KR20020089569A - 광디스크 제조 장치 및 제조 방법 - Google Patents

Abstract

정보가 기록된 2매의 디스크 기판을 동시에 성형하는 성형기(1)와, 디스크 기판을 냉각하기 위한 냉각 기구(3)와, 상기 성형기로부터 디스크 기판을 냉각 기구로 이동 적재하는 제1 이동 적재 수단(2)과, 상기 냉각 기구로부터 상기 디스크 기판을 턴테이블(5)의 받침부에 적재하는 제2 이동 적재 수단(4)을 구비하고 있다. 또한, 제3 이동 적재 수단(6)으로부터 상기 디스크 기판을 차례로 수취하여 그 정보가 기록된 면에 반사막을 형성하는 성막 장치(8)와, 상기 디스크 기판이 적재되는 받침부를 복수 구비하여 일정 각도씩 간헐적으로 회전하는 턴테이블(10)과, 상기 디스크 기판을 표리 반전하는 반전 기구(11)와, 상기 반전된 디스크 기판과 액형 접착제가 공급되어 있는 다른 디스크 기판을 중합하는 중합 기구를 구비하고 있는 동시에, 상기 중합된 2매의 디스크 기판을 회전 처리하는 스피너 장치(15, 16)와, 상기 회전 처리된 디스크 기판에 자외선을 조사하여 경화시키는 경화 장치(23)를 구비하고 있다.

상기 구성에 의해, 콤팩트하면서 생산 속도가 빠르며, 게다가 품질이 높은 광디스크의 생산이 가능해진다.

Description

광디스크 제조 장치 및 제조 방법 {OPTICAL DISK PRODUCING DEVICE AND PRODUCING METHOD}

광디스크에 의해, 기록 용량을 증대시키는 기술이 발전 보급되어 왔고, 또한 그 기록 용량을 보다 고밀도화하는 경향이 있다. 예를 들어, 2층 구조로 양면으로부터 1층씩 기록하고 있는 광디스크에서 DVD-9라 칭하는 8.5 기가 바이트의 기록 용량의 것이 있다. 이러한 종류의 광디스크 제조 방법으로서는, 예를 들어 2대의 성형기에 의해 미리 각각의 정보를 기록한 디스크 기판 각각을 성형하여 그 후에 각각의 기록면에 반사율이 다른 반사막을 2대의 스퍼터링 장치에 의해 형성하고, 이들의 기록면측끼리를 서로 마주 대하여 접합시키는 것이다. 이 경우의 반사막은 다른 반사 재료를 이용하여 각각의 반사율로 하는 경우와, 동일한 재료를 이용하여 두께를 바꾸어 반사율을 각각으로 하는 경우가 있다.

또한, 1층의 구조로 한 쪽면에 1층을 기록하고 있는 광디스크에서 DVD-5라 칭하는 4.7 기가 바이트의 기록 용량의 것이 있다. 이것은, 예를 들어 2대의 성형기에 의해 미리 정보를 기록한 디스크 기판과 정보가 기록되어 있지 않은 디스크기판을 각각 성형하고, 그 후에 1대의 스퍼터링 장치에 의해 기록면에만 반사막을 형성하고, 기록면을 갖지 않은 디스크 기판에는 반사막을 형성하지 않는 경우와, 기록면을 갖지 않은 디스크 기판에 다른 스퍼터링 장치에서 반사율이 다른 반사막을 형성하는 경우가 있어 이들을 접합시킴으로써 얻을 수 있다.

이와 같은 광디스크는 디지털ㆍ다기능ㆍ디스크(DVD)이든 콤팩트ㆍ디스크(CD)이든 디스크 기판은 성형기로 제작되지만, 그 성형시에 상당한 열로 수지 재료를 연화시켜 성형하므로, 성형기로부터 출력된 디스크 기판의 온도는 높고, 따라서 그 온도를 상온 정도까지 저하시킨 후에 스퍼터링 장치에 의해 반사막을 형성해야만 한다. 이 냉각은 일반적으로 직선적으로 움직이는 반송 기구의 각 받침대 상에, 쌍방의 성형기로부터의 디스크 기판을 평면형으로 차례로 적재하고, 냉각풍 등을 송풍하여 반송하는 과정에서 행해진다. 따라서, 이 부분의 기구에서는 대형화되어 버린다는 문제가 있고, 또한 디스크 기판의 상면에 먼지 등이 부착될 가능성이 있다.

또한, 각각의 반사막을 형성하는 공정으로부터 2매의 디스크 기판을 포개는 공정에 있어서도 스퍼터링 장치와 같은 성막 장치를 2대 준비하고, 각각의 성막 장치에서 다른 반사율의 반사막이 형성된 2매의 디스크 기판을 각각의 라인으로 이동 적재 장치까지 반송하고, 그 이동 적재 장치나 중합 장치 등에 2매의 디스크 기판을 포개고 있지만, 이동하는 거리가 길어지므로 디스크 기판의 상면에 먼지 등이 부착될 가능성이 높아지고, 또한 그 점유 면적을 작게 할 수 없을 뿐만 아니라 반송에 시간을 요한다. 여기서, 광디스크는 접합면에 먼지 등이 혼입된면 정확하게정보를 판독할 수 없는 경우가 생기므로, 제조 과정에서 디스크 기판의 접합면에 먼지 등이 혼입되는 것은 피해야만 한다. 클린룸에서 제조를 행하면 이 문제는 해결되는 것이지만, 비용이나 다른 생산 라인 등의 관계도 있어 클린룸에서 제조를 행하는 것은 실제상 어렵다.

어느 것이든 종래의 제조 장치에서는 1대로 2종류의 디스크 기판을 동시에 제작하는 성형기, 1대로 2종류의 반사막을 형성할 수 있는 스퍼터링 장치와 같은 성막 장치를 이용하든 이용하지 않든, 반송 기구 및 이동 적재 기구 그 자체 및 조합에 난점이 있고, 디스크 기판의 성형 공정에서 중합 공정까지의 반송 라인이 길어 시간을 요하기 때문에 먼지 등이 혼입할 가능성이 높고, 또한 그 부분의 소형화가 불가능하다는 등의 문제가 있었다.

본 발명은, 기록된 정보를 빛으로 판독하는 것이 가능한 광디스크의 제조 및 2매의 디스크 기판의 접합 등에 관한 것이다.

도1은 본 발명에 관한 광디스크의 일관 생산 라인의 일실시예를 도시한 도면이다.

도2는 본 발명에 관한 광디스크 제조 장치의 고장시의 동작을 설명하기 위한 도면이다.

도3은 본 발명에 관한 광디스크 제조 장치의 성형기로부터 냉각 기구에 디스크 기판을 이동 적재하는 기구를 설명하기 위한 도면이다.

도4는 본 발명에 관한 광디스크 제조 장치의 냉각 기구의 제1 실시예의 일부분을 도시한 도면이다.

도5는 본 발명에 관한 광디스크 제조 장치의 냉각 기구로부터 디스크 기판을 이동 적재하는 이동 적재 기구의 제1 실시예를 도시한 도면이다.

도6은 본 발명에 관한 광디스크 제조 장치에 있어서의 디스크 기판의 중합과 그 전의 공정에 대해 설명하기 위한 도면이다.

도7은 본 발명에 관한 광디스크 제조 장치에 있어서의 디스크 기판의 중합과 그 전의 공정에 대해 설명하기 위한 도면이다.

도8은 본 발명에 관한 광디스크 제조 장치에 있어서의 디스크 기판의 반전 기구를 설명하기 위한 도면이다.

도9는 본 발명에 관한 광디스크 제조 장치에 있어서의 디스크 기판의 반전 기구의 일실시예를 설명하기 위한 도면이다.

도10은 본 발명에 관한 광디스크 제조 장치에 있어서의 중합의 일실시예를 설명하기 위한 도면이다.

도11은 본 발명에 관한 광디스크 제조 장치의 경화 장치의 일실시예를 도시한 도면이다.

