JP2697124B2

JP2697124B2 - 光学ディスク製造装置におけるディスク受渡機構

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Publication number: JP2697124B2
Application number: JP12107389A
Authority: JP
Inventors: 英俊渡辺; 広次鈴木; 真伸山本
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1989-05-15
Filing date: 1989-05-15
Publication date: 1998-01-14
Anticipated expiration: 2013-01-14
Also published as: JPH02301080A; AU8023594A; AU661115B2; AU671047B2; AU8023494A; AU3520193A; AU672146B2

Description

【発明の詳細な説明】本発明光学ディスク製造装置におけるディスク受渡機
構を以下の項目に従って詳細に説明する。

A.産業上の利用分野 B.発明の概要 C.従来技術［第10図乃至第12図］ D.発明が解決しようとする課題［第11図、第12図］ E.課題を解決するための手段 F.実施例［第１図乃至第９図］Ｆ−1.第１の実施例［第１図乃至第７図］ a.光学ディスク製造装置の概要［第１図］ b.ディスク載置台［第２図乃至第７図］ c.受渡アーム［第２図、第６図、第７図］ｃ−1.第１の受渡アームｃ−2.第２の受渡アームＦ−2.第２の実施例［第８図］Ｆ−3.第３の実施例［第９図］ G.発明の効果（A.産業上の利用分野）本発明は新規な光学ディスク製造装置におけるディス
ク受渡機構に関する。詳しくは、ディスク載置台にディ
スク基板を載置し及び／又はディスク載置台からディス
ク基板を取り出すのに、ディスク基板のディスク載置台
と接触しない側の面に全く触れることを要せずに上記作
業を行なうことができるようにしてディスク基板のディ
スク載置台と接触しない面を清浄な状態に保っておくこ
とができる新規な光ディスク製造装置におけるディスク
受渡機構を提供しようとするものである。

（B.発明の概要）本発明光学ディスク製造装置におけるディスク受渡機
構は、ディスク載置台にディスク載置部の中心部からデ
ィスク載置台の一側面に達するアクセス溝を形成し、受
渡機構に備えられた吸着ヘッドが上記アクセス溝を通っ
てディスク載置台の外側とディスク載置部の中心部との
間を移動するようにすることによって、上記吸着ヘッド
がディスク基板のディスク載置台と接触しない側の面を
吸着した状態でディスク載置台のディスク載置部にディ
スク基板を載置し及び／又はディスク載置部からディス
ク基板を取り出すことができ、これによって、ディスク
載置台のディスク載置部へのディスク基板の載置及び／
又はディスク載置部からのディスク基板の取出を行なう
についてディスク基板のディスク載置台に接触しない側
の面に触れる必要がなく、従って、ディスク基板のディ
スク載置台と接触しない側の面を清浄に保っておくこと
ができる。

（C.従来技術）［第10図乃至第12図］コンパクトオーディオディスク（CD）やレーザーディ
スク（LD、LVD）等の光学ディスクの製造方法には種々
のものが提案されているが、その中に2P法（光重合法）
と称されるものがある。

この2P法というのは、紫外線硬化樹脂を用いて光学デ
ィスクを複製するもので、第10図に示すように、スクリ
ーン印刷の手法を用いてディスク基板ａの片方の面に液
状の紫外線硬化樹脂ｂを供給し（第10図（Ｂ）参照）、
紫外線硬化樹脂ｂがディスクスタンパｃと密着するよう
にディスク基板ａをディスクスタンパｃ上に載置し（第
10図（Ｃ）参照）、加圧ローラｄでディスク基板ａをデ
ィスクスタンパｃに対して押圧する（第10図（Ｄ）参
照）。その結果、ディスク基板ａとディスクスタンパｃ
との間に紫外線硬化樹脂ｂが隙間なく充填される。

そこで、紫外線ランプｅによりディスク基板ａを通し
て紫外線硬化樹脂ｂに紫外光を照射する（第10図（Ｅ）
参照）と、液状だった紫外線硬化樹脂ｂが硬化するの
で、ディスク基板ａをディスクスタンパｃから剥離する
（第10図（Ｆ）参照）。これにより、ディスクスタンパ
ｃの表面に形成された微細な凹凸がディスク基板ａ上に
転写される。

