JP2005515630A - エピタキシャル成長用サセプタおよびエピタキシャル成長方法 - Google Patents
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Abstract
Description
このエピタキシャルウェーハの製造において、従来から実施されている複数のシリコンウェーハに対して同時にエピタキシャル成長処理するバッチ方式ではシリコンウェーハの大口径化に対応し難くなってきたことから、枚葉式のエピタキシャル成長装置が主に使用されるようになってきた。近年では、直径300mm以上のウェーハに対してエピタキシャル成長処理が可能な大口径用のエピタキシャル成長装置も開発されている。
この枚葉式のエピタキシャル成長装置としては、装置へのウェーハの搬入、搬出を行う搬送治具とサセプタ間の移載方式が、ベルヌイチャック方式または搬送治具の昇降方式によりウェーハを移載するタイプと、ウェーハ下面をピン支持してピンの昇降により移載するタイプとの2つに大別される。しかしながら、どちらも基本的には、装置内に水平状態に配された一つのサセプタ上に半導体ウェーハを載置して、周囲に配設された赤外線ランプなどの熱源によってウェーハを高温状態とし、かつサセプタを回転させながら高温状態のウェーハ表面上に反応ガスを流すことにより、ウェーハ表面にエピタキシャル成長させるものである。
図19は、従来手段に係るエピタキシャル成長装置を模式的に示した断面図である。図20は、従来手段に係るエピタキシャル成長用サセプタを模式的に示した平面図である。図21は、従来手段に係る他のエピタキシャル成長用サセプタを模式的に示した断面図である。図22は、この発明の従来手段に係るエピタキシャル成長用サセプタの使用状態を模式的に示した断面図である。図23は、この発明の別の従来手段に係るエピタキシャル成長用サセプタの使用状態を模式的に示した平面図である。
図19〜図22に示すように、エピタキシャル成長装置(以下、装置)1は、その内部にエピタキシャル膜の形成室(以下、膜形成室)2を有している。この膜形成室2は、上側ドーム3と下側ドーム4とドーム取り付け体5とを備えている。上側ドーム3および下側ドーム4は、石英などの透明な材料から構成され、装置1の上方および下方に複数配置されたハロゲンランプ6により、サセプタ10およびシリコンウェーハWが加熱される。
サセプタ10は、サセプタ回転軸7に連なる支持アーム8によってその下面の外周部が嵌合されて回転する。サセプタ10は、炭素母材の表面にSiC膜をコーティングしたものが採用されている。このサセプタ10は、図20に示すような円板形状、または、図21に示すような凹部を有する円板形状で、シリコンウェーハWの裏面全体を面支持する。この凹部は、シリコンウェーハWが収納される略円形の底壁と、これを取り囲む側壁とにより形成されるポケット10aを構成する。また、サセプタ10の外周部には、その周方向に向かって120度毎に合計3本の貫通孔10bが形成されている。各貫通孔10bには、シリコンウェーハWを昇降させる昇降ピン9が遊挿されている。昇降ピン9の昇降は、リフトアーム11により行われる。
ドーム取り付け体5のうち、サセプタ10と対峙する高さ位置には、ガス供給口12とガス排出口13とが対向配置されている。ガス供給口12からは、膜形成室2内にSiHCl3などのSiソースガス(原料ガス)を水素ガス(キャリアガス)で希釈し、それにドーパントを微量混合した反応ガスが、シリコンウェーハWの表面に対して平行(水平方向)に供給される。この供給された反応ガスは、シリコンウェーハWの表面を通過してエピタキシャル膜成長後、ガス排出口13より装置1の外に排出される。
このオートドープによるエピタキシャル膜面内の抵抗率分布の悪化を防ぐため、通常、ウェーハの裏面あるいはエピタキシャル膜が形成されるウェーハ表面を除く露出面の全体に保護膜がコーティングされたシリコンウェーハを使用することで、シリコンウェーハWからのオートドープを防止している。オートドープ防止用の保護膜としては、CVD法によるシリコン酸化膜が一般的であり、その他、ゲッタリング能を付与するためにウェーハ裏面に形成される多結晶シリコン膜も、オートドープを防止する保護膜として機能する。一般的に、裏面のみが酸化シリコンで覆われている。このウェーハの裏面周縁部は被覆されていないが、小面積故にこの周縁部からの外方拡散は極微小である。
このように、保護膜を有するウェーハを使用することは、オートドープの抑制に有効ではある。
しかしながら、これは、CVD装置などの専用設備や追加の処理工程が必要となる。エピタキシャルウェーハにデバイスを作製するデバイス工程の種類によっては、裏面の保護膜を除去したエピタキシャルウェーハの提供を要求される場合もある。この場合には、エピタキシャル成長処理後に保護膜を除去するための研磨やエッチングなどの工程も必要となる。このため、エピタキシャルウェーハがコスト高となり、近年高まる低価格エピタキシャルウェーハの提供の要求を満たすことができない。
しかも、裏面に保護膜が形成されたエピタキシャルウェーハは、エピタキシャル成長中、ウェーハ裏面からほとんど外方拡散によるドーパント放出が行われていないため、裏面側表層部のドーパント濃度が非常に高いエピタキシャルウェーハとなっている。このため、このエピタキシャルウェーハはその裏面の保護膜が除去されて使用されるデバイス工程にあって、高温でのデバイス熱処理時にウェーハ裏面側からドーパントが多量に放出されるという、オートドープが発生し、大きな抵抗率変化を引き起こすという問題もある。
しかしながら、各貫通孔10cの開口率および開口面積を一定と仮定したとき、このようにポケット底壁の略全面に分散して貫通孔10cが存在する場合には、貫通孔10cの形成領域と非形成領域の温度差により生じるシリコンウェーハWの表面のナノトポグラフィは大きく劣化する。
また、このポケット底壁の中心位置から半径1/2までの領域は、エピタキシャル成長装置におけるエピタキシャル成長プロセス温度の測定領域である。そのため、この領域に貫通孔10cを形成すると、プロセス温度測定にバラツキを生じ、その結果、エピタキシャル膜にスリップが発生する可能性が高くなる。
一方、前述したように反応ガスはシリコンウェーハWの表面に対して平行に膜形成室2に供給される(図22)。そのため、膜形成室2に流れ込んだ反応ガスの一部は、サセプタ10の外周壁に衝突する。これにより、サセプタ10の上縁部付近で反応ガスの気流が乱れ、反応ガスがシリコンウェーハWの外周面と十分に接触し難くなる。その結果、この部分のエピタキシャル膜が表面部分のそれに比べて薄くなるという現象が発生していた。この現象は、シリコンウェーハWの裏面に、オートドープ防止用の保護膜の有無にかかわらず発生する。
しかしながら、(1) 成長速度を低下させる方法によれば、エピタキシャル膜の成長に長い時間が必要となり、シリコンウェーハWの生産性の向上を阻害するおそれがあった。また、(2) 上記高さDを低くすると、搬送中のシリコンウェーハWが、わずかな振動でもポケット10aから飛び出すおそれがあった。
また、従来の貫通孔10cは、その軸線方向をサセプタ10の底壁の厚さ方向に向けて形成されていた。その結果、輻射熱は、この貫通孔を通り抜け、シリコンウェーハ裏面に直接吸収される。この結果、シリコンウェーハの加熱が不均一となっていた。
この発明は、エピタキシャル膜の膜厚の均一化が図れ、しかもポケットの底壁に形成された複数の貫通孔の形成領域と非形成領域の温度差により生じる半導体ウェーハの表面のナノトポグラフィの劣化を低減することができ、さらにはポケット底壁への貫通孔の形成を原因としたエピタキシャル膜へのスリップの発生を防止することができ、そしてウェーハ裏面からのオートドープの影響を排除し、エピタキシャル膜面内のドーパント濃度の均一性を向上させることができるエピタキシャル成長用サセプタおよびエピタキシャル成長方法を提供することを、その目的としている。
また、この発明は、ウェーハ裏面から放出されるドーパントの排出効果を大きくすることができるエピタキシャル成長用サセプタおよびエピタキシャル成長方法を提供することを、その目的としている。
さらに、この発明は、サセプタ母材に起因したウェーハ汚染を防止することができるエピタキシャル成長用サセプタおよびエピタキシャル成長方法を提供することを、その目的としている。
さらに、この発明は、ウェーハ裏面に保護膜を形成することなく、エピタキシャル成長を行うことで、エピタキシャルウェーハの低コスト化を実現することができるエピタキシャル成長用サセプタおよびエピタキシャル成長方法を提供することを、その目的としている。