본 발명은 광디스크 제조 라인의 이동 적재 동작 및 반송 동작을 가능한 한 선회 동작, 회전 동작이 조합으로서, 소형화와 라인 길이를 짧게 하여 그에 필요로 하는 시간을 단축하여 먼지의 혼입 가능성을 저감하는 것을 주된 목적으로 하고 있다.

상술한 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 관한 청구항 1의 발명에서는 2매의 디스크 기판을 접합하여 이루어지는 광디스크 기판을 제작하는 광디스크 제조 장치에 있어서,

정보가 기록된 디스크 기판을 성형하는 성형기와, 상기 디스크 기판을 냉각하기 위한 냉각 유닛과, 상기 성형기로부터 상기 디스크 기판을 상기 냉각 유닛으로 이동 적재하는 제1 이동 적재 수단과, 상기 냉각 기구로부터 상기 디스크 기판을 제1 반송 수단의 받침부에 적재하는 제2 이동 적재 수단과, 상기 제1 반송 수단으로부터 상기 디스크 기판을 차례로 수취하여 그 정보가 기록된 면에 반사막을 형성하는 성막 장치와, 상기 디스크 기판이 적재되는 받침부를 복수 구비하여 일정 각도씩 간헐적으로 회전하는 제2 반송 수단과, 상기 디스크 기판을 표리 반전하는 반전 수단과, 상기 반전된 디스크 기판과, 액형 접착제가 공급되어 있는 다른 디스크 기판을 중합하는 중합 기구와, 상기 중합된 2매의 디스크 기판을 회전 처리하는 스피너 장치와, 상기 회전 처리된 디스크 기판에 자외선을 조사하여 경화시키는 경화 장치를 구비한 광디스크 제조 장치를 제안하는 것이다.

본 발명의 광디스크 제조 장치에 따르면, 품질이 좋은 DVD를 고속으로 일관 생산할 수 있고, 장치 자체는 콤팩트하다.

또한, 청구항 2의 발명에서는 청구항 1에 있어서,

상기 성형기는 1매, 또는 동시에 2매의 디스크 기판을 성형할 수 있는 광디스크 제조 장치를 제안하는 것이다.

또한, 청구항 3의 발명에서는 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,

상기 제1 이동 적재 기구는 1매, 또는 동시에 2매의 디스크 기판을 이동 적재할 수 있는 것을 특징으로 하는 광디스크 제조 장치를 제안하는 것이다.

또한, 청구항 4의 발명에서는 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,

상기 냉각 유닛은 상기 디스크 기판을 1매, 또는 동시에 2매 수취하여 1열 종대 또는 2열 종대로 간격을 두고 세움으로써 방열을 행하는 광디스크 제조 장치를 제안하는 것이다.

또한, 청구항 5의 발명에서는 2매의 디스크 기판을 접합하여 이루어지는 광디스크를 제작하는 광디스크 제조 장치에 있어서,

성형기로 성형된 디스크 기판을 방열하기 위한 냉각 유닛을 구비하고, 이 냉각 유닛은 각각 동일 피치로 나선형으로 형성된 홈을 갖는 3개 이상의 이송 샤프트를 갖고, 이들 이송 샤프트는 상기 디스크 기판의 가상 외주의 일부분에 위치하도록 배치되어 상기 디스크 기판의 외주 부분을 상기 홈 내에 수납하고, 상기 각 이송 샤프트를 동일 속도로 회전시킴으로써 상기 이송 샤프트에 지지된 모든 상기 디스크 기판을 선(先)이송하는 것을 특징으로 하는 광디스크 제조 장치를 제안하는 것이다.

본 발명은 온도가 높은 디스크 기판을 수취하여 냉각을 행하는 거리, 즉 냉각 기구의 길이가 종래에 비해 짧고, 콤팩트하고 게다가 동시에 2매의 디스크 기판의 수취, 또한 인도를 확실하게 행하는 데 적합한 구조이다.

또한, 청구항 6의 발명에서는 2매의 디스크 기판을 접합하여 이루어지는 광디스크를 제작하는 광디스크 제조 장치에 있어서,

성형기로 성형된 디스크 기판의 열을 방열하기 위한 냉각 유닛과, 상기 냉각 유닛으로 냉각된 상기 디스크 기판을 반송 수단으로 이동 적재하는 이동 적재 수단을 구비하고,

이 이동 적재 수단은 상기 냉각 유닛으로부터 상기 디스크 기판을 흡착 보유 지지하여 수직 방향으로 선회한 후에 대략 직각으로 회전하여 상기 디스크 기판을평면 상태로 위치시키고, 상기 반송 수단의 받침부에 적재하는 것을 특징으로 하는 광디스크 제조 장치를 제안하는 것이다.

본 발명에 따르면, 냉각 기구의 디스크 기판을 그 방향을 바꾸어 턴테이블에 적재할 수 있고, 게다가 동시에 2매의 디스크 기판의 교환을 확실하게 행하는 데 적합한 구조이다.

또한, 청구항 7의 발명에서는 정보가 기록된 디스크 기판을 성형하는 성형기, 상기 디스크 기판을 냉각하기 위한 냉각 유닛, 상기 냉각된 디스크 기판의 정보가 기록된 면에 반사막을 형성하는 성막 장치 및 액형 접착제를 거쳐서 중합된 2매의 디스크 기판을 회전 처리하는 스피너 장치와 상기 2매의 디스크 기판 사이의 상기 액형 접착제를 경화시키는 경화 장치로 이루어지는 접합 기구를 구비한 광디스크 제조 장치에 있어서,

상기 성막 장치와 상기 접합 기구 사이에 배출 슈터와 이동 적재 수단을 구비하고, 상기 접합 기구 이후의 출력측에서 트러블이 생겼을 때, 상기 접합 기구 이후의 기구는 정지시키고, 상기 성형기로부터 상기 성막 장치까지의 기구는 동작을 속행시키는 동시에, 상기 이동 적재 장치가 동작하여 상기 성막 장치로부터 출력된 상기 디스크 기판을 상기 배출 슈터로 배출하는 것을 특징으로 하는 광디스크 제조 장치를 제안하는 것이다.

본 발명에 따르면, 접합 기구 이후의 트러블에 대해서는 성형기로부터 성막 장치를 움직이고 있으므로, 설치되는 배출 슈터의 수를 최소한도로 억제하면서 디스크 기판의 성형 품질을 유지할 수 있다.

또한, 청구항 8의 발명에서는 청구항 7에 있어서,

상기 배출 슈터는 2개로 분할되어 있고, 상기 이동 적재 수단은 상기 성막 장치로부터 출력된 상기 디스크 기판에 형성된 반사막의 차이, 또는 반사막의 유무에 의해 교대로 나누는 것을 특징으로 하는 광디스크 제조 장치를 제안하는 것이다.

또한, 청구항 9의 발명에서는 2매의 디스크 기판을 접합하여 이루어지는 광디스크를 제조하는 광디스크 제조 장치에 있어서,

상기 디스크 기판이 적재되는 받침부를 복수 구비하여 일정 각도씩 간헐적으로 회전하는 반송 수단이며,

상기 받침부는 상기 반송 수단의 외주부 근방에서 절제되어 있고, 반사막이 형성된 디스크 기판, 또는 어느 한 쪽에 반사막이 형성된 디스크 기판을 한 쌍으로 하여 교대로 상기 받침부에 수취하는 턴테이블과, 상기 절제 부분을 이용하여 상기 한 쌍의 디스크 기판 내의 한 쪽을 표리 반전하는 반전 수단과, 상기 한 쌍의 디스크 기판 내의 한 쪽 디스크 기판에 액형 접착제를 공급하는 접착제 공급 노즐과, 상기 한 쌍의 디스크 기판끼리를 중합하는 중합 기구와, 중합된 상기 디스크 기판을 회전 처리하는 스피너 장치와, 상기 액형 접착제를 경화시키는 경화 장치를 구비한 광디스크 제조 장치를 제안하는 것이다.

본 발명에 따르면, 콤팩트한 접합 기구로 2매의 디스크 기판의 고품질 접합이 가능하다.

