JP2005026695A - インライン集積回路チップパッケージ製造装置及びそれを利用した集積回路チップパッケージの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】両面スタックマルチチップパッケージングによる集積回路チップパッケージの製造工程において作業者による手作業数を減らし、工程を単純化させ、生産性を向上させうるインライン集積回路チップパッケージ製造装置と、その集積回路チップパッケージの製造方法を提供する。
【解決手段】インライン集積回路チップパッケージ製造装置100は、リードフレームを収容し、処理されたリードフレームが得られるように前記リードフレーム上に第1チップパッケージング動作を行う処理部120と、前記処理されたリードフレームを収容し、反転されたリードフレームが得られるように前記処理されたリードフレームを選択的に反転させる反転装置150とを備える。
【選択図】図3
【解決手段】インライン集積回路チップパッケージ製造装置100は、リードフレームを収容し、処理されたリードフレームが得られるように前記リードフレーム上に第1チップパッケージング動作を行う処理部120と、前記処理されたリードフレームを収容し、反転されたリードフレームが得られるように前記処理されたリードフレームを選択的に反転させる反転装置150とを備える。
【選択図】図3
Description
本発明は、集積回路ダイパッケージングのための装置及び方法に係り、特にワイヤボンディング技術を利用してDDP(Dual Die Package)またはQDP(Quad Die Package)のような両面スタックのマルチチップパッケージを製造するためのインライン集積回路チップパッケージ製造装置及び方法に関する。
最近、携帯電話、ノート型パソコンなどが普及するにつれて、電子機器は小型化、軽量化及び高精密化される方向に発展しており、このような電子機器に使われる電子装置はさらに小型化及び高密度化が要求されている。このような要求を満足させるために半導体素子に対して適用される技術のうちの一つが、高集積化された半導体チップをマルチチップパッケージング技術によって実装する方法である。マルチチップパッケージング技術は、複数の集積回路チップを一つのパッケージに構成する技術であって、この技術は回路基板モジュールを小型化及び軽量化でき、また実装面積を縮小できる。
一般的な集積回路チップパッケージ製造工程では、半導体チップが実装される場所と外部との電気的な連結手段を提供できるリードフレームを使用する。通常的に、リードフレームは8個または16個の半導体チップを同時にパッケージングできるようにストリップ状に製造される。
マルチチップパッケージング技術において特にリードフレームの両面に複数の半導体チップをスタックタイプに実装する方法が多く利用される(例えば、特許文献1を参照)。そのうち、リードフレームの両面にそれぞれ1個の半導体チップを積層して総2個の半導体チップをスタックタイプに実装したDDPと、リードフレームの両面にそれぞれ2個の半導体チップを積層させて総4個の半導体チップをスタックタイプに実装したQDPとが多く使われている。
マルチチップパッケージング技術において特にリードフレームの両面に複数の半導体チップをスタックタイプに実装する方法が多く利用される(例えば、特許文献1を参照)。そのうち、リードフレームの両面にそれぞれ1個の半導体チップを積層して総2個の半導体チップをスタックタイプに実装したDDPと、リードフレームの両面にそれぞれ2個の半導体チップを積層させて総4個の半導体チップをスタックタイプに実装したQDPとが多く使われている。
図1は、典型的なDDPの構造を示す断面図である。
図1を参照すれば、典型的なDDP10は第1半導体チップ11及び第2半導体チップ13から構成される2個の半導体チップがダイパッド21とリードフィンガー23とを含むリードフレーム20に実装された構造を有する。前記第1半導体チップ11及び第2半導体チップ13はそれぞれ、第1接着層25及び第2接着層26を通じて前記ダイパッド21の上面及び下面にそれぞれ取付けられる。前記第1半導体チップ11は、ボンディングワイヤ27を通じて前記リードフィンガー23に電気的に連結され、前記第2半導体チップ13は、ボンディングワイヤ28を通じて前記リードフィンガー23に電気的に連結される。前記第1半導体チップ11、第2半導体チップ13、ボンディングワイヤ27、28及びこれらの接合部分は、エポキシ成形樹脂のようなプラスチックモールド31によって封止されて外部環境から保護される。
図1を参照すれば、典型的なDDP10は第1半導体チップ11及び第2半導体チップ13から構成される2個の半導体チップがダイパッド21とリードフィンガー23とを含むリードフレーム20に実装された構造を有する。前記第1半導体チップ11及び第2半導体チップ13はそれぞれ、第1接着層25及び第2接着層26を通じて前記ダイパッド21の上面及び下面にそれぞれ取付けられる。前記第1半導体チップ11は、ボンディングワイヤ27を通じて前記リードフィンガー23に電気的に連結され、前記第2半導体チップ13は、ボンディングワイヤ28を通じて前記リードフィンガー23に電気的に連結される。前記第1半導体チップ11、第2半導体チップ13、ボンディングワイヤ27、28及びこれらの接合部分は、エポキシ成形樹脂のようなプラスチックモールド31によって封止されて外部環境から保護される。
図2は、典型的なQDPの構造を示す断面図である。
図2を参照すれば、典型的なQDP30は、ダイパッド41とリードフィンガー43とを含むリードフレーム40に4個の半導体チップが実装された構造を有する。すなわち、QDP30では第1半導体チップ31及び第2半導体チップ33がそれぞれ第1接着層45及び第2接着層47によって前記ダイパッド41の上面に順次に積層されて取付けられ、第3半導体チップ35及び第4半導体チップ37がそれぞれ第3接着層46及び第4接着層48によって前記ダイパッド41の下面に順次に積層されて取付けられる。前記第1半導体チップ31は、ボンディングワイヤ51を通じて前記リードフィンガー43に電気的に連結され、前記第2半導体チップ33はボンディングワイヤ53を通じて前記リードフィンガー43に電気的に連結される。また、前記第3半導体チップ35はボンディングワイヤ55を通じて前記リードフィンガー43に電気的に連結され、前記第4半導体チップ37はボンディングワイヤ57を通じて前記リードフィンガー43に電気的に連結される。
図2を参照すれば、典型的なQDP30は、ダイパッド41とリードフィンガー43とを含むリードフレーム40に4個の半導体チップが実装された構造を有する。すなわち、QDP30では第1半導体チップ31及び第2半導体チップ33がそれぞれ第1接着層45及び第2接着層47によって前記ダイパッド41の上面に順次に積層されて取付けられ、第3半導体チップ35及び第4半導体チップ37がそれぞれ第3接着層46及び第4接着層48によって前記ダイパッド41の下面に順次に積層されて取付けられる。前記第1半導体チップ31は、ボンディングワイヤ51を通じて前記リードフィンガー43に電気的に連結され、前記第2半導体チップ33はボンディングワイヤ53を通じて前記リードフィンガー43に電気的に連結される。また、前記第3半導体チップ35はボンディングワイヤ55を通じて前記リードフィンガー43に電気的に連結され、前記第4半導体チップ37はボンディングワイヤ57を通じて前記リードフィンガー43に電気的に連結される。
前記第1半導体チップ31、第2半導体チップ33、第3半導体チップ35、第4半導体チップ37、ボンディングワイヤ51、53、55、57及びこれらの接合部分は、エポキシ成形樹脂のようなプラスチックモールド61によって封止される。
