JP2002139529A - 電気抵抗測定用コネクター並びに回路基板の電気抵抗測定装置および測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 サイズが小さくて突起状の被検査電極を有
し、その高さのばらつきが大きい回路基板に対しても、
所期の電気抵抗の測定を高い精度で確実に行うことがで
き、製作が容易な電気抵抗測定装置の構成が可能な電気
抵抗測定用コネクター、このコネクターを用いた電気抵
抗測定装置および測定方法の提供。 【解決手段】 本発明のコネクターは、被検査電極に対
応して貫通孔が形成された絶縁性シート体、その貫通孔
内において厚み方向に移動可能に支持された可動電極、
および可動電極と接触しない状態で絶縁性シート体の表
面の貫通孔の開口付近に形成された固定電極を有する複
合電極シートと、複合電極シートの表面および裏面に積
層された表面側および裏面側異方導電性エラストマー層
と、固定電極に電気的に接続された外部引出端子とを具
え、可動電極および固定電極は、表面側異方導電性エラ
ストマー層を介して対応する被検査電極に同時に電気的
に接続される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電気抵抗測定用コ
ネクター並びに回路基板の電気抵抗測定装置および測定
方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、電子部品における信号伝送の高速
化の要請に伴って、ＢＧＡやＣＳＰなどのＬＳＩパッケ
ージを構成する回路基板として、電極間における配線の
電気抵抗の低いものが要求されている。そのため、この
ような回路基板の電気的検査においては、その電極間に
おける配線の電気抵抗の測定を高い精度で行うことが極
めて重要である。従来、回路基板の電気抵抗の測定にお
いては、例えば、図２２に示すように、被検査回路基板
９０の互いに電気的に接続された２つの被検査電極９
１，９２の各々に対し、電流供給用プローブＰＡ，ＰＤ
および電圧測定用プローブＰＢ，ＰＣを押圧して接触さ
せ、この状態で、電流供給用プローブＰＡ，ＰＤの間に
電源装置９３から電流を供給し、このときに電圧測定用
プローブＰＢ，ＰＣによって検出される電圧信号を電気
信号処理装置９４において処理することにより、当該被
検査電極９１，９２間の電気抵抗の大きさを求める手段
が採用されている。

【０００３】しかしながら、上記の方法においては、電
流供給用プローブＰＡ，ＰＤおよび電圧測定用プローブ
ＰＢ，ＰＣを被検査電極９１，９２に対して相当に大き
い押圧力で接触させることが必要であり、しかも当該プ
ローブは金属製であってその先端は尖頭状とされている
ため、プローブが押圧されることによって被検査電極９
１，９２の表面が損傷してしまい、当該回路基板は使用
することが不可能なものとなってしまう。このような事
情から、電気抵抗の測定は、製品とされるすべての回路
基板について行うことができず、いわゆる抜き取り検査
とならざるを得ないため、結局、製品の歩留りを大きく
することはできない。

【０００４】このような問題を解決するため、従来、被
検査電極に接触する接続用部材が導電性エラストマーに
より構成された電気抵抗測定装置が提案されている。例
えば、（ｉ）特開平９−２６４４６号公報には、エラス
トマーにより導電性粒子が結着された導電ゴムよりなる
弾性接続用部材を、電流供給用電極および電圧測定用電
極の個々に配置してなる電気抵抗測定装置が開示され、
（ii）特開２０００−７４９６５号公報には、同一の被
検査電極に電気的に接続される電流供給用電極および電
圧測定用電極の両方の表面に接するよう設けられた、異
方導電性エラストマーよりなる共通の弾性接続用部材を
有する電気抵抗測定装置が開示され、（iii ）特開２０
００−２４１４８５号公報には、表面に複数の検査電極
が形成された検査用回路基板と、この検査用回路基板の
表面に設けられた導電性エラストマーよりなる弾性接続
用部材とを有し、被検査電極が接続部材を介して複数の
検査電極に電気的に接続された状態で、それらの検査電
極のうち２つを選択し、その一方を電流供給用電極と
し、他方を電圧測定用電極として電気抵抗を測定する電
気抵抗測定装置が開示されている。このような電気抵抗
測定装置によれば、被検査回路基板の被検査電極に対
し、弾性接続用部材を介して、電流供給用電極および電
圧測定用電極が対接されることによって電気的接続が達
成されるため、当該被検査電極を損傷させることなく電
気抵抗の測定を行うことができる。

【０００５】一方、ＢＧＡやＣＳＰなどの表面実装用の
ＬＳＩパッケージにおいては、パッケージを構成する回
路基板に半導体チップを実装する方法として、ワイヤー
ボンディング法、ＴＡＢ法、フリップチップ実装法など
が知られている。これらの実装法のうち、パッケージの
小型化および信号伝送の高速化の点では、半導体チップ
と回路基板との配線長が極めて短いフリップチップ実装
法が有利である。かかるフリップチップ実装法において
は、パッケージを構成する回路基板として、半導体チッ
プが搭載される一面に、当該半導体チップのパッド電極
の配置パターンに対応するパターンに従って電極が形成
されてなるもの、すなわちサイズが小さい例えば十ミク
ロンオーダーの複数の電極が小さいピッチで形成されて
なるものを用い、一方、半導体チップとして、そのパッ
ド電極上に半田ボールと称される突起状電極が形成され
てなるものを用い、半導体チップに形成された突起状電
極によって、当該半導体チップのパッド電極と回路基板
の電極とを接合して両者の電気的接続が達成される。ま
た、最近においては、パッド電極上に突起状電極が形成
された半導体チップを用いる代わりに、半導体チップが
搭載される一面に半田よりなる突起状電極が形成された
回路基板を用いるフリップチップ実装法が知られてい
る。

【０００６】しかしながら、このようなフリップチップ
実装法に用いられる回路基板について、上記の（ｉ）〜
（iii ）の構成の電気抵抗測定装置によって、電極間に
おける電気抵抗の測定を行う場合には、以下のような問
題がある。

【０００７】上記（ｉ）および（ii）の電気抵抗測定装
置においては、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板に
おける被検査電極の各々に、弾性接続用部材を介して電
流供給用電極および電圧測定用電極の両方を同時に電気
的に接続させる必要がある。従って、小さいサイズの被
検査電極が高密度で配置された被検査回路基板について
の電気抵抗の測定を行うための電気抵抗測定装置におい
ては、小さなサイズの被検査電極の各々に対応して、当
該被検査電極が占有する領域と同等若しくはそれ以下の
面積の領域内に、互いに離間した状態で電流供給用電極
および電圧測定用電極を形成すること、すなわち被検査
電極よりも更に小さいサイズの電流供給用電極および電
圧測定用電極を極めて小さい距離で離間した状態で形成
することが必要である。しかしながら、そのようなこと
は極めて困難であり、結局、小さいサイズの電極を高密
度で有する回路基板の電気抵抗を測定するための電気抵
抗測定装置は、その製作が非常に困難なものとなる。

【０００８】一方、上記（iii ）の電気抵抗測定装置に
おいては、被検査電極の各々に対応して、電流供給用電
極および電圧測定用電極を形成することが不要であるた
め、被検査回路基板が、小さいサイズの被検査電極が高
密度で配置されてなるものであっても、当該被検査回路
基板の電気抵抗を測定するための電気抵抗測定装置の作
製は容易である。しかしながら、このような電気抵抗測
定装置は、測定誤差範囲が大きいものであるため、電極
間における電気抵抗の低い回路基板について、その電気
抵抗の測定を高い精度で行うことは困難である。

【０００９】更に、突起状の被検査電極を有する被検査
回路基板について、上記の（ｉ）〜（iii ）の構成の電
気抵抗測定装置によって、電極間における電気抵抗の測
定を行う場合には、以下のような問題がある。上記の
（ｉ）〜（iii ）の電気抵抗測定装置において、弾性接
続用部材としては、一般に、エラストマー中に磁性を示
す導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有
されてなる加圧導電型の異方導電性エラストマーが用い
られている。一方、突起状の電極を有する回路基板は、
その製造上の理由により電極の突出高さの制御が困難で
あるため、通常、突出高さのばらつきが大きいものであ
る。従って、突起状の被検査電極を有する被検査回路基
板についての電気抵抗の測定を行う場合には、弾性接続
用部材として、凹凸吸収性の高いもの、具体的には、厚
みの大きい異方導電性エラストマーが用いられる。しか
しながら、厚みの大きい異方導電性エラストマーは、加
圧導電性の感度が低いものであり、従って、当該異方導
電性エラストマーに対してその厚み方向に相当に大きい
歪みを与えなければ、厚み方向に十分な導電性が得られ
ないため、被検査回路基板における多数の被検査電極の
うち突出高さの小さい被検査電極に対して、所要の電気
的接続を確実に達成することが困難となり、結局、当該
被検査回路基板について所期の電気抵抗の測定を高い精
度で行うことができない。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、以上のよう
な事情に基づいてなされたものであって、その第１の目
的は、サイズが小さくて一面から突出する突起状の被検
査電極を有し、これらの被検査電極の突出高さのばらつ
きが大きい回路基板に対しても、その被検査電極につい
ての所期の電気抵抗の測定を高い精度で確実に行うこと
ができ、しかも、製作が容易な電気抵抗測定装置を構成
することができる電気抵抗測定用コネクターを提供する
ことにある。本発明の第２の目的は、サイズが小さくて
一面から突出する突起状の被検査電極を有し、これらの
被検査電極の突出高さのばらつきが大きい回路基板に対
しても、その被検査電極についての所期の電気抵抗の測
定を高い精度で確実に行うことができ、しかも、製作が
容易な回路基板の電気抵抗測定装置を提供することにあ
る。また、本発明の第３の目的は、サイズが小さくて一
面から突出する突起状の被検査電極を有し、これらの被
検査電極の突出高さのばらつきが大きい回路基板に対し
ても、その被検査電極についての所期の電気抵抗の測定
を高い精度で確実に行うことができる回路基板の電気抵
抗測定方法を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明の電気抵抗測定用
コネクターは、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板に
おける複数の被検査電極のパターンに対応して厚み方向
に伸びる貫通孔が形成された絶縁性シート体、この絶縁
性シート体の貫通孔内において当該絶縁性シート体に対
してその厚み方向に移動可能に支持された可動電極、お
よび前記絶縁性シート体の表面において前記可動電極と
接触しない状態で当該絶縁性シート体の貫通孔の開口付
近に形成された固定電極を有してなる複合電極シート
と、この複合電極シートの表面に積層された表面側異方
導電性エラストマー層と、前記複合電極シートの裏面に
積層された裏面側異方導電性エラストマー層と、前記複
合電極シートにおける固定電極に電気的に接続された外
部引出端子とを具えてなり、前記複合電極シートにおけ
る可動電極および固定電極は、前記表面側異方導電性エ
ラストマー層を介して対応する被検査電極に同時に電気
的に接続されることを特徴とする。

