JP2008046641A5

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Publication number: JP2008046641A5
Application number: JP2007211846A
Authority: JP
Filing date: 2007-08-15
Publication date: 2010-09-30
Anticipated expiration: 2027-08-15

Claims

マイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズであって、
光軸（ＯＡ）を有しており、マスクのイメージを投影するために用いられ、当該マスクは対物面において、イメージ面内に位置付けされる感光性コーティング上に位置付けされ、
当該投影対物レンズは以下のものを有しており：すなわち、
・少なくとも１つのレンズ（１４３、２５５、３６０、４７０）を有しており、当該レンズは少なくとも１つの湾曲されたレンズ表面を有しており、固有複屈折材料から成る少なくとも４つのレンズ部材（１４３ａ〜１４３ｄ、２５５ａ〜２５５ｄ、３６０ａ〜３６０ｄ、４７０ａ〜４７０ｄ）から組み立てられており、当該レンズ部材は、前記光軸（ＯＡ）に沿って相互に隣接して連続するように配列されており；
・前記４つのレンズ部材は２組のレンズ部材から成り、ここで当該２つの組は相互に異なる結晶カットを有しており、各組のレンズ部材は同じ結晶カットを有しており、相互に相対的に光軸（ＯＡ）を中心とした回転オフセットを伴って配置されており、
前記４つのレンズ部材のうちの２つは結晶（１１１）カットを有しており、前記４つのレンズ部材のうちの他の２つは結晶（１００）カットを有しており、
前記レンズ部材のうちの３つは凸状表面を有しており、当該凸状表面は前記レンズ部材のうちの隣接するレンズ部材の凹状表面に面している、ことを特徴とする、マイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズ。
前記４つのレンズ部材は、前記２種類の結晶カットが交互の順序となるよう連続している、請求項１記載の投影対物レンズ。
マイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズであって、
光軸（ＯＡ）を有しており、マスクのイメージを投影するために用いられ、当該マスクは対物面において、イメージ面内に位置付けされる感光性コーティング上に位置付けされ、
当該投影対物レンズは以下のものを有しており：すなわち、
・少なくとも１つのレンズ（５８０）を有しており、当該レンズは固有複屈折材料から成る少なくとも４つのレンズ部材（５８０ａ〜５８０ｄ）から組み立てられており、当該レンズ部材は、前記光軸（ＯＡ）に沿って相互に隣接して連続するように配列されており；・当該４つのレンズ部材（５８０ａ〜５８０ｄ）のうちの少なくとも１つに対しては、前記光軸（ＯＡ）は前記レンズ部材（５８０ａ〜５８０ｄ）の結晶方位に対して平行であり、当該結晶方位は結晶（１００）方位、結晶（１１０）方位および結晶（１１１）方位並びに結晶（１００）、（１１０）または（１１１）方位に相当する各結晶方位とは異なる、
ことを特徴とする、マイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズ。
前記４つのレンズ部材（５８０ａ〜５８０ｄ）のうちの全てに対して、前記光軸（ＯＡ）は前記各レンズ部材の結晶方位に対して平行であり、当該結晶方位は、結晶（１００）方位、結晶（１１０）方位および結晶（１１１）方位並びに結晶（１００）、（１１０）または（１１１）方位に相当する各結晶方位とは異なる、請求項３記載の投影対物レンズ。
前記レンズ部材のうちの少なくとも２つは、湾曲された境界によって相互に分けられている、請求項１から４までのいずれか１項記載の投影対物レンズ。
前記レンズ部材の連続する全てのレンズ部材は、湾曲された境界によって相互に分けられている、請求項１から５までのいずれか１項記載の投影対物レンズ。
前記１つまたは複数の境界はそれぞれ前記光軸（ＯＡ）に関して回転対称である、請求項５または６記載の投影対物レンズ。
相互に向かい合っており、前記レンズ部材のうちの隣接するレンズ部材に属している少なくとも２つの表面は曲率半径を有しており、当該曲率半径の絶対値の差は、前記曲率半径のより大きいものの１０％より少なく、有利には３％より少なく、より有利には１％より少ない、請求項１から７までのいずれか１項記載の投影対物レンズ。
相互に向かい合っており、前記レンズ部材のうちの隣接するレンズ部材に属している少なくとも２つの表面は同じ絶対値の曲率半径を有している、請求項１から８までのいずれか１項記載の投影対物レンズ。
相互に向かい合っており、前記レンズ部材のうちの隣接するレンズ部材に属している少なくとも２つの表面は、前記表面のうちの１つの表面の各点で、前記表面に対する通常の方向において２ミリメータ（ｍｍ）を下回る距離、有利には１ミリメートル（ｍｍ）を下回る距離、さらに有利には０．５ミリメートル（ｍｍ）を下回る距離を有している、請求項１から９までのいずれか１項記載の投影対物レンズ。
