JP4541674B2 - 研磨用組成物 - Google Patents

研磨用組成物 Download PDF

Info

Publication number
JP4541674B2
JP4541674B2 JP2003342532A JP2003342532A JP4541674B2 JP 4541674 B2 JP4541674 B2 JP 4541674B2 JP 2003342532 A JP2003342532 A JP 2003342532A JP 2003342532 A JP2003342532 A JP 2003342532A JP 4541674 B2 JP4541674 B2 JP 4541674B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
polishing
polishing composition
component
mass
wafer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP2003342532A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2005109257A (ja
Inventor
俊輝 呉
篤紀 河村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujimi Inc
Original Assignee
Fujimi Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to JP2003342532A priority Critical patent/JP4541674B2/ja
Application filed by Fujimi Inc filed Critical Fujimi Inc
Priority to US10/574,115 priority patent/US20070176140A1/en
Priority to CNB2004800282002A priority patent/CN100435290C/zh
Priority to KR1020067006163A priority patent/KR101110723B1/ko
Priority to EP04788401A priority patent/EP1670047B1/en
Priority to DE602004026454T priority patent/DE602004026454D1/de
Priority to TW093129565A priority patent/TW200526768A/zh
Priority to PCT/JP2004/014373 priority patent/WO2005031836A1/ja
Priority to AT04788401T priority patent/ATE463838T1/de
Publication of JP2005109257A publication Critical patent/JP2005109257A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4541674B2 publication Critical patent/JP4541674B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Description

