JPWO2016208305A1 - コイル部品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
基台上にダミー金属層を設ける工程と、
前記ダミー金属層上にベース絶縁樹脂を積層する工程と、
前記ベース絶縁樹脂に開口部を設けて、前記ダミー金属層を露出させる工程と、
前記ベース絶縁樹脂上に第1スパイラル配線を設け、前記ベース絶縁樹脂の開口部内の前記ダミー金属層上に内磁路に対応する第1犠牲導体を設ける工程と、
前記第1スパイラル配線に直接的または間接的に通電して前記第1スパイラル配線をめっきにより大きくすると共に、前記ダミー金属層に通電して前記ダミー金属層に接続された前記第1犠牲導体をめっきにより大きくする工程と、
前記第1スパイラル配線および前記第1犠牲導体を前記第1絶縁樹脂で覆う工程と、
前記第1絶縁樹脂に開口部を設けて、前記第1犠牲導体を露出させる工程と、
前記第1絶縁樹脂の開口部から前記第1犠牲導体をエッチングにより取り除き、内磁路に対応する孔部を形成する工程と、
前記孔部に磁性樹脂を充填して前記磁性樹脂にて前記内磁路を構成する工程と
を備える。
前記第1犠牲導体を露出させる工程と前記孔部を形成する工程との間に、
前記第1絶縁樹脂上に第2スパイラル配線を設け、前記第1絶縁樹脂の開口部内の前記第1犠牲導体上に内磁路に対応する第2犠牲導体を設ける工程と、
前記第2スパイラル配線に直接的または間接的に通電して前記第2スパイラル配線をめっきにより大きくすると共に、前記ダミー金属層に通電して前記第1犠牲導体を介して前記第2犠牲導体をめっきにより大きくする工程と、
前記第2スパイラル配線および前記第2犠牲導体を前記第2絶縁樹脂で覆う工程と、
前記第2絶縁樹脂に開口部を設けて、前記第2犠牲導体を露出させる工程と
を有し、
前記孔部を形成する工程は、前記第2絶縁樹脂の開口部から前記第1犠牲導体および前記第2犠牲導体をエッチングにより取り除き、内磁路に対応する孔部を形成する。
前記第1スパイラル配線および前記第1犠牲導体をめっきにより大きくする工程では、前記第1スパイラル配線と前記第1犠牲導体とを同時に通電し、
前記第2スパイラル配線および前記第2犠牲導体をめっきにより大きくする工程では、前記第2スパイラル配線と前記第2犠牲導体とを同時に通電する。
前記孔部を形成する工程と前記内磁路を構成する工程との間に、
前記基台と前記ダミー金属層との界面で前記基台を前記ダミー金属層から剥がす工程を有する。
基台上にダミー金属層を設ける工程と、
前記ダミー金属層上にベース絶縁樹脂を積層する工程と、
前記ベース絶縁樹脂に開口部を設けて、前記ダミー金属層を露出させる工程と、
前記ベース絶縁樹脂上に第1スパイラル配線を設け、前記ベース絶縁樹脂の開口部内の前記ダミー金属層上に内磁路に対応する第1犠牲導体を設ける工程と、
前記ダミー金属層に通電して前記ダミー金属層に接続された前記第1犠牲導体をめっきにより大きくする工程と、
前記第1スパイラル配線および前記第1犠牲導体を前記第1絶縁樹脂で覆う工程と、
前記第1絶縁樹脂に開口部を設けて、前記第1犠牲導体を露出させる工程と、
前記第1絶縁樹脂の開口部から前記第1犠牲導体をエッチングにより取り除き、内磁路に対応する孔部を形成する工程と、
前記孔部に磁性樹脂を充填して前記磁性樹脂にて前記内磁路を構成する工程と
を備える。
前記第1犠牲導体を露出させる工程と前記孔部を形成する工程との間に、
前記第1絶縁樹脂上に第2スパイラル配線を設け、前記第1絶縁樹脂の開口部内の前記第1犠牲導体上に内磁路に対応する第2犠牲導体を設ける工程と、
前記ダミー金属層に通電して前記第1犠牲導体を介して前記第2犠牲導体をめっきにより大きくする工程と、
前記第2スパイラル配線および前記第2犠牲導体を前記第2絶縁樹脂で覆う工程と、
前記第2絶縁樹脂に開口部を設けて、前記第2犠牲導体を露出させる工程と
を有し、
前記孔部を形成する工程は、前記第2絶縁樹脂の開口部から前記第1犠牲導体および前記第2犠牲導体をエッチングにより取り除き、内磁路に対応する孔部を形成する。
上記の製造方法であっても、前記実施形態と同様に、第1スパイラル配線と第1犠牲導体とを1つの工程で設けている。つまり、第1スパイラル配線と第1犠牲導体は、ともに導体であるから、1つの工程で形成することが可能である。これにより、絶縁樹脂に対する内磁路用の孔部(犠牲導体)の位置の公差と、絶縁樹脂に対するスパイラル配線の位置の公差の合計は、小さい。結果として、内磁路の断面積を大きくでき、より高いインダクタンス値を得ることができる。
また、前記実施形態と同様に、ダミー金属層に通電してダミー金属層に接続された第1犠牲導体をめっきにより大きくする。これにより、第1スパイラル配線と第1犠牲導体間のギャップをフォトリソグラフィの解像度以上に狭くすることが出来る。結果として、前記実施形態と同様に、内磁路断面積を大きくでき、スパイラル配線のターン数を大きくできるので、より高いインダクタンス値を得ることが出来る。