또한, 청구항 10의 발명에서는 청구항 9의 광디스크 제조 장치에 있어서,

상기 중합 기구는 상기 반전된 디스크 기판을 흡입 보유 지지하여 수평 방향으로 선회하고, 옆의 받침부에 적재된 상기 액형 접착제가 공급되어 있는 상기 디스크 기판의 바로 위까지 이동시켜 중합하는 광디스크 제조 장치를 제안하는 것이다.

또한, 청구항 11의 발명에서는 청구항 9 또는 청구항 10에 있어서,

상기 중합 기구는 상기 턴테이블의 하부 방향으로부터 상승하여 상기 반전된 디스크 기판을 상기 턴테이블로부터 수취하여 상승시키는 제1 승강 수단과, 상기 반전된 디스크 기판을 흡입 보유 지지하여 수평 방향으로 선회하고, 옆의 받침부에 적재된 상기 액형 접착제가 공급되어 있는 상기 디스크 기판의 바로 위까지 이동시키는 이동 수단과, 상기 턴테이블 상의 하부 방향으로부터 상승하여 상기 액형 접착제가 공급되어 있는 상기 디스크 기판을 상승시키고, 상기 이동 수단에 보유 지지된 상기 디스크 기판에 중합하고, 이들 중합된 2매의 상기 디스크 기판을 지지하면서 하강하여 상기 턴테이블 상으로 복귀시키는 제2 승강 수단으로 이루어지는 광디스크 제조 장치를 제안하는 것이다.

또한, 청구항 12의 발명에서는 청구항 9 내지 청구항 11 중 어느 하나에 있어서,

상기 스피너 장치로 접합된 2매의 상기 디스크 기판을 차례로 수취하는 반송 수단이며, 그 일부분은 장치벽에 있어서의 외부 방향으로 돌출한 돌출벽 부분으로 둘러싸인 돌출부를 통과하는 턴테이블을 구비하고,

상기 경화 장치는 상기 돌출부에 위치하여 상기 턴테이블이 상기 돌출부를통과할 때에 상기 2매의 디스크 기판에 자외선을 조사하는 광디스크 제조 장치를 제안하는 것이다.

본 발명에 따르면, 경화 장치의 발열이 다른 기구, 공정에 부여하는 악영향을 최소한으로 억제할 수 있다.

또한, 청구항 13의 발명에서는 디스크 기판을 성형하는 성형 공정과, 그 디스크 기판에 반사막을 형성하는 성막 공정과, 액형 접착제를 거쳐서 2매의 디스크 기판을 중합하는 중합 공정과, 중합된 2매의 디스크 기판을 회전 처리하는 회전 처리 공정과, 상기 액형 접착제를 경화시키는 경화 공정을 구비하는 광디스크 제조 방법에 있어서,

성형기로부터 디스크 기판을 취출하여 간격을 두고 차례로 세워 냉각하는 동시에, 상기 디스크 기판을 선이송하는 냉각 공정과, 이 공정에서 선이송되어 소정 위치로 온 상기 디스크 기판을 수직 방향으로 선회시킨 후에 대략 직각으로 회전시켜 평면에 적재하는 이동 적재 공정을 상기 성형 공정과 상기 성막 공정 사이에 구비한 광디스크 제조 방법을 제안하는 것이다.

본 발명에 따르면, 냉각 기구의 디스크 기판을 그 방향을 바꾸어 턴테이블에 적재할 수 있고, 게다가 동시에 2매의 디스크 기판의 교환을 확실하게 행하는 데 적합한 방법이다.

또한, 청구항 14의 발명에서는 디스크 기판을 성형하는 성형 공정, 그 디스크 기판에 반사막을 형성하는 성막 공정 및 액형 접착제를 거쳐서 2매의 디스크 기판을 중합하는 중합 공정과 상기 중합된 2매의 디스크 기판을 회전 처리하는 회전처리 공정과 상기 액형 접착제를 경화시키는 경화 공정으로 이루어지는 접합 공정을 구비하는 광디스크 제조 방법에 있어서,

상기 중합 공정 이후의 공정에 있어서 이상이 발생했을 때에는, 상기 성형 공정으로부터 성막 공정 사이의 공정은 그대로 속행시키고, 상기 반사막이 형성된 디스크 기판을 차례로 배출하여 상기 성막 공정 후의 공정을 경유하지 않도록 한 광디스크 제조 방법을 제안하는 것이다.

본 발명에 따르면, 접합 공정 이후의 트러블에 대해서는 디스크 기판의 성형 공정으로부터 성막 공정을 그대로 작용시키고 있으므로, 배출 공정의 수를 최소한도로 억제하면서 디스크 기판의 성형 품질을 유지할 수 있다.

또한, 청구항 15의 발명에서는 청구항 14에 있어서,

상기 반사막의 종류, 유무에 의해 상기 디스크 기판을 나누어 배출하는 광디스크 제조 방법을 제안하는 것이다.

또한, 청구항 16의 발명에서는 2매의 디스크 기판을 접합하여 이루어지는 광디스크를 제작하는 광디스크 제조 방법에 있어서,

차례로 반송되어 오는 디스크 기판에 차례로 반성막을 형성하거나, 또는 교대로 반사막을 형성하는 성막 공정과, 한 쌍의 상기 디스크 기판 내의 한 쪽을 반전하는 반전 공정과, 상기 반전 공정에서 반전되지 않은 상기 디스크 기판의 상면, 또는 상기 반전 공정에서 반전된 상기 디스크 기판의 하면에 액형 접착제를 공급하는 공정과, 상기 반전된 상기 디스크 기판을 상기 반전되지 않은 상기 디스크 기판의 바로 위까지 반송, 또는 상기 반전되지 않은 상기 디스크 기판을 상기 반전된상기 디스크 기판의 바로 하부까지 반송하여 중합하는 공정과, 상기 2매가 중합된 디스크 기판을 회전 처리하는 공정과, 상기 2매의 디스크 기판 사이의 상기 액형 접착제를 경화시키는 공정을 구비한 광디스크 제조 방법을 제안하는 것이다.

본 발명에 따르면, 콤팩트한 접합 기구로 2매의 디스크 기판의 고품질 접합이 가능하다.

우선, 이 장치 전체의 개략을 도시한 도1에 의해 본 발명에 관한 광디스크의 제조 장치 및 제조 방법의 실시 형태에 대해 설명한다.

도1에 있어서, 부호 1은 성형기(메이키 가부시끼가이샤 제조)이며, 각각의 한 쪽면에 다른 정보가 기록된 2매의 디스크 기판을 동시에 성형한다.

이동 적재 아암과 그 구동 장치로 이루어지는 이동 적재 수단(2)은 성형기(1)로부터 2매의 디스크 기판을 동시에 흡착 보유 지지하여 수취하고, 대략 수직 방향으로 선회하고 난 후에 상술하는 냉각 기구(3)에 적재한다.

냉각 기구(3)는, 성형되기만 한 디스크 기판은 온도가 높기 때문에 상온 부근까지 식히기 위한 것이다.

냉각 기구(3)에 일정 간격으로 늘어 세운 디스크 기판은 일정 속도로 선이송되고, 소정 위치에 도달하였을 때, 2매의 디스크 기판은 제2 이동 적재 수단(4)에의해 제1 회전형 반송 수단인 턴테이블(5) 2개의 받침부(5a)에 동시에 적재된다. 제2 이동 적재 수단(4)에 대해서는 후에 상세하게 서술하지만, 냉각 기구(3)에 늘어 세운 2매의 디스크 기판을 동시에 흡착 보유 지지하여 수직 상부 방향으로 선회하고, 도중에서 그 선회 방향과 대략 직각으로 회전하여 2매의 디스크 기판을 평면형, 즉 턴테이블(5)의 평면과 병행하여 위치시키고, 그러한 후에 다시 수직 하부 방향으로 선회하여 턴테이블(5)의 2개의 받침대(5a)에 동시에 적재한다.

턴테이블(5)에는 120도의 등간격으로 3개의 받침대(5a)가 설치되어 있고, 간헐적으로 120도씩 시계 방향으로 회전하고, 240도 회전할 때마다, 이동 적재 수단(4)에 의해 2매의 디스크 기판을 수취한다.