本発明は、半導体装置等における配線構造体の製造に用いられる研磨用組成物に関するものである。
近年、コンピュータに使用されるULSI等の高集積化及び高速化に伴い、配線構造のデザインルールにおける微細化が進んでいる。この種の配線構造は、表面に配線溝が凹設される絶縁膜、同絶縁膜を保護するバリア膜及び配線部分を構成する導体膜を備えている。そして、配線構造の微細化に伴う配線抵抗の増大に対処するため、導体膜を形成する配線材料として、銅を含有する金属材料の使用が検討されている。
配線構造体を形成するには、まず絶縁膜の配線溝に、タンタル含有化合物(タンタル、窒化タンタル等)によるバリア膜を成膜した後、バリア膜上に導体膜を成膜する。次に、導体膜及びバリア膜をCMP(Chemical Mechanical Polishing)法によって研磨し、配線構造体の表面を平坦化する。この研磨方法では、第1の研磨工程で導体膜を研磨し、配線溝以外の箇所のバリア膜を露出させる。次いで、第2の研磨工程でバリア膜を研磨し、配線溝以外の箇所の絶縁膜を露出させる。
配線構造体の製造に使用される研磨用組成物として、研磨材、酸化剤、還元剤及び水が含有されているものが知られている(例えば特許文献1参照)。この研磨用組成物では、酸化剤及び還元剤によって、バリア膜に対する研磨力を促進させている。また、トリアゾール誘導体が含有され、導体膜の腐食を抑制する研磨用組成物が知られている。(例えば特許文献2参照)。さらに、研磨材として一次粒子径が20nm以下のシリカを含有させ、導体膜及びバリア膜の研磨力を高めた研磨用組成物が知られている(例えば特許文献3参照)。
特開2000−160139号公報(第4−7頁) 特開2001−89747号公報(第5−8頁) 特開2001−247853号公報(請求項1等)
上記背景技術に記載の研磨用組成物の場合、配線溝が近接する領域における絶縁膜が研磨され、その領域の表面が他の領域の表面に比べて、内側に後退する現象(エロージョン)が発生する。また、導体膜が過剰に研磨され、絶縁膜表面に比べて導体膜表面が内側へ後退する現象(ディッシング)が発生する。そして、エロージョン及びディッシングによって、研磨加工後の表面に段差が生じるという問題があった。
本発明は、上記のような従来技術に存在する問題点に着目してなされたものである。その目的とするところは、ディッシングの進行及びエロージョンの進行を抑制することにより、表面段差を抑制することができる研磨用組成物を提供することにある。
上記の目的を達成するために請求項1に記載の発明の研磨用組成物では、表面に配線溝を有する絶縁膜、前記配線溝に埋設される導体膜、及び前記絶縁膜と導体膜に介装されるバリア膜を備えた配線構造体の製造に使用される研磨用組成物であって、下記(a)〜(e)の各成分を含有するとともにpHが1.5〜4である
(a):0.01〜0.3μmのコロイダルシリカを0.1〜20質量%
(b):酸として硝酸、乳酸、クエン酸、及びシュウ酸から選ばれる少なくとも一種を0.01〜0.3質量%
(c):防食剤としてベンゾトリアゾール及びその誘導体から選ばれる少なくとも一種を0.001〜0.3質量%
(d):完全けん化型ポリビニルアルコールを0.005〜1質量%
(e):水
請求項2に記載の発明の研磨用組成物では、請求項1に記載の発明において、さらに(f)酸化剤を含有するものである。
請求項3に記載の発明の研磨用組成物では、請求項2に記載の発明において、前記(f)酸化剤を0.1〜20質量%含有することを要旨とする。
請求項4に記載の発明の研磨用組成物では、請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の発明において、前記成分(a)として、平均粒子径が0.05μm以上0.3μm以下の第1シリカと、平均粒子径が0.01μm以上0.05μm未満の第2シリカとを併用することを要旨とする。
本発明によれば、ディッシングの進行及びエロージョンの進行を抑制することにより、表面段差を抑制することができる。
以下、本発明の実施形態について詳細に説明する。
図1に示すように、半導体装置における配線構造体11は、表面に配線溝12を有する絶縁膜13、同絶縁膜13を保護するバリア膜14及び配線部分を構成する導体膜15を備えている。配線溝12の内壁はバリア膜14によって被覆され、そのバリア膜14の内側には導体膜15が埋設されている。そして、絶縁膜13と導体膜15との間にバリア膜14が介装され、導体膜15の成分が絶縁膜13中に拡散することが防止されている。配線構造体11の表面は、導体膜15、バリア膜14及び絶縁膜13によって平滑面状に形成されている。
絶縁膜13の具体例としては、SiO2膜、SiOF膜、SiOC膜等が挙げられ、これらの絶縁膜13はTEOS(テトラエトキシシラン)等を出発原料としてCVD(Chemical Vapor Deposition)法等によって成膜される。配線溝12は、半導体装置の回路設計に基づいて公知のリソグラフィ技術、パターンエッチング技術等によって凹設される。バリア膜14は、タンタル、窒化タンタル等のタンタル含有化合物により、スパッタリング法等によって成膜される。導体膜15は、銅を含有する金属材料によって成膜される。銅を含有する金属材料としては、銅、銅−アルミニウム合金、銅−チタン合金等が挙げられる。
配線構造体11を製造するには、まず図2に示すように絶縁膜13、バリア膜14及び導体膜15を積層させることにより、積層体16を形成する。その導体膜15の表面には、配線溝12由来の初期凹溝17が形成されている。次にCMP(Chemical Mechanical Polishing)法によって、初期凹溝17を除去するとともに配線溝12の内側以外の導体膜15及びバリア膜14を除去することによって、配線構造体11が形成される。本実施形態のCMP法では、図3に示すように導体膜15を研磨し、配線溝12の内側以外のバリア膜14を露出させる第1の研磨工程と、主としてそのバリア膜14を研磨し、配線溝12の内側以外の絶縁膜13を露出させる第2の研磨工程とを備えている。本実施形態の研磨用組成物は、第2の研磨工程に使用されるものである。
本実施形態の研磨用組成物には、(a)コロイダルシリカ、(b)酸、(c)防食剤、(d)完全けん化型ポリビニルアルコール及び(e)水が含有される。
成分(a)コロイダルシリカは、機械的研磨作用により、被研磨面を研磨するために含有される。成分(a)は種々の方法により合成されるが、不純物元素が極めて少ないことから、ゾルゲル法で合成されたものが好ましい。ゾルゲル法とは、一般にメタノール、アンモニア及び水からなる溶媒中にケイ酸メチルを滴下し、加水分解させることによって行なわれる。但し、不純物元素の存在をそれほど問題としない場合、珪酸ソーダを出発原料とし、イオン交換にてコロイダルシリカを生成する、いわゆるイオン交換法によるコロイダルシリカを用いてもよい。
