JP2006261099A - 複合導電性シートおよびその製造方法、異方導電性コネクター、アダプター装置並びに回路装置の電気的検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 絶縁性シートの厚み方向に移動可能な剛性導体を有し、剛性導体が絶縁性シートから脱落することがなくて単独でも取り扱い易い複合導電性シートおよびその製造方法、この複合導電性シートを具えた異方導電性コネクター、アダプター装置並びに回路装置の電気的検査装置を提供する。
【解決手段】 本発明の複合導電性シートは、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔が形成された絶縁性シートと、この絶縁性シートの貫通孔の各々に、当該絶縁性シートの両面の各々から突出するよう配置された剛性導体とを有してなり、前記剛性導体の各々は、前記絶縁性シートの貫通孔に挿通された胴部の両端に、当該絶縁性シートの貫通孔の径より大きい径を有する端子部が形成されてなり、当該絶縁性シートに対してその厚み方向に移動可能とされていることを特徴とする。
【選択図】 図１

Description

本発明は、例えばプリント回路基板などの回路装置の電気的検査に好適に用いることができる複合導電性シートおよびその製造方法、異方導電性コネクター、これを具えたアダプター装置、並びにこのアダプター装置を具えた回路装置の電気的検査装置に関するものである。

一般に、ＢＧＡやＣＳＰ等のパッケージＬＳＩ、ＭＣＭ、その他の集積回路装置などの電子部品を構成するための或いは搭載するための回路基板については、電子部品を組み立てる以前に或いは電子部品を搭載する以前に、当該回路基板の配線パターンが所期の性能を有することを確認するためにその電気的特性を検査することが必要である。
従来、回路基板の電気的検査を実行する方法としては、縦横に並ぶ格子点位置に従って複数の検査電極が配置されてなる検査電極装置と、この検査電極装置の検査電極に検査対象である回路基板の被検査電極を電気的に接続するアダプターとを組み合わせて用いる方法などが知られている。この方法において用いられるアダプターは、ピッチ変換ボードと称されるプリント配線板よりなるものである。
このアダプターとしては、一面に検査対象である回路基板の被検査電極に対応するパターンに従って配置された複数の接続用電極を有し、他面に検査電極装置の検査電極と同一のピッチの格子点位置に配置された複数の端子電極を有するもの、一面に検査対象である回路基板の被検査電極に対応するパターンに従って配置された、電流供給用接続用電極および電圧測定用接続用電極よりなる複数の接続用電極対を有し、他面に検査電極装置の検査電極と同一のピッチの格子点位置に配置された複数の端子電極を有するものなどが知られており、前者のアダプターは、例えば回路基板における各回路のオープン・ショート試験などに用いられ、後者のアダプターは、回路基板における各回路の電気抵抗測定試験に用いられている。
而して、回路基板の電気的検査においては、一般に、検査対象である回路基板とアダプターとの安定な電気的接続を達成するために、検査対象である回路基板とアダプターとの間に、コネクターとして異方導電性エラストマーシートを介在させることが行われている。

この異方導電性エラストマーシートは、厚さ方向にのみ導電性を示すもの、あるいは加圧されたときに厚さ方向にのみ導電性を示す多数の加圧導電性導電部を有するものである。
このような異方導電性エラストマーシートとしては、従来、種々の構造のものが知られており、例えば特許文献１には、弾性高分子物質中に磁性を示す導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向して連鎖を形成した状態でかつ当該導電性粒子による連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなる異方導電性エラストマーシート（以下、これを「分散型異方導電性シート」という。）が開示され、特許文献２には、弾性高分子物質中に磁性を示す導電性粒子を不均一に分散させることにより、厚み方向に伸びる多数の導電路形成部と、これらを相互に絶縁する絶縁部とが形成されてなる異方導電性エラストマーシート（以下、これを「偏在型異方導電性シート」という。）が開示され、特許文献３には、導電路形成部の表面と絶縁部との間に段差が形成された偏在型異方導電性シートが開示されている。
これらの異方導電性エラストマーシートは、例えば硬化されて弾性高分子物質となる液状の高分子物質形成材料中に磁性を示す導電性粒子が含有されてなる成形材料層に対して、その厚み方向に磁場を作用させながら或いは磁場を作用させた後に硬化処理を行うことにより得られるものである。この異方導電性エラストマーシートにおいては、弾性高分子物質よりなる基材中に導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向して連鎖が形成された状態で含有されており、厚み方向に加圧されることによって導電性粒子の連鎖による導電路が形成される。

そして、分散型異方導電性シートおよび偏在型異方導電性シートを比較すると、分散型異方導電性シートは、特殊で高価な金型を用いずに小さいコストで製造することが可能なものである点、接続すべき電極のパターンに関わらず使用することができ、汎用性を有するものである点で、偏在型異方導電性シートに比較して有利である。
一方、偏在型異方導電性シートは、隣接する導電路形成部間にこれらを相互に絶縁する絶縁部が形成されているため、隣接する電極間の離間距離が小さい接続対象体についても、隣接する電極間に必要な絶縁性が確保された状態で当該電極の各々に対する電気的な接続を達成することができる性能、すなわち分解能が高いものである点で、分散型異方導電性シートに比較して有利である。
而して、分散型異方導電性シートにおいて、分解能を向上させるためには、当該分散型異方導電性シートの厚みを小さくすることが肝要である。
然るに、厚みの小さい異方導電性エラストマーシートにおいては、接続すべき電極の各々における高さレベルのバラツキを吸収して当該電極の各々に対する電気的な接続を達成することができる性能、すなわち凹凸吸収能が低い、という問題がある。具体的には、異方導電性エラストマーシートの凹凸吸収能は、当該異方導電性エラストマーシートの厚みの２０％程度であり、例えば厚みが１００μｍの異方導電性エラストマーシートにおいては、電極の高さレベルのバラツキが２０μｍ程度の接続対象体に対しても安定な電気的接続を達成することができるが、厚みが５０μｍの異方導電性エラストマーシートにおいては、電極の高さレベルのバラツキが１０μｍを超える接続対象体に対しては、安定な電気的接続を達成することが困難となる。

このような問題を解決するため、絶縁性シートに形成されたテーパ状の貫通孔内に、当該貫通孔に適合するテーパ状の可動導体が絶縁性シートに対して厚み方向に移動可能に設けられた複合導電性シートと、この複合導電性シートの一面および他面の各々に配置された２つの異方導電性エラストマーシートとよりなる異方導電性コネクターが提案されている（例えば特許文献４等参照。）。
このような複合導電性シートを有する異方導電性コネクターによれば、複合導電性シートにおける可動電極が厚み方向に移動可能とされているため、厚み方向に加圧されたときには、複合導電性シートの一面および他面の各々に配置された２つの異方導電性エラストマーシートが互いに連動して圧縮変形するため、両者の有する凹凸吸収能の合計が異方導電性コネクターの凹凸吸収能として発現され、従って、高い凹凸吸収能を得ることができる。
また、所要の凹凸吸収能を得るために必要な厚みは、２つの異方導電性エラストマーシートの合計の厚みによって確保すればよく、個々の異方導電性エラストマーシートとしては、厚みが小さいものを用いることができるので、高い分解能を得ることができる。

しかしながら、上記の異方導電性コネクターにおいては、実用上、以下のような問題がある。
上記の異方導電性コネクターにおいて、複合導電性シートの可動導体は、絶縁性シートおよび異方導電性エラストマーシートの両方に支持されており、複合導電性シートと異方導電性エラストマーシートとを分離した場合には、可動導体が絶縁性シートから脱落するおそれがあるため、複合導電性シートを単独で取り扱うことは実際上極めて困難である。従って、異方導電性コネクターにおける複合導電性シートおよび異方導電性エラストマーシートのいずれか一方に故障が生じたときには、当該複合導電性シートまたは当該異方導電性エラストマーシートのみを新たなものに交換することができず、異方導電性コネクター全体を新たなものに交換しなければならない。
また、複合導電性シートの可動導体は、絶縁性シートに形成されたテーパ状の貫通孔内にメッキ処理によって金属を堆積させて金属体を形成し、この金属体を機械的に押圧することにより、貫通孔の内面に接着していた金属体を分離させることによって得られる。然るに、多数の可動導体を有する異方導電性コネクターを製造する場合には、絶縁性シートに形成された全ての金属体を当該絶縁性シートの内面から確実に分離させることが困難であるため、一部の可動導体の機能に不具合が生じる。

特開昭５１−９３３９３号公報 特開昭５３−１４７７７２号公報 特開昭６１−２５０９０６号公報 特開２００１−３５１７０２号公報

本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その第１の目的は、絶縁性シートの厚み方向に移動可能な剛性導体を有し、当該剛性導体が絶縁性シートから脱落することがなくて単独でも取り扱い易い複合導電性シートを提供することにある。
本発明の第２の目的は、上記の複合導電性シートを製造する方法であって、移動可能な剛性導体を確実に形成することができる複合導電性シートの製造方法を提供することにある。
本発明の第３の目的は、隣接する電極間の離間距離が小さく、電極の高さレベルにバラツキがある接続対象体についても、隣接する電極間に必要な絶縁性が確保された状態で当該電極の各々に対する電気的な接続を確実に達成することができる異方導電性コネクターを提供することにある。
本発明の第４の目的は、検査対象である回路装置が、隣接する被検査電極の間の離間距離が小さく、被検査電極の高さレベルにバラツキがあるものであっても、隣接する被検査電極間に必要な絶縁性が確保された状態で当該被検査電極の各々に対する電気的な接続を確実に達成することができるアダプター装置を提供することにある。
本発明の第５の目的は、検査対象である回路装置が、隣接する被検査電極の間の離間距離が小さく、被検査電極の高さレベルにバラツキがあるものであっても、当該回路装置について所要の電気的検査を確実に実行することができる回路装置の電気的検査装置を提供することにある。

本発明の複合導電性シートは、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔が形成された絶縁性シートと、この絶縁性シートの貫通孔の各々に、当該絶縁性シートの両面の各々から突出するよう配置された剛性導体とを有してなり、
前記剛性導体の各々は、前記絶縁性シートの貫通孔に挿通された胴部の両端に、当該絶縁性シートの貫通孔の径より大きい径を有する端子部が形成されてなり、当該絶縁性シートに対してその厚み方向に移動可能とされていることを特徴とする。

本発明の複合導電性シートにおいては、絶縁性シートの厚み方向における剛性導体の移動可能距離が３〜１５０μｍであることが好ましい。

本発明の複合導電性シートの製造方法は、上記の複合導電性シートを製造する方法であって、
それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔が形成された絶縁性シートと、この絶縁性シートの少なくとも一面に積層された、それぞれ絶縁性シートの貫通孔に連通する複数の開口を有する易エッチング性の金属層と、前記絶縁性シートの貫通孔の内壁面および前記金属層の開口縁を覆うよう形成された易エッチング性の金属薄層とを有してなる複合積層材料を製造し、この複合積層材料に対してフォトメッキ処理を施すことにより、当該複合積層材料における絶縁性シートの貫通孔に剛性導体を形成し、その後、エッチング処理によって複合積層材料における金属層および金属薄層を除去する工程を有することを特徴とする。

本発明の異方導電性コネクターは、上記の複合導電性シートと、この複合導電性シートの一面に配置された第１の異方導電性エラストマーシートと、前記複合導電性シートの他面に配置された第２の異方導電性エラストマーシートとを具えてなることを特徴とする。

