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Die
Erfindung betrifft eine Linse, insbesondere für ein Projektionsobjektiv
einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage.
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Mikrolithographische
Projektionsbelichtungsanlagen werden zur Herstellung mikrostrukturierter
Bauelemente, wie beispielsweise integrierter Schaltkreise oder LCD's,
angewendet. Eine solche Projektionsbelichtungsanlage weist eine
Beleuchtungseinrichtung und ein Projektionsobjektiv auf. Im Mikrolithographieprozess wird
das Bild einer mit Hilfe der Beleuchtungseinrichtung beleuchteten
Maske (= Retikel) mittels des Projektionsobjektivs auf ein mit einer
lichtempfindlichen Schicht (Photoresist) beschichtetes und in der
Bildebene des Projektionsobjektivs angeordnetes Substrat (z. B.
ein Siliziumwafer) projiziert, um die Maskenstruktur auf die lichtempfindliche
Schicht zu übertragen.
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In
Mikrolithographie-Objektiven, insbesondere Immersionsobjektiven
mit einem Wert der numerischen Apertur (NA) von mehr als 1.35, besteht
in zunehmendem Maße ein Bedarf nach dem Einsatz von Materialien mit
hohem Brechungsindex, insbesondere für das bildseitig letzte
optische Element. Als „hoch" wird hier ein Brechungsindex
bezeichnet, wenn sein Wert bei der gegebenen Wellenlänge
den von Quarz, mit einem Wert von ca. 1.56 bei einer Wellenlänge
von 193 nm, übersteigt. Ein in Frage kommendes Material
ist beispielsweise Lutetiumaluminiumgranat (Lu3Al5O12, LuAG), dessen
Brechungsindex bei 193 nm etwa 2.14 beträgt. Ein Problem
beim Einsatz dieser Materialien als Linsenelemente besteht darin,
dass sie durch ihre kubische Kristallstruktur intrinsische Doppelbrechung
(= IDB) aufweisen, die mit niedriger Wellenlänge ansteigt.
Typische Werte der IDB-bedingten Verzögerung bei einer
Wellenlänge von 193 nm sind beispielsweise 25 nm/cm für
LiBaF3, 31 nm/cm für Lutetiumaluminiumgranat
und 51 nm/cm für Magnesiumspinell. Mit „Verzögerung"
wird die Differenz der optischen Wege zweier orthogonaler (senkrecht
zueinander stehender) Polarisationszustände bezeichnet.
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Aus
US 2006/0012885 A1 ist
es u. a. bekannt, in einem Projektionsobjektiv das letzte optische
Element unter Verwendung eines Kristallmaterials mit hohem Brechungsindex
(n ≥ 1.6), z. B. Magnesiumspinell, auszubilden, wobei insbesondere
auch ein plankonvexes Teilelement mit einem planparallelen Teilelement kombiniert
wird, wobei z. B. eines dieser Teilelemente aus dem hochbrechenden
kristallinen Material und das andere der Teilelemente aus Quarzglas
hergestellt ist.
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Es
ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Linse, insbesondere
für ein Projektionsobjektiv einer mikrolithographischen
Projektionsbelichtungsanlage bereitzustellen, welches den Einsatz
hochbrechender Kristallmaterialien bei Begrenzung der Auswirkungen
intrinsischer Doppelbrechung ermöglicht.
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Diese
Aufgabe wird gemäß den Merkmalen des unabhängigen
Anspruchs 1 gelöst.
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Eine
erfindungsgemäße Linse weist sowohl ein doppelbrechendes
Material als auch ein nicht doppelbrechendes, nicht amorphes Material
auf.
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Dabei
umfasst im Sinne der vorliegenden Anmeldung der Begriff „doppelbrechend"
grundsätzlich sämtliche Arten von Doppelbrechung
und insbesondere auch die intrinsische Doppelbrechung, die wie eingangs
erwähnt in kubisch kristallinen Materialien auftritt und
bei in der Mikrolithographie verwendeten Arbeitswellenlängen
z. B. unterhalb von 250 nm zu einer die optischen Eigenschaften
des die Linse enthaltenden optischen Systems beeinflussenden Verzögerung
führt. Durch die erfindungsgemäße Kombination
des doppelbrechenden Materials mit einem nicht doppelbrechenden,
nicht amorphen Material wird erreicht, dass der Effekt der Doppelbrechung
nur in einem Teil der Linse auftritt, so dass eine wesentliche Verringerung
der durch Doppelbrechung bewirkten Verzögerung erzielt
wird.
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Gemäß einer
Ausführungsform weist die Linse wenigstens ein das nicht
doppelbrechende Material aufweisendes erstes Linsenelement und wenigstens
ein das doppelbrechende Material aufweisendes zweites Linsenelement
auf.
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Gemäß einer
Ausführungsform der Erfindung ist das nicht doppelbrechende
Material ein polykristallines Material. Des Weiteren weist gemäß einer
Ausführungsform das zweite Linsenelement wenigstens ein
als Einkristall ausgebildetes Teilelement auf. Der Einkristall kann
insbesondere eine kubische Kristallstruktur aufweisen.
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Die
Erfindung geht von der Erkenntnis aus, dass die Herstellung der
Linse ausschließlich aus keramischem Material zwar einerseits
infolge der zufällig verteilten Orientierungen der darin
enthaltenen Kristallite resultierende Doppelbrechungseffekte vermeiden
würde, da sich die Doppelbrechungseffekte der einzelnen Kristallite
im statistischen Mittel gegenseitig aufheben, andererseits aber
auch einen unter Umständen inakzeptabel hohen Streulichtanteil
zur Folge hat. Demgegenüber kann ein kristallines Material
mit definierter, konstanter Ausrichtung der Kristallachse eine inakzeptable,
durch intrinsische Doppelbrechung (IDB) verursachte Verzögerung
hervorrufen.
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Dadurch,
dass nun gemäß der Erfindung ein doppelbrechendes
Material, welches insbesondere in wenigstens einem Teilelement aus
einem Einkristall aus z. B. kubisch kristallinem, intrinsisch doppelbrechendem Material
vorhanden sein kann, kombiniert wird mit einem polykristallinen
keramischen Material, das sich durch eine statistische und zufällige
Verteilung der Kristallachsen in einer Vielzahl von Kristalliten
im polykristallinen Material auszeichnet, wird die Möglichkeit
geschaffen, einen optimalen Kompromiss zwischen der durch die Linse
verursachten Polarisationsstörung einerseits und dem durch
diese Linse erzeugten Streulicht andererseits einzustellen. Ein
weiterer Vorteil der Erfindung besteht darin, dass infolge des Einsatzes
von polykristallinem Material anstelle eines amorphen Materials
wie etwa Quarzglas (SiO2) die in letzterem
auftretenden Kompaktierungseffekte ganz oder teilweise vermieden
werden können und zudem je nach Auswahl des polykristallinen
Materials höhere Brechungsindizes erzielt werden.
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Gemäß einer
Ausführungsform der Erfindung ist das kristalline Material
ein Material mit kubischer Kristallstruktur. Des Weiteren weist
gemäß einer Ausführungsform der Erfindung
das polykristalline Material Kristallite aus einem Material mit
kubischer Kristallstruktur auf.