さらに、この発明は、デバイス工程での熱処理時に、オートドープが発生しないエピタキシャルウェーハの提供を目的とするものである。
さらに、この発明は、貫通孔の形成部における輻射熱の低下を抑制し、半導体ウェーハの裏面の光沢ムラの発生を抑制することができるエピタキシャル成長用サセプタおよびエピタキシャル成長方法を提供することを、その目的としている。
略円形とは円形、楕円形またはそれに類似する形状などが挙げられる。また、多角形とは三角形、四角形、五角形またはそれ以上の角形が挙げられる。
半導体ウェーハの種類は限定されない。例えば、シリコンウェーハでもよいし、ガリウム砒素ウェーハでもよい。SOIウェーハでも、選択的に成長させられたエピタキシャルウェーハでもよい。
複数の貫通孔の開口面積の総和が底壁の面積の0.05%よりも小さければ、ウェーハ裏面から外方拡散するドーパントを効果的に排出することが困難となる。また、これが55%を超えると、ウェーハ中心部と外周部との温度差が大きくなりエピタキシャル膜にスリップ転位が発生したり、サセプタ自体の強度が低下してエピタキシャル反応中にサセプタが割れるなどの問題がある。
この第1の発明によれば、複数の貫通孔を、底壁の中心から半径の1/2の距離より半径方向の外側の外周領域内に配設し、かつ、少なくとも半導体ウェーハが上方に載置される底壁領域内に貫通孔が含まれるように配設するとともに、これらの貫通孔の開口面積の総和を底壁の面積の0.05〜55%としたので、エピタキシャル膜の膜厚の均一化が図れ、しかもポケットの底壁に形成された複数の貫通孔の形成領域と非形成領域の温度差により生じる半導体ウェーハの表面のナノトポグラフィの劣化を低減することができる。また、このポケット底壁への貫通孔の形成を原因としたスリップの発生を防止することができる。さらには、ウェーハ裏面からオートドープの影響が現れる半導体ウェーハにおいて、このオートドープの影響を排除し、エピタキシャル膜面内のドーパント濃度の均一性を向上させることも可能となる。
半導体ウェーハの裏面全体を面支持するようなサセプタ構造によれば、ウェーハ裏面全体に水素ガスなどのキャリアガスが回り込み難くなる。これにより、ウェーハ裏面から放出されるドーパントの排出効果が小さくなる。このため、ウェーハ裏面とサセプタ上面とに若干の空間が形成されるように、ウェーハ外周部と面接触あるいは線接触あるいは点接触してウェーハを支持する支持部をサセプタに形成することが有効である。
第3の発明は、第1の発明にあって、上記サセプタの表面および各貫通孔の内壁面には、SiC膜が被着されたエピタキシャル成長用サセプタである。
サセプタの露出面および貫通孔の内面にSiC膜がコーティングされていることから、例えば炭素部材からなるサセプタ母材からの炭素汚染など、使用するサセプタ母材に起因した汚染を確実に防止することができる。
第4の発明は、第1の発明にあって、上記サセプタは、少なくとも各貫通孔の内壁をSiC材により構成したエピタキシャル成長用サセプタである。
前述したサセプタの露出面および貫通孔の内面にSiC膜をコーティングしたサセプタの作製にあっては、全ての貫通孔内面に対してSiC膜を一様にコーティングすることが難しく、一部の貫通孔内面において、SiC膜の剥離が発生するおそれがある。そこで、少なくとも貫通孔が形成されるサセプタ領域部の母材そのものをCVD法などにより積層したSiC材により構成することで、サセプタ母材に起因した汚染を確実に防止することができる。もちろん、サセプタ全体をSiC材で構成してもよい。
第5の発明は、第1の発明にあって、上記貫通孔が、底壁の厚さ方向に対して傾斜したエピタキシャル成長用サセプタである。
すなわち、底壁に形成された各貫通孔は、その軸線が底壁面と直交しておらず、底壁面に対して所定角度だけ傾斜している。
貫通孔の傾斜角度は、例えば20〜70度である。また、貫通孔の傾斜方向は限定されない。底壁の上面から下面に向かって底壁の内方向または外方向への傾斜などが挙げられる。
この第5の発明によれば、貫通孔が底壁の厚さ方向に沿って延在するのではなく、所定角度で傾斜しているので、サセプタの裏面側からの熱が、直接、貫通孔を通して半導体ウェーハに伝達されにくい。そのため、底壁の貫通孔の形成部における輻射熱の低減を抑制し、半導体ウェーハの裏面の光沢ムラの発生を抑制することができる。
開口面積が0.2mm2未満の貫通孔を形成することは、機械加工精度の観点から技術的に困難であり、開口面積が3.2mm2を超える貫通孔を形成した場合には、開口面積が大きすぎるため、温度分布が不均一となり、ナノトポグラフィの劣化やスリップの発生が顕著となる。
一方、貫通孔の密度が0.25個/mm3未満では、原料ガスの流通が小さいため、エピタキシャル膜の外周部の膜厚低下を防止することができない。また、ウェーハ裏面から排出されるドーパントの排出効果も小さいため、オートドープの影響を排除することができなくなる。また、貫通孔の密度が25個/mm3を超えると、サセプタそのものの強度が低下し、エピタキシャル成長処理中、サセプタが反るまたは割れるなどの不都合が生じる。
この第6の発明によれば、エピタキシャル膜の膜厚の均一化が図れ、しかもポケットの底壁に形成された複数の貫通孔の形成領域と非形成領域の温度差により生じるウェーハ表面のナノトポグラフィの劣化を低減することができる。さらには、このポケット底壁への貫通孔の形成を原因としたスリップの発生を防止することができる。そして、ウェーハ裏面からのオートドープの影響が現れる半導体ウェーハの場合には、その影響を排除し、エピタキシャル膜面内のドーパント濃度の均一性を向上させることができる。
第7の発明は、第6の発明に係るエピタキシャル成長用サセプタにおいて、上記側壁には、載置される半導体ウェーハの外周部のみに対して面接触、線接触または点接触してこの半導体ウェーハを支持する支持部を備えたエピタキシャル成長用サセプタである。
第8の発明は、第6の発明に係るサセプタの表面および各貫通孔の内壁面には、SiC膜が被着されたエピタキシャル成長用サセプタである。
第9の発明は、第6の発明に係るサセプタは、少なくとも各貫通孔の内壁をSiC材により構成したエピタキシャル成長用サセプタである。
第10の発明は、第6の発明に係るサセプタの貫通孔が、底壁の厚さ方向に対して傾斜したエピタキシャル成長用サセプタである。
原料ガスとしては、例えばSiH4、SiH2Cl2、SiHCl3、SiCl4 などを採用することができる。
キャリアガスとしては、例えば水素ガス、不活性ガスなどを採用することができる。
この第11の発明によれば、ポケットに半導体ウェーハを搭載後、サセプタの上面側には原料ガスおよびキャリアガスを流し、その下面側にはキャリアガスを流しながらエピタキシャル成長する。これにより、サセプタの外周部では、サセプタの下面側を流れるキャリアガスにより生じた負圧力により、サセプタの上面側を流れる原料ガスの一部が、半導体ウェーハの外周部とサセプタの側壁との隙間から各貫通孔を介してサセプタの下面側に流れ込む。その結果、ウェーハ外周部の表面にも、十分な原料ガスを供給することができる。よって、エピタキシャル膜の膜厚の均一化が図れ、しかもサセプタの底壁の中心から半径1/2の領域には貫通孔が存在しないので、ポケットの底壁に形成された複数の貫通孔の形成領域と非形成領域の温度差により生じる半導体ウェーハの表面のナノトポグラフィの劣化を低減することができる。また、このポケット底壁への貫通孔の形成を原因としたスリップの発生を防止することができる。
さらに、表裏両面が半導体単結晶面で構成された半導体ウェーハにエピタキシャル成長処理を施す場合、エピタキシャル成長処理中にウェーハ裏面からドーパントが外方拡散される。しかしながら、上記負圧力の作用によりドーパントはサセプタの下面側に排出され、エピタキシャル膜内に取り込まれにくくなる。その結果、ウェーハ裏面からのオートドープの影響を排除し、エピタキシャル膜面内のドーパント濃度の均一性を向上させることができる。もちろん、裏面に酸化膜または多結晶膜が形成されたオートドープの影響がない半導体ウェーハにエピタキシャル成長処理を施してもよい。この場合でも、エピタキシャル膜の外周部の膜厚の低下を抑制することができる。
第13の発明は、第11の発明に係る方法にあって、上記サセプタの表面および各貫通孔の内壁面には、SiC膜が被着されたエピタキシャル成長方法である。
第14の発明は、第11の発明に係る方法にあって、上記サセプタは、少なくとも各貫通孔の内壁をSiC材により構成したエピタキシャル成長方法である。
