JP2003095697A - 封着用組成物 - Google Patents

封着用組成物

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    • C03C8/00Enamels; Glazes; Fusion seal compositions being frit compositions having non-frit additions
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来のビスマス系ガラスを用いた封着用組成
物における問題点を解消することができ、且つ耐火物フ
ィラーを含有させても低温での封着が可能であり、また
熱膨張係数がそれほど高くなく、しかも安定性の良い封
着用組成物を提供することを課題とする。 【解決手段】 実質的にPbOを含有せず、荷重軟化点
(Td)が500℃以下のビスマス系ガラス粉末60〜
95重量%と耐火物フィラー5〜40重量%を含有する
封着用組成物である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は封着用組成物に関
し、詳しくは実質的に鉛を含有しない封着用組成物に関
する。
【0002】
【従来の技術】従来、封着用組成物はPbO−SiO
−B系等の鉛ガラス粉末とPbTiOのような
セラミックスフィラーからなるのが一般的であった。し
かし近年、鉛を含むガラスは環境上の観点から使用が避
けられる傾向が出てきている。このような中で、鉛成分
を含まずに低温で封着できる組成物の開発が急がれてい
る。鉛を含まない低融点ガラスとしては、リン酸塩ガラ
ス、硼珪酸塩ガラス、アルカリ珪酸塩ガラスなどが知ら
れているが、その中で低温での焼成が可能、即ちガラス
の低融化及び化学的耐久性の観点から、ビスマス系ガラ
スが着目されている。しかし、これまでに開発されてき
たビスマス系ガラスの大部分は低融点ではあるが、熱膨
張係数が高い、若しくは安定性が悪い等の問題点があっ
た。例えば、特開平9−278483号公報に開示され
ているBi系ガラスは、ZnO量が少ないため熱
膨張係数が大きいという問題がある。またZnOが多く
含まれるガラスも開発されているが(特開平10−13
9478号公報)、Bi量が多くてAl
含有されていないため、ガラスの化学的耐久性に問題が
ある。またBi量が多いためにガラスの安定性が
悪く、フィラーを含有させて熱処理を行うと結晶化が促
進され、十分な封着ができないという問題があった。そ
れ故、低融点であり、且つ熱膨張係数がそれほど高くな
く、更に安定性の良いビスマス系ガラスの開発、及び該
ガラスと耐火物フィラーからなる封着用組成物の開発が
強く望まれていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、上記
従来のビスマス系ガラスを用いた封着用組成物における
問題点を解消し、且つ耐火物フィラーを含有させても低
温での封着が可能で、熱膨張係数がそれほど高くなく、
しかも安定性のよい封着用組成物を提供することを課題
とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記の課
題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、荷重軟化点が5
00℃以下のビスマス系ガラス粉末と耐火物フィラーを
含有する組成物が上記課題を解決することを見出し、こ
の知見に基づいて本発明を完成するに至った。即ち、本
発明の封着用組成物は、実質的にPbOを含有せず、荷
重軟化点(Td)が500℃以下のビスマス系ガラス粉
末60〜95重量%と耐火物フィラー5〜40重量%を
含有することを第1の特徴としている。また本発明の封
着用組成物は、上記第1の特徴に加えて、ビスマス系ガ
ラス粉末が、重量%表示で、Bi:50〜85
%、ZnO:10〜25%、CaO、SrO及びBaO
の内の少なくとも1種:0.2〜20%、Al
0.1〜5%、B:2〜20%の組成を有するこ
とを第2の特徴としている。また本発明の封着用組成物
は、上記第1又は第2の特徴に加えて、ビスマス系ガラ
ス粉末が、重量%表示で、Bi:65〜76%、
ZnO:13〜20%、CaO、SrO及びBaOの内
の少なくとも1種:0.5〜10%、Al:0.