턴테이블(5)의 받침부(5a)에 적재된 디스크 기판은, 제3 이동 적재 수단(6)에 의해 차례로 제2 턴테이블(7)에 이동 적재된다. 턴테이블(7)은, 예를 들어 8개의 받침대(7d)를 일정 간격으로 구비하는 것이며, 인접하는 받침대(7a) 사이의 각도로 대략 동등한 45도 간격으로 간헐적으로 반시계 방향으로 회전한다.

받침대(7a)에 적재된 디스크 기판(점선으로 나타냄)은, 소정 위치에서 스퍼터링 장치와 같은 성막 장치(8)로 교환된다. 통상의 성막 장치(8)와 마찬가지로, 차례로 디스크 기판은 도시하지 않은 인입 수단에 의해 교환 포지션(P1)에서 성막 장치(8) 내에 공급되고, 반사막이 형성된다. 이 성막 장치(8)는 반사율이 다른 2종류의 반사막을 교대로 형성하는 기능을 갖는 것이며, 반사막이 형성된 디스크 기판은 다시 교환 포지션(P1)에서 정지하고 있는 받침대(7a)로 복귀된다.

따라서, 턴테이블(7)의 받침대(7a)에는 반사율이 다른 반사막이 형성된 디스크 기판이 교대로 복귀되어 적재된다. 턴테이블(7)의 제2 교환 포지션(P2)에서 턴테이블(7)의 받침대(7a) 상의 디스크 기판은 제3 이동 적재 수단(9)에 의해, 접합 기구(BD)에 있어서의 제3 턴테이블(10)로 이동 적재된다.

또, 성막 장치(8)는 수납된 디스크 기판 모두에 동일한 반사막을 형성하거나, 교대로 반사막을 형성하고, 반사막을 형성하지 않는 등의 설정도 가능한 것이다. 또, 여기서 접합 기구(BD)는 제3 턴테이블(10)로부터 후술하는 경화 장치(23) 후의 검사 장치(27)까지의 장치를 포함하는 것으로 한다.

제3 턴테이블(10)은, 예를 들어 12개의 받침부(10a)를 갖고, 대략 60도 간격으로 간헐적으로 시계 방향으로 회전한다. 각 받침부(10a)는 중앙 부분이 공간이 되어 있어 턴테이블(10)의 원주부에서 절결되어 밖으로 개방하고 있는 것이다.

턴테이블(1O)의 받침부(10a)에 적재된 디스크 기판은 교대로, 즉 1매 간격으로 후에 상세하게 서술하는 반전 기구(11)에 의해 그 자리에서 표리 반전된다. 이 때, 다음의 접착제 공급 포지션의 받침부(10a)에 적재된 디스크 기판에는 접착제 공급 기구(12)로부터 액형 접착제의 공급이 행해지고 있다.

접착제 공급 기구(12)는, 그 공급 노즐(12a)이 디스크 기판 상을 1회전함으로써 도우넛형으로 액형 접착제를 형성한다.

그 상태로부터, 턴테이블(10)이 1 스텝, 즉 대략 60도 회전하면, 후에 상세하게 서술하는 중합 기구에 의해, 상기 반전된 디스크 기판이 흡착 보유 지지되어 액형 접착제가 공급된 상기 디스크 기판까지 운반되고, 그 중합 포지션(P3)에서 중합된다.

다음에, 턴테이블(10)이 1 스텝, 즉 대략 60도 회전하여 교환 포지션(P4)에 오면, 중합된 디스크 기판은 3개의 보유 지지 아암을 갖는 이동 적재 기구(14)에 의해 2대의 스피너 장치(15, 16)에 교대로 분류된다. 여기서, 턴테이블(10) 상으로부터 디스크 기판을 교대로 스피너 장치(15, 16)로 이동 적재하는 것은 도시한 한 가운데가 아암이며, 중합된 디스크 기판을 보유 지지하여 90도 좌우로 선회함으로써 2대의 스피너 장치(15, 16)에 교대로 분류한다.

이동 적재 기구(14)가 도시된 좌우로 연장되는 아암은, 각각 스피너 장치(15, 16)로부터 교대로 디스크 기판을 취출하여, 일시 적재 포지션(P5)의 받침대(17)에 적재한다. 여기서 3개의 이동 적재 아암을 구비한 것은, 턴테이블(10) 상으로부터 디스크 기판을 스피너 장치(15, 16)로 이동 적재하는 이동 적재 아암의 보유 지지 기구와, 스피너 장치(15, 16)로부터 디스크 기판을 취출하기 위한 이동 적재 아암의 보유 지지 기구가 다르기 때문이다. 보유 지지 기구를 동일한 것으로 할 수 있다면, 이동 적재 아암은 1개 또는 2개가 충분한다.

도면 중 부호 18은 폐기 슈터이며, 트러블 등에 의해 턴테이블(10)이 소정 시간 이상 정지한 경우에는, 턴테이블(10) 상의 디스크 기판의 액형 접착제가 디스크 기판의 중앙 구멍으로부터 비어져 나와 문제점이 생기는 경우가 있으므로, 트러블이 수복되어 장치가 움직이기 시작한 초기에는, 예를 들어 상기 한 가운데의 이동 적재 아암이 접합된 디스크 기판을 최대 3매째까지 턴테이블(10)의 교환 포지션(P4)으로부터 폐기 슈터에 폐기한다. 본 실시예에서는 4매째로부터 2대의 스피너 장치(15, 16)에 교대로 공급된다.

그리고, 일시적으로 적재 포지션(P5)의 받침대(17)에 적재된 2매가 접합된 디스크 기판은 이동 적재 기구(19)에 의해 턴테이블(20)로 이동 적재된다.

이동 적재 기구(19)는 2개의 이동 적재 아암을 구비하고, 한 쪽 아암이 받침대(17) 상의 디스크 기판을 턴테이블(20)로 이동 적재하고, 다른 쪽 이동 적재 아암이 접착제가 경화된 디스크 기판을 턴테이블(20)로부터 다음의 턴테이블(21)로 이동 적재한다.

턴테이블(20)로 이동 적재된 디스크 기판에는 다음 포지션에서 추 반송 기구(22)에 의해, 중앙에 구멍이 개방된 알루미늄판 또는 내열성 유리와 같은 추(도시하지 않음)가 적재된다. 이 추는 디스크 기판 휨량의 조정을 보조하기 위한 것으로, 3개 준비되어 있다.

추 반송 기구(22)는, 턴테이블(20)의 중앙 적재 포지션(P6)에 적재된 추를 파지하여 탑재 포지션(P7)까지 반송하고, 디스크 기판 상에 적재한다. 한편, 제거 포지션(P8)에서는 추 반송 기구(22)가 열처리된 디스크 기판 상의 추를 제거하여 적재 포지션(P6)까지 운반하고, 그곳에 적재한다. 따라서, 3개의 추이면 충분하다. 적재 포지션(P6)에서 추는 냉각된다.

그리고, 디스크 기판은 경화 포지션(P9)에서, 경화 장치(23)의 자외선 조사부로부터의 자외선이 조사되고, 디스크 기판 사이의 액형 접착제가 경화된다.

자외선 조사부는, 펄스형으로 자외선을 발광하는 크세논 램프 또는 연속광을 발생하는 자외선 발생 램프를 턴테이블(20)의 상측 또는 하측, 혹은 쌍방에 구비한다. 본 실시예에서는 후에 상술하는 바와 같이 쌍방에 자외선 조사기를 구비하고,상측과 하측으로부터의 자외선 조사량을 조정하여 디스크 기판의 휨을 작게 하고 있다.

그리고, 최초의 포지션으로 복귀한 광디스크는 전술한 바와 같이 이동 적재 장치(19)에 의해 냉각용 턴테이블(21)에 이동 적재된다. 턴테이블(21)은 턴테이블(1O)과 마찬가지로, 그 원주부에서 절결된 4개의 받침부를 구비한다. 4개의 받침부는 대략 90도 간격으로 구비되고, 턴테이블(21)은 간헐적으로 대략 90도씩 반시계 방향으로 회전한다.