第15の発明は、第11の発明に係る方法にあって、上記サセプタの下面側に供給されるキャリアガスが水素含有ガスで、その流量が3〜100リットル/分であるエピタキシャル成長方法である。
サセプタの下面側に流すキャリアガスの流量が3リットル/分未満では、サセプタに設けられた貫通孔からドーパントを吸い出す作用が小さすぎて、オートドープの低減効果が十分得られない。また、100リットル/分を超えると、ドーパント排出効果は増大するが、ドーパントを含むキャリアガスが適切にガス排出口から排出されず、その一部が原料ガス中に流れ込み、エピタキシャル膜中の抵抗率分布が悪化する。
第16の発明は、第11の発明に係る方法にあって、上記貫通孔が、底壁の厚さ方向に対して傾斜したエピタキシャル成長方法である。
この第17の発明によれば、サセプタのポケットに半導体ウェーハを搭載し、サセプタの上面側には原料ガスおよびキャリアガスを流し、その下面側にはキャリアガスを流しながらエピタキシャル成長する。このとき、サセプタの外周部では、サセプタの下面側を流れるキャリアガスにより生じた負圧力の作用で、各貫通孔を介して、サセプタの上面側を流れる原料ガスの一部がサセプタの下面側に流れ込む。その結果、ウェーハ外周部の表面にも、十分な原料ガスを供給することができる。よって、エピタキシャル膜の膜厚の均一化が図れ、しかもポケットの底壁に形成された複数の貫通孔の形成領域と非形成領域の温度差により生じる半導体ウェーハの表面のナノトポグラフィの劣化を低減することができる。また、このポケット底壁への貫通孔の形成を原因としたスリップの発生を防止することができる。
さらには、表裏両面が半導体単結晶面で構成された半導体ウェーハの場合には、エピタキシャル成長処理中にウェーハ裏面からドーパントが外方拡散される。しかしながら、外方拡散されたドーパントは、上記負圧力の作用により、サセプタの下面側に排出される。そのため、このドーパントがエピタキシャル膜内に取り込まれにくい。その結果、ウェーハ裏面からのオートドープの影響を排除し、エピタキシャル膜面内のドーパント濃度の均一性を向上させることができる。
第19の発明は、第17の発明に係る方法にあって、上記サセプタの表面および各貫通孔の内壁面には、SiC膜が被着されたエピタキシャル成長方法である。
第20の発明は、第17の発明に係る方法にあって、上記サセプタは、少なくとも各貫通孔の内壁をSiC材により構成したエピタキシャル成長方法である。
第21の発明は、第17の発明に係る方法にあって、上記サセプタの下面側に供給されるキャリアガスが水素含有ガスで、その流量が3〜100リットル/分であるエピタキシャル成長方法である。
第22の発明は、第17の発明に係る方法にあって、上記貫通孔が、底壁の厚さ方向に対して傾斜したエピタキシャル成長方法である。
また、この発明は、半導体ウェーハの外周部のみに対して面接触、線接触または点接触してこの半導体ウェーハを支持する支持部を側壁に設けている。また、貫通孔はこの接触領域からウェーハ中心側に設けられている。ウェーハ外縁部ではシールがなされ、ウェーハ裏面から放出されるドーパントがこれらの貫通孔を介して拡散される。その結果、裏面からのオートドープの影響を最小化することができる。
さらに、この発明は、サセプタの表面および各貫通孔の内壁面にSiC膜を被着、または、サセプタの少なくとも各貫通孔の内壁をSiC材により構成したので、サセプタ母材に起因したウェーハ汚染を防止することができる。
さらに、この発明は、半導体ウェーハの裏面に保護膜を形成していないことで、エピタキシャルウェーハの製造コストを低くできる。
しかも、この発明のエピタキシャル成長方法によれば、エピタキシャル反応中、ウェーハ裏面から積極的にドーパントが外方拡散されることから、ウェーハ裏面表層部のドーパント濃度が極めて低いエピタキシャルウェーハを提供することができる。さらに、その後のデバイス工程におけるオートドープ発生を防止することもできる。そして、この発明のエピタキシャル成長用サセプタを使用した場合には、オートドープの問題はもちろんのこと、不純物汚染といったサセプタ構造に起因する問題を全て解決することができる。
さらにまた、この発明によれば、底壁の厚さ方向に対して貫通孔が傾斜しているので、サセプタの裏面側からの熱が、直接、貫通孔を通して半導体ウェーハに伝達されにくくなる。その結果、底壁の貫通孔の形成部における輻射熱の低減を抑制し、半導体ウェーハの裏面の光沢ムラの発生を抑制することができる。
図5は、この発明の他の実施の形態に係るエピタキシャル成長用サセプタを模式的に示した平面図である。図6は、この発明の他の実施の形態に係るエピタキシャル成長用サセプタを模式的に示した要部断面図である。図7は、この発明の他の実施の形態に係るエピタキシャル成長用サセプタを模式的に示した要部断面図である。
ドーム取り付け体5のうち、サセプタ10と対峙する高さ位置には、ガス供給口12とガス排出口13とが対向配置されている。ガス供給口12からは、膜形成室2内にSiHCl3などのSiソースガス(原料ガス)を水素ガス(キャリアガス)で希釈し、それにドーパントを微量混合した反応ガスが、シリコンウェーハWの表面に対して平行(水平方向)に供給される。この供給された反応ガスは、シリコンウェーハWの表面を通過してエピタキシャル膜成長後、ガス排出口13より装置1の外に排出される。
また、ドーム取り付け体5のうち、ガス供給口12の下方近傍には、サセプタ10の下面側に水素ガスなどのキャリアガスを供給するガス供給口14が形成されている。また、ドーム取り付け体5のうち、ガス排出口13の下方近傍には、ガス供給口14から供給された水素ガスを外部に排出するガス排出口15が設けられている。なお、ガス排出口15を設けずにエピタキシャル成長用の反応ガスなどを排出するガス排出口13を兼用してもよい。
サセプタ10は、サセプタ回転軸7に連なる支持アーム8によってその下面の外周部が嵌合されて回転する。このサセプタ10は、シリコンウェーハWより若干大径な直径215mmの円形の底壁と、これを取り囲む円筒形状の側壁とにより形成されるポケット10aを有している。底壁と側壁とはそれぞれ炭素製である。このポケット10aにシリコンウェーハWが収納、載置される。なお、サセプタ10の大きさは、取り扱われるシリコンウェーハWの口径に応じて適宜変更される。要は、底壁の外周縁とシリコンウェーハWの外周縁との間に1〜10mm程度の隙間が形成される大きさのサセプタ10であればよい。ポケット10aの深さ、すなわちサセプタ10の底壁の上面から側壁の上端面までの高さは、シリコンウェーハWの厚さと略同じ800μmである。
また、底壁の外周部には、シリコンウェーハWをピン支持して昇降させるための合計3本の貫通孔10bが、周方向に120度間隔で配設されている。各貫通孔10bには、シリコンウェーハWを昇降させる昇降ピン9が遊挿されている。各昇降ピン9は支持アーム8に対して昇降自在に設けられている。これらの昇降ピン9は、支持アーム8とは別体でサセプタ回転軸7に昇降可能に設けられた複数のリフトアーム11により昇降させられる。
また、この底壁の外周部には、ウェーハ外周部の表面に成長させられるエピタキシャル膜の膜厚低下を防止するとともに、シリコンウェーハWの裏面から放出されるドーパントを排出するための複数の貫通孔10cが形成されている。具体的には、底壁の外周縁からウェーハ半径方向内側に向かって20mmの範囲に貫通孔10cが形成されている。
エピタキシャル成長中にあっては、貫通孔10b内に昇降ピン9が吊持されることから、貫通孔10b内は実質的に閉蓋状態にある。そのため、貫通孔10bはドーパント排出用の貫通孔としての役割をほとんど果たさない。また、このウェーハ昇降用の貫通孔10bはベルヌイチャック方式などによるウェーハ搬送を行うエピタキシャル成長装置にあっては不要であり、設ける必要はない。
このように、貫通孔10bは、エピタキシャル成長中には、ドーパント排出用の貫通孔としての役割をほとんど果たさない。しかしながら、ウェーハ昇降用の貫通孔10b内をガスが流通するように溝加工することで(図5)、ドーパント排出用の貫通孔として兼用することができる。具体的には、図6で示すように、支持ピン9のヘッド部の両端(x軸方向)と接触支持する溝部と、図7で示すように、支持ピン9のヘッド部の両端(y軸方向)と接触支持しない溝部を形成したものである。この場合、貫通孔10b内へのガス流れを促進させるために、ポケット10aの底壁表層部にメッシュ(網目状)加工を施しておくことが望ましい。