5〜1.5%、B:5〜12%の組成を有するこ
とを第3の特徴としている。また本発明の封着用組成物
は、上記第2又は第3の特徴に加えて、ビスマス系ガラ
ス粉末が、SiOを4重量%以下含有することを第4
の特徴としている。また、本発明の封着用組成物は、上
記第2〜4の何れかの特徴に加えて、ビスマス系ガラス
粉末が、CuO(x=0.5又は1)、FeO(y
=1又は1.5)及びWOの内の少なくとも1種を5
重量%以下含有することを第5の特徴としている。また
本発明の封着用組成物は、上記第2〜5の何れかの特徴
に加えて、ビスマス系ガラス粉末が、Pを10重
量%以下含有することを第6の特徴としている。また本
発明の封着用組成物は、上記第2〜6の何れかの特徴に
加えて、ビスマス系ガラス粉末が、SnO(z=1又
は2)を10重量%以下含有することを第7の特徴とし
ている。また本発明の封着用組成物は、上記第2〜7の
何れかの特徴に加えて、ビスマス系ガラス粉末が、Li
O、NaO及びKOの内の少なくとも1種を5重
量%以下含有することを第8の特徴としている。また本
発明の封着用組成物は、上記第2〜8の何れかの特徴に
加えて、ビスマス系ガラス粉末が、REO(RE=Y
又はランタノイド元素、q=1.5又は2)を3重量%
以下含有することを第9の特徴としている。また本発明
の封着用組成物は、上記第1〜9の何れかの特徴に加え
て、耐火物フィラーがセラミックスフィラーと石英ガラ
スフィラーの内の少なくとも1種であることを第10の
特徴としている。また本発明の封着用組成物は、上記第
10の特徴に加えて、セラミックスフィラーが、コージ
ェライト、β−ユークリプタイト、チタン酸アルミニウ
ム、ジルコン、ムライト、β−スポジュメン、アルミ
ナ、セルシアン、ウィレマイト、リン酸ジルコニウム、
シリカの内の少なくとも1種からなることを第11の特
徴としている。
【0005】
【発明の実施の形態】本発明の封着用組成物を構成する
ビスマス系ガラスの組成及び物性の限定理由を下記に説
明する。なお本発明で言う「実質的にPbOを含有せ
ず」とは、PbO等の鉛を主成分とする原料を一切使用
しないの意であり、ガラスを構成する各成分の原料中の
不純物に由来する微量の鉛が混入したガラスを排除する
ものではない。また本発明で言う「荷重軟化点」とは、
熱機械分析装置(TMA)を用い、ガラスロッド及び標
準試料の石英ガラスロッドにそれぞれ10g重の荷重を
かけて室温から10K/minで昇温して得られたTM
A曲線の最大長さとなった時の温度とする。
【0006】ビスマス系ガラスの荷重軟化点は、500
℃以下であることが必須である。荷重軟化点が500℃
を超えると、封着する材料の物性を損なうことなく封着
することが困難になる。
【0007】Biは本発明のガラスの網目を形成
する酸化物であり、50〜85重量%の範囲で含有させ
ることが好ましい。Biが50重量%未満の場
合、ガラスが得られることはあるが、荷重軟化点が高く
なりすぎるおそれがある。また85重量%を超えると、
熱膨張係数が高くなりすぎるおそれがある。Bi
の含有量は、荷重軟化点、熱膨張係数等を考慮すると、
65〜76重量%であることがより好ましい。
【0008】ZnOは熱膨張係数を下げ、且つ荷重軟化
点を下げる成分であり、10〜25重量%の範囲で含有
させることが好ましい。ZnOが10重量%未満の場
合、熱膨張係数が高くなりすぎるおそれがある。また2
5重量%を超えると、ガラスの安定性が悪くなり、ガラ
スが得られなくなるおそれがある。ZnOの含有量は、
荷重軟化点、熱膨張係数、ガラスの安定性等を考慮する
と、13〜20重量%であることがより好ましい。
【0009】CaO、SrO、BaOは、熱膨張係数を
より上昇させる成分であるが、更にZnOとの共存によ
り荷重軟化点を下げ、且つガラスの安定性を向上させる
成分であり、それらの内の1種以上を合計で0.2〜2
0重量%の範囲で含有させることが好ましい。CaO、
SrO、BaOが合計で0.2重量%未満の場合、ガラ
スの安定性を向上させる効果が小さい。また20重量%
を超えると、熱膨張係数が高くなりすぎるおそれがあ
る。CaO、SrO、BaOの含有量は、熱膨張係数、
荷重軟化点、ガラスの安定性等を考慮すると、合計で
0.5〜10重量%であることがより好ましい。
【0010】Alは熱膨張係数を下げ、且つガラ
スの安定性を向上させる成分であり、0.1〜5重量%
の範囲で含有させることが好ましい。Alが0.