上記の製造方法であっても、前記実施形態と同様に、第2スパイラル配線と第2犠牲導体とを1つの工程で設けている。つまり、第2スパイラル配線と第2犠牲導体は、ともに導体であるから、1つの工程で形成することが可能である。これにより、絶縁樹脂に対する内磁路用の孔部(犠牲導体)の位置の公差と、絶縁樹脂に対するスパイラル配線の位置の公差の合計は、小さい。結果として、内磁路の断面積を大きくでき、より高いインダクタンス値を得ることができる。
また、前記実施形態と同様に、ダミー金属層に通電して第1犠牲導体を介して第2犠牲導体をめっきにより大きくする。これにより、第2スパイラル配線と第2犠牲導体間のギャップをフォトリソグラフィの解像度以上に狭くすることが出来る。結果として、前記実施形態と同様に、内磁路断面積を大きくでき、スパイラル配線のターン数を大きくできるので、より高いインダクタンス値を得ることが出来る。
2 コイル部品
5 コイル基板
10 カットライン
21〜24 第1〜第4スパイラル配線
25,26 ビア配線
30 ベース絶縁樹脂
31〜34 第1〜第4絶縁樹脂
30a〜34a,30b〜33b 開口部
35 絶縁樹脂体
35a 孔部
40 磁性樹脂
50 基台
51 絶縁基板
52 ベース金属層
60 ダミー金属層
71〜74 第1〜第4犠牲導体
Claims (8)
- 基台上にダミー金属層を設ける工程と、
前記ダミー金属層上にベース絶縁樹脂を積層する工程と、
前記ベース絶縁樹脂に開口部を設けて、前記ダミー金属層を露出させる工程と、
前記ベース絶縁樹脂上に第1スパイラル配線を設け、前記ベース絶縁樹脂の開口部内の前記ダミー金属層上に内磁路に対応する第1犠牲導体を設ける工程と、
前記ダミー金属層に通電して前記ダミー金属層に接続された前記第1犠牲導体をめっきにより大きくする工程と、
前記第1スパイラル配線および前記第1犠牲導体を前記第1絶縁樹脂で覆う工程と、
前記第1絶縁樹脂に開口部を設けて、前記第1犠牲導体を露出させる工程と、
前記第1絶縁樹脂の開口部から前記第1犠牲導体をエッチングにより取り除き、内磁路に対応する孔部を形成する工程と、
前記孔部に磁性樹脂を充填して前記磁性樹脂にて前記内磁路を構成する工程と
を備える、コイル部品の製造方法。 - 前記第1犠牲導体をめっきにより大きくする工程では、
前記第1スパイラル配線に直接的または間接的に通電して前記第1スパイラル配線をめっきにより大きくすると共に、前記ダミー金属層に通電して前記ダミー金属層に接続された前記第1犠牲導体をめっきにより大きくする、請求項1に記載のコイル部品の製造方法。 - 前記第1犠牲導体を露出させる工程と前記孔部を形成する工程との間に、
前記第1絶縁樹脂上に第2スパイラル配線を設け、前記第1絶縁樹脂の開口部内の前記第1犠牲導体上に内磁路に対応する第2犠牲導体を設ける工程と、
前記ダミー金属層に通電して前記第1犠牲導体を介して前記第2犠牲導体をめっきにより大きくする工程と、
前記第2スパイラル配線および前記第2犠牲導体を前記第2絶縁樹脂で覆う工程と、
前記第2絶縁樹脂に開口部を設けて、前記第2犠牲導体を露出させる工程と
を有し、
前記孔部を形成する工程は、前記第2絶縁樹脂の開口部から前記第1犠牲導体および前記第2犠牲導体をエッチングにより取り除き、内磁路に対応する孔部を形成する、請求項1または2に記載のコイル部品の製造方法。 - 前記第2犠牲導体をめっきにより大きくする工程では、
前記第2スパイラル配線に直接的または間接的に通電して前記第2スパイラル配線をめっきにより大きくすると共に、前記ダミー金属層に通電して前記第1犠牲導体を介して前記第2犠牲導体をめっきにより大きくする、請求項3に記載のコイル部品の製造方法。 - 前記第1犠牲導体を露出させる工程と前記孔部を形成する工程との間に、
前記第1絶縁樹脂上に第2スパイラル配線を設け、前記第1絶縁樹脂の開口部内の前記第1犠牲導体上に内磁路に対応する第2犠牲導体を設ける工程と、
前記第2スパイラル配線に直接的または間接的に通電して前記第2スパイラル配線をめっきにより大きくすると共に、前記ダミー金属層に通電して前記第1犠牲導体を介して前記第2犠牲導体をめっきにより大きくする工程と、
前記第2スパイラル配線および前記第2犠牲導体を前記第2絶縁樹脂で覆う工程と、
前記第2絶縁樹脂に開口部を設けて、前記第2犠牲導体を露出させる工程と
を有し、
前記孔部を形成する工程は、前記第2絶縁樹脂の開口部から前記第1犠牲導体および前記第2犠牲導体をエッチングにより取り除き、内磁路に対応する孔部を形成する、請求項2に記載のコイル部品の製造方法。 - 前記第1スパイラル配線および前記第1犠牲導体をめっきにより大きくする工程では、前記第1スパイラル配線と前記第1犠牲導体とを同時に通電し、
前記第2スパイラル配線および前記第2犠牲導体をめっきにより大きくする工程では、前記第2スパイラル配線と前記第2犠牲導体とを同時に通電する、請求項5に記載のコイル部品の製造方法。 - 前記ベース絶縁樹脂の開口部と前記第1絶縁樹脂の開口部とは、環状に開口される、請求項3から6の何れか一つに記載のコイル部品の製造方法。
- 前記孔部を形成する工程と前記内磁路を構成する工程との間に、
前記基台と前記ダミー金属層との界面で前記基台を前記ダミー金属層から剥がす工程を有する、請求項1から7の何れか一つに記載のコイル部品の製造方法。
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