JP2021141267A - 磁性粉末、磁性粉末成形体、および磁性粉末の製造方法 - Google Patents

磁性粉末、磁性粉末成形体、および磁性粉末の製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2021141267A
JP2021141267A JP2020039606A JP2020039606A JP2021141267A JP 2021141267 A JP2021141267 A JP 2021141267A JP 2020039606 A JP2020039606 A JP 2020039606A JP 2020039606 A JP2020039606 A JP 2020039606A JP 2021141267 A JP2021141267 A JP 2021141267A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic powder
powder
magnetic
particle size
average particle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2020039606A
Other languages
English (en)
Inventor
世樹 佐野
Toshiki Sano
世樹 佐野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2020039606A priority Critical patent/JP2021141267A/ja
Priority to CN202110244223.2A priority patent/CN113380485A/zh
Priority to US17/194,865 priority patent/US11948712B2/en
Publication of JP2021141267A publication Critical patent/JP2021141267A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F1/00—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties
    • H01F1/01—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials
    • H01F1/03—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity
    • H01F1/12—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials
    • H01F1/14—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials metals or alloys
    • H01F1/147—Alloys characterised by their composition
    • H01F1/153—Amorphous metallic alloys, e.g. glassy metals
    • H01F1/15308—Amorphous metallic alloys, e.g. glassy metals based on Fe/Ni
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F1/00—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties
    • H01F1/01—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials
    • H01F1/03—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity
    • H01F1/12—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials
    • H01F1/14—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials metals or alloys
    • H01F1/147—Alloys characterised by their composition
    • H01F1/14766—Fe-Si based alloys
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F1/00—Metallic powder; Treatment of metallic powder, e.g. to facilitate working or to improve properties
    • B22F1/05—Metallic powder characterised by the size or surface area of the particles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F1/00—Metallic powder; Treatment of metallic powder, e.g. to facilitate working or to improve properties
    • B22F1/14—Treatment of metallic powder
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F1/00—Metallic powder; Treatment of metallic powder, e.g. to facilitate working or to improve properties
    • B22F1/14—Treatment of metallic powder
    • B22F1/142—Thermal or thermo-mechanical treatment
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F9/00—Making metallic powder or suspensions thereof
    • B22F9/002—Making metallic powder or suspensions thereof amorphous or microcrystalline
    • B22F9/007—Transformation of amorphous into microcrystalline state
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F9/00—Making metallic powder or suspensions thereof
    • B22F9/02—Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes
    • B22F9/06—Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from liquid material
    • B22F9/08—Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from liquid material by casting, e.g. through sieves or in water, by atomising or spraying
    • B22F9/082—Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from liquid material by casting, e.g. through sieves or in water, by atomising or spraying atomising using a fluid
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22C—ALLOYS
    • C22C33/00—Making ferrous alloys
    • C22C33/02—Making ferrous alloys by powder metallurgy
    • C22C33/0257—Making ferrous alloys by powder metallurgy characterised by the range of the alloying elements
    • C22C33/0278—Making ferrous alloys by powder metallurgy characterised by the range of the alloying elements with at least one alloying element having a minimum content above 5%
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22C—ALLOYS
    • C22C38/00—Ferrous alloys, e.g. steel alloys
    • C22C38/02—Ferrous alloys, e.g. steel alloys containing silicon
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22C—ALLOYS
    • C22C38/00—Ferrous alloys, e.g. steel alloys
    • C22C38/12—Ferrous alloys, e.g. steel alloys containing tungsten, tantalum, molybdenum, vanadium, or niobium
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22C—ALLOYS
    • C22C38/00—Ferrous alloys, e.g. steel alloys
    • C22C38/18—Ferrous alloys, e.g. steel alloys containing chromium
    • C22C38/20—Ferrous alloys, e.g. steel alloys containing chromium with copper
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F1/00—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties
    • H01F1/01—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials
    • H01F1/03—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity
    • H01F1/12—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials
    • H01F1/14—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials metals or alloys
    • H01F1/147—Alloys characterised by their composition
    • H01F1/153—Amorphous metallic alloys, e.g. glassy metals
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F1/00—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties
    • H01F1/01—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials
    • H01F1/03—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity
    • H01F1/12—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials
    • H01F1/14—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials metals or alloys
    • H01F1/147—Alloys characterised by their composition
    • H01F1/153—Amorphous metallic alloys, e.g. glassy metals
    • H01F1/15333—Amorphous metallic alloys, e.g. glassy metals containing nanocrystallites, e.g. obtained by annealing
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F1/00—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties
    • H01F1/01—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials
    • H01F1/03—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity
    • H01F1/12—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials
    • H01F1/14—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials metals or alloys
    • H01F1/147—Alloys characterised by their composition
    • H01F1/153—Amorphous metallic alloys, e.g. glassy metals
    • H01F1/15358—Making agglomerates therefrom, e.g. by pressing
    • H01F1/15366—Making agglomerates therefrom, e.g. by pressing using a binder
    • H01F1/15375—Making agglomerates therefrom, e.g. by pressing using a binder using polymers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F1/00—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties
    • H01F1/01—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials
    • H01F1/03—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity
    • H01F1/12—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials
    • H01F1/14—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials metals or alloys
    • H01F1/20—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials metals or alloys in the form of particles, e.g. powder
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
    • H01F41/02—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets
    • H01F41/0253—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets for manufacturing permanent magnets
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F9/00—Making metallic powder or suspensions thereof
    • B22F9/02—Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes
    • B22F9/06—Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from liquid material
    • B22F9/08—Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from liquid material by casting, e.g. through sieves or in water, by atomising or spraying
    • B22F9/082—Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from liquid material by casting, e.g. through sieves or in water, by atomising or spraying atomising using a fluid
    • B22F2009/0824—Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from liquid material by casting, e.g. through sieves or in water, by atomising or spraying atomising using a fluid with a specific atomising fluid
    • B22F2009/0828—Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from liquid material by casting, e.g. through sieves or in water, by atomising or spraying atomising using a fluid with a specific atomising fluid with water
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F2304/00—Physical aspects of the powder
    • B22F2304/10—Micron size particles, i.e. above 1 micrometer up to 500 micrometer
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F2999/00—Aspects linked to processes or compositions used in powder metallurgy
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22C—ALLOYS
    • C22C2200/00—Crystalline structure
    • C22C2200/04—Nanocrystalline

