JP2002245692A - 光ディスク製造装置及び製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 コンパクトで生産速度の速い光ディスク製造
装置を提供することができ、しかも品質の高い光ディス
クの生産が可能なこと。 【解決手段】 情報が記録されたディスク基板を成形す
る成形機と、前記ディスク基板を冷却するための冷却ユ
ニットと、前記成形機から前記ディスク基板を前記冷却
ユニットに移載する第１の移載手段と、前記冷却機構か
ら前記ディスク基板を第１の搬送手段の受け部に載置す
る第２の移載手段と、前記第１の搬送手段から前記ディ
スク基板を順次受取ってその情報が記録された面に反射
膜を形成する成膜装置と、前記ディスク基板が載置され
る受け部を複数備えて一定角度づつ間欠的に回転する第
２の搬送手段と、前記ディスク基板を表裏反転する反転
手段と、前記反転されたディスク基板と、液状接着剤が
供給されている別のディスク基板とを重ね合わせる重ね
合わせ機構と、前記重ね合わされた２枚のディスク基板
を回転処理するスピンナ装置と、前記回転処理されたデ
ィスク基板に紫外線を照射して硬化させる硬化装置とを
備えた光ディスク製造装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】 本発明は、記録された情報
を光で読み取ることが可能な光ディスクの製造、及び２
枚のディスク基板の貼り合わせなどに関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】 光ディスクにより、記録容量を増大さ
せる技術が発展普及してきており、さらにその記録容量
をより高密度化する傾向にある。例えば、２層の構造
で、両面から１層づつ記録している光ディスクでＤＶＤ
−９と称する８．５ギガバイトの記録容量のものがあ
る。この種の光ディスクの製造方法としては、例えば２
台の成形機により予め別々の情報を記録したディスク基
板それぞれを成形し、その後でそれぞれの記録面に反射
率の異なる反射膜を２台のスパッタリング装置により形
成し、これらの記録面側同士を向かい合わせて貼り合わ
せるものである。この場合の反射膜は違う反射材料を用
いて別々の反射率にする場合と、同一の材料を用い厚み
を変えて反射率を別々にする場合とがある。

【０００３】 また、１層の構造で、片面に１層を記録
している光ディスクでＤＶＤ−５と称する４．７ギガバ
イトの記録容量のものがある。これは、例えば２台の成
形機により予め情報を記録したディスク基板と情報の記
録されていないディスク基板とをそれぞれを成形し、そ
の後で１台のスパッタリング装置により記録面だけに反
射膜を形成し、記録面を持たないディスク基板には反射
膜を形成しない場合と、記録面を持たないディスク基板
に別のスパッタリング装置で反射率の違う反射膜を形成
する場合とがあり、これらを貼り合わせることにより得
られる。

【０００４】 このような光デイスクは、ディジタル・
バーサタイル・ディスク（ＤＶＤ）にせよ、コンパクト
・ディスク（ＣＤ）にせよディスク基板は成形機で製作
されるが、その成形時にかなりの熱で樹脂材料を軟化さ
せて成形するので、成形機から出力されたディスク基板
の温度は高く、したがって、その温度を常温程度まで低
下させた後でスパッタリング装置により反射膜を形成し
なければならない。この冷却は、一般に直線的に動く搬
送機構の各受け台上に、双方の成形機からのディスク基
板を平面状に順次載置して、冷却風などを吹きつけて搬
送する過程で行われる。したがって、この部分の機構で
は大型化してしまうという問題があり、またディスク基
板の上面にほこりなどが付着する可能性がある。

【０００５】 また、別々の反射膜を形成する工程から
２枚のディスク基板を重ね合わせる工程においても、ス
パッタリング装置のような成膜装置を２台用意し、それ
ぞれの成膜装置で異なる反射率の反射膜が形成された２
枚のディスク基板をそれぞれのラインで移載装置まで搬
送し、その移載装置や重ね合わせ装置などに２枚のディ
スク基板を重ね合わせているが、移動する距離が長くな
るのでディスク基板の上面にほこりなどが付着する可能
性が高くなり、またその占有面積を小さくできないばか
りか、搬送に時間を要する。ここで、光ディスクは貼り
合わせ面にほこりなどが混入すると、正確に情報が読み
取れない場合が生じるので、製造過程でディスク基板の
貼り合わせ面にほこりなどが混入するのは避けなければ
ならない。クリーンルームで製造を行えばこの問題は解
決するのであるが、コストや他の生産ラインなどの関係
もあり、クリーンルームで製造を行うことは実際上難し
い。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】 いずれにせよ従来の
製造装置では、１台で２種類のディスク基板を同時に製
作する成形機、１台で２種類の反射膜を形成できるスパ
ッタリング装置のような成膜装置を用いようが用いまい
が、搬送機構及び移載機構そのもの、及び組み合わせに
難点があり、ディスク基板の成形工程から重ね合わせ工
程までの搬送ラインが長く、時間を要するためにほこり
などが混入する可能性が高く、またその部分の小形化が
できないなどの問題があった。

【０００７】 したがって、本発明では光ディスクの製
造ラインの移載動作及び搬送動作をできるだけ旋回動
作、回転動作の組み合わせとして、小形化とライン長を
短くしてそれらに要する時間を短縮し、ほこりの混入の
可能性を低減することを主な課題としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】 この課題を解決するた
めに、本発明に係る請求項１の発明では、２枚のディス
ク基板を貼り合わせてなる光ディスク基板を製作する光
ディスク製造装置において、情報が記録されたディスク
基板を成形する成形機と、前記ディスク基板を冷却する
ための冷却ユニットと、前記成形機から前記ディスク基
板を前記冷却ユニットに移載する第１の移載手段と、前
記冷却機構から前記ディスク基板を第１の搬送手段の受
け部に載置する第２の移載手段と、前記第１の搬送手段
から前記ディスク基板を順次受取ってその情報が記録さ
れた面に反射膜を形成する成膜装置と、前記ディスク基
板が載置される受け部を複数備えて一定角度づつ間欠的
に回転する第２の搬送手段と、前記ディスク基板を表裏
反転する反転手段と、前記反転されたディスク基板と、
液状接着剤が供給されている別のディスク基板とを重ね
合わせる重ね合わせ機構と、前記重ね合わされた２枚の
ディスク基板を回転処理するスピンナ装置と、前記回転
処理されたディスク基板に紫外線を照射して硬化させる
硬化装置とを備えた光ディスク製造装置を提案するもの
である。この発明の光ディスク製造装置によれば、品質
の良いＤＶＤを高速で一貫生産でき、装置自体はコンパ
クトである。

【０００９】 また、請求項２の発明では、請求項１に
おいて、前記成形機は１枚、又は同時に２枚のディスク
基板を成形し得る光ディスク製造装置を提案するもので
ある。

【００１０】 また、請求項３の発明では、請求項１又
は請求項２において、前記第１の移載機構は１枚、又は
同時に２枚のディスク基板を移載し得ることを特徴とす
る光ディスク製造装置を提案するものである。

