JP2005085858A - 研磨用組成物 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 研磨用組成物は、(A)下記一般式(1)で示されるブロック型ポリエーテル、(B)二酸化ケイ素、(C)塩基性化合物、(D)ヒドロキシエチルセルロース及びポリビニルアルコールから選ばれる少なくとも一種並びに(E)水の各成分を含有している。研磨用組成物は、シリコンウエハ表面を成分(B)により機械的に研磨し成分(C)により化学的に研磨するとともに、成分(D)によりヘイズレベルを改善する。さらに、研磨用組成物は、成分(A)によりCOP及びヘイズレベルを改善する。
HO−(EO)a−(PO)b−(EO)c−H …(1)
(式中、EOはオキシエチレン基を示すとともにPOはオキシプロピレン基を示し、a、b及びcは1以上の整数を示す。)
【選択図】 なし
Description
(式中、POはオキシプロピレン基を示すとともにEOはオキシエチレン基を示し、d、e及びfは1以上の整数を示す。)
(式中、EOはオキシエチレン基を示すとともにPOはオキシプロピレン基を示し、a、b及びcは1以上の整数を示す。)
請求項2に記載の発明の研磨用組成物は、請求項1に記載の発明において、前記成分(A)は、一般式(1)中のaとcとの合計が2〜1000であるとともにbが2〜200である。
請求項1から3に記載の発明の研磨用組成物によれば、シリコンウエハに対する研磨速度を向上させるとともにヘイズレベル及びCOPを改善することができる。
シリコンウエハとは、単結晶シリコンにより形成されている半導体基板のことである。シリコンウエハは、まずシリコン単結晶インゴットを切断してウエハとしたものにラッピングが施されて外形成形される。そして、ラッピングによるシリコンウエハ表層部の加工変質層を除去するためにエッチングが施された後、端面を研磨するためにエッヂポリッシュが施される。このとき、図1(a)及び(c)に示すように、シリコンウエハ11は、単結晶シリコンの結晶欠陥に起因して内部に空洞12が複数形成されるとともに、表面にはCOP13が複数凹設されている。
HO−(EO)a−(PO)b−(EO)c−H …(1)
(式中、EOはオキシエチレン基を示すとともにPOはオキシプロピレン基を示し、a、b及びcは1以上の整数を示す。)
ここで、シリコンウエハ表面の研磨は、成分(B)による機械的研磨(メカニカル研磨)と、成分(C)による化学的研磨(ケミカル研磨)とに分けられる。このため、シリコンウエハに対する研磨速度は、メカニカル研磨における研磨速度(メカニカル研磨速度)と、ケミカル研磨における研磨速度(ケミカル研磨速度)とからなる。
・ 実施形態の研磨用組成物は(B)及び(C)の各成分を含有し、成分(B)はシリコンウエハ表面をメカニカル研磨するとともに成分(C)はシリコンウエハ表面をケミカル研磨する。このため、研磨用組成物は、シリコンウエハ表面に2種類の研磨を同時に施すことにより、研磨材によるメカニカル研磨のみが行われる従来の研磨用組成物に比べてシリコンウエハに対する研磨速度を向上させることができる。
・ 前記成分(A)は、前記一般式(1)中のaとcとの合計及びbの値が異なる複数のEPEから構成されてもよいし、一般式(1)中のEO及びPOの質量比が異なる複数のEPEから構成されてもよい。
試験例1においては、まず成分(A)、成分(B)としてのコロイダルシリカ、成分(C)としてのAの29質量%水溶液及び成分(D)としてのHECを成分(E)の水に混合して研磨用組成物を調製した。研磨用組成物中のコロイダルシリカの含有量は10質量%であり、このコロイダルシリカの20質量%水溶液中における鉄、ニッケル、銅、クロム、亜鉛及びカルシウムの含有量の合計は20ppb以下であった。さらに、コロイダルシリカの平均粒子径は、FlowSorbII2300(micromeritics社製の製品名)で測定されたDSAで35nmであり、N4 Plus Submicron Particle Sizer(Beckman Coulter, Inc.の製品名)で測定されたDN4で70nmであった。また、研磨用組成物中のAの29質量%水溶液の含有量は1質量%であった。加えて、HECの粘度平均分子量は1,000,000であり、研磨用組成物中の含有量は0.3質量%であった。研磨用組成物における(B)及び(E)の各成分以外の組成を表1に示す。