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Gemäß einer
Ausführungsform der Erfindung ist das Material mit kubischer
Kristallstruktur aus der Gruppe ausgewählt, welche Kalziumfluorid
(CaF2), Bariumfluorid (BaF2),
Lithiumbariumfluorid (LiBaF3), Granate,
insbesondere Lutetiumaluminiumgranat (Lu3Al5O12) und Yttriumaluminiumgranat
(Y3Al5O12),
und Spinell, insbesondere Magnesiumspinell (MgAl2O4), enthält.
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Gemäß einer
weiteren Ausführungsform weist das polykristalline Material
Kristallite aus einem optisch einachsigen Material auf, beispielsweise
Saphir (Al2O3) oder
Magnesiumfluorid (MgF2), wobei ebenfalls
der erfindungsgemäße Effekt ausgenutzt wird, dass
sich infolge der zufällig verteilten Orientierungen der
im polykristallinen Material enthaltenen Kristallite sich Doppelbrechungseffekte
der einzelnen Kristallite im statistischen Mittel gegenseitig aufheben.
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Gemäß einer
Ausführungsform der Erfindung weisen das doppelbrechende
Material und das nicht doppelbrechende Material die gleiche chemische
Zusammensetzung auf. Dies ist insbesondere deshalb von Vorteil,
weil dann beide Materialien die gleichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten
besitzen, so dass mechanische Verspannungen infolge thermischer
Einflüsse vermieden werden.
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Gemäß einer
Ausführungsform der Erfindung weisen das doppelbrechende
Material und/oder das nicht doppelbrechende Material eine Brechzahl
auf, welche bei einer Arbeitswellenlänge des Projektionsobjektives
wenigstens 1.6, insbesondere wenigstens 1.7, weiter insbesondere
wenigstens 1.8 beträgt.
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Gemäß einer
Ausführungsform der Erfindung weist die Linse ein das nicht
doppelbrechende Material aufweisendes erstes Linsenelement und ein
das doppelbrechende Material aufweisendes zweites Linsenelement
auf. Dabei kann insbesondere das erste Linsenelement eine nicht
planparallele Geometrie aufweisen. Das zweite Linsenelement kann
insbesondere eine planparallele Geometrie aufweisen, in welchem
Falle in einer nachfolgenden Feldebene (insbesondere der Waferebene)
eine örtlich über das Feld konstante Verzögerungsverteilung
erzielt werden kann. Die Erfindung ist jedoch nicht auf derartige
Geometrien beschränkt, wobei insbesondere das erste Teilelement
auch zwei gekrümmte Grenzflächen aufweisen kann,
und wobei das zweite Linsenelement ebenfalls eine oder mehrere gekrümmte
Grenzflächen aufweisen kann.
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Gemäß einer
Ausführungsform der Erfindung ist dabei das zweite, doppelbrechende
Material aufweisende Linsenelement aus wenigstens zwei Teilelementen
zusammengesetzt, welche sich hinsichtlich ihrer Kristallachsenausrichtung
voneinander unterscheiden. Insbesondere weist gemäß einer
Ausführungsform der Erfindung die Linse eine Elementachse
auf, wobei die wenigstens zwei Teilelemente aus kubisch kristallinem Material
mit gleichem Kristallschnitt hergestellt sind und bezüglich
ihrer Kristallachsen relativ zueinander um die Elementachse verdreht
sind. Durch Übertragung dieses für sich z. B.
aus
WO 02/093209
A2 bekannten „Clocking"-Schemas auf die erfindungsgemäße
Linse kann die in dem doppelbrechenden Material hervorgerufene Verzögerung
weiter reduziert werden.
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Die
Erfindung betrifft ferner ein Projektionsobjektiv einer mikrolithographischen
Projektionsbelichtungsanlage, zur Abbildung einer in einer Objektebene
positionierbaren Maske auf eine in einer Bildebene positionierbare
lichtempfindliche Schicht, wobei das Projektionsobjektiv wenigstens
eine erfindungsgemäße Linse, wie vorstehend beschrieben,
aufweist.
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Gemäß einer
Ausführungsform ist diese Linse eine bildebenenseitig letzte
Linse des Projektionsobjektivs. In diesem Falle ist die erfindungsgemäße
Ausgestaltung besonders vorteilhaft, da sich die durch die Erfindung
ermöglichte Reduzierung der insbesondere durch intrinsische
Doppelbrechung verursachten Verzögerung bei der bildebenenseitig
letzten Linse, in welcher wie eingangs erläutert gerade
Materialien mit hohem Brechungsindex (und hoher intrinsischer Doppelbrechung)
bevorzugt zum Einsatz kommen, besonders zum Tragen kommt.
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Gemäß einer
Ausführungsform weist diese Linse eine objektebenenseitig
konvex gekrümmte Linsenfläche auf. Insbesondere
kann die Linse eine Plankonvexlinse sein. in diesen Fällen
ist die erfindungsgemäße Ausgestaltung deshalb
besonders vorteilhaft, weil eine (insbesondere objektebenenseitig
konvex) gekrümmte Linsenfläche bewirkt, dass die
einzelnen Lichtstrahlen unterschiedliche Wege im Material der Linse
zurücklegen, so dass eine in dem Material der Linse bewirkte
Doppelbrechung in einer nachfolgen den Feldebene (Waferebene) eine
unter anderen ortsabhängige Variation der Verzögerung
hervorruft. Durch die erfindungsgemäße Ausgestaltung
kann nun diese ortsabhängige Variation wesentlich reduziert
werden. Hierzu kann insbesondere der Bereich mit gekrümmter
optisch wirksamer Grenzfläche aus nicht doppelbrechendem
Material hergestellt sein, da insoweit das vorstehend beschriebene
Problem der ortsabhängigen Variation der Verzögerung nicht
auftritt, und das doppelbrechende (insbesondere intrinsisch doppelbrechende)
Material kann in einem Bereich von zumindest annähernd
planparalleler Geometrie angeordnet sein.
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Die
Erfindung betrifft ferner eine mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage
sowie ein Verfahren zur Herstellung mikrolithographischer Bauelemente.
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Weitere
Ausgestaltungen der Erfindung sind der Beschreibung sowie den Unteransprüchen
zu entnehmen.
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Die
Erfindung wird nachstehend anhand von in den beigefügten
Abbildungen dargestellten Ausführungsbeispielen näher
erläutert.
