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  1. 多数のレンズ（Ｌ６０１〜Ｌ６３０、Ｌ８０１〜Ｌ８１７）、少なくとも１つのフッ化物結晶からのレンズ（１）を持つ対物レンズ（６１１、７１１）、特にマイクロリソグラフィ用投射照明装置（８１）向けの投射対物レンズであって、
    少なくとも１つのレンズ（１）が、｛１００｝結晶平面またはフッ化物結晶のそれと等価な結晶平面にほぼ垂直であるレンズ軸（ＥＡ）を持つ（１００）レンズであることを特徴とする対物レンズ（６１１、７１１）。
  2. それぞれがほぼ主結晶方向に向いているレンズ軸を持つ、フッ化物結晶から成る少なくとも２つのレンズを有していて、
    それぞれが方位角αR、開口角θRおよび互いに直交する２つの直線偏光状態における光路差ΔＯＰＬを示す光線を含む光線束が像平面（Ｏ’）の像点に入射する対物レンズ（６１１、７１１）、特にマイクロリソグラフィ用投射照明装置向けの投射対物レンズであって、レンズ軸が同一の主結晶方向に向いていて、レンズ軸の周りに相互に捻れた状態で配置されているのではないレンズと比較して、方位角αRおよび開口角θRの関数としての光線束の光路差分布ΔＯＰＬ（αR、θR）が大幅に低い値を示すように、レンズがレンズ軸の周りに捻れた状態で配置されていることを特徴とする対物レンズ（６１１、７１１）。
  3. それぞれほぼ主結晶方向を向いたレンズ軸を持つ、フッ化物結晶から成る少なくとも２つのレンズを有する対物レンズ（６１１、７１１）、特にマイクロリソグラフィ用投射照明装置向けの投射対物レンズの製造方法であって、
    レンズ軸が同一の主結晶方向に向いていて、レンズ軸の周りに相互に捻れた状態で配置されているのではないレンズに比較して、光線束の光路差分布ΔＯＰＬ（αR、θR）が大幅に低い値を示すように、レンズがレンズ軸の周りに捻れた状態で配置されており、それぞれ方位角αR、開口角θRおよび互いに直交する２つの直線偏光状態における像平面での光路差ΔＯＰＬを示す光線を含む光線束について、レンズにおける光路差分布ΔＯＰＬ（αR、θR）を測定することを特徴とする方法。
  4. 結晶方位が相互に捻れた位置関係の結晶素材、好ましくはフッ化物結晶、特にフッ化カルシウムから成る複数の平板が、光学的に継目なく接合され、特に圧着され、引き続き一様な未加工材として成形加工され、研磨されることを特徴とするレンズ製造方法。
  5. 立方晶系、フッ化物結晶から成る少なくとも２つのレンズを有し、
    ２つのレンズの各レンズは、＜１１１＞結晶方向またはそれと等価な主結晶方向を向いたレンズ軸を有し、２つのレンズがレンズ軸の周りで互いに６０゜回転させられて配置されていることを特徴とする対物レンズ。
  6. 立方晶系、フッ化物結晶から成る少なくとも２つのレンズを有し、
    ２つのレンズの各レンズは、＜１１１＞結晶方向またはそれと等価な主結晶方向を向いたレンズ軸を有し、フッ化物結晶の真性複屈折の効果を補償するために２つのレンズがレンズ軸の周りで互いに相対的に回転させられて配置されていることを特徴とする対物レンズ。
  7. 立方晶系、フッ化物結晶から成る少なくとも２つのレンズを有し、
    ２つのレンズの各レンズは、＜１００＞結晶方向またはそれと等価な主結晶方向を向いたレンズ軸を有し、２つのレンズがレンズ軸の周りで互いに４５゜回転させられて配置されていることを特徴とする対物レンズ。
  8. 立方晶系、フッ化物結晶から成る少なくとも２つのレンズを有し、
    ２つのレンズの各レンズは、＜１００＞結晶方向またはそれと等価な主結晶方向を向いたレンズ軸を有し、フッ化物結晶の真性複屈折の効果を補償するために２つのレンズがレンズ軸の周りで互いに相対的に回転させられて配置されていることを特徴とする対物レンズ。
  9. 立方晶系、フッ化物結晶からなる少なくとも２つのレンズを有し、
    ２つのレンズの各レンズは、＜１１１＞結晶方向またはそれと等価な主結晶方向を向いたレンズ軸を有し、２つのレンズがレンズ軸の周りで互いに６０゜回転させられて配置されており
    さらに、立方晶系、フッ化物結晶からなる少なくとも他の２つのレンズを有し、
    他の２つのレンズの各レンズは、＜１００＞結晶方向またはそれと等価な主結晶方向を向いたレンズ軸を有し、２つのレンズがレンズ軸の周りで互いに４５゜回転させられて配置されていることを特徴とする対物レンズ。
  10. 立方晶系、フッ化物結晶からなる少なくとも２つのレンズを有し、
    ２つのレンズの各レンズは、＜１１１＞結晶方向またはそれと等価な主結晶方向を向いたレンズ軸を有し、
    さらに、立方晶系、フッ化物結晶からなる少なくとも他の２つのレンズを有し、
    他の２つのレンズの各レンズは、レンズ軸が＜１００＞結晶方向またはそれと等価な主結晶方向を向いたレンズ軸を有し、
    フッ化物結晶の真性複屈折の効果を補償するために２つのレンズがレンズ軸の周りで互いに相対的に回転させられて配置されていることを特徴とする対物レンズ。
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