成分(a)の平均粒子径は、レーザー回折散乱法による平均粒子径(DN4)の値において、好ましくは0.01〜0.5μm、より好ましくは0.03〜0.3μmである。この平均粒子径が0.01μm未満の場合、研磨速度が十分に得られないおそれがある。一方、0.5μmを超えると、エロージョン量が増大するおそれがある。
また、平均粒子径の大きいコロイダルシリカ(第1シリカ、平均粒子径D1)と、その第1シリカより粒子径の小さいコロイダルシリカ(第2シリカ、平均粒子径D2)を組み合わせて含有させることが好ましい。平均粒子径D1は、好ましくは0.05μm以上0.3μm以下、より好ましくは0.05μm以上0.1μm以下である。平均粒子径D1が0.05μm未満の場合、絶縁膜13の研磨速度を向上することが困難である。一方、0.3μmを超えると、絶縁膜13の研磨速度が高すぎるため、エロージョンが発生し易くなるおそれがある。平均粒子径D2は、好ましくは0.01μm以上0.05μm未満、より好ましくは0.02μm以上0.04μm以下である。平均粒子径D2が0.01μm未満及び0.05μmを超える場合、バリア膜14の研磨速度が十分に得られないおそれがある。
研磨用組成物中における成分(a)の含有量は、好ましくは0.01〜20質量%、より好ましくは0.1〜10質量%である。この含有量が0.01質量%未満の場合、バリア膜14の研磨速度が十分に得られないおそれがある。一方、20質量%を超えると、表面段差が十分に抑制されないおそれがある。
成分(b)酸は、バリア膜14に対する研磨速度を向上させるために含有される。成分(b)は、上記作用効果に優れることから、好ましくは硝酸、塩酸、硫酸、乳酸、酢酸、シュウ酸、クエン酸、リンゴ酸、コハク酸、酪酸及びマロン酸から選ばれる少なくとも一種、より好ましくは硝酸、シュウ酸及び乳酸から選ばれる少なくとも一種、さらに好ましくは硝酸である。また、硝酸を含有させた場合、研磨用組成物を保存安定性が向上され、研磨速度の経時的な低下を抑制することができる。
研磨用組成物中における成分(b)の含有量は、好ましくは0.01〜3質量%、より好ましくは0.01〜0.3質量%である。この含有量が0.01質量%未満であると、バリア膜14の研磨速度が十分に得られないおそれがある。一方、3質量%を超えると、組成物のpHが低くなり、取扱い性が悪化するおそれがある。成分(b)の含有量が0.03〜0.1質量%の場合、表面段差を一層抑制することができる。
成分(c)防食剤は、導体膜15の表面を成分(b)の腐食から保護するために含有される。成分(c)としては、ベンゾトリアゾール及びその誘導体が挙げられる。ベンゾトリアゾール及びその誘導体は、下記一般式(1)で示される。
Figure 0004541674
(式中のR1は水素原子、カルボキシル基を有するアルキル基、水酸基及び三級アミノ基を有するアルキル基、水酸基を有するアルキル基、又はアルキル基を示し、R2〜R5はそれぞれ水素原子又はアルキル基を示す。また、4位、5位、6位又は7位の炭素原子は窒素原子に置換してもよいし、1位の窒素原子を炭素原子に置換してもよい。)
成分(c)は、導体膜15の表面を成分(b)の腐食から保護する効果が高いことから、下記一般式(2)で示されるベンゾトリアゾール誘導体が好ましい。
Figure 0004541674
(式中のR2は水素原子、カルボキシル基を有するアルキル基、水酸基及び三級アミノ基を有するアルキル基、水酸基を有するアルキル基、又はアルキル基を示す。)
上記一般式(2)のR2がカルボキシル基を有するアルキル基である場合は、下記一般式(3)で示される。また、下記一般式(3)で示されるベンゾトリアゾール誘導体の具体例として、下記式(4)で示される1−(1,2−ジカルボキシエチル)ベンゾトリアゾールが挙げられる。
Figure 0004541674
Figure 0004541674
一般式(2)のR2が水酸基及び三級アミノ基を有するアルキル基である場合は、下記一般式(5)で示される。また、下記一般式(5)で示されるベンゾトリアゾール誘導体の具体例として、下記式(6)で示される1−[N,N−ビス(ヒドロキシエチル)アミノメチル]ベンゾトリアゾールが挙げられる。
Figure 0004541674
Figure 0004541674
上記一般式(2)のR2が水酸基を有するアルキル基である場合、下記一般式(7)又は下記一般式(8)で示される。下記一般式(7)で示されるベンゾトリアゾール誘導体の具体例として、下記式(9)で示される1−(2,3−ジヒドロキシプロピル)ベンゾトリアゾールが挙げられる。また、下記一般式(8)で示されるベンゾトリアゾール誘導体の具体例として、下記式(10)で示される1−(ヒドロキシメチル)ベンゾトリアゾールが挙げられる。
Figure 0004541674
Figure 0004541674
Figure 0004541674
Figure 0004541674
但し、上記一般式(3)、(5)、(7)及び(8)のXはそれぞれアルキレン基を示す。これらの成分(c)は、単独で配合してもよく、二種以上を組み合わせて配合してもよい。成分(c)の中でも、導体膜15の表面を成分(b)による腐食から保護する効果が高いことから、上記式(6)で示されるものが好ましい。
研磨用組成物中における成分(c)の含有量は、好ましくは0.001〜3質量%、より好ましくは0.01〜0.3質量%である。0.001質量%未満では、露出した導体膜表面を十分に保護することができないために、導体膜表面が腐食されやすい。一方、3質量%超えると、導体膜15に対する研磨速度が十分に得られないおそれがある。
成分(d)完全けん化型ポリビニルアルコールは、被研磨面の表面段差を抑制するために含有される。この(d)成分は、ポリ酢酸ビニルをけん化(加水分解)したものである。ここで、完全けん化型とは、けん化度が98.0モル%以上であることをいう。成分(d)の分子量は、一般的に10000〜500000程度であるが、成分(e)に対する溶解性が良好であることから、100000以下であることが好ましい。
研磨用組成物中における成分(d)の含有量は、好ましくは0.001〜1.0質量%、より好ましくは0.005〜0.5質量%である。この含有量が0.001質量%未満及び1.0質量%を超える場合、ディッシングを十分に抑制できないおそれがある。また、(d)成分の含有量を増加させるに伴い、銅に対する研磨速度、すなわち導体膜15の研磨速度を向上させることができる。
成分(e)水は、各成分の分散媒又は溶媒として含有される。成分(e)は、他の成分の作用を阻害するのを抑制するために、不純物をできる限り含有しないものが好ましい。具体的には、イオン交換樹脂にて不純物イオンを除去した後、フィルタを通して異物を除去した純水や超純水、又は蒸留水が好ましい。
導体膜15を研磨する必要がある場合、研磨用組成物には(f)酸化剤を含有させることが好ましい。成分(f)は、導体膜15を酸化させることにより、導体膜15の研磨速度を向上させることができる。成分(f)の具体例としては、過酸化水素、硝酸、過マンガン酸カリウム、過硫酸塩等が挙げられ、これらは単独で含有されてもよいし二種以上を組み合わせて含有されてもよい。成分(f)の中でも、酸化力に優れることから、過酸化水素が好ましい。