1重量%未満の場合、熱膨張係数が高くなりすぎるおそ
れがあると共に、ガラスの安定性が向上しない。また5
重量%を超えると、原料が未溶融物として残るおそれが
ある。Alの含有量は、熱膨張係数、ガラスの安
定性、溶融性等を考慮すると、0.5〜1.5重量%で
あることがより好ましい。
【0011】Bは熱膨張係数を下げ、ガラスの安
定性を向上させる成分であり、2〜20重量%含有させ
ることが好ましい。Bが2重量%未満の場合、ガ
ラスの安定性が向上しない。20重量%を超えると、軟
化点が高くなりすぎるおそれがある。Bの含有量
は、熱膨張係数、ガラスの安定性、荷重軟化点等を考慮
すると、5〜12重量%であることがより好ましい。
【0012】上記成分の他に、必要に応じてSiO
4重量%以下含有させることができる。上記範囲でSi
を含有させることにより、熱膨張係数を下げ、ガラ
スの安定性を向上させる。4重量%超えて含有させる
と、Bに比べて急激に軟化点が高くなるおそれが
ある。
【0013】また上記成分の他に、必要に応じてCuO
(x=0.5又は1)、FeO(y=1又は1.
5)及びWOの内の1種以上を合計で5重量%以下含
有させることができる。CuO(x=0.5又は1)
を上記範囲で含有させることにより、荷重軟化点を低下
させることができる。またFeO(y=1又は1.
5)及びWOを上記範囲で含有させることにより、荷
重軟化点をそれほど上昇させずに熱膨張係数を低下させ
ることができる。
【0014】また上記成分の他に、必要に応じてP
を10重量%以下含有させることができる。上記範囲
でPを含有させることによりガラスの安定性が向
上する。
【0015】また上記成分の他に、必要に応じてSnO
(z=1又は2)を10重量%以下含有させることが
できる。上記範囲でSnO(z=1又は2)を含有さ
せることにより荷重軟化点を低下させることができる。
【0016】また上記成分の他に、必要に応じてLi
O、NaO及びKOの内の1種以上を合計で5重量
%以下含有させることができる。上記範囲でLiO、
Na O、KOを含有させることにより、ガラスの安
定性を向上させ、且つ荷重軟化点を低下させることがで
きる。
【0017】また上記成分の他に、必要に応じてREO
(RE=Y又はランタノイド元素、q=1.5又は
2)を3重量%以下含有させることができる。上記範囲
でREO(RE=Y又はランタノイド元素、q=1.