各貫通孔10cは、上述のように、円形で直径216mmの底壁に形成されている。この実施例では、図3に示すように、貫通孔が7列で、全体で834個存在する。各貫通孔10cは平面視して円形の孔で、直径1mm、開口面積0.79mm2、密度7.3個/cm2で底壁に形成されている。貫通孔10cの開口面積の総和が、底壁の面積の1.8%となっている。この貫通孔10cは、少なくとも、ウェーハ外周部が上方に位置するサセプタ10の領域内に形成されている。上述のサイズと密度とを有する、すくなくとも1列の貫通孔、好ましくはすくなくとも2列の貫通孔が、この領域に設けられている。ウェーハ径を超えるサセプタ10の外周部領域(ウェーハの外側領域)に貫通孔10cを形成した場合には、サセプタ10の外周部において温度バラツキを生じるため、エピタキシャル膜へのスリップ転位が発生しやすく、またウェーハ裏面から排出されるドーパントガスの排出効果が低減し、オートドープの影響を排除することができない。
また、図2および図4に示すように、ポケット10aの側壁には外周側から内周側下方に向けて傾斜するテーパー形状にして(傾斜面)シリコンウェーハWの外周部を線接触状態で支持する支持部10dが設けられている。これにより、載置されるシリコンウェーハWは、中央部においてウェーハ裏面とポケット10aの底壁との間に少なくとも100μm程度の空間が形成される。その結果、ウェーハ裏面側への水素ガスの回り込みが促進され、ウェーハ裏面から放出されるドーパントの排出効果が大きくなる。
図8に示すように、支持部10dはまたシリコンウェーハWの外周部のみを面接触して支持するように構成してもよい。または、支持部10dの表面部に凹凸部を設けて、シリコンウェーハWの外周部を点接触状態で支持するように構成してもよい。
図8および図9に示すサセプタ10は、底壁および側壁とは異なる素材を用いて形成することができる。このサセプタ10では、貫通孔10cが形成されたポケット10aの底壁の全てをSiC材で形成するとともに、ポケット10aの側壁には、炭素母材にSiC(炭化ケイ素)膜をコーティングした部材を採用している。なお、底壁の表面にSiC膜をコーティングしてもよいし、側壁をSiC材で形成してもよい。また、貫通孔10cの内壁だけにSiC膜をコーティングしたり、この内壁だけをSiC材で形成してもよい。底壁は、側壁の底部に形成された支持部10eに固定されている。これにより、サセプタ10の母材からの炭素汚染などを効果的に排除することができる。
ここでは、各貫通孔10cはサセプタ10の面内の温度分布を考慮して、ポケット10aの底壁のうち、その中心から半径の1/2の距離より半径方向の外側の外周領域全体に形成されている。
図11はこの発明に係るサセプタの他の実施態様を示している。ウェーハが載置されるサセプタの領域内でサセプタの外周部には環状一列の貫通孔が配設されている。これらの貫通孔は浅い環状の溝またはチャネルで連結または接続されている。この溝の幅は例えば貫通孔の直径の1.5倍より少しだけ大きい。その溝の断面積が貫通孔の開口表面積の約50%〜100%、好ましくは貫通孔のそれに近似するように、この溝の深さは規定される。製造上の観点からは、この環状溝の底は平坦とする。
この環状溝を形成した実施例では、以下の利点を有する。
(1)ウェーハ裏面外周部からのドーパントのオートドープを、外周部の貫通孔だけの場合よりも、より効果的にコントロールできる。
(2)外周部に貫通孔を配置するだけの場合に比較してウェーハ中心部でのナノトポグラフィを改善することができる。すなわち、貫通孔の減少によりナノトポグラフィが改良される。
(3)この溝により、ウェーハ外周部で、ウェーハとサセプタとの間に隙間が形成され、この隙間により、貫通孔を通ってきたドーパントガスの流れをスムーズにすることができる。
(4)この溝がドーパントガスの流れを改良するため、貫通孔の配設密度を低減でき、かつ、ナノトポグラフィをさらに改善することができる。
(5)浅い溝では、貫通孔の場合よりもナノトポグラフィの劣化に対しての影響は小さい。ナノトポグラフィに影響を与える熱の均一分布の維持に十分な熱容量を、サセプタが有しているからである。
図11には一列のみの貫通孔を例示したが、これより多い貫通孔列を配置しても良い。
図3に示すサセプタ10が搭載された枚葉式のエピタキシャル成長装置によるエピタキシャル成長方法を説明する。
まず、定法に則り表面を鏡面研磨したCZシリコンウェーハWをサセプタ10のポケット10aに載置する。
そして、シリコンウェーハWを、1150℃で20秒間の水素ベーク処理の後、シリコンソースガスであるSiHCl3およびボロンのソースガスであるB2H6を水素ガスで希釈した混合反応ガスを装置1内に50リットル/分により供給し、エピタキシャル成長温度1070℃で、厚さ約6μm、比抵抗10ΩcmのP型のエピタキシャル膜をウェーハ表面上に成長させる。
反応ガス供給口12から供給された反応ガスは、装置1の上方および下方に複数配置されたハロゲンランプ6によってサセプタ10およびシリコンウェーハWが加熱される膜形成室2内を通過し、シリコンウェーハWの表面にエピタキシャル膜を形成した後、ガス排出口13から装置1に排出される。これとは別にガス供給口14からは、水素ガスを、サセプタ10の下面側を通過するように15リットル/分の流量で膜形成室2内に供給し、その後、水素ガスをガス排出口15から排出する。
この場合、複数の貫通孔10cが、底壁の外周部領域に配設され、しかも各貫通孔10cの開口面積の総和が底壁の面積の1.8%としたサセプタ10(図3参照)を用いる。すなわち、そのポケット10aにシリコンウェーハWを搭載後、サセプタ10の上面側には反応ガスを流し、その下面側には水素ガスを流しながらエピタキシャル成長する。このとき、図2に示すように、サセプタ10の外周部では、サセプタ10の下面側を流れる水素ガスにより生じた負圧力の作用で、各貫通孔10cを介して、サセプタ10の上面側を流れる反応ガスの一部がサセプタ10の下面側に流れ込む。これにより、ウェーハ外周部の表面に多量の反応ガスが接触することになる。よって、エピタキシャル膜の膜厚の均一化が図れ、しかもポケットの底壁に形成された複数の貫通孔の形成領域と非形成領域の温度差により生じるシリコンウェーハWの表面のナノトポグラフィの劣化を低減することができる。また、サセプタにあってはその開口面積を上述のように規定したため、貫通孔の形成コストを低減することができる。また、このポケット底壁への貫通孔の形成を原因としたエピタキシャル膜へのスリップの発生を防止することができる。
さらに、シリコンウェーハWの裏面に、オートドープを防止するシリコン酸化膜が形成されておらず、ウェーハ表裏両面がシリコン単結晶面で構成されるので、エピタキシャル成長処理中にウェーハ裏面からドーパント(ボロン)が外方拡散される。しかしながら、この外方拡散されたドーパントは、上記負圧力の作用により、サセプタ10の下面側に排出される。そのため、このドーパントがエピタキシャル膜内に取り込まれにくい。その結果、エピタキシャル膜のドーパント濃度がシリコンウェーハWのドーパント濃度より低濃度で、ウェーハ裏面からのオートドープの影響が大きいシリコンウェーハWの場合であっても、この影響を排除し、エピタキシャル膜面内のドーパント濃度の均一性を向上させることができる。
比較例では、この発明の試験例と同様に、図1に示す枚葉式のエピタキシャル成長装置を使用し、サセプタ10の回転軸7などの膜形成室2の下方における炉内部材へのシリコン析出防止の観点から、ガス供給口14から15リットル/分の水素ガスを供給した。使用するサセプタ10は、図20に示す従来型のサセプタを用いてエピタキシャル成長処理した。
この発明例および比較例で得られたそれぞれのエピタキシャルシリコンウェーハについて、外周から3mmまでの領域を除くエピタキシャル膜中の半径方向のドーパント濃度分布をSCP装置(Surface Charge Profiler)を用いて測定した。その結果を、図12のグラフに示す。また、この測定結果を基にエピタキシャル膜中の半径方向の抵抗率分布を求めた結果を図13に示す。図12はこの試験例および比較例で得られたエピタキシャルウェーハにおけるエピタキシャル膜中の半径方向のドーパント濃度の分布を示すグラフ、図13はこの試験例および比較例で得られたエピタキシャルウェーハにおけるエピタキシャル膜中の半径方向の抵抗率の分布を示すグラフである。
また、図14のグラフに示すように、ここでのウェーハ外周部、特に外周縁から2〜3mmまでの領域では、エピタキシャル膜の膜厚が急激に落ち込む。この落ち込みは、エピタキシャル膜の成膜工程でのフラットネス劣化に大きく関係する。図14は、試験例および比較例で得られたエピタキシャルウェーハにおけるエピタキシャル膜の膜厚の変化を示すグラフである。