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Powder Metallurgy (AREA)
  • Soft Magnetic Materials (AREA)
  • Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)

Abstract

【課題】高周波特性を向上させる磁性粉末、磁性粉末成形体、および磁性粉末の製造方法を提供すること。【解決手段】磁性粉末は、下記組成式で表される軟磁性材料を含み、平均粒子径が２μｍ以上１０μｍ以下であり、少なくとも表層がナノ結晶化していることを特徴とする。ＦｅaＣｕbＮｂcＳｉdＢe但し、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、およびｅは原子百分率を示し、７１．０ａｔ％≦ａ≦７６．０ａｔ％、０．５ａｔ％≦ｂ≦１．５ａｔ％、２．０ａｔ％≦ｃ≦４．０ａｔ％、１１．０ａｔ％≦ｄ≦１６．０ａｔ％、８．０ａｔ％≦ｅ≦１３．０ａｔ％を満たす。【選択図】図１

Description

本発明は、磁性粉末、磁性粉末成形体、および磁性粉末の製造方法に関する。
従来、インダクターの磁心などに用いられる磁性粉末が知られていた。例えば、特許文献１には、高周波数帯における鉄損などの改善を企図した、ナノ結晶組織を有する材料および非晶質組織を有する材料などを混合して成る複合磁性材料が提案されている。
特開２００７−１３４５９１号公報
しかしながら、特許文献１に記載の複合磁性材料では、磁気特性をさらに向上させることが難しいという課題があった。詳しくは、スマートフォン用インダクターの大電流化や基板の小型化、および車載用リアクトルの小型化や軽量化などに対応する高磁束密度化、磁性シートの低損失化や高透磁率化など、磁心などの磁性材料を含む部材に対する要求が今まで以上に高まっている。すなわち、磁性材料には従来以上に高い磁気特性が希求されていた。
磁性粉末は、下記組成式で表される軟磁性材料を含み、平均粒子径が２μｍ以上１０μｍ以下であり、少なくとも表層がナノ結晶化していることを特徴とする。
ＦｅaＣｕbＮｂcＳｉdＢe
但し、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、およびｅは原子百分率を示し、７１．０ａｔ％≦ａ≦７６．０ａｔ％、０．５ａｔ％≦ｂ≦１．５ａｔ％、２．０ａｔ％≦ｃ≦４．０ａｔ％、１１．０ａｔ％≦ｄ≦１６．０ａｔ％、８．０ａｔ％≦ｅ≦１３．０ａｔ％を満たす。
磁性粉末成形体は、上記の磁性粉末を含むことを特徴とする。
磁性粉末の製造方法は、下記組成式で表される軟磁性材料を含む溶融金属を、水アトマイズ法によって原料粉末とする粉末化工程と、前記原料粉末を、平均粒子径が２μｍ以上１０μｍ以下に分級して粉末とする分級工程と、前記粉末を加熱して、前記粉末の少なくとも表層をナノ結晶化して磁性粉末とする熱処理工程と、を備えることを特徴とする。
ＦｅaＣｕbＮｂcＳｉdＢe
但し、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、およびｅは原子百分率を示し、７１．０ａｔ％≦ａ≦７６．０ａｔ％、０．５ａｔ％≦ｂ≦１．５ａｔ％、２．０ａｔ％≦ｃ≦４．０ａｔ％、１１．０ａｔ％≦ｄ≦１６．０ａｔ％、８．０ａｔ％≦ｅ≦１３．０ａｔ％を満たす。
実施形態に係る磁性粉末の製造方法を示す工程フロー図。 磁性粉末成形体としての圧粉磁心を適用したトロイダルコイルの外観図。 磁性粉末成形体としての圧粉磁心を適用したインダクターの透過斜視図。 実施例１に係る熱処理前の粉末の一粒子における結晶状態を示す電子顕微鏡写真。 熱処理後の磁性粉末の一粒子における結晶状態を示す電子顕微鏡写真。 実施例および比較例のトロイダルコイルにおけるコアロスの周波数特性を示すグラフ。
１．実施形態
１．１．磁性粉末
実施形態に係る磁性粉末の構成について説明する。本実施形態の磁性粉末は、下記組成式（１）で表される軟磁性材料を含む。
ＦｅaＣｕbＮｂcＳｉdＢe ・・・（１）
但し、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、およびｅは原子百分率を示し、７１．０ａｔ％≦ａ≦７６．０ａｔ％、０．５ａｔ％≦ｂ≦１．５ａｔ％、２．０ａｔ％≦ｃ≦４．０ａｔ％、１１．０ａｔ％≦ｄ≦１６．０ａｔ％、８．０ａｔ％≦ｅ≦１３．０ａｔ％を満たす。
組成式（１）で表される軟磁性材料は、元来、他の軟磁性材料と比べて低損失かつ高透磁率であるＦｅ−Ｃｕ−Ｎｂ−Ｓｉ−Ｂ系合金に属する。なお、以降、組成式（１）で表される軟磁性材料を、単に組成式（１）の軟磁性材料ともいう。
組成式（１）の軟磁性材料は、Ｆｅ73.5Ｃｕ1.0Ｎｂ3.0Ｓｉ13.5Ｂ9.0であることが好ましい。これによれば、磁性粉末成形体とした場合に、損失がより低減されると共に、透磁率をさらに向上させることができる。
磁性粉末の粒子は、少なくとも表層がナノ結晶化している。磁性粉末の粒子における結晶状態は、表層のみならず粒子の内部までナノ結晶化していることが好ましい。これによれば、粒子の結晶状態が非晶質であるものと比べて、磁性粉末成形体とした場合に、高周波数帯における磁心損失の上昇が抑制される。
軟磁性材料は、磁性粉末の全質量に対して、８０質量％以上含まれることが好ましく、より好ましくは９０質量％以上であり、さらにより好ましくは１００質量％である。これにより、磁性粉末の軟磁性が向上する。
磁性粉末には、軟磁性材料の他に不純物や添加物が含まれていてもよい。該添加物としては、例えば、各種金属材料、各種非金属材料、各種金属酸化物材料などが挙げられる。