図1及び図2に例示されている構造のDDP及びQDPのように、リードフレームを利用する一般的な集積回路チップパッケージを製造する工程は、集積回路が形成されたウェーハから単位半導体チップを分離してリードフレームに取付けるダイアタッチ工程、半導体チップとリードフレームとを電気的に連結させるためにこれらを導電性金属ワイヤで接合して連結させるワイヤボンディング工程、電気的な連結部分を外部環境から保護するために成形樹脂でモールディングするモールディング工程、外側に突出したリードフィンガーを切断し折り曲げるトリム/フォーム工程、及び完成された集積回路チップパッケージの信頼性を検査するテスト工程からなる。
図1及び図2に例示されている構造のDDP及びQDPのように、リードフレームを利用する一般的な集積回路チップパッケージを製造する工程は、集積回路が形成されたウェーハから単位半導体チップを分離してリードフレームに取付けるダイアタッチ工程、半導体チップとリードフレームとを電気的に連結させるためにこれらを導電性金属ワイヤで接合して連結させるワイヤボンディング工程、電気的な連結部分を外部環境から保護するために成形樹脂でモールディングするモールディング工程、外側に突出したリードフィンガーを切断し折り曲げるトリム/フォーム工程、及び完成された集積回路チップパッケージの信頼性を検査するテスト工程からなる。
前記のような構造を有するDDPまたはQDPは、一つのパッケージ内に2個または4個の半導体チップを実装して構成されるため、回路基板モジュールを小型化でき、かつ実装面積を縮小できて、小型化及び高密度化が要求される最近の電子装置分野に有利に適用されうる。
しかし、従来の集積回路チップパッケージ製造装置は、半導体チップをリードフレーム上に実装するために使われるダイアタッチ設備、ワイヤボンディング設備、及び接着剤キュアリング用オーブンがそれぞれ別個の単一設備から構成されている。したがって、従来技術による集積回路チップパッケージ製造装置を使用してDDP及びQDPを製造する時、リードフレームに1個の半導体チップを積層する度に作業者がいちいちリードフレームをダイアタッチ設備、ワイヤボンディング設備、及びオーブンに手動でローディング及びアンローディングし、また手動で次の工程に移動させていた。特に、DDP及びQDPを製造する場合には、リードフレームのダイパッドの上面及び下面にそれぞれ半導体チップが取付けられるので、1個の半導体チップが積層される度に作業者による手作業でリードフレームを反転させて当該工程設備にローディングしなければならない面倒な作業を避けられなかった。その結果、図1に示したようなDDPを製造する場合には、半導体チップアタッチ工程、オーブンキュアリング工程、及び半導体チップボンディング工程からなる一連の工程を2回反復しなければならないので、工程移動のための作業者の手作業が少なくとも5回必要であり、図2に示したようなQDPを製造する場合には、前記一連の工程を4回反復しなければならないので、工程移動のための作業者の手作業が少なくとも11回必要になる。
しかし、従来の集積回路チップパッケージ製造装置は、半導体チップをリードフレーム上に実装するために使われるダイアタッチ設備、ワイヤボンディング設備、及び接着剤キュアリング用オーブンがそれぞれ別個の単一設備から構成されている。したがって、従来技術による集積回路チップパッケージ製造装置を使用してDDP及びQDPを製造する時、リードフレームに1個の半導体チップを積層する度に作業者がいちいちリードフレームをダイアタッチ設備、ワイヤボンディング設備、及びオーブンに手動でローディング及びアンローディングし、また手動で次の工程に移動させていた。特に、DDP及びQDPを製造する場合には、リードフレームのダイパッドの上面及び下面にそれぞれ半導体チップが取付けられるので、1個の半導体チップが積層される度に作業者による手作業でリードフレームを反転させて当該工程設備にローディングしなければならない面倒な作業を避けられなかった。その結果、図1に示したようなDDPを製造する場合には、半導体チップアタッチ工程、オーブンキュアリング工程、及び半導体チップボンディング工程からなる一連の工程を2回反復しなければならないので、工程移動のための作業者の手作業が少なくとも5回必要であり、図2に示したようなQDPを製造する場合には、前記一連の工程を4回反復しなければならないので、工程移動のための作業者の手作業が少なくとも11回必要になる。
このように、従来技術によれば、両面スタックマルチチップパッケージングによる集積回路チップパッケージの製造工程は面倒であり、作業者が多く必要になるだけでなく、手作業による工程遅延が頻繁に発生して工程時間が長くなり、生産性が低下する問題がある。
本発明が解決しようとする目的は、両面スタックマルチチップパッケージングによる集積回路チップパッケージの製造工程に用いられる製造装置において、作業者による手作業数を減らし、工程を単純化させうるインライン集積回路チップパッケージ製造装置を提供することである。
本発明が解決しようとする他の目的は、両面スタックマルチチップパッケージング工程を単純化させることによって手作業数及び工程時間を減らし、生産性を向上させうる集積回路チップパッケージの製造方法を提供することである。
本発明が解決しようとする他の目的は、両面スタックマルチチップパッケージング工程を単純化させることによって手作業数及び工程時間を減らし、生産性を向上させうる集積回路チップパッケージの製造方法を提供することである。
前記目的を達成するために本発明のインライン集積回路チップパッケージ製造装置は、リードフレームを収容し、処理されたリードフレームが得られるように前記リードフレーム上に第1チップパッケージング動作を行う処理部と、前記処理されたリードフレームを収容し、反転されたリードフレームが得られるように前記処理されたリードフレームを選択的に反転させる反転装置とを備える。
前記製造装置は、前記リードフレームを前記処理部に供給するためのローディング部と、前記処理されたリードフレームを前記反転装置に供給する前に前記第1チップパッケージング動作を行う第1処理部と、前記反転されたリードフレームを収容し、完成されたリードフレームが得られるように第2チップパッケージング動作を行う第2処理部と、前記第2処理部から前記完成されたリードフレームを収容する収容部とをさらに備えてもよい。
前記第1チップパッケージング動作及び前記第2チップパッケージング動作は、ダイアタッチ動作またはワイヤボンディング動作であってもよい。
前記製造装置は、前記処理部と前記第2処理部との間に配置され、前記処理部及び前記第2処理部とインラインで連結されているバッファをさらに備えてもよい。前記バッファは、前記反転装置と、前記処理部から前記処理されたリードフレームを収容し、前記処理されたリードフレームを前記反転装置に移送する第1コンベヤと、前記反転されたリードフレームを収容し、前記反転されたリードフレームを前記第2処理部に移送する第2コンベヤとを有してもよい。
前記製造装置は、前記処理部と前記第2処理部との間に配置され、前記処理部及び前記第2処理部とインラインで連結されているバッファをさらに備えてもよい。前記バッファは、前記反転装置と、前記処理部から前記処理されたリードフレームを収容し、前記処理されたリードフレームを前記反転装置に移送する第1コンベヤと、前記反転されたリードフレームを収容し、前記反転されたリードフレームを前記第2処理部に移送する第2コンベヤとを有してもよい。
また前記製造装置において、反転装置は、前記処理されたリードフレームを収容して支持し、縦軸を有するガイドレールと、前記ガイドレール及び前記処理されたリードフレームを所定角度範囲に回転させるように構成されている駆動装置とを有してもよい。
前記製造装置は、前記処理されたリードフレームを選択的に固定させ、前記駆動装置が前記ガイドレール及び前記処理されたリードフレームを所定角度範囲に回転させる時、前記処理されたリードフレームと前記ガイドレールとの間で初期方向を維持するように構成されている固定装置をさらに備えてもよい。
前記製造装置は、前記処理されたリードフレームを選択的に固定させ、前記駆動装置が前記ガイドレール及び前記処理されたリードフレームを所定角度範囲に回転させる時、前記処理されたリードフレームと前記ガイドレールとの間で初期方向を維持するように構成されている固定装置をさらに備えてもよい。