本発明の異方導電性コネクターにおいては、第１の異方導電性エラストマーシートおよび第２の異方導電性エラストマーシートの各々は、弾性高分子物質中に、磁性を示す導電性粒子が、厚み方向に並ぶよう配向して連鎖が形成された状態で、かつ、当該導電性粒子による連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなることが好ましい。
このような異方導電性コネクターにおいては、第１の異方導電性エラストマーシートおよび第２の異方導電性エラストマーシートの各々の厚みが２０〜１００μｍであることが好ましい。
また、導電性粒子の数平均粒子径が３〜２０μｍであることが好ましい。

本発明のアダプター装置は、表面に検査すべき回路装置における被検査電極に対応するパターンに従って複数の接続用電極が形成された接続用電極領域を有するアダプター本体と、
このアダプター本体の接続用電極領域上に配置された、当該アダプター本体における接続用電極に対応するパターンに従って形成された複数の剛性導体を有する、上記の異方導電性コネクターと
を具えてなることを特徴とする。

また、本発明のアダプター装置は、表面に検査すべき回路装置における被検査電極に対応するパターンに従ってそれぞれ電流供給用および電圧測定用の２つの接続用電極からなる複数の接続用電極対が形成された接続用電極領域を有するアダプター本体と、
このアダプター本体の接続用電極領域上に配置された、当該アダプター本体における接続用電極に対応するパターンに従って形成された複数の剛性導体を有する、上記の異方導電性コネクターと
を具えてなることを特徴とする。

本発明の回路装置の電気的検査装置は、上記のアダプター装置を具えてなることを特徴とする。

本発明の複合導電性シートは、絶縁性シートの貫通孔に、その厚み方向に移動可能な剛性導体を有し、当該剛性導体は、その胴部の両端に絶縁性シートの貫通孔の径より大きい径を有する端子部が形成されているため、当該端子部がストッパーとして機能する結果、剛性導体が絶縁性シートから脱落することがなく、当該複合導電性シート単独でも取り扱い易いものである。

本発明の複合導電性シートの製造方法によれば、絶縁性シートの表面および貫通孔の内壁面にそれぞれ易エッチンク性の金属層および金属薄層を形成したうえで、当該絶縁性シートの貫通孔に剛性導体を形成し、その後、エッチング処理によって金属層および金属薄層を除去するため、絶縁性シートと剛性導体との間に所要のギャップが確実に形成され、その結果、移動可能な剛性導体を確実に形成することができる。

本発明の異方導電性コネクターによれば、複合導電性シートにおける剛性導体の各々は、絶縁性シートに対してその厚み方向に移動可能とされているため、接続すべき電極によって厚み方向に加圧されたときには、複合導電性シートの一面に配置された第１の異方導電性エラストマーシートおよび当該複合導電性シートの他面に配置された第２の異方導電性エラストマーシートは、剛性導体が絶縁性シートの厚み方向に移動することによって互いに連動して圧縮変形するため、両者の有する凹凸吸収能の合計が異方導電性コネクターの凹凸吸収能として発現され、従って、高い凹凸吸収能を得ることができる。
また、所要の凹凸吸収能を得るために必要な厚みは、第１の異方導電性エラストマーシートおよび第２の異方導電性エラストマーシートの合計の厚みによって確保すればよく、個々の異方導電性エラストマーシートとしては、厚みが小さいものを用いることができるので、高い分解能を得ることができる。
従って、隣接する電極間の離間距離が小さく、電極の高さレベルにバラツキがある接続対象体についても、隣接する電極間に必要な絶縁性が確保された状態で当該電極の各々に対する電気的な接続を確実に達成することができる。

本発明のアダフター装置によれば、上記の異方導電性コネクターを具えてなるため、検査対象である回路装置が、隣接する被検査電極の間の離間距離が小さく、被検査電極の高さレベルにバラツキがあるものであっても、隣接する被検査電極間に必要な絶縁性が確保された状態で当該被検査電極の各々に対する電気的な接続を確実に達成することができる。

本発明の回路装置の電気的検査装置によれば、上記のアダプター装置を具えてなるため、検査対象である回路装置が、隣接する被検査電極の間の離間距離が小さく、被検査電極の高さレベルにバラツキがあるものであっても、当該回路装置について所要の電気的検査を確実に実行することができる。

以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
〈複合導電性シート〉
図１は、本発明の複合導電性シートの一例における構成を示す説明用断面図であり、図２は、図１に示す複合導電性シートの剛性導体を拡大して示す説明用断面図である。この複合導電性シート１０は、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔１１Ｈが接続すべき電極のパターンに対応するパターンに従って形成された絶縁性シート１１と、この絶縁性シート１１の各貫通孔１１Ｈに当該絶縁性シート１１の両面の各々から突出するよう配置された複数の剛性導体１２とにより構成されている。
剛性導体１２の各々は、絶縁性シート１１の貫通孔１１Ｈに挿通された円柱状の胴部１２ａと、この胴部１２ａの両端の各々に一体に連結されて形成された、絶縁性シート１１の表面に露出する端子部１２ｂとにより構成されている。剛性導体１２における胴部１２ａの長さＬは、絶縁性シート１１の厚みｄより大きく、また、当該胴部１２ａの径ｒ２は、絶縁性シート１１の貫通孔１１Ｈの径ｒ１より小さいものとされており、これにより、当該剛性導体１２は、絶縁性シート１１の厚み方向に移動可能とされている。また、剛性導体１２における端子部１２ｂの径ｒ３は、絶縁性シート１１の貫通孔１１Ｈの径ｒ１より大きいものとされている。

絶縁性シート１１を構成する材料としては、液晶ポリマー、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアラミド樹脂、ポリアミド樹脂等の樹脂材料、ガラス繊維補強型エポキシ樹脂、ガラス繊維補強型ポリエステル樹脂、ガラス繊維補強型ポリイミド樹脂等の繊維補強型樹脂材料、エポキシ樹脂等にアルミナ、ポロンナイトライド等の無機材料をフィラーとして含有した複合樹脂材料などを用いることができる。
また、複合導電性シート１０を高温環境下で使用する場合には、絶縁性シート１１として、線熱膨張係数が３×１０^-5／Ｋ以下のものを用いることが好ましく、より好ましくは１×１０^-6〜２×１０^-5／Ｋ、特に好ましくは１×１０^-6〜６×１０^-6／Ｋである。このような絶縁性シート１１を用いることにより、当該絶縁性シート１１の熱膨張による剛性導体１２の位置ずれを抑制することができる。
また、絶縁性シート１１の厚みｄは、１０〜２００μｍであることが好ましく、より好ましくは１５〜１００μｍである。
また、絶縁性シート１１の貫通孔１１Ｈの径ｒ１は、２０〜３００μｍであることが好ましく、より好ましくは３０〜１５０μｍである。

剛性導体１２を構成する材料としては、剛性を有する金属材料を好適に用いることができ、特に、後述する製造方法において絶縁性シートに形成される金属薄層よりもエッチングされにくいものを用いることが好ましい。このような金属材料の具体例としては、ニッケル、コバルト、金、アルミニウムなどの単体金属またはこれらの合金などを挙げることができる。
剛性導体１２における胴部１２ａの径ｒ２は、１８μｍ以上であることが好ましく、より好ましくは２５μｍ以上である。この径ｒ２が過小である場合には、当該剛性導体１２に必要な強度が得られないことがある。また、絶縁性シート１１の貫通孔１１Ｈの径ｒ１と剛性導体１２における胴部１２ａの径ｒ２との差（ｒ１−ｒ２）は、１μｍ以上であることが好ましく、より好ましくは２μｍ以上である。この差が過小である場合には、絶縁性シート１１の厚み方向に対して剛性導体１２を移動させることが困難となることがある。
剛性導体１２における端子部１２ｂの径ｒ３は、接続すべき電極例えば被検査電極の径の７０〜１５０％であることが好ましい。また、剛性導体１２における端子部１２ｂの径ｒ３と絶縁性シート１１の貫通孔１１Ｈの径ｒ１との差（ｒ３−ｒ１）は、５μｍ以上であることが好ましく、より好ましくは１０μｍ以上である。この差が過小である場合には、剛性導体１２が絶縁性シート１１から脱落する恐れがある。
剛性導体１２における端子部１２ｂの厚みは、５〜５０μｍであることが好ましく、より好ましくは８〜４０μｍである。
絶縁性シート１１の厚み方向における剛性導体１２の移動可能距離、すなわち剛性導体１２における胴部１２ａの長さＬと絶縁性シート１１の厚みｄとの差（Ｌ−ｄ）は、３〜１５０μｍであることが好ましく、より好ましくは５〜１００μｍ、さらに好ましくは１０〜５０μｍである。剛性導体１２の移動可能距離が過小である場合には、後述する異方導電性コネクターにおいて、十分な凹凸吸収能を得ることが困難となることがある。一方、剛性導体１２の移動可能距離が過大である場合には、絶縁性シート１１の貫通孔１１Ｈから露出する剛性導体１２の胴部１２ａの長さが大きくなり、検査に使用したときに、剛性導体１２の胴部１２ａが座屈または損傷するおそれがある。

このような複合導電性シート１０は、絶縁性シート１１の貫通孔１１Ｈに、その厚み方向に移動可能な剛性導体１２を有し、当該剛性導体１２は、その胴部１２ａの両端に絶縁性シート１１の貫通孔１１Ｈの径より大きい径を有する端子部１２ｂが形成されているため、当該端子部１２ｂがストッパーとして機能する結果、剛性導体１２が絶縁性シート１１から脱落することがなく、当該複合導電性シート１０単独でも取り扱い易いものである。

上記の複合導電性シート１０は、例えば以下のようにして製造することができる。
先ず、図３に示すように、絶縁性シート１１の一面に易エッチング性の金属層１３Ａが一体的に積層されてなる積層材料１０Ｂを用意し、この積層材料１０Ｂにおける金属層１３Ａに対してエッチング処理を施してその一部を除去することにより、図４に示すように、金属層１３Ａに接続すべき電極のパターンに対応するパターンに従って複数の開口１３Ｋを形成する。次いで、図５に示すように、積層材料１０Ｂにおける絶縁性シート１１に、それぞれ金属層１３Ａの開口１３Ｋに連通して厚み方向に伸びる貫通孔１１Ｈを形成する。そして、図６に示すように、絶縁性シート１１の貫通孔１１Ｈの内壁面および金属層１３Ａの開口縁を覆うよう、易エッチング性の筒状の金属薄層１３Ｂを形成する。このようにして、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔１１Ｈが形成された絶縁性シート１１と、この絶縁性シート１１の一面に積層された、それぞれ絶縁性シート１１の貫通孔１１Ｈに連通する複数の開口１３Ｋを有する易エッチング性の金属層１３Ａと、絶縁性シート１１の貫通孔１１Ｈの内壁面および金属層１３Ａの開口縁を覆うよう形成された易エッチング性の金属薄層１３Ｂとを有してなる複合積層材料１０Ａが製造される。
以上において、絶縁性シート１１の貫通孔１１Ｈを形成する方法としては、レーザー加工法、ドリル加工法、エッチング加工法などを利用することができる。
金属層１３Ａおよび金属薄層１３Ｂを構成する易エッチング性の金属材料としては、銅などを用いることができる。
また、金属層１３Ａの厚みは、目的とする剛性導体１２の移動可能距離などを考慮して設定され、具体的には、３〜７５μｍであることが好ましく、より好ましくは５〜５０μｍ、さらに好ましくは８〜２５μｍである。
また、金属薄層１３Ｂの厚みは、絶縁性シート１１の貫通孔１１Ｈの径と形成すべき剛性導体１２における胴部１２ａの径とを考慮して設定される。
また、金属薄層１３Ｂを形成する方法としては、無電解メッキ法などを利用することができる。