5又は2)を含有させることにより、ガラスの安定性が
向上する。上記のビスマス系ガラスを得るための原料と
しては、上記ガラスの酸化物になり得るような化合物で
あれば特に制限はない。
【0018】本発明の封着用組成物において、ビスマス
系ガラス粉末の量は、ビスマス系ガラスと耐火物フィラ
ーとの総量に対して60〜95重量%の範囲であり、耐
火物フィラーの量は総量に対して5〜40重量%の範囲
であることが必須である。耐火物フィラーが5重量%未
満では、ビスマス系ガラスの熱膨張係数が大きいために
封着する材料との熱膨張係数の差が大きくなりすぎ、封
着が不十分となり、所望の性能が得られなくなるおそれ
がある。また耐火物フィラーが40重量%を超えると、
封着が困難となるおそれがある。
【0019】耐火物フィラーは、セラミックスフィラー
と石英ガラスフィラーの内の少なくとも1種とすること
ができる。また前記セラミックスフィラーとしては、コ
ーディエライト、β−ユークリプタイト、チタン酸アル
ミニウム、ジルコン、ムライト、β−スポジュメン、ア
ルミナ、セルシアン、ウィレマイト、リン酸ジルコニウ
ム、シリカ(α−クォーツ、クリストバライト、トリジ
マイト)の内の少なくとも1種を用いることが好まし
い。これらのフィラーを用いることにより、種々の基材
に対し十分な封着を行うことができる。
【0020】
【実施例】以下に実施例を上げて本発明を更に詳細に説
明するが、本発明はこれらの実施例により何ら限定され
るものではない。なお実施例において使用した原料は、
Bi、ZnO、Ca(OH)、SrCO、B
aCO、Al(OH)、HBO、SiO、C
uO、Fe、WO、NHPO、SnO
、LiCO、NaCO、KNO、Y
La、CeOである。
【0021】実施例において、ガラスの荷重軟化点(T
d)、ガラスと耐火物フィラーの混合物のフロー温度及
び熱膨張係数(α)は下記の方法により測定した。 (1)荷重軟化点(Td) ガラスを直径約5mm、長さ15〜20mmのロッド状
に加工し、熱機械分析装置(TMA)を用い、石英ガラ
スを標準試料とし、荷重をそれぞれ10g重として、室
温から10K/minで昇温して得られたTMA曲線よ
り、最大長さとなった時の温度を荷重軟化点(Td)と
した。 (2)フロー温度 ガラス粉末と耐火物フィラーを所定の割合で混合し、そ
の混合粉末を直径約10mm、長さ12〜15mmのロ
ッドになるようにプレス成形する。このロッドをアルミ
ナ板上にのせ、所定温度へ上昇させる。所定温度でロッ
ドが変形して屈曲し、アルミナ板上に倒れた時の温度を
フロー温度とした。 (3)熱膨張係数(α) 上記で示したフローで得た焼結体をロッド状に加工し、
(1)と同様にして熱機械分析装置(TMA)を用いて
得た熱膨張曲線より50〜350℃の平均値の線熱膨張
係数を求めた。
【0022】実施例1 ガラス組成が重量%表示で、Bi:65%、Zn
O:25%、SrO:0.5%、Al:2%、B
:7.5%となるように各成分原料を調合する。
これを電気炉中で1000℃まで上昇させた白金ルツボ
に入れ、2時間溶融し、双ロール法で急冷してガラスフ
レークを得ると共に、予め加熱しておいた鉄板に流し出
してブロックを作製した。その後、ブロックは予想され
るガラス転移点より約50℃高い温度に設定した電気炉
に入れて徐冷を行った後、切り出して研磨し、荷重軟化
点を測定するサンプルとした。ガラスフレークは粉砕を
行い、粉末とした。このガラスの荷重軟化点を上記方法
に従って測定したところ、450℃であった。また耐火
物フィラーとしてコージェライトを選定し、総量に対し
て5重量%になるように混合してフローさせたところ、
フロー温度は496℃であり、封着する材料であるアル
ミナ基板との密着性は良好であった。これを切り出し、
上記の方法で熱膨張係数を測定したところ78×10
−7/Kであった。結果を表1に示す。
【0023】実施例2〜31 表に示すガラス組成となるように各成分原料を調合し、
ガラス粉末とガラスブロックを作製した。各ガラス粉末
と耐火物フィラーを表に示す割合で混合し、実施例1と
同様のテストを行った。結果を表1〜4に示す。
【0024】
【表1】
【0025】
【表2】
【0026】
【表3】
【0027】
【表4】
【0028】以上の実施例から明らかなように、本発明
の封着用組成物は低温で封着が可能であることがわか
る。
【0029】
【発明の効果】本発明は以上の構成及び作用からなり、
本発明の封着用組成物によれば、鉛等の環境汚染のおそ
れがある物質を含有せず、しかも低温での封着が可能
