用いて説明する。選択ローカルワード線WL0に相当するロウアドレス信号が与えられることで、選択ローカルワード線WL0に対応するロウアドレスデコード回路123、126の出力は、それぞれ“L”レベル(0V)及び“H”レベル(Vcc2)となる。他方、その他のローカルワード線WL1〜WL(4m−1)に対応するロウアドレスデコード回路123、126の出力は、それぞれ“H”レベル(Vcc2)及び“L”レベル(0V)となる。すなわち、第1グローバルワード線GWL1−0が“H”レベル(VPP)、その他の第1グローバルワード線が“L”レベル(0V)、第2グローバルワード線GWL2−0が“L”レベル(0V)、その他の第2グローバルワード線が“H”レベル(Vcc2)となる。
また書き込み用デコーダ120は、VPW2、VNW2としてそれぞれ0V、VPPを供給する。更にブロックデコーダ19は、選択メモリコア部11におけるブロックデコード配線BD1に0V、ブロックデコード配線BD2−0、BD−1にそれぞれVPP、0Vを印加し、非選択メモリコア部12におけるブロックデコード配線BD1、BD2−0、BD2−1に0Vを印加する。
すると、選択メモリコア部11においては、選択ローカルワード線WL0に対応するMOSトランジスタ43がオフ状態、MOSトランジスタ44がオン状態となる。従ってローカルワード線WL0にはブロックデコード配線BD2−0の電位(VPP)が印加される。また非選択ローカルワード線WL1〜WL(4m−1)に関しては、MOSトランジスタ43がオン状態、MOSトランジスタ44がオフ状態となる。従ってローカルワード線WL1〜WL(4m−1)にはブロックデコード配線BD1の電位(0V)が印加される。
非選択メモリコア部12においては、第1の実施形態と同様である。
非選択メモリコア部12においては、第1の実施形態と同様である。
<読み出し動作>
次に読み出し動作について図36を用いて説明する。読み出し時には、全てのロウアドレスデコード回路123の出力が“H”レベル(Vcc2)となり、全てのロウアドレスデコード回路126の出力が“L”レベル(0V)となる。すなわち、全ての第1グローバルワード線“H”レベル(VPP)となり、全ての第2グローバルワード線が“H”レベル(Vcc2)となる。換言すれば、全てのローカルワード線が非選択状態とされる。
次に読み出し動作について図36を用いて説明する。読み出し時には、全てのロウアドレスデコード回路123の出力が“H”レベル(Vcc2)となり、全てのロウアドレスデコード回路126の出力が“L”レベル(0V)となる。すなわち、全ての第1グローバルワード線“H”レベル(VPP)となり、全ての第2グローバルワード線が“H”レベル(Vcc2)となる。換言すれば、全てのローカルワード線が非選択状態とされる。
また書き込み用デコーダ120は、VPW2、VNW2としてそれぞれ0V、VPPを供給する。更にブロックデコーダ19は、選択メモリコア部11におけるブロックデコード配線BD1に0V、ブロックデコード配線BD2−0、BD−1にVPPを印加する。また、非選択メモリコア部12におけるブロックデコード配線BD1、BD2−0、BD2−1には0Vが与えられる。
すると、選択メモリコア部11においては、ローカルワード線WL0〜WL(4m−1)に対応するMOSトランジスタ43がオン状態、MOSトランジスタ44がオフ状態となる。従ってローカルワード線WL0〜WL(4m−1)にはブロックデコード配線BD1の電位(0V)が印加される。
非選択メモリコア部12においては第1の実施形態と同様である。
<消去動作>
次に消去動作について図37を用いて説明する。消去時は上記読み出し時において、BD1、VPW2を共にVBB2とする。これにより、選択メモリコア部11における全ローカルワード線WL0〜WL(4m−1)にVBB2が印加される。
次に消去動作について図37を用いて説明する。消去時は上記読み出し時において、BD1、VPW2を共にVBB2とする。これにより、選択メモリコア部11における全ローカルワード線WL0〜WL(4m−1)にVBB2が印加される。
上記のように、第1の実施形態は2Trフラッシュメモリに適用することが出来、第1の実施形態で説明した(1)乃至(3)の効果が得られる。
次にこの発明の第4の実施形態に係る半導体記憶装置について説明する。本実施形態は、上記第2の実施形態を2Trフラッシュメモリに適用したものである。図38は、本実施形態に係る2Trフラッシュメモリの書き込み用デコーダ120及びメモリコア部11の回路図である。その他の構成は第2、第3の実施形態と同様であるので説明は省略する。
図示するように本実施形態に係る2Trフラッシュメモリでは、第2の実施形態で説明したように、1本の第1グローバルワード線GWL1を4本のローカルワード線が共用している。そして、同一のグローバルワード線GWL1に接続された4つのMOSトランジスタ44のソースは、互いに異なるブロックデコード配線BD2−0〜BD2−3に接続されている。
上記のように、第2の実施形態は2Trフラッシュメモリにも適用することが出来、第2の実施形態で説明した(4)の効果を併せて得られる。
次にこの発明の第5の実施形態に係る半導体記憶装置について説明する。本実施形態は、上記第1乃至第4の実施形態において、NOR型フラッシュメモリ及び2Trフラッシュメモリの代わりに3Tr−NAND型フラッシュメモリを用いたものである。
図39は本実施形態に係る3Tr−NAND型フラッシュメモリのメモリセルアレイの回路図である。図示するようにメモリセルアレイ26はマトリクス状に配置された((m+1)×(n+1))個のメモリセルMCを備えている。メモリセルMCは、互いに電流経路が直列接続されたメモリセルトランジスタMTと選択トランジスタST1、ST2とを有している。メモリセルトランジスタMTの電流経路は、選択トランジスタST1、ST2の電流経路間に接続されている。メモリセルトランジスタMTは、半導体基板上にゲート絶縁膜を介在して形成されたフローティングゲートと、フローティングゲート上にゲート間絶縁膜を介在して形成されたコントロールゲートとを有する積層ゲート構造を備えている。また選択トランジスタST1、ST2も、半導体基板上にゲート絶縁膜を介在して形成された第1多結晶シリコン層と、第1多結晶シリコン層上にゲート間絶縁膜を介在して形成された第2多結晶シリコン層とを含む多層ゲート構造を有している。そして、選択トランジスタST1のソース領域がメモリセルトランジスタMTのドレイン領域に接続され、メモリセルトランジスタMTのソース領域が、選択トランジスタST2のドレイン領域に接続されている。また、列方向で隣接するメモリセルMC同士は、選択トランジスタST1のドレイン領域、または選択トランジスタST2のソース領域を共有している。