そして、この複合積層材料１０Ａに対してフォトメッキ処理を施すことにより、絶縁性シート１１の貫通孔１１Ｈの各々に剛性導体１２を形成する。具体的に説明すると、図７に示すように、絶縁性シート１１の一面に形成された金属層１３Ａの表面および絶縁性シート１１の他面の各々に、形成すべき剛性導体１２における端子部１２ｂのパターンに対応するパターンに従ってそれぞれ絶縁性シート１１の貫通孔１１Ｈに連通する複数のパターン孔１４Ｈが形成されたレジスト膜１４を形成する。次いで、金属層１３Ａを共通電極として電解メッキ処理を施して当該金属層１３Ａにおける露出した部分に金属を堆積させると共に、金属薄層１３Ｂの表面に金属を堆積させて絶縁性シート１１の貫通孔１１Ｈ内およびレジスト膜１４のパターン孔１４Ｈ内に金属を充填することにより、図８に示すように、絶縁性シート１１の厚み方向に伸びる剛性導体１２を形成する。
このようにして剛性導体１２を形成した後、金属層１３Ａの表面からレジスト膜１４を除去することにより、図９に示すように、金属層１３Ａを露出させる。そして、エッチング処理を施して金属層１３Ａおよび金属薄層１３Ｂを除去することにより、図１に示す複合導電性シート１０が得られる。

このような製造方法によれば、絶縁性シート１１の一面および貫通孔１１Ｈの内壁面にそれぞれ易エッチンク性の金属層１３Ａおよび金属薄層１３Ｂを形成したうえで、当該絶縁性シート１１の貫通孔１１Ｈに剛性導体１２を形成し、その後、エッチング処理によって金属層１３Ａおよび金属薄層１３Ｂを除去するため、絶縁性シート１１と剛性導体１２との間に所要のギャップが確実に形成され、その結果、移動可能な剛性導体１２を確実に形成することができる。

〈異方導電性コネクター〉
図１０は、本発明の異方導電性コネクターの一例における構成を示す説明用断面図であり、図１１は図１０に示す異方導電性コネクターの要部を拡大して示す説明用断面図である。この異方導電性コネクター１５は、図１に示す構成の複合導電性シート１０と、この複合導電性シート１０の一面（図１０において上面）に配置された第１の異方導電性エラストマーシート１６と、複合導電性シート１０の他面に配置された第２の異方導電性エラストマーシート１７とにより構成されている。

この例における第１の異方導電性エラストマーシート１６および第２の異方導電性エラストマーシート１７は、いずれも絶縁性の弾性高分子物質中に、磁性を示す導電性粒子Ｐが、厚み方向に並ぶよう配向して連鎖が形成された状態で、かつ、当該導電性粒子Ｐによる連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなるものである。
第１の異方導電性エラストマーシート１６および第２の異方導電性エラストマーシート１７を形成する弾性高分子物質としては、架橋構造を有する高分子物質が好ましい。このような弾性高分子物質を得るために用いることのできる硬化性の高分子物質形成材料としては、種々のものを用いることができ、その具体例としては、ポリブタジエンゴム、天然ゴム、ポリイソプレンゴム、スチレン−ブタジエン共重合体ゴム、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体ゴムなどの共役ジエン系ゴムおよびこれらの水素添加物、スチレン−ブタジエン−ジエンブロック共重合体ゴム、スチレン−イソプレンブロック共重合体などのブロック共重合体ゴムおよびこれらの水素添加物、クロロプレン、ウレタンゴム、ポリエステル系ゴム、エピクロルヒドリンゴム、シリコーンゴム、エチレン−プロピレン共重合体ゴム、エチレン−プロピレン−ジエン共重合体ゴムなどが挙げられる。これらの中では、耐久性、成形加工性および電気特性の観点から、シリコーンゴムを用いることが好ましい。
シリコーンゴムとしては、液状シリコーンゴムを架橋または縮合したものが好ましい。液状シリコーンゴムは、その粘度が歪速度１０^-1ｓｅｃで１０⁵ ポアズ以下のものが好ましく、縮合型のもの、付加型のもの、ビニル基やヒドロキシル基を含有するものなどのいずれであってもよい。具体的には、ジメチルシリコーン生ゴム、メチルビニルシリコーン生ゴム、メチルフェニルビニルシリコーン生ゴムなどを挙げることができる。
また、シリコーンゴムは、その分子量Ｍｗ（標準ポリスチレン換算重量平均分子量をいう。以下同じ。）が１０，０００〜４０，０００のものであることが好ましい。また、得られる異方導電性エラストマーシートに良好な耐熱性が得られることから、分子量分布指数（標準ポリスチレン換算重量平均分子量Ｍｗと標準ポリスチレン換算数平均分子量Ｍｎとの比Ｍｗ／Ｍｎの値をいう。以下同じ。）が２以下のものが好ましい。

第１の異方導電性エラストマーシート１６および第２の異方導電性エラストマーシート１７に含有される導電性粒子Ｐとしては、後述する方法により当該粒子を容易に厚み方向に並ぶよう配向させることができることから、磁性を示す導電性粒子が用いられる。このような導電性粒子の具体例としては、鉄、コバルト、ニッケルなどの磁性を有する金属の粒子若しくはこれらの合金の粒子またはこれらの金属を含有する粒子、またはこれらの粒子を芯粒子とし、当該芯粒子の表面に金、銀、パラジウム、ロジウムなどの導電性の良好な金属のメッキを施したもの、あるいは非磁性金属粒子若しくはガラスビーズなどの無機物質粒子またはポリマー粒子を芯粒子とし、当該芯粒子の表面に、ニッケル、コバルトなどの導電性磁性金属のメッキを施したものなどが挙げられる。
これらの中では、ニッケル粒子を芯粒子とし、その表面に導電性の良好な金のメッキを施したものを用いることが好ましい。
芯粒子の表面に導電性金属を被覆する手段としては、特に限定されるものではないが、例えば化学メッキまたは電解メッキ法、スパッタリング法、蒸着法などが用いられている。

導電性粒子Ｐとして、芯粒子の表面に導電性金属が被覆されてなるものを用いる場合には、良好な導電性が得られることから、粒子表面における導電性金属の被覆率（芯粒子の表面積に対する導電性金属の被覆面積の割合）が４０％以上であることが好ましく、さらに好ましくは４５％以上、特に好ましくは４７〜９５％である。
また、導電性金属の被覆量は、芯粒子の０．５〜５０質量％であることが好ましく、より好ましくは２〜３０質量％、さらに好ましくは３〜２５質量％、特に好ましくは４〜２０質量％である。被覆される導電性金属が金である場合には、その被覆量は、芯粒子の０．５〜３０質量％であることが好ましく、より好ましくは２〜２０質量％、さらに好ましくは３〜１５質量％である。

また、導電性粒子Ｐの数平均粒子径は、３〜２０μｍであることが好ましく、より好ましくは５〜１５μｍである。この数平均粒子径が過小である場合には、後述する製造方法において、導電性粒子Ｐを厚み方向に配向させることが困難となることがある。一方、この数平均粒子径が過大である場合には、分解能の高い異方導電性エラストマーシートを得ることが困難となることがある。
また、導電性粒子Ｐの粒子径分布（Ｄｗ／Ｄｎ）は、１〜１０であることが好ましく、より好ましくは１．０１〜７、さらに好ましくは１．０５〜５、特に好ましくは１．１〜４である。
また、導電性粒子Ｐの形状は、特に限定されるものではないが、高分子物質形成材料中に容易に分散させることができる点で、球状のもの、星形状のものあるいはこれらが凝集した２次粒子であることが好ましい。
また、導電性粒子Ｐとして、その表面がシランカップリング剤などのカップリング剤や潤滑剤で処理されたものを適宜用いることができる。カップリング剤や潤滑剤で粒子表面を処理することにより、得られる異方導電性エラストマーシートの耐久性が向上する。

このような導電性粒子Ｐは、異方導電性エラストマーシート中に体積分率で１０〜４０％、特に１５〜３５％となる割合で含有されていることが好ましい。この割合が過小である場合には、厚み方向に十分に高い導電性を有する異方導電性エラストマーシートが得られないことがある。一方、この割合が過大である場合には、得られる異方導電性エラストーシートは脆弱なものとなりやすく、異方導電性エラストマーシートとして必要な弾性が得られないことがある。

また、第１の異方導電性エラストマーシート１６および第２の異方導電性エラストマーシート１７の各々の厚みは、２０〜１００μｍであることが好ましく、より好ましくは２５〜７０μｍである。この厚みが過小である場合には、十分な凹凸吸収能が得られないことがある。一方、この厚みが過大である場合には、高い分解能が得られないことがある。

第１の異方導電性エラストマーシート１６は、以下のようにして製造することができる。
先ず、図１２に示すように、それぞれシート状の一面側成形部材３０および他面側成形部材３１と、目的とする第１の異方導電性エラストマーシート１６の平面形状に適合する形状の開口３２Ｋを有すると共に当該第１の異方導電性エラストマーシート１６の厚みに対応する厚みを有する枠状のスペーサー３２とを用意すると共に、硬化されて弾性高分子物質となる液状の高分子物質形成材料中に導電性粒子が含有されてなる導電性エラストマー用材料を調製する。
そして、図１３に示すように、他面側成形部材３１の成形面（図１３において上面）上にスペーサー３２を配置し、他面側成形部材３１の成形面上におけるスペーサー３２の開口３２Ｋ内に、調製した導電性エラストマー用材料１６Ｂを塗布し、その後、この導電性エラストマー用材料１６Ｂ上に一面側成形部材３０をその成形面（図１３において下面）が導電性エラストマー用材料１６Ｂに接するよう配置する。
以上において、一面側成形部材３０および他面側成形部材３１としては、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂などよりなる樹脂シートを用いることができる。
また、一面側成形部材３０および他面側成形部材３１を構成する樹脂シートの厚みは、５０〜５００μｍであることが好ましく、より好ましくは７５〜３００μｍである。この厚みが５０μｍ未満である場合には、成形部材として必要な強度が得られないことがある。一方、この厚みが５００μｍを超える場合には、後述する導電性エラストマー用材料層に所要の強度の磁場を作用させることが困難となることがある。

次いで、図１４に示すように、加圧ロール３３および支持ロール３４よりなる加圧ロール装置３５を用い、一面側成形部材３０および他面側成形部材３１によって導電性エラストマー用材料１６Ｂを挟圧することにより、当該一面側成形部材３０と当該他面側成形部材３１との間に、所要の厚みの導電性エラストマー用材料層１６Ａを形成する。この導電性エラストマー用材料層１６Ａにおいては、図１５に拡大して示すように、導電性粒子Ｐが均一に分散した状態で含有されている。
その後、一面側成形部材３０の裏面および他面側成形部材３１の裏面に、例えば一対の電磁石を配置し、当該電磁石を作動させることにより、導電性エラストマー用材料層１６Ａの厚み方向に平行磁場を作用させる。その結果、導電性エラストマー用材料層１６Ａにおいては、当該導電性エラストマー用材料層１６Ａ中に分散されている導電性粒子Ｐが、図１６に示すように、面方向に分散された状態を維持しながら厚み方向に並ぶよう配向し、これにより、それぞれ厚み方向に伸びる複数の導電性粒子Ｐによる連鎖が、面方向に分散した状態で形成される。
そして、この状態において、導電性エラストマー用材料層１６Ａを硬化処理することにより、弾性高分子物質中に、導電性粒子Ｐが厚み方向に並ぶよう配向した状態で、かつ、当該導電性粒子Ｐによる連鎖が面方向に分散された状態で含有されてなる第１の異方導電性エラストマーシート１６が製造される。