研磨用組成物中の成分(f)の含有量は、好ましくは0.1〜20質量%、より好ましくは0.1〜5質量%である。この含有量が0.1質量%未満の場合、酸化力が低く、十分な研磨速度が得られないおそれがある。一方、20質量%を超えると、ディッシングが発生するおそれがある。
研磨用組成物には、その他の成分として消泡剤等を常法に従って含有させることも可能である。また、研磨用組成物のpHは主として成分(b)の添加量によって調整され、そのpHは好ましくは1.5〜4、より好ましくは2〜3である。このpHが1.5未満の場合、強酸となるため、取扱い性が悪化するおそれがある。一方、4を超える場合、成分(b)の含有量が低いため、バリア膜14の研磨速度が十分に得られないおそれがある。
研磨用組成物は、成分(e)に各成分(a)〜(d)を溶解又は分散させることにより調製される。各成分の溶解又は分散には、翼式攪拌機、超音波分散機等が使用される。
さて、第1の研磨工程では、導体膜15研磨用のスラリーを用いて積層体16を研磨する。ここで、第1の研磨工程を経た積層体16は、図4(a)に示すように配線溝12における導体膜15が過剰に研磨され、バリア膜14が内側に後退する現象、つまりディッシング18が発生する。また、図5に示すように、配線溝12が近接する領域における絶縁膜13が研磨され、その領域の表面が他の領域の表面に比べて、内側に後退する現象、つまりエロージョン19が発生する。これらのディッシング18やエロージョンによって、第1の研磨工程が完了した積層体16の表面には、段差が形成されることになる。
次に、第2の研磨工程では、第1の研磨工程を経た積層体16が研磨用組成物によって研磨され、バリア膜14が除去されるとともに配線溝12の内側以外の絶縁膜13が露出される。このとき、研磨用組成物には成分(d)が含有されている。この成分(d)は、積層体16におけるディッシング18やエロージョンが形成されている部分の表面に対する保護作用があり、その部分における研磨の進行が抑制されると推測される。成分(d)の保護作用は、部分けん化型ポリビニルアルコールでは発揮されず、成分(d)に特有の作用であることが判明した。
以上詳述した本実施形態によれば、次のような効果が発揮される。
・ 本実施形態の研磨用組成物には、各成分(a)〜(e)が含有されている。成分(a)〜(c)によって、優れた研磨性能が発揮されることに加え、成分(d)によって、ディッシング18やエロージョンが形成されている部分の表面が保護される。従って、ディッシング18の進行及びエロージョンの進行が抑制され、配線構造体11の表面段差を抑制することができる。また、成分(a)及び(b)によって、バリア膜14に対する研磨速度を向上させることができる。従って、第2の研磨工程における研磨効率を向上させることができる。
・ 第1の研磨工程が完了した積層体16は、その研磨の進行度合いによって、配線溝12の内側以外のバリア膜14上に導体膜15が残留する場合がある。この場合、第2の研磨工程ではバリア膜14のみならず、導体膜15の一部を除去する必要性が生じる。本実施形態の研磨用組成物には、成分(d)が含有されている。従って、成分(d)の濃度を変化させることにより、銅に対する研磨速度、すなわち導体膜15に対する研磨速度を変化させることができる。よって、第1の研磨工程が完了した積層体16の状態、すなわち除去すべき導体膜15の残留量に適した研磨用組成物を得ることができる。
・ 研磨用組成物には、さらに成分(f)を含有させることが好ましい。この場合、銅に対する研磨速度、すなわち導体膜15の研磨速度を向上させることができる。また、研磨用組成物が成分(f)を含有するときには、成分(f)と他の成分とを別々に分けた状態で研磨用組成物を調製・保管し、使用する直前に成分(f)を他の成分に加えてもよい。このように構成した場合は、研磨用組成物を長期間保管した場合における成分(f)の研磨用組成物中での分解を抑制することができる。
・ 成分(a)の粒子径は、0.01〜0.5μmであることが好ましい。この場合、絶縁膜13及びバリア膜14の研磨速度が向上され、第2の研磨工程における研磨効率を向上させることができる。
・ 成分(a)として、平均粒子径が0.05μm以上0.3μm以下の第1シリカと、平均粒子径が0.01μm以上0.05μm未満の第2シリカとを併用することが好ましい。この場合、第1シリカによって絶縁膜13の研磨速度が向上されるとともに、第2シリカによってバリア膜14の研磨速度が向上されるため、第2の研磨工程における研磨効率を向上させることができる。ここで、第1の研磨工程を経た積層体16における被研磨面の平滑性が悪い場合、バリア膜14に加えて絶縁膜13を研磨する必要性が生じるため、この研磨用組成物は特に有用である。
なお、前記実施形態を次のように変更して構成することもできる。
・ 前記実施形態における研磨用組成物は、第1の研磨工程に使用することも可能である。この場合、研磨用組成物中における(d)成分の含有量は、好ましくは0.005質量%以上、より好ましくは0.01質量%以上である。この濃度に設定することにより、銅の研磨速度、すなわち導体膜15の研磨速度が向上され、第1の研磨工程における研磨効率を向上させることができる。また、第1の研磨工程は、複数の研磨工程に分割されていてもよい。例えば、第1の研磨工程を第1aの研磨工程及び第1bの研磨工程に分割構成する。この第1aの研磨工程ではバリア膜14が露出する前に研磨が終了され、第1bの研磨工程ではバリア膜14が露出するまで導体膜15を研磨する。
・ 前記研磨用組成物は、濃縮した状態で保存することも可能である。そして、濃縮された研磨用組成物を成分(e)で希釈することにより、各成分を所定の濃度範囲に設定して使用する。この場合、研磨用組成物には、濃縮時における成分(a)の凝集を抑制するために、各種界面活性剤等の分散安定剤を添加することが好ましい。
次に、試験例及び比較例を挙げて前記実施形態をさらに具体的に説明する。
(試験例1〜41、参考例16,19、比較例1〜15)
表1に示す各成分を(e)水に溶解又は分散することにより、研磨用組成物を調製した。なお、表中の含有量を示す数値の単位は質量%である。また、表に示す含有量の残量は成分(e)である。
Figure 0004541674
<シリカ>C1:コロイダルシリカ(平均粒子径0.03μm)、C2:コロイダルシリカ(平均粒子径0.07μm)、F1:フュームドシリカ(平均粒子径0.03μm)、F2:フュームドシリカ(平均粒子径0.07μm)、F3:フュームドシリカ(平均粒子径0.18μm)。
<シリカの粒子径>N4 Plus Submicron Particle Sizer(Beckman Coulter,Inc.製)を使用し、レーザー回折散乱法によって測定した平均粒子径(DN4)。
<酸>NA:硝酸、SA:硫酸、LA:乳酸、Cit:クエン酸、Oxa:シュウ酸。