磁性粉末の平均粒子径は、２μｍ以上１０μｍ以下であり、より好ましくは２μｍ以上５μｍ以下である。これによれば、平均粒子径が１０μｍを超える場合と比べて、磁性粉末成形体とした場合に、高周波数帯における磁心損失の上昇が抑制される。ここで、本明細書における平均粒子径とは、体積基準粒度分布（５０％）を指していう。平均粒子径は、ＪＩＳ Ｚ８８２５に記載の動的光散乱法やレーザー回折光法で測定される。具体的には、例えば動的光散乱法を測定原理とする粒度分布計が採用可能である。
１．２．磁性粉末の製造方法
本実施形態に係る磁性粉末の製造方法について、図１を参照して説明する。
図１に示すように、本実施形態の磁性粉末の製造方法は、工程Ｓ１から工程Ｓ３を備えている。なお、図１に示した工程フローは一例であって、これに限定されるものではない。
工程Ｓ１は、粉末化工程であって、上述した組成式（１）で表される軟磁性材料を含む溶融金属を、水アトマイズ法によって原料粉末とする。これによれば、水アトマイズ法以外の、例えばガスアトマイズ法などに比べて、噴霧媒体の水によって溶融金属が急速に冷却される。そのため、組成式（１）の軟磁性材料が一旦非晶質化される。そして、後述する工程Ｓ３である熱処理工程においてナノ結晶化される。すなわち、結晶化されている状態からナノ結晶化させる場合に比べて、ナノ結晶を析出させ易くなる。
本実施形態の水アトマイズ法に用いる装置は、特に限定されず、公知の装置が採用可能である。そして工程Ｓ２へ進む。
工程Ｓ２は、分級工程であって、工程Ｓ１で得られた原料粉末を、平均粒子径が２μｍ以上１０μｍ以下に分級して粉末とする。原料粉末の分級方法としては、重力、遠心力、慣性力などを用いた乾式分級および湿式分級、ふるい分け分級が挙げられる。これらのうちでも、乾式分級の風力分級を用いることが好ましい。
風力分級によれば、他の分級方法と比べて、平均粒子径を１０μｍ以下に容易に分級することができる。詳しくは、湿式分級に対して、原料粉末を液状媒体と接触させないため、分級で得られる粉末と液状媒体とを分離する工程を省略できる。また、ふるい分け分級における、ふるいの目詰まりなどの障害の発生を回避できる。風力分級には、例えば、遠心力型分級機などの公知の装置が採用可能である。そして工程Ｓ３へ進む。
工程Ｓ３は、熱処理工程であって、工程Ｓ２で得られた粉末を加熱して、粉末における粒子の少なくとも表層をナノ結晶化して磁性粉末とする。ここで、磁性粉末の粒子における結晶状態は、表層のみならず粒子の内部までナノ結晶化されていることが好ましい。
工程Ｓ３における粉末の加熱温度は、軟磁性材料の相転移温度以上とすることが好ましく、より好ましくは５５０℃以上６００℃以下である。上記加熱温度を軟磁性材料の相転移温度以上とすることによって、軟磁性材料のナノ結晶化を促進させることができる。したがって、ナノ結晶化によって高周波特性をさらに向上させることができる。
また、加熱温度を５５０℃以上６００℃以下とすることによって、組成式（１）の軟磁性材料のうち、特に相転移温度が５４０℃前後であるＦｅ73.5Ｃｕ1.0Ｎｂ3.0Ｓｉ13.5Ｂ9.0を用いる場合に、ナノ結晶化をさらに促進させることができる。
ここで、軟磁性材料の相転移温度は、例えば、示差走査熱量測定（ＤＳＣ）によって測定される。具体的には、熱処理を施す前の粉末を試料とし、公知の示差走査熱量計を用いて、窒素ガス雰囲気下で約２５℃から毎分１０℃の昇温速度で７００℃以上まで昇温する。この測定によって得られるＤＳＣチャートにおける、最初の発熱ピークのピーク温度が相転移温度に相当する。
工程Ｓ３における熱処理の加熱時間、すなわち相転移温度以上の加熱を施す時間は、ナノ結晶化が達成されれば特に限定されないが、例えば５分間以上６０分間以下である。
熱処理を施す際の雰囲気は、特に限定されないが、酸素ガスおよび空気などを含む酸化性ガス雰囲気、水素ガスおよびアンモニア分解ガスなどを含む還元性ガス雰囲気、窒素ガスおよびアルゴンガスなどを含む不活性ガス雰囲気、任意のガスを減圧した減圧雰囲気などが挙げられる。これらのうち、還元性ガス雰囲気または不活性ガス雰囲気であることが好ましく、減圧雰囲気であることがより好ましい。これによれば、磁性粉末の粒子の酸化膜の厚さの増大が抑制される。
熱処理に用いる装置は、上記の処理条件が設定可能であれば特に限定されず、公知の電気炉などが採用可能である。
磁性粉末は、容器に充填された場合の体積抵抗率、すなわち比抵抗が１ＭΩ・ｃｍ以上であることが好ましく、５ＭΩ・ｃｍ以上１０００ＧΩ・ｃｍ以下であることがより好ましく、１０ＭΩ以上５００ＧΩ・ｃｍ以下であることがさらにより好ましい。
上記比抵抗が上述した範囲にあると、磁性粉末における粒子間の絶縁性が確保され、磁性粉末成形体を製造する際に、追加の絶縁材料の使用量が削減される。そのため、磁性粉末の含有量を増大させて、磁気特性と低損失とを両立させることができる。さらには、絶縁破壊電圧を高めることができる。磁性粉末の比抵抗は、以下の手順で測定が可能である。
磁性粉末の１ｇをアルミナ製の円筒に充填し、円筒の両端に真ちゅう製の電極を配置する。その後、デジタルフォースゲージを用いて円筒両端の電極間を２０ｋｇｆの加重で加圧しながら、デジタルマルチメーターを用いて円筒両端の電極間の電気抵抗を測定する。このとき、円筒両端の電極間距離も測定する。
次いで、測定された、加圧時の電極間距離、電気抵抗、円筒内部の横断面積を、次式（２）に代入して比抵抗を算出する。
比抵抗［ＭΩ・ｃｍ］＝電気抵抗［ＭΩ］×円筒内部の横断面積［ｃｍ2］／加圧時の電極間距離［ｃｍ］ ・・・（２）
なお、円筒内部の横断面積は、円筒の内径が２ｒ［ｃｍ］である場合に、πｒ2［ｃｍ2］に等しい。円筒の内径は、特に限定されないが、例えば０．８ｃｍである。また、加圧時の電極間距離は、特に限定されないが、例えば０．４２５ｃｍである。
以上の工程を経て磁性粉末が製造される。
１．３．磁性粉末成形体