以上において、導電性エラストマー用材料層１６Ａの硬化処理は、平行磁場を作用させたままの状態で行うこともできるが、平行磁場の作用を停止させた後に行うこともできる。
導電性エラストマー用材料層１６Ａに作用される平行磁場の強度は、平均で０．０２〜２．５テスラとなる大きさが好ましい。
導電性エラストマー用材料層１６Ａの硬化処理は、使用される材料によって適宜選定されるが、通常、加熱処理によって行われる。具体的な加熱温度および加熱時間は、導電性エラストマー用材料層１６Ａを構成する高分子物質用材料などの種類、導電性粒子Ｐの移動に要する時間などを考慮して適宜選定される。

また、第２の異方導電性エラストマーシート１７は、第１の異方導電性エラストマーシート１６と同様の方法によって製造することができる。

このような異方導電性コネクター１５によれば、複合導電性シート１０における剛性導体１２の各々は、絶縁性シート１１に対してその厚み方向に移動可能とされているため、接続すべき電極によって厚み方向に加圧されたときには、複合導電性シート１０の一面に配置された第１の異方導電性エラストマーシート１６および当該複合導電性シート１０の他面に配置された第２の異方導電性エラストマーシート１７は、剛性導体１２が移動することによって互いに連動して圧縮変形するため、両者の有する凹凸吸収能の合計が異方導電性コネクター１５の凹凸吸収能として発現され、従って、高い凹凸吸収能を得ることができる。
また、所要の凹凸吸収能を得るために必要な厚みは、第１の異方導電性エラストマーシート１６および第２の異方導電性エラストマーシート１７の合計の厚みによって確保すればよく、個々の異方導電性エラストマーシートとしては、厚みが小さいものを用いることができるので、高い分解能を得ることができる。
従って、隣接する電極間の離間距離が小さく、電極の高さレベルにバラツキがある接続対象体についても、隣接する電極間に必要な絶縁性が確保された状態で当該電極の各々に対する電気的な接続を確実に達成することができる。

〈アダプター装置〉
図１７は、本発明に係るアダプター装置の第１の例における構成を示す説明用断面図であり、図１８は、図１７に示すアダプター装置におけるアダプター本体を示す説明用断面図である。このアダプター装置は、例えばプリント回路基板などの回路装置について、例えばオープン・ショート試験を行うために用いられる回路装置検査用のものであって、多層配線板よりなるアダプター本体２０を有する。
アダプター本体２０の表面（図１７および図１８において上面）には、検査対象である回路装置の被検査電極のパターンに対応する特定のパターンに従って複数の接続用電極２１が配置された接続用電極領域２５が形成されている。
アダプター本体２０の裏面には、例えばピッチが０．８ｍｍ、０．７５ｍｍ、１．５ｍｍ、１．８ｍｍ、２．５４ｍｍの格子点位置に従って複数の端子電極２２が配置され、端子電極２２の各々は、内部配線部２３によって接続用電極２１に電気的に接続されている。
このアダプター本体２０の表面には、その接続用電極領域２５上に、基本的に図１０に示す構成の異方導電性コネクター１５が、その第２の異方導電性エラストマーシート１７がアダプター本体２０に接するよう配置され、当該アダプター本体２０に適宜の手段（図示省略）によって固定されている。
この異方導電性コネクター１５において、複合導電性シート１０には、アダプター本体２０における接続用電極２１に係る特定のパターンと同一のパターンに従って複数の剛性導体１２が配置されており、当該異方導電性コネクター１５は、複合導電性シート１０における剛性導体１２の各々がアダプター本体２０の接続用電極２１の直上位置に位置するよう配置されている。

このようなアダプター装置によれば、図１０に示す構成の異方導電性コネクター１５を有するため、検査対象である回路装置が、隣接する被検査電極の間の離間距離が小さく、被検査電極の高さレベルにバラツキがあるものであっても、隣接する被検査電極間に必要な絶縁性が確保された状態で当該被検査電極の各々に対する電気的な接続を確実に達成することができる。

図１９は、本発明に係るアダプター装置の第２の例における構成を示す説明用断面図であり、図２０は、図１９に示すアダプター装置におけるアダプター本体を示す説明用断面図である。このアダプター装置は、例えばプリント回路基板などの回路装置について、各配線パターンの電気抵抗測定試験を行うために用いられる回路装置検査用のものであって、多層配線板よりなるアダプター本体２０を有する。
アダプター本体２０の表面（図１９および図２０において上面）には、それぞれ同一の被検査電極に電気的に接続される互いに離間して配置された電流供給用の接続用電極（以下、「電流供給用電極」ともいう。）２１ｂおよび電圧測定用の接続用電極（以下、「電圧測定用電極」ともいう。）２１ｃよりなる複数の接続用電極対２１ａが配置された接続用電極領域２５が形成されている。これらの接続用電極対２１ａは、検査対象である回路装置の被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置されている。
アダプター本体２０の裏面には、例えばピッチが０．８ｍｍ、０．７５ｍｍ、１．５ｍｍ、１．８ｍｍ、２．５４ｍｍの格子点位置に従って複数の端子電極２２が配置されている。
そして、電流供給用電極２１ｂおよび電圧測定用電極２１ｃの各々は、内部配線部２３によって端子電極２２に電気的に接続されている。
このアダプター本体２０の表面には、その接続用電極領域２５上に、基本的に図１０に示す構成の異方導電性コネクター１５が、その第２の異方導電性エラストマーシート１７がアダプター本体２０に接するよう配置され、当該アダプター本体２０に適宜の手段（図示省略）によって固定されている。
この異方導電性コネクター１５において、複合導電性シート１０には、アダプター本体２０における接続用電極２１ｂ，２１ｃに係る特定のパターンと同一のパターンに従って複数の剛性導体１２が配置されており、当該異方導電性コネクター１５は、複合導電性シート１０における剛性導体１２の各々がアダプター本体２０の接続用電極２１ｂ，２１ｃの直上位置に位置するよう配置されている。

上記のアダプター装置によれば、図１０に示す構成の異方導電性コネクター１５を有するため、検査対象である回路装置が、隣接する被検査電極の間の離間距離が小さく、被検査電極の高さレベルにバラツキがあるものであっても、隣接する被検査電極間に必要な絶縁性が確保された状態で当該被検査電極の各々に対する電気的な接続を確実に達成することができる。

〈回路装置の電気的検査装置〉
図２１は、本発明に係る回路装置の電気的検査装置の第１の例における構成を示す説明図である。この電気的検査装置は、両面に被検査電極６，７が形成されたプリント回路基板などの回路装置５について、例えばオープン・ショート試験を行うものであって、回路装置５を検査実行領域Ｅに保持するためのホルダー２を有し、このホルダー２には、回路装置５を検査実行領域Ｅにおける適正な位置に配置するための位置決めピン３が設けられている。検査実行領域Ｅの上方には、図１７に示すような構成の上部側アダプター装置１ａおよび上部側検査ヘッド５０ａが下からこの順で配置され、更に、上部側検査ヘッド５０ａの上方には、上部側支持板５６ａが配置されており、上部側検査ヘッド５０ａは、支柱５４ａによって上部側支持板５６ａに固定されている。一方、検査実行領域Ｅの下方には、図１７に示すような構成の下部側アダプター装置１ｂおよび下部側検査ヘッド５０ｂが上からこの順で配置され、更に、下部側検査ヘッド５０ｂの下方には、下部側支持板５６ｂが配置されており、下部側検査ヘッド５０ｂは、支柱５４ｂによって下部側支持板５６ｂに固定されている。
上部側検査ヘッド５０ａは、板状の検査電極装置５１ａと、この検査電極装置５１ａの下面に固定されて配置された弾性を有する異方導電性エラストマーシート５５ａとにより構成されている。検査電極装置５１ａは、その下面に上部側アダプター装置１ａの端子電極２２と同一のピッチの格子点位置に配列された複数のピン状の検査電極５２ａを有し、これらの検査電極５２ａの各々は、電線５３ａによって、上部側支持板５６ａに設けられたコネクター５７ａに電気的に接続され、更に、このコネクター５７ａを介してテスターの検査回路（図示省略）に電気的に接続されている。
下部側検査ヘッド５０ｂは、板状の検査電極装置５１ｂと、この検査電極装置５１ｂの上面に固定されて配置された弾性を有する異方導電性エラストマーシート５５ｂとにより構成されている。検査電極装置５１ｂは、その上面に下部側アダプター装置１ｂの端子電極２２と同一のピッチの格子点位置に配列された複数のピン状の検査電極５２ｂを有し、これらの検査電極５２ｂの各々は、電線５３ｂによって、下部側支持板５６ｂに設けられたコネクター５７ｂに電気的に接続され、更に、このコネクター５７ｂを介してテスターの検査回路（図示省略）に電気的に接続されている。

上部側検査ヘッド５０ａおよび下部側検査ヘッド５０ｂにおける異方導電性エラストマーシート５５ａ，５５ｂは、いずれもその厚み方向にのみ導電路を形成する導電路形成部が形成されてなるものである。このような異方導電性エラストマーシート５５ａ，５５ｂとしては、各導電路形成部が少なくとも一面において厚み方向に突出するよう形成されているものが、高い電気的な接触安定性を発揮する点で好ましい。

このような回路装置の電気的検査装置においては、検査対象である回路装置５がホルダー２によって検査実行領域Ｅに保持され、この状態で、上部側支持板５６ａおよび下部側支持板５６ｂの各々が回路装置５に接近する方向に移動することにより、当該回路装置５が上部側アダプター装置１ａおよび下部側アダプター装置１ｂによって挟圧される。
この状態においては、回路装置５の上面における被検査電極６は、上部側アダプター装置１ａにおける接続用電極２１に、当該異方導電性コネクター１０を介して電気的に接続され、この上部側アダプター装置１ａの端子電極２２は、異方導電性エラストマーシート５５ａを介して検査電極装置５１ａの検査電極５２ａに電気的に接続されている。一方、回路装置５の下面における被検査電極７は、下部側アダプター装置１ｂにおける接続用電極２１に、当該異方導電性コネクター１０を介して電気的に接続され、この下部側アダプター装置１ｂの端子電極２２は、異方導電性エラストマーシート５５ｂを介して検査電極装置５１ｂの検査電極５２ｂに電気的に接続されている。

このようにして、回路装置５の上面および下面の両方の被検査電極６，７の各々が、上部側検査ヘッド５０ａにおける検査電極装置５１ａの検査電極５２ａおよび下部側検査ヘッド５０ｂにおける検査電極装置５１ｂの検査電極５２ｂの各々に電気的に接続されることにより、テスターの検査回路に電気的に接続された状態が達成され、この状態で所要の電気的検査が行われる。

上記の回路装置の電気的検査装置によれば、図１７に示すような構成の上部側アダプター装置１ａおよび下部側アダプター装置１ｂを有するため、検査対象である回路装置５が、隣接する被検査電極６，７の間の離間距離が小さく、被検査電極６，７の高さレベルにバラツキがあるものであっても、当該回路装置５について所要の電気的検査を確実に実行することができる。