【００１１】 また、請求項４の発明では、請求項１又
は請求項２において、前記冷却ユニットは、前記ディス
ク基板を１枚、又は同時に２枚受け取って１列縦隊又は
２列縦隊に間隔をあけて立てることにより放熱を行う光
ディスク製造装置を提案するものである。

【００１２】 また、請求項５の発明では、２枚のディ
スク基板を貼り合わせてなる光ディスクを製作する光デ
ィスク製造装置において、成形機で成形されたディスク
基板を放熱するための冷却ユニットを備え、この冷却ユ
ニットは、それぞれ同一ピッチで螺旋状に形成された溝
を有する３本以上の送りシャフトを有し、これら送りシ
ャフトは前記ディスク基板の仮想外周の一部分に位置す
るように配置され、前記ディスク基板の外周部分を前記
溝内に納め、前記各送りシャフトを同一速度で回転させ
ることにより前記送りシャフトに支承されたすべての前
記ディスク基板を先送りすることを特徴とする光ディス
ク製造装置を提案するものである。温度の高いディスク
基板を受け取って冷却を行う距離、つまり冷却機構の長
さが従来に比べて短く、コンパクトであり、しかも同時
に２枚のディスク基板の受取り、また引渡しを確実に行
うのに適した構造である。

【００１３】 また、請求項６の発明では、２枚のディ
スク基板を貼り合わせてなる光ディスクを製作する光デ
ィスク製造装置において、成形機で成形されたディスク
基板の熱を放熱するための冷却ユニットと、該冷却ユニ
ットで冷却された前記ディスク基板を搬送手段に移載す
る移載手段を備え、この移載手段は前記冷却ユニットか
ら前記ディスク基板を吸着保持して垂直方向に旋回した
後にほぼ直角に回転して前記ディスク基板を平面状態に
位置させ、前記搬送手段の受け部に載置することを特徴
とする光ディスク製造装置を提案するものである。この
発明によれば、冷却機構のディスク基板をその方向を変
えてターンテーブルに載置することができ、しかも同時
に２枚のディスク基板の受け渡しを確実に行うのに適し
た構造である。

【００１４】 また、請求項７の発明では、情報が記録
されたディスク基板を成形する成形機、前記ディスク基
板を冷却するための冷却ユニット、前記冷却されたディ
スク基板の情報が記録された面に反射膜を形成する成膜
装置、及び液状接着剤を介して重ね合わされた２枚のデ
ィスク基板を回転処理するスピンナ装置と前記２枚のデ
ィスク基板間の前記液状接着剤を硬化させる硬化装置と
からなる貼り合わせ機構を備えた光ディスク製造装置に
おいて、前記成膜装置と前記貼り合わせ機構との間に排
出シュータと移載手段とを備え、前記貼り合わせ機構以
降の出力側でトラブルが生じたとき、前記貼り合わせ機
構以降の機構は停止させ、前記成形機から前記成膜装置
までの機構は動作を続行させると同時に、前記移載装置
が動作して前記成膜装置から出力された前記ディスク基
板を前記排出シュータに排出することを特徴とする光デ
ィスク製造装置を提案するものである。この発明によれ
ば、貼り合わせ機構以降のトラブルに対しては成形機か
ら成膜装置を動かしているので、設置される排出シュー
タの数を最少限度に抑えながら、ディスク基板の成形品
質を維持することができる。

【００１５】 また、請求項８の発明では、請求項７に
おいて、前記排出シュータは二つに分割されており、前
記移載手段は前記成膜装置から出力された前記ディスク
基板に形成された反射膜の差異、又は反射膜の有無によ
って、交互に振り分けることを特徴とする光ディスク製
造装置を提案するものである。

【００１６】 また、請求項９の発明では、２枚のディ
スク基板を貼り合わせてなる光ディスクを製造する光デ
ィスク製造装置において、前記ディスク基板が載置され
る受け部を複数備えて一定角度ずつ間欠的に回転する搬
送手段であって、前記受け部は前記搬送手段の外周部の
近傍で切除されており、反射膜が形成されたディスク基
板、又はどちらか一方に反射膜が形成されたディスク基
板を一対として交互に前記受け部に受取るターンテーブ
ルと、前記切除部分を利用して、前記一対のディスク基
板の内の一方を表裏反転する反転手段と、前記一対のデ
ィスク基板の内の一方のディスク基板に液状接着剤を供
給する接着剤供給ノズルと、前記一対のディスク基板同
士を重ね合わせる重ね合わせ機構と、重ね合わされた前
記ディスク基板を回転処理するスピンナ装置と、前記液
状接着剤を硬化させる硬化装置とを備えた光ディスク製
造装置を提案するものである。この発明によれば、コン
パクトな貼り合わせ機構で２枚のディスク基板の高品質
の貼り合わせが可能である。

【００１７】 また、請求項１０の発明では、請求項９
の光ディスク製造装置において、前記重ね合わせ機構
は、前記反転されたディスク基板を吸引保持して水平方
向に旋回し、隣りの受け部に載置された前記液状接着剤
の供給されている前記ディスク基板の真上まで移動させ
て重ね合わせる光ディスク製造装置を提案するものであ
る。

【００１８】 また、請求項１１の発明では、請求項９
又は請求項１０において、前記重ね合わせ機構は、前記
ターンテーブルの下方向から上昇して前記反転されたデ
ィスク基板を前記ターンテーブルから受け取って上昇さ
せる第１の昇降手段と、前記反転されたディスク基板を
吸引保持して水平方向に旋回し、隣りの受け部に載置さ
れた前記液状接着剤の供給されている前記ディスク基板
の真上まで移動させる移動手段と、前記ターンテーブル
上の下方向から上昇して前記液状接着剤の供給されてい
る前記ディスク基板を上昇させて、前記移動手段に保持
された前記ディスク基板に重ね合わせ、これら重ね合わ
された２枚の前記ディスク基板を支承しながら下降して
前記ターンテーブル上に戻す第２の昇降手段とからなる
光ディスク製造装置を提案するものである。

【００１９】 また、請求項１２の発明では、請求項９
ないし請求項１１のいずれかにおいて、前記スピンナ装
置から貼り合わされた２枚の前記ディスク基板を順次受
け取る搬送手段であって、その一部分は装置壁における
外方向に突出した突出壁部分に囲まれた突出部を通過す
るターンテーブルを備え、前記硬化装置は前記突出部に
位置し、前記ターンテーブルが前記突出部を通過すると
きに前記２枚のディスク基板に紫外線を照射する光ディ
スク製造装置を提案するものである。この発明によれ
ば、硬化装置の発熱が他の機構、工程に与える悪影響を
最小限に抑えることができる。