前記所定角度範囲は180゜であってもよい。
前記ガイドレールは所定の回転速度で回転してもよく、前記回転速度は前記ガイドレールが所定角度範囲に回転する間に所定の順序によって変化してもよい。
前記駆動装置はエアシリンダーを有してもよく、前記エアシリンダーは駆動軸を回転させるように構成されてもよく、前記駆動軸は前記ガイドレールの回転中前記ガイドレールに連結されていてもよい。
前記ガイドレールは所定の回転速度で回転してもよく、前記回転速度は前記ガイドレールが所定角度範囲に回転する間に所定の順序によって変化してもよい。
前記駆動装置はエアシリンダーを有してもよく、前記エアシリンダーは駆動軸を回転させるように構成されてもよく、前記駆動軸は前記ガイドレールの回転中前記ガイドレールに連結されていてもよい。
また前記製造装置において、前記処理部は、前記反転装置から前記反転されたリードフレームを収容するように構成され、完成されたリードフレームが得られるように前記反転されたリードフレーム上に第2チップパッケージング動作を行ってもよい。
前記反転装置は、前記完成されたリードフレームを収容するように構成され、前記完成されたリードフレームを収容部に移送してもよい。
前記反転装置は、前記完成されたリードフレームを収容するように構成され、前記完成されたリードフレームを収容部に移送してもよい。
前記反転装置は、前記完成されたリードフレームが前記収容部に送られる前に前記完成されたリードフレームを反転させるように構成されていてもよい。
前記目的を達成するために本発明の第1様態による集積回路チップパッケージの製造方法は、第1面及び第2面を有するダイパッドと前記ダイパッドに隣接しているリードフィンガーとを有するリードフレームを準備する段階と、前記第1面が上部に向かうように前記リードフレームを配置する段階と、処理されたリードフレームが得られるように前記第1面に第1チップパッケージング動作を行う第1処理部にリードフレームを供給する段階と、前記第2面が上部に向かう反転されたリードフレームが得られるように前記処理されたリードフレームを反転させる段階と、完成されたリードフレームが得られるように前記第2面に第2チップパッケージング動作を行う第2処理部に前記反転されたリードフレームを供給する段階とを含む。
前記目的を達成するために本発明の第1様態による集積回路チップパッケージの製造方法は、第1面及び第2面を有するダイパッドと前記ダイパッドに隣接しているリードフィンガーとを有するリードフレームを準備する段階と、前記第1面が上部に向かうように前記リードフレームを配置する段階と、処理されたリードフレームが得られるように前記第1面に第1チップパッケージング動作を行う第1処理部にリードフレームを供給する段階と、前記第2面が上部に向かう反転されたリードフレームが得られるように前記処理されたリードフレームを反転させる段階と、完成されたリードフレームが得られるように前記第2面に第2チップパッケージング動作を行う第2処理部に前記反転されたリードフレームを供給する段階とを含む。
前記第1チップパッケージング動作は前記ダイパッドの第1面に第1半導体チップを取付ける段階を含んでもよく、前記第2チップパッケージング動作は前記ダイパッドの第2面に第2半導体チップを取付ける段階を含んでもよい。
前記第1チップパッケージング動作は第1半導体チップと前記リードフィンガーとの間にワイヤーボンドを形成する段階を含んでもよく、前記第2チップパッケージング動作は第2半導体チップと前記リードフィンガーとの間にワイヤーボンドを形成する段階を含んでもよい。
前記第1チップパッケージング動作は第1半導体チップと前記リードフィンガーとの間にワイヤーボンドを形成する段階を含んでもよく、前記第2チップパッケージング動作は第2半導体チップと前記リードフィンガーとの間にワイヤーボンドを形成する段階を含んでもよい。
前記処理されたリードフレームを反転させる段階は、前記処理されたリードフレームをガイドレールに移動させる段階と、反転されたリードフレームが得られるように前記ガイドレールを180゜回転させる段階と、前記ガイドレールから前記反転されたリードフレームを除去する段階とを含んでもよい。
前記ガイドレールは、縦軸を有し、前記縦軸に直交する軸を中心に回転してもよい。
前記ガイドレールは、縦軸を有し、前記縦軸に直交する軸を中心に回転してもよい。
前記ガイドレールは、縦軸を有し、前記縦軸に平行した軸を中心に回転してもよい。
前記目的を達成するために本発明の第2様態による集積回路チップパッケージの製造方法は、第1面及びその第1面の反対側にある第2面を有するダイパッドと、前記ダイパッドに隣接しているリードフィンガーとを有するリードフレームを準備する段階と、前記第1面が上部に向かうように前記リードフレームを配置する段階と、処理されたリードフレームが得られるように前記第1面に第1チップパッケージング動作を行う処理部にリードフレームを供給する段階と、前記第2面が上部に向かう反転されたリードフレームが得られるように前記処理されたリードフレームを反転させる段階と、完成されたリードフレームが得られるように前記第2面に第2チップパッケージング動作を行う前記処理部に前記反転されたリードフレームを供給する段階とを含む。
前記目的を達成するために本発明の第2様態による集積回路チップパッケージの製造方法は、第1面及びその第1面の反対側にある第2面を有するダイパッドと、前記ダイパッドに隣接しているリードフィンガーとを有するリードフレームを準備する段階と、前記第1面が上部に向かうように前記リードフレームを配置する段階と、処理されたリードフレームが得られるように前記第1面に第1チップパッケージング動作を行う処理部にリードフレームを供給する段階と、前記第2面が上部に向かう反転されたリードフレームが得られるように前記処理されたリードフレームを反転させる段階と、完成されたリードフレームが得られるように前記第2面に第2チップパッケージング動作を行う前記処理部に前記反転されたリードフレームを供給する段階とを含む。
前記第1チップパッケージング動作は前記ダイパッドの第1面に第1半導体チップを取付ける段階、または第1半導体チップと前記リードフィンガーとの間にワイヤーボンドを形成する段階を含んでもよく、前記第2チップパッケージング動作は前記ダイパッドの第2面に第2半導体チップを取付ける段階、または第2半導体チップと前記リードフィンガーとの間にワイヤーボンドを形成する段階を含んでもよい。
本発明によれば、両面スタックマルチチップパッケージング工程を単純化させることによって、手作業数を減らし、TAT(Turn Around Time)を短縮できて、集積回路チップパッケージ製造工程において生産性を向上させうる。
以下、添付された図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する。
図3は、本発明の第1実施例によるインライン集積回路チップパッケージ製造装置100の構成を示すブロック図である。
図3を参照すれば、本発明の第1実施例によるインライン集積回路チップパッケージ製造装置100は、マガジンからリードフレームを供給するローディング部110と、前記ローディング部110から供給されたリードフレームに半導体チップを実装するための所定の工程を行う第1パッケージ製造装置120及び第2パッケージ製造装置130とを含む。前記第1パッケージ製造装置120及び第2パッケージ製造装置130ではそれぞれ、例えばリードフレーム上に半導体チップを取付けるためのダイアタッチ工程、リードフレーム上に取付けられている半導体チップを前記リードフレームにボンディングワイヤによって電気的に連結させるためのワイヤボンディング工程を行うことができる。前記第1パッケージ製造装置120及び第2パッケージ製造装置130は、これらの間に配置されているバッファ140を通じてインラインで連結されている。前記第2パッケージ製造装置130からアンローディングされたリードフレームは、アンローディング部180でマガジンに入れられて離脱する。
図3は、本発明の第1実施例によるインライン集積回路チップパッケージ製造装置100の構成を示すブロック図である。
