JP4257846B2 - 軟磁性圧密体の製造方法 - Google Patents
軟磁性圧密体の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4257846B2 JP4257846B2 JP2003409016A JP2003409016A JP4257846B2 JP 4257846 B2 JP4257846 B2 JP 4257846B2 JP 2003409016 A JP2003409016 A JP 2003409016A JP 2003409016 A JP2003409016 A JP 2003409016A JP 4257846 B2 JP4257846 B2 JP 4257846B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- soft magnetic
- particles
- average particle
- magnetic particles
- less
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 23
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 80
- 239000006249 magnetic particle Substances 0.000 claims description 54
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000011246 composite particle Substances 0.000 claims description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 6
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims description 5
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 5
- 229910052702 rhenium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000003756 stirring Methods 0.000 claims description 4
- 229910001361 White metal Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000002159 nanocrystal Substances 0.000 claims description 3
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052706 scandium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000002490 spark plasma sintering Methods 0.000 claims description 3
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010969 white metal Substances 0.000 claims description 3
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 32
- 238000000034 method Methods 0.000 description 14
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 11
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 10
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 10
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 9
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 8
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 7
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 6
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 5
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 2
- 229910000808 amorphous metal alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FIPWRIJSWJWJAI-UHFFFAOYSA-N Butyl carbitol 6-propylpiperonyl ether Chemical compound C1=C(CCC)C(COCCOCCOCCCC)=CC2=C1OCO2 FIPWRIJSWJWJAI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910017082 Fe-Si Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017133 Fe—Si Inorganic materials 0.000 description 1
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N Magnesium oxide Chemical compound [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003271 Ni-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002796 Si–Al Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 150000004703 alkoxides Chemical class 0.000 description 1
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 1
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 229910000889 permalloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 229910000702 sendust Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 1
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009692 water atomization Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Powder Metallurgy (AREA)
