JP2005064444A - 高周波特性に優れたナノ結晶粒金属粉末の製造方法及びこれを用いた高周波用軟磁性コアの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】
本発明は、急速凝固方法(RSP)で製造された非晶質リボンをナノ結晶化熱処理の後、粉砕から得られたナノ結晶粒金属粉末及びその粉末を用いた高周波用軟磁性コアの製造方法に関する。
【解決手段】
本発明による高周波特性に優れた軟磁性コアの製造方法は、RSP方法で製造されたFe系非晶質金属リボンを熱処理してナノ結晶粒金属リボンに変換させる段階；前記ナノ結晶粒金属リボンを粉砕してナノ結晶粒金属粉末を得る段階；前記ナノ結晶粒金属粉末を分級した後、最適の組成均一性を有する粉末の粒度分布で混合する段階；前記混合されたナノ結晶粒金属粉末にバインダーを混合した後、コアを成形する段階；及び前記成形されたコアを熱処理した後、コアを絶縁樹脂でコーティングする段階を含むことを特徴とする。
【選択図】 図１
本発明は、急速凝固方法(RSP)で製造された非晶質リボンをナノ結晶化熱処理の後、粉砕から得られたナノ結晶粒金属粉末及びその粉末を用いた高周波用軟磁性コアの製造方法に関する。
【解決手段】
本発明による高周波特性に優れた軟磁性コアの製造方法は、RSP方法で製造されたFe系非晶質金属リボンを熱処理してナノ結晶粒金属リボンに変換させる段階；前記ナノ結晶粒金属リボンを粉砕してナノ結晶粒金属粉末を得る段階；前記ナノ結晶粒金属粉末を分級した後、最適の組成均一性を有する粉末の粒度分布で混合する段階；前記混合されたナノ結晶粒金属粉末にバインダーを混合した後、コアを成形する段階；及び前記成形されたコアを熱処理した後、コアを絶縁樹脂でコーティングする段階を含むことを特徴とする。
【選択図】 図１
Description
本発明は、高周波特性に優れたナノ結晶粒金属粉末の製造方法およびその粉末を用いた高周波用軟磁性コアの製造方法に関するもので、特に、急速凝固方法(Rapid Solidification Process；RSP)で製造された非晶質リボンをナノ結晶化熱処理した後、粉砕して得られた磁性粉末及びその粉末を用いた高周波用軟磁性コアの製造方法に関する。
一般的に、従来の高周波用軟磁性体として使用されるFe系非晶質軟磁性体は、飽和磁束密度(Bs)は高いが、透磁率が低く、磁気変形が多くて高周波特性が悪いし、Co系非晶質軟磁性体は飽和磁束密度が低く、原料上の制約により高価という短所があるし、非晶質軟磁性合金はストリップ状に加工しにくくてトロイダル形のような製品の形状において制約があるし、フェライト軟磁性体は高周波の損失は少ないが、飽和磁束密度が小さくて小型化が難しいし、非晶質およびフェライト軟磁性体は全部低い結晶化温度により熱安定性の信頼性が悪いという問題がある。
現在、軟磁性コアとしては、RSPで製造された非晶質リボンを巻取後使用しているが、この場合直流重畳特性および高周波の透磁率が顕著に低く、コア損失も良好ではない。これは、粉末コア製品が、粉末と粉末との間に絶縁層を形成してエアギャップを均一に分散させる効果がある反面、非晶質リボン巻取型コアの場合にはエアギャップが存在しないためである。したがって、直流重畳特性を向上させるために非晶質リボンを使用したコアは薄い空隙(gap)を形成しているが、この場合は空隙から発生される漏洩磁束により効率低下と、他の電子部品及び人体に電磁波の影響を及ぼすことができる。
電磁ノイズの抑制あるいは平滑用チョークコイルに使用される軟磁性コアは、通常、純鉄、Fe-Si-Al合金(以下、「センダスト(sendust)」という)、Ni-Fe-Mo系パーマロイ(以下、「MPP(Moly Permally Powder)」という)、Ni-Fe系パーマロイ(以下、「ハイフラックス「(high flux)」という)等の金属粉末を素材として、これらの磁性金属粉末にセラミック絶縁体をコーティングした後、成形潤滑剤を添加して加圧成型し、熱処理して製造した。
まず、純鉄粉末から製造されたコアは価格が安い利点はあるが、相対的にコア損失が非常に大きくて、作動の際、過熱され高い直流電流が重畳されると、透磁率が大いに低くなる短所がある。