従来のサセプタでは、ウェーハ外周縁から2〜10mmの領域、詳しくはこの外周縁から2〜5mmの領域で、エピタキシャル膜の膜厚の均一性が崩れ、極端にエピタキシャル膜が薄くなっていた。その結果、エピタキシャル成長後のフラットネス(SFQRなど)は、エピタキシャル成長前のシリコンウェーハのフラットネスに比べて、大きく崩れていた。これに対して、この発明のサセプタでは、エッジ領域に十分な反応ガスを供給できるため、ウェーハ外周部におけるエピタキシャル膜の膜厚低下を大幅に改善できるようになった。
次に、図15のグラフに基づき、ウェーハ表面のナノトポグラフィの劣化が、サセプタの外周部に複数の貫通孔を形成することで改善される点を説明する。
次に、図17のグラフを用いて、貫通孔が存在する領域とウェーハエッジ領域でのエピタキシャル膜の膜厚の落ち込み量との関係について説明する。図17は、この試験例および比較例で得られたエピタキシャルウェーハにおける貫通孔の形成領域とウェーハ外周部のエピタキシャル膜の膜厚落ち込み量との関係を示すグラフである。
図17のグラフから、サセプタのポケットの外周縁から約50mm(サセプタの底壁の中心から半径1/2)付近まで貫通孔が存在すれば、この膜厚の落ち込みが防止できることがわかった。
貫通孔の開口面積については、貫通孔形成における機械加工精度の制限から、円柱孔として考察したとき、0.2mm2未満の貫通孔は形成できないと考えられる。0.2mm2以上の貫通孔については、ナノトポグラフィの劣化の問題とスリップの発生の問題が制約条件となる。よって、ナノトポグラフィの劣化量を10nm以下、および、このスリップの発生を回避するために必要な貫通孔の開口面積は3.2mm2以下となる。
さらに、貫通孔の開口面積と貫通孔の密度との関係によりウェーハ外周部への反応ガスの供給比率は大きく変化する。すなわち、図1に示すような反応ガスのサセプタ下側への流れの影響を、ウェーハ周方向に対して均一に高めて、オートドープの影響およびウェーハ外周部でのエピタキシャル膜厚の低下を極力抑えるには、できるだけ小さな貫通孔をできるだけ高密度に配置することが望ましい。すなわち、サセプタの強度および貫通孔の加工精度の問題を考慮すると、貫通孔の密度の最適範囲は、おおよそ0.25〜25個/cm2程度となる。
なお、この試験例では枚葉式のエピタキシャル成長装置を用いて説明したが、何らこれに限定されるものではなく、従来から実施されている複数枚のウェーハを一度に処理するバッチ式のエピタキシャル成長装置においても適用可能であることは言うまでもない。また、この発明の方法は、ベルヌイチャック方式によるウェーハ搬送を行うウェーハ成長装置にあっても適用することができる。
Claims (24)
- 略円形の底壁と、これを取り囲む側壁とにより形成されるポケットを有し、このポケットに半導体ウェーハが載置されるエピタキシャル成長用サセプタにおいて、
その開口形状が略円形乃至多角形の複数の貫通孔を上記底壁にてその中心から半径の1/2の距離より半径方向の外側の外周領域内に配設し、かつ、少なくとも半導体ウェーハが上方に載置される底壁領域内に貫通孔が含まれるように配設するとともに、
複数の貫通孔の開口面積の総和を、底壁の面積の0.05〜55%としたエピタキシャル成長用サセプタ。 - 上記側壁には、載置される半導体ウェーハの外周部のみに対して面接触、線接触または点接触してこの半導体ウェーハを支持する支持部を備えた請求項1に記載のエピタキシャル成長用サセプタ。
- 上記サセプタの表面および各貫通孔の内壁面には、SiC膜が被着された請求項1に記載のエピタキシャル成長用サセプタ。
- 上記サセプタは、少なくとも各貫通孔の内壁をSiC材により構成した請求項1に記載のエピタキシャル成長用サセプタ。
- 上記貫通孔が、底壁の厚さ方向に対して傾斜した請求項1に記載のエピタキシャル成長用サセプタ。
- 略円形の底壁と、これを取り囲む側壁とにより形成されるポケットを有し、このポケットに半導体ウェーハが載置されるエピタキシャル成長用サセプタにおいて、
その開口形状が略円形乃至多角形の複数の貫通孔を上記底壁にてその中心から半径の1/2の距離より半径方向の外側の外周領域内に配設し、かつ、少なくとも半導体ウェーハが上方に載置される底壁領域内に貫通孔が含まれるように配設するとともに、
各貫通孔の開口面積を0.2〜3.2mm2とし、かつ、これらの貫通孔の密度を0.25〜25個/cm2としたエピタキシャル成長用サセプタ。 - 上記側壁には、載置される半導体ウェーハの外周部のみに対して面接触、線接触または点接触してこの半導体ウェーハを支持する支持部を備えた請求項6に記載のエピタキシャル成長用サセプタ。
- 上記サセプタの表面および各貫通孔の内壁面には、SiC膜が被着された請求項6に記載のエピタキシャル成長用サセプタ。
- 上記サセプタは、少なくとも各貫通孔の内壁をSiC材により構成した請求項6に記載のエピタキシャル成長用サセプタ。
- 上記貫通孔が、底壁の厚さ方向に対して傾斜した請求項6に記載のエピタキシャル成長用サセプタ。
- 半導体ウェーハをサセプタのポケット内に搭載し、このサセプタの上面側に原料ガスおよびキャリアガスを、その下面側にキャリアガスをそれぞれ供給することにより、半導体ウェーハの表面にエピタキシャル膜を成長させるエピタキシャル成長方法にあって、
上記ポケットは、略円形の底壁と、これを取り囲む側壁とにより形成され、 その開口形状が略円形乃至多角形の複数の貫通孔を上記底壁にてその中心から半径の1/2の距離より半径方向の外側の外周領域内に配設し、かつ、少なくとも半導体ウェーハが上方に載置される底壁領域内に貫通孔が含まれるように配設したエピタキシャル成長方法。 - 上記側壁には、載置される半導体ウェーハの外周部のみに対して面接触、線接触または点接触してこの半導体ウェーハを支持する支持部が設けられた請求項11に記載のエピタキシャル成長方法。
- 上記サセプタの表面および各貫通孔の内壁面には、SiC膜が被着された請求項11に記載のエピタキシャル成長方法。
- 上記サセプタは、少なくとも各貫通孔の内壁をSiC材により構成した請求項11に記載のエピタキシャル成長方法。
- 上記サセプタの下面側に供給されるキャリアガスが水素含有ガスで、その流量が3〜100リットル/分である請求項11に記載のエピタキシャル成長方法。
- 上記貫通孔が、底壁の厚さ方向に対して傾斜した請求項11に記載のエピタキシャル成長方法。
- 半導体ウェーハをサセプタのポケット内に搭載し、このサセプタの上面側に原料ガスおよびキャリアガスを、その下面側にキャリアガスをそれぞれ供給することにより、半導体ウェーハの表面にエピタキシャル膜を成長させるエピタキシャル成長方法にあって、
上記ポケットは、略円形の底壁と、これを取り囲む側壁とにより形成され、 その開口形状が略円形乃至多角形の複数の貫通孔を上記底壁にてその中心から半径の1/2の距離より半径方向の外側の外周領域内に配設し、かつ、少なくとも半導体ウェーハが上方に載置される底壁領域内に貫通孔が含まれるように配設するとともに、
各貫通孔の開口面積を0.2〜3.2mm2とし、かつ、これらの貫通孔の密度を0.25〜25個/cm2としたエピタキシャル成長方法。 - 上記側壁には、載置される半導体ウェーハの外周部のみに対して面接触、線接触または点接触してこの半導体ウェーハを支持する支持部が設けられた請求項17に記載のエピタキシャル成長方法。
- 上記サセプタの表面および各貫通孔の内壁面には、SiC膜が被着された請求項17に記載のエピタキシャル成長方法。
- 上記サセプタは、少なくとも各貫通孔の内壁をSiC材により構成した請求項17に記載のエピタキシャル成長方法。
- 上記サセプタの下面側に供給されるキャリアガスが水素含有ガスで、その流量が3〜100リットル/分である請求項17に記載のエピタキシャル成長方法。
- 上記貫通孔が、底壁の厚さ方向に対して傾斜した請求項17に記載のエピタキシャル成長方法。
- 略円形の底壁と、これを取り囲む側壁とにより形成されるポケットを有し、このポケットに半導体ウェーハが載置されるエピタキシャル成長用サセプタにおいて、
その開口形状が略円形乃至多角形の複数の貫通孔を上記底壁にてその中心から半径の1/2の距離より半径方向の外側の外周領域内に配設し、かつ、少なくとも半導体ウェーハが上方に載置される底壁領域内に少なくとも一列の貫通孔が含まれるように配設するとともに、これらの一列の貫通孔において隣接する貫通孔同士が溝で連結されたエピタキシャル成長用サセプタ。 - 上記溝は、その幅が上記貫通孔の直径の1.5倍までであって、その深さが、溝の断面積が1の貫通孔の開口表面積の約50%〜約100%であるように規定される請求項23に記載のエピタキシャル成長用サセプタ。