本実施形態の磁性粉末は、インダクターやトロイダルコイルなどのコイル部品に備わる圧粉磁心の他、アンテナ、磁気シートなどにも好適に用いられる。そのため、磁性粉末はこれらの用途に合わせて所望の形状に成形される。以下、本実施形態の磁性粉末を含む磁性粉末成形体として圧粉磁心を例示する。
本実施形態に係る磁性粉末成形体としての圧粉磁心を適用したコイル部品について、図２および図３を参照して説明する。本実施形態では、コイル部品としてトロイダルコイルおよびインダクターを例示する。
図２に示すように、トロイダルコイル１０は、リング状の圧粉磁心１１、および圧粉磁心１１に巻き回された導線１２を有している。圧粉磁心１１は、本実施形態の磁性粉末をリング状に成形したものである。
圧粉磁心１１は、磁性粉末と結合材とを混合して混合物とし、該混合物を加圧成形、所謂圧粉することによって製造される。結合材としては、例えば、シリコーン系樹脂、エポキシ系樹脂、フェノール系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリフェニレンサルファイド系樹脂などの有機材料、リン酸マグネシウム、リン酸カルシウム、リン酸亜鉛、リン酸マンガン、リン酸カドミウムのようなリン酸塩、ケイ酸ナトリウムのようなケイ酸塩などの無機材料が挙げられる。
なお、結合材は必須の構成ではなく、結合材を用いずに圧粉磁心１１を製造してもよい。また、上記混合物は、有機溶剤などの溶媒を含んでいてもよい。この場合には、上記混合物を一旦乾燥させて塊状物を作製した後に、該塊状物を粉砕してから加圧成形してもよい。
導線１２の形成材料としては、導電性が高い材料であれば特に限定されないが、例えばＣｕ（銅）、Ａｌ（アルミニウム）、Ａｇ（銀）、Ａｕ（金）、およびＮｉ（ニッケル）などを含む金属材料が挙げられる。
導線１２の表面には、図示を省略するが、絶縁性を有する表面層が設けられている。表面層によって、圧粉磁心１１と導線１２との間で短絡の発生が防止される。表面層の形成材料には、絶縁性を有する公知の樹脂が採用可能である。
圧粉磁心１１の形状は、リング状であることに限定されず、例えばリングの一部が欠けた形状、棒状などであってもよい。
圧粉磁心１１は、必要に応じて、本実施形態の磁性粉末以外の磁性を有する粉末、または非磁性粉末を含んでいてもよい。これらを含む場合には、これらの粉末と磁性粉末との混合比率は特に限定されず、任意に設定される。また、磁性粉末以外の上記粉末を複数種類用いてもよい。
本実施形態では、コイル部品としてトロイダルコイル１０を例示したがこれに限定されない。磁性粉末成形体が適用されるコイル部品としては、トロイダルコイルの他に、例えばインダクター、リアクトル、トランス、モーター、ジェネレーターなどが挙げられる。また、磁性粉末成形体は、アンテナ、磁性シートのようなコイル部品以外に適用されてもよい。
図３に示すように、インダクター２０は、本実施形態の磁性粉末を略直方体状に成形した圧粉磁心２１を備える。インダクター２０では、コイル状に成形された導線２２が圧粉磁心２１の内部に埋設される。すなわち、インダクター２０は、導線２２が圧粉磁心２１によってモールドされて成る。
導線２２が圧粉磁心２１の内部に埋設されていることから、導線２２と圧粉磁心２１との間に隙間が生じにくい。そのため、圧粉磁心２１の磁歪による振動を抑制し、振動に伴う騒音の発生を抑えることができる。また、導線２２が圧粉磁心２１に埋設されて成形されているため、インダクター２０を容易に小型化することができる。
圧粉磁心２１は、形状が異なる以外、圧粉磁心１１と同様な構成である。導線２２は、成形された形状が異なる以外、上記の導線１２と同様な構成である。
本実施形態によれば、以下の効果を得ることができる。
磁性粉末において、従来よりも磁気特性を向上させることができる。詳しくは、磁性粉末は、元来、低損失かつ高透磁率である組成式（１）の軟磁性材料を含む。これに加えて、平均粒子径が所定の範囲内にある小粒径であること、およびナノ結晶質を有することから、平均粒子径が大きく非晶質である場合と比べて、高周波数帯における磁心損失の上昇が抑制される。したがって、従来よりも高周波特性および透磁率などの磁気特性を向上させる磁性粉末を提供することができる。
従来よりも磁気特性が向上する磁性粉末を製造することができる。詳しくは、組成式（１）の軟磁性材料含むことから、低損失で高透磁率なものとなる。また、分級工程の分級、および熱処理工程のナノ結晶化によって、高周波特性が向上する。したがって、従来よりも高周波特性および透磁率などの磁気特性が向上する磁性粉末の製造方法を提供することができる。
従来よりも、損失、透磁率および高周波特性などの磁気特性が向上する圧粉磁心１１，２１を提供することができる。
２．実施例および比較例
以下、実施例および比較例を示して、本発明の効果をより具体的に説明する。なお、本発明は以下の実施例によって何ら限定されるものではない。
２．１．磁性粉末の製造
まず、以下に述べる手順で実施例１から実施例３、および比較例１から比較例６の磁性粉末を製造した。
実施例１の磁性粉末は、Ｆｅ−Ｃｕ−Ｎｂ−Ｓｉ−Ｂ系合金のうち、組成式（１）の軟磁性材料であるＦｅ73.5Ｃｕ1.0Ｎｂ3.0Ｓｉ13.5Ｂ9.0を採用し、水アトマイズ法にて粉末化して原料粉末とした。次いで、該原料粉末を平均粒子径が５．０μｍとなるように、風力分級にて分級し熱処理前の粉末とした。このとき、後述する結晶状態の観察のため、該粉末の一部を取り分けて、実施例１における熱処理前の粉末の試料とした。該粉末の残分に５５０℃にて１５分間の熱処理を施して、実施例１における磁性粉末の試料とした。
実施例２の磁性粉末は、原料粉末の平均粒子径を３．３μｍとなるように分級した以外は、実施例１の磁性粉末と同様にして製造した。
実施例３の磁性粉末は、原料粉末の平均粒子径を７．８μｍとなるように分級した以外は、実施例１の磁性粉末と同様にして製造した。