その反面、MPPコアは、100kHz〜1MHz周波数の範囲で良好な周波数特性を有し、コア損失が金属粉末の中で一番小さく、高い直流電流の重畳の際にも透磁率の減少が少ない長所はあるが、価格が非常に高くて採用しにくい問題があるし、ハイフラックスコアは100kHz〜1MHz周波数の範囲で良好な周波数特性を有し、コア損失が低く、金属粉末コアの中で高い直流電流の重畳の際に透磁率の減少が一番少ない長所がある。
また、センダストコアは純鉄に比べて非常に低いコア損失値を示し、周波数特性はMPPやハイフラックスコアと同等な水準であるし、価格はMPPハイフラックスコアに比べて約1/2水準で安いという長所はあるが、大電流においての直流重畳特性がMPPやハイフラックスコアに比べて相対的に低いため厳しい条件においての採用が制限されてきた。
フェライト軟磁性体は500KHz以上においての透磁率や損失が少ない長所があるが、飽和磁束密度が小さくて小型、軽量化に制限されてきた。
したがって、スイッチングモードの電源供給装置(SMPS)用平滑チョークコア用としては、価格、コア損失、直流重畳特性、コアの大きさ等を鑑みて用途別に多様に採用されているのが現実である。しかし、前記すべての従来の金属粉末コアの場合、1MHz以下の周波数のみに使用可能であり、1MHz以上の高周波帯域では使用に制限されてきた。
ここで、直流重畳特性とは、電源装置の交流入力を直流に変換する過程において発生する未弱な交流に直流が重畳された波形に対する磁性コアの特性であって、通常交流に直流が重畳された場合、直流電流に比例しコアの透磁率が劣るようになるが、このとき、直流を重畳させていない状態の透磁率対比直流重畳時の透磁率として示した比率(％μ-percent permeability)として直流重畳特性を評価する。
一方、従来には軟磁性コアの製造時、韓国特許第0284854号のように、粉末と粉末との間にセラミック絶縁層を形成してエアギャップ(air gap)を均一に分散させることにより、高周波において急激に増加する渦電流損失(Eddy current loss)を最小化し、全体的にエアギャップを保持させ大電流においての直流重畳特性を良好にしたが、1MHz以上の高周波帯域では透磁率が劣る問題があった。
韓国特許第０２８４８５４号
本発明者らは、前記のような従来技術の問題点を認識して、Fe系非晶質金属をナノ結晶化熱処理して得られた素材はナノ結晶粒であって高周波において優れた磁気的特性を保持できるという点と、フェライトに比べて飽和磁束密度が4倍ほどさらに大きいため製品の大きさは1/4に小型化が可能であり、Co系非晶質合金に比べて飽和磁束密度が高くFe系に比べて透磁率が高いという点と、Fe系であるため経済性が高く結晶質合金であるため熱安定性に優れ、これを粉末化した場合、高周波において渦電流の損失を最小化して工程費用の節減と複雑な形状の製品成形が可能な点とを考慮して、本発明を完成するようになった。
したがって、本発明はこのような従来技術の問題点を鑑みて案出されたもので、その目的は、高度の飽和磁束密度を持つナノ結晶粒磁性合金粉末に絶縁材を添加しコーティングすることにより、高周波において渦電流の損失を最小化して、1MHz以上の高周波において透磁率が良好な力率改善用ナノ結晶粒金属粉末の製造方法及び、その粉末を用いた高周波用軟磁性コアの製造方法を提供することにある。
本発明の他の目的は、ナノ結晶粒を持つことにより高い飽和磁束密度、高い透磁率、低い保磁力、優れた熱安定性等を有するため、コア製品の小型、軽量化に役立つことができる、力率改善用ナノ結晶粒金属粉末の製造方法及び、その粉末を用いた高周波用軟磁性コアの製造方法を提供することにある。
さらに、本発明の他の目的は、急速凝固リボンを破砕して金属粉末を製造することにより、高い組成均一度及び低い酸化度を持つようになって、コア製品の高品質化および高信頼性を図ることができる、力率改善用ナノ結晶粒金属粉末の製造方法及び、その粉末を用いた高周波用軟磁性コアの製造方法を提供することにある。