同一行にあるメモリセルMCのメモリセルトランジスタMTの制御ゲートは、ローカルワード線WL0〜WLmのいずれかに共通接続される。また、同一行にあるメモリセルMCの選択トランジスタST1のゲートは、セレクトゲート線SGD0〜SGDmのいずれかに接続され、選択トランジスタST2のゲートは、セレクトゲート線SGS0〜SGSmのいずれかに接続されている。また、同一列にあるメモリセルMCの選択トランジスタST1のドレイン領域は、ローカルビット線BL0〜BLnのいずれかに共通接続されている。そしてメモリセルMCの選択トランジスタST2のソース領域はソース線SLに共通接続され、ソース線ドライバに接続されている。
上記のような3Tr−NAND型フラッシュメモリの場合であっても、第1乃至第4の実施形態が適用出来る。
次にこの発明の第6の実施形態に係る半導体記憶装置について説明する。本実施形態は、上記第1乃至第4の実施形態においてNOR型フラッシュメモリ及び2Trフラッシュメモリの代わりにNAND型フラッシュメモリを用いたものである。図40はNAND型フラッシュメモリの備えるメモリセルアレイの回路図である。
図示するようにメモリセルアレイ26は、マトリクス状に配置された複数個のNANDセルを有している。NANDセルの各々は、8個のメモリセルトランジスタMTと、選択トランジスタST1、ST2とを含んでいる。メモリセルトランジスタMTは、半導体基板上にゲート絶縁膜を介在して形成されたフローティングゲートと、フローティングゲート上にゲート間絶縁膜を介在して形成されたコントロールゲートとを有する積層ゲート構造を備えている。なお、メモリセルトランジスタMTの個数は8個に限られず、16個や32個であってもよく、その数は限定されるものではない。メモリセルトランジスタMTは、隣接するもの同士でソース、ドレインを共有している。そして、選択トランジスタST1、ST2間に、その電流経路が直列接続されるようにして配置されている。そして、直列接続されたメモリセルトランジスタMTの一端側のドレイン領域が選択トランジスタST1のソース領域に接続され、他端側のソース領域が選択トランジスタST2のドレイン領域に接続されている。すなわち、NANDセルは、3Tr−NAND型フラッシュメモリのメモリセルにおいて、メモリセルトランジスタMTの数を複数にしたものである。
同一行にあるメモリセルトランジスタMTの制御ゲートは、ローカルワード線WL0〜WLmのいずれかに共通接続され、同一行にあるメモリセルの選択トランジスタST1、ST2のゲートは、それぞれセレクトゲート線SGD、SGSに接続されている。ローカルワード線WL0〜WLm、及びセレクトゲート線SGS、SGDはロウデコーダに接続される。また、メモリセルアレイにおいて同一列にある選択トランジスタST1のドレインはローカルビット線BL0〜BLnのいずれかに共通接続される。選択トランジスタST2のソースはソース線SLに共通接続され、ソース線ドライバに接続されている。なお、選択トランジスタST1、ST2は必ずしも両方必要ではない。NANDセルを選択出来るのであれば、いずれか一方のみが設けられていても良い。
上記のようなNAND型フラッシュメモリであっても、上記第1乃至第4の実施形態が適用出来る。
次にこの発明の第7の実施形態に係る半導体記憶装置について説明する。本実施形態は、上記第1乃至第6の実施形態で説明したフラッシュメモリを同一のチップ上に混載したシステムLSIに係るものである。図41は、本実施形態に係るシステムLSIのブロック図である。
図示するように、システムLSI300は、MCU301、I/O回路305、及び同一半導体基板上に形成されたNAND型フラッシュメモリ302、3Tr−NAND型フラッシュメモリ303並びに2Trフラッシュメモリ304を備えている。なお2Trフラッシュメモリの代わりに第1、第2の実施形態で説明したNOR型フラッシュメモリを用いても良いが、以下では2Trフラッシュメモリの場合を例に挙げて説明する。
NAND型フラッシュメモリ302は、画像データや映像データを保存するストレージ用のメモリとして用いられる。NAND型フラッシュメモリ302の構成は上記第6の実施形態で説明したとおりである。
3Tr−NAND型フラッシュメモリ303は、LSI300へアクセスするためのIDコードやセキュリティコードを保持する。3Tr−NAND型フラッシュメモリ303の構成は、上記第5の実施形態で説明したとおりである。
2Trフラッシュメモリ304は、MCU301が動作するためのプログラムデータを保持する。2Trフラッシュメモリ304の構成は上記第3、第4の実施形態で説明した通りである。
MCU301は、外部から入力される各種のコマンドに応答して、2Trフラッシュメモリ304から読み出したプログラムに基づいた処理を行う。この際MCU301は、SRAM(Static Random Access Memory)などを介することなく、直接2Trフラッシュメモリ304にアクセスする。MCU301の行う処理の例としては、NAND型フラッシュメモリ302に対して入力されるデータの圧縮や解凍、または外部装置の制御などがある。更に、MCU301は、NAND型フラッシュメモリ302に保持されるデータに外部からアクセスされた場合、3Tr−NAND型フラッシュメモリ303から所定のデータを読み出す。そしてMCU301は、読み出したデータと、外部から入力されるIDコードやセキュリティコードと照合し、一致した場合にNAND型フラッシュメモリ302へのアクセスを許可する。NAND型フラッシュメモリ302へのアクセスが許可されると、外部(ホスト)からNAND型フラッシュメモリ302内のデータへのアクセスが行われる。すなわち、MCU3010は、外部から受け取ったコマンドに応答してNAND型フラッシュメモリ302へトリガをかけ、データの読み出し(書き込み)を行う。
I/O回路305は、LSI300と外部との信号の授受を制御する。
