JP2005243807A - コイル部品及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】コモンモードチョークコイル1は、対向配置された磁性基板3、5間に絶縁膜7a、コイル導体9、絶縁膜7b、コイル導体11及び絶縁膜7cがこの順に積層された構成を有している。コイル導体9、11のコイル断面の形状は全体的に見ると台形状になっており、コイル断面上部は中央部が突出する凸状に形成され、コイル断面底部は平坦な形状に形成されている。
【選択図】図1
Description
上記実施の形態及び第1乃至第3の変形例では、コイル導体9、11のコイル断面は同一形状に形成されているが、本発明はこれに限られない。コイル導体9、11の各抵抗値が所定の値より小さくなり、コイル導体9、11の導体部同士が対面し、コイル導体9の上部の幅とコイル導体11の底部の幅とが異なる長さに形成されていれば、コイル導体9、11のコイル断面の形状は異なっていてもよい。
3、5、53、55 磁性基板
7、57 絶縁層
7a、7b、7c 絶縁膜
9、11、59、61 コイル導体
13、15、63、65 開口部
17、67 磁性層
19、69 接着層
9a、11a 電極膜
21a レジスト層
23 マスク
21b、25 レジストフレーム
9b、11b メッキ膜
Claims (8)
- 磁性基板上に形成された第1のコイル導体と、
前記第1のコイル導体の直上に絶縁膜を介して形成され、コイル断面底部の幅が前記第1のコイル導体のコイル断面上部の幅と異なる第2のコイル導体と
を有することを特徴とするコイル部品。 - 請求項1記載のコイル部品であって、
前記第1のコイル導体は、前記コイル断面上部の中央が凸形状であることを特徴とするコイル部品。 - 請求項1記載のコイル部品であって、
前記第1のコイル導体は、前記コイル断面上部が平坦な形状であることを特徴とするコイル部品。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載のコイル部品であって、
前記第2のコイル導体は、前記コイル断面底部が平坦な形状であることを特徴とするコイル部品。 - 磁性基板上に第1のコイル導体を形成し、
前記第1のコイル導体上に絶縁膜を形成し、
前記絶縁膜上に、コイル断面底部の幅が前記第1のコイル導体のコイル断面上部の幅と異なる第2のコイル導体を形成すること
を特徴とするコイル部品の製造方法。 - 請求項5記載のコイル部品の製造方法であって、
前記第1及び第2のコイル導体をフレームメッキ法で形成することを特徴とするコイル部品の製造方法。 - 請求項5又は6に記載のコイル部品の製造方法であって、
前記コイル断面に平行な面内で所定の角度に傾斜した側面を有するレジストフレームを形成し、前記レジストフレーム間に前記第1又は第2のコイル導体の少なくとも一方を形成することを特徴とするコイル部品の製造方法。 - 請求項7記載のコイル部品の製造方法であって、
前記所定の角度は、5乃至30°であることを特徴とするコイル部品の製造方法。
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