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Es
zeigen:
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1 einen
Meridional-Gesamtschnitt durch ein vollständiges katadioptrisches
Projektionsobjektiv gemäß einer Ausführungsform
der Erfindung;
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2 eine
schematische Darstellung des Aufbaus einer Linse in einer Ausführungsform
der Erfindung;
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3 eine
schematische Darstellung des Aufbaus einer Linse in einer weiteren
Ausführungsform der Erfindung;
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4a–b
die durch die erfindungsgemäße Linse von 2 erzeugte
Verzögerung (in nm) in der auf die Linse folgenden Feldebene
bzw. der Bildebene für die Feldmitte (4a)
und den Feldrand (4b);
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5a–b
die durch eine entsprechende Linse gemäß 3 erzeugte
Verzögerung (in nm) für die Feldmitte (5a)
und den Feldrand (5b) für den Fall, dass
das zweite Linsenelement nicht in gegeneinander verdrehte Teilelemente
unterteilt ist;
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6a–b
die durch eine entsprechende Linse erzeugte Verzögerung
(in nm) für die Feldmitte (6a) und
den Feldrand (6b) für den Fall, dass
die gesamte Linse aus einkristallinem Material hergestellt ist;
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7 einen
Meridional-Gesamtschnitt durch ein vollständiges katadioptrisches
Projektionsobjektiv gemäß einer weiteren Ausführungsform
der Erfindung;
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8 eine
schematische Darstellung des Aufbaus einer gemäß einer
Ausführungsform der Erfindung in dem Projektionsobjektiv
von 7 einsetzbaren bildebenenseitig letzten Linse;
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9a–b
die durch die erfindungsgemäße Linse von 8 erzeugte
Verzögerung (in nm) in der auf die Linse folgenden Feldebene
bzw. der Bildebene für die Feldmitte (9a)
und den Feldrand (9b);
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10a–c weitere Ausführungsformen
von Linsen gemäß der vorliegenden Erfindung; und
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11a–c weitere Ausführungsformen
von Linsen gemäß der vorliegenden Erfindung.
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Gemäß 1 ist
ein Projektionsobjektiv 100 gemäß einer
ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dargestellt.
Die Designdaten dieses Projektionsobjektivs 100 sind in
Tabelle 1 aufgeführt. Dabei ist in Spalte 1 die Nummer
der jeweiligen brechenden oder in anderer Weise ausgezeichneten
optischen Fläche, in Spalte 2 der Radius r dieser Fläche
(in mm), in Spalte 3 der Hinweis auf eine an dieser Fläche
ggf. vorhandene Asphäre, in Spalte 4 der als Dicke bezeichnete
Abstand dieser Fläche zur nachfolgenden Fläche
(in mm), in Spalte 5 das auf die jeweilige Fläche folgende
Material, in Spalte 6 die Brechzahl dieses Materials bei ca. λ =
193 nm und in Spalte 7 der optisch nutzbare freie Halbdurchmesser
(in mm) der optischen Komponente angegeben.
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Die
in
1 mit dicken Punkten gekennzeichneten und in den
Tabellen 1 und 2 spezifizierten Flächen sind asphärisch
gekrümmt, wobei die Krümmung dieser Flächen
durch die nachfolgende Asphärenformel gegeben ist:
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Dabei
bezeichnen P die Pfeilhöhe der betreffenden Fläche
parallel zur optischen Achse OA, h der radiale Abstand von der optischen
Achse OA, r der Krümmungsradius der betreffenden Fläche,
cc die (in Tabelle 2 mit K bezeichnete) konische Konstante und C1,
C2, ... die in Tabelle 2 aufgeführten Asphärenkonstanten.
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Gemäß dem
in 1 gezeigten Ausführungsbeispiel weist
das Projektionsobjektiv 100 in einem katadioptrischen Aufbau
ein erstes optisches Teilsystem 110, ein zweites optisches
Teilsystem 120 und ein drittes optisches Teilsystem 130 auf.
Im Sinne der vorliegenden Anmeldung ist unter einem „Teilsystem"
stets eine solche Anordnung optischer Elemente zu verstehen, durch
die ein reales Objekt in ein reales Bild oder Zwischenbild abgebildet
wird. Mit anderen Worten umfasst jedes Teilsystem, ausgehend von
einer bestimmten Objekt- oder Zwischenbildebene, stets sämtliche
optischen Elemente bis zum nächsten realen Bild oder Zwischenbild.
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Das
erste optische Teilsystem 110 umfasst eine Anordnung von
refraktiven Linsen 111–118 und bildet die
Objektebene "OP" in ein erstes Zwischenbild IMI1 ab, dessen ungefähre
Lage in 1 durch einen Pfeil angedeutet
ist. Dieses erste Zwischenbild IMI1 wird durch das zweite optische
Teilsystem 120 in ein zweites Zwischenbild IMI2 abgebildet,
dessen ungefähre Lage in 1 ebenfalls
durch einen Pfeil angedeutet ist. Das zweite optische Teilsystem 120 umfasst
einen ersten Konkavspiegel 121 und einen zweiten Konkavspiegel 122,
welche jeweils in zur optischen Achse OA senkrechter Richtung so „abgeschnitten"
sind, dass eine Lichtausbreitung jeweils von den reflektierenden
Flächen der Konkavspiegel 121, 122 bis
bin zur Bildebene „IP" erfolgen kann. Das zweite Zwischenbild
IMI2 wird durch das dritte optische Teilsystem 130 in die
Bildebene IP abgebildet.
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Das
dritte optische Teilsystem 130 umfasst eine Anordnung von
refraktiven Linsen 131–141. Dabei handelt
es sich bei der bildebenenseitig letzten Linse 141 um eine
Plankonvexlinse mit objektebenenseitig konvex gekrümmter
Linsenfläche. Diese Linse 141 weist den in 2 schematisch
dargestellten Aufbau mit den in Tabelle 3 angegebenen Designparametern
auf, wobei Radien und Dicken analog zu Tabelle 1 definiert und in
Millimeter angegeben sind.
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Zwischen
der Lichtaustrittsfläche der Linse 141 und der
in der Bildebene IP im Betrieb des Projektionsobjektivs 100 angeordneten
lichtempfindlichen Schicht befindet sich eine Immersionsflüssigkeit,
die im Ausführungsbeispiel bei einer Arbeitswellenlänge
von 193 nm einen Brechungsindex von nImm ≈ 1.65
aufweist. Eine zu diesem Zweck beispielsweise geeignete Immersionsflüssigkeit
trägt die Bezeichnung „Dekalin". Eine weitere
geeignete Immersionsflüssigkeit ist Cyclohexan (nImm ≈ 1.57 bei 193 nm).
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2 zeigt
in schematischer Darstellung den Aufbau einer Linse 200,
welche gemäß der Erfindung bei dem Projektionsobjektiv 100 an
Stelle der bildebenenseitig letzten Linse 141 eingesetzt
wird. Die Linse 200 umfasst ein erstes Linsenelement 210 und
ein zweites Linsenelement 220. Beide Linsenelemente 210 und 220 sind
aus Magnesiumspinell hergestellt, wobei das erste Linsenelement 210 aus
polykristallinem Magnesiumspinell und das zweite Linsenelement 220 aus
einkristallinem Magnesiumspinell hergestellt ist. Typische Korngrößen
im polykristallinen Material können im Bereich von etwa
10 μm bis 100 μm liegen.
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Gemäß 2 weist
das erste Linsenelement 210 eine plankonvexe Geometrie
mit einer objektebenenseitigen gekrümmten Lichteintrittsfläche 49 und
einer bildebenenseitigen planen Lichtaustrittsfläche 50 auf. Das
zweite Linsenelement 220 besitzt eine im Wesentlichen planparallele
Geometrie und ist aus insgesamt vier ebenfalls planparallelen Teilelementen 221–224 zusammengesetzt,
wobei die Teilelemente 221 und 223 von zueinander
gleicher Dicke und im [111]-Kristallschnitt ausgebildet sind, und
die Teilelemente 222 und 224 ebenfalls von zueinander
gleicher Dicke und im [100]-Kristallschnitt ausgebildet sind, wobei
unterschiedliche Kristallschnitte hier durch unterschiedliche Schraffuren
veranschaulicht sind. Dabei bedeutet [111]-Kristallschnitt, dass
die mit EA bezeichnete Elementachse, welche gemäß 1 parallel
zur optischen Achse OA des Projektionsobjektivs 100 verläuft,
zumindest annähernd senkrecht auf den [111]-Kristallebenen
oder den dazu äquivalenten Kristallebenen steht. Entsprechend
bedeutet [100]-Kristallschnitt, dass die Elementachse EA zumindest
annähernd senkrecht auf den [100]-Kristallebenen oder den
dazu äquivalenten Kristallebenen steht.