上記構成のシステムLSI300において、NAND型フラッシュメモリ302、3Tr−NAND型フラッシュメモリ303、及び2Trフラッシュメモリ304が備えるメモリセルトランジスタMT及び選択トランジスタST1、ST2、STは、同一の工程で形成出来る。すなわち、同一の酸化工程、成膜工程、不純物注入工程、フォトリソグラフィ・エッチング工程によって、各MOSトランジスタが形成される。その結果、ゲート絶縁膜、ゲート間絶縁膜、メモリセルトランジスタMTのフローティングゲート及びコントロールゲート、並びに選択トランジスタのセレクトゲートは、3つのフラッシュメモリ302〜304間で同一となる。このような製造方法であると、1つのフラッシュメモリを形成するのに必要な工程数によって、3つのフラッシュメモリのメモリセルアレイを形成出来る。
2Trフラッシュメモリ302は、書き込み及び消去時に正電圧と負電圧を用いている。従って、2Trフラッシュメモリ302が有するロウデコーダに使用されるMOSトランジスタは、NAND型フラッシュメモリ302や3Tr−NAND型フラッシュメモリ303が有するロウデコーダに使用されるMOSトランジスタよりもゲート絶縁膜の薄いものが使用できる。このため、2Trフラッシュメモリのロウデコーダを小型化出来ると共に、動作速度を高速化出来る。
また2Trフラッシュメモリ304は、MCU301が動作するためのプログラムデータを保持する。上記説明したように2Trフラッシュメモリ304は高速動作が可能である。従って、MCU301がRAMなどを介さずにデータを2Trフラッシュメモリ340から直接読み出すことが出来る。その結果、RAMなどが不要となり、システムLSIの構成を簡略化出来ると共に、動作速度を向上できる。
また、3Tr−NAND型フラッシュメモリ303は、IDコードやセキュリティコードを保持する。これらのコードデータは、データ量自体はそれ程大きくないが、頻繁に変更/更新されることが多い。従って、これらのコードデータを保持するメモリには、ある程度の高速動作が求められる。この点、3Tr−NAND型フラッシュメモリ303は、消去単位がNAND型フラッシュメモリ302ほど大きくなく、ページ単位でのデータの書き換えが可能である。従って、3Tr−NAND型フラッシュメモリ303は、上記コードデータを保持するのに最適な半導体メモリであると言うことが出来る。
また従来、NAND型フラッシュメモリを有するLSIであると、書き換えが特定のブロックに集中することを防ぐために、次のようなコントローラが必要であった。すなわち、入力されたアドレスを物理アドレスに変換したり、ブロックに不良があった場合に、当該ブロックを不良ブロックとして以後使用しないように制御を行ったりするコントローラである。しかし本実施形態ではこのようなコントローラは不要である。なぜなら、NAND型フラッシュメモリ302内のブロックを制御するファームウェアプログラムを2Trフラッシュメモリ304に保持させ、MCU301によって上記制御を行わせれば良いからである。MCU301は、本来行う作業(外部装置の制御やNAND型フラッシュメモリ302に入力されるデータの計算処理など)の間の時間を使って、上記制御を行えば良い。勿論、MCU301の能力と、本来MCU301が処理しなければならない処理量の大小を見極めて、処理量が多い場合には、ハードウェアシーケンサ等を設けてNAND型フラッシュメモリ302の制御を行っても良い。
上記のように、この発明の第1乃至第7の実施形態によれば、ローカルロウデコーダを1本のワード線あたり2個のMOSトランジスタで形成することが出来る。また、負電圧をウェル領域からMOSトランジスタの電流経路を介して与えるのではなく、ウェル領域とは独立して電圧制御可能なソースから転送する。従って、MOSトランジスタのゲートに負電圧を印加する必要が無く、レベルシフト回路を小型化出来る。以上により、ロウデコーダを小型化出来、フラッシュメモリの面積を効果的に削減出来る。
なお、上記実施形態では、2本のローカルワード線毎または4本のローカルワード線毎に1本の第1グローバルワード線(すなわち、1個のレベルシフタ41及び1個のロウアドレスデコード回路45)を設ける場合について説明した。しかし、第1グローバルワード線の数を更に削減しても良い。第1グローバルワード線をn本のローカルワード線毎に設ける場合には、n本のブロックデコード配線BD2−0〜BD2−(n−1)を設けることで、選択ローカルワード線以外を非選択にするように制御すれば良い。この際におけるMOSトランジスタ43、44の配置は図19に示す通りである。すなわち、各MOSトランジスタ43、44が、(m×n)のマトリクス状に配置され、各行は、n本のワード線のピッチに対応して配置される。
また、隣接するメモリコア部のローカルロウデコーダ27及びメモリセルアレイ26を図42及び図43に示すように配置しても良い。すなわち、複数のローカルロウデコーダ27が隣り合うように、2つのメモリコア部11、12を配置する。この場合、図44の断面図に示すように、2つのローカルロウデコーダ27がn型ウェル領域とp型ウェル領域とを共有出来る。これにより、より面積を削減出来る。
更にNOR型フラッシュメモリの書き込み動作時には、図45に示すように、選択メモリコア部におけるブロックデコード配線BD1に負電圧、例えば−1Vを与えても良い。この場合、MOSトランジスタ43によって−1Vが非選択ワード線に与えられる。
なお上記実施形態では第1グローバルワード線と第2グローバルワード線とが、異なるレベルの金属配線層によって形成される場合を例に説明した。しかし、両者を同一のレベルの金属配線層で形成しても構わない。例えば第1、第2グローバルワード線の両方が、第2層目の金属配線層によって形成されても良い。
次に、前述の半導体記憶装置に関するアプリケーションについて説明する。図46にメモリカードの例を示した。図46に示した様に、メモリカード900は、上記実施形態で説明したフラッシュメモリ3(NOR型フラッシュメモリ、2Trフラッシュメモリ、3Tr−NAND型フラッシュメモリまたはNAND型フラッシュメモリ)を有している。フラッシュメモリ3は、図示せぬ外部装置から所定の制御信号及びデータを受け取る。また、図示せぬ外部装置へ所定の制御信号及びデータを出力する。