광디스크를 수취한 위치로부터 턴테이블(21)이 스텝 1, 즉 90도 회전한 제2 포지션에서, 광디스크는 반전 수단(11)과 같은 반전 수단(24)에 의해 표리 반전된다. 이 반전은 후에 행해지는 검사 행정의 관계가 선택적으로 이루어지고, 검사상 필요가 없으면 반전 수단은 동작하지 않아, 반전은 행해지지 않는다.

다음의 제3 포지션에서, 제전 블로워(25)가 이온화된 공기를 송풍하여 광디스크의 표면에 부착된 먼지 등을 제거한다.

제4 포지션에서, 광디스크는 2개의 이동 적재 아암을 갖는 이동 적재 수단(26)의 한 쪽 이동 적재 아암에 의해 검사 장치(27)로 반송된다. 턴테이블(21)로 반송되고 있는 과정에서, 경화 장치(23)의 열에 의해 온도 상승한 광디스크의 온도는 대략 상온 부근까지 저하한다.

검사 장치(27)는 하면측으로부터 설정된 검사를 행한다. 검사가 종료되면, 이동 적재 수단(26)의 다른 쪽 이동 적재 아암에 의해 검사 장치(27)의 광디스크는 승강 스테이지(28)에 적재된다. 승강 스테이지(28)는 광디스크를 수취하면, 이동적재 수단(29)의 이동 적재 아암이 대기하는 위치까지 상승하여 그 흡착면에 접촉한다. 이에 수반하여, 이동 적재 수단(29)이 작동하여 광디스크를 이동 적재 아암에 흡착 보유 지지하는 동시에, 수평으로 선회하고, 검사 결과가 합격한 것은 양품 테이블(30) 상의 스택커(31)에 차례로 적재되어 쌓여진다.

또한, 검사 결과가 불합격인 것은 불량품 테이블(32) 상의 스택커(33) 또는 불량품 테이블(34) 상의 스택커(35)로 이동 적재되어 쌓여진다.

그리고, 승강 스테이지(28)는 광디스크를 이동 적재 수단(29)으로 전달하면, 강하하여 원래의 위치로 복귀한다. 따라서, 이동 적재 수단(29)의 이동 적재 아암은 수평으로 선회 동작을 행할 뿐이다. 이 점, 다른 이동 적재 장치(6, 9, 14, 19, 26)의 이동 적재 아암은 상승 동작, 하강 동작, 수평 선회 동작을 행한다.

또, 양품 테이블(30)에는 복수의 스택커(31)가 일정 간격으로 착탈 가능하게 탑재되어 있고, 소정 매수의 광디스크가 적재되면, 테이블(30)이 회전하여 다음의 스택커(31)에 광디스크가 적재되도록 되어 있다. 이와 같은 과정을 경유하여, 광디스크의 양품은 양품 테이블(30) 상의 스택커(31)에, 불량품은 불량품 테이블(32, 34)에 적재되어 제조 행정이 종료된다.

다음에, 턴테이블(10) 이후의 기구에 트러블이 생긴 경우에 대해 도2에 의해 설명한다. 도2의 (a)는 이상이 없는 경우의 동작 상태, 도2의 (b)는 이상이 생긴 경우의 동작 상태를 각각 도시한다. 이상이 없는 경우의 동작에 대해서는 이미 서술하였으므로 설명은 생략한다.

성막 공정 후의 공정에서 이상이 생긴 경우에는, 턴테이블(10) 이후의 기구는 자동적 또는 수동으로 정지하게 되지만, 성형 품질을 보유 지지하기 위해 성형기(1)로부터 이동 적재 수단(9)까지의 기구는 동작을 속행한다.

이 때, 이동 적재 수단(9)은 정상시와는 다른 동작을 행하고, 턴테이블(7)의 포지션(P2)에서 디스크 기판을 흡착 보유 지지하여 배출 슈터(36)에 배출한다. 이 배출 슈터(36)는 2개로 분할되어 있고, 디스크 기판에 형성된 반사막의 금속 재료의 종류 또는 반사막이 형성되어 있는 것과, 형성되어 있지 않은 것으로 나뉘어진다. 이 점은, 이동 적재 수단(9)의 이동 적재 아암이 시퀀스에 의해 교대로 배출 슈터(36)의 2분할된 슈터로 분류하는 것만으로 실현된다.

다음에, 도3에 도시한 바와 같이 성형기(1)로부터 냉각 유닛(3)에 성형된 디스크 기판을 이동 적재하는 구체적인 실시예에 대해 설명한다.

이동 적재 수단은 구동부(2a), 구동부(2a)에 의해 동작하는 이동 적재 아암(2b), 이동 적재 아암(2b)의 선단부에 설치된 2개의 흡착부(2c, 2d)를 구비한다. 우선, 성형기(1)로부터는 도시하지 않은 디스크 기판 취출 수단에 의해 2매의 디스크 기판이 동시에 취출된다. 도3의 (a)에 도시한 바와 같이, 이동 적재 수단(2)은 그 디스크 기판 취출 수단으로부터 2매의 디스크 기판(a, b)을 동시에 수취하여 흡착 보유 지지하는 동시에, 화살표로 나타낸 수직 하부 방향으로 선회한다.

그리고, 도3의 (b)에 도시한 바와 같이 2매의 디스크 기판(a, b)이 냉각 유닛(3)의 적재 위치 상에 이르면, 이동 적재 아암(2b)이 하부 방향으로 연장되고, 2매의 디스크 기판(a, b)을 냉각 유닛(3)에 동시에 적재한다.

냉각 유닛(3)은, 선이송 샤프트(3a)가 3개 1세트로 이루어지는 2개의 냉각부를 갖는, 선이송 샤프트(3a)는 전부 동일 구조이며, 도4에 도시한 바와 같이 직선 샤프트에 일정 피치로 형성된 나선형의 이송 홈(3b)을 갖는다. 이 이송 홈(3b)은 디스크 기판[a(b)]의 원주부가 그 속으로 들어 가 간단하게는 일탈하지 않은 깊이와 폭을 갖는다. 상기 3개의 선이송 샤프트(3a)는, 바람직하게는 2등변 3각형의 꼭지점에 배치되고, 3개의 선이송 샤프트(3a)의 이송 홈(3b)이 균등하게 디스크 기판[a(b)]의 원주부를 받치도록 배치되어 있다. 이들 6개의 선이송 샤프트(3a)는 도3의 (a)에 도시된 구동부(3b)에 의해 일정 속도로 화살표 방향으로 회전한다.

따라서, 각각의 세트인 3개의 선이송 샤프트(3a)에 세워 적재된 디스크 기판(a, b)은 다음 디스크 기판이 이동 적재 수단(2)에 의해 적재되어 오기까지, 일정 거리 선이송되고 있다. 이와 같이 하여 2열 종대로 소정 매수의 디스크 기판(a, b)이 차례로 선이송되고, 소정 위치까지 이송되면, 전술한 바와 같이 이동 적재 수단(4)에 의해 디스크 기판(a, b)이 동시에 턴테이블(5)로 이동 적재된다.

이동 적재 수단(4)은 구동부(4a), 구동부(4a)에 의해 동작하는 선회 아암(4b), 선회 아암(4b)으로부터 간격을 두고 수직으로 연장되는 회전 아암(4c, 4d)을 갖는다. 회전 아암(4c, 4d)은, 각각 디스크 기판(a, b)의 정보가 기록되어 있지 않은 내측 부분을 흡착하는 흡착 패드(도시하지 않음)를 갖는다. 도5의 (a)에 도시한 바와 같이, 회전 아암(4c, 4d)의 흡착부(4e)가 디스크 기판(a, b)을 흡착 보유 지지하면, 선회 아암(4b)이 도시한 화살표와 같이 선회 운동을 행하고, 점선으로 나타낸 상태가 된다.

그러한 후, 회전 아암(4c, 4d)이 선회면에 대해 대략 직각으로 회전하고, 도5의 (c)에 도시한 바와 같이 디스크 기판(a, b)은 턴테이블(5) 2개의 받침대(5a)에 동시에 적재된다. 이와 같은 다음 동작은, 턴테이블(5)이 2 스텝, 즉 대략 240도 회전하고, 2개의 빈 받침대(5a)가 선회 아암(4b)의 선회면에 대해 서로 동등한 위치에서 정지될 때에 행해진다.