図２２は、本発明に係る回路装置の電気的検査装置の第２の例における構成を示す説明図である。この電気的検査装置は、両面に被検査電極６，７が形成されたプリント回路基板などの回路装置５について、各配線パターンの電気抵抗測定試験を行うためのものであって、回路装置５を検査実行領域Ｅに保持するためのホルダー２を有し、このホルダー２には、回路装置５を検査実行領域Ｅにおける適正な位置に配置するための位置決めピン３が設けられている。
検査実行領域Ｅの上方には、図１９に示すような構成の上部側アダプター装置１ａおよび上部側検査ヘッド５０ａが下からこの順で配置され、更に、上部側検査ヘッド５０ａの上方には、上部側支持板５６ａが配置されており、上部側検査ヘッド５０ａは、支柱５４ａによって上部側支持板５６ａに固定されている。一方、検査実行領域Ｅの下方には、図１９に示すような構成の下部側アダプター装置１ｂおよび下部側検査ヘッド５０ｂが上からこの順で配置され、更に、下部側検査ヘッド５０ｂの下方には、下部側支持板５６ｂが配置されており、下部側検査ヘッド５０ｂは、支柱５４ｂによって下部側支持板５６ｂに固定されている。
上部側検査ヘッド５０ａは、板状の検査電極装置５１ａと、この検査電極装置５１ａの下面に固定されて配置された弾性を有する異方導電性エラストマーシート５５ａとにより構成されている。検査電極装置５１ａは、その下面に上部側アダプター装置１ａの端子電極２２と同一のピッチの格子点位置に配列された複数のピン状の検査電極５２ａを有し、これらの検査電極５２ａの各々は、電線５３ａによって、上部側支持板５６ａに設けられたコネクター５７ａに電気的に接続され、更に、このコネクター５７ａを介してテスターの検査回路（図示省略）に電気的に接続されている。
下部側検査ヘッド５０ｂは、板状の検査電極装置５１ｂと、この検査電極装置５１ｂの上面に固定されて配置された弾性を有する異方導電性エラストマーシート５５ｂとにより構成されている。検査電極装置５１ｂは、その上面に下部側アダプター装置１ｂの端子電極２２と同一のピッチの格子点位置に配列された複数のピン状の検査電極５２ｂを有し、これらの検査電極５２ｂの各々は、電線５３ｂによって、下部側支持板５６ｂに設けられたコネクター５７ｂに電気的に接続され、更に、このコネクター５７ｂを介してテスターの検査回路（図示省略）に電気的に接続されている。
上部側検査ヘッド５０ａおよび下部側検査ヘッド５０ｂにおける異方導電性エラストマーシート５５ａ，５５ｂは、第１の例の電気的検査装置と基本的に同様の構成である。

このような回路装置の電気的検査装置においては、検査対象である回路装置５がホルダー２によって検査実行領域Ｅに保持され、この状態で、上部側支持板５６ａおよび下部側支持板５６ｂの各々が回路装置５に接近する方向に移動することにより、当該回路装置５が上部側アダプター装置１ａおよび下部側アダプター装置１ｂによって挟圧される。
この状態においては、回路装置５の上面における被検査電極６は、上部側アダプター装置１ａの接続用電極対２１ａにおける電流供給用電極２１ｂおよび電圧測定用電極２１ｃの両方に、異方導電性コネクター１５を介して電気的に接続され、この上部側アダプター装置１ａの端子電極２２は、異方導電性エラストマーシート５５ａを介して検査電極装置５１ａの検査電極５２ａに電気的に接続されている。一方、回路装置５の下面における被検査電極７は、下部側アダプター装置１ｂの接続用電極対２１ａにおける電流供給用電極２１ｂおよび電圧測定用電極２１ｃの両方に、異方導電性コネクター１５を介して電気的に接続され、この下部側アダプター装置１ｂの端子電極２２は、異方導電性エラストマーシート５５ｂを介して検査電極装置５１ｂの検査電極５２ｂに電気的に接続されている。

このようにして、回路装置５の上面および下面の両方の被検査電極６，７の各々が、上部側検査ヘッド５０ａにおける検査電極装置５１ａの検査電極５２ａおよび下部側検査ヘッド５０ｂにおける検査電極装置５１ｂの検査電極５２ｂの各々に電気的に接続されることにより、テスターの検査回路に電気的に接続された状態が達成され、この状態で所要の電気的検査が行われる。具体的には、上部側アダプター装置１ａにおける電流供給用電極２１ｂと下部側アダプター装置１ｂにおける電流供給用電極２１ｂとの間に一定の値の電流が供給されると共に、上部側のアダプター装置１ａにおける複数の電圧測定用電極２１ｃの中から１つを指定し、当該指定された１つの電圧測定用電極２１ｃと、当該電圧測定用電極２１ｃに電気的に接続された上面側の被検査電極５に対応する下面側の被検査電極６に電気的に接続された、下部側アダプター装置１ｂにおける電圧測定用電極２１ｃとの間の電圧が測定され、得られた電圧値に基づいて、当該指定された１つの電圧測定用電極２１ｃに電気的に接続された上面側の被検査電極５とこれに対応する他面側の被検査電極６との間に形成された配線パターンの電気抵抗値が取得される。そして、指定する電圧測定用電極２１ｃを順次変更することにより、全ての配線パターンの電気抵抗の測定が行われる。

上記の回路装置の電気的検査装置によれば、図１９に示すような構成の上部側アダプター装置１ａおよび下部側アダプター装置１ｂを有するため、検査対象である回路装置５が、隣接する被検査電極６，７の間の離間距離が小さく、被検査電極６，７の高さレベルにバラツキがあるものであっても、当該回路装置５について所要の電気的検査を確実に実行することができる。

図２３は、本発明に係る回路装置の電気的検査装置の第３の例における構成を示す説明図である。この電気的検査装置は、両面に被検査電極６，７が形成されたプリント回路基板などの回路装置５について、例えばオープン・ショート試験を行うものであって、回路装置５を検査実行領域Ｅに保持するためのホルダー２を有し、このホルダー２には、回路装置５を検査実行領域Ｅにおける適正な位置に配置するための位置決めピン３が設けられている。検査実行領域Ｅの上方には、図１７に示すような構成の上部側アダプター装置１ａおよび上部側検査ヘッド６０ａが下からこの順で配置され、更に、上部側検査ヘッド６０ａの上方には、上部側支持板５６ａが配置されており、上部側検査ヘッド６０ａは、支柱５４ａによって上部側支持板５６ａに固定されている。一方、検査実行領域Ｅの下方には、図１７に示すような構成の下部側アダプター装置１ｂおよび下部側検査ヘッド６０ｂが上からこの順で配置され、更に、下部側検査ヘッド６０ｂの下方には、下部側支持板５６ｂが配置されており、下部側検査ヘッド６０ｂは、支柱５４ｂによって下部側支持板５６ｂに固定されている。
上部側検査ヘッド６０ａは、板状の検査電極装置６１ａと、この検査電極装置６１ａの下面に固定されて配置された異方導電性コネクター７０ａとにより構成されている。
一方、下部側検査ヘッド６０ｂは、板状の検査電極装置６１ｂと、この検査電極装置６１ｂの上面に固定されて配置された弾性を有する異方導電性コネクター７０ｂとにより構成されている。

上部側検査ヘッド６０ａにおける検査電極装置６１ａは、図２４に拡大して示すように、上部側アダプター装置におけるアダプター本体２０の端子電極２２と同一のピッチの格子点位置に従って、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔６３ａが形成された平板状の絶縁性基板６２ａを有する。この絶縁性基板６２ａの貫通孔６３ａの各々には、電線６４ａが、その先端面が絶縁性基板６２ａの表面と同一レベルとなるよう挿入されて配置され、絶縁性基板６２ａの貫通孔６３ａの各々の内壁面と電線６４ａの各々の外周面との間には、電線６４ａを固定する例えば液状封止材が硬化されてなる固定部材６５ａが形成されている。そして、電線６４ａの各々の先端面には、円形の膜状の検査電極６６ａが形成されており、これらの検査電極６６ａの各々は、電線６４ａによって、上部側支持板５６ａに設けられたコネクター５７ａに電気的に接続され、更に、このコネクター５７ａを介してテスターの検査回路（図示省略）に電気的に接続されている。

絶縁性基板６２ａを構成する材料としては、固有抵抗が例えば１×１０¹⁰Ω・ｃｍ以上の絶縁性材料を用いることが好ましく、その具体例としては、例えばポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、フェノール樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリブチレンテレフタレート樹脂、ポチエチレンテレフタレート樹脂、シンジオタクチック・ポリスチレン樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ポリエーテルエチルケトン樹脂、フッ素樹脂、ポリエーテルニトリル樹脂、ポリエーテルサルホン樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリアミドイミド樹脂等の機械的強度の高い樹脂材料、ガラス繊維補強型エポキシ樹脂、ガラス繊維補強型ポリエステル樹脂、ガラス繊維補強型ポリイミド樹脂、ガラス繊維補強フェノール樹脂、ガラス繊維補強型フッ素樹脂等のガラス繊維型複合樹脂材料、カーボン繊維補強型エポキシ樹脂、カーボン繊維補強型ポリエステル樹脂、カーボン繊維補強型ポリイミド樹脂、カーボン繊維補強型フェノール樹脂、カーボン繊維補強型フッ素樹脂等のカーボン繊維型複合樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂等にシリカ、アルミナ、ボロンナイトライド等の無機材料を充填した複合樹脂材料、エポキシ樹脂、フェノール樹脂等にメッシュを含有した複合樹脂材料などを挙げることができる。また、これらの材料からなる板材を複数積層して構成された複合板材等も用いることができる。
絶縁性基板６２ａの厚みは、その貫通孔６３ａを例えばドリル加工によって容易に形成することができる点で、例えば５ｍｍ以下であることが好ましく、より好ましくは２〜５ｍｍである。
絶縁性基板６２ａの貫通孔６３ａの開口径は、当該貫通孔６３ａのピッチ、電線６４ａの径を考慮して適宜設定されるが、例えば電線６４ａの径が２００μｍである場合には、貫通孔６３ａの径は０．２５〜０．３５ｍｍである。

電線６４ａとしては、例えばエナメル線やニクロム線などの従来より好適に用いられているものを用いることができる。電線６４ａの径は例えば５０〜４００μｍである。
固定部材６５ａを形成するための液状封止材としては、絶縁性基板６２ａに対して十分に高い接着性が得られるものが用いられ、その具体例としては、例えばエポキシ樹脂系封止材、ポリイミド樹脂系封止材、ポリアミド樹脂系封止材等を挙げることができる。
検査電極６６ａを構成する材料としては、銅、ニッケル、金またはこれらの合金などを用いることができ、検査電極６６ａとしては、これらの金属の積層体によって形成されていてもよい。
検査電極６６ａの径は、電極６４ａの径および上部側アダプター装置におけるアダプター本体２０の端子電極２２の径に応じて適宜設定される。また、検査電極６６ａの厚みは、例えは０．１〜２０μｍである。