メモリカード900に搭載されたフラッシュメモリ3に、データ、アドレス、若しくは、コマンドを転送する信号線(DAT)、信号線DATにコマンドが転送されている事を示すコマンドラインイネーブル信号線(CLE)、信号線DATにアドレスが転送されている事を示すアドレスラインイネーブル信号線(ALE)、及び、フラッシュメモリ10が動作可能か否かを示すレディービジー信号線(R/B)が接続される。
図47に別のメモリカードの例を示した。図46に示したメモリカードと異なる点は、フラッシュメモリ3を制御し、図示せぬ外部装置と所定の信号のやり取りを行うコントローラ910を有している点である。
コントローラ910は、それぞれフラッシュメモリ3及び図示せぬ外部装置から所定の信号を受信、若しくは、外部装置へ所定の信号を出力するインターフェース部(I/F)911、912と、外部装置から入力された論理アドレスを物理アドレスに変換する為の所定の計算を行うマイクロプロセッサ部(MPU)913と、データを一時的に記憶するバッファーラム914と、誤り訂正符合を生成する誤り訂正部(ECC)915を有している。また、メモリカード900にはコマンド信号線(CMD)、クロック信号線(CLK)、信号線(DAT)が接続されている。
なお、前述の様なメモリカードを示したが、制御信号の本数、信号線のビット幅、若しくは、コントローラの構成は種々の変形が可能である。
図48は、別のアプリケーションを示す。図48に示すように、前述したメモリカード900は、カードホルダー920に挿入され、図示せぬ電子機器に接続される。カードホルダー920は前出のコントローラ910の機能の一部を有していても良い。
図49に別のアプリケーションを示した。図示した様に、前述のメモリカード900、若しくは、メモリカード900が挿入されたカードホルダー920が接続装置1000に挿入される。接続装置1000は接続配線1100、及びインターフェース回路1200を介してボード1300に接続される。ボード1300にはCPU1400やバス1500が搭載される。
図50に別のアプリケーションを示した。メモリカード900、若しくは、メモリカード900が挿入されたカードホルダー920が接続装置1000に挿入される。接続装置1000は接続配線1100を介して、パーソナルコンピュータ2000に接続されている。
別のアプリケーションを図51、図52に示す。図示するように、ICカード2100にMCU2200が搭載され、MCU2200は、いずれかの実施態様に従ったフラッシュメモリ10と、その他の回路、例えばROM2300、RAM2400、及びCPU2500を備えている。ICカード2100は、MCU2200に接続され且つICカード2100に設けられたplane terminal 2600を介してMCU2200に接続可能である。CPU2500は、計算部2510と、フラッシュメモリ3、ROM2300及びRAM2400に接続された制御部2520を備えている。例えば、MPU2200はICカード2100の一方の面上に設けられ、plane connecting terminal 2600は他方の面に設けられている。
すなわち、この発明の第1乃至第7の実施形態に係る半導体記憶装置は、
1.フローティングゲートと、前記フローティングゲート上に形成された制御ゲートとを備えたMOSトランジスタを含む複数のメモリセルと、
マトリクス状に配置された前記メモリセルを備えたメモリセルアレイと、
同一行にある前記メモリセルの前記MOSトランジスタの前記制御ゲートを共通接続するワード線と、
前記ワード線を選択するためのロウアドレス信号をデコードするロウデコーダと、
前記ワード線毎に設けられ、ドレインが前記ワード線に接続され、ソースに第1電圧が印加され、前記ロウデコーダによって非選択とされた前記ワード線に前記第1電圧を転送する第1MOSトランジスタと、
前記ワード線毎に設けられ、ドレインが前記ワード線に接続され、ソースに第2電圧が印加され、前記ロウデコーダによって選択された前記ワード線に前記第2電圧を転送する第2MOSトランジスタとを具備し、前記第1MOSトランジスタのバックゲートバイアスは、該第1MOSトランジスタの前記ソースの電位とは独立して制御される。
2.上記1において、前記メモリセルの消去動作時において、前記ロウデコーダは前記ワード線を非選択状態とし、
前記第1MOSトランジスタは、負電圧とされた前記第1電圧を前記ワード線に転送する。
3.上記1において、前記メモリセルの読み出し動作時において、前記第1電圧として負電圧が与えられ、
前記ロウデコーダによって非選択とされた前記ワード線に対しては、前記第1MOSトランジスタが前記第1電圧を印加し、
前記ロウデコーダによって選択された前記ワード線に対しては、前記第2MOSトランジスタが前記第2電圧を印加し、
前記第1MOSトランジスタのバックゲートバイアスとして負電圧が印加されることにより、選択された前記ワード線に対応する前記第1MOSトランジスタはオフ状態となる。
4.フローティングゲートと、前記フローティングゲート上に形成された制御ゲートとを備えたMOSトランジスタを含む複数のメモリセルと、
マトリクス状に配置された前記メモリセルを備え、互いに異なるウェル領域上に設けられた第1、第2メモリセルアレイと、
前記第1、第2メモリセルアレイのそれぞれにおいて、同一行にある前記メモリセルの前記MOSトランジスタの前記制御ゲートを共通接続するワード線と、
前記第1、第2メモリセルアレイ毎に設けられたスイッチ素子群と、
前記ワード線を選択するためのロウアドレス信号をデコードして、前記スイッチ素子群を制御するロウデコーダとを具備し、前記スイッチ素子群は、前記第1、第2メモリセルアレイのそれぞれにおいて、前記ワード線毎に設けられ、ドレインが前記ワード線に接続され、ソースに第1電圧が印加され、前記ロウデコーダによって非選択とされた前記ワード線に前記第1電圧を転送する第1MOSトランジスタと、
前記第1、第2メモリセルアレイのそれぞれにおいて、前記ワード線毎に設けられ、ドレインが前記ワード線に接続され、ソースに第2電圧が印加され、前記ロウデコーダによって選択された前記ワード線に前記第2電圧を転送する第2MOSトランジスタとを備え、前記第1MOSトランジスタのバックゲートバイアスは、該第1MOSトランジスタの前記ソースの電位から独立して制御される。
5.フローティングゲートと、前記フローティングゲート上に形成された制御ゲートとを備えたMOSトランジスタを含む複数のメモリセルと、