で、熱膨張係数がそれほど高くなく、しかも安定性もよ
い。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 谷上 嘉規 兵庫県西宮市浜松原町2番21号 日本山村 硝子株式会社内 Fターム(参考) 4G062 AA08 AA09 BB07 DA01 DA02 DA03 DB02 DB03 DC03 DC04 DD01 DD02 DD03 DE04 DF01 EA01 EA02 EA03 EA10 EB01 EB02 EB03 EC01 EC02 EC03 ED01 EE01 EE02 EE03 EE04 EF01 EF02 EF03 EF04 EG01 EG02 EG03 EG04 FA01 FA10 FB01 FC01 FD01 FE01 FE02 FE03 FF01 FG01 FH01 FJ01 FJ02 FJ03 FK01 FL01 FL02 FL03 GA06 GA07 GB01 GC01 GD01 GE01 HH01 HH03 HH04 HH05 HH07 HH08 HH09 HH11 HH12 HH13 HH15 HH17 HH20 JJ01 JJ03 JJ05 JJ07 JJ10 KK01 KK02 KK03 KK04 KK05 KK06 KK07 KK08 KK10 MM08 NN29 NN32 PP02 PP03 PP06 PP09 PP11

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 実質的にPbOを含有せず、荷重軟化点
    (Td)が500℃以下のビスマス系ガラス粉末60〜
    95重量%と耐火物フィラー5〜40重量%を含有する
    ことを特徴とする封着用組成物。
  2. 【請求項2】 ビスマス系ガラス粉末が、重量%表示
    で、 Bi :50〜85% ZnO :10〜25% CaO、SrO及びBaOの内の少なくとも1種 :
    0.2〜20% Al :0.1〜5% B :2〜20% の組成を有することを特徴とする請求項1に記載の封着
    用組成物。
  3. 【請求項3】 ビスマス系ガラス粉末が、重量%表示
    で、 Bi :65〜76% ZnO :13〜20% CaO、SrO及びBaOの内の少なくとも1種 :
    0.5〜10% Al :0.5〜1.5% B :5〜12% の組成を有することを特徴とする請求項1又は2に記載
    の封着用組成物。
  4. 【請求項4】 ビスマス系ガラス粉末が、SiOを4
    重量%以下含有することを特徴とする請求項2又は3に
    記載の封着用組成物。
  5. 【請求項5】 ビスマス系ガラス粉末が、CuO(x
    =0.5又は1)、FeO(y=1又は1.5)及び
    WOの内の少なくとも1種を5重量%以下含有するこ
    とを特徴とする請求項2〜4の何れかに記載の封着用組
    成物。
  6. 【請求項6】 ビスマス系ガラス粉末が、Pを1
    0重量%以下含有することを特徴とする請求項2〜5の
    何れかに記載の封着用組成物。
  7. 【請求項7】 ビスマス系ガラス粉末が、SnO(z
    =1又は2)を10重量%以下含有することを特徴とす
    る請求項2〜6の何れかに記載の封着用組成物。
  8. 【請求項8】 ビスマス系ガラス粉末が、LiO、N
    O及びKOの内の少なくとも1種を5重量%以下
    含有することを特徴とする請求項2〜7の何れかに記載
    の封着用組成物。
  9. 【請求項9】 ビスマス系ガラス粉末が、REO(R
    E=Y又はランタノイド元素、q=1.5又は2)を3
    重量%以下含有することを特徴とする請求項2〜8の何
    れかに記載の封着用組成物。
  10. 【請求項10】 耐火物フィラーがセラミックスフィラ
    ーと石英ガラスフィラーの内の少なくとも1種であるこ
    とを特徴とする請求項1〜9の何れかに記載の封着用組
    成物。
  11. 【請求項11】 セラミックスフィラーが、コージェラ
    イト、β−ユークリプタイト、チタン酸アルミニウム、
    ジルコン、ムライト、β−スポジュメン、アルミナ、セ
    ルシアン、ウィレマイト、リン酸ジルコニウム、シリカ
    の内の少なくとも1種からなることを特徴とする請求項
    10に記載の封着用組成物。
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