<防食剤>B1:ベンゾトリアゾール、B2:1−(2,3−ジヒドロキシプロピル)ベンゾトリアゾール、B3:1−[N,N−ビス(ヒドロキシジメチル)アミノメチル]−ベンゾトリアゾール。
<PVA他>PVA:完全けん化型ポリビニルアルコール(けん化度:98モル%以上)、PVA’:部分けん化型ポリビニルアルコール(けん化度:約88モル%)、A:ポリエチレングリコール、B:ポリアクリル酸、C:ラウリル硫酸アンモニウム、D:ポリオキシエチレンポリオキシプロピレンアルキルエーテル、E:ドデシルベンゼンスルホン酸アンモニウム。
<酸化剤>過酸化水素。
(研磨性能評価)
各例の研磨用組成物を用いて、以下に示す研磨加工条件で被研磨物を研磨加工することにより、各例の研磨用組成物の評価を行った。
<研磨加工条件>
研磨機:片面CMP用研磨機(Mirra、アプライドマテリアルズ社製)、研磨パッド:ポリウレタン製積層研磨パッド(IC−1000/Suba400:ローデル社製)、研磨加工圧力:2psi(=約13.8kPa)、底盤回転数:80rpm、研磨組成物供給速度:200mL/min、キャリア回転数:80rpm。
<被研磨物>
(P)銅パターンウエハ(以下、ウエハP)
Cu研磨用スラリー(PLANERLITE−7101;株式会社フジミインコーポレーテッド製)による第1の研磨工程を経たもの。この銅パターンウエハにおいて、図4(a)に示すように100μm幅の配線溝12の内側におけるディッシング量d1は約0.03μmである。
(A)銅ブランケットウエハ(以下、ウエハA)
電解めっき法によって銅を成膜した8インチシリコンウエハ。
(B)タンタルブランケットウエハ(以下、ウエハB)
スパッタリング法によってタンタルを成膜した8インチシリコンウエハ。
(C)窒化タンタルブランケットウエハ(以下、ウエハC)
スパッタリング法によって窒化タンタルを成膜した8インチシリコンウエハ。
(D)二酸化ケイ素ブランケットウエハ(以下、ウエハD)
TEOSを出発原料としてCVD法によって二酸化ケイ素を成膜した8インチシリコンウエハ。
(E)Black Diamond(R)ブランケットウエハ(以下、ウエハE)
アプライドマテリアルズ社製Low−K材料膜を成膜した8インチシリコンウエハ。
<段差形状の評価>
図4(a)に示す第2の研磨工程前の積層体16におけるディッシング量d1[nm]を接触式表面測定装置であるプロファイラ(HRP340:ケーエルエー・テンコール社製)を用いて測定した。同様に、図4(b)に示す第2の研磨工程後の配線構造体11におけるディッシング量d2[nm]を測定した。段差の進行量(段差進行量[nm]=ディッシング量d1[nm]−ディッシング量d2[nm])を算出した。この段差進行量が0nm以上を優(◎)、−10nm以上0nm未満を良(○)、−20nm以上−10nm未満をやや不良(△)及び−20nm未満(×)を不良の4段階で評価した。
<洗浄性の評価>
研磨加工が施された被研磨物(ウエハP、ウエハA及びウエハD)を純水が満たされた超音波洗浄槽(40kHz)に1分間浸した後に、洗浄剤SD3000(三菱化学(株)製)を添加した純水でスクラブ洗浄した。さらに、純水で流水洗浄した後、スピン乾燥した。洗浄後のウエハPについて、暗視野パターン付ウエハ欠陥検査装置(AITIII、ケーエルエー・テンコール社製)によって、パーティクル値(0.25μm以上)のパーティクル個数をカウントした。また、洗浄後におけるウエハA及びウエハDについて、パターンなしウエハ表面異物検査装置(SP1−TBI:ケーエルエー・テンコール社製)によって、パーティクル値(0.25μm以上)のパーティクル個数をカウントした。パーティクル個数について、ウエハPが600以下、ウエハAが250以下、かつウエハDが100以下であるものを優(◎)、及びウエハPが601以上1000以下、ウエハAが251以上500以下、かつウエハDが101以上200以下であるものを良(○)とした。加えて、ウエハPが1000以上2000以下、ウエハAが501以上1000以下、かつウエハDが201以上400以下であるものをやや不良(△)、及びウエハPが2001以上、ウエハAが1001以上、かつウエハDが401以上であるものを不良(×)とする4段階で評価した。
<表面欠陥の評価>
上記洗浄性の評価において、ウエハP、ウエハA及びウエハDでカウントされたパーティクルから100個を無作為に抽出し、そのパーティクルを分析した。100個のパーティクルのうち、表面欠陥に該当する個数をカウントし、その比率を算出した。表面欠陥が5%未満を優(◎)、5%以上10%未満を良(○)、10%以上20%未満をやや不良(△)及び20%以上を不良(×)とする4段階で評価した。
<安定性>
各例における調製直後の研磨用組成物を用いて、ウエハDに研磨加工を施した。このときの研磨速度を下記計算式(i)によって求めた。
研磨速度[nm/分]=(研磨前のウエハの厚み[nm]−研磨後のウエハの厚み[nm])÷研磨時間[分]・・・(i)
次に、各例の研磨用組成物を43℃の恒温槽にて保存した。調製直後から1週間後、1ヶ月後及び2ヶ月後の研磨用組成物を用いて、ウエハDに研磨加工を施し、研磨速度を算出した。研磨速度が調製直後の90%まで低下するのが、2ヶ月以上の場合を優(◎)、1ヶ月以上2ヶ月未満を良(○)、1週間以上1ヶ月未満をやや不良(△)及び1週間未満を不良(×)の4段階で評価した。
<研磨速度>
各例における調製直後の研磨用組成物を用いて、ウエハA〜Eにそれぞれ研磨加工を施し、順に銅、タンタル、窒化タンタル、二酸化ケイ素及びLow−K材料に対する研磨速度を上記計算式(i)により算出した。
(研磨性能評価結果)
以上の評価結果を表2に示す。
Figure 0004541674
表2の結果から明らかなように、試験例1〜41では各成分(a)〜(e)が含有されているため、段差形状が優又は良の結果が得られた。また、試験例1〜41では洗浄性に関しても優又は良の結果が得られた。試験例29〜31から成分(d)の含有量の増加に伴い、ウエハAの研磨速度が向上していることがわかる。試験例3から、表面段差を抑制することができることに加え、ウエハB及びCの研磨速度に優れる研磨用組成物が得られることがわかる。
一方、比較例1〜6では、成分(a)〜(d)のいずれか一種が含有されていないため、段差形状が不良となっている。比較例7〜10では、部分けん化型PVAが含有されているが、段差形状が不良となっている。比較例11〜15では成分(d)以外の水溶性高分子等が含有されているが、段差形状がやや不良又は不良となっている。
本実施形態における配線構造体を示す拡大断面図。 積層体を示す拡大断面図。 第1の研磨工程が完了した積層体を示す拡大断面図。 (a)は第1の研磨工程が完了した積層体を示す要部拡大断面図、(b)は配線構造体を示す要部拡大断面図。 第1の研磨工程が完了した積層体を示す要部拡大断面図。
符号の説明
11…配線構造体、12…配線溝、13…絶縁膜、14…バリア膜、15…導体膜。