比較例１の磁性粉末は、原料粉末の平均粒子径を２４．９μｍとなるように分級した以外は、実施例１の磁性粉末と同様にして製造した。比較例１の磁性粉末は、平均粒子径が１０μｍを超える。
比較例２の磁性粉末は、原料粉末の作製方法に高速回転水流アトマイズ法を採用し、平均粒子径を３．０μｍとなるように分級した以外は、実施例１の磁性粉末と同様にして製造した。
比較例３の磁性粉末は、原料粉末の平均粒子径を１６．０μｍとなるように分級した以外は、比較例２の磁性粉末と同様にして製造した。比較例３の磁性粉末は、平均粒子径が１０μｍを超えると共に、粉末化工程にて水アトマイズ法を用いない。
比較例４の磁性粉末は、原料粉末の平均粒子径を２４．０μｍとなるように分級した以外は、比較例２の磁性粉末と同様にして製造した。比較例４の磁性粉末は、平均粒子径が１０μｍを超えると共に、粉末化工程にて水アトマイズ法を用いない。
比較例５の磁性粉末は、軟磁性材料として、（Ｆｅ0.97Ｃｒ0.33）76（Ｓｉ0.5Ｂ0.5）22Ｃ2を採用し、原料粉末の平均粒子径を３．１μｍとなるように分級した以外は、実施例１の磁性粉末と同様にして製造した。比較例５の磁性粉末は、組成式（１）の軟磁性材料を含まない。
比較例６の磁性粉末は、原料粉末の作製方法を高速回転水流アトマイズ法とし、平均粒子径を２４．０μｍとなるように分級した以外は、比較例５の磁性粉末と同様にして製造した。比較例６の磁性粉末は、組成式（１）の軟磁性材料を含まず、平均粒子径が１０μｍを超え、粉末化工程にて水アトマイズ法を用いない。
２．２．磁性粉末の結晶状態観察
実施例１について、熱処理工程における熱処理を施す前の粉末、および熱処理を施した後の磁性粉末について、内部の結晶状態を観察した。具体的には、試料の一粒子について、粒子内部の断面薄片サンプルを作製し、透過型電子顕微鏡にて観察した。その電子顕微鏡写真を、図４および図５に示した。
図４に示すように、熱処理前の粉末では、粉末化工程における水アトマイズ法の急冷によって、粒子の内部が非晶質となっていることが分かった。これに対して、図５に示すように、熱処理後の磁性粉末では、粒子の内部に１０数ｎｍ程度の結晶が無数に生成していることが分かった。以上から、実施例１の粒子では、その内部までが粉末化工程で非晶質となり、その後の熱処理によってナノ結晶質化されていることが示された。
２．３．保磁力の評価
実施例２および比較例３から比較例６の磁性粉末について、磁気特性の一つである保磁力を測定した。具体的には、磁化測定装置として玉川製作所社のＶＳＭシステム ＴＭ−ＶＳＭ１２３０−ＭＨＨＬを用いて保磁力を測定した。その各測定値を表１に記載した。表１から、実施例２の磁性粉末は、比較例３、４、６の磁性粉末に対して、保磁力が向上することが示された。
Figure 2021141267
２．４．透磁率の評価
実施例２および比較例４の磁性粉末から作製した磁性粉末成形体について、磁気特性の一つである透磁率を測定した。具体的には、各磁性粉末からチョークコイルに用いるリング状の磁心、所謂トロイダルコアを作製し、該トロイダルコアにおける透磁率を測定した。
詳しくは、各磁性粉末に対して、結合材であるエポキシ系樹脂を固形分量で２．０質量％の添加量となるように添加した。これを混合して乾燥させて塊状物とした。該塊状物を粉砕してから、目開き６００μｍのふるいにて粗大粒子を取り除いて造粒粉末とした。その後、該造粒粉末を、成形圧力２９４ＭＰａにて、外径φ１４ｍｍ、内径φ８ｍｍ、厚さ３ｍｍのリング状にプレス成形した。次に、１５０℃にて３０分間の加熱を施してトロイダルコアとした。次に、該トロイダルコアに、絶縁性の樹脂で被覆された線径０．５ｍｍの銅線を巻き数７で巻き回してトロイダルコイルとした。
各トロイダルコイルについて、Ａｇｉｌｅｎｔ社の４２９４Ａプレシジョン・インピーダンス・アナライザーを用いて周波数１００ｋＨｚ、１ＭＨｚ、１０ＭＨｚ、１００ＭＨｚの透磁率を測定した。測定された透磁率から、実施例２および比較例４の各々について、周波数１００ｋＨｚの透磁率を１００％としたときの、１ＭＨｚ以上の各周波数における透磁率の減衰率を計算して表１に記載した。なお、周波数１００ｋＨｚにおける透磁率は、実施例２が１８．２、比較例４が２５．５であった。表１から、実施例２のトロイダルコイルは、高周波数側でも透磁率が減衰し難いことが分かった。
２．５．高周波特性の評価
実施例２、３および比較例１、２の磁性粉末から作製した磁性粉末成形体について、高周波特性を調査した。具体的には、まず実施例２と同様にして夫々トロイダルコアを作製した。その後、線径０．５ｍｍの樹脂被覆された銅線を、１次側および２次側共に巻き数３６で巻き回してトロイダルコイルとした。
各トロイダルコイルについて、岩崎通信機社のＢ−Ｈアナライザ ＳＹ８２５８を用いて、最大磁束密度１０ｍＴ、周波数を５００ｋＨｚから１０００ｋＨｚまで１００ｋＨｚごとに鉄損であるコアロスを測定した。その測定結果を図６に示した。なお、図６では、横軸が周波数（ｋＨｚ）であり、縦軸がコアロスＰｃｖ（ｋＷ／ｍ3）である。また、各水準について、６つの測定値から得られた近似直線を、１０００ｋＨｚ以上の高周波数側に延長して記載した。
図６に示したように、実施例２および実施例３のトロイダルコイルは、比較例２のトロイダルコイルと比べて、概ね５００ｋＨｚ以上でコアロスが低減されることが示された。また、実施例２および実施例３のトロイダルコイルは、比較例１のトロイダルコイルと比べて、概ね７００ｋＨｚから１０００ｋＨｚの範囲より高周波数側でコアロスが低減されることが示された。特に、比較例１のトロイダルコイルの近似直線は傾きが他よりも大きく、高周波数側に行くほどコアロスが悪化することが分かった。
１０…トロイダルコイル、１１，２１…圧粉磁心、１２，２２…導線、２０…インダクター。