マトリクス状に配置された前記メモリセルを備えたメモリセルアレイと、
同一行にある前記メモリセルの前記MOSトランジスタの前記制御ゲートを共通接続するワード線と、
前記ワード線を選択するためのロウアドレス信号をデコードするロウデコーダと、
前記ロウデコーダに電圧を印加するブロックデコーダとを具備し、前記ロウデコーダは、前記ワード線を選択するためのロウアドレス信号をデコードしてロウアドレスデコード信号を得る第1デコード回路と、
前記ワード線毎に設けられ、いずれか一方のみがオン状態となる第1、第2スイッチ素子を備え、前記ロウアドレスデコード信号に基づいて、前記第1、第2スイッチ素子のそれぞれが第1、第2電圧を、対応する前記ワード線に転送する第2デコード回路とを備え、前記ブロックデコーダは、選択ワード線に対応する前記第2スイッチと非選択ワード線に対応する前記第1スイッチ素子がオン状態、選択ワード線に対応する前記第1スイッチ素子と非選択ワード線に対応する前記第2スイッチがオフ状態となるように前記第2デコード回路を制御し、
前記第2電圧は前記第1電圧よりも大きい。
6.上記3において、前記第1MOSトランジスタのバックゲートバイアスは、前記第1電圧よりも低い電圧である。
7.上記1において、前記ロウデコーダは、前記ワード線毎に設けられ、前記ロウアドレス信号をデコードする第1ロウアドレスデコード回路と、
複数の前記ワード線毎に設けられ、前記ロウアドレス信号をデコードする第2ロウアドレスデコード回路と、
前記第2ロウアドレスデコード回路の出力を反転、レベルシフトするレベルシフト回路とを備え、前記第1ロウアドレスデコード回路の出力は0Vまたは正電圧であり、且つ前記第1MOSトランジスタのゲートに入力され、
前記レベルシフト回路の出力は0Vまたは正電圧であり、且つ前記第2MOSトランジスタのゲートに入力される。
8.上記1において、前記第1、第2MOSトランジスタは、前記メモリセルアレイに前記ワード線方向で隣接するように配置され、
前記第1、第2MOSトランジスタのそれぞれは、(m×n、(m、n:自然数))の行列状に配置され、n本の前記ワード線毎に、1行の前記第1、第2MOSトランジスタが配置される。
9.上記4において、前記第1、第2メモリセルアレイは同数の前記ワード線を備え、
前記ロウデコーダは、前記ワード線毎に設けられ、前記ロウアドレス信号をデコードする第1ロウアドレスデコード回路と、
複数の前記ワード線毎に設けられ、前記ロウアドレス信号をデコードする第2ロウアドレスデコード回路と、
前記第2ロウアドレスデコード回路の出力を反転、レベルシフトするレベルシフト回路と、
前記レベルシフト回路の出力を、前記第1、第2メモリセルアレイに対応した前記スイッチ素子群に共通に転送する第1グローバルワード線と、
前記第1ロウアドレスデコード回路の出力を、前記第1、第2メモリセルアレイに対応した前記スイッチ素子群に共通に転送する第2グローバルワード線とを備え、前記第1ロウアドレスデコード回路の出力は0Vまたは正電圧であり、且つ前記第1MOSトランジスタのゲートに入力され、
前記レベルシフト回路の出力は0Vまたは正電圧であり、且つ前記第2MOSトランジスタのゲートに入力される。
10.上記4において、前記メモリセルの消去動作時においては、前記第1、第2メモリセルアレイのいずれかが選択され、且つ前記ロウデコーダは前記ワード線を非選択状態とし、
選択された前記第1、第2メモリセルアレイのいずれか一方に対応する前記第1MOSトランジスタは、前記第1電圧として負電圧を前記ワード線に転送し、
非選択とされた前記第1、第2メモリセルアレイのいずれか他方に対応する前記第1、第2MOSトランジスタはオフ状態となる。
11.上記9において、前記メモリセルの読み出し動作時において、前記第1、第2メモリセルアレイのいずれかが選択され、選択された前記第1、第2メモリセルアレイのいずれか一方の前記第1電圧には負電圧が与えられ、非選択とされた前記第1、第2メモリセルアレイのいずれか他方の前記第1電圧には0Vが印加され、
前記第1、第2メモリセルアレイにおいて、前記ロウデコーダによって非選択とされた前記ワード線に対しては、前記第1MOSトランジスタが前記第1電圧を印加し、
選択された前記第1、第2メモリセルアレイのいずれか一方において、前記ロウデコーダによって選択された前記ワード線に対しては、前記第2MOSトランジスタが前記第2電圧を印加し、前記第1MOSトランジスタはバックゲートバイアスとして負電圧が印加されることによりオフ状態とされ、
非選択とされた前記第1、第2メモリセルアレイのいずれか他方において、前記選択ワード線と同一の前記第1、第2グローバルワード線に接続される前記第1、第2MOSトランジスタは共にオフ状態とされる。
12.上記11において、前記第1MOSトランジスタの前記バックゲートバイアスは、前記第1電圧よりも低い電圧である。
13.上記4において、前記スイッチ素子群は、前記第1、第2メモリセルアレイに前記ワード線方向で隣接するように配置され、
前記第1、第2MOSトランジスタのそれぞれは、(m×n、(m、n:自然数))の行列状に配置され、n本の前記ワード線毎に、1行の前記第1、第2MOSトランジスタが配置される。
14.上記5において、前記第1スイッチ素子は、ドレインが前記ワード線に接続され、ソースに前記第1電圧が印加され、ゲートに前記ロウアドレスデコード信号が入力されるnチャネルMOSトランジスタであり、
前記第2スイッチ素子は、ドレインが前記ワード線に接続され、ソースに前記第2電圧が印加され、ゲートが前記ロウアドレスデコード信号に基づいて制御されるpチャネルMOSトランジスタであり、
前記ブロックデコーダは、前記第1MOSトランジスタのバックゲートバイアスと前記第1電圧とを、それぞれ独立して制御する。
15.上記14において、前記メモリセルの消去動作時において、前記ロウデコーダは前記ワード線を非選択状態とし、
前記ブロックデコーダは前記第1電圧として負電圧を供給し、
前記nチャネルMOSトランジスタは、前記ワード線に前記第1電圧を転送する。
16.フローティングゲートと、前記フローティングゲート上に形成された制御ゲートとを備えたMOSトランジスタを含む複数のメモリセルと、
マトリクス状に配置された前記メモリセルを備えたメモリセルアレイと、
同一行にある前記メモリセルの前記MOSトランジスタの前記制御ゲートを共通接続するワード線と、