そこで、ディスク基板ａの転写された凹凸面に金属膜
を蒸着した後、保護膜を被覆することにより、ディスク
スタンパｃの凹凸に応じたピットが形成された光学ディ
スクｆを得ることができる（第10図（Ｇ）参照）。

上記したような2P法によるとディスクスタンパｃのパ
ターンが微細であっても紫外線硬化樹脂が液状であるた
めにこの紫外線硬化樹脂がパターンに十分に充填される
ので、信号の転写性が格段に優れている、という利点を
有する。

ところで、上記光学ディスクの製造工程において、デ
ィスク基板ａの各作業を行なう作業部への受渡を行なう
必要がある。

例えば、ディスク基板ａの一方の面に紫外線硬化樹脂
を供給する作業部へディスク基板ａを供給し、また、一
方の面に紫外線硬化樹脂が付与されたディスク基板ａを
該作業部から取り出す必要がある。

第11図及び第12図はそのような作業部とそれに対する
ディスク基板の受渡を行なう機構の一例を示すものであ
る。

ｇは印刷板であり、その中央部に所望のパターンに孔
ｈ、ｈ、・・・が形成されたスクリーン板ｉが支持され
ている。

ｊはスキージであり、ｋは印刷板ｇの下法に配置され
た印刷バックアップ台であり、該印刷バックアップ台ｋ
の中央部にはディスク基板ａの形状と同形状の凹部に形
成されたディスク載置部ｌが設けられている。

しかして、印刷バックアップ台ｋのディスク載置部ｌ
にディスク基板ａを載置し、その上に上記印刷板ｇを重
ね合わせ、印刷板ｇ上に供給された液状の紫外線硬化樹
脂ｂをスキージｊによって印刷板ｇ上に、特に、スクリ
ーン板ｉ上に押し付けるようにして掃送することによ
り、スクリーン板ｉの孔ｈ、ｈ、・・・内に紫外線硬化
樹脂ｂがディスク基板ａに接触した状態で位置し、そこ
から印刷板ｇを上方に引き上げると、スクリーン板ｉの
孔ｈ、ｈ、・・・があった位置に該孔ｈ、ｈ、・・・の
大きさとスクリーン板ｉの厚みに相当した厚さを有する
紫外線硬化樹脂ｂ、ｂ、・・・がディスク基板ａ上に残
される。このようにして、ディスク基板ａの一方の面に
紫外線硬化樹脂ｂの供給が為される。

そして、上記した印刷バックアップ台ｋに対するディ
スク基板ａの載置と取出は、ディスク受渡機構ｍによっ
て為される。

ｎはディスク受渡機構ｍの受渡アームであり、その基
部が回動自在に、かつ、上下動自在に支持されている。
ｏは受渡アームｎの回動端部に取着された吸着ヘッドで
あり、その下端から複数の吸着ピンｐ、ｐ、・・・が突
設されており、これら吸着ピンｐ、ｐ、・・・にはその
下端に開口すると共に図示しないエア吸引装置に接続さ
れた吸引孔が形成されている。

しかして、受渡アームｎが回動してその吸着ヘッドｏ
がディスク基板ａ供給部の上方に来ると、受渡アームｎ
が下降して、吸着ヘッドｏの吸着ピンｐ、ｐ、・・・が
ディスク基板ａの中心部に接触し、ここで、エアの吸引
が為されて、ディスク基板ａの中心部が吸着ヘッドｏに
吸着される。

そこで、受渡アームｎが上昇し、次いで回動してその
吸着ヘッドｏが印刷バックアップ台ｋのディスク載置台
ｌの上方に来ると受渡アームｎが下降してディスク基板
ａをディスク載置部ｌに載置する。そこで、エア吸引が
解除されると共に受渡アームｎが上昇し、かつ、回動し
て退避する。

そして、上記したようにディスク基板ａへの紫外線硬
化樹脂ｂ、ｂ、・・・の載置が終了すると、吸着ヘッド
ｏにより再びディスク基板ａの中心部を吸着して印刷バ
ックアップ台ｋのディスク載置部ｌからディスク基板Ａ
を取り出す。