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Gemäß dem
für sich bekannten „Clocking"-Schema sind die
Teilelemente 222 und 224 im [100]-Kristallschnitt
unter einem Winkel von 45° relativ zueinander um die Elementachse
EA verdreht, und die Teilelemente 221 und 223 im
[111]-Kristallschnitt sind um die Elementachse EA um einen Winkel
von 60° relativ zueinander verdreht.
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Geeignete,
konkrete Designparameter der Linse 200 für den
Fall des Einsatzes in dem Projektionsobjektiv 100 von 1 (anstelle
der bildseitig letzten Linse 141) sind in Tabelle 3 angegeben.
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Ferner
sind gemäß 2 das erste
Linsenelement 210 und das zweite Linsenelement 220 an
der Lichtaustrittsfläche des ersten Linsenelementes 210 im
Wesentlichen optisch nahtlos aneinander gefügt, was beispielsweise
mittels Ansprengen erfolgen kann. Ein weiteres geeignetes Verfahren
ist das sogenannte Fusions-Bonden oder Fusionsfügen („Fusion-Bonding"),
bei welchem die Oberflächen vor dem Aneinanderfügen chemisch
aktiviert werden. Gemäß einer weiteren Ausgestaltung
kann auch ein Spalt zwischen den Linsenelementen zugelassen werden,
welcher zur Vermeidung von Totalreflexion an der Grenzfläche
vorzugsweise mit einer hochbrechenden bzw. an das Linsenmaterial
angepassten Flüssigkeit gefüllt wird.
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Die
Erfindung ist nicht auf die Ausbildung des ersten und zweiten Linsenelementes 210, 220 aus
Magnesiumspinell beschränkt. Es können andere
kristalline bzw. polykristalline Materialien zum Einsatz kommen. Des
Weiteren können das erste und das zweite Linsenelement 210, 220 aus
unterschiedlichen Materialien (z. B. Lutetiumaluminiumgranat (LuAG)
und Magnesiumspinell) hergestellt sein. Dabei wird dann vorzugsweise das
der Bild- bzw. Waferebene zugewandte Linsenelement aus dem Material
mit höherer Brechzahl im Vergleich zu dem der Objektebene
zugewandten Linsenelement hergestellt (also z. B. das der Bildebene
zugewandte Linsenelement aus Lutetiumaluminiumgranat und das der
Objektebene zugewandte Linsenelement aus Magnesiumspinell).
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Darüberhinaus
ist auch die Ausbildung des zweiten Teilelements 220 nicht
auf die dargestellte Ausführungsform der Zusammensetzung
aus vier Teilelementen 221–224 beschränkt.
So können selbstverständlich auch mehr oder weniger
Teilelemente (z. B. nur zwei Teilelemente im [100]-Kristallschnitt,
welche unter einem Winkel von 45° relativ zueinander um
die Elementachse EA verdreht sind, oder auch nur zwei Teilelemente
im [111]-Kristallschnitt, welche um die Elementachse EA um einen
Winkel von 60° relativ zueinander verdreht sind), vorgesehen
sein. Im Falle der Anordnung von mehr als zwei Teilelementen gleichen
Kristallschnitts werden die Winkel, um welche die Teilelemente gemäß dem
Clocking-Schema gegeneinander verdreht sind, entsprechend angepasst.
Des Weiteren können bei der Zusammensetzung des zweiten
Linsenelementes 220 aus Teilelementen auch Teilelemente
aus unterschiedlichen Materialien miteinander kombiniert werden.
Ferner können anstelle der Anordnung von Teilelementen
im [100]- oder [111]-Kristallschnitt auch Teilelemente im [110]-Kristallschnitt
zur Ausbildung des zweiten Linsenelements gewählt werden,
wobei diese im Falle von zwei Teilelementen im [110]-Kristallschnitt
gemäß dem Clocking-Schema vorzugsweise um einen
Winkel von 90° um die Elementachse EA gegeneinander verdreht
angeordnet sind.
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Die
Erfindung ist ferner generell nicht auf die Zusammensetzung des
zweiten Linsenelementes 220 aus gegeneinander verdrehten
Teilelementen beschränkt. So kann gemäß 3 eine
erfindungsgemäße Linse 300 auch aus einem
ersten Linsenelement 310 aus nicht doppelbrechendem (insbesondere
polykristallinem) Material und einem nicht in weitere Teilelemente
unterteilten zweiten Linsenelement 320 aus doppelbrechendem
(insbesondere intrinsisch doppelbrechendem bzw. kubisch kristallinem)
Material zusammengesetzt sein. In diesen Falle wird infolge der
planparallelen Geometrie des aus einkristallinem Material hergestellten Teilelementes 320 ebenfalls
in vorteilhafter Weise eine unerwünschte Feldabhängigkeit
der durch intrinsische Doppelbrechung bewirkten Verzögerung
in einer auf die Linse 300 folgenden Feldebene zumindest
weitgehend vermieden. Die gemäß 3 nicht
vorgenommene Anwendung des „Clocking"-Schemas hat dann
eine größere, IDB-bedingte Restverzögerung
zur Folge, die anderenorts in dem Projektionsobjektiv 100 teilweise oder
vollständig kompensiert werden kann.
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Durch
die vorstehend unter Bezugnahme auf 2 beschriebene
Kombination von gegeneinander verdrehten Linsen des gleichen Kristallschnitts
werden innerhalb des Linsenelementes 220 gemäß dem
bekannten "Clocking"-Schema homogene Gruppen mit azimutal symmetrischer
Verteilung der durch intrinsische Doppelbrechung bewirkten Verzögerung
gebildet. Durch die weitere Kombination von [111]-Material mit [100]-Material
wird eine weitere, gegenseitige Kombination der Verzögerungen
aus den einzelnen Gruppen und damit eine Reduzierung der für
die maximale Verzögerung in der Doppelbrechungsverteilung
erhaltenen Werte erreicht, wie im Weiteren unter Bezugnahme auf 4–6 erläutert
wird.
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Zur
quantitativen Diskussion der erfindungsgemäß erzielten
Effekte wird im Weiteren auf 4–6 Bezug genommen. Dabei zeigen 4a–b
die durch die erfindungsgemäße Linse von 2 erzeugte
Verzögerung (in nm), und zwar sowohl in der Feldmitte (4a)
als auch am Feldrand (4b) in der auf die Linse folgenden
Feldebene (d. h. der Bildebene IM bzw. der Waferebene). 5a–b
zeigen die entsprechenden Vergleichsergebnisse für den
Fall, dass das zweite, aus einkristallinem Material hergestellte
Linsenelement gemäß 3 nicht
in weitere, gegeneinander verdrehte Teilelemente unterteilt ist.