図3を参照すれば、本発明の第1実施例によるインライン集積回路チップパッケージ製造装置100は、マガジンからリードフレームを供給するローディング部110と、前記ローディング部110から供給されたリードフレームに半導体チップを実装するための所定の工程を行う第1パッケージ製造装置120及び第2パッケージ製造装置130とを含む。前記第1パッケージ製造装置120及び第2パッケージ製造装置130ではそれぞれ、例えばリードフレーム上に半導体チップを取付けるためのダイアタッチ工程、リードフレーム上に取付けられている半導体チップを前記リードフレームにボンディングワイヤによって電気的に連結させるためのワイヤボンディング工程を行うことができる。前記第1パッケージ製造装置120及び第2パッケージ製造装置130は、これらの間に配置されているバッファ140を通じてインラインで連結されている。前記第2パッケージ製造装置130からアンローディングされたリードフレームは、アンローディング部180でマガジンに入れられて離脱する。
前記バッファ140は、第1パッケージ製造装置120で所定の工程段階を経た後アンローディングされたリードフレームを前記第2パッケージ製造装置130に供給する前に、前記リードフレームをその上面及び下面の位置が変わるように180゜反転させるための反転装置150を備えている。
また、前記バッファ140には、前記第1パッケージ製造装置120から前記反転装置150までリードフレームを移送するための第1リードフレーム移送装置160と、前記反転装置150から前記第2パッケージ製造装置130までリードフレームを移送するための第2リードフレーム移送装置170とが設置されている。
また、前記バッファ140には、前記第1パッケージ製造装置120から前記反転装置150までリードフレームを移送するための第1リードフレーム移送装置160と、前記反転装置150から前記第2パッケージ製造装置130までリードフレームを移送するための第2リードフレーム移送装置170とが設置されている。
図4は、前記第1パッケージ製造装置120及び第2パッケージ製造装置130がそれぞれワイヤボンディング装置122、124から構成された場合を示す図である。図4には、ワイヤボンディング装置についてのみ示したが、前記第1パッケージ製造装置120及び第2パッケージ製造装置130がそれぞれダイアタッチ設備から構成される場合にも図4と同様に適用されうる。
図5A及び図5Bはそれぞれ、前記反転装置150の要部構成を概略的に示す図であって、図5Aは前記反転装置150の上面図であり、図5Bは図5AのVB−VB’線断面図である。
図5A及び図5Bを参照すれば、前記反転装置150は、前記第1パッケージ製造装置120から前記第1リードフレーム移送装置160を通じて供給されてきたリードフレームL/Fをその移送方向であるx方向に沿って移送可能に支持するためのガイドレール152を含む。前記ガイドレール152の移送方向は必要に応じてx方向またはその反対方向に調節可能である。前記反転装置150によって1個のリードフレームストリップずつ回転しうるように、前記ガイドレール152は1個のリードフレームストリップを支持するように構成されている。
図5A及び図5Bを参照すれば、前記反転装置150は、前記第1パッケージ製造装置120から前記第1リードフレーム移送装置160を通じて供給されてきたリードフレームL/Fをその移送方向であるx方向に沿って移送可能に支持するためのガイドレール152を含む。前記ガイドレール152の移送方向は必要に応じてx方向またはその反対方向に調節可能である。前記反転装置150によって1個のリードフレームストリップずつ回転しうるように、前記ガイドレール152は1個のリードフレームストリップを支持するように構成されている。
前記ガイドレール152の側面には駆動軸154が前記x方向に直交するy方向に延長されるように設置されている。前記ガイドレールが前記駆動軸を中心に所定の角度範囲に回転しうるように、前記駆動軸154に回転駆動力を供給するため前記駆動軸154には駆動装置156がカップリング158を通じて連結されている。
前記駆動装置156によって前記駆動軸154が回転されれば、前記ガイドレール152が前記駆動軸154を中心に180゜反転される。前記駆動装置156は、エアシリンダー(図示せず)によって前記駆動軸154に回転駆動力を供給する。したがって、前記ガイドレール152が前記駆動軸154を中心に180゜反転される時に軟らかい反転が具現されうる。前記ガイドレール152の反転方向、すなわち前記駆動軸154の回転方向は必要に応じて選択され、前記駆動軸154を中心に左折または右折しうる。
前記ガイドレール152が反転される時、前記リードフレームL/Fを前記ガイドレール152から離脱させずに固定させるために、前記反転装置150には前記リードフレームL/Fの反転時に前記リードフレームL/Fを加圧して固定させうる固定装置159が設置されている。
前記バッファ140内に設置された前記第1リードフレーム移送装置160または第2リードフレーム移送装置170には、これらを通じて移送されたリードフレームを次の段階に供給するために前記リードフレームを押し出すことができるように構成されたプッシャーが設置されている。前記第1リードフレーム移送装置160及び第2リードフレーム移送装置170に設置されうるプッシャー162の一例を図6に示した。前記プッシャー162は、矢印A方向に沿って往復移動しうるようにシリンダー164によって駆動される。前記プッシャー162は、必要に応じて前記第1リードフレーム移送装置160及び第2リードフレーム移送装置170のうち何れか一側、または両側に設置されうる。例えば、前記第1リードフレーム移送装置160によって移送されたリードフレームを前記プッシャー162を利用して前記反転装置150のガイドレール152上に移動させうる。または、前記反転装置150のガイドレール152上でリードフレームを180゜反転させた後に前記第2パッケージ製造装置130に移送するために前記プッシャー162を利用できる。
前記バッファ140内に設置された前記第1リードフレーム移送装置160または第2リードフレーム移送装置170には、これらを通じて移送されたリードフレームを次の段階に供給するために前記リードフレームを押し出すことができるように構成されたプッシャーが設置されている。前記第1リードフレーム移送装置160及び第2リードフレーム移送装置170に設置されうるプッシャー162の一例を図6に示した。前記プッシャー162は、矢印A方向に沿って往復移動しうるようにシリンダー164によって駆動される。前記プッシャー162は、必要に応じて前記第1リードフレーム移送装置160及び第2リードフレーム移送装置170のうち何れか一側、または両側に設置されうる。例えば、前記第1リードフレーム移送装置160によって移送されたリードフレームを前記プッシャー162を利用して前記反転装置150のガイドレール152上に移動させうる。または、前記反転装置150のガイドレール152上でリードフレームを180゜反転させた後に前記第2パッケージ製造装置130に移送するために前記プッシャー162を利用できる。
本実施例によるインライン集積回路チップパッケージ製造装置に備えられた前記ローディング部110にも図6に示すようなプッシャー162を設置できる。この場合、前記ローディング部110ではマガジン内に収容されている複数のリードフレームが順次に前記プッシャー162によって前記第1パッケージ製造装置120に供給されうる。
図3に示す本発明の第1実施例によるインライン集積回路チップパッケージ製造装置100を利用したパッケージ製造工程は、次の通りである。