【００２０】 また、請求項１３の発明では、ディスク
基板を成形する成形工程と、そのディスク基板に反射膜
を形成する成膜工程と、液状接着剤を介して２枚のディ
スク基板を重ね合わせる重ね合わせ工程と、重ね合わさ
れた２枚のディスク基板を回転処理する回転処理工程
と、前記液状接着剤を硬化させる硬化工程とを備える光
ディスク製造方法において、成形機からディスク基板を
取り出して間隔をあけ順次立てて冷却すると共に、前記
ディスク基板を先送りする冷却工程と、この工程で先送
りされて所定位置に来た前記ディスク基板を垂直方向に
旋回させた後にほぼ直角に回転させて平面に載置する移
載工程とを前記成形工程と前記成膜工程との間に備えた
光ディスク製造方法を提案するものである。この発明に
よれば、冷却機構のディスク基板をその方向を変えてタ
ーンテーブルに載置することができ、しかも同時に２枚
のディスク基板の受け渡しを確実に行うのに適した方法
である。

【００２１】 また、請求項１４の発明では、ディスク
基板を成形する成形工程、そのディスク基板に反射膜を
形成する成膜工程、及び液状接着剤を介して２枚のディ
スク基板を重ね合わせる重ね合わせ工程と前記重ね合わ
された２枚のディスク基板を回転処理する回転処理工程
と前記液状接着剤を硬化させる硬化工程とからなる貼り
合わせ工程を備える光ディスク製造方法において、前記
重ね合わせ工程以降の工程において異常が発生したとき
には、前記成形工程から成膜工程の間の工程はそのまま
続行させ、前記反射膜の形成されたディスク基板を順次
排出して前記成膜工程の後の工程を経ないようにした光
ディスク製造方法を提案するものである。この発明によ
れば、貼り合わせ工程以降のトラブルに対してはディス
ク基板の成形工程から成膜工程をそのまま働かせている
ので、排出工程の数を最少限度に抑えながら、ディスク
基板の成形品質を維持することができる。

【００２２】 また、請求項１５の発明では、請求項１
４において、前記反射膜の種類、有無によって前記ディ
スク基板を分けて排出する光ディスク製造方法を提案す
るものである。

【００２３】 また、請求項１６の発明では、２枚のデ
ィスク基板を貼り合わせてなる光ディスクを製作する光
ディスク製造方法において、順次搬送されて来るディス
ク基板に順次反射膜を形成する、又は交互に反射膜を形
成する成膜工程と、一対の前記ディスク基板の内の一方
を反転する反転工程と、前記反転工程で反転されない前
記ディスク基板の上面、又は前記反転工程で反転された
前記ディスク基板の下面に液状接着剤を供給する工程
と、前記反転された前記ディスク基板を前記反転されな
い前記ディスク基板の真上まで搬送、又は前記反転され
ない前記ディスク基板を前記反転された前記ディスク基
板の真下まで搬送して重ね合わせる工程と、前記２枚の
重ね合わされたディスク基板を回転処理する工程と、前
記２枚のディスク基板間の前記液状接着剤を硬化させる
工程とを備えた光ディスク製造方法を提案するものであ
る。この発明によれば、コンパクトな貼り合わせ機構で
２枚のディスク基板の高品質の貼り合わせが可能であ
る。

【００２４】

【発明の実施の形態及び実施例】 先ず、この装置全体
の概略を示す図１によって本発明に係る光ディスクの製
造装置及び製造方法の実施の形態について説明する。図
１において、１は成形機（メイキ（株）製）であり、そ
れぞれの片面に異なる情報が記録された２枚のディスク
基板を同時に成形する。移載アームとその駆動装置とか
らなる移載手段２は、成形機１から２枚のディスク基板
を同時に吸着保持して受け取り、ほぼ垂直方向に旋回し
て後で詳述する冷却機構３に載置する。冷却機構３は、
成形されたばかりのディスク基板は温度が高いので常温
近くまで冷ますためのものである。冷却機構３に一定間
隔で立てて並べられたディスク基板は一定速度で先送り
され、所定位置に達したとき、２枚のディスク基板は第
２の移載手段４により第１の回転型搬送手段であるター
ンテーブル５の二つの受け部５ａに同時に載置される。
第２の移載手段４については後で詳述するが、冷却機構
３に立てて並べられた２枚のディスク基板を同時に吸着
保持して、垂直上方向に旋回し、途中でその旋回方向と
ほぼ直角に回転して２枚のディスク基板を平面状、つま
りターンテーブル５の平面と並行に位置させ、しかる後
に再び垂直下方向に旋回してターンテーブル５の二つの
受台５ａに同時に載置する。ターンテーブル５には１２
０度の等間隔で３個の受台５ａが設けられており、間欠
的に１２０度ずつ時計方向に回転し、２４０度回転する
毎に、移載手段４により２枚のディスク基板を受け取
る。

【００２５】 ターンテーブル５の受け部５ａに載置さ
れたディスク基板は、第３の移載手段６によって順次第
２のターンテーブル７に移載される。ターンテーブル７
は、例えば８個の受台７ａを一定間隔で備えるものであ
り、隣接する受台７ａ間の角度にほぼ等しい４５度間隔
で間欠的に反時計方向に回転する。受台７ａに載置され
たディスク基板（鎖線で示す）は、所定位置でスパッタ
リング装置のような成膜装置８に受け渡される。通常の
成膜装置８と同様に、順次ディスク基板は図示しない引
き入れ手段により受渡しポジションＰ１で成膜装置８内
に供給され、反射膜が形成される。この成膜装置８は反
射率の異なる２種類の反射膜を交互に形成する機能をも
つものであり、反射膜の形成されたディスク基板は再び
受渡しポジションＰ１で停止している受台７ａに戻され
る。したがって、ターンテーブル７の受台７ａには反射
率の異なる反射膜の形成されたディスク基板が交互に戻
され載置される。ターンテーブル７の第２の受渡しポジ
ションＰ２で、ターンテーブル７の受台７ａ上のディス
ク基板は、第３の移載手段９により、貼り合わせ機構Ｂ
Ｄにおける第３のターンテーブル１０に移載される。な
お、成膜装置８は受け入れたディスク基板全てに同一の
反射膜を形成したり、交互に反射膜を形成し、反射膜を
形成しないといった設定も可能なものである。なお、こ
こで貼り合わせ機構ＢＤは第３のターンテーブル１０か
ら後述する硬化装置２３の後の検査装置２７までの装置
を含むものとする。

【００２６】 第３のターンテーブル１０は、例えば１
２個の受け部１０ａを有し、ほぼ６０度間隔で間欠的に
時計方向に回転する。各受け部１０ａは中央部分が空間
になっていて、ターンテーブル１０の円周部で切り欠か
れ、外に開いているものである。ターンテーブル１０の
受け部１０ａに載置されたディスク基板は交互に、つま
り１枚おきに後に詳述する反転機構１１によりその場で
表裏反転される。このとき、次の接着剤供給ポジション
の受け部１０ａに載置されたディスク基板には接着剤供
給機構１２から液状接着剤の供給が行われている。接着
剤供給機構１２はその供給ノズル１２ａがディスク基板
上を１回転することによりドーナツ状に液状接着剤を形
成する。