（D.発明が解決しようとする課題）［第11図、第12図］ところで、上記したディスク受渡機構ｍにあっては、
ディスク基板ａの紫外線硬化樹脂ｂ、ｂ、・・・が付与
される側の面に吸着ヘッドｏが接触するという問題があ
る。

即ち、ディスク基板ａの紫外線硬化樹脂ｂが供給され
る面に何かが接触するということは、当該面に汚れが付
着する原因となり、そして、該面に汚れが付着している
と、その汚れが紫外線硬化樹脂ｂの中に溶け込んで、信
号の記録再生時のエラーを生じさせたり、また、転写面
上に形成する金属蒸着膜の腐食の原因となったり、ある
いは、硬化した紫外線硬化樹脂層とディスク基板との間
の密着力の低下を惹き起したりする等の不都合があっ
た。

（E.課題を解決するための手段）本発明光学ディスク製造装置におけるディスク受渡機
構は、上記した課題を解決するために、ディスク載置台
にディスク載置部の中心部からディスク載置台の一側面
に達するアクセス溝を形成し、受渡機構に備えられた吸
着ヘッドが上記アクセス溝を通ってディスク載置台の外
側とディスク載置部の中心部との間を移動するようにし
たものである。

従って、本発明光学ディスク製造装置におけるディス
ク受渡機構にあっては、吸着ヘッドがディスク基板のデ
ィスク載置台と接触する側の面を吸着した状態でディス
ク載置台のディスク載置部にディスク基板を載置し及び
／又はディスク載置部からディスク基板を取り出すこと
ができ、これによって、ディスク載置台のディスク載置
部へのディスク基板の載置及び／又はディスク載置部か
らのディスク基板の取出を行なうについてディスク基板
のディスク載置台に接触しない側の面に触れる必要がな
く、従って、ディスク基板のディスク載置台と接触しな
い側の面を清浄に保っておくことができる。

（F.実施例）［第１図乃至第９図］以下に、本発明光学ディスク製造装置におけるディス
ク受渡機構の詳細を図示した実施例に従って説明する。

（Ｆ−1.第１の実施例）［第１図乃至第７図］（a.光学ディスク製造装置の概要）［第１図］尚、ディスク受渡機構の説明する前に、光学ディスク
の製造装置の概要を第１図のブロック図を用いて説明し
ておく。

１が光学ディスクの製造装置であり、２はその機台で
ある。

３は機台２上面の一側部に設けられたディスク基板供
給部、４は機台２の上面の他側部に設けられたディスク
基板搬出部であり、これらディスク基板供給部３とディ
スク基板搬出部４との間に、紫外線硬化樹脂供給部５、
転写部６がこの順で配設されている。

７はカートリッジであり、該カートリッジ７には複数
枚のディスク基板８、８、・・・が収納されており、こ
のカートリッジ７からディスク基板８が一枚づつ後述す
るディスク受渡機構によって樹脂供給部５へ移送され
る。

樹脂供給部５にて紫外線硬化樹脂が供給されたディス
ク基板８は後述するディスク受渡機構によって転写部６
へ移送される。

９は転写部６における移動テーブルであり、機台２上
を前後方向に移動するように構成されている。

10は移動テーブル９上に固定されたチャッキング台で
あり、該チャッキング台10上にディスクスタンパ11が固
定されている。

しかして、上記したように紫外線硬化樹脂が一方の面
に供給されたディスク基板８は該紫外線硬化樹脂が供給
されている面が下側になった状態でディスクスタンパ11
の上に載置される。即ち、ディスクスタンパ11とディス
ク基板８との間に紫外線硬化樹脂が挟まれた状態とな
る。

ディスクスタンパ11上にディスク基板８が載置される
と、移動テーブル９は後方へ移動して行き、その途中の
転写装置12を通過する間に、図示しない加圧ローラによ
りディスク基板８がディスクスタンパ11の方へ加圧さ
れ、これによって、ディスクスタンパ11の微細な凹凸に
紫外線硬化樹脂が均一に充填され、次いで、紫外光の照
射が為されて、紫外線硬化樹脂が硬化せしめられる。そ
して、紫外線硬化樹脂の硬化が完了すると移動テーブル
９が前方へ移動して元の位置に戻り、受渡アーム13の吸
着ヘッド13aによってディスク基板８が硬化した紫外線
硬化樹脂と共にディスクスタンパ11から剥離されてディ
スク基板搬出部４へ移送され、そこで、搬出用カートリ
ッジ14内に収納される。