このような構成の検査電極装置６１ａは、例えば以下のようにして製造することができる。
先ず、平板状の絶縁性基板形成材を用意し、この絶縁性基板形成材に例えばドリル加工を施すことにより、図２５に示すように、上部側アダプター１ａにおけるアダプター本体２０の端子電極２２と同一のピッチの格子点位置に、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔６３ａが形成された絶縁性基板６２ａを作製する。
その後、図２６に示すように、絶縁性基板６２ａの貫通孔６３ａの各々に、電線６４ａをその先端部が絶縁性基板６２ａの表面から突出するよう挿入し、この状態で、絶縁性基板６２ａの貫通孔６３ａ内に液状封止材を注入して硬化させることにより、図２７に示すように、絶縁性基板６２ａの貫通孔６３ａの内壁面と電線６４ａの外周面との間に固定部材６５ａを形成する。
次いで、図２８に示すように、電線６４ａの各々の先端面を絶縁性基板６２ａの表面と同一レベルとなるまで研磨する。
そして、電線６４ａの各々の先端面に電解メッキ処理を施すことにより、図２９に示すように、膜状の検査電極６６ａを形成し、以て、検査電極装置６１ａが得られる。

上部側検査ヘッド６０ａにおける異方導電性コネクター７０ａは、剛性導体１２の配置パターンおよび各部材の寸法を除いて基本的に図１に示す複合導電性シート１０と同様の構成の複合導電性シート１０と、この複合導電性シート１０の一面に配置された第１の異方導電性エラストマーシート７１ａと、複合導電性シート１０の他面に配置された第２の異方導電性エラストマーシート７５ａとにより構成されている。
第１の異方導電性エラストマーシート７１ａおよび第２の異方導電性エラストマーシート７５ａの各々は、上部側アダプター装置１ａの端子電極２２と同一のピッチの格子点位置に従って配置された、それぞれ厚み方向に伸びる複数の導電路形成部７２ａ，７６ａと、これらを相互に絶縁する絶縁部７３ａ，７７ａとにより構成されている。導電路形成部７２ａ，７６ａの各々は、絶縁性の弾性高分子物質中に磁性を示す導電性粒子Ｐが厚み方向に並ぶよう配向して連鎖が形成された状態で含有されてなるものである。これに対し、絶縁部７３ａ，７７ａは弾性高分子物質よりなり、導電性粒子が全く或いは殆ど含有されていないものである。また、図示の例では、第１の異方導電性エラストマーシート７１ａおよび第２の異方導電性エラストマーシート７５ａの各々における導電路形成部７２ａ，７６ａは一面において厚み方向に突出するよう形成され、一方、第１の異方導電性エラストマーシート７１ａおよび第２の異方導電性エラストマーシート７５ａの各々の他面と平坦面とされており、第１の異方導電性エラストマーシート７１ａおよび第２の異方導電性エラストマーシート７５ａの各々は、平坦面である他面が複合導電性シート１０に接するよう配置されている。このような異方導電性エラストマーシートは、従来公知の方法によって製造することができる。

下部側検査ヘッド６０ｂにおける検査電極装置６１ｂは、図３０に拡大して示すように、下部側アダプター装置１ｂの端子電極２２と同一のピッチの格子点位置に従って、それぞれ厚み方向に伸びる複数の複数の貫通孔６３ｂが形成された平板状の絶縁性基板６２ｂを有する。この絶縁性基板６２ｂの貫通孔６３ｂの各々には、電線６４ｂが、その先端面が絶縁性基板６２ｂの表面と同一レベルとなるよう挿入されて配置され、絶縁性基板６２ｂの貫通孔６３ｂの各々の内壁面と電線６４ｂの各々の外周面との間には、電線６４ｂを固定する例えば液状封止材が硬化されてなる固定部材６５ｂが形成されている。そして、電線６４ｂの各々の先端面には、円形の膜状の検査電極６６ｂが形成されており、これらの検査電極６６ｂの各々は、電線６４ｂによって、下部側支持板５６ｂに設けられたコネクター５７ｂに電気的に接続され、更に、このコネクター５７ｂを介してテスターの検査回路（図示省略）に電気的に接続されている。検査電極装置６１ｂにおけるその他の具体的な構成は、上部側検査ヘッド６０ａにおける検査電極装置６１ａと同様である。

下部側検査ヘッド６０ｂにおける異方導電性コネクター７０ｂは、剛性導体１２の配置パターンおよび各部材の寸法を除いて基本的に図１に示す複合導電性シート１０と同様の構成の複合導電性シート１０と、この複合導電性シート１０の一面に配置された第１の異方導電性エラストマーシート７１ｂと、複合導電性シート１０の他面に配置された第２の異方導電性エラストマーシート７５ｂとにより構成されている。
第１の異方導電性エラストマーシート７１ｂおよび第２の異方導電性エラストマーシート７５ｂの各々は、下部側アダプター装置１ｂの端子電極２２と同一のピッチの格子点位置に従って配置された、それぞれ厚み方向に伸びる複数の導電路形成部７２ｂ，７６ｂと、これらを相互に絶縁する絶縁部７３ｂ，７７ｂとにより構成されている。導電路形成部７２ｂ，７６ｂの各々は、絶縁性の弾性高分子物質中に磁性を示す導電性粒子Ｐが厚み方向に並ぶよう配向して連鎖が形成された状態で含有されてなるものである。これに対し、絶縁部７３ｂ，７７ｂは弾性高分子物質よりなり、導電性粒子が全く或いは殆ど含有されていないものである。また、図示の例では、第１の異方導電性エラストマーシート７１ｂおよび第２の異方導電性エラストマーシート７５ｂの各々における導電路形成部７２ｂ，７６ｂは一面において厚み方向に突出するよう形成され、一方、第１の異方導電性エラストマーシート７１ｂおよび第２の異方導電性エラストマーシート７５ｂの各々の他面と平坦面とされており、第１の異方導電性エラストマーシート７１ｂおよび第２の異方導電性エラストマーシート７５ｂの各々は、平坦面である他面が複合導電性シート１０に接するよう配置されている。このような異方導電性エラストマーシートは、従来公知の方法によって製造することができる。

このような回路装置の電気的検査装置においては、検査対象である回路装置５がホルダー２によって検査実行領域Ｅに保持され、この状態で、上部側支持板５６ａおよび下部側支持板５６ｂの各々が回路装置５に接近する方向に移動することにより、当該回路装置５が上部側アダプター装置１ａおよび下部側アダプター装置１ｂによって挟圧される。
この状態においては、回路装置５の上面における被検査電極６は、上部側アダプター装置１ａにおける接続用電極２１に、当該異方導電性コネクター１５を介して電気的に接続され、この上部側アダプター装置１ａの端子電極２２は、異方導電性コネクター７０ａを介して検査電極装置６１ａの検査電極６６ａに電気的に接続されている。一方、回路装置５の下面における被検査電極７は、下部側アダプター装置１ｂにおける接続用電極２１に、当該異方導電性コネクター１５を介して電気的に接続され、この下部側アダプター装置１ｂの端子電極２２は、異方導電性コネクター７０ｂを介して検査電極装置６１ｂの検査電極６６ｂに電気的に接続されている。

このようにして、回路装置５の上面および下面の両方の被検査電極６，７の各々が、上部側検査ヘッド６０ａにおける検査電極装置６１ａの検査電極６６ａおよび下部側検査ヘッド６０ｂにおける検査電極装置６１ｂの検査電極６６ｂの各々に電気的に接続されることにより、テスターの検査回路に電気的に接続された状態が達成され、この状態で所要の電気的検査が行われる。

上記の回路装置の電気的検査装置によれば、図１７に示すような構成の上部側アダプター装置１ａおよび下部側アダプター装置１ｂを有するため、検査対象である回路装置５が、隣接する被検査電極６，７の間の離間距離が小さく、被検査電極６，７の高さレベルにバラツキがあるものであっても、当該回路装置５について所要の電気的検査を確実に実行することができる。

本発明においては、上記の実施の形態に限定されず、以下のような種々の変更を加えることが可能である。
複合導電性シート１０において、剛性導体１２を構成する材料としては、剛性を有する導体であれば金属材料に限定されるものではなく、例えば、剛性樹脂中に金属などの導電性粉末が含有されてなるものなどを用いることができる。
複合導電性シート１０の製造方法において、積層材料および複合積層材料は、絶縁性シートの両面に金属層が形成されてなるものであってもよい。
異方導電性コネクター１５において、第１の異方導電性エラストマーシートおよび第２の異方導電性エラストマーシートのいずれか一方または両方として、偏在型異方導電性エラストマーシートを用いることができる。
また、電気的検査装置において、検査対象である回路装置は、プリント回路基板に限定されず、パッケージＩＣ、ＭＣＭなどの半導体集積回路装置であってもよい。

以下、本発明の具体的な実施例について説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。

〈評価用回路装置の作製〉
下記の仕様の評価用回路装置を作製した。
すなわち、この評価用回路装置は、寸法が２００ｍｍ（縦）×１４０ｍｍ（横）×０．８ｍｍ（厚み）で、上面側被検査電極および下面側被検査電極はそれぞれ半田バンプにより構成されている。上面側被検査電極は、その総数が２４００個で、各々の直径が約２００μｍ、突出高さが約５０μｍ、最小ピッチが４００μｍである。下面側被検査電極は、その総数が２４００個で、上面側被検査電極と同一のパターンで形成されており、各々の直径が約１５０μｍ、突出高さが約５０μｍ、最小ピッチは４００μｍである。また、上面側被検査電極と下面側被検査電極とは、内部配線によって互いに１対１の関係で電気的に接続されている。

〈実施例１〉
以下のようにして、上記の評価用回路装置の電気的検査を行うための上部側アダプター装置および下部側アダプター装置を製造し、図２２に示す回路装置の検査装置を構成した。

〔上部側アダプター装置〕
（１）複合導電性シートの製造：
厚みが５０μｍの液晶ポリマーよりなる絶縁性シートの一面に厚みが１８μｍの銅よりなる金属層が一体的に積層されてなる積層材料（新日鐵化学製の「エスパネックス ＬＣ１８−５０−００ＮＥ」）を用意し、この積層材料における金属層上にドライフィルムレジストをラミネートすることによりレジスト膜を形成した。
次いで、形成されたレジスト膜に対して露光処理および現像処理を施すことにより、当該レジスト膜に上記の評価用回路装置における上面側被検査電極に対応するパターンに従って直径が４０μｍの円形のパターン孔を形成し、更に、エッチング処理を行うことにより、金属層にレジスト膜のパターン孔と同一のパターンの開口を形成し、その後、レジスト膜を除去した。
その後、積層材料における絶縁性シートに対して、金属層に形成された開口を介してＣＯ₂ レーザー加工機を用いてレーザー加工を施すことにより、金属層の開口に連通する貫通孔を形成した。
そして、絶縁性シートの貫通孔の内壁面に無電解銅メッキ処理を施し、更に、金属層を共通電極として電解銅メッキ処理を施すことにより、絶縁性シートの貫通孔の内壁面および金属層の開口縁を覆うよう、厚みが５μｍの銅よりなる筒状の金属薄層を形成し、以て、複合積層材料を製造した。ここで、金属薄層を形成した後の貫通孔の直径は約３０μｍであった。
次いで、複合積層材料の両面（絶縁性シートの一面に形成された金属層の表面および絶縁性シートの他面）の各々に、厚みが２５μｍのドライフィルムレジストをラミネートして露光処理および現像処理を施すことにより、形成すべき剛性導体における端子部のパターンに対応するパターンに従って直径５０μｍの円形のパターン孔が形成されたレジスト膜を形成した。その後、金属層を共通電極としてスルファミン酸ニッケルが溶解されたメッキ液を用いて電解メッキ処理を施すことにより、ニッケルよりなる剛性導体を形成した。
そして、剛性導体の端子部の表面を研磨することにより、当該剛性導体の端子部の表面を平坦化すると共に当該端子部の厚みをレジスト膜の厚みに一致させた。次いで、複合積層材料の両面からレジスト膜を除去した後、当該複合積層材料に対して、塩化第二鉄が溶解されたエッチング液を用いて、６０℃、３時間のエッチング処理を施すことにより、金属層および金属薄層を除去し、以て、複合導電性シートを製造した。
得られた複合導電性シートについて説明すると、絶縁性シートは、材質が液晶ポリマーで、縦横の寸法が１９０ｍｍ×１３０ｍｍ、厚みｄが５０μｍ、貫通孔の直径ｒ１が４０μｍ、剛性導体は、総数が２４００で、胴部の径ｒ２が３０μｍ、端子部の径ｒ３が５０μｍ、胴部の長さＬが７３μｍ、剛性導体の移動距離（Ｌ−ｄ）が２３μｍある。