上記の目的を達成するために、本発明は、価格が安いながら高周波特性に優れた力率改善用ナノ結晶粒金属粉末を製造するために、急速凝固方法(RSP)で製造された周知の非晶質金属リボンを用いる。前記Fe系非晶質合金は、基本組成としてFeと、準金属としてP、C、B、Si、Al、Geの中のいずれか一つ以上と、ここにNb、Cu、Hf、Zr、Ti等の遷移金属の中のいずれか一つ以上を必須的に含む非晶質合金からなされる。これに関して、一番広く使用されている合金はFeSiBNbCu系合金である。
本発明による高周波特性に優れた軟磁性コアの製造方法は、RSP方法で製造された前記Fe系非晶質金属リボンを熱処理してナノ結晶粒金属リボンに変換させる段階；前記ナノ結晶粒金属リボンを粉砕してナノ結晶粒金属粉末を得る段階；前記ナノ結晶粒金属粉末を分級した後、最適の組成均一性を有する粉末の粒度分布で混合する段階；前記混合されたナノ結晶粒金属粉末にバインダーを混合した後、コアを成形する段階；及び前記成形されたコアを熱処理した後、コアを絶縁樹脂でコーティングする段階を含むことを特徴とする。
上記のように、本発明では、高価の元素を含有しないFe系非晶質金属リボンを処理して得られるため、価格の競争力が非常に優れながらもナノ結晶粒を有することにとり、従来のコアとは異なって1MHz以上の高周波特性に優れることが分かった。これは、Fe系ナノ結晶粒合金が高い飽和磁束密度、高い透磁率、低い保磁力、優れた熱安定性等を持つためである。これは、製品の小型、軽量化において大きく役に立つことである。
さらに、本発明においてのナノ結晶粒金属粉末は流体噴射方法で製造された粉末に比べて、急速凝固リボンを破砕して得られるため、高い組成均一度及び低い酸化度を持つようになり、これは、高品質化及び高信頼性が要求される製品に使用可能であることを意味する。そのうえ、このような高周波特性が優れたナノ結晶粒軟磁性コアは、高周波、小型、軽量化、高品質化、高信頼性が必要なSMPS及びDCコンバーター、雑音フィルタ等に広く使用され得る効果がある。
以上、本発明を特定の好ましい実施例を例として示して説明したが、本発明は上記の実施例に限定されず、本発明の旨を外れない範囲内で、当該発明の属する技術分野において通常の知識を持つ者により多様な変更と修訂が可能である。
以下、本発明のナノ結晶粒金属粉末およびこれを用いた軟磁性コアの製造方法に対して図１ないし図５を参考として詳細に説明する。
添付の図１は、本発明による高周波用軟磁性コアの製造方法を説明するための概略工程図である。
まず、本発明のナノ結晶粒金属粉末を得るために使用されるFe系非晶質合金は、基本組成としてFeと、準金属としてP、C、B、Si、Al、Geの中のいずれか一つ以上と、ここにNb、Cu、Hf、Zr、Ti等の中のいずれか一つ以上を必須的に含む周知の非晶質合金からなっており、FeSiBNbCu系合金あるいはFe-X-B(X=Nb、Cu、Hf、Zr、Ti等の遷移金属)系合金が一般的に広く使用される。
前記合金は、その後、RSP方法でリボン形態に製造され提供されるし(S1)、非晶質リボンは、その後、窒素雰囲気下で400〜600℃で0.2〜1.5時間ナノ結晶化熱処理して(S2)、ナノ結晶粒リボンを得られる。図２にナノ結晶化熱処理後の結晶粒の大きさを透過電子顕微鏡にて観察した写真を示した。図２に示すように、好適な特性は結晶粒のサイズが10〜20nmほどで、前記結晶粒のサイズが10〜20nm範囲を外れる場合は透磁率が減少する傾向を表す。
前記ナノ結晶化熱処理をする際において、熱処理の温度を400〜600℃に選定するのが好ましいが、これは400℃未満ではナノ結晶化が進行されないし、600℃を超過する場合にはナノ結晶核生成の後、結晶粒の成長が起こる恐れがあるためである。
さらに、ナノ結晶化熱処理にかかる時間は、熱処理の温度が低い場合は処理時間が長く、熱処理の温度が高い場合は処理時間が短くなる。したがって、熱処理の温度が400℃下限値である時、処理時間は1.5時間が好ましいし、熱処理の温度が600℃上限値である時、処理時間は0.2時間が適合である。
前記のようにナノ結晶粒金属リボンを得た後、粉砕機を使用した粉砕を通してナノ結晶粒金属粉末を得ることができる(S3)。粉砕の際、粉砕の条件、つまり粉砕の速度及び粉砕の時間を適切に選定することにより多様な粒度の範囲、多様な形態及び不規則な原子の配列状態を有する粉末を製造することができるようになる。