そして、上記した光学ディスク製造装置１において、
ディスク基板８を樹脂供給部５に供給し、また、該樹脂
供給部５から紫外線硬化樹脂が供給されたディスク基板
８が取り出す機構に本発明に係るディスク受渡機構が適
用されている。

（b.ディスク載置台）［第２図乃至第７図］ 15は上記樹脂供給部５における印刷バックアップ台で
あり、この印刷バックアップ台15がディスク載置台とな
る。

16は略四角形の板状をした基台であり、高さ調整機構
17を介して機台２上に支持されている。該基台16の四つ
の隅部のうちの３箇所には挿通孔18、18、18が形成され
ると共に、スライド軸受19、19、19が立設され、このス
ライド軸受19、19、19のボア19a、19a、19aと上記挿通
孔18、18、18とが同軸になるようにされている。

20は基台16上に固定されたエアシリンダであり、その
ピストンロッド20aが上方に向って突出されている。

21は昇降ベースであり、上記基台16と略同じ大きさの
四角形をしている。

昇降ベース21の四つの隅部のうちの３個所からは被案
内ロッド22、22、22が垂設されており、これら被案内ロ
ッド22、22、22が上記スライド軸受19、19、19のボア19
a、19a、19aに各別に摺動自在に挿通されている。22a、
22a、22aは被案内ロッド22、22、22の下端に固定された
ストッパ板であり、これらストッパ板22a、22a、22aに
よって被案内ロッド22、22、22のスライド軸受19、19、
19からの上方への抜けが防止されている。

そして、上記エアシリンダ20のピストンロッド20aの
上端が昇降ベース21に連結され、エアシリンダ20の駆動
によって昇降ベース21が上下動するようになっている。

また、この昇降ベース21にはその中心部から一の側縁
に達する切欠溝23が形成されている。尚、該切欠溝23は
弧状に形成されている。

24はバックアップ板であり、上記昇降ベース21の上面
に固定されている。該バックアップ板24の上面には円形
の浅い凹部25が形成され、該凹部25がディスク載置部と
される。

該バックアップ板24はある程度の厚さを有しており、
その中に密閉空間26が形成されていて、上記ディスク載
置部25には上記密閉空間26に連通した多数の小孔25a、2
5a、・・・が形成されており、また、該密閉空間26は図
示しないエア吸引機構と連結されていて、適時にその内
部が負圧とされるようになっている。

また、バックアップ板24にはそれぞれ中心部から隣接
した異なる側縁に達した切欠溝27、28が形成されてい
る。一方の切欠溝27は弧状を為すと共に上記昇降ベース
21の切欠溝23と上下で対応しており、これら２つの切欠
溝23と27とによって無底のアクセス溝29が形成されてい
る。また、他方の切欠溝28は上記切欠溝27に対して略直
角方向に延びる直線状を為し、この切欠溝28とこれの下
面を塞ぐ昇降ベース21とによって有底のアクセス溝30が
形成される。

（c.受渡アーム）［第２図、第６図、第７図］（ｃ−1.第１の受渡アーム） 31はディスク基板８と上記印刷バックアップ台15のデ
ィスク載置部25に供給するためのディスク搬入機構であ
る。

32は移動ベースであり、モータ33によって回転される
送りねじ34が螺合されており、該送りねじ34が回転する
ことによって送りねじ34の延びる方向に沿って移動され
るようになっている。

35は移動ベース32の上面に固定されたエアシリンダで
あり、そのピストンロッド35aが上下動されるようにな
っている。

36は上記エアシリンダ35のピストンロッド35aの上端
に固定されたロータリエアアクチュエータであり、その
上下方向に延びる出力軸36aがエアの制御により回転さ
れるようになっている。

37はその基端部がロータリエアアクチュエータ36の出
力軸36aに固定された第１の受渡アームであり、その回
動端部に吸着ヘッド38が固定されている。該吸着ヘッド
38にはその上面に円状に配列された小孔38a、38a、・・
・が形成されており、図示しないエア吸引機構の駆動に
より該小孔38a、38a、・・・に負圧が生じるようになっ
ている。