【００２７】 その状態から、ターンテーブル１０が１
ステップ、つまりほぼ６０度回転すると、後で詳述する
重ね合わせ機構により、前記反転されたディスク基板が
吸着保持されて液状接着剤の供給された前記ディスク基
板まで運ばれ、その重ね合わせポジションＰ３で重ね合
わされる。次にターンテーブル１０が１ステップ、つま
りほぼ６０度回転し、受渡しポジションＰ４に来ると、
重ね合わされたディスク基板は３本の保持アームを持つ
移載機構１４により２台のスピンナ装置１５、１６に交
互に振り分けられる。ここで、ターンテーブル１０上か
らディスク基板を交互にスピンナ装置１５、１６に移載
するのは、図示の真ん中のアームであり、重ね合わされ
たディスク基板を保持して９０度左右に旋回することに
より２台のスピンナ装置１５、１６に交互に振り分け
る。移載機構１４の図示の左右に延びるアームはそれぞ
れスピンナ装置１５、１６から交互にディスク基板を取
り出して、一時載置ポジションＰ５の受台１７に載置す
る。ここで３本の移載アームを備えたのは、ターンテー
ブル１０上からディスク基板をスピンナ装置１５、１６
に移載する移載アームの保持機構と、スピンナ装置１
５、１６からディスク基板を取り出すための移載アーム
の保持機構とが異なるためである。保持機構を同じもの
にできれば、移載アームは１本又は２本で足る。

【００２８】 １８は廃棄シュータであり、トラブルな
どによりターンテーブル１０が所定時間以上停止した場
合には、ターンテーブル１０上のディスク基板の液状接
着剤がディスク基板の中央穴からはみ出して不都合を生
じることがあるので、トラブルが修復されて装置が動き
だした初期には、例えば前記真ん中の移載アームが貼り
合わされたディスク基板を最大で３枚目までターンテー
ブル１０の受渡しポジションＰ４から廃棄シュータに廃
棄する。この実施例では４枚目から２台のスピンナ装置
１５、１６に交互に供給される。

【００２９】 そして、一時載置ポジションＰ５の受台
１７に載置された２枚の貼り合わされたディスク基板
は、移載機構１９によりターンテーブル２０に移載され
る。移載機構１９は２本の移載アームを備え、一方のア
ームが受台１７上のディスク基板をターンテーブル２０
に移載し、他方の移載アームが接着剤が硬化されたディ
スク基板をターンテーブル２０から次のターンテーブル
２１に移載する。ターンテーブル２０に移載されたディ
スク基板には、次のポジションで重り搬送機構２２によ
り、中央に穴の開いたアルミニウム板又は耐熱性ガラス
のような重り（図示せず）が載せられる。この重りはデ
ィスク基板の反り量の調整を補助するためのものであ
り、３個用意されている。重り搬送機構２２は、ターン
テーブル２０の中央の載置ポジションＰ６に載置された
重りを把持して搭載ポジションＰ７まで搬送し、ディス
ク基板上に載せる。他方、取り除きポジションＰ８では
重り搬送機構２２が熱処理されたディスク基板上の重り
を取り除いて載置ポジションＰ６まで運び、そこに載置
する。したがって、３個の重りで足りる。載置ポジショ
ンＰ６で重りは冷却される。

【００３０】 そして、ディスク基板は硬化ポジション
Ｐ９で、硬化装置２３の紫外線照射部からの紫外線が照
射され、ディスク基板間の液状接着剤が硬化される。紫
外線照射部はパルス状に紫外線を発光するキセンノンラ
ンプ、又は連続光を発生する紫外線発生ランプを、ター
ンテーブル２０の上側、又は下側、あるいは双方に備え
る。この実施例では後で詳述するように双方に紫外線照
射器を備え、上側と下側からの紫外線の照射量を調整し
てディスク基板の反りを小さくしている。

【００３１】 そして、最初のポジションに戻った光デ
ィスクは前述のように移載装置１９により冷却用ターン
テーブル２１に移載される。ターンテーブル２１はター
ンテーブル１０と同様に、その円周部で切り欠かれた４
個の受け部を備える。４個の受け部はほぼ９０度間隔で
備えられ、ターンテーブル２１は間欠的にほぼ９０度ず
つ反時計方向に回転する。光ディスクを受け取った位置
からターンテーブル２１が１ステップ、つまり９０度回
転した第２のポジションで、光ディスクは反転手段１１
と同様な反転手段２４によって表裏反転される。この反
転は後で行われる検査行程の関係で選択的になされ、検
査上必要がなければ反転手段は動作せず、反転は行われ
ない。次の第３のポジションで、除電ブロワ２５がイオ
ン化された空気を吹きつけて光ディスクの表面に付着し
たほこりなどを除去する。第４のポジションで、光ディ
スクは２本の移載アームを有する移載手段２６の一方の
移載アームにより検査装置２７に搬送される。ターンテ
ーブル２１で搬送されている過程で、硬化装置２３の熱
により温度上昇した光ディスクの温度はほぼ常温近くま
で低下する。

【００３２】 検査装置２７は下面側から設定された検
査を行う。検査が終了すると、移載手段２６の他方の移
載アームにより検査装置２７の光ディスクは昇降ステー
ジ２８に載置される。昇降ステージ２８は光ディスクを
受け取ると、移載手段２９の移載アームが待機する位置
まで上昇してその吸着面に接触する。これに伴い、移載
手段２９が作動して光ディスクを移載アームに吸着保持
すると共に、水平に旋回し、検査結果が合格のものは良
品テーブル３０上のスタッカ３１に順次載置され、積み
上げられる。また、検査結果が不合格のものは不良品テ
ーブル３２上のスタッカ３３又は不良品テーブル３４上
のスタッカ３５に移載され、積み上げられる。

【００３３】 そして、昇降ステージ２８は光ディスク
を移載手段２９に渡すと、降下して元の位置に戻る。し
たがって、移載手段２９の移載アームは水平に旋回動作
を行うだけである。この点、他の移載装置６、９、１
４、１９、２６の移載アームは上昇動作、下降動作、水
平旋回動作を行う。なお、良品テーブル３０には複数の
スタッカ３１が一定間隔で着脱自在に搭載されており、
所定の枚数の光ディスクが積載されると、テーブル３０
が回転して次のスタッカ３１に光ディスクが積載される
ようになっている。このような過程を経て、光ディスク
の良品は良品テーブル３０上のスタッカ３１に、不良品
は不良品テーブル３２又は３４に積載され、製造行程が
終了する。

【００３４】 次に、ターンテーブル１０以降の機構に
トラブルが生じた場合について図２により説明する。図
２（Ａ）は異常の無い場合の動作状態、図２（Ｂ）異常
が生じた場合の動作状態をそれぞれ示す。異常の無い場
合の動作については既に述べたので説明は省略する。成
膜工程の後の工程で異常が発生した場合には、ターンテ
ーブル１０以降の機構は自動的又は手動で停止となる
が、成形品質を保持するために成形機１から移載手段９
までの機構は動作を続行する。このとき、移載手段９は
正常時とは異なる動作を行い、ターンテーブル７のポジ
ションＰ２でディスク基板を吸着保持して排出シュータ
３６に排出する。この排出シュータ３６は二つに分割さ
れており、ディスク基板に形成された反射膜の金属材料
の種類、又は反射膜が形成されているものと、形成され
ていないものに分けられる。このことは、移載手段９の
移載アームがシーケンスにより交互に排出シュータ３６
の二分割されたシュータに振り分けるだけで実現され
る。