（２）異方導電性エラストマーシートの製造：
付加型液状シリコーンゴム１００重量部に数平均粒子径が１２μｍの導電性粒子４００重量部を添加して混合した後、減圧による脱泡処理を行うことにより、導電性エラストマー用材料を調製した。
以上において、導電性粒子としては、ニッケル粒子を芯粒子とし、この芯粒子に無電解金メッキが施されてなるもの（平均被覆量：芯粒子の重量の２重量％となる量）を用いた。

他面側成形部材の成形面上に、１２０ｍｍ×１２０ｍｍの矩形の開口を有する、厚みが５０μｍの枠状のスペーサーを配置した後、スペーサーの開口内に、調製した導電性エラストマー用材料を塗布し、この導電性エラストマー用材料上に一面側成形部材をその成形面が導電性エラストマー用材料に接するよう配置した。
以上において、一面側成形部材および他面側成形部材としては、厚みが０．１ｍｍのポリエステル樹脂シートを用いた。
その後、加圧ロールおよび支持ロールよりなる加圧ロール装置を用い、一面側成形部材および他面側成形部材によって導電性エラストマー用材料を挟圧することにより、当該一面側成形部材と当該他面側成形部材との間に厚みが３０μｍの導電性エラストマー用材料層を形成した。
そして、一面側成形部材および他面側成形部材の各々の裏面に電磁石を配置し、導電性エラストマー用材料層に対してその厚み方向に０．３Ｔの平行磁場を作用させながら、１２０℃、０．５時間の条件で導電性エラストマー用材料層の硬化処理を行うことにより、厚みが３０μｍの矩形の異方導電性エラストマーシートを製造した。
以上のようにして、分散型異方導電性シートを２枚製造し、その一方を第１の異方導電性エラストマーシートとして複合導電性シートの一面に配置し、他方を第２の異方導電性エラストマーシートとして複合導電性シートの他面に配置することにより、上部側アダプター装置用の異方導電性コネクターを製造した。

（３）アダプター本体の製造：
図１９に示す構成に従い、下記の仕様のアダプター本体を製造した。
すなわち、このアダプター本体は、縦横の寸法が２００ｍｍ×１４０ｍｍで、基板材質がガラス繊維補強型エポキシ樹脂であり、当該アダプター本体の表面における接続用電極領域には、それぞれ寸法が１２０μｍ×６０μｍの矩形の電流供給用電極および電圧測定用電極が６０μｍの離間距離（中心間距離が１２０μｍ）で配置されてなる２４００対の接続用電極対が上記の評価用回路装置の上面側被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置されている。また、アダプター本体の裏面には、それぞれ直径が４００μｍの円形の４８００個の端子電極が、７５０μｍのピッチの格子点位置に従って配置されており、電流供給用電極および電圧測定用電極の各々と端子電極の各々とは、内部配線によって互いに１対１の関係で電気的に接続されている。
そして、このアダプター本体の表面における接続用電極領域上に、上記の異方導電性コネクターを位置合わせして配置して固定することにより、上部側アダプター装置を製造した。

〔下部側アダプター装置〕
上記の上部側アダプター装置と同様にして下部側アダプター装置を製造した。

〔検査装置の作製〕
上記の上部側アダプター装置および下部側アダプター装置を用い、図２２に示す構成に従って、レール搬送型回路基板自動検査機（日本電産リード社製，品名：ＳＴＡＲＲＥＣ Ｖ５）の検査部に適合する検査装置を作製した。
この検査装置の上部側検査ヘッドおよび下部側検査ヘッドにおいて、それぞれの検査電極板装置には４８００本のピン状の検査電極が７５０μｍのピッチの格子点位置に従って配列されている。
また、上部側検査ヘッドおよび下部側検査ヘッドにおける異方導電性エラストマーシートの各々は、それぞれ厚み方向に伸びる４８００個の導電路形成部が絶縁部によって相互に絶縁されてなる偏在型異方導電性シートである。具体的に説明すると、導電路形成部の各々は、シリコーンゴム中に、金メッキ処理を施したニッケル粒子（平均粒子径が３５μｍ）が体積分率で２５％となる割合で含有されてなり、０．７５ｍｍのピッチの格子点位置に従って配置されている。また、導電路形成部の各々は、絶縁部の両面の各々から突出するよう形成されており、その直径が０．４ｍｍ、厚みが０．６ｍｍであり、絶縁部の両面からの突出高さはそれぞれ０．０５ｍｍである。一方、絶縁部は、シリコーンゴムにより形成されており、その厚みは０．５ｍｍである。

〔評価〕
（１）接続安定性試験：
上記の検査装置をレール搬送型回路基板自動検査機「ＳＴＡＲＲＥＣ Ｖ５」の検査部に装着し、当該検査装置の検査領域に評価用回路装置を位置合わせして配置した。次いで、所定のプレス荷重で、評価用回路装置に対して加圧操作を行い、この状態で、当該評価用回路装置について、上部側アダプター装置における電流供給用電極と下部側アダプター装置における電流供給用電極との間において１ｍＡの電流を印加しながら、上部側アダプター装置における電圧測定用電極と下部側アダプター装置における電圧測定用電極との間の電圧を測定して電気抵抗値を測定した。そして、測定された電気抵抗値が１０Ω以上となった検査点（以下、「ＮＧ検査点」という。）の数を測定した。このＮＧ検査点数を測定する操作を合計で１０回行った後、延べ検査点数（２４００×１０＝２４０００）におけるＮＧ検査点の割合（以下、「ＮＧ検査点割合」という。）を算出した。そして、このようなＮＧ検査点割合を求める工程を、プレス荷重を１００〜２１０ｋｇｆの範囲で段階的に変更して行うことにより、ＮＧ検査点が０．０１％以下となる最小のプレス荷重（以下、「接続可能荷重」という。）を求めた。実際の回路基板の検査においては、ＮＧ検査点割合が０．０１％以下であることが必要とされており、ＮＧ検査点割合が０．０１％を超える場合には、良品の被検査回路基板を不良品と判定するおそれがあるため、回路基板について信頼性の高い電気的検査を行うことが困難である。
上記のＮＧ検査点割合を求める工程においては、ＮＧ検査点数を測定する操作が１回終了する毎に、評価用回路装置に対する加圧を解除して無加圧状態とし、その後、次のＮＧ検査点数を測定する操作を行った。その結果を下記表１に示す。
以上において、接続可能荷重が小さい値であることは、異方導電性コネクターにおける凹凸吸収能が高いことを意味する。そして、凹凸吸収能の高い異方導電性コネクターを用いることにより、回路装置に対する安定な電気的接続が小さい荷重で達成されるので、当該異方導電性コネクターおよびその他の検査装置における構成部材並びに被検査回路基板の各々に、加圧による劣化が生じることが抑制される。その結果、検査装置における各構成部材の使用寿命が長くなり、また、検査装置の構成部材として、比較的に耐久性の低いものを使用することが可能となることから、検査装置全体の製造コストの低減化を図ることができるので、好ましい。

（２）耐久性試験：
上記の検査装置をレール搬送型回路基板自動検査機「ＳＴＡＲＲＥＣ Ｖ５」の検査部に装着し、当該検査装置の検査領域に評価用回路装置を位置合わせして配置した。次いで、１３０ｋｇｆおよび１５０ｋｇｆのプレス荷重で、評価用回路装置に対して加圧操作を行い、この状態で、当該評価用回路装置について、上部側アダプター装置における電流供給用電極と下部側アダプター装置における電流供給用電極との間において１ｍＡの電流を印加しながら、上部側アダプター装置における電圧測定用電極と下部側アダプター装置における電圧測定用電極との間の電圧を測定して電気抵抗値を測定することにより、ＮＧ検査点の数を測定し、ＮＧ検査点割合を算出した。そして、このＮＧ検査点割合を求める工程を１サイクルとして、合計で３００００サイクル行った。この試験においては、ＮＧ検査点割合を求める工程が１回終了する毎に、評価用回路装置に対する加圧を解除して無加圧状態とし、その後、ＮＧ検査点割合を求める工程を行った。結果を下記表２に示す。

〔絶縁性試験〕
上記の検査装置をレール搬送型回路基板自動検査機「ＳＴＡＲＲＥＣ Ｖ５」の検査部に装着し、当該検査装置の検査領域に、縦横の寸法がそれぞれ１００ｍｍで厚みが０．８ｍｍの表面に絶縁性コーティング処理を施したガラス繊維補強型エポキシ樹脂よりなる基板を配置した。次いで、所定のプレス荷重で基板に対して加圧操作を行い、上部側アダプター装置の接続用電極対の各々における電流供給用電極と電圧測定用電極との間の電気抵抗値を測定した。そして、測定された電気抵抗値が１０ｋΩ以上となった接続用電極対（以下、「絶縁良好電極対」という。）の数を測定した。この絶縁良好電極対の数を測定する操作を合計で１０回行った後、延べ電極対数（２４００×１０＝２４０００）における絶縁良好電極対の割合（以下、「絶縁良好電極対割合」という。）を算出した。実際の回路基板の検査においては、絶縁良好電極対割合が９９％以上であることが必要とされており、絶縁良好電極対割合が９９％未満である場合には、電流供給用電極に供給される電流が電圧測定用電極にリークして不良品の被検査回路基板を良品と判定するおそれがあるため、回路基板について信頼性の高い電気的検査を行うことが困難である。そして、このような絶縁良好電極対割合を求める工程を、プレス荷重を１００〜２１０ｋｇｆの範囲で段階的に変更して行った。結果を表３に示す。

〈比較例１〉
付加型液状シリコーンゴム１００重量部に数平均粒子径が１２μｍの導電性粒子４００重量部を添加して混合した後、減圧による脱泡処理を行うことにより、導電性エラストマー用材料を調製した。
以上において、導電性粒子としては、ニッケル粒子を芯粒子とし、この芯粒子に無電解金メッキが施されてなるもの（平均被覆量：芯粒子の重量の２重量％となる量）を用いた。
次いで、他面側成形部材の成形面上に、１２０ｍｍ×１２０ｍｍの矩形の開口を有する、厚みが６０μｍの枠状のスペーサーを配置した後、スペーサーの開口内に、調製した導電性エラストマー用材料を塗布し、この導電性エラストマー用材料上に一面側成形部材をその成形面が導電性エラストマー用材料に接するよう配置した。
以上において、一面側成形部材および他面側成形部材としては、厚みが０．１ｍｍのポリエステル樹脂シートを用いた。
その後、加圧ロールおよび支持ロールよりなる加圧ロール装置を用い、一面側成形部材および他面側成形部材によって導電性エラストマー用材料を挟圧することにより、当該一面側成形部材と当該他面側成形部材との間に厚みが１００μｍの導電性エラストマー用材料層を形成した。
次いで、一面側成形部材および他面側成形部材の各々の裏面に電磁石を配置し、導電性エラストマー用材料層に対してその厚み方向に０．３Ｔの平行磁場を作用させながら、１２０℃、０．５時間の条件で導電性エラストマー用材料層の硬化処理を行うことにより、厚みが６０μｍの矩形の異方導電性エラストマーシートを製造した。
そして、異方導電性コネクターの代わりに上記の異方導電性エラストマーシートを用いたこと以外は、実施例１と同様にして上部側アダプター装置および下部側アダプター装置を製造して検査装置を作製し、この検査装置について、接続安定性試験、耐久性試験および絶縁性試験を行った。結果を表１〜表３に示す。