このような物理的な粉砕方法を使用して得られる金属粉末は、一般的に流体噴射方法により得られた金属粉末に比べて組成の均一性及び低い酸化度を持つため、製品の均一性に優れた特性を有する。つまり、本発明の粉砕方法による金属粉末を得る方法は、流体噴射方法を使用した従来の方法により得られる粉末は組成の均一性が劣るため、量産の際、製品不良においての大きな原因になる問題を解決するようになる。
前記粉砕工程を通じて得られたナノ結晶粒金属粉末は、分級工程を経て、-100〜+140mesh通過分と-140〜+200mesh通過分粉末に分級された後、-100〜+140mesh通過分：15〜65％、-140〜+200mesh通過分：35〜85％を持つように粒度分布を定めて混合される(S4)。
前記粒度分布は好適の物理的特性と組成の均一性を得るための粒度の構成比であって、このような組成を持つ場合、約80〜82％の最高密度を表すようになる。
前記のように、金属粉末の粒度分布を-100〜+140mesh通過分：15〜65％、-140〜+200mesh通過分：35〜85％に設定した理由は、-100〜+140mesh通過分を15％以下使用すると125以上の透磁率を得ることができないし、-100〜+140mesh通過分を65％以上使用すると、成形の際、クラックが発生して目的とする特性のコアを得ることができないためである。
続いて、前記のように製造されたナノ結晶粒金属粉末をインダクター用軟磁性コアに製造するためには、前記金属粉末に、絶縁と同時にバインダーとして役を果たすMgO、V2O5あるいは低融点グラス等のセラミックを1.5重量％〜5重量％混合した後(S5)、乾燥を行う。前記バインダーの含量が1.5重量％未満含有する場合には、絶縁物質の量が十分ではないため高周波透磁率(10MHz、1V)が低くなるし、これと反対に5重量％を超過含有する場合には、絶縁物質の過多添加によりナノ結晶質金属粉末の密度が減て高周波透磁率が劣る問題がある。
前記乾燥過程は、MgO、V2O5あるいは低融点グラスを混合する際、溶媒を使用するため、これを乾燥させるためである。乾燥後、固まった粉末をボールミーリングして再粉砕することにより、金属粉末にセラミックをコーティングする(S6)。
前記コーティングされた粉末は、その後、前記粉末にZn、ZnS、ステアリン酸の中で選択されたいずれか一つの潤滑材を添加して混合した後(S6)、コア金型内でプレス機を用いて約14〜18ton/cm2の成形圧で目的とする環形のコアを成形する(S7)。
このとき、前記潤滑剤は、粉末と粉末との間あるいは成形体と金型間の摩擦力を減少させるために使用され、一般的に亜鉛-ステアリン酸(Zn-Stearate)を2重量％以下に混合するのが好ましい。
次に、前記のように成形した環形コアを、300〜500℃の大気雰囲気下で0.2ないし3.8時間の間熱処理(焼鈍処理)して残留応力及び変形を除去する(S8)。前記焼鈍処理は300℃未満である場合あるいは500℃を超過する場合、熱処理時間に関係せずに所望の高周波透磁率が得られない。
その後、湿気および大気からのコア特性の保護のために、コアの表面にポリエステルあるいはエポキシ樹脂などをコーティングすることにより、高周波用ナノ結晶粒軟磁性コアを製造する(S9)。この時、前記エポキシ樹脂コーティング層の厚さは一般的な50〜200μmほどが好ましい。
以下、実施例を通じて本発明をさらに具体的に説明する。
RSP方法で製造された組成Fe73.5Cu1Nb3Si13.5B9非晶質リボンを窒素雰囲気下で540℃、40分熱処理して、ナノ結晶粒リボンを製造した。結晶粒のサイズは図２に示すように、10〜15nm範囲で表した。ナノ結晶粒リボンを粉砕機を用いて粉砕した後、分級および称量を通して-100〜+140mesh通過分：50％、-140〜+200mesh通過分：50％を得た。
その次に、製造されたナノ結晶粒粉末に低融点グラス3重量％混合してから、乾燥後、固まった粉末をボールミーリングを用いて再粉砕する方式でコーティングしてから、亜鉛ステアリン酸を0.5重量％添加して混合した後、コア金型を使用して16ton/cm2の成形圧で成形して、環形のコアを製造した。