Des Weiteren zeigen 6a–b entsprechende
Vergleichsergebnisse für eine nicht erfindungsgemäß ausgestaltete
Linse mit gleichen äußeren Abmessungen, nämlich
für den Fall, dass die gesamte Linse (mit den äußeren
Abmessungen entsprechend dem Beispiel von 2) aus einkristallinem
Material (Magnesiumspinell) hergestellt ist.
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Ein
Vergleich der Ergebnisse von 5 und 6 zeigt, dass infolge der erfindungsgemäßen
Ausgestaltung nur des planparallelen Teilelements 220 aus
einkristallinem Material eine wesentliche Reduzierung der Feldabhängigkeit
der Verzögerung (d. h. des Unterschiedes zwischen den in
der Feldmitte und am Feldrand erhaltenen Verzögerungen)
erreicht wird. Ein Vergleich der Ergebnisse von 4 und 5 zeigt weiter, dass durch die darüberhinaus
vorgenommene Unterteilung des Linsenelements 220 in gegeneinander
verdrehte Teilelemente 221–224 nochmals
eine wesentliche Reduzierung der IDB-bedingten Verzögerung
erzielt wird, wobei die entsprechende Verzögerung gemäß Vergleich
von 4a und 4b nahezu
keine Feldabhängigkeit mehr aufweist.
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Gemäß 7 ist
ein Projektionsobjektiv 700 gemäß einer
weiteren Ausführungsform der Erfindung dargestellt. Die
Designdaten dieses Projektionsobjektivs 700 sind in zu
Tabelle 1 analoger Weise in Tabelle 4 aufgeführt, wobei
die in Tabelle 5 spezifizierten Flächen asphärisch
gekrümmt sind und die Krümmung dieser Flächen
durch die obige Asphärenformel (1) gegeben ist.
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Das
Projektionsobjektiv 700 umfasst ein erstes refraktives
Teilsystem 710, ein zweites katadioptrisches Teilsystem 730 und
ein drittes refraktives Teilsystem 740 und wird daher auch
als „RCR-System" bezeichnet. Das erste refraktive Teilsystem 710 umfasst
refraktive Linsen 711 bis 720, nach denen im Strah lengang
ein erstes Zwischenbild IMI1 erzeugt wird. Das zweite Teilsystem 730 umfasst
einen Doppelfaltspiegel mit zwei in einem Winkel zueinander angeordneten
Spiegelflächen 731 und 732, wobei von
dem ersten Teilsystem 710 eintreffendes Licht zunächst
an der Spiegelfläche 73] in Richtung zu Linsen 733, 734 und 735 und einem
nachfolgenden Konkavspiegel 736 reflektiert wird. Der Konkavspiegel 736 ermöglicht
in für sich bekannter Weise eine effektive Kompensation
der durch die Teilsysteme 710 und 740 erzeugten
Bildfeldkrümmung. Das an dem Konkavspiegel 736 reflektierte
Licht wird nach erneuter Durchquerung der Linsen 733, 734 und 735 an
der zweiten Spiegelfläche 732 des Doppelfaltspiegels
reflektiert, so dass die optische Achse OA im Ergebnis zweimal um
90° gefaltet wird. Das zweite Teilsystem 730 erzeugt
ein zweites Zwischenbild IMI2, und das von diesem ausgehende Licht
trifft auf das dritte, refraktive Teilsystem 740, welches
refraktive Linsen 741 bis 751 umfasst. Durch das
dritte, refraktive Teilsystem 740 wird das zweite Zwischenbild
IMI2 auf die Bildebene IP abgebildet.
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8 zeigt
in schematischer Darstellung den Aufbau einer Linse 800,
welche gemäß der Erfindung bei dem Projektionsobjektiv 700 an
Stelle der bildebenenseitig letzten Linse 751 eingesetzt
wird. Die Linse 800 umfasst ein erstes Linsenelement 810 und
ein zweites Linsenelement 820. Beide Linsenelemente 810 und 820 sind
aus Magnesiumspinell hergestellt, wobei das erste Linsenelement 810 aus
polykristallinem Magnesiumspinell. Das zweite Linsenelement 820 ist
analog zur obigen Beschreibung von 2 aus einkristallinem
Magnesiumspinell hergestellt und aus insgesamt vier ebenfalls planparallelen
Teilelementen 821–824 zusammengesetzt,
wobei die Teilelemente 821 und 823 von zueinander
gleicher Dicke und im [111]-Kristallschnitt ausgebildet sind, und
wobei die Teilelemente 822 und 824 ebenfalls von
zueinander gleicher Dicke und im [100]-Kristallschnitt ausgebildet
sind, wobei unterschiedliche Kristallschnitte hier durch unterschiedliche
Schraffuren veranschaulicht sind. Gemäß dem für
sich bekannten „Clocking"-Schema sind die Teilelemente 822 und 824 im [100]-Kristallschnitt
unter einem Winkel von 45° relativ zueinander um die Elementachse
EA verdreht, und die Teilelemente 821 und 823 im
[111]-Kristallschnitt sind um die Elementachse EA um einen Winkel
von 60° relativ zueinander verdreht. Geeignete, konkrete
Designparameter der Linse 800 für den Fall des
Einsatzes in dem Projektionsobjektiv 700 von 7 (anstelle
der bildseitig letzten Linse 751) sind in Tabelle 6 angegeben.
-
9a–c
zeigen in zu 4a–b analoger Darstellung
die durch die erfindungsgemäße Linse von 8 erzeugte
Verzögerung (in nm), und zwar sowohl in der Feldmitte (9a)
als auch am Feldrand (9b) in der auf die Linse folgenden
Feldebene (d. h. der Bildebene IP bzw. der Waferebene).
-
10a–c zeigen weitere Ausgestaltungen
erfindungsgemäßer Linsen 900, 910 und 920 mit
von den Ausführungsformen aus 2, 3 bzw. 8 abweichenden
Geometrien der Linsen- bzw. Teilelemente. Bezüglich beispielhafter
Materialien wird auf (z. B. Lutetiumaluminiumgranat oder Magnesiumspinell)
wird auf die vorstehenden Ausführungsbeispiele Bezug genommen.
-
Gemäß 10a weist eine Linse 900 ein erstes Linsenelement 901 aus
polykristallinem Material und ein zweites Linsenelement 902 aus
einen Einkristall auf, wobei in Abwandlung der Ausführungsform
von 3 beide Linsenelemente 901, 902 jeweils
eine gekrümmte Lichteintrittsfläche und eine gekrümmte
Lichtaustrittsfläche aufweisen. Bei der Linse 910 weist
hingegen das zweite Linsenelement 912 eine plane Lichtaustrittsfläche
auf. 10c zeigt eine Abwandlung der
Ausführungsform von 2 bzw. 8,
bei welcher die Teilelemente 922, 923 und 924 des
zweiten Linsenelements 926 jeweils zwei gekrümmte
Grenzflächen (d. h. jeweils eine gekrümmte Lichteintrittsfläche
und eine gekrümmte Lichtaustrittsfläche) aufweisen
und bei der das Teilelement 925 eine gekrümmte
Lichteintrittsfläche und eine plane Lichtaustrittsfläche
aufweist. Ferner weist das erste Linsenelement 921 aus
polykristallinem Material eine gekrümmte Lichteintrittsfläche
und eine gekrümmte Lichtaustrittsfläche auf. Wie
aus 10a–c ferner ersichtlich,
sind in diesen Ausführungsformen jeweils benachbarte Linsen-
bzw. Teilelemente derart ausgestaltet, dass eine konvexe Oberfläche
eines Linsen- bzw. Teilelementes einer konkaven Oberfläche
des benachbarten Linsen bzw. Teilelementes zugewandt ist, wobei die
konvexe Oberfläche und die konkave Oberfläche
betragsmäßig übereinstimmende Krümmungsradien
aufweisen.