【００１２】本発明の電気抵抗測定用コネクターにおい
ては、前記絶縁性シート体の貫通孔は、当該絶縁性シー
ト体の表面から裏面に向かって広がるテーパー状とさ
れ、可動電極の側面は、当該絶縁性シート体の貫通孔に
適合するテーパー状とされており、当該可動電極は、そ
の側面が絶縁性シート体の貫通孔の内壁面に対して離接
するよう、厚み方向に移動可能に支持されていることが
好ましい。また、前記絶縁性シート体の貫通孔における
表面側の開口は、前記被検査電極の径より小さい径を有
することが好ましい。また、前記固定電極は、前記絶縁
性シート体における複数の貫通孔の開口付近を含む領域
に、好ましくは複数の貫通孔の開口を囲むよう形成され
ており、当該固定電極は、前記表面側異方導電性エラス
トマー層を介して複数の被検査電極に電気的に接続され
る構成であってもよい。

【００１３】また、本発明の電気抵抗測定用コネクター
においては、前記表面側異方導電性エラストマー層およ
び／または前記裏面側異方導電性エラストマー層は、電
気抵抗を測定すべき被検査回路基板における複数の被検
査電極のパターンに対応して形成された、厚み方向に伸
びる複数の導電路形成部と、これらの導電路形成部を相
互に絶縁する絶縁部とよりなることが好ましい。このよ
うな電気抵抗測定用コネクターにおいては、前記表面側
異方導電性エラストマー層および／または前記裏面側異
方導電性エラストマー層における導電路形成部は、磁性
を示す導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で
密に含有されてなることが好ましく、更に、前記可動電
極は、磁性を示す金属材料よりなることが好ましい。

【００１４】また、本発明の電気抵抗測定用コネクター
においては、前記裏面側異方導電性エラストマー層は、
前記表面側異方導電性エラストマー層の厚みより大きい
厚みを有することが好ましい。また、前記裏面側異方導
電性エラストマー層は、前記表面側異方導電性エラスト
マー層の硬度より小さい硬度を有することが好ましい。

【００１５】本発明の回路基板の電気抵抗測定装置は、
電気抵抗を測定すべき被検査回路基板の一面側に配置さ
れる、上記の電気抵抗測定用コネクターを具えてなり、
前記電気抵抗測定用コネクターにおける表面側異方導電
性エラストマー層が前記被検査回路基板の一面側被検査
電極の各々によって押圧されることにより、当該被検査
電極の各々に、当該表面側異方導電性エラストマー層を
介して当該電気抵抗測定用コネクターにおける可動電極
および固定電極が同時に電気的に接続されて測定状態と
され、この測定状態において、指定された１つの一面側
被検査電極に電気的に接続された可動電極および固定電
極のうち、その一方を電流供給用電極とし、他方を電圧
測定用電極として用いることにより、当該指定された１
つの一面側被検査電極に係る電気抵抗の測定が実施され
ることを特徴とする。

【００１６】本発明の回路基板の電気抵抗測定装置にお
いては、前記電気抵抗測定用コネクターの裏面に配置さ
れた、表面に被検査回路基板における複数の一面側被検
査電極の各々に対応して配置された複数の検査電極を有
する一面側検査用回路基板を具えてなり、測定状態にお
いて、前記検査電極の各々に、前記電気抵抗測定用コネ
クターにおける裏面側異方導電性エラストマー層を介し
て対応する可動電極に電気的に接続されることが好まし
い。また、被検査回路基板の他面側に配置される他面側
検査用回路基板を有してなり、前記他面側検査用回路基
板は、その表面にそれぞれ前記被検査回路基板の他面側
被検査電極の各々に対応して互いに離間して配置され
た、それぞれ同一の他面側被検査電極に電気的に接続さ
れる電流供給用検査電極および電圧測定用検査電極が形
成されていることが好ましい。また、本発明の回路基板
の電気抵抗測定装置は、被検査回路基板における一面側
被検査電極が、当該被検査回路基板の一面から突出する
突起状のものである場合に好適である。

【００１７】本発明の回路基板の電気抵抗測定方法は、
電気抵抗を測定すべき被検査回路基板の一面に、上記の
電気抵抗測定用コネクターを配置し、前記電気抵抗測定
用コネクターにおける表面側異方導電性エラストマー層
が前記被検査回路基板の一面側被検査電極の各々によっ
て押圧されることにより、当該被検査電極の各々に、当
該表面側異方導電性エラストマー層を介して当該電気抵
抗測定用コネクターにおける可動電極および固定電極を
同時に電気的に接続して測定状態とし、この測定状態に
おいて、指定された１つの一面側被検査電極に電気的に
接続された可動電極および固定電極のうち、その一方を
電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用い
ることにより、当該指定された１つの一面側被検査電極
に係る電気抵抗の測定を実施することを特徴とする。

【００１８】

【作用】上記の構成の電気抵抗測定用コネクターによれ
ば、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板における被検
査電極の各々によって表面側異方導電性エラストマー層
が押圧されると、１つの被検査電極には、複合電極シー
トにおける可動電極および固定電極の両方が同時に電気
的に接続され、しかも、固定電極は可動電極と接触しな
い状態で形成されているので、当該被検査電極に電気的
に接続された可動電極および固定電極のうち、一方を電
流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用いる
ことにより、当該被検査回路基板についての電気抵抗を
高い精度で測定することができる。

【００１９】また、複合電極シートにおける可動電極
は、絶縁性シート体に対してその厚み方向に移動可能に
支持されており、これにより、被検査電極の各々によっ
て表面側異方導電性エラストマー層が押圧されると、当
該被検査電極の突出高さに応じて当該可動電極が厚み方
向に移動するので、当該複合電極シートの表面および裏
面に形成された表面側異方導電性エラストマー層および
裏面側異方導電性エラストマー層の各々における凹凸吸
収性を有効に利用することができる。しかも、表面側異
方導電性エラストマー層および裏面側異方導電性エラス
トマー層の各々は、その厚みが小さいものでよいため、
表面側異方導電性エラストマー層および裏面側異方導電
性エラストマー層の各々において、高い感度の加圧導電
性が得られる。従って、一面から突出する突起状の被検
査電極を有し、これらの被検査電極の突出高さのバラツ
キが大きい被検査回路基板に対しても、高い接続信頼性
が得られ、その結果、所要の電気抵抗の測定を高い精度
で確実に行うことができる。

【００２０】また、複合電極シートには、固定電極に電
気的に接続された外部引出端子が設けられているため、
当該外部引出端子を介して固定電極をテスターに電気的
に接続することができ、これにより、検査電極として
は、可動電極に電気的に接続されるもののみを設ければ
よい。従って、検査電極は、被検査回路基板の被検査電
極に対して１対１の対応関係にあるため、これらのサイ
ズは、被検査電極と同程度であればよいので、被検査回
路基板における被検査電極のサイズが小さい場合でも、
当該被検査電極に対応する検査電極を容易に形成するこ
とができ、結果として電気抵抗測定装置は、その製作が
きわめて容易となる。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て詳細に説明する。 〈電気抵抗測定用コネクター〉図１は、本発明に係る電
気抵抗測定用コネクターの一例における構成を示す説明
用断面図である。この電気抵抗測定用コネクター１０
は、複合電極シート１１と、この複合電極シート１１の
表面（図１において下面）に一体的に固着されて積層さ
れた、厚み方向に導電性を示す表面側異方導電性エラス
トマー層２０と、複合電極シート１１の裏面（図１にお
いて上面）に一体的に固着されて積層された裏面側異方
導電性エラストマー層２５と、これらの積層体の一縁に
設けられた外部引出端子１８とにより構成されている。

【００２２】複合導電性シート１１は、電気抵抗を測定
すべき被検査回路基板の被検査電極に対応した位置にお
いて、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔１３が形
成された絶縁性シート体１２を有し、この絶縁性シート
体１２の各貫通孔１３内には、可動電極１５が、絶縁性
シート体１２から分離して当該絶縁性シート体１２に対
してその厚み方向に移動可能に支持されている。具体的
には、絶縁性シート体１２の貫通孔１３の各々は、当該
絶縁性シート体１２の表面から裏面（図１において上
面）に向かって径が大きくなる円錐台状とされ、可動電
極１５の各々は、絶縁性シート体１２の貫通孔１３に適
合する円錐台状とされている。そして、可動電極１５の
各々は、その側面（円錐台のテーパー面）が絶縁性シー
ト体１２の貫通孔１３の内壁面（テーパー面）に対して
離接するよう、表面側異方導電性エラストマー層２０お
よび裏面側異方導電性エラストマー層２５の間に厚み方
向に移動可能に支持されている。また、絶縁性シート体
１２の表面（図１において下面）には、当該絶縁性シー
ト体１２における複数の貫通孔１３の開口付近を含む領
域に、例えば銅などの金属層よりなる複数の固定電極１
６が、可動電極１５と接触しない状態で形成されてい
る。この例における固定電極１６の各々は、図２に示す
ように、複数（例えば３つ）の貫通孔１３の表面側の開
口を、当該貫通孔１３の開口周辺の絶縁領域Ｇを介して
囲むよう形成されている。そして、固定電極１６の各々
は、絶縁性シート体１２の表面に形成された配線部１７
を介して外部引出端子１８に電気的に接続されている。

【００２３】絶縁性シート体１２を構成する材料として
は、絶縁性を有する弾性高分子物質あるいは剛性高分子
物質を用いることができる。弾性高分子物質としては、
例えばポリブタジエンゴム、天然ゴム、ポリイソプレン
ゴム、スチレン−ブタジエン共重合体ゴム、アクリロニ
トリル−ブタジエン共重合体ゴムなどの共役ジエン系ゴ
ムおよびこれらの水素添加物、スチレン−ブタジエン−
ジエンブロック共重合体ゴム、スチレン−イソプレンブ
ロック共重合体などのブロック共重合体ゴムおよびこれ
らの水素添加物、クロロプレン、ウレタンゴム、ポリエ
ステル系ゴム、エピクロルヒドリンゴム、シリコーンゴ
ム、エチレン−プロピレン共重合体ゴム、エチレン−プ
ロピレン−ジエン共重合体ゴムなどを挙げることができ
る。また、剛性高分子物質としては、例えば、ポリイミ
ド、エポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂、ポリエチレンテ
レフタレート、ポリブチレンテレフタレートなどのポリ
エステル、塩化ビニル樹脂、ポリスチレン、ポリアクリ
ロニトリル、ポリエチレン、ポリプロピレン、アクリル
樹脂、ポリブタジエン、ポリフェニレンエーテル、ポリ
フェニレンサルファイド、ポリアミド、ポリオキシメチ
レン、液晶ポリマーなどの熱可塑性樹脂などを挙げるこ
とができる。これらの中でも、剛性高分子物質を用いる
ことが好ましく、さらに、優れた耐熱性および寸法安定
性が得られることから、熱硬化性樹脂を用いることが好
ましく、特にポリイミドを用いることが好ましい。