第1面及びその反対側である第2面を有するリードフレームは、所定のパッケージ製造工程を経るために前記ローディング部110を通じて前記第1パッケージ製造装置120に供給される時、まず前記第1面が上部に向かうように供給される。前記第1パッケージ製造装置120で前記リードフレームの第1面にダイアタッチ工程またはワイヤボンディング工程が行われた後に前記第1パッケージ製造装置120からアンローディングされたリードフレームは前記バッファ140に移送され、前記バッファ140から前記第1リードフレーム移送装置160を通じて前記反転装置150に移送される。前記反転装置150では前記第1リードフレーム移送装置260を通じて移送されてきたリードフレームの第2面が上部に向かうように前記リードフレームを180゜反転させる。前記反転されたリードフレームは、前記第2面が上部に向かう状態で前記第2リードフレーム移送装置170を通じて前記第2パッケージ製造装置130に移送される。前記第2パッケージ製造装置130内で前記リードフレームの第2面にダイアタッチ工程またはワイヤボンディング工程が行われた後、前記リードフレームは前記第2パッケージ製造装置130からアンローディングされる。前記第2パッケージ製造装置130からアンローディングされた前記リードフレームは、アンローディング部180でマガジンに入れられて離脱する。
第1面及びその反対側である第2面を有するリードフレームは、所定のパッケージ製造工程を経るために前記ローディング部110を通じて前記第1パッケージ製造装置120に供給される時、まず前記第1面が上部に向かうように供給される。前記第1パッケージ製造装置120で前記リードフレームの第1面にダイアタッチ工程またはワイヤボンディング工程が行われた後に前記第1パッケージ製造装置120からアンローディングされたリードフレームは前記バッファ140に移送され、前記バッファ140から前記第1リードフレーム移送装置160を通じて前記反転装置150に移送される。前記反転装置150では前記第1リードフレーム移送装置260を通じて移送されてきたリードフレームの第2面が上部に向かうように前記リードフレームを180゜反転させる。前記反転されたリードフレームは、前記第2面が上部に向かう状態で前記第2リードフレーム移送装置170を通じて前記第2パッケージ製造装置130に移送される。前記第2パッケージ製造装置130内で前記リードフレームの第2面にダイアタッチ工程またはワイヤボンディング工程が行われた後、前記リードフレームは前記第2パッケージ製造装置130からアンローディングされる。前記第2パッケージ製造装置130からアンローディングされた前記リードフレームは、アンローディング部180でマガジンに入れられて離脱する。
図7は、本発明の第2実施例によるインライン集積回路チップパッケージ製造装置200の構成を示すブロック図である。
図7を参照すれば、本発明の第2実施例によるインライン集積回路チップパッケージ製造装置200は、マガジンからリードフレームを供給するローディング部210と、前記ローディング部210から供給されたリードフレームに半導体チップを実装するための所定の工程を行うパッケージ製造装置本体220と、前記パッケージ製造装置本体220からアンローディングされたリードフレームをマガジンに入れて離脱させるためのアンローディング部280とを含む。
図7を参照すれば、本発明の第2実施例によるインライン集積回路チップパッケージ製造装置200は、マガジンからリードフレームを供給するローディング部210と、前記ローディング部210から供給されたリードフレームに半導体チップを実装するための所定の工程を行うパッケージ製造装置本体220と、前記パッケージ製造装置本体220からアンローディングされたリードフレームをマガジンに入れて離脱させるためのアンローディング部280とを含む。
前記パッケージ製造装置本体220では、例えばダイアタッチ工程またはワイヤボンディング工程を行うことができる。前記パッケージ製造装置本体220と前記アンローディング部280とはこれらの間に配置されているバッファ240を通じてインラインで連結されている。
前記バッファ240では、前記パッケージ製造装置本体220で所定の工程段階を経た後、アンローディングされたリードフレームを前記アンローディング部280に供給する前に前記リードフレームの状態によって前記リードフレームを前記パッケージ製造装置本体220または前記アンローディング部280に選択的に移送させる。前記バッファ240は前記リードフレームをその第1面及び第2面の位置が変わるように180゜反転させるための反転装置250を備えている。
前記バッファ240では、前記パッケージ製造装置本体220で所定の工程段階を経た後、アンローディングされたリードフレームを前記アンローディング部280に供給する前に前記リードフレームの状態によって前記リードフレームを前記パッケージ製造装置本体220または前記アンローディング部280に選択的に移送させる。前記バッファ240は前記リードフレームをその第1面及び第2面の位置が変わるように180゜反転させるための反転装置250を備えている。
また、前記バッファ240には前記パッケージ製造装置本体220と前記反転装置250間でリードフレームを移送するための第1リードフレーム移送装置260と、前記反転装置250から前記アンローディング部280までリードフレームを移送するための第2リードフレーム移送装置270とが設置されている。
前記反転装置250、前記第1リードフレーム移送装置260及び第2リードフレーム移送装置170はそれぞれ、図3、図5A、図5B及び図6と実質的に同じ構成を有する。但し、前記反転装置250は、前記パッケージ製造装置本体220からアンローディングされたリードフレームの状態によって選択的に前記リードフレームを180゜反転させる。さらに詳細に説明すれば、第1面及びその反対側である第2面を有するリードフレームは、所定のパッケージ製造工程を経るために前記ローディング部210を通じて前記パッケージ製造装置本体220に供給される時、まず前記第1面が上部に向かうように供給される。前記パッケージ製造装置本体220で前記リードフレームの第1面にダイアタッチ工程またはワイヤボンディング工程が行われた後、前記パッケージ製造装置本体220からアンローディングされたリードフレームは、前記第1リードフレーム移送装置260を通じて前記反転装置250に移送される。前記反転装置250では前記第1リードフレーム移送装置260を通じて移送されてきたリードフレームが第1面が上部に向っている状態であれば、前記リードフレームの第2面が上部に向かうように前記リードフレームを180゜反転させる。前記反転されたリードフレームは、前記第2面が上部に向かう状態で再び前記第1リードフレーム移送装置260を経て前記パッケージ製造装置本体220に移送される。前記パッケージ製造装置本体220内で前記リードフレームの第2面にダイアタッチ工程またはワイヤボンディング工程が行われた後、前記パッケージ製造装置本体220からアンローディングされる。このように、第2面上で所定のパッケージ製造工程が行われたリードフレームは、再び前記第1リードフレーム移送装置260を通じて前記反転装置250に移送される。前記反転装置250では、前記第1リードフレーム移送装置260を通じて移送されてきたリードフレームが第2面が上部に向っている状態であれば、前記リードフレームを前記第2リードフレーム移送装置270に供給し、ここで、前記リードフレームは前記アンローディング部280に移送される。前記リードフレームは、アンローディング部280でマガジンに入れられて離脱する。
図8は、前記パッケージ製造装置本体220がワイヤボンディング装置222から構成された場合を示す図である。図4にはワイヤボンディング装置についてのみ示したが、前記パッケージ製造装置本体220がそれぞれダイアタッチ設備から構成される場合にも図8と同様に適用されうる。
図9Aから図9Gは、本発明の第1実施例による集積回路チップパッケージの製造方法を説明するために工程順序によって示す断面図である。ここでは、DDP製造過程を説明する。
図9Aから図9Gは、本発明の第1実施例による集積回路チップパッケージの製造方法を説明するために工程順序によって示す断面図である。ここでは、DDP製造過程を説明する。
図9Aを参照すれば、第1面302a及びその反対側である第2面302bを有するダイパッド302と、前記ダイパッド302と一体に形成されたリードフィンガー304とから構成されるリードフレーム300を準備する。