-
11a–c zeigen weitere Ausgestaltungen
erfindungsgemäßer Linsen 930, 940 und 950,
welche ebenfalls jeweils aus einem ersten Linsenelement 932, 942 bzw. 955 sowie
einem zweiten Linsenelement 931, 941 bzw. 956 zusammengesetzt
sind und sich von den Ausführungsformen von 10a–c dadurch unterscheiden, dass jeweils
das erste Linsenelement 932, 942 bzw. 955,
welches aus nicht doppelbrechendem Material hergestellt ist, näher
zur Bildebene IP angeordnet ist als das zweite Linsenelement 931, 941 bzw. 956. Auch
bei diesen Ausführungsformen weist, insoweit analog zu 10a–c, das näher zur Bildebene
IP angeordnete Linsenelement 932, 942 bzw. 955 die
höhere Brechzahl auf. Beispielsweise kann das näher
zur Bildebene IP angeordnete Linsenelement 932, 942 bzw. 955 aus
Lutetiumaluminiumgranat hergestellt sein, und das andere (zweite)
Linsenelement 931, 941 bzw. 956 kann
aus Magnesiumspinell hergestellt sein.
-
Wenn
die Erfindung auch anhand spezieller Ausführungsformen
beschrieben wurde, erschließen sich für den Fachmann
zahlreiche Variationen und alternative Ausführungsformen,
z. B. durch Kombination und/oder Austausch von Merkmalen einzelner
Ausführungsformen. Dementsprechend versteht es sich für
den Fachmann, dass derartige Variationen und alternative Ausführungsformen
von der vorliegenden Erfindung mit umfasst sind, und die Reichweite
der Erfindung nur im Sinne der beigefügten Patentansprüche
und deren Äquivalente beschränkt ist.
-
Tabelle 1 (DESIGNDATEN zu Fig. 1):
-
- (NA = 1.55; Wellenlänge 193.368 nm)
-
| Fläche | Radius | | Dicke | Material | Brechzahl | Halbdurchmesser |
| 0 | 0.000000 | | 29.999023 | Luft | 1.00030962 | 63.700 |
| 1 | 0.000000 | | 2.279759 | Luft | 1.00030962 | 76.315 |
| 2 | 176.503428 | AS | 19.449749 | SIO2 | 1.56082901 | 87.021 |
| 3 | 301.863693 | | 48.828642 | Stickstoff | 1.00030755 | 87.212 |
| 4 | 132379.533600 | | 10.115930 | SIO2 | 1.56082901 | 94.813 |
| 5 | –132379.533600 | | 7.086658 | Stickstoff | 1.00030755 | 96.183 |
| 6 | 129.885644 | AS | 31.646444 | SIO2 | 1.56082901 | 105.328 |
| 7 | 414.797041 | | 23.116389 | Stickstoff | 1.00030755 | 104.882 |
| 8 | 328.653053 | | 62.714642 | SIO2 | 1.56082901 | 106.849 |
| 9 | –200.846369 | AS | 26.926053 | Stickstoff | 1.00030755 | 105.422 |
| 10 | 162.091380 | | 25.614312 | SIO2 | 1.56082901 | 71.544 |
| 11 | –2742.160033 | AS | 16.259689 | Stickstoff | 1.00030755 | 66.669 |
| 12 | 0.000000 | | 2.070568 | Stickstoff | 1.00030755 | 55.145 |
| 13 | 0.000000 | | 20.978473 | Stickstoff | 1.00030755 | 55.591 |
| 14 | 0.000000 | | 15.419840 | SIO2 | 1.56082901 | 60.057 |
| 15 | 0.000000 | | 37.608478 | Stickstoff | 1.00030755 | 62.236 |
| 16 | –80.508809 | | 22.542998 | SIO2 | 1.56082901 | 63.568 |
| 17 | –131.513946 | AS | 28.539024 | Stickstoff | 1.00030755 | 78.035 |
| 18 | –1195.522874 | | 42.586646 | SIO2 | 1.56082901 | 98.216 |
| 19 | –145.245452 | AS | 37.887162 | Stickstoff | 1.00030755 | 100.652 |
| 20 | 0.000000 | | 233.757882 | Stickstoff | 1.00030755 | 100.813 |
| 21 | –186.277397 | AS | –233.757882 | Spiegel | 1.00030755 | 156.076 |
| 22 | 197.848010 | AS | 233.757882 | Spiegel | 1.00030755 | 146.559 |
| 23 | 0.000000 | | 58.486469 | Stickstoff | 1.00030755 | 110.373 |
| 24 | 198.905557 | | 39.778328 | SIO2 | 1.56082901 | 113.285 |
| 25 | 127.550025 | AS | 67.325990 | Stickstoff | 1.00030755 | 105.934 |
| 26 | 921.411626 | AS | 9.999460 | SIO2 | 1.56082901 | 97.980 |
| 27 | 141.746650 | | 6.260643 | Stickstoff | 1.00030755 | 93.877 |
| 28 | 126.813884 | AS | 14.975992 | SIO2 | 1.56082901 | 96.972 |
| 29 | 172.444790 | | 36.297804 | Stickstoff | 1.00030755 | 96.857 |
| 30 | 411.107798 | | 29.225233 | SIO2 | 1.56082901 | 106.582 |
| 31 | 416.940587 | AS | 12.027300 | Stickstoff | 1.00030755 | 113.734 |
| 32 | 300.909685 | AS | 17.597084 | SIO2 | 1.56082901 | 121.131 |
| 33 | 546.919390 | | 28.400546 | Stickstoff | 1.00030755 | 124.144 |
| 34 | –1090.233557 | AS | 54.902690 | SIO2 | 1.56082901 | 146.230 |
| 35 | –345.553480 | | 0.896624 | Stickstoff | 1.00030755 | 148.586 |
| 36 | –2104.723079 | AS | 38.092035 | SIO2 | 1.56082901 | 150.545 |
| 37 | –280.829679 | | 0.897971 | Stickstoff | 1.00030755 | 153.639 |
| 38 | 196.658080 | | 77.518174 | SIO2 | 1.56082901 | 155.561 |
| 39 | –1112.387628 | AS | 16.994395 | Stickstoff | 1.00030755 | 151.666 |
| 40 | 0.000000 | | –0.362185 | Stickstoff | 1.00030755 | 147.663 |
| 41 | 0.000000 | | –15.041594 | Stickstoff | 1.00030755 | 147.832 |