Claims (7)

  1. 下記組成式で表される軟磁性材料を含み、
    平均粒子径が２μｍ以上１０μｍ以下であり、
    少なくとも表層がナノ結晶化していることを特徴とする磁性粉末。
    ＦｅaＣｕbＮｂcＳｉdＢe
    但し、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、およびｅは原子百分率を示し、７１．０ａｔ％≦ａ≦７６．０ａｔ％、０．５ａｔ％≦ｂ≦１．５ａｔ％、２．０ａｔ％≦ｃ≦４．０ａｔ％、１１．０ａｔ％≦ｄ≦１６．０ａｔ％、８．０ａｔ％≦ｅ≦１３．０ａｔ％を満たす。
  2. 前記軟磁性材料は、Ｆｅ73.5Ｃｕ1.0Ｎｂ3.0Ｓｉ13.5Ｂ9.0である、請求項１に記載の磁性粉末。
  3. 請求項１または請求項２に記載の磁性粉末を含むことを特徴とする磁性粉末成形体。
  4. 下記組成式で表される軟磁性材料を含む溶融金属を、水アトマイズ法によって原料粉末とする粉末化工程と、
    前記原料粉末を、平均粒子径が２μｍ以上１０μｍ以下に分級して粉末とする分級工程と、
    前記粉末を加熱して、前記粉末の少なくとも表層をナノ結晶化して磁性粉末とする熱処理工程と、を備えることを特徴とする磁性粉末の製造方法。
    ＦｅaＣｕbＮｂcＳｉdＢe
    但し、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、およびｅは原子百分率を示し、７１．０ａｔ％≦ａ≦７６．０ａｔ％、０．５ａｔ％≦ｂ≦１．５ａｔ％、２．０ａｔ％≦ｃ≦４．０ａｔ％、１１．０ａｔ％≦ｄ≦１６．０ａｔ％、８．０ａｔ％≦ｅ≦１３．０ａｔ％を満たす。
  5. 前記分級工程では風力分級を用いる、請求項４に記載の磁性粉末の製造方法。
  6. 前記熱処理工程では、前記軟磁性材料の相転移温度以上の加熱温度で前記粉末を加熱する、請求項４または請求項５に記載の磁性粉末の製造方法。
  7. 前記加熱温度が５５０℃以上６００℃以下である、請求項６に記載の磁性粉末の製造方法。
JP2020039606A 2020-03-09 2020-03-09 磁性粉末、磁性粉末成形体、および磁性粉末の製造方法 Pending JP2021141267A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020039606A JP2021141267A (ja) 2020-03-09 2020-03-09 磁性粉末、磁性粉末成形体、および磁性粉末の製造方法
CN202110244223.2A CN113380485A (zh) 2020-03-09 2021-03-05 磁性粉末、磁性粉末成形体以及磁性粉末的制造方法
US17/194,865 US11948712B2 (en) 2020-03-09 2021-03-08 Magnetic powder, magnetic powder molded body, and method for manufacturing magnetic powder