しかして、移動ベース32がその移動範囲における一方
の端に移動したところで、エアシリンダ35とロータリエ
アアクチュエータ36が駆動されて、吸着ヘッド38が所定
の位置に移動され、そこで、吸着ヘッド38がディスク基
板８の下側になっている一方の面8aの中心部に下方から
接し、吸着ヘッド38の小孔38a、38a、・・・に負圧が生
ぜせしめらてディスク基板８が吸着ヘッド38に吸着され
る（第６図（Ａ）、第７図（Ａ）参照）。

そこで、移動ベース32が印刷バックアップ台15の方へ
と移動され、エアシリンダ35の駆動により吸着ヘッド38
の印刷バックアップ台15に対する高さが調整され、それ
から、ロータリエアアクチュエータ36の駆動により受渡
アーム37が回動されて吸着ヘッド38が印刷バックアップ
台15の弧状をしたアクセス溝29を通って（第６図（Ｂ）
参照）ディスク載置部25の中心部に達する（第６図
（Ｃ）、第７図（Ｂ）参照）。そこで、エアシリンダ35
の駆動により受渡アーム37が僅かに下降されてディスク
基板８がディスク載置部25に載置される（第７図（Ｃ）
参照）。それから、ディスク載置部25の小孔25a、25a、
・・・に負圧が発生されると共に吸着ヘッド38の小孔38
a、38a、・・・に生じていた負圧が解消され、これによ
って、ディスク基板８がディスク載置部25にしっかりと
保持される。それから、受渡アーム37が回動されて吸着
ヘッド38がアクセス溝29を通って印刷バックアップ台15
から外へ出る（第６図（Ｄ）参照）。

そして、上方を向いているディスク基板８の他方の面
8bに紫外線硬化樹脂39が供給される。

（ｃ−2.第２の受渡アーム） 40は他方の面8bに紫外線硬化樹脂39が供給されたディ
スク基板８を印刷バックアップ台15から取り出して次の
転写部６へ供給するためのディスク搬出機構である。

41は移動ベースであり、モータ42によって回転される
送りねじ43が螺合されており、該送りねじ43が回転する
ことによって送りねじ43の延びる方向に沿って移動され
るようになっている。

44は移動ベース41の上面に固定されたエアシリンダで
あり、そのピストンロッド44aが上下動されるようにな
っている。

45は上記エアシリンダ44のピストンロッド44aの上端
部に固定されたロータリエアアクチュエータであり、そ
の水平に延びる出力軸45aがエアの制御により回転され
るようになっている。

46はその基端部ロータリエアアクチュエータ45の出力
軸45aに固定された第２の受渡アームであり、その回動
端部に吸着ヘッド47が固定されている。該吸着ヘッド47
には円状に配列された小孔47a、47a、・・・が形成され
ており、図示しないエア吸引機構の駆動により該小孔47
a、47a、・・・に負圧が生じるようになっている。

しかして、上記したように、ディスク基板８の他方の
面8bに紫外線硬化樹脂39が供給されると、移動ベース41
が印刷バックアップ台15の方へと移動され、吸着ヘッド
47が印刷バックアップ台15のアクセス溝30を通って（第
６図（Ｅ）参照）ディスク載置部25の中心に対応したと
ころまで移動する（第７図（Ｄ）参照）。尚、このと
き、予めエアシリンダ44の駆動により吸着ヘッド47がデ
ィスク基板８に接触しない高さに保たれる。

そして、吸着ヘッド47がディスク載置部25の中心に対
応した位置に達すると、その小孔47a、47a、・・・に負
圧が発生されると共に、エアシリンダ44の駆動により受
渡アーム46が僅かに上昇せしめられる。この上昇の間
に、吸着ヘッド47がディスク基板８の一方の面8aの中心
部に接触しかつ吸着し、これと同時に、ディスク載置部
25の小孔25a、25a、・・・の負圧が解消され、更に、デ
ィスク基板８がディスク載置部25から僅かに浮き上がっ
た状態となる（第７図（Ｅ）参照）。

そこで、移動ベース41が先程と逆の方向に移動される
と、紫外線硬化樹脂39を供給されたディスク基板８が印
刷バックアップ台15から搬出されて行く（第６図
（Ｆ）、第７図（Ｆ）参照）。