| 42 | 194.964925 | | 61.067133 | SIO2 | 1.56082901 | 134.520 |
| 43 | 5658.540393 | AS | 0.901496 | Stickstoff | 1.00030755 | 129.583 |
| 44 | 164.256398 | | 35.684114 | SIO2 | 1.56082901 | 101.068 |
| 45 | 1589.693230 | AS | 0.967303 | Stickstoff | 1.00030755 | 93.667 |
| 46 | 72.866658 | | 58.578635 | Spinell | 1.92033299 | 60.608 |
| 47 | 0.000000 | | 3.100000 | Immersions-fluid | 1.65000000 | 24.533 |
| 48 | 0.000000 | | 0.000000 | | | 15.926 |
Tabelle 2: (ASPHÄRISCHE KONSTANTEN
zu Fig. 1):
| Fläche | 2 | 6 | 9 | 11 | 17 |
| K | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| C1 | 2.279104e-08 | –7.930505e-08 | 6.216198e-08 | 1.460975e-07 | 4.367748e-09 |
| C2 | –3.253421e-12 | –3.850987e-12 | –3.371820e-12 | –1.310947e-11 | –2.715140e-12 |
| C3 | 3.111865e-16 | –1.045407e-16 | 1.045891e-16 | 1.517731e-15 | –2.022338e-16 |
| C4 | –4.409481e-20 | –9.221402e-21 | –7.453020e-21 | –6.554786e-19 | 5.810486e-21 |
| C5 | 4.393372e-24 | 1.808584e-25 | 1.074267e-24 | 1.050574e-22 | –3.897495e-24 |
| C6 | –3.033323e-28 | –9.982742e-30 | –6.051596e-29 | –8.101704e-27 | 4.550106e-28 |
| C7 | 7.997299e-33 | 1.132838e-33 | 1.546433e-33 | 3.751786e-31 | –4.132905e-32 |
| | | | | | |
| Fläche | 19 | 21 | 22 | 25 | 26 |
| K | 0 | –1.90513 | –1.34151 | 0 | 0 |
| C1 | 1.119571e-08 | –2.484566e-08 | 1.707576e-08 | –1.133501e-07 | 3.630547e-08 |
| C2 | 9.712434e-13 | 1.939260e-13 | 8.281825e-14 | –7.991537e-12 | –3.676212e-12 |
| C3 | 3.593279e-17 | –3.941821e-18 | 1.321100e-18 | –2.565846e-17 | –5.444770e-16 |
| C4 | 3.373615e-22 | 6.161936e-23 | 1.978783e-23 | 7.157710e-21 | 3.683056e-20 |
| C5 | 1.482762e-25 | –1.035488e-27 | –6.350847e-29 | –3.226279e-25 | –3.327336e-25 |
| C6 | –7.988272e-30 | 1.283522e-32 | 1.180285e-32 | 1.520727e-29 | 1.095455e-28 |
| C7 | 4.387026e-34 | –8.628852e-38 | –3.266560e-38 | –2.978403e-33 | –1.129369e-32 |
| | | | | | |
| Fläche | 28 | 31 | 32 | 34 | 36 |
| K | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| C1 | –5.792062e-08 | 1.248136e-07 | 1.932510e-08 | 6.433710e-08 | –4.522417e-08 |
| C2 | –5.475640e-12 | –3.968401e-12 | –3.474695e-12 | –1.035629e-12 | 1.068701e-12 |
| C3 | 2.969576e-16 | –1.450630e-16 | 3.191019e-17 | 9.259126e-17 | –2.444816e-17 |
| C4 | –2.678262e-20 | 1.270839e-20 | 7.232014e-21 | –7.465966e-21 | 1.121389e-21 |
| C5 | –1.537173e-26 | –1.218672e-26 | –3.688223e-25 | 2.453015e-25 | –6.070141e-26 |
| C6 | 4.012222e-29 | –3.425876e-29 | 6.184144e-30 | –3.266434e-30 | 9.522298e-31 |
| C7 | –4.270139e-33 | 1.110938e-33 | 1.274222e-34 | 7.728689e-36 | 6.796820e-36 |
| Fläche | 39 | 43 | 45 | | |
| K | 0 | 0 | 0 | | |
| C1 | 3.540471e-08 | –2.718682e-08 | 4.730728e-08 | | |
| C2 | 6.150203e-13 | 3.382076e-12 | 1.854447e-12 | | |
| C3 | –1.855199e-17 | –2.466591e-16 | 1.428589e-16 | | |
| C4 | –8.107469e-22 | 1.524967e-20 | –2.099648e-20 | | |
| C5 | 1.986152e-26 | –5.406066e-25 | 2.722720e-24 | | |
| C6 | 3.346099e-32 | 1.031268e-29 | –1.727104e-28 | | |
| C7 | –4.557053e-37 | –6.171837e-35 | 7.080683e-33 | | |
Tabelle 3 (DESIGNDATEN zur Linse 200 aus
Fig. 2):
| Fläche | 49 | 50 | 51 | 52 | 53 | 54 |
| Radius | 72.8667 | 0.000000 | 0.000000 | 0.000000 | 0.000000 | 0.000000 |
| Dicke | 28.5786 | 9.00000 | 6.00000 | 9.00000 | 6.00000 | 3.10000 |
-
Tabelle 4 (DESIGNDATEN zu 7):
-
- (NA = 1.55; Wellenlänge 193.368 nm)
-
| Fläche | Radius | Dicke | Material | Brechzahl | Halbdurchmesser |
| 0 | 0,000000 | 35,802907 | | | 61,0 |
| 1 | 940,206900 | 16,882524 | SIO2 | 1,560482 | 75,9 |
| 2 | –300,754255 | 22,030582 | | | 78,1 |
| 3 | –4521,006251 | 34,877318 | SIO2 | 1,560482 | 88,4 |
| 4 | –182,958204 | 40,832698 | | | 90,8 |
| 5 | 1451,943817 | 36,375775 | SIO2 | 1,560482 | 92,1 |
| 6 | –158,031432 | 0,999050 | | | 93,5 |
| 7 | 164,309687 | 33,773170 | SIO2 | 1,560482 | 80,1 |
| 8 | –998,756952 | 0,999782 | | | 76,5 |
| 9 | 111,524017 | 21,160815 | SIO2 | 1,560482 | 60,9 |
| 10 | 302,493679 | 10,350259 | | | 55,3 |
| 11 | –563,880791 | 12,610445 | SIO2 | 1,560482 | 50,6 |
| 12 | 101,957385 | 23,148388 | | | 41,2 |
| 13 | –203,808315 | 44,402657 | SIO2 | 1,560482 | 46,9 |
| 14 | –150,967082 | 44,069348 | | | 65,3 |
| 15 | –190,776189 | 34,229471 | SIO2 | 1,560482 | 87,9 |
| 16 | –155,974610 | 8,538552 | | | 99,1 |
| 17 | –464,194468 | 45,914592 | SIO2 | 1,560482 | 114,5 |
| 18 | –161,444023 | 0,999684 | | | 118,2 |
| 19 | –971,979534 | 50,720079 | SIO2 | 1,560482 | 123,5 |
| 20 | –176,354614 | 70,999764 | | | 127,1 |
| 21 | 0,000000 | –135,683099 | REFL | | 112,0 |