- Soft Magnetic Materials (AREA)
Description
また、前記軟磁性粒子圧密体において、軟磁性粒子と絶縁体粒子の体積比は、90:10〜99:1の範囲にあることが好ましい。
また、前記軟磁性粒子圧密体において、軟磁性粒子は組織の少なくとも50%以上が結晶粒径100nm以下のナノ結晶組織を有する磁性体であることが好ましい。
また、前記絶縁体粒子は、シリカ粒子であることが好ましい。
また、本発明の製造方法において軟磁性粒子と絶縁体粒子の体積比は、90:10〜99:1の範囲にあることが望ましく、また、軟磁性粒子は組織の少なくとも50%以上が結晶粒径100nm以下のナノ結晶組織を有する磁性体、または前記ナノ結晶組織を発現可能な組成の非晶質磁性体の何れかであることが好ましい。
また、本発明の製造方法において。絶縁体粒子としてシリカ粒子を用いることが好ましい。
また、本発明の製造方法における放電プラズマ焼結においては、300MPa以上の圧力を適用することが望ましい。
図1は、本発明の軟磁性圧密体の典型的な破断面のミクロ組織を示す顕微鏡写真である。図1に確認される白色の微粒子シリカ(SiO2)であり、このSiO2粒子が軟磁性粒子間に介在することが確認される。つまり、図1に示すような絶縁体粒子が分散した形態で焼結した圧密体は、軟磁性体粒子間の絶縁を絶縁体粒子が確保するものである。
従来の軟磁性圧密体に適用する技術では、絶縁体粒子を介在させて焼結することは実現されていなかったが、本発明者は、放電プラズマ焼結を使用して、上記形態の圧密体を得ることができたものである。
これにより、従来、工程上の課題であった低温焼成、または有機溶媒の使用を省略することができ、製造コスト上及び安全面での利点をみいだすことができる。
なお本発明において、絶縁体粒子を、軟磁性粒子の平均粒径の10分の1以下とすると、絶縁体粒子が軟磁性粒子間に良好に分散されるので、軟磁性粒子間距離のばらつきが小さくなることにより優れた直流重畳特性を得ることができ、かつ軟磁性粒子間の絶縁性を良好に保つことができる。
また、本発明において軟磁性粒子の平均粒径を100μm以下とし、絶縁体粒子の平均粒径を10μm以下とするのは、粒子の表面積を増加させることにより焼結効果が増し、より高密度となり、良好な直流重畳特性を示すからである。
本発明において適用する絶縁体粒子は圧密体として粒子形状が保たれるものであれば、種類は問わないが、絶縁性が高く入手も容易な酸化物系セラミックス粒子が好ましい。具体的にはシリカ(SiO2)他にマグネシア(MgO)、アルミナ(Al2O3)等が適用できる。塑性変形をしにくい絶縁体粒子を用いると、絶縁体粒子の平均粒径を調整することにより、軟磁性粒子間の距離を制御でき、それにより比透磁率の値も制御できるからである。
本発明に適用できる絶縁体粒子の中でもシリカ(SiO2)は熱膨張率が低く、圧密体の高密度化に有利であるという利点も有する。
(Fe1−aMaa)100−x−y−z−α−β−γCuxSiyBzM′αM″βXγ (原子%)
(ただし、MはCo及び/又はNiであり、M′はNb,W,Ta,Zr,Hf,Ti及びMoから成る群から選ばれた少なくとも1種の元素、M″はV,Cr,Mn,Al,白金属元素,Sc,Y,希土類元素,Au,Zn,Sn,Reから成る群から選ばれた少なくとも1種の元素、XはBe,C,Ge,P,Ga,Sb,As,Inから成る群から選ばれた少なくとも1種の元素であり、a,x,y,z,α,β及びγはそれぞれ0≦a<0.5,0.1≦x≦3,0≦y≦30,0≦z≦25,0.1≦α≦30,0≦β≦10,0≦γ≦10及び0≦y+z≦35を満たす。)により表される組織の少なくとも50%以上が結晶粒径100nm以下のナノ結晶組織を有する材料は、高比透磁率、低保磁力の点で他より優れた特性を有する。また、耐熱性が高いという利点も有する。
本発明の製造方法の重要な特徴の一つは、放電プラズマ焼結の適用である。放電プラズマ焼結法は、直接試料に電流を流すため加熱効率が高く、また高圧、好ましくは300MPa以上、が適用でき、難焼結性の粒子同士の接合に適しているからである。
本発明の製造方法に用いる軟磁性粒子と絶縁体粒子の粒子サイズの関係を、平均粒径が前記軟磁性粒子の平均粒径の10分の1以下である絶縁体粒子と規定したのは、上述した軟磁性圧密体における粒子サイズに調整するためである。また、本発明の製造方法において軟磁性粒子の平均粒径を100μm以下とし、絶縁体粒子の平均粒径を10μm以下とすることが好ましいといえる理由、及び軟磁性粒子と絶縁体粒子の体積比の範囲を90:10から99:1とすることが好ましい理由も、上述した優れた磁気特性を有する本発明の軟磁性圧密体の組織に調整するためである。
前記軟磁性粒子と前記SiO2粒子の体積比が本発明例及び比較例とも95:5になるように混合し、これらとPVA3%溶液6.6重量部を容器に入れ、これらを100℃に過熱しながら1時間攪拌し、完全に乾燥させた。
また、得られた本発明の軟磁性圧密体の破面のミクロ組織観察における顕微鏡写真を図1に示す。図1からわかるように、本発明例においては軟磁性粒子の表面に大きさが10分の1以下のSiO2粒子が焼結していることが確認される。以下、組織観察等の結果を表1にまとめて示す。
図3から明らかなように、本発明例の場合、増分比透磁率のバイアス磁界の増加に対する変化は比較例に対してゆるやかで、直流重畳特性が優れていることがわかる。
本発明は軟磁性粒子間の絶縁性が良好に保たれているため、高周波領域においても渦電流がほとんど発生せず、図4に示すように増分比透磁率は1kHz〜1000kHzという広い周波数範囲でほぼ一定である。実施例1はSiO2粒子の平均粒径が比較例より小さく、同体積比率の場合、SiO2粒子の数が比較例より多いため、実施例1におけるSiO2粒子は比較例のSiO2粒子よりも軟磁性粒子間に良好に分散される。そのため、実施例1は比較例よりも軟磁性粒子間の絶縁性が良好に保たれる。
本発明は軟磁性粒子間の絶縁性が良好に保たれているため、渦電流による損失がほとんどなく表2に示すように比較例に比べて損失が低い。
なお、直流重畳特性、および増分比透磁率は実施例1とほぼ同様の結果となった。
Claims (3)
- 一般式:
(Fe 1−a Ma a ) 100−x−y−z−α−β−γ Cu x Si y B z M′ α M″ β X γ (原子%)
(ただし、MはCo及び/又はNiであり、M′はNb,W,Ta,Zr,Hf,Ti及びMoから成る群から選ばれた少なくとも1種の元素、M″はV,Cr,Mn,Al,白金属元素,Sc,Y,希土類元素,Au,Zn,Sn,Reから成る群から選ばれた少なくとも1種の元素、XはBe,C,Ge,P,Ga,Sb,As,Inから成る群から選ばれた少なくとも1種の元素であり、a,x,y,z,α,β及びγはそれぞれ0≦a<0.5,0.1≦x≦3,0≦y≦30,0≦z≦25,0.1≦α≦30,0≦β≦10,0≦γ≦10及び0≦y+z≦35を満たす。)により表される組織の少なくとも50%以上が結晶粒径100nm以下のナノ結晶組織を有する軟磁性粒子、または前記ナノ結晶組織を発現可能な前記組成の非晶質軟磁性粒子と、平均粒径が前記軟磁性粒子の平均粒径の10分の1以下であるシリカ粒子とを、結着性樹脂の水溶液に混合し、次いでこれらを攪拌しながら乾燥させた複合粒子を放電プラズマ焼結することを特徴とする軟磁性圧密体の製造方法。 - 軟磁性粒子の平均粒径は、100μm以下、シリカ粒子の平均粒径は10μm以下であることを特徴とする請求項1に記載の軟磁性圧密体の製造方法。