【００３５】 次に、図３により成形機１から冷却ユニ
ット３に成形されたディスク基板を移載する具体的な実
施例について説明する。移載手段は２は駆動部２ａ、駆
動部２ａにより動作する移載アーム２ｂ、移載アーム２
ｂの先端部に設けられた二つの吸着部２ｃと２ｄを備え
る。先ず、成形機１からは図示しないディスク基板取り
出し手段により２枚のディスク基板が同時に取り出され
る。図３（Ａ）に示すように、移載手段２はそのディス
ク基板取り出し手段から２枚のディスク基板ａとｂを同
時に受け取って吸着保持すると同時に、矢印で示す垂直
下方向に旋回する。そして、図３（Ｂ）に示すように、
２枚のディスク基板ａとｂが冷却ユニット３の載置位置
上に至ると、移載アーム２ｂが下方向に延び、２枚のデ
ィスク基板ａとｂを冷却ユニット３に同時に載置する。

【００３６】 冷却ユニット３は、先送りシャフト３ａ
が３本一組からなる二つの冷却部を有する、先送りシャ
フト３ａは全て同一構造であり、図４に示すように真っ
直ぐなシャフトに一定ピッチで形成された螺旋状の送り
溝３ｂを有する。送り溝３ｂはディスク基板ａ（ｂ）の
円周部がその中に入って簡単には逸脱しないような深さ
と幅を有する。３本の先送りシャフト３ａは、好ましく
は２等辺３角形の頂点に配置され、３本の先送りシャフ
ト３ａの送り溝３ｂが均等にディスク基板ａ（ｂ）の円
周部を受けるように配置されている。これら６本の先送
りシャフト３ａは、図３（Ａ）に示された駆動部３ｂに
より一定速度で矢印方向に回転する。したがって、それ
ぞれの組の３本の先送りシャフト３ａに立てて載置され
たディスク基板ａ、ｂは次のディスク基板が移載手段２
によ移載されて来るまでに、一定距離先送りされてい
る。このようにして２列縦隊で所定枚数のディスク基板
ａ、ｂが順次先送りされ、所定位置まで送られると、前
述のとおり移載手段４によりディスク基板ａ、ｂが同時
にターンテーブル５に移載される。

【００３７】 移載手段４は駆動部４ａ、駆動部４ａに
より動作する旋回アーム４ｂ、旋回アーム４ｂから間隔
をおいて垂直に延びる回転アーム４ｃと４ｄを有する。
回転アーム４ｃと４ｄはそれぞれディスク基板ａ、ｂの
情報が記録されていない内側部分を吸着する吸着パッド
（図示せず）を有する。図５（Ａ）に示すように、回転
アーム４ｃと４ｄの吸着部４ｅがディスク基板ａ、ｂを
吸着保持すると、旋回アーム４ｂが図示矢印のように旋
回運動を行い、鎖線で示す状態になる。しかる後、回転
アーム４ｃと４ｄが旋回面に対してほぼ直角に回転し、
図５（Ｃ）に示すようにディスク基板ａ、ｂはターンテ
ーブル５の二つの受台５ａに同時に載置される。このよ
うな次の動作は、ターンテーブル５が２ステップ、つま
りほぼ２４０度回転し、二たつの空の受台５ａが旋回ア
ーム４ｂの旋回面に対して互いに等しい位置で停止され
るとき、行われる。

【００３８】 次に、成膜装置８による成膜後から、貼
り合わせ機構ＢＤにおける貼り合わせ工程の内のディス
ク基板の反転、液状接着剤の供給を経て２枚のディスク
基板を重ね合わせるまでの過程の具体的な１実施例につ
いて、図６ないし図１０により説明する。成膜装置８か
らは２種類のディスク基板Ａ、Ｂが交互に出力され、タ
ーンテーブル７の受台に載置される。ディスク基板Ａ、
Ｂは反射率の異なる反射膜がそれぞれ形成されている
か、又はディスク基板Ａに情報が記録されていない場合
には、ディスク基板Ｂのみに反射膜が形成されていて、
ディスク基板Ａには反射膜が形成されていないか、ディ
スク基板Ａ、Ｂにほぼ同等な反射膜が形成されている。
ターンテーブル７上のディスク基板Ａ、Ｂは、移載手段
９により順次ターンテーブル１０の受け部１０ａに載置
される。このターンテーブル１０は１２個の受け部１０
ａを有するから、ほぼ６０度の角度で間欠的に回転し、
図７の鎖線で示すようにディスク基板ＡとＢのポジショ
ン一対を１ステップとして工程が行われる。したがっ
て、移載手段９はターンテーブル１０が停止している間
にその隣り合う一対の受け部１０ａにディスク基板Ａと
Ｂを順次載置する。

【００３９】 そして、ディスク基板Ｂだけが反転ポジ
ションで反転手段１１により反転され、ディスク基板Ａ
は反転されないで次のポジションに搬送される。図８に
示すように、反転手段１１はターンテーブル１０の受け
部１０ａの切り欠き部１０ｂを通して延びる把持アーム
１１ａとこの把持アームを１８０度回転駆動する駆動部
１１ｂ、図９で示されている、把持アーム１１ａと駆動
部１１ｂとを支承する垂直方向アーム１１ｃ、その垂直
方向アーム１１ｃを昇降させる直線駆動部１１ｄなどか
らなる。その反転手段１１と動作について図９を用いて
説明すると、その（Ａ）に示すように、把持アーム１１
ａの把持部１１ｅは、把持アーム１１ａを支点にして先
端側から開くタイプのものであり、それぞれの先端部に
はディスク基板の中央穴の周囲の非記録部を把持するた
めの円形把持板１１ｆが取り付けられている。把持部１
１ｅは開いた状態で待機しており、図９（Ｂ）に示すよ
うに、ディスク基板Ｂが反転ポジションにくると、駆動
部１１ｂが動作して把持部１１ｅを閉じ、円形把持板１
１ｆがディスク基板Ｂの中央穴近傍の非記録部を両側か
ら把持する。しかる後に図９（Ｃ）に示すように、直線
駆動部１１ｄのロッド１１ｄ’が上昇し、そのロッド１
１ｄ’に固定された把持アーム１１ａが上昇するのに伴
い、把持アーム１１ａ及び把持部１１ｅはディスク基板
Ｂの回転に支障の無い位置まで上昇する。次に、把持部
１１ｅは１８０度回転する。図９（Ｄ）はその途中の９
０度回転状態を示し、図９（Ｅ）は１８０度回転した状
態を示す。その後、直線駆動部１１ｄのロッド１１ｄ’
が後退し、図９（Ｆ）に示すように、把持アーム１１ａ
及び把持部１１ｅは元の位置に降下し、図９（Ａ）に示
すように、把持部１１ｅが開いて表裏反転されたディス
ク基板Ｂをターンテーブル１０の受け部１０ａに戻す。
このようにしてディスク基板Ｂは表裏反転される。