前記ワード線を選択するためのロウアドレス信号をデコードするロウデコーダと、
前記ワード線毎に設けられ、ドレインが前記ワード線に接続され、ソースに第1電圧が印加され、前記ロウデコーダによって非選択とされた前記ワード線に第1電圧を転送するnチャネルMOSトランジスタと、
前記ワード線毎に設けられ、ドレインが前記ワード線に接続され、ソースに第2電圧が印加され、前記ロウデコーダによって選択された前記ワード線に第2電圧を転送するpチャネルMOSトランジスタと、
前記第1、第2電圧、及び前記nチャネルMOSトランジスタのバックゲートバイアスを供給するブロックデコーダとを具備し、前記ブロックデコーダは、前記第1MOSトランジスタのバックゲートバイアスと前記第1電圧とをそれぞれ独立に制御し、
前記第1電圧は前記バックゲートバイアスに等しい、または前記バックゲートバイアスよりも高い電圧である。
17.上記16において、前記メモリセルの消去動作時において、前記ロウデコーダは前記ワード線を非選択状態とし、
前記ブロックデコーダは前記第1電圧として負電圧を供給し、
前記nチャネルMOSトランジスタは、前記ワード線に前記第1電圧を転送する。
更に上記実施形態に係るメモリカードは、
18.上記1記載の半導体記憶装置を備える。
19.上記18において、前記半導体記憶装置を制御する制御回路を更に備える。
1.フローティングゲートと、前記フローティングゲート上に形成された制御ゲートとを備えたMOSトランジスタを含む複数のメモリセルと、
マトリクス状に配置された前記メモリセルを備えたメモリセルアレイと、
同一行にある前記メモリセルの前記MOSトランジスタの前記制御ゲートを共通接続するワード線と、
前記ワード線を選択するためのロウアドレス信号をデコードするロウデコーダと、
前記ワード線毎に設けられ、ドレインが前記ワード線に接続され、ソースに第1電圧が印加され、前記ロウデコーダによって非選択とされた前記ワード線に前記第1電圧を転送する第1MOSトランジスタと、
前記ワード線毎に設けられ、ドレインが前記ワード線に接続され、ソースに第2電圧が印加され、前記ロウデコーダによって選択された前記ワード線に前記第2電圧を転送する第2MOSトランジスタとを具備し、前記第1MOSトランジスタのバックゲートバイアスは、該第1MOSトランジスタの前記ソースの電位とは独立して制御される。
2.上記1において、前記メモリセルの消去動作時において、前記ロウデコーダは前記ワード線を非選択状態とし、
前記第1MOSトランジスタは、負電圧とされた前記第1電圧を前記ワード線に転送する。
3.上記1において、前記メモリセルの読み出し動作時において、前記第1電圧として負電圧が与えられ、
前記ロウデコーダによって非選択とされた前記ワード線に対しては、前記第1MOSトランジスタが前記第1電圧を印加し、
前記ロウデコーダによって選択された前記ワード線に対しては、前記第2MOSトランジスタが前記第2電圧を印加し、
前記第1MOSトランジスタのバックゲートバイアスとして負電圧が印加されることにより、選択された前記ワード線に対応する前記第1MOSトランジスタはオフ状態となる。
4.フローティングゲートと、前記フローティングゲート上に形成された制御ゲートとを備えたMOSトランジスタを含む複数のメモリセルと、
マトリクス状に配置された前記メモリセルを備え、互いに異なるウェル領域上に設けられた第1、第2メモリセルアレイと、
前記第1、第2メモリセルアレイのそれぞれにおいて、同一行にある前記メモリセルの前記MOSトランジスタの前記制御ゲートを共通接続するワード線と、
前記第1、第2メモリセルアレイ毎に設けられたスイッチ素子群と、
前記ワード線を選択するためのロウアドレス信号をデコードして、前記スイッチ素子群を制御するロウデコーダとを具備し、前記スイッチ素子群は、前記第1、第2メモリセルアレイのそれぞれにおいて、前記ワード線毎に設けられ、ドレインが前記ワード線に接続され、ソースに第1電圧が印加され、前記ロウデコーダによって非選択とされた前記ワード線に前記第1電圧を転送する第1MOSトランジスタと、
前記第1、第2メモリセルアレイのそれぞれにおいて、前記ワード線毎に設けられ、ドレインが前記ワード線に接続され、ソースに第2電圧が印加され、前記ロウデコーダによって選択された前記ワード線に前記第2電圧を転送する第2MOSトランジスタとを備え、前記第1MOSトランジスタのバックゲートバイアスは、該第1MOSトランジスタの前記ソースの電位から独立して制御される。
5.フローティングゲートと、前記フローティングゲート上に形成された制御ゲートとを備えたMOSトランジスタを含む複数のメモリセルと、
マトリクス状に配置された前記メモリセルを備えたメモリセルアレイと、
同一行にある前記メモリセルの前記MOSトランジスタの前記制御ゲートを共通接続するワード線と、
前記ワード線を選択するためのロウアドレス信号をデコードするロウデコーダと、
前記ロウデコーダに電圧を印加するブロックデコーダとを具備し、前記ロウデコーダは、前記ワード線を選択するためのロウアドレス信号をデコードしてロウアドレスデコード信号を得る第1デコード回路と、
前記ワード線毎に設けられ、いずれか一方のみがオン状態となる第1、第2スイッチ素子を備え、前記ロウアドレスデコード信号に基づいて、前記第1、第2スイッチ素子のそれぞれが第1、第2電圧を、対応する前記ワード線に転送する第2デコード回路とを備え、前記ブロックデコーダは、選択ワード線に対応する前記第2スイッチと非選択ワード線に対応する前記第1スイッチ素子がオン状態、選択ワード線に対応する前記第1スイッチ素子と非選択ワード線に対応する前記第2スイッチがオフ状態となるように前記第2デコード回路を制御し、
前記第2電圧は前記第1電圧よりも大きい。
6.上記3において、前記第1MOSトランジスタのバックゲートバイアスは、前記第1電圧よりも低い電圧である。
7.上記1において、前記ロウデコーダは、前記ワード線毎に設けられ、前記ロウアドレス信号をデコードする第1ロウアドレスデコード回路と、
複数の前記ワード線毎に設けられ、前記ロウアドレス信号をデコードする第2ロウアドレスデコード回路と、
前記第2ロウアドレスデコード回路の出力を反転、レベルシフトするレベルシフト回路とを備え、前記第1ロウアドレスデコード回路の出力は0Vまたは正電圧であり、且つ前記第1MOSトランジスタのゲートに入力され、
前記レベルシフト回路の出力は0Vまたは正電圧であり、且つ前記第2MOSトランジスタのゲートに入力される。
8.上記1において、前記第1、第2MOSトランジスタは、前記メモリセルアレイに前記ワード線方向で隣接するように配置され、
前記第1、第2MOSトランジスタのそれぞれは、(m×n、(m、n:自然数))の行列状に配置され、n本の前記ワード線毎に、1行の前記第1、第2MOSトランジスタが配置される。
9.上記4において、前記第1、第2メモリセルアレイは同数の前記ワード線を備え、
前記ロウデコーダは、前記ワード線毎に設けられ、前記ロウアドレス信号をデコードする第1ロウアドレスデコード回路と、
複数の前記ワード線毎に設けられ、前記ロウアドレス信号をデコードする第2ロウアドレスデコード回路と、
前記第2ロウアドレスデコード回路の出力を反転、レベルシフトするレベルシフト回路と、
前記レベルシフト回路の出力を、前記第1、第2メモリセルアレイに対応した前記スイッチ素子群に共通に転送する第1グローバルワード線と、
前記第1ロウアドレスデコード回路の出力を、前記第1、第2メモリセルアレイに対応した前記スイッチ素子群に共通に転送する第2グローバルワード線とを備え、前記第1ロウアドレスデコード回路の出力は0Vまたは正電圧であり、且つ前記第1MOSトランジスタのゲートに入力され、
前記レベルシフト回路の出力は0Vまたは正電圧であり、且つ前記第2MOSトランジスタのゲートに入力される。
10.上記4において、前記メモリセルの消去動作時においては、前記第1、第2メモリセルアレイのいずれかが選択され、且つ前記ロウデコーダは前記ワード線を非選択状態とし、
選択された前記第1、第2メモリセルアレイのいずれか一方に対応する前記第1MOSトランジスタは、前記第1電圧として負電圧を前記ワード線に転送し、
非選択とされた前記第1、第2メモリセルアレイのいずれか他方に対応する前記第1、第2MOSトランジスタはオフ状態となる。
11.上記9において、前記メモリセルの読み出し動作時において、前記第1、第2メモリセルアレイのいずれかが選択され、選択された前記第1、第2メモリセルアレイのいずれか一方の前記第1電圧には負電圧が与えられ、非選択とされた前記第1、第2メモリセルアレイのいずれか他方の前記第1電圧には0Vが印加され、
前記第1、第2メモリセルアレイにおいて、前記ロウデコーダによって非選択とされた前記ワード線に対しては、前記第1MOSトランジスタが前記第1電圧を印加し、
選択された前記第1、第2メモリセルアレイのいずれか一方において、前記ロウデコーダによって選択された前記ワード線に対しては、前記第2MOSトランジスタが前記第2電圧を印加し、前記第1MOSトランジスタはバックゲートバイアスとして負電圧が印加されることによりオフ状態とされ、
非選択とされた前記第1、第2メモリセルアレイのいずれか他方において、前記選択ワード線と同一の前記第1、第2グローバルワード線に接続される前記第1、第2MOSトランジスタは共にオフ状態とされる。
12.上記11において、前記第1MOSトランジスタの前記バックゲートバイアスは、前記第1電圧よりも低い電圧である。
13.上記4において、前記スイッチ素子群は、前記第1、第2メモリセルアレイに前記ワード線方向で隣接するように配置され、
前記第1、第2MOSトランジスタのそれぞれは、(m×n、(m、n:自然数))の行列状に配置され、n本の前記ワード線毎に、1行の前記第1、第2MOSトランジスタが配置される。
14.上記5において、前記第1スイッチ素子は、ドレインが前記ワード線に接続され、ソースに前記第1電圧が印加され、ゲートに前記ロウアドレスデコード信号が入力されるnチャネルMOSトランジスタであり、
前記第2スイッチ素子は、ドレインが前記ワード線に接続され、ソースに前記第2電圧が印加され、ゲートが前記ロウアドレスデコード信号に基づいて制御されるpチャネルMOSトランジスタであり、
前記ブロックデコーダは、前記第1MOSトランジスタのバックゲートバイアスと前記第1電圧とを、それぞれ独立して制御する。
15.上記14において、前記メモリセルの消去動作時において、前記ロウデコーダは前記ワード線を非選択状態とし、
前記ブロックデコーダは前記第1電圧として負電圧を供給し、
前記nチャネルMOSトランジスタは、前記ワード線に前記第1電圧を転送する。
16.フローティングゲートと、前記フローティングゲート上に形成された制御ゲートとを備えたMOSトランジスタを含む複数のメモリセルと、
マトリクス状に配置された前記メモリセルを備えたメモリセルアレイと、
同一行にある前記メモリセルの前記MOSトランジスタの前記制御ゲートを共通接続するワード線と、
前記ワード線を選択するためのロウアドレス信号をデコードするロウデコーダと、
前記ワード線毎に設けられ、ドレインが前記ワード線に接続され、ソースに第1電圧が印加され、前記ロウデコーダによって非選択とされた前記ワード線に第1電圧を転送するnチャネルMOSトランジスタと、
前記ワード線毎に設けられ、ドレインが前記ワード線に接続され、ソースに第2電圧が印加され、前記ロウデコーダによって選択された前記ワード線に第2電圧を転送するpチャネルMOSトランジスタと、
前記第1、第2電圧、及び前記nチャネルMOSトランジスタのバックゲートバイアスを供給するブロックデコーダとを具備し、前記ブロックデコーダは、前記第1MOSトランジスタのバックゲートバイアスと前記第1電圧とをそれぞれ独立に制御し、
前記第1電圧は前記バックゲートバイアスに等しい、または前記バックゲートバイアスよりも高い電圧である。
17.上記16において、前記メモリセルの消去動作時において、前記ロウデコーダは前記ワード線を非選択状態とし、
前記ブロックデコーダは前記第1電圧として負電圧を供給し、
前記nチャネルMOSトランジスタは、前記ワード線に前記第1電圧を転送する。
更に上記実施形態に係るメモリカードは、
18.上記1記載の半導体記憶装置を備える。
19.上記18において、前記半導体記憶装置を制御する制御回路を更に備える。
なお、本願発明は上記実施形態に限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。更に、上記実施形態には種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出されうる。例えば、実施形態に示される全構成要件からいくつかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出されうる。