다음에, 성막 장치(8)에 의한 성막 후로부터, 접합 기구(BD)에 있어서의 접합 공정 내의 디스크 기판의 반전, 액형 접착제의 공급을 경유하여 2매의 디스크 기판을 중합하기 까지의 과정인 구체적인 제1 실시예에 대해, 도6 내지 도10에 의해 설명한다.

성막 장치(8)로부터는 2종류의 디스크 기판(A, B)이 교대로 출력되고, 턴테이블(7)의 받침대에 적재된다. 디스크 기판(A, B)은 반사율이 다른 반사막이 각각 형성되어 있거나, 또는 디스크 기판(A)에 정보가 기록되어 있지 않은 경우에는 디스크 기판(B)에만 반사막이 형성되어 있고, 디스크 기판(A)에는 반사막이 형성되어 있지 않거나, 디스크 기판(A, B)에 대략 동등한 반사막이 형성되어 있다.

턴테이블(7) 상의 디스크 기판(A, B)은 이동 적재 수단(9)에 의해 차례로 턴테이블(10)의 받침부(10a)에 적재된다. 이 턴테이블(10)은 12개의 받침부(10a)를 갖기 때문에, 대략 30도의 각도로 간헐적으로 회전하고, 도7의 점선으로 나타낸 바와 같이 디스크 기판(A, B)의 포지션 한 쌍을 1 스텝으로서 공정이 행해진다. 따라서, 이동 적재 수단(9)은 턴테이블(10)이 정지하고 있는 동안에 그 인접하는 한 쌍의 받침부(10a)에 디스크 기판(A, B)을 차례로 적재한다. 그리고, 디스크기판(B)만이 반전 포지션에서 반전 수단(11)에 의해 반전되고, 디스크 기판(A)은 반전되지 않고 다음 포지션으로 반송된다.

도8에 도시한 바와 같이, 반전 수단(11)은 턴테이블(10) 받침부(10a)의 절결부(10b)를 통해 연장되는 파지 아암(11a)과 이 파지 아암을 180도 회전 구동하는 구동부(11b), 도9에서 도시되어 있는 파지 아암(11a)과 구동부(11b)를 지지하는 수직 방향 아암(11c), 그 수직 방향 아암(11c)을 승강시키는 직선 구동부(11d) 등으로 이루어진다.

그 반전 수단(11)과 동작에 대해 도9를 이용하여 설명하면, 그 도9의 (a)에 도시한 바와 같이 파지 아암(11a)의 파지부(11e)는 파지 아암(11a)을 지지점으로 하여 선단부측으로부터 개방하는 타입인 것이며, 각각의 선단부에는 디스크 기판의 중앙 구멍 주위의 비기록부를 파지하기 위한 원형 파지판(11f)이 부착되어 있다. 파지부(11c)는 개방된 상태에서 대기하고 있고, 도9의 (b)에 도시한 바와 같이 디스크 기판(B)이 반전 포지션에 오면, 구동부(11b)가 동작하여 파지부(11e)를 폐쇄하고, 원형 파지판(11f)이 디스크 기판(B)의 중앙 구멍 근방의 비기록부를 양측으로부터 파지한다.

그러한 후에 도9의 (c)에 도시한 바와 같이, 직선 구동부(11d)의 로드(11d')가 상승하고, 그 로드(11d')에 고정된 파지 아암(11)이 상승하는 데 수반하고, 파지 아암(11a) 및 파지부(11e)는 디스크 기판(B)의 회전에 지장이 없는 위치까지 상승한다.

다음에, 파지부(11e)는 180도 회전한다. 도9의 (d)는 그 도중의 90도 회전상태를 도시하고, 도9의 (e)는 180도 회전한 형태를 도시한다. 그 후, 직선 구동부(11d)의 로드(11d')가 후퇴하고, 도9의 (f)에 도시한 바와 같이 파지 아암(11a) 및 파지부(11e)는 원래의 위치로 하강하고, 도9의 (a)에 도시한 바와 같이 파지부(11e)가 개방하여 표리 반전된 디스크 기판(B)을 턴테이블(10)의 받침부(10a)로 복귀시킨다. 이와 같이 하여 디스크 기판(B)은 표리 반전된다.

도7에 도시한 바와 같이 이 때 동시에 다음의 포지션에서는 접착제 공급 기구(12)가 동작하고 있고, 그 노즐이 액형 접착제를 토출하면서 1회전함으로써, 디스크 기판(A)에 도우넛형의 두꺼운 액형 접착제의 막을 형성한다. 이와 같이 디스크 기판(B)의 표리 반전이나 디스크 기판(A)으로의 액막 형성이 행해지고 있는 동안에, 그 바로 다음 포지션의 디스크 기판(B)이 디스크 기판(A)에 중합된다. 즉, 중합 기구로 이송되어 오는 디스크 기판(A)에는 전부 도우넛형의 두꺼운 액형 접착제 막이 형성되어 있고, 또한 디스크 기판(B)은 전부 표리 반전되어 있다.

이 중합에 대해 도10을 이용하여 설명하면, 중합 기구(13)는 180도 좌우로 회전하는 샤프트(13a), 샤프트(13a)의 선단부에 부착된 흡착판(13b), 흡착판(13b)의 한 쌍의 흡착부(13c, 13d), 턴테이블(1O)의 하측에 위치하여 그 받침부(10a)를 각각 통해서 승강 동작하는 승강 장치(13e, 13f) 등으로 이루어진다. 흡착판(13b)의 한 쌍의 흡착부(13c, 13d)는 턴테이블(10)의 인접하는 한 쌍의 받침부(10a)의 상방에 위치하고, 승강 장치(13e, 13f) 각각의 받침면(13e', 13f')은 턴테이블(10)의 받침부(10a)의 내경보다도 작아져 있다.

턴테이블(10)이 간헐적으로 회전하여 정지하면, 승강 장치(13e)의받침면(13e')이 상승 운동을 개시하고, 그 상승 과정에서 턴테이블(10)로부터 디스크 기판(B)을 수취하여 더욱 상승하여 디스크 기판(B)을 흡착부(13c)에 접촉시킨다. 이 때 흡착부(13c)는 흡착 동작을 개시하고 있으므로, 디스크 기판(B)은 흡착부(13c)에 흡착된다.

다음에, 샤프트(13a)가 180도 회전함으로써, 흡착부(13c)가 흡착부(13d) 위치로 이동하고, 흡착부(13d)는 흡착부(13c)의 위치로 이동하고, 그 위치에서 정지한다. 그러면, 승강 장치(13f)가 동작하여 그 받침면(13f')이 상승하고, 그 상승 과정에서 턴테이블(10)로부터 디스크 기판(A)을 수취하여 더욱 상승하여 디스크 기판(A)을 디스크 기판(B)에 접촉시켜 중합이 행해진다. 이 상태에서, 흡착부(13c)는 흡착 동작을 정지하고, 디스크 기판(B)을 개방한다. 이에 수반하여, 중합된 디스크 기판(A, B)은 승강 장치(13f)의 받침면(13f')에 수취된다.

다음에, 승강 장치(13f)의 받침면(13f')이 하강을 개시하고, 그 하강 과정에서 디스크 기판(A, B)을 턴테이블(10) 상에서 주고 받고, 받침면(13f')은 더욱 하강하여 원래의 위치로 복귀한다. 그리고, 전술한 바와 같이 중합된 디스크 기판(A, B)은 교대로 스피너 장치(15, 16)에 교대로 분류하여 공급된다.