【００４０】 図７に示すようにこのとき同時に次のポ
ジションでは接着剤供給機構１２が動作しており、その
ノズルが液状接着剤を吐出しながら１回転することで、
ディスク基板Ａにドーナツ状の厚い液状接着剤の膜を形
成する。このようにディスク基板Ｂの表裏反転やディス
ク基板Ａへの液膜形成が行われている間に、その直ぐ次
のポジションのディスク基板Ｂがディスク基板Ａに重ね
合わされる。つまり、重ね合わせ機構に送られて来るデ
ィスク基板Ａにはすべてドーナツ状の厚い液状接着剤の
膜が形成されており、またディスク基板Ｂはすべて表裏
反転されている。この重ね合わせについて図１０を用い
て説明すると、重ね合わせ機構１３は、１８０度左右に
回転するシャフト１３ａ、シャフト１３ａの先端に取り
付けられた吸着板１３ｂ、吸着板１３ｂの一対の吸着部
１３ｃと１３ｄ、ターンテーブル１０の下側に位置して
その受け部１０ａをそれぞれ通して昇降動作する昇降装
置１３ｅと１３ｆなどからなる。吸着板１３ｂの一対の
吸着部１３ｃと１３ｄはターンテーブル１０の隣接する
一対の受け部１０ａの上方に位置し、昇降装置１３ｅと
１３ｆそれぞれの受け面１３ｅ’と１３ｆ’はターンテ
ーブル１０の受け部１０ａの内径よりも小さくなってい
る。

【００４１】 ターンテーブル１０が間欠的に回転して
停止すると、昇降装置１３ｅの受け面１３ｅ’が上昇運
動を始め、その上昇過程でターンテーブル１０からディ
スク基板Ｂを受け取って更に上昇して、ディスク基板Ｂ
を吸着部１３ｃに接触させる。このとき吸着部１３ｃは
吸着動作を開始しているので、ディスク基板Ｂは吸着部
１３ｃに吸着される。次に、シャフト１３ａが１８０度
回転することにより、吸着部１３ｃが吸着部１３ｄの位
置に移動し、吸着部１３ｄは吸着部１３ｃの位置に移動
し、その位置で停止する。すると、昇降装置１３ｆが動
作してその受け面１３ｆ’が上昇し、その上昇過程でタ
ーンテーブル１０からディスク基板Ａを受け取って更に
上昇して、ディスク基板Ａをディスク基板Ｂに接触させ
て重合わせが行われる。この状態で、吸着部１３ｃは吸
着動作を止め、ディスク基板Ｂを開放する。これに伴
い、重ね合わされたディスク基板ＡとＢは昇降装置１３
ｆの受け面１３ｆ’に受け取られる。次に、昇降装置１
３ｆの受け面１３ｆ’が降下を始め、その降下過程でデ
ィスク基板ＡとＢをターンテーブル１０上に受け渡し、
受け面１３ｆ’はさらに降下して元の位置に戻る。そし
て、前述したように重ね合わされたディスク基板ＡとＢ
は交互にスピンナ装置１５、１６に交互に振り分けて供
給される。

【００４２】 この重ね合わせ時に昇降装置１３ｆの上
昇速度を次のように制御するのが好ましい。ディスク基
板Ａがディスク基板Ｂに接触する寸前まで大きな速度で
接近させ、接触する寸前で大幅に減速してディスク基板
Ａ上の接着剤をディスク基板Ｂに接触させ、必要に応じ
てさらに減速して接着剤を押し広げる。このとき、ディ
スク基板Ａ上の液状接着剤がディスク基板Ｂに接触する
寸前で、ディスク基板Ａとディスク基板Ｂ間に交流電圧
を印加すれば更に好ましい。交流電圧を印加することに
より、ディスク基板Ａとディスク基板Ｂ間にボイド、つ
まり気泡が形成されてしまうのを防ぐことができる。

【００４３】 次に、硬化装置２３の一実施例について
図１１を用いて説明する。図１１（Ａ）はターンテーブ
ル２０と硬化装置２３の上面図、その（Ｂ）は正面図で
ある。これら図において、図１で示した移載手段１９及
び重り搬送手段２２については図示するのを省略してい
る。硬化装置２３は、ターンテーブル２０に対してほぼ
垂直でその下側まで延びる熱遮蔽板２３ａ、ターンテー
ブル２０の上側と下側に鎖線で示された紫外線照射器２
３ｂ、２３ｃ、紫外線が外部に漏出するのを制限するた
めのスカート２３ｄなどからなる。図１に示すように、
熱遮蔽板２３ａは両隣の貼り合わせ部の外壁Ｘと排出部
の外壁Ｙとを結ぶ線上に近い位置にあり、したがって、
熱を発する紫外線照射器２３ｂ、２３ｃは貼り合わせ部
の外壁Ｘと排出部の外壁Ｙとを結ぶ線よりも外側に位置
する。この配置と熱遮蔽板２３ａが他部分への熱的影響
を小さくし、さらにスカート２３ｄがこの効果を高めて
いる。

【００４４】 この実施例では、紫外線照射器２３ｂ、
２３ｃによって貼り合わされた２枚のディスク基板の両
側から紫外線が照射される。貼り合わされた２枚のディ
スク基板の反りの方向は一様であるので、紫外線照射器
２３ｂ、２３ｃの出力する紫外線量を調整することによ
り、反りを小さくすることができる。貼り合わされた２
枚のディスク基板毎にその反りの量を検出し、電気信号
に変換して紫外線照射器２３ｂ、２３ｃの出力する紫外
線量を制御すれば、反りの大きさによらずほぼ平坦な光
ディスクを得ることが可能である。

【００４５】 なお、以上の実施例では成形機１は２枚
のディスク基板を同時に成形すると共に、成膜装置８も
反射率の異なる２種類の反射膜を形成できる例について
述べたが、成形機は１枚のディスク基板を成形できるだ
けのもので、また成膜装置８も１種類の反射膜を形成で
きるものでも良い。この場合、成形機は２台必要であ
り、図１の成形機１と直角の方向に２台平行して配置
し、その間に冷却機構３を設ければ良い。そして、両側
の成形機からそれぞれの移載手段により冷却機構にディ
スク基板を移載し、ディスク基板は前述のような冷却機
構の構造によりターンテーブル５方向に先送りされ、そ
の先送りされた２枚のディスク基板が所定位置にきたと
きに同時に吸着保持して、ターンテーブルに移載するば
良い。