【００２４】絶縁性シート体１２の厚みは、例えば２０
〜１０００μｍであることが好ましく、より好ましくは
３０〜２００μｍ、特に好ましくは４０〜１５０μｍで
ある。この範囲内であることにより、配置ピッチが極め
て小さい電極に対して接続する場合であっても、小さい
押圧力で可動電極１５を機能させることができる。

【００２５】可動電極１５を構成する材料としては、あ
る程度の硬度を有する導電体であればよく、例えばニッ
ケル、鉄、コバルト、銅、金、銀、アルミニウムなどの
金属若しくはこれらの合金、またはこれらの金属の積層
体、或いはこれらの金属の粉末が含有されてなる導電性
ペーストの硬化物などを用いることができるが、高い導
電性が得られる点で、金属を用いることが好ましい。ま
た、後述するように、磁性を示す導電性粒子が密に充填
された厚み方向に伸びる複数の導電路形成部２１，２６
が絶縁部２２，２７によって相互に絶縁されてなる表面
側異方導電性エラストマー層２０および裏面側異方導電
性エラストマー層２５を形成する場合には、磁場を作用
させることにより、磁性を示す導電性粒子を確実に可動
電極１５の表面上および裏面上に集合させて厚み方向に
並ぶよう配向させることができる点で、可動電極１５を
構成する材料として、ニッケル、鉄、コバルトまたはこ
れらの合金などの磁性を示す金属を用いることが好まし
い。

【００２６】この例における表面側異方導電性エラスト
マー層２０は、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板の
被検査電極のパターンに対応して配置された厚み方向に
伸びる複数の導電路形成部２１と、これらの導電路形成
部２１の間に介在されてこれらを相互に絶縁する絶縁部
２２とより構成されている。導電路形成部２１は、図３
に模式的に示すように、表面側異方導電性エラストマー
層２０の基材を構成する弾性高分子物質中に磁性を示す
導電性粒子Ｐが厚み方向に並ぶよう配向した状態で密に
含有されて構成されており、この導電性粒子Ｐの連鎖に
よって導電路が形成される。これに対して、絶縁部２２
は、導電性粒子Ｐが全く或いは殆ど含有されていないも
のである。また、導電路形成部２１の径は、当該導電路
形成部２１に対応する被検査電極に、可動電極１５およ
び固定電極１６の両方が同時に電気的に接続され得るも
の、具体的には、絶縁性シート体１２における貫通孔１
３の表面側の開口の径より大きいものであって、隣接す
る導電路形成部２１間に所要の絶縁性が確保され得る程
度のものであればよい。

【００２７】導電路形成部２１を構成する導電性粒子Ｐ
としては、例えばニッケル、鉄、コバルトなどの磁性を
示す金属粒子もしくはこれらの合金の粒子またはこれら
の金属を含有する粒子、またはこれらの粒子を芯粒子と
し、当該芯粒子の表面に金、銀、パラジウム、ロジウム
などの導電性の良好な金属のメッキを施したもの、ある
いは非磁性金属粒子もしくはガラスビーズなどの無機質
粒子またはポリマー粒子を芯粒子とし、当該芯粒子の表
面に、ニッケル、コバルトなどの導電性磁性体のメッキ
を施したものなどが挙げられる。これらの中では、ニッ
ケル粒子を芯粒子とし、その表面に金や銀などの導電性
の良好な金属のメッキを施したものを用いることが好ま
しい。また、導電性粒子Ｐの粒径は、得られる導電路形
成部２１の加圧変形を容易にし、当該導電路形成部２１
における導電性粒子Ｐ間に十分な電気的な接触が得られ
るよう、３〜２００μｍであることが好ましく、特に１
０〜１００μｍであることが好ましい。

【００２８】また、導電性粒子Ｐの含水率は、５％以下
であることが好ましく、より好ましくは３％以下、さら
に好ましくは２％以下、特に好ましくは１％以下であ
る。このような条件を満足することにより、表面側異方
導電性エラストマー層２０を形成する際に、当該表面側
異方導電性エラストマー層２０に気泡が生ずることが防
止または抑制される。

【００２９】導電路形成部２１における導電性粒子Ｐの
割合は、体積分率で５〜６０％であることが好ましく、
より好ましくは７〜５０％、特に好ましくは１０〜４０
％である。この割合が５％未満である場合には、十分に
電気抵抗値の小さい導電路を形成することが困難となる
ことがある。一方、この割合が６０％を超える場合に
は、得られる導電路形成部２１は脆弱なものとなり、導
電路形成部としての必要な弾性が得られないことがあ
る。

【００３０】表面側異方導電性エラストマー層２０の基
材を構成する絶縁性の弾性高分子物質としては、架橋構
造を有するものが好ましい。架橋構造を有する高分子物
質を得るために用いることのできる高分子物質用材料と
しては、種々のものを用いることができ、その具体例と
しては、ポリブタジエンゴム、天然ゴム、ポリイソプレ
ンゴム、スチレン−ブタジエン共重合体ゴム、アクリロ
ニトリル−ブタジエン共重合体ゴムなどの共役ジエン系
ゴムおよびこれらの水素添加物、スチレン−ブタジエン
ブロック共重合体ゴムなどのブロック共重合体ゴムおよ
びこれらの水素添加物、シリコーンゴム、フッ素ゴム、
シリコーン変性フッ素ゴム、エチレン−プロピレン共重
合体ゴム、ウレタンゴム、ポリエステル系ゴム、クロロ
プレンゴム、エピクロルヒドリンゴムなどが挙げられ
る。以上において、成形加工性および電気絶縁特性が高
いことから、シリコーンゴム、シリコーン変性フッ素ゴ
ムを用いることが好ましい。

【００３１】この例における裏面側異方導電性エラスト
マー層２５は、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板の
被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置
された厚み方向に伸びる複数の導電路形成部２６と、こ
れらの導電路形成部２６の間に介在されてこれらを相互
に絶縁する絶縁部２７とより構成されている。導電路形
成部２６は、図３に模式的に示すように、裏面側異方導
電性エラストマー層２５の基材を構成する弾性高分子物
質中に磁性を示す導電性粒子Ｐが厚み方向に並ぶよう配
向した状態で密に含有されて構成されており、この導電
性粒子の連鎖によって導電路が形成される。これに対し
て、絶縁部２７は、導電性粒子Ｐが全く或いは殆ど含有
されていないものである。導電路形成部２６を構成する
導電性粒子Ｐおよび裏面側異方導電性エラストマー層２
５の基材を構成する絶縁性の弾性高分子物質としては、
表面側異方導電性エラストマー層２０と同様のものを用
いることができる。

【００３２】本発明の電気抵抗測定用コネクターにおい
て、表面側異方導電性エラストマー層２０および裏面側
異方導電性エラストマー層２５は、以下の（イ）および
（ロ）のいずれか一方または両方の関係を満足すること
が好ましい。（イ）裏面側異方導電性エラストマー層２
５が、表面側異方導電性エラストマー層２０の厚みより
大きい厚みを有すること。具体的には、表面側異方導電
性エラストマー層２０の厚みをＴ１とし、裏面側異方導
電性エラストマー層２５の厚みをＴ２としたとき、１＜
（Ｔ２／Ｔ１）≦３であること。（ロ）裏面側異方導電
性エラストマー層２５は、表面側異方導電性エラストマ
ー層２０の硬度より小さい硬度を有すること。具体的に
は、表面側異方導電性エラストマー層２０の硬度をＤ１
とし、裏面側異方導電性エラストマー層２５の硬度をＤ
２としたとき、０．５≦（Ｄ２／Ｄ１）＜１であるこ
と。

【００３３】表面側異方導電性エラストマー層２０およ
び裏面側異方導電性エラストマー層２５が、このような
（イ）および（ロ）のいずれか一方または両方の関係を
満足することにより、電気抵抗を測定すべき被検査回路
基板の被検査電極によって表面側異方導電性エラストマ
ー層２０が押圧されたときに、可動電極１５が表面から
裏面に向かう方向すなわち裏面側異方導電性エラストマ
ー層２５を押圧する方向に確実に移動するようになり、
従って、表面側異方導電性エラストマー層２０および裏
面側異方導電性エラストマー層２５の両方の弾性を有効
に利用することができるため、被検査電極の突出高さに
大きなバラツキのある被検査回路基板に対しても、被検
査電極と検査電極との所要の電気的接続を一層確実に達
成することができる。

【００３４】表面側異方導電性エラストマー層２０およ
び裏面側異方導電性エラストマー層２５の合計の厚み
（Ｔ１＋Ｔ２）は、例えば０．１５〜３ｍｍである。ま
た、表面側異方導電性エラストマー層２０の厚み（Ｔ
１）は、例えば０．０５〜１ｍｍであり、裏面側異方導
電性エラストマー層２５の厚み（Ｔ２）は、例えば０．
１〜２ｍｍである。

【００３５】上記の電気抵抗測定用コネクターは、例え
ば以下のようにして製造することができる。先ず、図４
に示すように、絶縁性シート体１２の表面（図４におい
て下面）に金属層１６Ａが形成されてなる積層材料１１
Ａを用意し、この積層材料１１Ａにおける絶縁性シート
体１２に、図５に示すように、表面から裏面に向かって
広がるテーパー状の形状、具体的には円錐台状の厚み方
向に伸びる複数の貫通孔１３を、電気抵抗を測定すべき
被検査回路基板の被検査電極のパターンに対応するパタ
ーンに従って形成する。次いで、図６に示すように、積
層材料１１Ａに対して、その絶縁性シート体１２の各貫
通孔１３内に充填された状態の円錐台状の可動電極用導
体１５Ａを形成し、その後、金属層１６Ａにエッチング
処理を施してその一部を除去することにより、図７に示
すように、所要のパターンの固定電極１６および配線部
（図示省略）を形成する。ここで、形成された固定電極
１６と可動電極用導体１５Ａとの間には、絶縁領域Ｇが
存在し、従って、固定電極１６は、可動電極用導体１５
Ａと接触していない状態とされている。