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020039606A JP2021141267A (ja) 2020-03-09 2020-03-09 磁性粉末、磁性粉末成形体、および磁性粉末の製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2021141267A true JP2021141267A (ja) 2021-09-16

Family

ID=77555339

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020039606A Pending JP2021141267A (ja) 2020-03-09 2020-03-09 磁性粉末、磁性粉末成形体、および磁性粉末の製造方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US11948712B2 (ja)
JP (1) JP2021141267A (ja)
CN (1) CN113380485A (ja)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019031464A1 (ja) * 2017-08-07 2019-02-14 日立金属株式会社 結晶質Ｆｅ基合金粉末及びその製造方法
WO2019031463A1 (ja) * 2017-08-07 2019-02-14 日立金属株式会社 Ｆｅ基合金、結晶質Ｆｅ基合金アトマイズ粉末、及び磁心
WO2019031462A1 (ja) * 2017-08-07 2019-02-14 日立金属株式会社 Ｆｅ基ナノ結晶合金粉末及びその製造方法、Ｆｅ基アモルファス合金粉末、並びに、磁心
JP2019157184A (ja) * 2018-03-09 2019-09-19 Tdk株式会社 軟磁性金属粉末、圧粉磁心および磁性部品
WO2019189614A1 (ja) * 2018-03-29 2019-10-03 新東工業株式会社 鉄基軟磁性粉末及びその製造方法、並びに鉄基軟磁性合金粉末を含む物品及びその製造方法