まず、前記ダイパッド302の第1面302a及び第2面302bにそれぞれ半導体チップを取付けるために、前記第1パッケージ製造装置120及び第2パッケージ製造装置130がそれぞれダイアタッチ装置から構成された図3に示したようなインライン集積回路チップパッケージ製造装置100に前記リードフレーム300を前記ローディング部110を通じてローディングする。ここでは、便宜上図3に示したインライン集積回路チップパッケージ製造装置100を使用する場合について説明する。しかし、本発明はこれに限定されず、当業者ならば、図7に示したようなインライン集積回路チップパッケージ製造装置200についても同様に適用できるということが分かる。ここで、図7に示したようなインライン集積回路チップパッケージ製造装置200を使用する場合、前記パッケージ製造装置本体220がそれぞれダイアタッチ装置から構成される。
まず、前記ダイパッド302の第1面302a及び第2面302bにそれぞれ半導体チップを取付けるために、前記第1パッケージ製造装置120及び第2パッケージ製造装置130がそれぞれダイアタッチ装置から構成された図3に示したようなインライン集積回路チップパッケージ製造装置100に前記リードフレーム300を前記ローディング部110を通じてローディングする。ここでは、便宜上図3に示したインライン集積回路チップパッケージ製造装置100を使用する場合について説明する。しかし、本発明はこれに限定されず、当業者ならば、図7に示したようなインライン集積回路チップパッケージ製造装置200についても同様に適用できるということが分かる。ここで、図7に示したようなインライン集積回路チップパッケージ製造装置200を使用する場合、前記パッケージ製造装置本体220がそれぞれダイアタッチ装置から構成される。
前記リードフレーム300を前記第1パッケージ製造装置120内に前記第1面302aが上部に向かうように配置する。次いで、前記第1パッケージ製造装置120内で前記ダイパッド302の第1面302aに第1半導体チップ320をUVテープからなる粘着テープ312を使用して貼付ける。
次いで、前記リードフレーム300は、前記第1パッケージ製造装置120から前記バッファ140に移送され、ここで、前記第1リードフレーム移送装置160を経て前記反転装置150に移送される。
次いで、前記リードフレーム300は、前記第1パッケージ製造装置120から前記バッファ140に移送され、ここで、前記第1リードフレーム移送装置160を経て前記反転装置150に移送される。
図9Bを参照すれば、前記反転装置150を利用して前記第1半導体チップ320が貼付けられたリードフレーム300を前記ダイパッド302の第2面302bが上部に向かうように180゜反転させる。
前記反転装置150で反転された前記リードフレーム300は、前記第2リードフレーム移送装置170を通じてダイアタッチ装置から構成された前記第2パッケージ製造装置130に移送される。
前記反転装置150で反転された前記リードフレーム300は、前記第2リードフレーム移送装置170を通じてダイアタッチ装置から構成された前記第2パッケージ製造装置130に移送される。
図9Cを参照すれば、前記リードフレーム300は、前記第2パッケージ製造装置130内で前記ダイパッド302の第2面302bが上部に向かうように配置される。この状態で、前記ダイパッド302の第2面302bに第2半導体チップ330をUVテープからなる粘着テープ322を使用して貼付ける。
次いで、前記リードフレーム300を前記アンローディング部180を通じて前記インライン集積回路チップパッケージ製造装置100からアンローディングする。
次いで、前記リードフレーム300を前記アンローディング部180を通じて前記インライン集積回路チップパッケージ製造装置100からアンローディングする。
図9Dを参照すれば、前記ダイパッド302の第1面302a及び第2面302bにそれぞれ第1半導体チップ320及び第2半導体チップ330が貼付けられた状態で前記粘着テープ312、322をキュアリングするために、前記リードフレーム300を高温、例えば約180℃に維持されるオーブン内で所定時間、例えば約60分間熱処理332する。
図9Eを参照すれば、第1面302a及び第2面302bにそれぞれ第1半導体チップ320及び第2半導体チップ330が貼付けられたリードフレーム300に対してワイヤボンディング工程を行うために、まず図4に示したようなインライン集積回路チップパッケージ製造装置を使用する。しかし、本発明はこれに限定されず、当業者ならば、図8に示したようなインライン集積回路チップパッケージ製造装置に対しても同様に適用できるということが分かる。
前記ローディング部110を通じて前記リードフレーム300を前記第1ワイヤボンディング装置122内に前記第1面302aが上部に向かうように配置する。次いで、前記第1ワイヤボンディング装置122内で前記第1半導体チップ320と前記リードフィンガー304とを電気的に連結させるための第1ボンディングワイヤ342を形成する。
次いで、前記リードフレーム300は、前記第1ワイヤボンディング装置120から前記バッファ140に移送され、ここで、前記第1リードフレーム移送装置160を経て前記反転装置150に移送される。
図9Fを参照すれば、前記反転装置150を利用して前記第1ボンディングワイヤ342が形成されたリードフレーム300を前記ダイパッド302の第2面302bが上部に向かうように180゜反転させる。
図9Fを参照すれば、前記反転装置150を利用して前記第1ボンディングワイヤ342が形成されたリードフレーム300を前記ダイパッド302の第2面302bが上部に向かうように180゜反転させる。
前記反転装置150で反転された前記リードフレーム300は、前記第2リードフレーム移送装置170を通じて第2ワイヤボンディング装置124に移送される。
図9Gを参照すれば、前記リードフレーム300は、前記第2ワイヤボンディング装置124内で前記第2面302bが上部に向かうように配置される。この状態で、前記第2半導体チップ330と前記リードフィンガー304とを電気的に連結させるための第2ボンディングワイヤ344を形成する。
図9Gを参照すれば、前記リードフレーム300は、前記第2ワイヤボンディング装置124内で前記第2面302bが上部に向かうように配置される。この状態で、前記第2半導体チップ330と前記リードフィンガー304とを電気的に連結させるための第2ボンディングワイヤ344を形成する。
次いで、前記リードフレーム300を前記アンローディング部180を通じてアンローディングし、前記第1半導体チップ320、第2半導体チップ330、第1ボンディングワイヤ342、第2ボンディングワイヤ344及びこれらの接合部分を通常の方法でエポキシ成形樹脂のようなプラスチックモールドによって封止してDDPを完成する。
図10Aから図10Gは、本発明の第2実施例による集積回路チップパッケージの製造方法を説明するために工程順序によって示す断面図である。ここでは、QDP製造過程を説明する。
図10Aを参照すれば、まず第1面302a及びその反対側である第2面302bを有するダイパッド302と、前記ダイパッド302と一体に形成されたリードフィンガー304とから構成されるリードフレーム300を準備し、ここに図9Aから図9Gを参照して説明したDDP製造方法と同じ方法で前記第1面302a及び第2面304にそれぞれ第1半導体チップ302及び第2半導体チップ330を貼付け、これらをそれぞれ第1ボンディングワイヤ342及び第2ボンディングワイヤ344を通じて前記リードフィンガー304に電気的に連結させる。
図10Aを参照すれば、まず第1面302a及びその反対側である第2面302bを有するダイパッド302と、前記ダイパッド302と一体に形成されたリードフィンガー304とから構成されるリードフレーム300を準備し、ここに図9Aから図9Gを参照して説明したDDP製造方法と同じ方法で前記第1面302a及び第2面304にそれぞれ第1半導体チップ302及び第2半導体チップ330を貼付け、これらをそれぞれ第1ボンディングワイヤ342及び第2ボンディングワイヤ344を通じて前記リードフィンガー304に電気的に連結させる。