研磨装置:片面研磨機(SPM−15;不二越機械工業社製、ウエハホルダ4個)、被研磨物:6インチシリコンウエハ4枚/ウエハホルダ1個、荷重:9.4kPa、定盤回転数:30rpm、ウエハホルダ回転数:30rpm、研磨パッド:Surfin000FM(株式会社フジミインコーポレーテッド製)、研磨用組成物の供給速度:500ml/分(掛け流し)、研磨時間:30分、研磨用組成物の温度:20℃
そして、研磨後のシリコンウエハに純水を用いた10秒間のスクラブ洗浄及びSC−1(アンモニア(29質量%水溶液):過酸化水素(31質量%水溶液):純水=1:1:15(容量比)溶液)洗浄を施した後、シリコンウエハについて下記(i)に関し測定を行った。また、前記シリコンウエハをケミカルエッチングが施された後にエッヂポリッシュが施された6インチシリコンウエハ(p型、結晶方位<100>、抵抗率0.1Ω・cm以上100Ω・cm未満)に変更した以外は前記と同様に予備研磨等の研磨及び洗浄し、シリコンウエハについて下記(ii)〜(iv)に関し測定又は評価を行った。それらの結果を表2に示す。
洗浄後のシリコンウエハにおいて、AMS−AWIS3110(ADE社製の製品名)を用いてヘイズレベルの値及びCOPの数を測定した。
洗浄後のシリコンウエハにおいて、AMS−AWIS3110(ADE社製の製品名)を用い、大きさが0.08μm以上のパーティクルの数を測定した。そして、パーティクルについて、パーティクルの数が20個未満(○)、20個以上50個未満(△)、50個以上(×)の3段階で評価した。
下記計算式に基づいて研磨速度を求めた。
研磨速度[nm/分]=(研磨前のシリコンウエハの厚み[nm]−研磨後のシリコンウエハの厚み[nm])÷研磨時間[分]
(I)(A)下記一般式(1)で示されるブロック型ポリエーテル、(B)二酸化ケイ素、(C)塩基性化合物、(D)ヒドロキシエチルセルロース及びポリビニルアルコールから選ばれる少なくとも一種並びに(E)水の各成分からなる研磨用組成物。この構成によれば、シリコンウエハに対する研磨速度を向上させるとともにCOP及びヘイズレベルを改善することができる。
(式中、EOはオキシエチレン基を示すとともにPOはオキシプロピレン基を示し、a、b及びcは1以上の整数を示す。)
(II)シリコンウエハ表面のヘイズレベルを改善する目的で行われる研磨工程において、請求項1から3及び上記(I)のいずれか一項に記載の研磨用組成物を用いてシリコンウエハ表面に研磨を施すシリコンウエハの研磨方法。この構成によれば、シリコンウエハに対する研磨速度を向上させるとともにCOP及びヘイズレベルを改善することができる。
Claims (3)
- (A)下記一般式(1)で示されるブロック型ポリエーテル、(B)二酸化ケイ素、(C)塩基性化合物、(D)ヒドロキシエチルセルロース及びポリビニルアルコールから選ばれる少なくとも一種並びに(E)水の各成分を含有する研磨用組成物。
HO−(EO)a−(PO)b−(EO)c−H …(1)
(式中、EOはオキシエチレン基を示すとともにPOはオキシプロピレン基を示し、a、b及びcは1以上の整数を示す。) - 前記成分(A)は、一般式(1)中のaとcとの合計が2〜1000であるとともにbが2〜200である請求項1に記載の研磨用組成物。
- 前記成分(A)は、一般式(1)中のEO及びPOの質量比がEO:PO=30:70〜95:5である請求項1又は2に記載の研磨用組成物。
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