前記レンズ部材のうちの少なくとも２つは光軸（ＯＡ）に対して回転対称に配置されている、請求項１から１０までのいずれか１項記載の投影対物レンズ。
前記レンズ部材のうちの全ては光軸（ＯＡ）に対して回転対称に配置されている、請求項１から１１までのいずれか１項記載の投影対物レンズ。
前記レンズ部材のうちの少なくとも２つは少なくとも１つの球面レンズ表面を有している、請求項１から１２までのいずれか１項記載の投影対物レンズ。
前記レンズ部材の各々は少なくとも１つの球面レンズ表面を有している、請求項１から１３までのいずれか１項記載の投影対物レンズ。
前記レンズ部材のうちの少なくとも２つは少なくとも１つの非球面レンズ表面を有している、請求項１から１４までのいずれか１項記載の投影対物レンズ。
前記レンズ部材の少なくとも２つは光学的にシームレスに結合されている、請求項１から１５までのいずれか１項記載の投影対物レンズ。
前記レンズ部材の全ては光学的にシームレスに結合されている、請求項１から１６までのいずれか１項記載の投影対物レンズ。
前記レンズ部材の少なくとも２つは、相互にギャップによって分けられている、請求項１から１６までのいずれか１項記載の投影対物レンズ。
前記ギャップは液体によって満たされている、請求項１８記載の投影対物レンズ。
前記液体は、隣接するレンズ部材の材料の屈折率から僅か３０％、殊に僅か２０％、特に１０％だけ異なる屈折率を有している、請求項１９記載の投影対物レンズ。
前記レンズ（１４３、２５５、３６０、４７０、５８０）は、前記対物面の側に面している凸状湾曲レンズ表面（４３、５５、６０、７０、８０）を有している、請求項１から２０までのいずれか１項記載の投影対物レンズ。
前記レンズ（１４３、２５５、３６０、４７０、５８０）はプレーナ凸レンズである、請求項１から２１までのいずれか１項記載の投影対物レンズ。
前記レンズ（１４３、２５５、３６０、４７０、５８０）は、投影対物レンズ（１００）のイメージ面の側への最後の位置にある、請求項１から２２までのいずれか１項記載の投影対物レンズ。
前記レンズ部材は、ガーネットを含むグループから選択された材料から成り、殊にルテチウムアルミニウムガーネット（Ｌｕ₃Ａｌ₅Ｏ₁₂）およびイットリウムアルミニウムガーネット（Ｙ₃Ａｌ₅Ｏ₁₂）、フッ化リチウムバリウム（ＬｉＢａＦ₃）およびスピネル、殊にマグネシウムスピネル（ＭｇＡｌ₂Ｏ₄）から成る、請求項１から２３までのいずれか１項に記載された投影対物レンズ。
マイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズであって、
光軸（ＯＡ）を有しており、マスクのイメージを投影するために用いられ、当該マスクは対物面において、イメージ面内に位置付けされる感光性コーティング上に位置付けされ、
当該投影対物レンズは以下のものを有しており：すなわち、
・少なくとも１つのレンズを有しており、当該レンズはルテチウムアルミニウムガーネット（Ｌｕ₃Ａｌ₅Ｏ₁₂）の少なくとも４つのレンズ部材（１４３ａ〜１４３ｄ、２５５ａ〜２５５ｄ、３６０ａ〜３６０ｄ、４７０ａ〜４７０ｄ）から成り、当該レンズ部材は、前記光軸に沿って相互に連続するように配列されており；
・当該４つのレンズ部材のうちの２つは結晶（１１１）カットを有しており、前記光軸（ＯＡ）を中心に回転オフセットを伴って相互に相対的に配列されており；
・当該４つのレンズ部材のうちの他の２つは結晶（１００）カットを有しており、前記光軸を中心に回転オフセットを伴って相互に相対的に配列されている、
ことを特徴とする、マイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズ。
前記４つのレンズ部材は前記光軸（ＯＡ）に沿って、相互に隣接して連続している、請求項２５記載の投影対物レンズ。
前記４つのレンズ部材は、自身の結晶カットに関して交互の順序で相互に連続している、請求項２５または２６記載の投影対物レンズ。
マイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズであって、
少なくとも１つのレンズを有しており、当該レンズは少なくとも２つのレンズ部材から組み立てられており、当該レンズ部材はルテチウムアルミニウムガーネット（Ｌｕ₃Ａｌ₅Ｏ₁₂）から成り、
前記レンズ部材は同じ結晶カットを有しており、光軸（ＯＡ）を中心とした回転オフセットを伴って相互に相対的に配置されている、
ことを特徴とする、マイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズ。
マイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズであって、
少なくとも１つのレンズを有しており、当該レンズは少なくとも４つのレンズ部材から組み立てられており、当該レンズ部材はルテチウムアルミニウムガーネット（Ｌｕ₃Ａｌ₅Ｏ₁₂）から成る、
ことを特徴とする、マイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズ。
マイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズであって、
少なくとも１つのレンズを有しており、当該レンズは少なくとも２つのレンズ部材から組み立てられており、当該レンズ部材はフッ化リチウムバリウム（ＬｉＢａＦ₃）から成り、
前記レンズ部材は同じ結晶カットを有しており、光軸（ＯＡ）を中心とした回転オフセットを伴って相互に相対的に配置されている、
ことを特徴とする、マイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズ。
前記少なくとも１つのレンズは少なくとも４つのレンズ部材から組み立てられており、当該レンズ部材はフッ化リチウムバリウム（ＬｉＢａＦ₃）から成り、
前記４つのレンズ部材のうちの２つは結晶（１１１）カットを有しており、光軸（ＯＡ）を中心とした回転オフセットを伴って相互に相対的に配置されており、
前記４つのレンズ部材のうちの他の２つは結晶（１００）カットを有しており、光軸を中心とした回転オフセットを伴って相互に相対的に配置されている、
請求項３０記載のマイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズ。
殊に、マイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズ用のレンズであって、
・当該レンズ（１４３、２５５）はルテチウムアルミニウムガーネット（Ｌｕ₃Ａｌ₅Ｏ₁₂）から成る少なくとも４つのレンズ部材（１４３ａ〜１４３ｄ、２５５ａ〜２５５ｄ）から組み立てられており、当該レンズ部材は光軸に沿って相互に連続するように配置されており；
・前記４つのレンズ部材のうちの２つは結晶（１１１）カットを有しており、光軸を中心とした回転オフセットを伴って相互に相対的に配置されており；
・前記４つのレンズ部材のうちの他の２つは結晶（１００）カットを有しており、光軸を中心とした回転オフセットを伴って相互に相対的に配置されている、
ことを特徴とする、マイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズ用のレンズ。
前記４つのレンズ部材は、前記光軸（ＯＡ）に沿って相互に隣接して連続している、請求項３２記載のレンズ
前記４つのレンズ部材は、自身の結晶カットに関して交互の順序で相互に連続している、請求項３２または３３記載の投影対物レンズ。
殊に、マイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズ用のレンズであって、
前記レンズは、ルテチウムアルミニウムガーネット（Ｌｕ₃Ａｌ₅Ｏ₁₂）から成る少なくとも４つのレンズ部材から組み立てられている、
ことを特徴とする、マイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズ用のレンズ。
殊に、マイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズ用のレンズであって、
・当該レンズ（５８０）はレンズ軸に対して回転対称であり、固有複屈折材料の少なくとも４つのレンズ部材（５８０ａ〜５８０ｄ）から組み立てられており、当該レンズ部材は光軸（ＯＡ）に沿って相互に隣接して連続して配列されており；
・前記４つのレンズ部材（５８０ａ〜５８０ｄ）のうちの少なくとも１つに対しては、レンズ軸は各レンズ部材の結晶方位に対して平行であり、当該結晶方位は、結晶（１００）方位、結晶（１１０）方位および結晶（１１１）方位並びに結晶（１００）、（１１０）または（１１１）方位に相当する各結晶方位とは異なっている、
ことを特徴とする、マイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズ用のレンズ。
前記４つのレンズ部材（５８０ａ〜５８０ｄ）のうちの全てに対して、レンズ軸は各レンズ部材の結晶方位に対して平行であり、当該結晶方位は、結晶（１００）方位、結晶（１１０）方位および結晶（１１１）方位並びに結晶（１００）、（１１０）および（１１１）方位に相当する各結晶方位とは異なっている、請求項３６記載のレンズ。
照明装置および投影対物レンズを伴うマイクロリソグラフィ投影露光装置であって、
当該投影対物レンズは請求項１〜３１のうちのいずれか１項に従って構成されている、ことを特徴とする、マイクロリソグラフィ投影露光装置。
マイクロ構造化コンポーネントのマイクロリソグラフィによる製造方法であって、
・感光性材料製のコーティングによって少なくとも部分的に被覆された基板（６０６）を設けるステップと；
・イメージが形成されるべき構造を有するマスク（６０４）を設けるステップと；
・請求項３８記載の投影露光装置（６００）を設けるステップと；
・前記投影露光装置（６００）を用いて、前記コーティングの領域上に、前記マスク（６０４）の少なくとも一部分を投影するステップを含む、
ことを特徴とする製造方法。
請求項３９記載の方法により製造されるマイクロ構造コンポーネント。