Claims (4)

  1. 表面に配線溝を有する絶縁膜、前記配線溝に埋設される導体膜、及び前記絶縁膜と導体膜に介装されるバリア膜を備えた配線構造体の製造に使用される研磨用組成物であって、下記(a)〜(e)の各成分を含有するとともにpHが1.5〜4である研磨用組成物。
    (a):0.01〜0.3μmのコロイダルシリカを0.1〜20質量%
    (b):酸として硝酸、乳酸、クエン酸、及びシュウ酸から選ばれる少なくとも一種を0.01〜0.3質量%
    (c):防食剤としてベンゾトリアゾール及びその誘導体から選ばれる少なくとも一種を0.001〜0.3質量%
    (d):完全けん化型ポリビニルアルコールを0.005〜1質量%
    (e):水
  2. さらに(f)酸化剤を含有する請求項1に記載の研磨用組成物。
  3. 前記(f)酸化剤を0.1〜20質量%含有する請求項2に記載の研磨用組成物。
  4. 前記成分(a)として、平均粒子径が0.05μm以上0.3μm以下の第1シリカと、平均粒子径が0.01μm以上0.05μm未満の第2シリカとを併用する請求項1〜3のいずれか一項に記載の研磨用組成物。
JP2003342532A 2003-09-30 2003-09-30 研磨用組成物 Expired - Lifetime JP4541674B2 (ja)