【００３６】以上において、絶縁性シート体１２に貫通
孔１３を形成する手段としては、レーザー加工法、ドラ
イエッチング法などを利用することができるが、テーパ
ー状の形状の貫通孔１３を容易に形成することができる
点で、レーザー加工法が好ましい。また、可動電極用導
体１５Ａを形成する方法としては、（１）金属層１６Ａ
を共通のカソード電極として利用して、電解メッキによ
って絶縁性シート体１２の貫通孔１３内に金属を堆積さ
せて充填する方法、（２）金属粉末が含有されてなる導
電性ペーストを絶縁性シート体１２の貫通孔１３内に充
填した後、当該導電性ペーストの硬化処理する方法など
を利用することができるが、導電性の高い金属のみより
なる可動電極用導体１５Ａを形成することができる点
で、（１）の方法が好ましい。

【００３７】このようにして貫通孔１３内に可動電極用
導体１５Ａが形成された絶縁性シート体１２に対し、そ
の裏面（図において上面）に裏面側異方導電性エラスト
マー層２５を形成する。具体的に説明すると、先ず、図
８に示すように、絶縁性シート体１２およびその貫通孔
１３内に形成された可動電極用導体１５Ａの裏面に、硬
化されて絶縁性の弾性高分子物質となる液状の高分子物
質用材料中に磁性を示す導電性粒子が含有されてなる所
要の厚みの異方導電性エラストマー層形成材料よりなる
層（以下、「エラストマー形成材料層」という。）２５
Ａを形成すると共に、このエラストマー形成材料層２５
Ａの上面および絶縁性シート体１２の下面に、異方導電
性エラストマー層形成用の一方の磁極板３０および他方
の磁極板３５を配置する。ここで、一方の磁極板３０に
おいては、強磁性体基板３１の下面に、形成すべき導電
路形成部のパターンと対掌なパターンに従って強磁性体
層３２が形成され、この強磁性体層３２が形成された個
所以外の個所には、非磁性体層３３が形成されている。
また、他方の磁極板３５においては、強磁性体基板３６
の上面に、形成すべき導電路形成部のパターンと同一の
パターンに従って強磁性体層３７が形成され、この強磁
性体層３７が形成された個所以外の個所には、非磁性体
層３８が形成されている。

【００３８】そして、一方の磁極板３０の上面および他
方の磁極板３５の下面に、例えば電磁石を配置してこれ
を作動させることにより、エラストマー形成材料層２５
Ａに対し、その厚み方向に一方の磁極板３０および他方
の磁極板３５を介して平行磁場を作用させる。その結
果、エラストマー形成材料層２５Ａ中に分散されていた
磁性を示す導電性粒子が、一方の磁極板３０の強磁性体
層３２と他方の磁極板３５の強磁性体層３７との間に位
置する部分に集合すると共に、厚み方向に並ぶよう配向
する。そして、この状態でエラストマー形成材料層の硬
化処理を行うことにより、図９に示すように、導電性粒
子が密に充填されてなる複数の導電路形成部２６と，こ
れらを相互に絶縁する絶縁部２７とよりなる裏面側異方
導電性エラストマー層２５が、絶縁性シート体１２の裏
面に一体的に固着した状態で形成される。

【００３９】以上において、異方導電性エラストマー層
形成材料中には、高分子物質用材料を硬化させるための
硬化触媒を含有させることができる。このような硬化触
媒としては、有機過酸化物、脂肪酸アゾ化合物、ヒドロ
シリル化触媒などを用いることができる。硬化触媒とし
て用いられる有機過酸化物の具体例としては、過酸化ベ
ンゾイル、過酸化ビスジシクロベンゾイル、過酸化ジク
ミル、過酸化ジターシャリーブチルなどが挙げられる。
硬化触媒として用いられる脂肪酸アゾ化合物の具体例と
しては、アゾビスイソブチロニトリルなどが挙げられ
る。ヒドロシリル化反応の触媒として使用し得るものの
具体例としては、塩化白金酸およびその塩、白金−不飽
和基含有シロキサンコンプレックス、ビニルシロキサン
と白金とのコンプレックス、白金と１，３−ジビニルテ
トラメチルジシロキサンとのコンプレックス、トリオル
ガノホスフィンあるいはホスファイトと白金とのコンプ
レックス、アセチルアセテート白金キレート、環状ジエ
ンと白金とのコンプレックスなどの公知のものが挙げら
れる。硬化触媒の使用量は、高分子物質用材料の種類、
硬化触媒の種類、その他の硬化処理条件を考慮して適宜
選択されるが、通常、高分子物質用材料１００重量部に
対して３〜１５重量部である。

【００４０】また、異方導電性エラストマー層形成材料
中には、必要に応じて、通常のシリカ粉末、コロイダル
シリカ、エアロゲルシリカ、アルミナなどの無機充填材
を含有させることができる。このような無機充填材を含
有させることにより、当該成形材料のチクソトロピー性
が確保され、その粘度が高くなり、しかも、導電性粒子
の分散安定性が向上すると共に、得られる異方導電性エ
ラストマー層の強度が高いものとなる。このような無機
充填材の使用量は、特に限定されるものではないが、多
量に使用すると、磁場による導電性粒子の配向を十分に
達成することができなくなるため、好ましくない。ま
た、異方導電性エラストマー層形成材料の粘度は、温度
２５℃において１０００００〜１００００００ｃｐの範
囲内であることが好ましい。

【００４１】エラストマー形成材料層２５Ａを形成する
方法としては、特に限定されるものではないが、例えば
ロール塗布法、プレード塗布法、スクリーン印刷などの
印刷法を利用することができる。エラストマー形成材料
層２５Ａの硬化処理は、平行磁場を作用させたままの状
態で行うこともできるが、平行磁場の作用を停止させた
後に行うこともできる。エラストマー形成材料層２５Ａ
に作用される平行磁場の強度は、平均で０．０２〜１Ｔ
となる大きさが好ましい。また、平行磁場を作用させる
手段としては、電磁石の代わりに永久磁石を用いること
ができる。このような永久磁石としては、上記の範囲の
平行磁場の強度が得られる点で、アルニコ（Ｆｅ−Ａｌ
−Ｎｉ−Ｃｏ系合金）、フェライトなどよりなるものが
好ましい。また、可動電極用導体１５Ａを構成する材料
として、磁性を示す金属材料を用いる場合には、平行磁
場を作用させたときに、可動電極用導体１５Ａが磁極と
して機能するため、当該可動電極用導体１５Ａが位置す
る個所に導電路形成部２１を確実に形成することができ
る。

【００４２】エラストマー形成材料層２５Ａの硬化処理
の条件は、使用される材料によって適宜選定されるが、
通常、熱処理によって行われる。具体的な加熱温度およ
び加熱時間は、エラストマー形成材料層２５Ａの高分子
物質用材料の種類、導電性粒子の移動に要する時間など
を考慮して適宜選定される。例えば、高分子物質用材料
が室温硬化型シリコーンゴムである場合に、硬化処理
は、室温で２４時間程度、４０℃で２時間程度、８０℃
で３０分間程度で行われる。

【００４３】以上のようにして、絶縁性シート体１２の
裏面に裏面側異方導電性エラストマー層２５を形成した
後、図１０に示すように、可動電極用導体１５Ａを表面
から裏面に向かう方向に押圧すると、絶縁性シート体１
２に対する可動電極用導体１５Ａの接着性が低いため、
当該可動電極用導体１５Ａが絶縁性シート体１２から容
易に分離される。その結果、図１１に示すように、絶縁
性シート体１２の貫通孔１３の内壁面に対して離接する
よう厚み方向に移動可能な可動電極１５が形成され、以
て、複合電極シート１１が形成される。

【００４４】次いで、図１２に示すように、複合電極シ
ート１１の表面（絶縁性シート体１２および可動電極１
５の表面）に、エラストマー形成材料層２０Ａを形成す
ると共に、裏面側異方導電性エラストマー層２５の上面
および形成したエラストマー形成材料層２０Ａの下面
に、異方導電性エラストマー層形成用の一方の磁極板３
０および他方の磁極板３５を配置する。そして、一方の
磁極板３０の上面および他方の磁極板３５の下面に、例
えば電磁石を配置してこれを作動させることにより、エ
ラストマー形成材料層２０Ａに対し、その厚み方向に一
方の磁極板３０および他方の磁極板３５を介して平行磁
場を作用させる。その結果、エラストマー形成材料層２
０Ａ中に分散されていた磁性を示す導電性粒子が、一方
の磁極板３０の強磁性体層３２と他方の磁極板３５の強
磁性体層３７との間に位置する部分に集合すると共に、
厚み方向に並ぶよう配向する。そして、この状態でエラ
ストマー形成材料層の硬化処理を行うことにより、図１
３に示すように、導電性粒子が密に充填されてなる複数
の導電路形成部２１と，これらを相互に絶縁する絶縁部
２２とよりなる表面側異方導電性エラストマー層２０
が、複合電極シート１１の表面に一体的に固着した状態
で形成される。以上において、エラストマー形成材料層
２０Ａに作用される平行磁場およびエラストマー形成材
料層２０Ａの硬化処理の条件は、前述の裏面側異方導電
性エラストマー層２５Ａの形成と同様である。

【００４５】その後、複合電極シート１０の表面および
裏面に表面側異方導電性エラストマー層２０および裏面
側異方導電性エラストマー層２５が形成されてなる積層
体の一縁に、複合電極シート１０の配線部に接続された
外部引出端子を設けることにより、図１に示す電気抵抗
測定用コネクター１０が製造される。

【００４６】上記の電気抵抗測定用コネクター１０は、
図１４に示すように、電気抵抗を測定すべき被検査回路
基板１における複数の一面側被検査電極２と、検査用回
路基板５の表面に一面側被検査電極２の配置パターンに
対応するパターンに従って配置された検査電極６との間
に配置されて使用される。ここで、図示の例における被
検査回路基板１の一面側被検査電極２は、被検査回路基
板１の一面から突出する半球状のものである。

【００４７】そして、一面側被検査電極２および検査電
極６によって表面側異方導電性エラストマー層２０の導
電路形成部２１および裏面側異方導電性エラストマー層
２５の導電路形成部２６が押圧されると、一面側被検査
電極２の各々には、表面側異方導電性エラストマー層２
０の導電路形成部２１を介して可動電極１５および固定
電極１６が同時に電気的に接続されると共に、可動電極
１５の各々には、裏面側異方導電性エラストマー層２５
の導電路形成部２６を介して検査電極６が電気的に接続
される。このとき、可動電極１５は、表面側異方導電性
エラストマー層２０の導電路形成部２１を介して伝わる
押圧力によって、一面側被検査電極２の突出高さに応じ
て、絶縁性シート体１２の表面から裏面に向かう方向に
移動する。このような状態において、被検査回路基板に
おける複数の一面側被検査電極２のうち１つの一面側被
検査電極２を指定し、この指定された一面側被検査電極
２に電気的に接続されている可動電極１５および固定電
極１６のうち、一方を電流供給用電極とし、他方を電圧
測定用電極として用いることにより、指定された一面側
被検査電極に係る電気抵抗の測定が行われる。

【００４８】上記の構成の電気抵抗測定用コネクター１
０によれば、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板１に
おける一面側被検査電極２の各々によって表面側異方導
電性エラストマー層２０が押圧されると、１つの一面側
被検査電極２には、複合電極シート１１における可動電
極１５および固定電極１６の両方が同時に電気的に接続
され、しかも、固定電極１６は、絶縁領域Ｇによって可
動電極１５と接触しない状態で形成されているので、当
該一面側被検査電極２に電気的に接続された可動電極１
５および固定電極１６のうち、一方を電流供給用電極と
し、他方を電圧測定用電極として用いることにより、当
該被検査回路基板１についての電気抵抗を高い精度で測
定することができる。

【００４９】また、複合電極シート１１における可動電
極１５は、絶縁性シート体１２に対してその厚み方向に
移動可能に支持されており、これにより、一面側被検査
電極２の各々によって表面側異方導電性エラストマー層
２０が押圧されると、当該一面側被検査電極２の突出高
さに応じて当該可動電極１５が厚み方向に移動するの
で、当該複合電極シート１１の表面および裏面に形成さ
れた表面側異方導電性エラストマー層２０および裏面側
異方導電性エラストマー層２５の各々における凹凸吸収
性を有効に利用することができる。しかも、表面側異方
導電性エラストマー層２０および裏面側異方導電性エラ
ストマー層２５の各々は、その厚みが小さいものでよい
ため、表面側異方導電性エラストマー層２０および裏面
側異方導電性エラストマー層２５の各々において、高い
感度の加圧導電性が得られる。従って、一面から突出す
る突起状の一面側被検査電極２を有し、これらの一面側
被検査電極２の突出高さのバラツキが大きい被検査回路
基板１に対しても、高い接続信頼性が得られ、その結
果、所要の電気抵抗の測定を確実に行うことができる。

【００５０】また、複合電極シート１１には、固定電極
１６に電気的に接続された外部引出端子１８が設けられ
ているため、当該外部引出端子１８を介して固定電極１
６をテスターに電気的に接続することができ、これによ
り、検査電極６としては、裏面側異方導電性エラストマ
ー層２５を介して可動電極１５に電気的に接続されるも
ののみを設ければよい。従って、検査電極６は、被検査
回路基板１の一面側被検査電極２に対して１対１の対応
関係にあればよく、そのため、これらのサイズは、一面
側被検査電極２と同程度であればよいので、被検査回路
基板１における一面側被検査電極２のサイズが小さい場
合でも、当該一面側被検査電極２に対応する検査電極６
を容易に形成することができ、その結果として、製作が
きわめて容易な電気抵抗測定装置を構成することが可能
となる。

【００５１】本発明の電気抵抗測定用コネクターは、上
記の実施の形態に限定されず、以下のような種々の変更
を加えることが可能である。 （１）絶縁性シート体１２の貫通孔１３および可動電極
１５の形状は、当該可動電極１５が厚み方向に移動可能
に支持され得るのであれば、円錐台状以外の形状のもの
であってもよい。 （２）表面側異方導電性エラストマー層２０および裏面
側異方導電性エラストマー層２５は、絶縁性シート体１
２に一体的に固着されていることは必須ではなく、絶縁
性シート体１２と分離可能な別体のものが、適宜の手段
によって絶縁性シート体１２に固定されていてもよい。 （３）表面側異方導電性エラストマー層２０および裏面
側異方導電性エラストマー層２５は、複数の導電路形成
部２１，２６が絶縁部２２，２７によって相互に絶縁さ
れた状態で配置されてなる、いわゆる偏在型のものに限
定されず、図１５に模式的に示すように、異方導電性エ
ラストマー層の基材を構成する弾性高分子物質中に、導
電性粒子Ｐが厚み方向に並ぶよう配向した状態でかつ面
方向に分散された状態で含有されてなる、いわゆる分散
型のものであってもよい。 （４）固定電極１６は、絶縁性シート体１２における１
つの貫通孔１３の表面側の開口のみを囲むよう、一面側
被検査電極２の各々に対応して形成されていてもよく、
このような構成においては、固定電極１６の各々が、そ
れぞれ独立の配線部１７によって外部引出端子１８に電
気的に接続されていてもよく、複数の固定電極１６が共
通の配線部１７によって外部引出端子１８に電気的に接
続されていてもよい。また、固定電極１６は、全ての貫
通孔１３の表面側の開口を囲むよう形成されていてもよ
い。

【００５２】〈回路基板の電気抵抗測定装置〉図１６
は、本発明に係る回路基板の電気抵抗測定装置の一例に
おける構成を示す説明図であり、図１７は、図１６に示
す回路基板の電気抵抗測定装置の要部を拡大して示す説
明図である。この回路基板の電気抵抗測定装置は、電気
抵抗を測定すべき被検査回路基板１の一面（図１６にお
いて上面）側に配置される上部側アダプター４０と、被
検査回路基板１の他面（図１６において下面）側に配置
される下部側アダプター５０とが、上下に互いに対向す
るよう配置されて構成されている。この例における被検
査回路基板１は、ＢＧＡやＣＳＰなどのＬＳＩパッケー
ジに用いられるプリント回路基板であって、図１８に示
すように、その一面１Ａの中央部には、実装される半導
体チップの表面電極のパターンに対応するパターンに従
って方形枠状に高密度に配列された、当該一面１Ａから
突出する半球状の多数の一面側被検査電極２を有すると
共に、図１９に示すように、その他面１Ｂには、例えば
ピッチが０．５ｍｍの格子点位置に従って配列された円
板状の多数の他面側被検査電極３を有し、一面側被検査
電極２の各々には、対応する他面側被検査電極３の各々
が電気的に接続されている。

【００５３】上部側アダプター４０においては、被検査
回路基板１の一面に圧接される、例えば図１に示す構成
の電気抵抗測定用コネクター１０が設けられ、この電気
抵抗測定用コネクター１０の外部引出端子１８は、テス
ター５９に電気的に接続されている。電気抵抗測定用コ
ネクター１０の裏面（図１６において上面）すなわち裏
面側異方導電性エラストマー層上には、一面側検査用回
路基板４１が配置されている。この一面側検査用回路基
板４１の表面（図１６において下面）には、被検査回路
基板１の一面側被検査電極２のパターンに対応するパタ
ーンに従って、複数の検査電極４２が配置されており、
当該検査電極４２の各々は、当該一面側検査用回路基板
４１の配線回路４４およびコネクター４３を介してテス
ター５９に電気的に接続されている。一面側検査用回路
基板４１の裏面（図１６において上面）には、例えば発
泡ポリウレタン、発泡ゴムなどよりなる弾性緩衝板４６
を介して当該上部側アダプター４０を下方に押圧して降
下させるための押圧板４５が配置されている。

【００５４】下部側アダプター５０においては、他面側
検査用回路基板５１が設けられ、この他面側検査用回路
基板５１の表面（図１６において上面）には、被検査回
路基板１の他面側被検査電極３の配置パターンに対応す
るパターンに従って、１つの他面側被検査電極３に対し
て、互いに離間して配置された電流供給用検査電極５２
および電圧測定用検査電極５３よりなる検査電極対が、
他面側被検査電極３が占有する領域と同等の面積の領域
内に位置するよう配置されている。そして、検査電極対
における電流供給用検査電極５２および電圧測定用検査
電極５３は、各々、当該他面側検査用回路基板５１の配
線回路５５およびコネクター５４を介してテスター５９
に電気的に接続されている。

【００５５】また、他面側検査用回路基板５１の表面上
には、検査電極対を構成する電流供給用検査電極５２お
よび電圧測定用検査電極５３の両方の表面（図１６にお
いて上面）に接する共通の弾性接続用部材５６が設けら
れている。この弾性接続用部材５６は、他面側検査用回
路基板５１の表面に設けられたシート状の保持部材５７
によって、その表面（図１６において上面）が当該保持
部材５７の表面から突出した状態で保持されている。こ
の図の例においては、被検査回路基板１における他面側
被検査電極３毎に、これに対応する複数の弾性接続用部
材５６が互いに独立した状態で設けられている。また、
他面側検査用回路基板５１の裏面（図１６において下
面）には、当該下部側アダプター５０を上方に押圧して
上昇させるための押圧板５８が配置されている。

【００５６】弾性接続用部材５６は、例えば、その厚み
方向に高い導電性を示す異方導電性エラストマーにより
構成することが好ましい。このような異方導電性エラス
トマーは、例えば絶縁性の弾性高分子物質中に導電性粒
子が厚み方向（図において上下方向）に並ぶよう配向し
た状態で充填されてなり、これにより、厚み方向に高い
導電性を示すものであり、特に、厚み方向に加圧されて
圧縮されたときに厚み方向に伸びる導電路が形成され
る、加圧異方導電性エラストマーが好ましい。このよう
な弾性接続用部材５６は、適宜の方法例えば特開２００
０−７４９６５号公報に記載された方法によって形成す
ることができる。

【００５７】弾性接続用部材５６は、その厚み方向にお
ける導電性が、厚み方向と直角な面方向における導電性
より高いことが好ましく、具体的には、面方向の電気抵
抗値に対する厚み方向の電気抵抗値の比が１以下、特に
０．５以下であるような電気的特性を有するものである
ことが好ましい。この比が１を超える場合には、弾性接
続用部材５６を介して電流供給用検査電極５２と電圧測
定用検査電極５３との間に流れる電流が大きくなるた
め、高い精度で電気抵抗を測定することが困難となるこ
とがある。このような観点から、弾性接続用部材５６を
絶縁性の弾性高分子物質中に導電性粒子が含有されたも
のとする場合には、導電性粒子の充填率が５〜５０体積
％であることが好ましい。

【００５８】他面側検査用回路基板５１における電流供
給用検査電極５２と電圧測定用検査電極５３との間の離
間距離は１０μｍ以上であることが好ましい。この離間
距離が１０μｍ未満である場合には、弾性接続用部材５
６を介して電流供給用検査電極５２と電圧測定用検査電
極５３との間に流れる電流が大きくなるため、高い精度
で電気抵抗を測定することが困難となることがある。一
方、この離間距離の上限は、各検査電極のサイズと、関
連する他面側被検査電極３の寸法およびピッチによって
定まり、通常は５００μｍ以下である。この離間距離が
過大である場合には、他面側被検査電極５の１つに対し
て両検査電極を適切に配置することが困難となることが
ある。

【００５９】以上のような回路基板の電気抵抗測定装置
においては、次のようにして被検査回路基板１における
任意の一面側被検査電極２とこれに対応する他面側被検
査電極３との間の電気抵抗が測定される。被検査回路基
板１を、上部側アダプター４０および下部側アダプター
５０の間における所要の位置に配置し、この状態で、押
圧板４５により弾性緩衝板４６を介して上部側アダプタ
ー４０を押圧して下降させると共に、押圧板５８により
下部側アダプター５０を押圧して上昇させることによ
り、被検査回路基板１の一面に上部側アダプター４０の
電気抵抗測定用コネクター１０が圧接されると共に、被
検査回路基板１の他面に下部側アダプター５０の弾性接
続用部材５６が圧接された状態となる。このとき、電気
抵抗測定用コネクター１０における可動電極１５は、表
面側異方導電性エラストマー層２０の導電路形成部２１
を介して伝わる押圧力によって、被検査回路基板１の一
面側被検査電極２の突出高さに応じて、絶縁性シート体
１２の表面から裏面に向かう方向に移動する。このよう
な状態が測定状態である。

【００６０】図１７を参照して具体的に説明すると、こ
の測定状態においては、被検査回路基板１の一面側被検
査電極２の各々には、当該一面側被検査電極２によって
押圧された電気抵抗測定用コネクター１０における表面
側異方導電性エラストマー層２０の導電路形成部２１を
介して、可動電極１５および固定電極１６が同時に電気
的に接続されている。また、可動電極１５には、裏面側
異方導電性エラストマー層２５の導電路形成部２６を介
して、一面側検査用回路基板４１の検査電極４２が電気
的に接続されている。また、可動電極１５および固定電
極１６は、互いに電気的に独立した状態である。一方、
被検査回路基板１の他面側被検査電極３には、弾性接続
用部材５６を介して、電流供給用検査電極５２および電
圧測定用検査電極５３よりなる検査電極対が電気的に接
続されている。

【００６１】そして、被検査回路基板１における複数の
一面側被検査電極２のうち１つの被検査電極２を指定
し、この指定された一面側被検査電極２に電気的に接続
されている可動電極１５および固定電極１６のうち、一
方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として
用いることにより、電流供給用電極とされた可動電極１
５または固定電極１６と、指定された一面側被検査電極
２に対応する他面側被検査電極３に電気的に接続された
検査電極対における電流供給用検査電極５２との間に電
流を供給すると共に、電圧測定用電極とされた可動電極
１５または固定電極１６と、指定された一面側被検査電
極２に対応する他面側被検査電極３に電気的に接続され
た検査電極対における電圧測定用検査電極５３との間の
電圧を測定し、これにより、当該指定された一面側被検
査電極２とこれに対応する他面側被検査電極３との間の
電気抵抗の測定を行うことができる。

【００６２】以上のような構成の回路基板の電気抵抗測
定装置によれば、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板
１における一面側被検査電極２の各々によって、電気抵
抗測定用コネクター１０における表面側異方導電性エラ
ストマー層２０が押圧されると、１つの一面側被検査電
極２には、電気抵抗測定用コネクター１０における複合
電極シート１１の可動電極１５および固定電極１６の両
方が同時に電気的に接続され、しかも、可動電極１５お
よび固定電極１６は、互いに電気的に独立した状態であ
るので、当該一面側被検査電極２に電気的に接続された
可動電極１５および固定電極１６のうち、一方を電流供
給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用いること
により、当該被検査回路基板１についての電気抵抗を高
い精度で測定することができる。

【００６３】また、電気抵抗測定用コネクター１０にお
ける複合電極シート１１の可動電極１５は、絶縁性シー
ト体１２に対してその厚み方向に移動可能に支持されて
おり、これにより、一面側被検査電極２の各々によって
表面側異方導電性エラストマー層２０が押圧されると、
当該一面側被検査電極２の突出高さに応じて当該可動電
極１５が厚み方向に移動するので、当該電気抵抗測定用
コネクター１０における表面側異方導電性エラストマー
層２０および裏面側異方導電性エラストマー層２５の各
々における凹凸吸収性を有効に利用することができる。
しかも、表面側異方導電性エラストマー層２０および裏
面側異方導電性エラストマー層２５の各々は、その厚み
が小さいものでよいため、表面側異方導電性エラストマ
ー層２０および裏面側異方導電性エラストマー層２５の
各々において、高い感度の加圧導電性が得られる。従っ
て、一面から突出する突起状の一面側被検査電極２を有
し、これらの一面側被検査電極２の突出高さのバラツキ
が大きい被検査回路基板１に対しても、高い接続信頼性
が得られ、その結果、所要の電気抵抗の測定を確実に行
うことができる。

【００６４】また、電気抵抗測定用コネクター１０にお
ける複合電極シート１１の固定電極１６は、外部引出端
子１８を介してテスター５９に電気的に接続されてお
り、一面側検査用回路基板４１には、裏面側異方導電性
エラストマー層２５を介して可動電極１５に電気的に接
続される検査電極４２のみが設けられているため、一面
側検査用回路基板４１の検査電極４２は、被検査回路基
板１の一面側被検査電極２に対して１対１の対応関係に
あり、これらのサイズは、一面側被検査電極２と同程度
であればよいので、被検査回路基板１における一面側被
検査電極２のサイズが小さい場合でも、当該一面側被検
査電極２に対応する検査電極４２を容易に形成すること
ができ、結果として電気抵抗測定装置は、その製作がき
わめて容易なものとなる。

【００６５】本発明の回路基板の電気抵抗測定装置は、
上記の実施の形態に限定されず、以下のような種々の変
更を加えることが可能である。 （１）電気抵抗測定用コネクター１０としては、図１に
示す構成のものの代わりに、前述の電気抵抗測定用コネ
クター１０の変形例として挙げたものを用いることがで
きる。

【００６６】（２）下部側アダプターの他面側検査用回
路基板は、１つの他面側被検査電極３に対して、検査電
極対を構成する電流供給用検査電極５２および電圧測定
用検査電極５３が電気的に接続された状態を達成するこ
とのできるものであれば、種々のものを用いることがで
きる。例えば、図２０に示すように、弾性接続用部材５
６としては、電流供給用検査電極５２および電圧測定用
検査電極５３に対応する個所において互いに独立して厚
み方向に伸びる導電路形成部５６ａ，５６ｂを有すると
共に、それらの導電路形成部５６ａ，５６ｂの各々を互
いに電気的に絶縁する絶縁部５６ｃを有する異方導電性
エラストマーを利用することも可能である。また、個々
の先端に導電性エラストマーが設けられた検査電極や、
更に、許容される場合にはプローブピンを検査電極とし
て用いることも可能である。

【００６７】（３）下部側アダプターとしては、表面に
被検査回路基板１における他面側被検査電極２に対応す
るパターンに従って検査電極が配置されてなる他面側検
査用回路基板と、この他面側検査用回路基板の表面に設
けられた、例えば図１に示すような電気抵抗測定用コネ
クターとよりなるものを用いることができる。このよう
な構成の電気抵抗測定装置は、他面から突出する他面側
被検査電極が形成された被検査回路基板についての電気
抵抗の測定を行う場合に、好適である。

【００６８】（４）本発明の回路基板の電気抵抗測定装
置は、図２１に示すような構造を有するものであっても
よい。具体的に説明すると、この回路基板の電気抵抗測
定装置は、被検査回路基板１の一面（図２１において上
面）側に配置される上部側アダプター４０と、被検査回
路基板１の他面（図２１において下面）側に配置される
下部側アダプター５０とが、上下に互いに対向するよう
配置されて構成されている。

【００６９】上部側アダプター４０においては、被検査
回路基板１の一面に圧接される、例えば図１に示す構成
の電気抵抗測定用コネクター１０が設けられ、この電気
抵抗測定用コネクター１０の外部引出端子１８は、テス
ター５９に電気的に接続されている。電気抵抗測定用コ
ネクター１０の裏面（図２１において上面）すなわち裏
面側異方導電性エラストマー層上には、一面側検査用回
路基板４１が配置されている。この一面側検査用回路基
板４１の表面（図２１において下面）には、被検査回路
基板１の一面側被検査電極２のパターンに対応するパタ
ーンに従って、複数の検査電極４２が配置され、当該一
面側検査用回路基板４１の裏面（図２１において上面）
には、後述する電極板４８の標準配列電極４９の配列パ
ターンに対応するパターンに従って端子電極４２ａが配
置されおり、この端子電極４２ａの各々は対応する検査
電極４２に、電気的に接続されている。

【００７０】一面側検査用回路基板４１の裏面上には、
異方導電性シート４７を介して電極板４８が設けられて
いる。この電極板４８は、その表面（図２１において下
面）に、例えばピッチが２．５４ｍｍ、１．８ｍｍまた
は１．２７ｍｍの標準格子点上に配置された標準配列電
極４９を有し、この標準配列電極４９の各々は、異方導
電性シート４７を介して一面側検査用回路基板４１の端
子電極４２ａに電気的に接続されると共に、電極板４８
の内部配線（図示せず）を介してテスター５９に電気的
に接続されている。

【００７１】異方導電性シート４７は、その厚み方向に
のみ導電路を形成する導電路形成部が形成されてなるも
のである。このような異方導電性シート４７としては、
各導電路形成部が少なくとも一面において厚み方向に突
出するよう形成されているものが、高い電気的な接触安
定性を発揮する点で好ましい。

【００７２】下部側アダプター５０においては、他面側
検査用回路基板５１が設けられており、この他面側検査
用回路基板５１の表面（図２１において上面）には、被
検査回路基板１の他面側被検査電極３の配置パターンに
対応するパターンに従って、１つの他面側被検査電極３
に対して、検査電極対を構成する電流供給用検査電極５
２および電圧測定用検査電極５３が互いに離間し、かつ
他面側被検査電極３が占有する領域と同等の面積の領域
内に位置するよう、配置されている。一方、他面側検査
用回路基板５１の裏面には、後述する電極板６０の標準
配列電極６１の配列パターンに対応するパターンに従っ
て電流供給用端子電極５２ａおよび電圧測定用端子電極
５３ａが配置されており、これらの電流供給用端子電極
５２ａおよび電圧測定用端子電極５３ａの各々は、対応
する電流供給用検査電極５２および電圧測定用検査電極
５３に電気的に接続されている。

【００７３】他面側検査用回路基板５１の表面上には、
検査電極対を構成する電流供給用検査電極５２および電
圧測定用検査電極５３の両方の表面に接する共通の弾性
接続用部材５６が設けられている。この弾性接続用部材
５６は、他面側検査用回路基板５１の表面に設けられた
シート状の保持部材５７によって、その表面が当該保持
部材５７の表面から突出した状態で保持されている。こ
の図の例においては、被検査回路基板１における他面側
被検査電極３毎に、これに対応する複数の弾性接続用部
材５６が互いに独立した状態で設けられている。

【００７４】他面側検査用回路基板５１の裏面（図２１
において下面）には、異方導電性シート６２を介して電
極板６０が設けられている。電極板６０および異方導電
性シート６２は、上部側アダプター４０における電極板
４８および異方導電性シート４７に対応するものであ
り、電極板６０は、その表面（図２１において上面）
に、例えばピッチが２．５４ｍｍ、１．８ｍｍまたは
１．２７ｍｍの標準格子点上に配置された標準配列電極
６１を有し、この標準配列電極６１の各々は、異方導電
性シート６２を介して他面側検査用回路基板５１の電流
供給用端子電極５２ａまたは電圧測定用端子電極５３ａ
に電気的に接続されると共に、電極板６０の内部配線
（図示せず）を介してテスター５９に電気的に接続され
ている。

【００７５】上記の回路基板の電気抵抗測定装置におい
ては、図１６に示す回路基板の電気抵抗測定装置と同様
にして、被検査回路基板１における任意の一面側被検査
電極２とこれに対応する他面側被検査電極３との間の電
気抵抗が測定される。そして、このような回路基板の電
気抵抗測定装置によれば、図１６に示す構成の電気抵抗
測定装置と同様の効果が得られると共に、一面側被検査
電極２および他面側被検査電極３の配列パターンの異な
る被検査回路基板の電気抵抗を測定する場合であって
も、上部側アダプター４０における異方導電性シート４
７および電極板４８、並びに下部側アダプター５０にお
ける異方導電性シート６２および電極板６０を共通に使
用することができるので、検査コストの低減化を図るこ
とができる。

【００７６】

【実施例】以下、本発明の回路基板の電気抵抗測定装置
の具体的な実施例について説明する。また、以下の実施
例において、被検査回路基板として、下記の条件により
作製されたものを使用した。 〔一面側被検査電極〕電極形状：半球状，電極サイズ：
直径０．１２ｍｍ，突出高さ：０．１ｍｍ，配置ピッ
チ：０．２５ｍｍ，電極数：５００ 〔他面側被検査電極〕電極形状：円板状，電極サイズ：
直径０．５ｍｍ，配置ピッチ：１ｍｍ，電極数：５００

【００７７】＜実施例１＞図１６および図１７の構成に
従い、下記の条件により回路基板の電気抵抗測定装置を
作製した。 （１）上部側アダプター 〔一面側検査用回路基板〕 検査電極の形状と寸法：円形，直径０．１２ｍｍ， 検査電極のピッチ：０．２５ｍｍ， 〔電気抵抗測定用コネクター〕複合電極シート：絶縁性
シート体の材質；ポリイミド，絶縁性シート体の厚み；
０．０５ｍｍ，貫通孔の形状；円錐台状，表面側開口の
直径；０．０８ｍｍ，裏面側開口の直径；０．１２ｍ
ｍ，可動電極の材質；ニッケル，固定電極の材質；銅，
１つの固定電極によって囲まれる貫通孔の開口の数；最
小１，最大４０，表面側異方導電性エラストマー層：エ
ラストマーの材質；シリコーンゴム，厚み０．０５ｍ
ｍ，導電路形成部の直径０．１ｍｍ，導電性粒子；表面
に金メッキが施されたニッケル粒子（数平均粒子径１５
μｍ），導電路形成部における導電性粒子の割合；３５
体積％， 裏面側異方導電性エラストマー層：エラストマーの材
質；シリコーンゴム，厚み０．１ｍｍ，導電路形成部の
直径０．１２ｍｍ，導電性粒子；ニッケル粒子の表面に
金メッキが施されてなるもの（数平均粒子径２５μ
ｍ），導電路形成部における導電性粒子の割合；３０体
積％，

【００７８】（２）下部側アダプター 〔検査用回路基板〕 電流供給用検査電極のサイズ：０．２ｍｍ×０．５ｍｍ 電圧測定用検査電極のサイズ：０．２ｍｍ×０．５ｍｍ 電流供給用検査電極と電圧測定用検査電極との離間距
離：０．３ｍｍ 〔弾性接続用部材〕 寸法：直径１．０ｍｍ、厚さ０．１２ｍｍ 導電性粒子：表面に金メッキが施されたニッケル粒子
（数平均粒子径３０μｍ），導電性粒子の割合：２５体
積％， 弾性高分子物質：シリコーンゴム 〔保持部材〕 材質：シリコーンゴム、厚さ：０．１ｍｍ

【００７９】（３）テスター 「ＯＰＥＮ／ＬＥＡＫテスター Ｒ−５６００」（抵抗
測定範囲１０ｍΩ〜１００Ω、日本電産リード製）

【００８０】上記の回路基板の電気抵抗測定装置を用
い、上部側アダプターの電気抵抗測定用コネクターにお
ける表面側異方導電性エラストマー層および下部側アダ
プターの弾性接続用部材を、被検査回路基板の一面側被
検査電極および他面側被検査電極に圧接させ、この状態
で、１つの一面側被検査電極を指定し、指定された一面
側被検査電極に対応する検査電極とそれに隣接する検査
電極の２つを検査電極対として選定し、一方の検査電極
を電流供給用電極とし、かつ他方の検査電極を電圧測定
用電極として用いることにより、被検査回路基板におけ
る一面側被検査電極と他面側被検査電極との間の電気抵
抗を測定し、その誤差範囲を求めた。結果を表１に示
す。

【００８１】＜比較例１＞実施例１において、電気抵抗
測定用コネクターの代わりに、下記に示す導電性エラス
トマーシートよりなる弾性接続用部材を配置したこと以
外は同様にして電気抵抗測定装置を作製し、被検査回路
基板における一面側被検査電極に弾性接続用部材を介し
て電気的に接続される複数の検査電極のうち２つを選択
し、その一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用
電極として用い、当該被検査回路基板における一面側被
検査電極と他面側被検査電極との間の電気抵抗を測定し
た。結果を表１に示す。 〔導電性エラストマーシート〕シリコーンゴム中に磁性
を示す導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で
含有されてなるシート，導電性粒子：表面に金メッキが
施されたニッケル粒子（数平均粒子径２５μｍ），導電
性粒子の割合：４０体積％，シートの厚み：０．２ｍｍ

【００８２】＜参考例１＞電気抵抗測定器「ＴＲ６１４
３」（アドバンテスト社製）を用い、プローブピンによ
る４端子抵抗測定法により、被検査回路基板における一
面側被検査電極と他面側被検査電極との間の電気抵抗を
測定し、その誤差範囲を求めた。結果を表１に示す。

【００８３】＜参考例２＞実施例１と同様のテスターを
用い、２端子抵抗測定法により、被検査回路基板におけ
る一面側被検査電極と他面側被検査電極との間の電気抵
抗を測定し、その誤差範囲を求めた。結果を表１に示
す。

【００８４】

【表１】

【００８５】表１の結果から明らかなように、実施例１
に係る電気抵抗測定装置によれば、プローブピンによる
４端子抵抗測定法により測定された電気抵抗値と同等
（±１０ｍΩ）の小さい誤差範囲で電気抵抗を測定する
ことができ、実用上十分に高い精度が得られることが明
らかである。一方、比較例１に係る電気測定装置によれ
ば、プローブピンによる４端子抵抗測定法により測定さ
れた電気抵抗値に対して、大きな誤差が生ずるものであ
った。

【００８６】

【発明の効果】本発明の回路基板の電気抵抗測定装置に
よれば、サイズが小さくて一面から突出する突起状の被
検査電極を有し、これらの被検査電極の突出高さのばら
つきが大きい回路基板に対しても、その被検査電極につ
いての所期の電気抵抗の測定を高い精度で確実に行うこ
とができ、しかも、製作が容易な電気抵抗測定装置を構
成することができる。

【００８７】本発明の回路基板の電気抵抗測定装置によ
れば、サイズが小さくて一面から突出する突起状の被検
査電極を有し、これらの被検査電極の突出高さのばらつ
きが大きい回路基板に対しても、その被検査電極につい
ての所期の電気抵抗の測定を高い精度で確実に行うこと
ができ、しかも、その製作が容易である。

【００８８】本発明の回路基板の電気抵抗測定方法によ
れば、サイズが小さくて一面から突出する突起状の被検
査電極を有し、これらの被検査電極の突出高さのばらつ
きが大きい回路基板に対しても、その被検査電極につい
ての所期の電気抵抗の測定を高い精度で確実に行うこと
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る電気抵抗測定用コネクターの一例
における構成を示す説明用断面図である。

【図２】複合電極シートを要部を示す平面図である。

【図３】図１に示す電気抵抗測定用コネクターの要部を
拡大して示す説明断面図である。

【図４】電気抵抗測定用コネクターを製造するための積
層材料を示す説明用断面図である。

【図５】図４に示す積層材料における絶縁性シート体に
貫通孔が形成された状態を示す説明用断面図である。

【図６】積層材料における絶縁性シート体の貫通孔内に
可動電極用導体が形成された状態を示す説明用断面図で
ある。

【図７】絶縁性シート体の表面に固定電極が形成された
状態を示す説明用断面図である。

【図８】絶縁性シート体の裏面に異方導電性エラストマ
ー層形成材料よりなる層が形成された状態を示す説明用
断面図である。

【図９】絶縁性シート体の裏面に裏面側異方導電性エラ
ストマー層が形成された状態を示す説明用断面図であ
る。

【図１０】可動電極用導体が絶縁性シート体の表面から
裏面に向かう方向に押圧された状態を示す説明用断面図
である。

【図１１】可動電極用導体が絶縁性シート体から分離し
て可動電極が形成された状態を示す説明用断面図であ
る。

【図１２】複合電極シートの表面に異方導電性エラスト
マー層材料よりなる層が形成された状態を示す説明用断
面図である。

【図１３】複合電極シートの表面に表面側異方導電性エ
ラストマー層が形成された状態を示す説明用断面図であ
る。

【図１４】電気抵抗測定用コネクターにおける表面側異
方導電性エラストマー層が被検査回路基板の一面側被検
査電極によって押圧された状態を示す説明用断面図であ
る。

【図１５】本発明に係る電気抵抗測定用コネクターの他
の例における要部を拡大して示す説明用断面図である。

【図１６】本発明に係る回路基板の電気抵抗測定装置の
一例における構成の概略を、被検査回路基板と共に示す
説明用断面図である。

【図１７】図１６に示す回路基板の電気抵抗測定装置の
要部を拡大して示す説明用断面図である。

【図１８】電気抵抗を測定すべき被検査回路基板の一面
側被検査電極の配置状態を示す説明図である。

【図１９】図１８に示す被検査回路基板の他面側被検査
電極の配置状態を示す説明図である。

【図２０】下部側アダプターの他の例における構成を拡
大して示す説明用断面図である。

【図２１】本発明に係る回路基板の電気抵抗測定装置の
他の例における構成の概略を、被検査回路基板と共に示
す説明用断面図である。

【図２２】電流供給用プローブおよび電圧測定用プロー
ブにより、回路基板における電極間の電気抵抗を測定す
る装置の模式図である。

【符号の説明】

１ 被検査回路基板 ２ 一面側被検査電極 ３ 他面側被検査電極 ５ 検査用回路基板 ６ 検査電極 １０ 電気抵抗測定用コネクター １１ 複合電極シート １１Ａ 積層材料 １２ 絶縁性シート体 １３ 貫通孔 １５ 可動電極 １５Ａ 可動電極用導体 １６ 固定電極 １６Ａ 金属層 １７ 配線部 １８ 外部引出端子 ２０ 表面側異方導電性エラストマー層 ２０Ａ 異方導電性エラストマー層形成材料よりなる層 ２１ 導電路形成部 ２２ 絶縁部 ２５ 裏面側異方導電性エラストマー層 ２５Ａ 異方導電性エラストマー層形成材料よりなる層 ２６ 導電路形成部 ２７ 絶縁部 ３０ 一方の磁極板 ３１ 強磁性体基板 ３２ 強磁性体層 ３３ 非磁性体層 ３５ 他方の磁極板 ３６ 強磁性体基板 ３７ 強磁性体層 ３８ 非磁性体層 ４０ 上部側アダプター ４１ 一面側検査用回路基板 ４２ 検査電極 ４２ａ 端子電極 ４３ コネクター ４４ 配線回路 ４５ 押圧板 ４６ 弾性緩衝板 ４７ 異方導電性シート ４８ 電極板 ４９ 標準配列電極 ５０ 下部側アダプター ５１ 他面側検査用回路基板 ５２ 電流供給用検査電極 ５２ａ 電流供給用端子電極 ５３ 電圧測定用検査電極 ５３ａ 電圧測定用端子電極 ５４ コネクター ５５ 配線回路 ５６ 弾性接続用部材 ５６ａ，５６ｂ 導電路形成部 ５６ｃ 絶縁部 ５７ 保持部材 ５８ 押圧板 ５９ テスター ６０ 電極板 ６１ 標準配列電極 ６２ 異方導電性シート ９０ 被検査回路基板 ９１，９２ 被検査電極 ９３ 電源装置 ９４ 電気信号処理装置 ＰＡ，ＰＤ 電流供給用プローブ ＰＢ，ＰＣ 電圧測定用プローブ Ｇ 絶縁領域 Ｐ 導電性粒子

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G011 AA01 AA15 AA16 AB01 AB06 AB08 AC14 AE01 AE03 AF07 2G028 AA04 BC02 BE10 CG02 DH03 FK01 HM04 HM05 HN12 HN13 MS05 5E023 AA04 AA05 AA16 BB01 BB22 BB29 CC02 CC22 DD26 EE17 EE18 FF07 HH06

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電気抵抗を測定すべき被検査回路基板に
   おける複数の被検査電極のパターンに対応して厚み方向
   に伸びる貫通孔が形成された絶縁性シート体、この絶縁
   性シート体の貫通孔内において当該絶縁性シート体に対
   してその厚み方向に移動可能に支持された可動電極、お
   よび前記絶縁性シート体の表面において前記可動電極と
   接触しない状態で当該絶縁性シート体の貫通孔の開口付
   近に形成された固定電極を有してなる複合電極シート
   と、 この複合電極シートの表面に積層された表面側異方導電
   性エラストマー層と、前記複合電極シートの裏面に積層
   された裏面側異方導電性エラストマー層と、前記複合電
   極シートにおける固定電極に電気的に接続された外部引
   出端子とを具えてなり、 前記複合電極シートにおける可動電極および固定電極
   は、前記表面側異方導電性エラストマー層を介して対応
   する被検査電極に同時に電気的に接続されることを特徴
   とする電気抵抗測定用コネクター。
2. 【請求項２】 絶縁性シート体の貫通孔は、当絶縁性シ
   ート体の表面から裏面に向かって広がるテーパー状とさ
   れ、可動電極の側面は、当該絶縁性シート体の貫通孔に
   適合するテーパー状とされており、当該可動電極は、そ
   の側面が絶縁性シート体の貫通孔の内壁面に対して離接
   するよう、厚み方向に移動可能に支持されていることを
   特徴とする請求項１に記載の電気抵抗測定用コネクタ
   ー。
3. 【請求項３】 絶縁性シート体の貫通孔における表面側
   の開口は、被検査電極の径より小さい径を有することを
   特徴とする請求項１または請求項２に記載の電気抵抗測
   定用コネクター。
4. 【請求項４】 固定電極は、絶縁性シート体における複
   数の貫通孔の開口付近を含む領域に形成されており、当
   該固定電極は、表面側異方導電性エラストマー層を介し
   て複数の被検査電極に電気的に接続されることを特徴と
   する請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の電気抵抗
   測定用コネクター。
5. 【請求項５】 表面側異方導電性エラストマー層および
   ／または裏面側異方導電性エラストマー層は、電気抵抗
   を測定すべき被検査回路基板における複数の被検査電極
   のパターンに対応して形成された、厚み方向に伸びる複
   数の導電路形成部と、これらの導電路形成部を相互に絶
   縁する絶縁部とよりなることを特徴とする請求項１乃至
   請求項４のいずれかに記載の電気抵抗測定用コネクタ
   ー。
6. 【請求項６】 表面側異方導電性エラストマー層および
   ／または裏面側異方導電性エラストマー層における導電
   路形成部は、磁性を示す導電性粒子が厚み方向に並ぶよ
   う配向した状態で密に含有されてなることを特徴とする
   請求項５に記載の電気抵抗測定用コネクター。
7. 【請求項７】 可動電極は、磁性を示す金属材料よりな
   ることを特徴とする請求項６に記載の電気抵抗測定用コ
   ネクター。
8. 【請求項８】 裏面側異方導電性エラストマー層は、表
   面側異方導電性エラストマー層の厚みより大きい厚みを
   有することを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれ
   かに記載の電気抵抗測定用コネクター。
9. 【請求項９】 裏面側異方導電性エラストマー層は、表
   面側異方導電性エラストマー層の硬度より小さい硬度を
   有することを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれ
   かに記載の電気抵抗測定用コネクター。
10. 【請求項１０】 電気抵抗を測定すべき被検査回路基板
    の一面側に配置される、請求項１乃至請求項９のいずれ
    かに記載の電気抵抗測定用コネクターを具えてなり、 前記電気抵抗測定用コネクターにおける表面側異方導電
    性エラストマー層が前記被検査回路基板の一面側被検査
    電極の各々によって押圧されることにより、当該被検査
    電極の各々に、当該表面側異方導電性エラストマー層を
    介して当該電気抵抗測定用コネクターにおける可動電極
    および固定電極が同時に電気的に接続されて測定状態と
    され、 この測定状態において、指定された１つの一面側被検査
    電極に電気的に接続された可動電極および固定電極のう
    ち、その一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用
    電極として用いることにより、当該指定された１つの一
    面側被検査電極に係る電気抵抗の測定が実施されること
    を特徴とする回路基板の電気抵抗測定装置。
11. 【請求項１１】 電気抵抗測定用コネクターの裏面に配
    置された、表面に被検査回路基板における複数の一面側
    被検査電極の各々に対応して配置された複数の検査電極
    を有する一面側検査用回路基板を具えてなり、 測定状態において、前記検査電極の各々に、前記電気抵
    抗測定用コネクターにおける裏面側異方導電性エラスト
    マー層を介して対応する可動電極に電気的に接続される
    ことを特徴とする回路基板の電気抵抗測定装置。
12. 【請求項１２】 被検査回路基板の他面側に配置される
    他面側検査用回路基板を有してなり、前記他面側検査用
    回路基板は、その表面にそれぞれ前記被検査回路基板の
    他面側被検査電極の各々に対応して互いに離間して配置
    された、それぞれ同一の他面側被検査電極に電気的に接
    続される電流供給用検査電極および電圧測定用検査電極
    が形成されていることを特徴とする請求項１０または請
    求項１１に記載の回路基板の電気抵抗測定装置。
13. 【請求項１３】 被検査回路基板における一面側被検査
    電極は、当該被検査回路基板の一面から突出する突起状
    のものであることを特徴とする請求項１０乃至請求項１
    ２のいずれかに記載の回路基板の電気抵抗測定装置。
14. 【請求項１４】 電気抵抗を測定すべき被検査回路基板
    の一面に、請求項１乃至請求項９のいずれかに記載の電
    気抵抗測定用コネクターを配置し、 前記電気抵抗測定用コネクターにおける表面側異方導電
    性エラストマー層が前記被検査回路基板の一面側被検査
    電極の各々によって押圧されることにより、当該被検査
    電極の各々に、当該表面側異方導電性エラストマー層を
    介して当該電気抵抗測定用コネクターにおける可動電極
    および固定電極を同時に電気的に接続して測定状態と
    し、 この測定状態において、指定された１つの一面側被検査
    電極に電気的に接続された可動電極および固定電極のう
    ち、その一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用
    電極として用いることにより、当該指定された１つの一
    面側被検査電極に係る電気抵抗の測定を実施することを
    特徴とする回路基板の電気抵抗測定方法。