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6229108A (ja) 1985-07-30 1987-02-07 Toshiba Corp 鉄心
JPH05335154A (ja) 1992-05-29 1993-12-17 Mitsui Petrochem Ind Ltd 磁心及びその製造方法
JP2003303712A (ja) 2002-04-09 2003-10-24 Victor Co Of Japan Ltd 磁性単結晶フェライト
KR100531253B1 (ko) * 2003-08-14 2005-11-28 (주) 아모센스 고주파 특성이 우수한 나노 결정립 금속 분말의 제조방법및 그 분말을 이용한 고주파용 연자성 코아의 제조방법
JP4257846B2 (ja) 2003-12-08 2009-04-22 日立金属株式会社 軟磁性圧密体の製造方法
JP2007134591A (ja) 2005-11-11 2007-05-31 Nec Tokin Corp 複合磁性材料とそれを用いた圧粉磁芯および磁性素子
CN103480852B (zh) * 2013-06-19 2016-05-25 镇江宝纳电磁新材料有限公司 鳞片状金属软磁微粉的制造方法
JP2016025352A (ja) * 2014-07-18 2016-02-08 サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド． 軟磁性金属粉末及びその製造方法
JP6707845B2 (ja) * 2015-11-25 2020-06-10 セイコーエプソン株式会社 軟磁性粉末、圧粉磁心、磁性素子および電子機器
JP6460276B1 (ja) 2017-08-07 2019-01-30 Tdk株式会社 軟磁性合金および磁性部品
US11996224B2 (en) * 2017-09-29 2024-05-28 Tokin Corporation Method for manufacturing a powder core, the powder core and an inductor
JP7099035B2 (ja) * 2018-04-27 2022-07-12 セイコーエプソン株式会社 軟磁性粉末、圧粉磁心、磁性素子および電子機器

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019031464A1 (ja) * 2017-08-07 2019-02-14 日立金属株式会社 結晶質Ｆｅ基合金粉末及びその製造方法
WO2019031463A1 (ja) * 2017-08-07 2019-02-14 日立金属株式会社 Ｆｅ基合金、結晶質Ｆｅ基合金アトマイズ粉末、及び磁心
WO2019031462A1 (ja) * 2017-08-07 2019-02-14 日立金属株式会社 Ｆｅ基ナノ結晶合金粉末及びその製造方法、Ｆｅ基アモルファス合金粉末、並びに、磁心
JP2019157184A (ja) * 2018-03-09 2019-09-19 Tdk株式会社 軟磁性金属粉末、圧粉磁心および磁性部品
WO2019189614A1 (ja) * 2018-03-29 2019-10-03 新東工業株式会社 鉄基軟磁性粉末及びその製造方法、並びに鉄基軟磁性合金粉末を含む物品及びその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
US11948712B2 (en) 2024-04-02
US20210276093A1 (en) 2021-09-09
CN113380485A (zh) 2021-09-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6662436B2 (ja) 圧粉磁心の製造方法
JP6443523B2 (ja) 圧粉磁心の製造方法および圧粉磁心
US11817245B2 (en) Soft magnetic powder
JPWO2016204008A1 (ja) 磁性体粉末とその製造方法、磁心コアとその製造方法、及びコイル部品
US20230081183A1 (en) Dust core, method for manufacturing dust core, inductor including dust core, and electronic/electric device including inductor
JP5063861B2 (ja) 複合圧粉磁心及びその製造法
JP2016014162A (ja) 非晶質合金粉末、圧粉磁心、磁性素子および電子機器
JP6213809B2 (ja) 圧粉磁心、これを用いたコイル部品および圧粉磁心の製造方法
KR102104701B1 (ko) 압분 코어, 당해 압분 코어의 제조 방법, 그 압분 코어를 구비하는 인덕터, 및 그 인덕터가 실장된 전자·전기 기기
CN111724964B (zh) 磁性体芯及线圈部件
JPWO2016121950A1 (ja) 磁性体粉末とその製造方法、及び磁心コアとその製造方法、並びにコイル部品、及びモータ
JP6191855B2 (ja) 軟磁性金属粉末及び高周波用圧粉磁心
WO2014034616A1 (ja) 圧粉磁心用鉄粉および圧粉磁心の製造方法
JP2018073947A (ja) 軟磁性合金、軟磁性合金粉末及び磁性部品
Zhang et al. Novel Fe-based amorphous magnetic powder cores with ultra-low core losses
US11948712B2 (en) Magnetic powder, magnetic powder molded body, and method for manufacturing magnetic powder
WO2017221475A1 (ja) 磁性粉末、粉末混合体、圧粉コア、圧粉コアの製造方法、インダクタ、および電子・電気機器
JP2006237368A (ja) 圧粉磁心およびその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
RD07 Notification of extinguishment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7427

Effective date: 20200821

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20210914

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20211101

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20230116

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20230912

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20231003

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20231130

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20240220