Priority Applications (9)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003342532A JP4541674B2 (ja) 2003-09-30 2003-09-30 研磨用組成物
CNB2004800282002A CN100435290C (zh) 2003-09-30 2004-09-30 研磨用组合物及研磨方法
KR1020067006163A KR101110723B1 (ko) 2003-09-30 2004-09-30 연마용 조성물 및 연마 방법
EP04788401A EP1670047B1 (en) 2003-09-30 2004-09-30 Polishing composition and polishing method
US10/574,115 US20070176140A1 (en) 2003-09-30 2004-09-30 Polishing composition and polishing method
DE602004026454T DE602004026454D1 (de) 2003-09-30 2004-09-30 Polierzusammensetzung und polierverfahren
TW093129565A TW200526768A (en) 2003-09-30 2004-09-30 Polishing composition and polishing method
PCT/JP2004/014373 WO2005031836A1 (ja) 2003-09-30 2004-09-30 研磨用組成物及び研磨方法
AT04788401T ATE463838T1 (de) 2003-09-30 2004-09-30 Polierzusammensetzung und polierverfahren

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003342532A JP4541674B2 (ja) 2003-09-30 2003-09-30 研磨用組成物

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2005109257A JP2005109257A (ja) 2005-04-21
JP4541674B2 true JP4541674B2 (ja) 2010-09-08