次いで、前記第1パッケージ製造装置120及び第2パッケージ製造装置130がそれぞれダイアタッチ装置から構成された図3に示したようなインライン集積回路チップパッケージ製造装置100に前記リードフレーム300を前記ローディング部110を通じてローディングする。前述したように、ここで、図7に示したようなインライン集積回路チップパッケージ製造装置200を使用することもある。
前記リードフレーム300を前記第1パッケージ製造装置120内に前記第1面302aが上部に向かうように配置する。次いで、前記第1パッケージ製造装置120内で前記ダイパッド302の第1面302aに取付けられた第1半導体チップ320上に第3半導体チップ360をポリイミドテープからなる粘着テープ352を使用して貼付ける。
次いで、前記リードフレーム300は、前記第1パッケージ製造装置120から前記バッファ140に移送され、ここで、前記第1リードフレーム移送装置160を経て前記反転装置150に移送される。
図10Bを参照すれば、前記反転装置150を利用して前記第3半導体チップ360が取付けられたリードフレーム300を前記ダイパッド302の第2面302bが上部に向かうように180゜反転させる。
図10Bを参照すれば、前記反転装置150を利用して前記第3半導体チップ360が取付けられたリードフレーム300を前記ダイパッド302の第2面302bが上部に向かうように180゜反転させる。
前記反転装置150で反転された前記リードフレーム300は、前記第2リードフレーム移送装置170を通じてダイアタッチ装置から構成された前記第2パッケージ製造装置130に移送される。
図10Cを参照すれば、前記リードフレーム300は、前記第2パッケージ製造装置130内で前記ダイパッド302の第2面302bが上部に向かうように配置される。この状態で、前記ダイパッド302の第2面302bに取付けられた第2半導体チップ330上に第4半導体チップ370をポリイミドからなる粘着テープ354を使用して貼付ける。
図10Cを参照すれば、前記リードフレーム300は、前記第2パッケージ製造装置130内で前記ダイパッド302の第2面302bが上部に向かうように配置される。この状態で、前記ダイパッド302の第2面302bに取付けられた第2半導体チップ330上に第4半導体チップ370をポリイミドからなる粘着テープ354を使用して貼付ける。
その後、前記リードフレーム300を前記アンローディング部180を通じて前記インライン集積回路チップパッケージ製造装置100からアンローディングする。
図10Dを参照すれば、前記ダイパッド302の両面にそれぞれ第1半導体チップ320、第2半導体チップ330、第3半導体チップ360及び第4半導体チップ370が貼付けられた状態で前記粘着テープ352、354をキュアリングするために、前記リードフレーム300を高温、例えば約180℃に維持されるオーブン内で所定時間、例えば約60分間熱処理372する。
図10Dを参照すれば、前記ダイパッド302の両面にそれぞれ第1半導体チップ320、第2半導体チップ330、第3半導体チップ360及び第4半導体チップ370が貼付けられた状態で前記粘着テープ352、354をキュアリングするために、前記リードフレーム300を高温、例えば約180℃に維持されるオーブン内で所定時間、例えば約60分間熱処理372する。
次いで、図4に示したようなインライン集積回路チップパッケージ製造装置を使用して前記第3半導体チップ360及び第4半導体チップ370を前記リードフィンガー304に電気的に連結させるためのワイヤボンディング工程を行う。この時、図8に示したようなインライン集積回路チップパッケージ製造装置を使用することもある。
図10Eを参照すれば、ワイヤボンディング工程のために、前記ローディング部110を通じて前記リードフレーム300を前記第1ワイヤボンディング装置122内に前記第1面302aが上部に向かうように配置する。次いで、前記第1ワイヤボンディング装置122内で前記第3半導体チップ360と前記リードフィンガー304とを電気的に連結させるための第3ボンディングワイヤ382を形成する。
次いで、前記リードフレーム300は、前記第1ワイヤボンディング装置120から前記バッファ140に移送され、ここで、前記第1リードフレーム移送装置160を経て前記反転装置150に移送される。
図10Fを参照すれば、前記反転装置150を利用して前記第1ボンディングワイヤ382が形成されたリードフレーム300を前記ダイパッド302の第2面302bが上部に向かうように180゜反転させる。
図10Fを参照すれば、前記反転装置150を利用して前記第1ボンディングワイヤ382が形成されたリードフレーム300を前記ダイパッド302の第2面302bが上部に向かうように180゜反転させる。
前記反転装置150で反転された前記リードフレーム300は、前記第2リードフレーム移送装置170を通じて第2ワイヤボンディング装置124に移送される。
図10Gを参照すれば、前記リードフレーム300は、前記第2ワイヤボンディング装置124内で前記第2面302bが上部に向かうように配置される。この状態で、前記第4半導体チップ370と前記リードフィンガー304とを電気的に連結させるための第4ボンディングワイヤ384を形成する。
図10Gを参照すれば、前記リードフレーム300は、前記第2ワイヤボンディング装置124内で前記第2面302bが上部に向かうように配置される。この状態で、前記第4半導体チップ370と前記リードフィンガー304とを電気的に連結させるための第4ボンディングワイヤ384を形成する。
次いで、前記リードフレーム300を前記アンローディング部180を通じてアンローディングし、前記第1半導体チップ320、第2半導体チップ330、第3半導体チップ360、第4半導体チップ370、第1ボンディングワイヤ342、第2ボンディングワイヤ344、第3ボンディングワイヤ382、第4ボンディングワイヤ384及びこれらの接合部分を通常の方法でエポキシ成形樹脂のようなプラスチックモールドによって封止してQDPを完成する。
インライン集積回路チップパッケージ製造装置は、それぞれダイアタッチ装置またはワイヤボンディング装置から構成される第1及び第2パッケージ製造装置間にバッファが設置されてこれらがそれぞれインラインで連結されており、前記バッファにはリードフレームを180゜反転させるための反転装置が設置されている。前記反転装置では第1パッケージ製造装置からアンローディングされたリードフレームを前記第2パッケージ製造装置に供給する前にリードフレームの下面が上部に向かうように前記リードフレームが180゜反転される。したがって、リードフレームの両面にそれぞれ半導体チップを取付ける工程、またはこれらをリードフレームに電気的に連結させるためにリードフレームの両面にボンディングワイヤを形成する工程をそれぞれインラインで行うことによって、作業者による手作業数が減って工程が単純化される。例えば、DDPを製造する場合には、ダイアタッチ工程、キュアリング工程及びワイヤボンディング工程で作業者による修正業務を従来の5回から2回に減らし、QDPを製造する場合には、ダイアタッチ工程、キュアリング工程及びワイヤボンディング工程で作業者による修正業務を従来の11回から5回に減らすことができる。
以上、本発明の望ましい実施例を詳細に説明したが、本発明は前記実施例に限定されず、本発明の技術的思想及び範囲内で当業者によって多様な変形及び変更が可能である。
(産業上の利用可能性)
本発明は、携帯電話、ノートPCのような小型化、軽量化及び高精密化された電子機器に必要な高集積化された半導体チップをマルチチップパッケージング技術によって実装する集積回路チップパッケージ製造分野に使用されうる。
(産業上の利用可能性)