- 軟磁性粒子とシリカ粒子の体積比は、90:10〜99:1の範囲にあることを特徴とする請求項1または2に記載の軟磁性圧密体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003409016A JP4257846B2 (ja) | 2003-12-08 | 2003-12-08 | 軟磁性圧密体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003409016A JP4257846B2 (ja) | 2003-12-08 | 2003-12-08 | 軟磁性圧密体の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005171275A JP2005171275A (ja) | 2005-06-30 |
JP4257846B2 true JP4257846B2 (ja) | 2009-04-22 |
Family
ID=34730532
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003409016A Expired - Lifetime JP4257846B2 (ja) | 2003-12-08 | 2003-12-08 | 軟磁性圧密体の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4257846B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7824324B2 (en) | 2005-07-27 | 2010-11-02 | Neuronetics, Inc. | Magnetic core for medical procedures |
KR101060091B1 (ko) | 2006-07-12 | 2011-08-29 | 바쿰슈멜체 게엠베하 운트 코. 카게 | 자심의 제조방법과, 자심 및 자심을 지닌 유도소자 |
JP2008041771A (ja) | 2006-08-02 | 2008-02-21 | Toshiba Corp | 高周波磁性材料の製造方法 |
JP2010247436A (ja) * | 2009-04-16 | 2010-11-04 | Mag Life:Kk | 合成樹脂積層シートおよびその使用方法 |
JP6442621B2 (ja) * | 2015-11-17 | 2018-12-19 | アルプス電気株式会社 | 磁性粉末の製造方法 |
JP2021141267A (ja) | 2020-03-09 | 2021-09-16 | セイコーエプソン株式会社 | 磁性粉末、磁性粉末成形体、および磁性粉末の製造方法 |
-
2003
- 2003-12-08 JP JP2003409016A patent/JP4257846B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005171275A (ja) | 2005-06-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI451452B (zh) | 軟磁性合金及使用此合金之磁性元件與其製造方法 | |
TWI535861B (zh) | 合金組成物、鐵基奈米結晶合金及其製造方法與磁性元件 | |
JP6669304B2 (ja) | 結晶質Fe基合金粉末及びその製造方法 | |
CN108376598B (zh) | 软磁性合金及磁性部件 | |
JP2004349585A (ja) | 圧粉磁心およびナノ結晶磁性粉末の製造方法 | |
WO2005020252A1 (ja) | 高周波用磁心及びそれを用いたインダクタンス部品 | |
WO2020026949A1 (ja) | 軟磁性粉末、Fe基ナノ結晶合金粉末、磁性部品、および圧粉磁芯 | |
JP6981200B2 (ja) | 軟磁性合金および磁性部品 | |
EP3354759A1 (en) | Soft magnetic alloy and magnetic device | |
JPS63304603A (ja) | Fe基軟磁性合金圧粉体及びその製造方法 | |
JP2007134591A (ja) | 複合磁性材料とそれを用いた圧粉磁芯および磁性素子 | |
JP2003059710A (ja) | 圧粉磁心 | |
JP3059187B2 (ja) | 軟磁性合金、その製造方法および磁心 | |
JP6597923B1 (ja) | 磁性体コアおよびコイル部品 | |
TWI689599B (zh) | 軟磁性合金和磁性部件 | |
EP3401416A1 (en) | Fe-based soft magnetic alloy, manufacturing method therefor, and magnetic parts using fe-based soft magnetic alloy | |
JP4257846B2 (ja) | 軟磁性圧密体の製造方法 | |
JP6981199B2 (ja) | 軟磁性合金および磁性部品 | |
JPH07286249A (ja) | 磁歪材の製造方法 | |
JP2005347641A (ja) | 圧粉磁心およびその製造方法ならびに巻線部品 | |
WO2019053950A1 (ja) | 軟磁性合金および磁性部品 | |
WO2019053948A1 (ja) | 軟磁性合金および磁性部品 | |
JP2002184616A (ja) | 圧粉磁心 | |
JP2002528910A (ja) | 射出成形された軟磁性粉末複合材料及びその製造方法 | |
JP2011017057A (ja) | アルミニウム酸化物と鉄の複合焼結体、およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061114 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081119 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081128 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081222 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090130 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090130 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4257846 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120213 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120213 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130213 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140213 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |