JP2004034452A

JP2004034452A - 基板位置決め方法及びその装置

Info

Publication number: JP2004034452A
Application number: JP2002193522A
Authority: JP
Inventors: Junko Kosaka; 小坂　純子
Original assignee: Nippon Electric Kagoshima Ltd; NEC Kagoshima Ltd
Current assignee: Nippon Electric Kagoshima Ltd; NEC Kagoshima Ltd
Priority date: 2002-07-02
Filing date: 2002-07-02
Publication date: 2004-02-05

Abstract

【課題】基板の位置決めの方法・装置を単純化し、多品種のガラス基板サイズに対応できる位置決め機構を含む定盤ステージの取り替えが不要で、基板を正確に位置決めする。
【解決手段】ガラス基板１を載置する定盤ステージ２と、この定盤ステージ２にはＬ字状の固定突起部３より上方に基板１を浮き上がらせて前工程側及び後工程へ搬送する上下動自在及び駆動回動する内蔵する複数の搬送ローラ５を備えて、定盤ステージ２の固定突起部３と対向した位置に内蔵する昇降および平行移動駆動する基板の高さと同じ高さの第１の当て板６ａ及び第２の当て板６ｂ〜６ｄを有する位置決め機構６とが配置され、この位置決め機構６の当て板６ａ〜６ｄにて基板を固定突起部３にそれぞれ突き当てて定盤ステージ２上に位置決めする。これにより、多品種のガラス基板サイズに対応できるので、定盤ステージ２の取り替えが不要で段取り変え作業時間の短縮化ができる。
【選択図】　　　図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、たとえばガラス基板などの基板の処理工程に際し、基板を位置決めする方法及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
たとえばインク、ペースト等を板状の被印刷物面にスキージにてスクリーン版上から印刷する装置に用いられる従来のスクリーン印刷装置の一例を、特開平１１−１３８７４４号公報の図４及至図７に基づいて説明する。
【０００３】
スクリーン印刷を開始するには、先ず、図４に示すように、搬送機構の位置決めピン２０ａ〜２０ｅを外側位置に退避させると共に、左右前後の調整板２１Ｌ，２１Ｒ及び２２Ｆ，２２Ｒを夫々外側位置に退避させた状態で、搬送機構のフレームをエアシリンダのピストンロッドを伸長させることにより上昇させて、搬送ローラＲＬの外周縁は印刷テーブル２４の上板部２４ｇ及び左右調整板２１Ｌ，２１Ｒと前後調整板２２Ｆ，２２Ｒとに設けられた透孔２５を通じて各調整板２１Ｌ，２１Ｒ及び２２Ｆ，２２Ｒの上面より上方に突出させた状態とする。
【０００４】
この状態で、電動モータを回転駆動することにより、板状の被印刷物ＰＳを印刷テーブル２４上の載置部２３の上面まで搬送し、この載置部２３に達したときに電動モータの回転駆動を停止させて、被印刷物ＰＳの搬送を停止させる。これと同時、エアシリンダのピストンロッドを収縮させることにより、フレームを下降させて搬送ローラＲＬを上板部２４ｇより下降させ、これによって被印刷物ＰＳを図５に示すように載置部２３に下降させて載置させる。
【０００５】
次いで、位置決めピン２０ａ〜２０ｅを内側に移動させて、これらによって被印刷物ＰＳの周囲を挟持することにより位置決めを行い、次いで図示しない真空吸着機構で真空吸着して固定してから各調整板２１Ｌ，２１Ｒ及び２２Ｆ，２２Ｒを内側に移動させて、それらの内周縁を図６及び図７に示すように被印刷物ＰＳの周囲にＡ１　，Ｂ１　，　Ｃ１　及びＤ１　で示す隙間が零となるように密着させる。
【０００６】
従って、この状態で印刷ヘッドを下降させて版を被印刷物ＰＳに接触させてからスキージを後方に摺動させることにより、被印刷物ＰＳと各調整板２１Ｌ，２１Ｒ及び２２Ｆ，２２Ｒの上面とに隙間を生じることがなく、平坦面として版の損傷を防止でき、特に版をメタルマスク以外のメッシュ（織物）の版を使用した場合に、周辺部のパターン伸びが生じることを防止することができ、高精度のスクリーン印刷を行うことができるスクリーン印刷装置が開示されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
このように、前述した従来のスクリーン印刷装置の印刷テーブル上の搬送ローラで被印刷物を搬送する手段及び位置決めピンによる位置決め手段は、搬送ローラの外周縁は印刷テーブルの上板部及び左右調整板と前後調整板とに設けられた透孔を通じて各調整板の上面より上方に突出して被印刷物を搬送する構成であり、また、基板位置決めピンは内外方向に進退自在で且つ少なくとも被印刷物の搬送路に対する位置決めビンが上下に進退自在に構成し被印刷物を位置決めした後、更に被印刷物の四囲を調整板を内外方向に進退自在に配設して隙間をなくし平坦化する構成のため、この構造・動作が複雑化し高価であると共に、この構成により多品種の被印刷物サイズが制限され、このサイズ対応が必要となり段取り変え、或いは調整の作業時間が増大する問題があった。
【０００８】
本発明は、このような問題点を解決しようとするもので、基板の位置決めの方法・構造を単純化し、且つ基板面に傷をつけることなく、多品種のガラス基板サイズに対応できる位置決め機構を含む定盤ステージの取り替えが不要で段取り変え作業時間の短縮化できる。即ち、安価及び取り替えが不要を兼ね備えて正確に位置決めできる基板位置決め方法及びその装置を提供することを目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために提供する本願第１の発明に係る請求項１に記載の基板位置決め方法は、基板を載置する定盤ステージと、定盤ステージに内蔵した上下動自在の搬送ローラと、基板を機械的に位置決めする位置決め機構とを備えた基板位置決め装置を用いて、搬送ローラを上昇及び駆動回動させ、基板を定盤ステージより上方に浮き上がらせた状態で前工程側より搬送させて、基板を定盤ステージ上内に収まる位置で搬送ローラを下降し載置した後、基板の上面高さと同じ高さの第１及び第２の当て板を有する昇降及び平行移動駆動する位置決め機構により、前記基板を定盤ステージ上に位置決めすることを特徴とする。
【００１０】
また、前記課題を解決するために提供する本願第２の発明に係る請求項２に記載の基板位置決め方法は、前記搬送ローラは基板を定盤ステージ上に位置決めされスクリーン印刷作業等が終了した後、前記当て板より開放した基板を前記定盤ステージ上の当て板より上方に浮き上がらせて後工程側へ搬送することを特徴とする。
【００１１】
更に、前記課題を解決するために提供する本願第３の発明に係る請求項３に記載の基板位置決め方法は、前記位置決め機構の第１及び第２の当て板は定盤ステージの隣接する２辺部にそれぞれ独立して駆動し、第２の当て板が少なくとも一つ以上に分割され、基板サイズに応じて個別に平行移動駆動して、基板を定盤ステージ上に位置決めすることを特徴とする。
【００１２】
更に、前記課題を解決するために提供する本願第４の発明に係る請求項４に記載の基板位置決め方法は、前記位置決め機構の当て板は一つのＬ字状の形状を成して基板の対角線上の角部を対角線上に平行移動駆動して、基板を定盤ステージ上に位置決めすることを特徴とする。
【００１３】
更に、前記課題を解決するために提供する本願第５の発明に係る請求項５に記載の基板位置決め方法は、前記基板が定盤ステージ上に位置決め保持された状態で、定盤ステージ上に複数設けられた真空吸着ノズルにて吸着固定することを特徴とする。
【００１４】
更に、前記課題を解決するために提供する本願第６の発明に係る請求項６に記載の基板位置決め方法は、前記基板を定盤ステージに位置決め載置した状態でスキージを摺動させるスクリーン印刷に用いることを特徴とする。
【００１５】
更に、前記課題を解決するために提供する本願第７の発明に係る請求項７に記載の基板位置決め装置は、　　前記基板を載置する定盤ステージと、基板を機械的に位置決めする位置決め機構とを備えた基板位置決め装置において、前記定盤ステージには、前記定盤ステージより上方に基板を浮き上がらせて前工程側より搬送する上下動自在及び駆動回動する内蔵した搬送ローラを備え、且つ、基板の上面高さと同一高さの第１及び第２の当て板を有する昇降及び平行移動駆動する内蔵した位置決め機構を配置することを特徴とする。
【００１６】
更に、前記課題を解決するために提供する本願第８の発明に係る請求項８に記載の基板位置決め装置は、前記第１及び第２の当て板を有する位置決め機構は、定盤ステージの隣接する２辺部にそれぞれ個別に駆動する昇降及び平行移動駆動機構を備え、第２の当て板が少なくとも一つ以上に分割されて基板サイズに応じて個別に平行移動駆動して、前記基板を定盤ステージ上に位置決めすることを特徴とする。
【００１７】
更に、前記課題を解決するために提供する本願第９の発明に係る請求項９に記載の基板位置決め装置は、前記位置決め機構の当て板は、一つのＬ字状の形状を成して昇降及び平行移動駆動機構を備え、基板の対角線上の角部を対角線上に平行移動駆動して、前記基板を定盤ステージ上に位置決めすることを特徴とする。
【００１８】
更に、前記課題を解決するために提供する本願第１０の発明に係る請求項１０に記載の基板位置決め装置は、前記定盤ステージに複数の真空吸着ノズルを備えたことを特徴とする。
【００１９】
更に、前記課題を解決するために提供する本願第１１の発明に係る請求項１１に記載の基板位置決め装置は、前記基板を定盤ステージ上に位置決め載置した状態でスキージを摺動させるスクリーン印刷に用いることを特徴とする。
【００２０】
【作用】
本発明の基板位置決め方法及びその装置では、基板を載置する定盤ステージと、定盤ステージに内蔵した上下動自在の搬送ローラと、基板を機械的に位置決めする位置決め機構とを備えた基板位置決め装置を用いて、搬送ローラを上昇及び駆動回転させ、基板を定盤ステージより上方に浮き上がらせた状態で前工程側より搬送させて、基板を定盤ステージ上内に収まる位置で搬送ローラを下降し載置した後、基板の上面高さと同じ高さの第１及び第２の当て板を有する昇降及び平行移動駆動する位置決め機構により、基板の位置決めの方法・構造を単純化でき、且つ搬送ローラは、昇降及び駆動回動させて定盤ステージ上の当て板より上方に浮き上がらせた状態で基板を前工程及び後工程側へ搬送するので、搬送・位置決め或いはスクリーン印刷等する際に、基板面に傷をつけることなく、且つ、発塵等の問題も生じされることがない。また、第１及び第２の当て板は、定盤ステージの隣接する２辺部にそれぞれ独立して駆動し、第２の当て板が少なくとも一つ以上に分割され基板サイズに応じて個別に平行移動駆動し位置決めする。また、他の位置決め機構の当て板は、一つのＬ字状の形状を成して基板の対角線上の角部を対角線上に平行移動駆動して、基板を定盤ステージ上に位置決めするので、多品種のガラス基板サイズに対応でき定盤ステージの取り替えが不要で段取り変え作業時間の短縮化できる。即ち、安価及び取り替え不要を兼ね備えて正確に位置決めできる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施例を図１及び図２並びに図３（ａ）〜図３（ｃ）を参照して説明する。
【００２２】
まず、基板位置決め装置の構成を説明する。なお、この実施例の装置は、印刷装置に応用されたものである。
【００２３】
基板位置決め装置は、供給された矩形状のガラス基板１を上面に受ける金属製の定盤ステージ２と、定盤ステージ２上面には基板１を固定する複数の真空吸着ノズル４を備え、更に定盤ステージ２の２辺部には基板の上面高さと同じ高さのＬ字状の固定突起部３を設け、また、この定盤ステージ２にはＬ字状の固定突起部３より上方に基板１を浮き上がらせて前工程側及び後工程へ搬送する上下動自在及び駆動回動する内蔵する複数の搬送ローラ５を備えて、定盤ステージ２の固定突起部３と対向した位置に内蔵する昇降および平行移動駆動する基板の高さと同じ高さの第１の当て板６ａ及び第２の当て板６ｂ〜６ｄを有する位置決め機構６が配置され、この位置決め機構６の当て板６ａ〜６ｄにて基板を固定突起部３にそれぞれ突き当てて定盤ステージ２上に位置決めする構成である。
【００２４】
図３（ａ）〜図３（ｃ）に示すように、定盤ステージ２に内蔵されている位置決め機構６は、定盤ステージ２の固定突起部３と対向した位置の２辺部に切り欠き部１２が設けられそれぞれ内蔵している。基板の上面高さと同じ高さの第１の当て板６ａ及び第２の当て板６ｂ〜６ｄを有する昇降及び平行移動駆動する位置決め機構６は、それぞれ、モーター、シリンダーなどのアクチュエータによりシリンダーピン８を介して上下方向へ駆動される昇降移動機構９と、モーター、シリンダーなどのアクチュエータにより水平方向で矢印Ｘ，Ｙに示す方向および反対方向へＬＭガイド１１を介して駆動する平行移動機構１０とからなっており、このＬＭガイド１１上に平行移動機構１０及び昇降移動機構９と位置決め用の当て板が軸着された構造になっている。なお、位置決め機構６の当て板は第１及び第２の当て板６ａ〜６ｄを有する位置決め機構６で、定盤ステージ２の隣接する２辺部にそれぞれ個別に駆動する昇降及び平行動機構９、１０を備え、第２の当て板６ｂ〜６ｄが少なくとも一つ以上に分割されて基板サイズに応じて個別に平行移動駆動して、互いに直交する方向に移動する。そして、定盤ステージ２の２辺部に形成された切り欠き部１２内に平行移動機構１０及び昇降移動機構９とＬＭガイド１１および位置決め用当て板とがそれぞれ位置しており、これら位置決め当て板６ａ〜６ｄは、切り欠き部１２より定盤ステージ２上へ突出して位置決めする。
【００２５】
そしてこの動作を説明すると、まず搬送ローラ５を上昇及び駆動回動させ、基板１を定盤ステージ２の固定突起部３より上方に浮き上がらせた状態で前工程側より搬送させて、基板１を定盤ステージ２上内に収まる位置で搬送ローラ５の駆動回動を停止させて下降し載置した後、定盤ステージ２上にガラス基板１が置かれると定盤ステージ２より突出した位置決めの第１の当て板６ａと第２の当て板６ｂ〜６ｄとが、それぞれ、アクチュエータの駆動により矢印Ｘ，Ｙ方向へ基板サイズに応じて移動し、ガラス基板１の２辺をＬ字状の固定突起部３にそれぞれ突き当てて位置決めする。この位置決めが完了した状態で、ガラス基板１が定盤ステージ２上に複数の吸着ノズル４を介して真空吸着等により固定され、ガラス基板１にスクリーン版（図示省略）を介して印刷スキージ等（図示省略）により印刷がなわれる。
【００２６】
また、図２に示すように当て板の他の実施例としての位置決め機構７の当て板７ａは、基板の上面高さと同じ高さの一つのＬ字状の形状を成して昇降及び平行移動駆動機構９、１０を備え、基板の対角線上の角部を対角線上の矢印Ｚに示す方向に平行移動駆動して、ガラス基板１を定盤ステージ２上に位置決めする構成であってもよい。
【００２７】
つぎに、前述した装置を用いて基板位置決め方法について図３（ａ）、　図３（ｂ）、　図３（ｃ）に基づいて説明する。
【００２８】
定盤ステージ２へガラス基板１が供給される前は図３（ａ）に示すように、定盤ステージ２の状態は上下動自在及び駆動回動の搬送ローラ５及び位置決め機構６の第１の当て板６ａ及び第２の当て板６ｂ〜６ｄ又は他の実施例である位置決め機構７の当て板７ａが定盤ステージ２と平面状態に内蔵されている。この状態より先ず図３（ｂ）に示すように搬送ローラ５をＬ字状の固定突起部３の高さより上方に上昇させ、且つこのローラも駆動回動させてガラス基板１が前工程側より浮き上がらせ状態で搬送供給される。そして、ガラス基板１を定盤ステージ２上内に収まる位置で搬送ローラ５の駆動回動を停止させて下降し載置させる。その後、位置決め機構６の昇降機構９を駆動させシリンダーピン８を介して切り欠き部１２に内蔵されていた第１の当て板６ａ及び第２の当て板６ｂ〜６ｄをそれぞれ上昇させる。次に、図３（ｃ）に示すようにアクチュエータにより水平方向で矢印Ｘ，Ｙに示す方向へＬＭガイド１１を介して駆動する平行移動機構１０を駆動させて第１の当て板６ａ及び第２の当て板６ｂ〜６ｄにてガラス基板１の２辺をＬ字状の固定突起部３にそれぞれ突き当てて位置決めする。そして、この位置決めが完了した状態で、ガラス基板１が定盤ステージ２上に真空吸着等により固定され、ガラス基板１にスクリーン版（図示省略）を介して印刷スキージ等（図示省略）により印刷が行われる。そして、印刷作業完了後は平行移動機構１０を駆動させて第１の当て板６ａ及び第２の当て板６ｂ〜６ｄを矢印Ｘ，Ｙに示す方向と反対方向に移動させ図３（ｂ）に示すように開放させて図３（ａ）に示すように定盤ステージ２内に収める。この後に搬送ローラ５を上昇させ、このローラを駆動回動させて基板１を定盤ステージ２上の固定突起部３の高さより上方に浮き上がらせて後工程側へ搬送し搬出する。
【００２９】
本発明の位置決め方法及びその装置における定盤ステージ２上には、従来のスクリーン印刷装置にあるような位置決めビンが上下に進退自在に構成し被印刷物を位置決めした後、更に被印刷物の四囲を調整板を内外方向に進退自在に配設するような複雑な構造・動作でないので、ガラス基板１の位置決めの方法・構造が単純化でき、且つ搬送ローラは、昇降及び駆動回動させて定盤ステージ上の当て板より上方に浮き上がらせた状態であり、また当て板を含む位置決め機構は定盤ステージの切り欠き部内に収められた状態で基板を前工程及び後工程側へ搬送するので、搬送・位置決め或いはスクリーン印刷等する際に、ガラス基板１の表面と他のものとの接触が少なく基板面に傷をつけることなく、且つ、発塵等の問題も生じされることがない。
【００３０】
また、基板の上面高さと同じ高さの第１及び第２の当て板は、定盤ステージの隣接する２辺部にそれぞれ独立して駆動し、第２の当て板が少なくとも一つ以上に分割され基板サイズに応じて個別に平行移動駆動し位置決めする。また、他の実施例の位置決め機構の当て板は、基板の上面高さと同じ高さの一つのＬ字状の形状を成して基板の対角線上の角部を対角線上に平行移動駆動して、基板を定盤ステージ上に位置決めするので、多品種のガラス基板サイズに対応でき定盤ステージの取り替えが不要で段取り変え作業時間の短縮化できる。即ち、安価及び取り替え不要を兼ね備えて正確に位置決めできる。
【００３１】
更にまた、基板の上面高さと同じ高さの第１及び第２の当て板を有する位置決め機構なので、スキージにてスクリーン版上からペーストを印刷する際に、載置された基板と定盤ステージ上の当て板とに段差がなく平滑面となりスクリーン版の損傷、破損がない。
【００３２】
なお、位置決め機構の当て板の材質はもちろん金属でもよいが、ガラス基板１と接触する当て板の先端部もしくは当て板全体を樹脂等の比較的柔らかい材質からなるものとすることにより、より大きな効果を得ることができ、定盤ステージ上で正確に位置決めされる。
【００３３】
なお、前記実施例では、印刷装置に応用した例について説明してきたが、もちろんこれに限るものではなく、印刷以外の他の処理工程にも本発明を応用することができる。そして、印刷以外の処理工程でも、ガラス基板の下面全体を均一な定盤ステージの上面が受けることにより、ガラス基板の状態が均一になり、したがって、処理条件も均一化されるので、ガラス基板の全に均一に処理を行なうことができ、歩留り、品質の向上を実現できる。
【００３４】
さらに、前記実施例では、ガラス基板１の位置決めについて説明したが、ガラス以外のプリント配線基板、半導体分野のウェハー等の基板への応用も可能である。
【００３５】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、搬送ローラは、昇降及び駆動回動させて定盤ステージ上の当て板より上方に浮き上がらせた状態で基板を前工程及び後工程側へ供給・搬出することにより、搬送・位置決め或いはスクリーン印刷等する際に、基板面を傷をつけることなく、且つ、発塵等の問題も生じされることがない。また、基板の上面高さと同じ高さの第１及び第２の当て板を有する位置決め機構により、スキージにてスクリーン版上からペーストを印刷する際に、載置された基板と定盤ステージ上の当て板とに段差がなく平滑面であるので、スクリーン版の損傷、破損がなく、また、基板を正確に位置決めできるので、歩留り、品質の向上が実現できる。更に、第１及び第２の当て板は、定盤ステージの隣接する２辺部にそれぞれ独立して駆動し、　第２の当て板が少なくとも一つ以上に分割され、基板サイズに応じて個別に平行移動駆動し位置決めすることにより、多品種のガラス基板サイズに対応できるので、当て板の取り替えが不要で段取り変え作業時間の短縮化ができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の基板位置決め方法の一実施例に用いる基板位置決め装置を示す平面図である。
【図２】図１と同様の平面図で、当て板の他の実施例の基板位置決め装置を示す平面図である。
【図３】基板位置決め方法の一実施例に用いる基板位置決め装置を示す図１のＡ−Ａ断面図である。
【図４】従来例におけるスクリーン印刷装置の被印刷物の搬入状態を示す模式的な斜視図。
【図５】従来例におけるスクリーン印刷装置の被印刷物の位置決め状態を示す模式的な斜視図。
【図６】従来例におけるスクリーン印刷装置の被印刷物の狭持状態を示す模式的な斜視図。
【図７】従来例におけるであるスクリーン印刷装置の図６の平面図。
【符号の説明】
１　　基板
２　　定盤ステージ
３　　突起部
４　　吸着ノズル
５　　搬送ローラ
６　　位置決め機構
７　　他の位置決め機構
８　　シリンダーピン
９　　昇降機構
１０　平行移動機構
１１　ＬＭガイド
１２　切り欠き部

Claims

基板を載置する定盤ステージと、前記定盤ステージに内蔵した上下動自在の搬送ローラと、前記基板を機械的に位置決めする位置決め機構とを備えた基板位置決め装置を用いて、
前記搬送ローラを上昇及び駆動回動させて、前記基板を定盤ステージより上方に浮き上がらせた状態で前工程側より搬送させ、基板を定盤ステージ上内に収まる位置で搬送ローラを下降し載置した後、基板の上面高さと同じ高さの第１及び第２の当て板を有する昇降及び平行移動駆動する位置決め機構により、基板を定盤ステージ上に位置決めすることを特徴とする基板位置決め方法。
前記搬送ローラは、基板を前記定盤ステージ上に位置決めされスクリーン印刷作業等が終了した後、前記当て板より開放した基板を定盤ステージ上の当て板より上方に浮き上がらせて後工程側へ搬送することを特徴とする請求項１記載の基板位置決め方法。
前記位置決め機構の第１及び第２の当て板は、前記定盤ステージの隣接する２辺部にそれぞれ独立して駆動し、第２の当て板が少なくとも一つ以上に分割され、基板サイズに応じて個別に平行移動駆動して、基板を定盤ステージ上に位置決めすることを特徴とする請求項１記載の基板位置決め方法。
前記位置決め機構の当て板は、一つのＬ字状の形状を成して基板の対角線上の角部を対角線上に平行移動駆動して、基板を定盤ステージ上に位置決めすることを特徴とする請求項１記載の基板位置決め方法。
前記基板が定盤ステージ上に位置決め保持された状態で、定盤ステージ上に複数設けられた真空吸着ノズルにて吸着固定することを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれいか一に記載の基板位置決め方法。
前記基板を定盤ステージに位置決め載置した状態でスキージを摺動させるスクリーン印刷に用いることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれいか一に記載の基板位置決め方法。
基板を載置する定盤ステージと、前記基板を機械的に位置決めする位置決め機構とを備えた基板位置決め装置において、
前記定盤ステージには、定盤ステージより上方に基板を浮き上がらせて前工程側より搬送する上下動自在及び駆動回動る内蔵した搬送ローラを備え、且つ、基板の上面高さと同じ高さの第１及び第２の当て板を有する昇降及び平行移動駆動する内蔵した位置決め機構を配置することを特徴とする基板位置決め装置。
前記第１及び第２の当て板を有する位置決め機構は、定盤ステージの隣接する２辺部にそれぞれ個別に駆動する昇降及び平行移動駆動機構を備え、第２の当て板が少なくとも一つ以上に分割されて基板サイズに応じて個別に平行移動駆動して、基板を定盤ステージ上に位置決めすることを特徴とする請求項７記載の基板位置決め装置。
前記位置決め機構の当て板は、一つのＬ字状の形状を成して昇降及び平行移動駆動機構を備え、基板の対角線上の角部を対角線上に平行移動駆動して、基板を定盤ステージ上に位置決めすることを特徴とする請求項７記載の基板位置決め装置。
前記定盤ステージに複数の真空吸着ノズルを備えたことを特徴とする請求項７乃至請求項９のいずれいか一に記載の基板位置決め装置。
前記基板を定盤ステージ上に位置決め載置した状態でスキージを摺動させるスクリーン印刷に用いることを特徴とする請求項７乃至請求項１０のいずれいか一に記載の基板位置決め装置。