이 중합시에 상승 장치(13f)의 상승 속도를 다음과 같이 제어하는 것이 바람직하다. 디스크 기판(A)이 디스크 기판(B)에 접촉하기 직전까지 큰 속도로 접근시키고, 접촉하기 직전에서 대폭으로 감속하여 디스크 기판(A) 상의 접착제를 디스크 기판(B)에 접촉시키고, 필요에 따라서 더욱 감속하여 접착제를 눌러 편다. 이 때, 디스크 기판(A) 상의 액형 접착제가 디스크 기판(B)에 접촉하기 직전에, 디스크 기판(A)과 디스크 기판(B) 사이에 교류 전압 또는 직류 전압을 인가하면 더욱 바람직하다. 교류 전압 또는 직류 전압을 인가함으로써, 디스크 기판(A)과 디스크 기판(B) 사이에 보이드, 즉 기포가 형성되어 버리는 것을 방지할 수 있다.

다음에, 경화 장치(23)의 일실시예에 대해 도11을 이용하여 설명한다. 도 11의 (a)는 턴테이블(20)과 경화 장치(23)의 상면도, 도11의 (b)는 정면도이다.

이들 도면에 있어서, 도1에서 도시한 이동 적재 수단(19) 및 추 반송 수단(22)에 대해서는 도시한 것을 생략하고 있다. 경화 장치(23)는, 턴테이블(20)에 대해 대략 수직으로 그 하측까지 연장되는 열차폐판(23a), 턴테이블(20)의 상측과 하측에 점선으로 나타낸 자외선 조사기(23b, 23c), 자외선이 외부로 누출되는 것을 제한하기 위한 스커트(23d) 등으로 이루어진다. 도1에 도시한 바와 같이, 열차폐판(23a)은 양옆 접합부의 외부벽(X)과 배출부의 외부벽(Y)을 잇는 선 상에 가까운 위치에 있으며, 따라서 열을 발하는 자외선 조사기(23b, 23c)는 접합부의 외부벽(X)과 배출부의 외부벽(Y)을 잇는 선보다도 외측에 위치한다. 이 배치와 열차폐판(23a)이 다른 부분으로의 열적 영향을 작게 하고, 또한 스커트(23d)가 이 효과를 높이고 있다.

본 실시예에서는, 자외선 조사기(23b, 23c)에 의해 접합된 2매의 디스크 기판의 양측으로부터 자외선이 조사된다. 접합된 2매의 디스크 기판의 휨 방향은 똑같기 때문에, 자외선 조사기(23b, 23c)의 출력되는 자외선량을 조정함으로써, 휨을 작게 할 수 있다. 접합된 2매의 디스크 기판마다 그 휨량을 검출하고, 전기 신호로 변환하여 자외선 조사기(23b, 23c)의 출력되는 자외선량을 제어하면, 휨 크기에따르지 않고 대략 평탄한 광디스크를 얻는 것이 가능하다.

또, 이상의 실시예에서는 성형기(1)는 2매의 디스크 기판을 동시에 성형하는 동시에, 성막 장치(8)도 반사율이 다른 2종류의 반사막을 형성할 수 있는 예에 대해 서술하였지만, 성형기는 1매의 디스크 기판을 성형만할 수 있는 것으로, 또한 성막 장치(8)도 1종류의 반사막을 형성할 수 있는 것이라도 좋다. 이 경우, 성형기는 2대 필요하며, 도1의 성형기(1)와 직각 방향으로 2대 평행하게 배치하고, 그 사이에 냉각 기구(3)를 설치하면 좋다.

그리고, 양측의 성형기로부터 각각의 이동 적재 수단에 의해 냉각 기구에 디스크 기판을 이동 적재하고, 디스크 기판은 전술한 바와 같은 냉각 기구의 구조에 의해 턴테이블(5) 방향으로 선이송되고, 그 선이송된 2매의 디스크 기판이 소정 위치로 왔을 때 동시에 흡착 보유 지지하여 턴테이블로 이동 적재하면 좋다.

또한, 도1에 도시한 턴테이블(5)은 받침대(5a)가 3개가 아니어도 좋고, 4개 이상이라도 좋다. 성막 장치(8)가 1종류의 반사막을 형성하는 기능을 갖일 경우에는, 그 위에 또 1대 성막 장치를 구비하고, 각각의 성막 장치에서 반사막을 형성한 후의 디스크 기판을 턴테이블(7)의 받침대(7a)에 교대로 출력하면 좋다. 그 후의 기구에 대해서는, 도1에 도시한 구조의 것을 그대로 사용할 수 있다. 이 점은 실용상의 효과를 발휘한다.

또한, 액형 접착제의 공급은 반드시 디스크 기판의 상면에 공급하지 않아도 좋고, 표리 반전한 디스크 기판의 하면에 공급해도 좋다. 이 경우에는, 턴테이블의 받침부를 통해서 접착제 공급 노즐을 상승시키고, 디스크 기판에 접촉 직전에정지시켜 액형 접착제를 디스크 기판의 하면에 부착시키게 된다.

이 경우에는, 도우넛형으로 액형 접착제를 공급하는 시간을 단축할 수 있는 동시에, 바람직한 형태의 도우넛형으로 액형 접착제를 형성할 수 있으므로 보다 품질이 높은 접합이 가능해진다.

이상 서술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 콤팩트하면서 생산 속도가 빠른 광디스크 제조 장치를 제공할 수 있고, 게다가 품질이 높은 광디스크를 생산할 수 있다.

Claims (16)

1. 2매의 디스크 기판을 접합하여 이루어지는 광디스크 기판을 제작하는 광디스크 제조 장치에 있어서,

   정보가 기록된 디스크 기판을 성형하는 성형기와,

   상기 디스크 기판을 냉각하기 위한 냉각 유닛과,

   상기 성형기로부터 상기 디스크 기판을 상기 냉각 유닛으로 이동 적재하는 제1 이동 적재 수단과,

   상기 냉각 기구로부터 상기 디스크 기판을 제1 반송 수단의 받침부에 적재하는 제2 이동 적재 수단과,

   상기 제1 반송 수단으로부터 상기 디스크 기판을 차례로 수취하여 그 정보가 기록된 면에 반사막을 형성하는 성막 장치와,

   상기 디스크 기판이 적재되는 받침부를 복수 구비하여 일정 각도씩 간헐적으로 회전하는 제2 반송 수단과,

   상기 디스크 기판을 표리 반전하는 반전 수단과,

   상기 반전된 디스크 기판과, 액형 접착제가 공급되어 있는 다른 디스크 기판을 중합하는 중합 기구와,

   상기 중합된 2매의 디스크 기판을 회전 처리하는 스피너 장치와,

   상기 회전 처리된 디스크 기판에 자외선을 조사하여 경화시키는 경화 장치를 구비한 것을 특징으로 하는 광디스크 제조 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 성형기는 1매 또는 동시에 2매의 디스크 기판을 성형할 수 있는 것을 특징으로 하는 광디스크 제조 장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제1 이동 적재 기구는 1매 또는 동시에 2매의 디스크 기판을 이동 적재할 수 있는 것을 특징으로 하는 광디스크 제조 장치.
4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 냉각 유닛은 상기 디스크 기판을 1매 또는 동시에 2매 수취하여 1열 종대 또는 2열 종대로 간격을 두고 세움으로써 방열을 행하는 것을 특징으로 하는 광디스크 제조 장치.
5. 2매의 디스크 기판을 접합하여 이루어지는 광디스크를 제작하는 광디스크 제조 장치에 있어서,

   성형기로 성형된 디스크 기판을 방열하기 위한 냉각 유닛을 구비하고,

   이 냉각 유닛은, 각각 동일 피치로 나선형으로 형성된 홈을 갖는 3개 이상의 이송 샤프트를 갖고, 이들 이송 샤프트는 상기 디스크 기판의 가상 외주의 일부분에 위치하도록 배치되고, 상기 디스크 기판의 외주 부분을 상기 홈 내에 수납하고, 상기 각 이송 샤프트를 동일 속도로 회전시킴으로써 상기 이송 샤프트에 지지된 모든 상기 디스크 기판을 선이송하는 것을 특징으로 하는 광디스크 제조 장치.
6. 2매의 디스크 기판을 접합하여 이루어지는 광디스크를 제작하는 광디스크 제조 장치에 있어서,