【００４６】 また、図１に示したターンテーブル５は
受台５ａが３個でなくとも良く、４個以上でも良い。成
膜装置８が１種類の反射膜を形成する機能をもつだけの
ものである場合には、もう１台成膜装置を備え、それぞ
れの成膜装置で反射膜を形成した後のディスク基板をタ
ーンテーブル７の受台７ａに交互に出力すれば良い。そ
の後の機構については、図１に示した構造のものをその
まま使用することができる。このことは大きな実用上の
効果を奏する。

【００４７】 さらにまた、液状接着剤の供給は必ずし
もディスク基板の上面に供給しなくても良く、表裏反転
したディスク基板の下面に供給しても良い。この場合に
は、ターンテーブルの受け部を通して接着剤供給ノズル
を上昇させ、ディスク基板に接触寸前で停止させて液状
接着剤をディスク基板の下面に付着させることになる。
この場合には、ドーナツ状に液状接着剤を供給する時間
を短縮できると同時に、好ましい形のドーナツ状に液状
接着剤を形成できるのでより品質の高い貼り合わせが可
能となる。

【００４８】

【発明の効果】 以上述べたように本発明によれば、コ
ンパクトで生産速度の速い光ディスク製造装置を提供す
ることができ、しかも品質の高い光ディスクを生産する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明に係る光ディスクの一貫生産ラインの
一実施例を示す。

【図２】 本発明に係る光ディスク製造装置の故障時の
動作を説明するための図である。

【図３】 本発明に係る光ディスク製造装置の成形機か
ら冷却機構にディスク基板を移載する機構を説明するた
めの図である。

【図４】 本発明に係る光ディスク製造装置の冷却機構
の１実施例の一部分を示す。

【図５】 本発明に係る光ディスク製造装置の冷却機構
からディスク基板を移載する移載機構の１実施例を示
す。

【図６】 本発明に係る光ディスク製造装置におけるデ
ィスク基板の重ね合わせとその前の工程について説明す
るための図である。

【図７】 本発明に係る光ディスク製造装置におけるデ
ィスク基板の重ね合わせとその前の工程について説明す
るための図である。

【図８】 本発明に係る光ディスク製造装置におけるデ
ィスク基板の反転機構を説明するための図である。

【図９】 本発明に係る光ディスク製造装置におけるデ
ィスク基板の反転機構の一実施例を説明するための図で
ある。

【図１０】 本発明に係る光ディスク製造装置における
重ね合わせの一実施例を説明するための図である。

【図１１】 本発明に係る光ディスク製造装置の硬化装
置の一実施例を示す。

【符号の説明】

１・・・ディスク基板の成形機 ２・・・第１の
移載手段 ３・・・冷却機構 ４・・・第２の
移載手段 ５・・・第１のターンテーブル ６・・・第３の
移載手段 ７・・・第２のターンテーブル ８・・・反射膜
形成用の成膜装置 ９・・・第４の移載手段 １０・・・第３の
ターンテーブル １１・・・反転機構 １２・・・液状
接着剤供給機構 １３・・・重ね合わせ機構 １４・・・第５
の移載手段 １５、１６・・・スピンナ装置 １７・・・一時
載置用の受台 １８・・・排出シュート １９・・・第６
の移載手段 ２０・・・第４のターンテーブル ２１・・・第５
のターンテーブル ２２・・・重り搬送機構 ２３・・・硬化
装置 ２４・・・反転手段 ２５・・・静電
ブロワ ２６・・・第７の移載手段 ２７・・・検査
装置 ２８・・・昇降ステージ ２９・・・第８
の移載手段 ３０・・・良品用ターンテーブル ３１・・・ディ
スク基板用のスタッカ ３２・・・不良品用ターンテーブル ３３・・・不良
品用のスタッカ ３４・・・不良品用ターンテーブル ３５・・・不良
品用のスタッカ Ａ，Ｂ・・・ディスク基板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山口 鉱二 東京都豊島区高田１丁目18番１号 オリジ ン電気株式会社内 (72)発明者 内藤 佳彦 東京都豊島区高田１丁目18番１号 オリジ ン電気株式会社内 Ｆターム(参考） 4F211 AA44 AD05 AH79 TA03 TC02 TD11 TJ11 TJ23 TN26 TN42 TN60 TQ13 TW34 TW38 5D121 AA07 EE22 FF03 FF11 FF18 JJ03