Family

ID=34536775

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003342532A Expired - Lifetime JP4541674B2 (ja) 2003-09-30 2003-09-30 研磨用組成物

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4541674B2 (ja)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005175218A (ja) * 2003-12-11 2005-06-30 Nitta Haas Inc 銅配線研磨用スラリー
KR100677321B1 (ko) 2004-04-30 2007-02-02 엘지전자 주식회사 이동 통신 단말기의 스피커 볼륨 제어 장치 및 방법
CN1955249B (zh) * 2005-10-28 2012-07-25 安集微电子(上海)有限公司 用于钽阻挡层的化学机械抛光浆料
JP2007220995A (ja) * 2006-02-17 2007-08-30 Fujifilm Corp 金属用研磨液
TWI629347B (zh) * 2012-07-17 2018-07-11 福吉米股份有限公司 使用合金材料硏磨用組成物來研磨合金材料的方法
SG10201904669TA (en) * 2018-06-28 2020-01-30 Kctech Co Ltd Polishing Slurry Composition

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11116942A (ja) * 1997-10-14 1999-04-27 Fujimi Inc 研磨用組成物
JP2002141314A (ja) * 2000-08-21 2002-05-17 Toshiba Corp 化学機械研磨用スラリおよび半導体装置の製造方法
JP2003100676A (ja) * 2001-09-26 2003-04-04 Sumitomo Bakelite Co Ltd 研磨用組成物
JP2003514374A (ja) * 1999-11-04 2003-04-15 アドバンスト・マイクロ・ディバイシズ・インコーポレイテッド 有機添加剤含有のtaバリアスラリー
WO2003038883A1 (fr) * 2001-10-31 2003-05-08 Hitachi Chemical Co., Ltd. Fluide et procede de polissage
JP3780767B2 (ja) * 1999-09-09 2006-05-31 日立化成工業株式会社 金属用研磨液及び基板の研磨方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11116942A (ja) * 1997-10-14 1999-04-27 Fujimi Inc 研磨用組成物
JP3780767B2 (ja) * 1999-09-09 2006-05-31 日立化成工業株式会社 金属用研磨液及び基板の研磨方法
JP2003514374A (ja) * 1999-11-04 2003-04-15 アドバンスト・マイクロ・ディバイシズ・インコーポレイテッド 有機添加剤含有のtaバリアスラリー
JP2002141314A (ja) * 2000-08-21 2002-05-17 Toshiba Corp 化学機械研磨用スラリおよび半導体装置の製造方法
JP2003100676A (ja) * 2001-09-26 2003-04-04 Sumitomo Bakelite Co Ltd 研磨用組成物
WO2003038883A1 (fr) * 2001-10-31 2003-05-08 Hitachi Chemical Co., Ltd. Fluide et procede de polissage

Also Published As

Publication number Publication date
JP2005109257A (ja) 2005-04-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3981616B2 (ja) 研磨用組成物
KR101110714B1 (ko) 연마용 조성물 및 연마방법
EP2418260B1 (en) Polishing composition
KR101110723B1 (ko) 연마용 조성물 및 연마 방법
TWI425082B (zh) 拋光組成物及使用彼製造配線結構體之方法
JP2002075927A (ja) 研磨用組成物およびそれを用いた研磨方法
JP2007073548A (ja) 研磨方法
JP4608196B2 (ja) 研磨用組成物
JP4541674B2 (ja) 研磨用組成物
JP2005123482A (ja) 研磨方法
JP4759219B2 (ja) 研磨用組成物
TWI647305B (zh) 化學機械研磨後洗滌用組合物
JP7331103B2 (ja) 研磨液、及び、化学的機械的研磨方法
JP7263516B2 (ja) 研磨液、及び、化学的機械的研磨方法
JP4406554B2 (ja) 研磨用組成物
JP7244642B2 (ja) 研磨液、及び、化学的機械的研磨方法
KR100772925B1 (ko) 구리 다마신 공정용 화학 기계적 연마 슬러리 조성물

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060821

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100119

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100317

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20100601

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20100624

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 4541674

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130702

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130702

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140702

Year of fee payment: 4

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term