以後、前記コア成形体を450℃の温度で30分間保持する焼鈍処理を行ってから、コアの表面にエポキシ樹脂を100μmの厚さでコーティングした後、高周波特性と直流重畳特性を測定して、その結果を下記の表１及び図３、図４に示した。
周波数による透磁率の評価は、エナメル銅線で30回巻線してから、精密LCRメータを使用して1KHzから10MHzまでインダクタンス(L:μH)を測定した後、環形コア(Toroidal Core)の関係式(L=(0.4πμN2A×10-2)/ｌ)により透磁率(μ)を求めた(ここで、Nはターン数、Aはコアの断面積、ｌは平均磁路長さである)。測定条件は、交流電圧1V、直流を重畳させない状態(IDC=0A)で測定する。
さらに、直流電流を変化させながら透磁率の変化を測定して直流重畳特性を検査するが、この時の測定条件は100kHz、交流電圧1Vである。
表１には、本発明とともに比較の目的で市販のマグネティックス社 (Magnetics)のセンダスト(Sendust)、ハイフラックス(High flux)、MPP製品を従来例１ないし従来例３として選定して、100KHz及び10MHzにおいての透磁率及び50 Ｏeにおいての直流重畳特性を比較した。この場合、従来例1-3の測定値は製品販売会社のカタログに記載されている値を引用した。
図３に示したように、本発明により製造された高周波用インダクターコアは、従来の方法で製造されたセンダスト(Sendust)、ハイフラックス(High flux)、MPPコアに比べて全般的な範囲で高い透磁率を表した。
本発明のインダクターコア(Nano power core)は、直流重畳特性もまた図４のようにハイフラックスコア(High Flux Core)よりは劣るが、全般的に高い値を表した。
上述の結果から、ナノ結晶粒金属粉末を用いることにより、高周波及び大直流重畳特性が同時に優れた軟磁性コアを製造することができることを確認した。
実施例２は、前記非晶質金属リボンのナノ結晶化熱処理を窒素雰囲気下で380〜620℃の温度で0.2〜2時間熱処理して得られたリボンの透磁率と結晶粒の大きさを測定したもので、熱処理の温度の変化による透磁率の変化は図５、熱処理の温度と熱処理の時間による結晶粒の大きさは下記の表２に表した。
好適な時間による透磁率を比較したものである。これはリボン状態での透磁率であり、リボン状態での透磁率が15000以上でなければ、コア成形後100kHz、1Vにおいて透磁率125以上の特性は得られない。
図５から分かるように、400〜600℃範囲では透磁率15000以上となるが、400℃以下及び600℃以上では透磁率15000に満たなかった。
下記の表２は、380、420、540、600、620℃である時の結晶粒の大きさを比較した表である。
前記表２のように、熱処理の温度が440、540、580℃である場合は、10〜20nmほどの結晶粒の大きさを持つが、380℃で2時間熱処理をすると結晶粒の大きさが8〜15nmほどで、結晶粒の分率も顕著に低いし、620℃で0.12時間熱処理をすると15〜25nmの結晶粒の大きさを持つ。
従って、優れた透磁率を表す結晶粒の大きさが10〜20nmの範囲を持つようにするためには、熱処理の温度は400〜600℃の範囲を持つのが好ましい。
実施例１と同一な方法で製造するが、ナノ金属粉末の粒度を-100〜+140mesh通過分:70％、-140〜+200mesh通過分:30％を使用した。圧出成形を通じてコア成形の際、成形後、コアの表面にクラックが生じて熱処理後コアが破れる現像が発生した。
このような金属粉末の粒度分布を変化させる実験を通じて、-100〜+140mesh通過分を45％超過使用すると、成形の際、クラックが生じて、目的とする特性のコアを得られないことが確認できた。
実施例１と同一な方法で製造するが、非晶質粉末の粒度を-100〜+140mesh通過分:10％、-140〜+200mesh通過分:90％を使用した。コーティング後、磁性特性を評価した時、100KHzにおいて透磁率が105ほど示されたが、これは-100〜+140mesh通過分:50％、-140〜+200mesh通過分:50％を使用した実施例１においてのコアの透磁率より16％ほど低い値である。