Claims (16)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ２枚のディスク基板を貼り合わせてなる
   光ディスク基板を製作する光ディスク製造装置におい
   て、 情報が記録されたディスク基板を成形する成形機と、 前記ディスク基板を冷却するための冷却ユニットと、 前記成形機から前記ディスク基板を前記冷却ユニットに
   移載する第１の移載手段と、 前記冷却機構から前記ディスク基板を第１の搬送手段の
   受け部に載置する第２の移載手段と、 前記第１の搬送手段から前記ディスク基板を順次受取っ
   てその情報が記録された面に反射膜を形成する成膜装置
   と、 前記ディスク基板が載置される受け部を複数備えて一定
   角度づつ間欠的に回転する第２の搬送手段と、 前記ディスク基板を表裏反転する反転手段と、 前記反転されたディスク基板と、液状接着剤が供給され
   ている別のディスク基板とを重ね合わせる重ね合わせ機
   構と、 前記重ね合わされた２枚のディスク基板を回転処理する
   スピンナ装置と、 前記回転処理されたディスク基板に紫外線を照射して硬
   化させる硬化装置と、を備えたことを特徴とする光ディ
   スク製造装置。
2. 【請求項２】 請求項１において、 前記成形機は１枚、又は同時に２枚のディスク基板を成
   形し得ることを特徴とする光ディスク製造装置。
3. 【請求項３】 請求項１又は請求項２において、 前記第１の移載機構は１枚、又は同時に２枚のディスク
   基板を移載し得ることを特徴とする光ディスク製造装
   置。
4. 【請求項４】 請求項１又は請求項２において、 前記冷却ユニットは、前記ディスク基板を１枚、又は同
   時に２枚受け取って１列縦隊又は２列縦隊に間隔をあけ
   て立てることにより放熱を行うことを特徴とする光ディ
   スク製造装置。
5. 【請求項５】 ２枚のディスク基板を貼り合わせてなる
   光ディスクを製作する光ディスク製造装置において、 成形機で成形されたディスク基板を放熱するための冷却
   ユニットを備え、この冷却ユニットは、それぞれ同一ピ
   ッチで螺旋状に形成された溝を有する３本以上の送りシ
   ャフトを有し、これら送りシャフトは前記ディスク基板
   の仮想外周の一部分に位置するように配置され、前記デ
   ィスク基板の外周部分を前記溝内に納め、前記各送りシ
   ャフトを同一速度で回転させることにより前記送りシャ
   フトに支承されたすべての前記ディスク基板を先送りす
   ることを特徴とする光ディスク製造装置。
6. 【請求項６】 ２枚のディスク基板を貼り合わせてなる
   光ディスクを製作する光ディスク製造装置において、 成形機で成形されたディスク基板の熱を放熱するための
   冷却ユニットと、該冷却ユニットで冷却された前記ディ
   スク基板を搬送手段に移載する移載手段を備え、この移
   載手段は前記冷却ユニットから前記ディスク基板を吸着
   保持して垂直方向に旋回した後にほぼ直角に回転して前
   記ディスク基板を平面状態に位置させ、前記搬送手段の
   受け部に載置することを特徴とする光ディスク製造装
   置。
7. 【請求項７】 情報が記録されたディスク基板を成形す
   る成形機、前記ディスク基板を冷却するための冷却ユニ
   ット、前記冷却されたディスク基板の情報が記録された
   面に反射膜を形成する成膜装置、及び液状接着剤を介し
   て重ね合わされた２枚のディスク基板を回転処理するス
   ピンナ装置と前記２枚のディスク基板間の前記液状接着
   剤を硬化させる硬化装置とからなる貼り合わせ機構を備
   えた光ディスク製造装置において、 前記成膜装置と前記貼り合わせ機構との間に排出シュー
   タと移載手段とを備え、前記貼り合わせ機構以降の出力
   側でトラブルが生じたとき、前記貼り合わせ機構以降の
   機構は停止させ、前記成形機から前記成膜装置までの機
   構は動作を続行させると同時に、前記移載装置が動作し
   て前記成膜装置から出力された前記ディスク基板を前記
   排出シュータに排出することを特徴とする光ディスク製
   造装置。
8. 【請求項８】 請求項７において、 前記排出シュータは二つに分割されており、前記移載手
   段は前記成膜装置から出力された前記ディスク基板に形
   成された反射膜の差異、又は反射膜の有無によって、交
   互に振り分けることを特徴とする光ディスク製造装置。
9. 【請求項９】 ２枚のディスク基板を貼り合わせてなる
   光ディスクを製造する光ディスク製造装置において、 前記ディスク基板が載置される受け部を複数備えて一定
   角度ずつ間欠的に回転する搬送手段であって、前記受け
   部は前記搬送手段の外周部の近傍で切除されており、反
   射膜が形成されたディスク基板、又はどちらか一方に反
   射膜が形成されたディスク基板を一対として交互に前記
   受け部に受取るターンテーブルと、 前記切除部分を利用して、前記一対のディスク基板の内
   の一方を表裏反転する反転手段と、 前記一対のディスク基板の内の一方のディスク基板に液
   状接着剤を供給する接着剤供給ノズルと、 前記一対のディスク基板同士を重ね合わせる重ね合わせ
   機構と、 重ね合わされた前記ディスク基板を回転処理するスピン
   ナ装置と、 前記液状接着剤を硬化させる硬化装置と、を備えたこと
   を特徴とする光ディスク製造装置。
10. 【請求項１０】 請求項９の光ディスク製造装置におい
    て、 前記重ね合わせ機構は、前記反転されたディスク基板を
    吸引保持して水平方向に旋回し、隣りの受け部に載置さ
    れた前記液状接着剤の供給されている前記ディスク基板
    の真上まで移動させて重ね合わせることを特徴とする光
    ディスク製造装置。
11. 【請求項１１】 請求項９又は請求項１０において、 前記重ね合わせ機構は、前記ターンテーブルの下方向か
    ら上昇して前記反転されたディスク基板を前記ターンテ
    ーブルから受け取って上昇させる第１の昇降手段と、前
    記反転されたディスク基板を吸引保持して水平方向に旋
    回し、隣りの受け部に載置された前記液状接着剤の供給
    されている前記ディスク基板の真上まで移動させる移動
    手段と、前記ターンテーブル上の下方向から上昇して前
    記液状接着剤の供給されている前記ディスク基板を上昇
    させて、前記移動手段に保持された前記ディスク基板に
    重ね合わせ、これら重ね合わされた２枚の前記ディスク
    基板を支承しながら下降して前記ターンテーブル上に戻
    す第２の昇降手段とからなることを特徴とする光ディス
    ク製造装置。
12. 【請求項１２】 請求項９ないし請求項１１のいずれか
    において、前記スピンナ装置から貼り合わされた２枚の
    前記ディスク基板を順次受け取る搬送手段であって、そ
    の一部分は装置壁における外方向に突出した突出壁部分
    に囲まれた突出部を通過するターンテーブルを備え、前
    記硬化装置は前記突出部に位置し、前記ターンテーブル
    が前記突出部を通過するときに前記２枚のディスク基板
    に紫外線を照射することを特徴とする光ディスク製造装
    置。
13. 【請求項１３】 ディスク基板を成形する成形工程、そ
    のディスク基板に反射膜を形成する成膜工程、及び液状
    接着剤を介して２枚のディスク基板を重ね合わせる重ね
    合わせ工程と重ね合わされた２枚のディスク基板を回転
    処理する回転処理工程と前記液状接着剤を硬化させる硬
    化工程とからなる貼り合わせ工程を備える光ディスク製
    造方法において、 成形機からディスク基板を取り出して間隔をあけ順次立
    てて冷却すると共に、前記ディスク基板を先送りする冷
    却工程と、 該工程で先送りされて所定位置に来た前記ディスク基板
    を垂直方向に旋回させた後にほぼ直角に回転させて平面
    に載置する移載工程と、を前記成形工程と前記成膜工程
    との間に備えたことを特徴とする光ディスク製造方法。
14. 【請求項１４】 ディスク基板を成形する成形工程、そ
    のディスク基板に反射膜を形成する成膜工程、及び液状
    接着剤を介して２枚のディスク基板を重ね合わせる重ね
    合わせ工程と前記重ね合わされた２枚のディスク基板を
    回転処理する回転処理工程と前記液状接着剤を硬化させ
    る硬化工程とからなる貼り合わせ工程を備える光ディス
    ク製造方法において、 前記重ね合わせ工程以降の工程において異常が発生した
    ときには、前記成形工程から成膜工程の間の工程はその
    まま続行させ、前記反射膜の形成されたディスク基板を
    順次排出して前記成膜工程の後の工程を経ないようにし
    たことを特徴とする光ディスク製造方法。
15. 【請求項１５】 請求項１４において、 前記反射膜の種類、有無によって前記ディスク基板を分
    けて排出することを特徴とする光ディスク製造方法。
16. 【請求項１６】 ２枚のディスク基板を貼り合わせてな
    る光ディスクを製作する光ディスク製造方法において、 順次搬送されて来るディスク基板に順次反射膜を形成す
    る、又は交互に反射膜を形成する成膜工程と、 一対の前記ディスク基板の内の一方を反転する反転工程
    と、 前記反転工程で反転されない前記ディスク基板の上面、
    又は前記反転工程で反転された前記ディスク基板の下面
    に液状接着剤を供給する工程と、 前記反転された前記ディスク基板を前記反転されない前
    記ディスク基板の真上まで搬送、又は前記反転されない
    前記ディスク基板を前記反転された前記ディスク基板の
    真下まで搬送して重ね合わせる工程と、 前記２枚の重ね合わされたディスク基板を回転処理する
    工程と、 前記２枚のディスク基板間の前記液状接着剤を硬化させ
    る工程と、を備えたことを特徴とする光ディスク製造方
    法。