10…LSI、11〜14…メモリコア部、15…アドレスバッファ、16…制御部、17、150…書き込み回路、18…センスアンプ、19…ブロックデコーダ、20…電圧発生回路、21a、21b…グローバルロウデコーダ、22a、22b…グローバルカラムゲート、23a、23b…ローカルカラムゲート、24…グローバルカラムゲート、25…カラムデコーダ、26…メモリセルアレイ、27…ローカルロウデコーダ、28…ローカルカラムゲート、29…ウェルデコーダ、31〜38、43、52〜55、111〜118、125、136、141〜144、156、158、181、182…nチャネルMOSトランジスタ、40、45、123、126、133…アドレスデコード回路、41、124…レベルシフタ、42、122、132…スイッチ群、44、50、51、157…pチャネルMOSトランジスタ、56、154、155、191…インバータ、60…半導体基板、61〜64…n型ウェル領域、65〜69…p型ウェル領域、70、71…ゲート電極、72、86、87、89〜91、93、94、96、102〜107、192…金属配線層、80…ゲート絶縁膜、81、83…多結晶シリコン層、82…ゲート間絶縁膜、84…不純物拡散層、85、88、92、95、97…層間絶縁膜、120…書き込み用デコーダ、121、131…アドレスデコード部、151…ラッチ回路群、153…ラッチ回路、180…スイッチ群、190…入力バッファ
Claims (5)
- フローティングゲートと、前記フローティングゲート上に形成された制御ゲートとを備えたMOSトランジスタを含む複数のメモリセルと、
マトリクス状に配置された前記メモリセルを備えたメモリセルアレイと、
同一行にある前記メモリセルの前記MOSトランジスタの前記制御ゲートを共通接続するワード線と、
前記ワード線を選択するためのロウアドレス信号をデコードするロウデコーダと、
前記ワード線毎に設けられ、ドレインが前記ワード線に接続され、ソースに第1電圧が印加され、前記ロウデコーダによって非選択とされた前記ワード線に前記第1電圧を転送する第1MOSトランジスタと、
前記ワード線毎に設けられ、ドレインが前記ワード線に接続され、ソースに第2電圧が印加され、前記ロウデコーダによって選択された前記ワード線に前記第2電圧を転送する第2MOSトランジスタと
を具備し、前記第1MOSトランジスタのバックゲートバイアスは、該第1MOSトランジスタの前記ソースの電位とは独立して制御される
ことを特徴とする半導体記憶装置。 - 前記メモリセルの消去動作時において、前記ロウデコーダは前記ワード線を非選択状態とし、
前記第1MOSトランジスタは、負電圧とされた前記第1電圧を前記ワード線に転送する
ことを特徴とする請求項1記載の半導体記憶装置。 - 前記メモリセルの読み出し動作時において、前記第1電圧として負電圧が与えられ、
前記ロウデコーダによって非選択とされた前記ワード線に対しては、前記第1MOSトランジスタが前記第1電圧を印加し、
前記ロウデコーダによって選択された前記ワード線に対しては、前記第2MOSトランジスタが前記第2電圧を印加し、
前記第1MOSトランジスタのバックゲートバイアスとして負電圧が印加されることにより、選択された前記ワード線に対応する前記第1MOSトランジスタはオフ状態となる
ことを特徴とする請求項1記載の半導体記憶装置。 - フローティングゲートと、前記フローティングゲート上に形成された制御ゲートとを備えたMOSトランジスタを含む複数のメモリセルと、
マトリクス状に配置された前記メモリセルを備え、互いに異なるウェル領域上に設けられた第1、第2メモリセルアレイと、
前記第1、第2メモリセルアレイのそれぞれにおいて、同一行にある前記メモリセルの前記MOSトランジスタの前記制御ゲートを共通接続するワード線と、
前記第1、第2メモリセルアレイ毎に設けられたスイッチ素子群と、
前記ワード線を選択するためのロウアドレス信号をデコードして、前記スイッチ素子群を制御するロウデコーダと
を具備し、前記スイッチ素子群は、前記第1、第2メモリセルアレイのそれぞれにおいて、前記ワード線毎に設けられ、ドレインが前記ワード線に接続され、ソースに第1電圧が印加され、前記ロウデコーダによって非選択とされた前記ワード線に前記第1電圧を転送する第1MOSトランジスタと、
前記第1、第2メモリセルアレイのそれぞれにおいて、前記ワード線毎に設けられ、ドレインが前記ワード線に接続され、ソースに第2電圧が印加され、前記ロウデコーダによって選択された前記ワード線に前記第2電圧を転送する第2MOSトランジスタと
を備え、前記第1MOSトランジスタのバックゲートバイアスは、該第1MOSトランジスタの前記ソースの電位から独立して制御される
ことを特徴とする半導体記憶装置。 - フローティングゲートと、前記フローティングゲート上に形成された制御ゲートとを備えたMOSトランジスタを含む複数のメモリセルと、
マトリクス状に配置された前記メモリセルを備えたメモリセルアレイと、
同一行にある前記メモリセルの前記MOSトランジスタの前記制御ゲートを共通接続するワード線と、
前記ワード線を選択するためのロウアドレス信号をデコードするロウデコーダと、
前記ロウデコーダに電圧を印加するブロックデコーダと
を具備し、前記ロウデコーダは、前記ワード線を選択するためのロウアドレス信号をデコードしてロウアドレスデコード信号を得る第1デコード回路と、
前記ワード線毎に設けられ、いずれか一方のみがオン状態となる第1、第2スイッチ素子を備え、前記ロウアドレスデコード信号に基づいて、前記第1、第2スイッチ素子のそれぞれが第1、第2電圧を、対応する前記ワード線に転送する第2デコード回路と
を備え、前記ブロックデコーダは、選択ワード線に対応する前記第2スイッチと非選択ワード線に対応する前記第1スイッチ素子がオン状態、選択ワード線に対応する前記第1スイッチ素子と非選択ワード線に対応する前記第2スイッチがオフ状態となるように前記第2デコード回路を制御し、
前記第2電圧は前記第1電圧よりも大きい
ことを特徴とする半導体記憶装置。
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