| 22 | –171,645098 | –62,110718 | SIO2 | 1,560482 | 106,7 |
| 23 | 743,347974 | –129,839769 | | | 103,7 |
| 24 | 239,435437 | –12,500000 | SIO2 | 1,560482 | 70,3 |
| 25 | –191,284689 | –61,464735 | | | 68,6 |
| 26 | 83,612903 | –12,500000 | SIO2 | 1,560482 | 70,1 |
| 27 | 426,726176 | –30,308356 | | | 90,0 |
| 28 | 132,247839 | 30,308356 | REFL | | 93,4 |
| 29 | 426,726176 | 12,500000 | SIO2 | 1,560482 | 89,6 |
| 30 | 83,612903 | 61,464735 | | | 70,3 |
| 31 | –191,284689 | 12,500000 | SIO2 | 1,560482 | 69,3 |
| 32 | 239,435437 | 129,839769 | | | 72,2 |
| 33 | 743,347974 | 62,110718 | SIO2 | 1,560482 | 113,3 |
| 34 | –171,645098 | 135,683099 | | | 115,7 |
| 35 | 0,000000 | –72,999883 | REFL | | 110,3 |
| 36 | –219,632010 | –55,565664 | SIO2 | 1,560482 | 119,3 |
| 37 | 720,919039 | –0,999342 | | | 117,4 |
| 38 | –181,965205 | –29,556438 | SIO2 | 1,560482 | 104,6 |
| 39 | –379,465211 | –93,027468 | | | 100,6 |
| 40 | 120,056526 | –9,999656 | SIO2 | 1,560482 | 77,4 |
| 41 | –125,965179 | –45,411068 | | | 76,0 |
| 42 | 331,427684 | –9,999910 | SIO2 | 1,560482 | 81,4 |
| 43 | 720,985333 | –8,980505 | | | 91,0 |
| 44 | –390,301439 | –42,434532 | SIO2 | 1,560482 | 116,1 |
| 45 | 444,904964 | –20,424539 | | | 122,2 |
| 46 | 325,846357 | –39,849502 | SIO2 | 1,560482 | 127,8 |
| 47 | 183,749611 | –0,999936 | | | 133,4 |
| 48 | –780,939705 | –62,916449 | SIO2 | 1,560482 | 152,5 |
| 49 | 303,973062 | –0,999855 | | | 153,5 |
| 50 | –334,700219 | –53,392539 | SIO2 | 1,560482 | 148,7 |
| 51 | 1998,113076 | –34,933494 | | | 144,8 |
| 52 | 0,000000 | 33,933754 | | | 132,5 |
| 53 | –184,712410 | –67,738306 | SIO2 | 1,560482 | 128,8 |
| 54 | 1610,185436 | –0,999289 | | | 123,2 |
| 55 | –129,619368 | –31,727084 | 5102 | 1,560482 | 90,6 |
| 56 | –356,717172 | –0,998396 | | | 84,6 |
| 57 | –68,614826 | –57,454090 | SPINELL | 1,910000 | 58,4 |
| 58 | 0,000000 | –3,000000 | Immersionsfluid | 1,650000 | 23,6 |
| 59 | 0,000000 | 0,000000 | | | 15,3 |
Tabelle 5: (ASPHÄRISCHE KONSTANTEN
zu Fig. 7):
| Fläche | 1 | 5 | 11 | 14 | 15 |
| K | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| C1 | –9,23E-08 | –1,47E-07 | 2,21F-07 | 1,53E-07 | 3,35E-08 |
| C2 | –1,46E-12 | –4,57E-13 | 1,10E-11 | 6,05E-12 | –3,37E-12 |
| C3 | –7,92E-17 | 7,53E-16 | –3,47E-14 | 9,56E-16 | 1,28E-16 |
| C4 | –9,65E-21 | –7,11E-20 | 1,39E-17 | 5,91E-20 | 4,78E-21 |
| C5 | 8,46E-25 | 3,26E-24 | –2,94E-21 | 9,43E-24 | –4,37E-26 |
| C6 | –1,54E-28 | –6,28E-29 | 2,58E-25 | –2,81E-27 | 2,91E-30 |
| | | | | | |
| Fläche | 19 | 23 | 27 | 29 | 33 |
| K | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| C1 | –4,76E-08 | –2,12E-08 | 6,89E-08 | 6,89E-08 | –2,12E-08 |
| C2 | 5,82E-13 | –1,08E-13 | –3,50E-12 | –3,50E-12 | –1,08E-13 |
| C3 | –1,58E-17 | 1,40E-17 | 3,47E-16 | 3,47E-16 | 1,40E-17 |
| C4 | 2,43E-22 | –6,64E-22 | –2,26E-20 | –2,26E-20 | –6,64E-22 |
| C5 | –1,14E-26 | 2,60E-26 | 8,15E-25 | 8,15E-25 | 2,60E-26 |
| C6 | 1,22E-31 | –5,40E-31 | 4,93E-30 | 4,93E-30 | –5,40E-31 |
| | | | | | |
| Fläche | 37 | 40 | 43 | 44 | 46 |
| K | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| C1 | –1,07E-08 | –1,84E-07 | –1,09E-07 | 2,38E-08 | 4,17E-08 |
| C2 | 3,67E-13 | 6,42F-12 | –1,53F-12 | –1,04E-12 | –8,30E-13 |
| C3 | –1,08E-17 | –1,69E-15 | 8,17E-18 | 1,59E-16 | –5,81E-17 |
| C4 | 1,64E-22 | 1,76E-19 | 8,36E-21 | –8,22E-21 | –1,33E-21 |
| C5 | –2,52E-27 | –1,30E-23 | –1,55E-24 | 2,50E-25 | –1,47E-26 |
| C6 | 5,10E-32 | 4,17E-28 | 2,03E-28 | –2,67E-30 | 3,14E-30 |
| C7 | | –8,44E-34 | | | |
| C8 | | –4,88E-38 | | | |
| C9 | | –2,88E-42 | | | |
| C10 | | –1,72F-46 | | | |
| C11 | | –1,05E-50 | | | |
| C12 | | –6,42E-55 | | | |
| C13 | | –3,98E-59 | | | |
| | | | | | |
| Fläche | 49 | 51 | 54 | 56 | |
| K | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| C1 | 1,10E-08 | –2,72E-08 | 8,35E-09 | 6,50E-08 | |
| C2 | –9,79E-13 | 9,74E-13 | –4,89E-12 | –2,16E-11 | |
| C3 | –1,25E-18 | 3,32E-17 | 6,25E-16 | 1,59E-15 | |
| C4 | 8,96E-22 | –5,21E-21 | –4,10E-20 | –1,04E-19 | |
| C5 | –2,64E-26 | 2,04E-25 | 1,35E-24 | 2,39E-24 | |
| C6 | 1,78E-31 | –2,57E-30 | –1,91E-29 | 1,05E-29 | |
Tabelle 6 (DESIGNDATEN zur Linse 800 aus
Fig. 8):
| Fläche | 56 | 57 | 58 | 59 | 60 | 61 |
| Radius | 68.6148 | 0.000000 | 0.000000 | 0.000000 | 0.000000 | 0.000000 |
| Dicke | 34.4541 | 6.90000 | 4.60000 | 6.90000 | 4.60000 | 3.00000 |
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- - US 2006/0012885
A1 [0004]
- - WO 02/093209 A2 [0019]