そして、移動ベース41が転写部６に近接した位置まで
来ると、ロータリエアアクチュエータ45が駆動され、受
渡アーム46が180゜回動され、これによって、ディスク
基板８が上下反転される。即ち、紫外線硬化樹脂39が供
給されている面8bが下向きとなる（第６図（Ｇ）、第７
図（Ｇ）参照）。そして、エアシリンダ44の駆動により
受渡アーム46が下降されディスク基板８がディスクスタ
ンパ11の上に重ね合わされ、そこで、吸着ヘッド47の小
孔47a、47a、・・・の負圧が解消されて吸着ヘッド47に
よるディスク基板８の吸着が解除され、受渡アーム46が
僅かに上昇されて吸着ヘッド47がディスク基板８の上方
へ逃げ、それから、移動ベース41が印刷バックアップ台
15の方へと移動して行く。

（Ｆ−2.第２の実施例）［第８図］第８図は本発明光学ディスク製造装置におけるディス
ク受渡機構の第２の実施例を示すものである。

尚、この第２の実施例でも印刷バックアップ台をディ
スク載置台として説明する。

48は第１の実施例における印刷バックアップ台15と殆
ど同じ構造をした印刷バックアップ台であり、そのディ
スク載置部25の中心部から直線状に延び一の側縁に達す
る無底のアクセス溝49のみを有する。

50は移動ベースであり、モータ51によって回転される
送りねじ52が螺合されていて、送りねじ52が回転するこ
とによって該送りねじ52の延びる方向に沿って移動する
ようになっている。

移動ベース50の上面にはエアシリンダ53が固定されて
おり、そのピストンロッド53aが上下動するようになっ
ている。

54は上記ピストンロッド53aの上端部に固定された吸
着ヘッドであり、その上面には円状に配列された多数の
小孔54a、54a、・・・を有し、図示しないエア吸引機構
の駆動により該小孔54a、54a、・・・に負圧が生じるよ
うになっている。

しかして、上記吸着ヘッド54によりディスク基板の中
心部を吸着し、その吸着ヘッド54がアクセス溝49を通っ
てディスク載置部25の中心部と印刷バックアップ台48の
外との間を移動することによって、印刷バックアップ台
48に対するディスク基板の載置及び取出しを行なうこと
ができる。

（Ｆ−3.第３の実施例）［第９図］第９図は本発明光学ディスク製造装置におけるディス
ク受渡機構の第３の実施例を示すものである。

尚、この第３の実施例でも印刷バックアップ台をディ
スク載置台として説明する。

55は第１の実施例における印刷バックアップ台15と殆
ど同じ構造をした印刷バックアップ台であり、そのディ
スク載置部25の中心部から弧状に延び一の側縁に達する
無底のアクセス溝56のみを有する。

57はベースであり、図示しない機台上に固定されてお
り、その上面にエアシリンダ58が固定されており、該エ
アシリンダ58のピストンロッド58aが上下方向に移動す
るようになっている。

59は上記ピストンロッド58aの上端部に固定されたロ
ータリエアアクチュエータであり、その垂直に延びる出
力軸59aがエアの制御により回転されるようになってい
る。

60はその基端部がロータリエアアクチュエータ59の出
力軸59aに固定された受渡アームであり、その回動端部
の上面に吸着ヘッド61が固定されている。そして、該吸
着ヘッド61はその上面に円状に配列された多数の小孔61
a、61a、・・・を有しており、図示しないエア吸引機構
の駆動により、該小孔61a、61a、・・・に負圧が生じる
ようになっている。

しかして、上記吸着ヘッド61によりディスク基板の中
心部を吸着し、そして、受渡アーム60が回動して、吸着
ヘッド61がアクセス溝56を通ってディスク載置部25の中
心部と印刷バックアップ台55の外との間を移動すること
によって、印刷バックアップ台55に対するディスク基板
の載置及び取出しを行なうことができる。