   성형기로 성형된 디스크 기판의 열을 방열하기 위한 냉각 유닛과,

   상기 냉각 유닛으로 냉각된 상기 디스크 기판을 반송 수단으로 이동 적재하는 이동 적재 수단을 구비하고,

   이 이동 적재 수단은, 상기 냉각 유닛으로부터 상기 디스크 기판을 흡착 보유 지지하여 수직 방향으로 선회한 후 대략 직각으로 회전하여 상기 디스크 기판을 평면 상태로 위치시켜, 상기 반송 수단의 받침부에 적재하는 것을 특징으로 하는 광디스크 제조 장치.
7. 정보가 기록된 디스크 기판을 성형하는 성형기, 상기 디스크 기판을 냉각하기 위한 냉각 유닛, 상기 냉각된 디스크 기판의 정보가 기록된 면에 반사막을 형성하는 성막 장치 및 액형 접착제를 거쳐서 중합된 2매의 디스크 기판을 회전 처리하는 스피너 장치와 상기 2매의 디스크 기판 사이의 상기 액형 접착제를 경화시키는 경화 장치로 이루어지는 부착 기구를 구비한 광디스크 제조 장치에 있어서,

   상기 성막 장치와 상기 부착 기구의 사이에 배출 슈터와 이동 적재 수단을 구비하고,

   상기 부착 기구 이후의 출력측에서 트러블이 생겼을 때, 상기 부착 기구 이후의 기구는 정지시키고, 상기 성형기로부터 상기 성막 장치까지의 기구는 동작을 속행시키는 동시에, 상기 이동 적재 장치가 동작하여 상기 성막 장치로부터 출력된상기 디스크 기판을 상기 배출 슈터로 배출하는 것을 특징으로 하는 광디스크 제조 장치.
8. 제7항에 있어서, 상기 배출 슈터는 두개로 분할되어 있고, 상기 이동 적재 수단은 상기 성막 장치로부터 출력된 상기 디스크 기판에 형성된 반사막의 차이 또는 반사막의 유무에 의해 교대로 분류하는 것을 특징으로 하는 광디스크 제조 장치.
9. 2매의 디스크 기판을 접합하여 이루어지는 광디스크를 제조하는 광디스크 제조 장치에 있어서,

   상기 디스크 기판이 적재되는 받침부를 복수 구비하여 일정 각도씩 간헐적으로 회전하는 반송 수단이며,

   상기 받침부는 상기 반송 수단의 외주부 근방에서 절제되어 있고, 반사막이 형성된 디스크 기판 또는 어느 한 쪽에 반사막이 형성된 디스크 기판을 한 쌍으로서 교대로 상기 받침부에 수취하는 턴테이블과,

   상기 절제 부분을 이용하여, 상기 한 쌍의 디스크 기판 내의 한 쪽을 표리 반전하는 반전 수단과,

   상기 한 쌍의 디스크 기판 내의 한 쪽 디스크 기판에 액형 접착제를 공급하는 접착제 공급 노즐과,

   상기 한 쌍의 디스크 기판끼리를 중합하는 중합 기구와,

   중합된 상기 디스크 기판을 회전 처리하는 스피너 장치와,

   상기 액형 접착제를 경화시키는 경화 장치를 구비한 것을 특징으로 하는 광디스크 제조 장치.
10. 제9항에 있어서, 상기 중합 기구는 상기 반전된 디스크 기판을 흡인 보유 지지하여 수평 방향으로 선회하고, 옆 받침부에 적재된 상기 액형 접착제가 공급되어 있는 상기 디스크 기판의 바로 위까지 이동시켜 중합하는 것을 특징으로 하는 광디스크 제조 장치.
11. 제9항 또는 제10항에 있어서, 상기 중합 기구는 상기 턴테이블의 하부 방향으로부터 상승하여 상기 반전된 디스크 기판을 상기 턴테이블로부터 수취하여 상승시키는 제1 승강 수단과,

    상기 반전된 디스크 기판을 흡입 보유 지지하여 수평 방향으로 선회하고, 옆 받침부에 적재된 상기 액형 접착제가 공급되어 있는 상기 디스크 기판의 바로 위까지 이동시키는 이동 수단과,

    상기 턴테이블 상의 하부 방향으로부터 상승하여 상기 액형 접착제가 공급되어 있는 상기 디스크 기판을 상승시켜, 상기 이동 수단으로 보유 지지된 상기 디스크 기판에 중합하고, 이들 중합된 2매의 상기 디스크 기판을 지지하면서 하강하여 상기 턴테이블 상으로 복귀시키는 제2 승강 수단으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광디스크 제조 장치.
12. 제9항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 스피너 장치로부터 접합된 2매의 상기 디스크 기판을 차례로 수취하는 반송 수단이며,

    그 일부분은 장치벽에 있어서의 외부 방향으로 돌출한 돌출벽 부분에 둘러싸인 돌출부를 통과하는 턴테이블을 구비하고,

    상기 경화 장치는 상기 돌출부에 위치하고, 상기 턴테이블이 상기 돌출부를 통과할 때에 상기 2매의 디스크 기판에 자외선을 조사하는 것을 특징으로 하는 광디스크 제조 장치.
13. 디스크 기판을 성형하는 성형 공정, 그 디스크 기판에 반사막을 형성하는 성막 공정 및 액형 접착제를 거쳐서 2매의 디스크 기판을 중합하는 중합 공정과 중합된 2매의 디스크 기판을 회전 처리하는 회전 처리 공정과 상기 액형 접착제를 경화시키는 경화 공정으로 이루어지는 접합 공정을 구비하는 광디스크 제조 방법에 있어서,

    성형기로부터 디스크 기판을 취출하여 간격을 두고 차례로 세워 냉각하는 동시에, 상기 디스크 기판을 선이송하는 냉각 공정과,

    상기 공정에서 선이송되어 소정 위치에 온 상기 디스크 기판을 수직 방향으로 선회시킨 후에 대략 직각으로 회전시켜 평면에 적재하는 이동 적재 공정을 상기 성형 공정과 상기 성막 공정 사이에 구비한 것을 특징으로 하는 광디스크 제조 방법.
14. 디스크 기판을 성형하는 성형 공정, 그 디스크 기판에 반사막을 형성하는 성막 공정 및 액형 접착제를 거쳐서 2매의 디스크 기판을 중합하는 중합 공정과 상기 중합된 2매의 디스크 기판을 회전 처리하는 회전 처리 공정과 상기 액형 접착제를 경화시키는 경화 공정으로 이루어지는 접합 공정을 구비하는 광디스크 제조 방법에 있어서,

    상기 중합 공정 이후의 공정에 있어서 이상이 발생했을 때에는, 상기 성형 공정으로부터 성막 공정 사이의 공정은 그대로 속행시키고, 상기 반사막이 형성된 디스크 기판을 차례로 배출하여 상기 성막 공정 후의 공정을 거치지 않도록 한 것을 특징으로 하는 광디스크 제조 방법.
15. 제14항에 있어서, 상기 반사막의 종류, 유무에 의해 상기 디스크 기판을 나누어 배출하는 것을 특징으로 하는 광디스크 제조 방법.
16. 2매의 디스크 기판을 접합하여 이루어지는 광디스크를 제작하는 광디스크 제조 방법에 있어서,

    차례로 반송되어 오는 디스크 기판에 차례로 반사막을 형성하거나 또는 교대로 반사막을 형성하는 성막 공정과,

    한 쌍의 상기 디스크 기판 내의 한 쪽을 반전하는 반전 공정과,

    상기 반전 공정에서 반전되지 않은 상기 디스크 기판의 상면, 또는 상기 반전 공정에서 반전된 상기 디스크 기판의 하면에 액형 접착제를 공급하는 공정과,

    상기 반전된 상기 디스크 기판을 상기 반전되지 않은 상기 디스크 기판의 바로 위까지 반송, 또는 상기 반전되지 않은 상기 디스크 기판을 상기 반전된 상기 디스크 기판의 바로 아래까지 반송하여 중합하는 공정과,

    상기 2매의 중합된 디스크 기판을 회전 처리하는 공정과,

    상기 2매의 디스크 기판 사이의 상기 액형 접착제를 경화시키는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 광디스크 제조 방법.