本発明は、携帯電話、ノートPCのような小型化、軽量化及び高精密化された電子機器に必要な高集積化された半導体チップをマルチチップパッケージング技術によって実装する集積回路チップパッケージ製造分野に使用されうる。
100 インライン集積回路チップパッケージ製造装置、110 ローディング部、120 第1パッケージ製造装置、130 第2パッケージ製造装置、140 バッファ、150 反転装置、160 第1リードフレーム移送装置、170 第2リードフレーム移送装置、180 アンローディング部、300 リードフレーム、302 ダイパッド、302a 第1面、302b 第2面、304 リードフィンガー、L/F リードフレーム
Claims (20)
- リードフレームを収容し、処理されたリードフレームが得られるように前記リードフレーム上に第1チップパッケージング動作を行う処理部と、
前記処理されたリードフレームを収容し、反転されたリードフレームが得られるように前記処理されたリードフレームを選択的に反転させる反転装置と、
を備えることを特徴とするインライン集積回路チップパッケージ製造装置。 - 前記リードフレームを前記処理部に供給するためのローディング部と、
前記処理されたリードフレームを前記反転装置に供給する前に前記第1チップパッケージング動作を行う第1処理部と、
前記反転されたリードフレームを収容し、完成されたリードフレームが得られるように第2チップパッケージング動作を行う第2処理部と、
前記第2処理部から前記完成されたリードフレームを収容する収容部と、
をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載のインライン集積回路チップパッケージ製造装置。 - 前記第1チップパッケージング動作及び前記第2チップパッケージング動作は、ダイアタッチ動作またはワイヤボンディング動作であることを特徴とする請求項2に記載のインライン集積回路チップパッケージ製造装置。
- 前記処理部と前記第2処理部との間に配置され、前記処理部及び前記第2処理部とインラインで連結されているバッファをさらに備え、
前記バッファは、
前記反転装置と、
前記処理部から前記処理されたリードフレームを収容し、前記処理されたリードフレームを前記反転装置に移送する第1コンベヤと、
前記反転されたリードフレームを収容し、前記反転されたリードフレームを前記第2処理部に移送する第2コンベヤと、
を有することを特徴とする請求項2に記載のインライン集積回路チップパッケージ製造装置。 - 前記反転装置は、
前記処理されたリードフレームを収容して支持し、縦軸を有するガイドレールと、
前記ガイドレール及び前記処理されたリードフレームを所定角度範囲に回転させるように構成されている駆動装置と、
を有することを特徴とする請求項1に記載のインライン集積回路チップパッケージ製造装置。 - 前記処理されたリードフレームを選択的に固定させ、前記駆動装置が前記ガイドレール及び前記処理されたリードフレームを所定角度範囲に回転させる時、前記処理されたリードフレームと前記ガイドレールとの間で初期方向を維持するように構成されている固定装置をさらに備えることを特徴とする請求項5に記載のインライン集積回路チップパッケージ製造装置。
- 前記所定角度範囲は180゜であることを特徴とする請求項5に記載のインライン集積回路チップパッケージ製造装置。
- 前記ガイドレールは所定の回転速度で回転し、
前記回転速度は前記ガイドレールが所定角度範囲に回転する間に所定の順序によって変化することを特徴とする請求項7に記載のインライン集積回路チップパッケージ製造装置。 - 前記駆動装置はエアシリンダーを有し、
前記エアシリンダーは駆動軸を回転させるように構成され、
前記駆動軸は前記ガイドレールの回転中前記ガイドレールに連結されていることを特徴とする請求項5に記載のインライン集積回路チップパッケージ製造装置。 - 前記処理部は、前記反転装置から前記反転されたリードフレームを収容するように構成され、完成されたリードフレームが得られるように前記反転されたリードフレーム上に第2チップパッケージング動作を行うことを特徴とする請求項1に記載のインライン集積回路チップパッケージ製造装置。
- 前記反転装置は、前記完成されたリードフレームを収容するように構成され、前記完成されたリードフレームを収容部に移送することを特徴とする請求項10に記載のインライン集積回路チップパッケージ製造装置。
- 前記反転装置は、前記完成されたリードフレームが前記収容部に送られる前に前記完成されたリードフレームを反転させるように構成されていることを特徴とする請求項11に記載のインライン集積回路チップパッケージ製造装置。
- 第1面及び第2面を有するダイパッドと、前記ダイパッドに隣接しているリードフィンガーとを有するリードフレームを準備する段階と、
前記第1面が上部に向かうように前記リードフレームを配置する段階と、
処理されたリードフレームが得られるように前記第1面に第1チップパッケージング動作を行う第1処理部にリードフレームを供給する段階と、
前記第2面が上部に向かう反転されたリードフレームが得られるように前記処理されたリードフレームを反転させる段階と、
完成されたリードフレームが得られるように前記第2面に第2チップパッケージング動作を行う第2処理部に前記反転されたリードフレームを供給する段階と、
を含むことを特徴とする集積回路チップパッケージの製造方法。 - 前記第1チップパッケージング動作は前記ダイパッドの第1面に第1半導体チップを取付ける段階を含み、
前記第2チップパッケージング動作は前記ダイパッドの第2面に第2半導体チップを取付ける段階を含むことを特徴とする請求項13に記載の集積回路チップパッケージの製造方法。 - 前記第1チップパッケージング動作は第1半導体チップと前記リードフィンガーとの間にワイヤーボンドを形成する段階を含み、
前記第2チップパッケージング動作は第2半導体チップと前記リードフィンガーとの間にワイヤーボンドを形成する段階を含むことを特徴とする請求項13に記載の集積回路チップパッケージの製造方法。 - 前記処理されたリードフレームを反転させる段階は、
前記処理されたリードフレームをガイドレールに移動させる段階と、
反転されたリードフレームが得られるように前記ガイドレールを180゜回転させる段階と、
前記ガイドレールから前記反転されたリードフレームを除去する段階と、
を含むことを特徴とする請求項13に記載の集積回路チップパッケージの製造方法。 - 前記ガイドレールは、縦軸を有し、前記縦軸に直交する軸を中心に回転することを特徴とする請求項16に記載の集積回路チップパッケージの製造方法。
- 前記ガイドレールは、縦軸を有し、前記縦軸に平行した軸を中心に回転することを特徴とする請求項16に記載の集積回路チップパッケージの製造方法。
- 第1面、及びその第1面の反対側にある第2面を有するダイパッドと、前記ダイパッドに隣接しているリードフィンガーとを有するリードフレームを準備する段階と、
前記第1面が上部に向かうように前記リードフレームを配置する段階と、
処理されたリードフレームが得られるように前記第1面に第1チップパッケージング動作を行う処理部にリードフレームを供給する段階と、
前記第2面が上部に向かう反転されたリードフレームが得られるように前記処理されたリードフレームを反転させる段階と、
完成されたリードフレームが得られるように前記第2面に第2チップパッケージング動作を行う前記処理部に前記反転されたリードフレームを供給する段階と、
を含むことを特徴とする集積回路チップパッケージの製造方法。 - 前記第1チップパッケージング動作は、前記ダイパッドの第1面に第1半導体チップを取付ける段階、または第1半導体チップと前記リードフィンガーとの間にワイヤーボンドを形成する段階を含み、
前記第2チップパッケージング動作は、前記ダイパッドの第2面に第2半導体チップを取付ける段階、または第2半導体チップと前記リードフィンガーとの間にワイヤーボンドを形成する段階を含むことを特徴とする請求項19に記載の集積回路チップパッケージの製造方法。
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