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Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006351865A (ja) * | 2005-06-16 | 2006-12-28 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 気相成長用サセプタ及び気相成長装置及び気相成長方法並びにエピタキシャルウエーハ |
JP2009231448A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | Sumco Corp | 気相成長装置用サセプタ |
JP2010135598A (ja) * | 2008-12-05 | 2010-06-17 | Sumco Corp | エピタキシャルウェーハの製造方法 |
KR20120112971A (ko) * | 2011-04-04 | 2012-10-12 | 주식회사 엘지실트론 | 웨이퍼 제조장치의 서셉터 |
JP2013012776A (ja) * | 2012-09-24 | 2013-01-17 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置および基板載置台 |
JP2015506588A (ja) * | 2012-01-13 | 2015-03-02 | エルジー シルトロン インコーポレイテッド | サセプタ |
KR101746451B1 (ko) | 2011-03-04 | 2017-06-13 | 신에쯔 한도타이 가부시키가이샤 | 서셉터 및 이를 이용한 에피택셜 웨이퍼의 제조 방법 |
US9797066B2 (en) | 2010-11-15 | 2017-10-24 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Susceptor and method for manufacturing epitaxial wafer |
JP2019114588A (ja) * | 2017-12-21 | 2019-07-11 | 日本特殊陶業株式会社 | 基板保持部材 |
CN111020693A (zh) * | 2019-12-27 | 2020-04-17 | 季华实验室 | 一种碳化硅外延生长设备的进气装置 |
KR20210134385A (ko) * | 2019-04-11 | 2021-11-09 | 가부시키가이샤 사무코 | 기상 성장 장치 및 이에 이용되는 캐리어 |
JP7211475B1 (ja) | 2021-12-10 | 2023-01-24 | 株式会社Sumco | 半導体ウェーハ用エピタキシャル成長装置の基準位置検出状態の判定方法、半導体ウェーハの載置位置測定方法、及び、エピタキシャル成長装置 |
JP7373022B2 (ja) | 2016-10-28 | 2023-11-01 | ラム リサーチ コーポレーション | 開放空間均圧化通路および側方閉じ込めを備えた平坦な基板縁部接触部 |
Families Citing this family (55)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3972710B2 (ja) * | 2002-03-28 | 2007-09-05 | 信越半導体株式会社 | サセプタ、エピタキシャルウェーハの製造装置および製造方法 |
JP3908112B2 (ja) * | 2002-07-29 | 2007-04-25 | Sumco Techxiv株式会社 | サセプタ、エピタキシャルウェーハ製造装置及びエピタキシャルウェーハ製造方法 |
JP2004172392A (ja) * | 2002-11-20 | 2004-06-17 | Komatsu Electronic Metals Co Ltd | 半導体エピタキシャルウェーハの製造装置およびサセプタ並びにサセプタの支持装置 |
JP4016823B2 (ja) * | 2002-12-06 | 2007-12-05 | 信越半導体株式会社 | シリコンエピタキシャルウェーハの製造方法 |
EP1654752B1 (en) * | 2003-08-01 | 2011-06-29 | SGL Carbon SE | Holder for supporting wafers during semiconductor manufacture |
EP1670044A4 (en) * | 2003-10-01 | 2007-03-21 | Shinetsu Handotai Kk | METHOD OF MANUFACTURING SILICON EPITAXIAL WAFERS AND SILICON EPITAXIAL WAFERS |
JP5189294B2 (ja) | 2004-02-13 | 2013-04-24 | エーエスエム アメリカ インコーポレイテッド | オートドーピングおよび裏面堆積を減少させるための基板支持システム |
JPWO2005111266A1 (ja) * | 2004-05-18 | 2008-03-27 | 株式会社Sumco | 気相成長装置用サセプタ |
JP2006041028A (ja) * | 2004-07-23 | 2006-02-09 | Komatsu Electronic Metals Co Ltd | サセプタ、およびエピタキシャルウェーハの製造方法 |
JP4496052B2 (ja) * | 2004-09-28 | 2010-07-07 | Sumco Techxiv株式会社 | サセプタ、エピタキシャルウェーハの製造装置、およびエピタキシャルウェーハの製造方法 |
US7462246B2 (en) | 2005-04-15 | 2008-12-09 | Memc Electronic Materials, Inc. | Modified susceptor for barrel reactor |
JP4695934B2 (ja) * | 2005-07-08 | 2011-06-08 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | エピタキシャル成長装置 |
US20070089836A1 (en) * | 2005-10-24 | 2007-04-26 | Applied Materials, Inc. | Semiconductor process chamber |
JP5004513B2 (ja) * | 2006-06-09 | 2012-08-22 | Sumco Techxiv株式会社 | 気相成長装置及び気相成長方法 |
US8852349B2 (en) * | 2006-09-15 | 2014-10-07 | Applied Materials, Inc. | Wafer processing hardware for epitaxial deposition with reduced auto-doping and backside defects |
US8951351B2 (en) | 2006-09-15 | 2015-02-10 | Applied Materials, Inc. | Wafer processing hardware for epitaxial deposition with reduced backside deposition and defects |
US8021968B2 (en) * | 2007-08-03 | 2011-09-20 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Susceptor and method for manufacturing silicon epitaxial wafer |
JP5444607B2 (ja) * | 2007-10-31 | 2014-03-19 | 株式会社Sumco | エピタキシャル膜形成装置用のサセプタ、エピタキシャル膜形成装置、エピタキシャルウェーハの製造方法 |
JP5396737B2 (ja) * | 2008-04-04 | 2014-01-22 | 株式会社Sumco | エピタキシャルシリコンウェーハ及びその製造方法 |