（G.発明の効果）以上に記載したところから明らかなとおり、本発明光
学ディスク製造装置におけるディスク受渡機構は、ディ
スク基板を載置するディスク載置台と、該ディスク載置
台に対するディスク基板の載置及び／又は取出しを行な
う受渡機構とを備え、ディスク載置台はディスク基板が
載置されるディスク載置部と該ディスク載置部の中心部
からディスク載置台の一側面に達するアクセス溝とを有
し、上記受渡機構はディスク基板の中心部を吸着する吸
着ヘッドを備え、受渡機構の吸着ヘッドが上記アクセス
溝を通ってディスク載置台の外側とディスク載置部の中
心部との間を移動することによって、ディスク載置部に
ディスク基板を載置し及び／又はディスク載置部からデ
ィスク基板を取り出すようにされたことを特徴とする。

従って、本発明光学ディスク製造装置におけるディス
ク受渡機構にあっては、吸着ヘッドがディスク基板のデ
ィスク載置台と接触する側の面を吸着した状態でディス
ク載置台のディスク載置部にディスク基板を載置し及び
／又はディスク載置部からディスク基板を取り出すこと
ができ、これによって、ディスク載置台のディスク載置
部へのディスク基板の載置及び／又はディスク載置部か
らのディスク基板の取出を行なうについてディスク基板
のディスク載置台に接触しない側の面に触れる必要がな
く、従って、ディスク基板のディスク載置台と接触しな
い側の面の清浄に保っておくことができる。

尚、上記第１及び第２の実施例において移動ベースを
移動させる機構として送りねじを示したが、これはエア
シリンダその他の機構によって移動させるようにしても
良い。

また、上記各実施例において、ディスク載置台として
印刷バックアップ台を示したが、本発明におけるディス
ク載置台が印刷バックアップ台に限られることを意味す
るものではなく、例えば、ディスクスタンパを保持した
チャッキング台等も本発明におけるディスク載置台とな
り得ること勿論である。

その他、上記各実施例において示した具体的な構造
は、本発明の具体化にあたってほんの一例を示したもの
に過ぎず、これらによって、本発明の技術的範囲が限定
的に解釈されることを意味するものではなく、本発明の
趣旨に適合する限り、種々の変更や変形が可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第７図は本発明光学ディスク製造装置におけ
るディスク受渡機構の第１の実施例を示すものであり、
第１図は本発明光学ディスク製造装置におけるディスク
受渡機構が使用される光学ディスク製造装置の一例を示
す概略ブロック図、第２図はディスク受渡機構の全体を
概念的に示す斜視図、第３図は印刷バックアップ台の平
面図、第４図は第３図のIV−IV線に沿う断面図、第５図
は第３図のＶ−Ｖ線に沿う断面図、第６図及び第７図は
動作を（Ａ）から（Ｇ）へ順を追って示すもので、第６
図は平面図、第７図は断面図、第８図は本発明光学ディ
スク製造装置におけるディスク受渡機構の第２の実施例
を示す概略斜視図、第９図は本発明光学ディスク製造装
置におけるディスク受渡機構の第３の実施例を示す概略
斜視図、第10図は光学ディスクの製造方法の一例を
（Ａ）から（Ｇ）へ順を追って示す概略斜視図、第11図
及び第12図は従来の光学ディスク製造装置におけるディ
スク受渡機構の一例を示すもので、第11図は作業部の概
略斜視図、第12図はディスク受渡機構の概略斜視図であ
る。符号の説明８……ディスク基板、 15……ディスク載置台、 25……ディスク載置部、 29……アクセス溝、 30……アクセス溝、 38……吸着ヘッド、 47……吸着ヘッド、 48……ディスク載置台、 49……アクセス溝、 54……吸着ヘッド、 55……ディスク載置台、 56……アクセス溝、 61……吸着ヘッド

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】ディスク基板を載置するディスク載置台
と、該ディスク載置台に対するディスク基板の載置及び
／又は取出しを行なう受渡機構とを備え、ディスク載置台はディスク基板が載置されるディスク載
置部と該ディスク載置部の中心部からディスク載置台の
一側面に達するアクセス溝とを有し、上記受渡機構はディスク基板の中心部を吸着する吸着ヘ
ッドを備え、受渡機構の吸着ヘッドが上記アクセス溝を通ってディス
ク載置台の外側とディスク載置部の中心部との間を移動
することによって、ディスク載置部にディスク基板を載
置し及び／又はディスク載置部からディスク基板を取り
出すようにされたことを特徴とする光学ディスク製造装置におけるディス
ク受渡機構