このような金属粉末の粒度分布を変化させる実験を通じて、-100〜+140mesh通過分を15％未満使用すると、125以上の透磁率を得ることができなかった。
実施例１と同一な方法で製造するが、バインダーとして使用した低融点グラスの含量を各々重量％として1.3％、1.5％、4.5％、5.5％に変化させて使用した。
低融点グラスを1.3重量％添加したコアの場合、高周波透磁率(10MHz、1V)が100ほどであった。これは、絶縁物質である低融点グラスの量が十分ではないため発生する現像である。しかし、これと反対に、低融点グラスを5.5重量％添加したコアの場合、透磁率は(10MHz、1V)95ほど示された。これは、低融点グラスの過多添加によりナノ結晶粒金属粉末の密度が減って発生する現像である。
バインダーを1.5-4.5重量％の範囲で添加したコアの場合、大きな問題は発生しなかった。
実施例１と同一な方法で製造するが、焼鈍処理の際、熱処理の温度を各々290、300、400、500、510℃、熱処理の時間は10分から8時間まで行った。表２は、同一な温度において透磁率が最高である熱処理時間及びこれによる透磁率である。
前記表３から分かるように、300、400、500℃では透磁率が105以上となるが、290及び510℃では105以上にはならなかった。つまり、焼鈍処理は300℃以上500以下で行われることが好ましいという結果が得られた。
Claims (8)
- 急速凝固方法(RSP)で製造されたFe系非晶質金属リボンを熱処理してナノ結晶粒金属リボンに変換させる段階；
前記ナノ結晶粒金属リボンを粉砕してナノ結晶粒金属粉末を得る段階；
前記ナノ結晶粒金属粉末を分級した後、最適の組成均一性を有する粉末の粒度分布で混合する段階；
前記混合されたナノ結晶粒金属粉末にバインダーを混合した後、コアを成形する段階；及び
前記成形されたコアを焼鈍処理した後、コアを絶縁樹脂でコーティングする段階を含むことを特徴とする高周波特性に優れた軟磁性コアの製造方法。 - 前記非晶質金属リボンのナノ結晶化熱処理は、窒素雰囲気下で400〜600℃の温度で0.2〜2時間の範囲にて行うことを特徴とする請求項１に記載の高周波特性に優れた軟磁性コアの製造方法。
- 前記粉末の粒度分布は、-100〜+140mesh通過分：15〜65％、-140〜+200mesh通過分：35〜85％からなることを特徴とする請求項１に記載の 高周波特性に優れた軟磁性コアの製造方法。
- 前記バインダーとしては、低融点グラスを1.5〜5重量％含むことを特徴とする請求項１に記載の高周波特性に優れた軟磁性コアの製造方法。
- 前記焼鈍処理は、大気雰囲気下で300〜500℃の温度で0.2〜3.8時間の範囲にて行うことを特徴とする請求項１に記載の高周波特性に優れた軟磁性コアの製造方法。
- 急速凝固方法(RSP)で製造されたFe系非晶質金属リボンを熱処理してナノ結晶粒金属リボンに変換させる段階；
前記ナノ結晶粒金属リボンを粉砕してナノ結晶粒金属粉末を得る段階；
前記ナノ結晶粒金属粉末を分級した後、最適の組成均一性を有するように-100〜+140mesh通過分：15〜65％と、-140〜+200mesh通過分：35〜85％の粉末の粒度分布で混合する段階を含むことを特徴とする高周波特性に優れた軟磁性コア用ナノ結晶粒金属粉末の製造方法。 - 前記ナノ結晶粒金属粉末を得るために使用されるFe系非晶質金属リボンは、基本組成としてFeと、準金属としてP、C、B、Si、Al、Geの中のいずれか一つ以上と、Nb、Cu、Hf、Zr、Tiの中のいずれか一つ以上を必須的に含む非晶質合金からなることを特徴とする請求項６に記載の高周波特性に優れた軟磁性コア用ナノ結晶粒金属粉末の製造方法。
- 前記非晶質金属リボンのナノ結晶化熱処理は、窒素雰囲気下で400〜600℃の温度で0.2〜2時間の範囲にて行うことを特徴とする請求項６に記載の高周波特性に優れた軟磁性コア用ナノ結晶粒金属粉末の製造方法。
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