JP5472308B2 (ja) | 2009-09-17 | 2014-04-16 | 株式会社Sumco | エピタキシャルウェーハの製造方法および製造装置 |
US9650726B2 (en) * | 2010-02-26 | 2017-05-16 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for deposition processes |
JP5144697B2 (ja) * | 2010-03-02 | 2013-02-13 | Sumco Techxiv株式会社 | サセプタ、エピタキシャルウェーハの製造装置、およびエピタキシャルウェーハの製造方法 |
JP2011225949A (ja) * | 2010-04-21 | 2011-11-10 | Ibiden Co Ltd | 炭素部品および炭素部品の製造方法 |
JP5440589B2 (ja) * | 2010-11-16 | 2014-03-12 | 信越半導体株式会社 | 気相成長装置及びエピタキシャルウェーハの製造方法 |
KR101259006B1 (ko) | 2011-03-11 | 2013-04-29 | 주식회사 엘지실트론 | 웨이퍼 제조장치의 서셉터 |
KR101238842B1 (ko) * | 2011-08-26 | 2013-03-04 | 주식회사 엘지실트론 | 반도체 제조용 서셉터 및 이를 포함한 에피택셜 성장 장치 |
TWI505400B (zh) * | 2011-08-26 | 2015-10-21 | Lg Siltron Inc | 基座 |
KR101339534B1 (ko) * | 2012-01-13 | 2013-12-10 | 주식회사 엘지실트론 | 서셉터 |
JP5849674B2 (ja) * | 2011-12-12 | 2016-02-03 | 株式会社Sumco | シリコンエピタキシャルウェーハの製造方法 |
KR101928356B1 (ko) | 2012-02-16 | 2018-12-12 | 엘지이노텍 주식회사 | 반도체 제조 장치 |
US8940094B2 (en) | 2012-04-10 | 2015-01-27 | Sunedison Semiconductor Limited | Methods for fabricating a semiconductor wafer processing device |
WO2013155073A1 (en) * | 2012-04-10 | 2013-10-17 | Memc Electronic Materials, Inc. | Susceptor for improved epitaxial wafer flatness and methods for fabricating a semiconductor wafer processing device |
WO2013162972A1 (en) * | 2012-04-25 | 2013-10-31 | Applied Materials, Inc. | Process chamber having separate process gas and purge gas regions |
JP5602903B2 (ja) * | 2013-03-14 | 2014-10-08 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | エピタキシャル成長による成膜方法、および、エピタキシャル成長装置 |
KR101354784B1 (ko) * | 2013-10-01 | 2014-01-23 | 주식회사 엘지실트론 | 서셉터 |
JP6198584B2 (ja) * | 2013-11-21 | 2017-09-20 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | エピタキシャル成長による成膜方法、および、エピタキシャル成長装置 |
JP6309252B2 (ja) * | 2013-11-21 | 2018-04-11 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | エピタキシャル成長による成膜方法、および、エピタキシャル成長装置 |
WO2016003609A1 (en) * | 2014-07-03 | 2016-01-07 | Applied Materials, Inc. | Carousel batch epitaxy system |
US10269614B2 (en) * | 2014-11-12 | 2019-04-23 | Applied Materials, Inc. | Susceptor design to reduce edge thermal peak |
JP6662571B2 (ja) * | 2015-02-03 | 2020-03-11 | 株式会社Sumco | エピタキシャル成長装置、およびエピタキシャル成長方法 |
WO2016154052A1 (en) * | 2015-03-25 | 2016-09-29 | Applied Materials, Inc. | Chamber components for epitaxial growth apparatus |
TWI615917B (zh) * | 2015-04-27 | 2018-02-21 | Sumco股份有限公司 | 承托器及磊晶生長裝置 |
JP6459801B2 (ja) * | 2015-06-26 | 2019-01-30 | 株式会社Sumco | エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 |
DE102016110788A1 (de) * | 2016-06-13 | 2017-12-14 | Aixtron Se | Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von optoelektronischen Bauelementen, insbesondere von Multi-Junction-Solarzellen im Durchlaufverfahren |
CN107723790B (zh) * | 2016-08-12 | 2020-07-07 | 上海新昇半导体科技有限公司 | 一种外延设备、设备制作方法及外延方法 |
CN107731756B (zh) * | 2016-08-12 | 2020-04-28 | 上海新昇半导体科技有限公司 | 一种减少自掺杂的底座及外延设备 |
US10446420B2 (en) | 2016-08-19 | 2019-10-15 | Applied Materials, Inc. | Upper cone for epitaxy chamber |
JP6330941B1 (ja) * | 2017-03-07 | 2018-05-30 | 株式会社Sumco | エピタキシャル成長装置およびプリヒートリングならびにそれらを用いたエピタキシャルウェーハの製造方法 |
CN109306468B (zh) * | 2017-07-26 | 2020-10-16 | 上海新昇半导体科技有限公司 | 衬托器、气相生长装置及气相生长方法 |
CN109306467B (zh) * | 2017-07-26 | 2020-10-16 | 上海新昇半导体科技有限公司 | 气相生长装置及气相生长方法 |
CN110277304A (zh) * | 2018-03-14 | 2019-09-24 | 胜高股份有限公司 | 外延晶片的制造方法及其制造装置 |
CN111286723A (zh) * | 2018-12-10 | 2020-06-16 | 昭和电工株式会社 | 基座和化学气相沉积装置 |
CN110429050B (zh) * | 2019-08-05 | 2022-02-08 | 西安奕斯伟材料科技有限公司 | 一种外延生长基座 |
KR102401504B1 (ko) * | 2020-01-02 | 2022-05-24 | 에스케이실트론 주식회사 | 리프트 핀, 이를 포함하는 웨이퍼의 가공 장치 및 웨이퍼의 제조방법 |
CN112853491A (zh) * | 2020-12-31 | 2021-05-28 | 山西烁科晶体有限公司 | 一种掺杂碳化硅单晶及其制备方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6358819A (ja) * | 1986-08-29 | 1988-03-14 | Nec Corp | 半導体装置の製造装置 |
JP2000323556A (ja) * | 1999-05-13 | 2000-11-24 | Komatsu Electronic Metals Co Ltd | エピタキシャルウェーハ製造装置 |
JP2003229370A (ja) * | 2001-11-30 | 2003-08-15 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | サセプタ、気相成長装置、エピタキシャルウェーハの製造方法およびエピタキシャルウェーハ |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5200157A (en) * | 1986-02-17 | 1993-04-06 | Toshiba Ceramics Co., Ltd. | Susceptor for vapor-growth deposition |
US5695568A (en) * | 1993-04-05 | 1997-12-09 | Applied Materials, Inc. | Chemical vapor deposition chamber |
JPH088198A (ja) * | 1994-06-21 | 1996-01-12 | Sumitomo Sitix Corp | 気相成長装置用サセプター |
JPH10144498A (ja) * | 1996-11-12 | 1998-05-29 | Kokusai Electric Co Ltd | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
JP3336897B2 (ja) * | 1997-02-07 | 2002-10-21 | 三菱住友シリコン株式会社 | 気相成長装置用サセプター |
JP3398308B2 (ja) * | 1997-09-18 | 2003-04-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 真空処理装置 |
KR100267885B1 (ko) * | 1998-05-18 | 2000-11-01 | 서성기 | 반도체 박막증착장치 |
JP2000030894A (ja) * | 1998-07-07 | 2000-01-28 | Kokusai Electric Co Ltd | プラズマ処理方法および装置 |
US6444027B1 (en) * | 2000-05-08 | 2002-09-03 | Memc Electronic Materials, Inc. | Modified susceptor for use in chemical vapor deposition process |
US7270708B2 (en) * | 2001-11-30 | 2007-09-18 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Susceptor, vapor phase growth apparatus, epitaxial wafer manufacturing apparatus, epitaxial wafer manufacturing method, and epitaxial wafer |
-
2001
- 2001-12-21 JP JP2001389778A patent/JP2003197532A/ja active Pending
-
2002
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- 2002-12-23 DE DE60227557T patent/DE60227557D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2002-12-23 JP JP2003560968A patent/JP4285240B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2008
- 2008-03-31 JP JP2008093324A patent/JP4798163B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6358819A (ja) * | 1986-08-29 | 1988-03-14 | Nec Corp | 半導体装置の製造装置 |
JP2000323556A (ja) * | 1999-05-13 | 2000-11-24 | Komatsu Electronic Metals Co Ltd | エピタキシャルウェーハ製造装置 |
JP2003229370A (ja) * | 2001-11-30 | 2003-08-15 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | サセプタ、気相成長装置、エピタキシャルウェーハの製造方法およびエピタキシャルウェーハ |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006351865A (ja) * | 2005-06-16 | 2006-12-28 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 気相成長用サセプタ及び気相成長装置及び気相成長方法並びにエピタキシャルウエーハ |
JP2009231448A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | Sumco Corp | 気相成長装置用サセプタ |
JP2010135598A (ja) * | 2008-12-05 | 2010-06-17 | Sumco Corp | エピタキシャルウェーハの製造方法 |
US9797066B2 (en) | 2010-11-15 | 2017-10-24 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Susceptor and method for manufacturing epitaxial wafer |
KR101746451B1 (ko) | 2011-03-04 | 2017-06-13 | 신에쯔 한도타이 가부시키가이샤 | 서셉터 및 이를 이용한 에피택셜 웨이퍼의 제조 방법 |
KR20120112971A (ko) * | 2011-04-04 | 2012-10-12 | 주식회사 엘지실트론 | 웨이퍼 제조장치의 서셉터 |
KR101721166B1 (ko) * | 2011-04-04 | 2017-03-29 | 주식회사 엘지실트론 | 웨이퍼 제조장치의 서셉터 |
JP2015506588A (ja) * | 2012-01-13 | 2015-03-02 | エルジー シルトロン インコーポレイテッド | サセプタ |
JP2013012776A (ja) * | 2012-09-24 | 2013-01-17 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置および基板載置台 |
JP7373022B2 (ja) | 2016-10-28 | 2023-11-01 | ラム リサーチ コーポレーション | 開放空間均圧化通路および側方閉じ込めを備えた平坦な基板縁部接触部 |
JP2019114588A (ja) * | 2017-12-21 | 2019-07-11 | 日本特殊陶業株式会社 | 基板保持部材 |
KR20210134385A (ko) * | 2019-04-11 | 2021-11-09 | 가부시키가이샤 사무코 | 기상 성장 장치 및 이에 이용되는 캐리어 |
KR102632333B1 (ko) | 2019-04-11 | 2024-01-31 | 가부시키가이샤 사무코 | 기상 성장 장치 및 이에 이용되는 캐리어 |
CN111020693A (zh) * | 2019-12-27 | 2020-04-17 | 季华实验室 | 一种碳化硅外延生长设备的进气装置 |
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