〈比較例２〉
付加型液状シリコーンゴム１００重量部に数平均粒子径が１２μｍの導電性粒子４００重量部を添加して混合した後、減圧による脱泡処理を行うことにより、導電性エラストマー用材料を調製した。
以上において、導電性粒子としては、ニッケル粒子を芯粒子とし、この芯粒子に無電解金メッキが施されてなるもの（平均被覆量：芯粒子の重量の２重量％となる量）を用いた。
他面側成形部材の成形面上に、１２０ｍｍ×１２０ｍｍの矩形の開口を有する、厚みが４０μｍの枠状のスペーサーを配置した後、スペーサーの開口内に、調製した導電性エラストマー用材料を塗布し、この導電性エラストマー用材料上に一面側成形部材をその成形面が導電性エラストマー用材料に接するよう配置した。
以上において、一面側成形部材および他面側成形部材としては、厚みが０．１ｍｍのポリエステル樹脂シートを用いた。
その後、加圧ロールおよび支持ロールよりなる加圧ロール装置を用い、一面側成形部材および他面側成形部材によって導電性エラストマー用材料を挟圧することにより、当該一面側成形部材と当該他面側成形部材との間に厚みが５０μｍの導電性エラストマー用材料層を形成した。
そして、一面側成形部材および他面側成形部材の各々の裏面に電磁石を配置し、導電性エラストマー用材料層に対してその厚み方向に０．３Ｔの平行磁場を作用させながら、１２０℃、０．５時間の条件で導電性エラストマー用材料層の硬化処理を行うことにより、厚みが４０μｍの矩形の異方導電性エラストマーシートを製造した。
そして、異方導電性コネクターの代わりに上記の異方導電性エラストマーシートを用いたこと以外は、実施例１と同様にして上部側アダプター装置および下部側アダプター装置を製造して検査装置を作製し、この検査装置について、接続安定性試験、耐久性試験および絶縁性試験を行った。但し、耐久性試験については、１５０ｋｇｆおよび１８０ｋｇｆのプレス荷重で行った。結果を表１〜表３に示す。

表１〜表３の結果から明らかなように、実施例１に係る異方導電性コネクターによれば、厚みが１００μｍの異方導電性エラストマーシート（比較例１）と同等の高い凹凸吸収能が得られると共に、厚みが５０μｍの異方導電性エラストマーシート（比較例２）と同等の高い分解能が得られ、更に、小さい荷重で安定な電気的接続が得られることから、検査装置に使用したときに、長い使用寿命が得られることが確認された。

本発明の複合導電性シートの一例における構成を示す説明用断面図である。 図１に示す複合導電性シートの要部を拡大して示す説明用断面図である。 複合導電性シートを製造するための積層材料の構成を示す説明用断面図である。 積層材料における金属層に開口が形成された状態を示す説明用断面図である。 積層材料における絶縁性シートに貫通孔が形成された状態を示す説明用断面図である。 複合積層材料の構成を示す説明用断面図である。 複合積層材料にレジスト膜が形成された状態を示す説明用断面図である。 複合積層材料における絶縁性シートの貫通孔に剛性導体が形成された状態を示す説明用断面図である。 複合積層材料からレジスト膜が除去された状態を示す説明用断面図である。 本発明の異方導電性コネクターの一例における構成を示す説明用断面図である。 図１０に示す異方導電性コネクターの要部を拡大して示す説明用断面図である。 第１の異方導電性エラストマーシートを製造するための一面側成形部材、他面側成形部材およびスペーサーを示す説明用断面図である。 他面側成形部材の表面に導電性エラストマー用材料が塗布された状態を示す説明用断面図である。 一面側成形部材と他面側成形部材との間に導電性エラストマー用材料層が形成された状態を示す説明用断面図である。 図１４に示す導電性エラストマー用材料層を拡大して示す説明用断面図である。 図１４に示す導電性エラストマー用材料層に対して厚み方向に磁場を作用させた状態を示す説明用断面図である。 本発明に係るアダプター装置の第１の例における構成を示す説明用断面図である。 図１７に示すアダプター装置におけるアダプター本体の構成を示す説明用断面図である。 本発明に係るアダプター装置の第２の例における構成を示す説明用断面図である。 図１９に示すアダプター装置におけるアダプター本体の構成を示す説明用断面図である。 本発明に係る回路装置の電気的検査装置の第１の例における構成を示す説明図である。 本発明に係る回路装置の電気的検査装置の第２の例における構成を示す説明図である。 本発明に係る回路装置の電気的検査装置の第３の例における構成を示す説明図である。 図２３に示す回路装置の電気的検査装置における上部側検査ヘッドの要部を拡大して示す説明用断面図である。 絶縁性基板の構成を示す説明用断面図である。 絶縁性基板の貫通孔の各々に電線が挿入された状態を示す説明用断面図である。 絶縁性基板の貫通孔の内壁面と電線の外周面との間に固定部材が形成された状態を示す説明用断面図である。 電線の先端部が研磨された状態を示す説明用断面図である。 電線の先端面に検査電極が形成された状態を示す説明用断面図である。 図２３に示す回路装置の電気的検査装置における下部側検査ヘッドの要部を拡大して示す説明用断面図である。

符号の説明

１ａ 上部側アダプター装置
１ｂ 下部側アダプター装置
２ ホルダー
３ 位置決めピン
５ 回路装置
６，７ 被検査電極
１０ 複合導電性シート
１０Ａ 複合積層材料
１０Ｂ 積層材料
１１ 絶縁性シート
１１Ｈ 貫通孔
１２ 剛性導体
１２ａ 胴部
１２ｂ 端子部
１３Ａ 金属層
１３Ｂ 金属薄層
１３Ｋ 開口
１４ レジスト膜
１４Ｈ パターン孔
１５ 異方導電性コネクター
１６ 第１の異方導電性エラストマーシート
１６Ａ 導電性エラストマー用材料層
１６Ｂ 導電性エラストマー用材料
１７ 第２の異方導電性エラストマーシート
２０ アダプター本体
２１，２１ｂ，２１ｃ 接続用電極
２１ａ 接続用電極対
２２ 端子電極
２３ 内部配線部
２５ 接続用電極領域
３０ 一面側成形部材
３１ 他面側成形部材
３２ スペーサー
３２Ｋ 開口
３３ 加圧ロール
３４ 支持ロール
３５ 加圧ロール装置
５０ａ 上部側検査ヘッド
５０ｂ 下部側検査ヘッド
５１ａ，５１ｂ 検査電極装置
５２ａ，５２ｂ 検査電極
５３ａ，５３ｂ 電線
５４ａ，５４ｂ 支柱
５５ａ，５５ｂ 異方導電性エラストマーシート
５６ａ 上部側支持板
５６ｂ 下部側支持板
５７ａ，５７ｂ コネクター
６０ａ 上部側検査ヘッド
６０ｂ 下部側検査ヘッド
６１ａ，６１ｂ 検査電極装置
６２ａ，６２ｂ 絶縁性基板
６３ａ，６３ｂ 貫通孔
６４ａ，６４ｂ 電線
６５ａ，６５ｂ 固定部材
６６ａ，６６ｂ 検査電極
７０ａ，７０ｂ 異方導電性コネクター
７１ａ，７１ｂ 第１の異方導電性エラストマーシート
７２ａ，７２ｂ 導電路形成部
７３ａ，７３ｂ 絶縁部
７５ａ，７５ｂ 第２の異方導電性エラストマーシート
７６ａ，７６ｂ 導電路形成部
７７ａ，７７ｂ 絶縁部

Claims (10)

1. それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔が形成された絶縁性シートと、この絶縁性シートの貫通孔の各々に、当該絶縁性シートの両面の各々から突出するよう配置された剛性導体とを有してなり、
   前記剛性導体の各々は、前記絶縁性シートの貫通孔に挿通された胴部の両端に、当該絶縁性シートの貫通孔の径より大きい径を有する端子部が形成されてなり、当該絶縁性シートに対してその厚み方向に移動可能とされていることを特徴とする複合導電性シート。
2. 絶縁性シートの厚み方向における剛性導体の移動可能距離が３〜１５０μｍであることを特徴とする請求項１に記載の複合導電性シート。
3. 請求項１または請求項２に記載の複合導電性シートを製造する方法であって、
   それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔が形成された絶縁性シートと、この絶縁性シートの少なくとも一面に積層された、それぞれ絶縁性シートの貫通孔に連通する複数の開口を有する易エッチング性の金属層と、前記絶縁性シートの貫通孔の内壁面および前記金属層の開口縁を覆うよう形成された易エッチング性の金属薄層とを有してなる複合積層材料を製造し、この複合積層材料に対してフォトメッキ処理を施すことにより、当該複合積層材料における絶縁性シートの貫通孔に剛性導体を形成し、その後、エッチング処理によって複合積層材料における金属層および金属薄層を除去する工程を有することを特徴とする複合導電性シートの製造方法。
4. 請求項１または請求項２に記載の複合導電性シートと、この複合導電性シートの一面に配置された第１の異方導電性エラストマーシートと、前記複合導電性シートの他面に配置された第２の異方導電性エラストマーシートとを具えてなることを特徴とする異方導電性コネクター。
5. 第１の異方導電性エラストマーシートおよび第２の異方導電性エラストマーシートの各々は、弾性高分子物質中に、磁性を示す導電性粒子が、厚み方向に並ぶよう配向して連鎖が形成された状態で、かつ、当該導電性粒子による連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなることを特徴とする請求項４に記載の異方導電性コネクター。
6. 第１の異方導電性エラストマーシートおよび第２の異方導電性エラストマーシートの各々の厚みが２０〜１００μｍであることを特徴とする請求項５に記載の異方導電性コネクター。
7. 導電性粒子の数平均粒子径が３〜２０μｍであることを特徴とする請求項５または請求項６に記載の異方導電性コネクター。
8. 表面に検査すべき回路装置における被検査電極に対応するパターンに従って複数の接続用電極が形成された接続用電極領域を有するアダプター本体と、
   このアダプター本体の接続用電極領域上に配置された、当該アダプター本体における接続用電極に対応するパターンに従って配置された複数の剛性導体を有する、請求項４乃至請求項７のいずれかに記載の異方導電性コネクターと
   を具えてなることを特徴とするアダプター装置。
9. 表面に検査すべき回路装置における被検査電極に対応するパターンに従ってそれぞれ電流供給用および電圧測定用の２つの接続用電極からなる複数の接続用電極対が形成された接続用電極領域を有するアダプター本体と、
   このアダプター本体の接続用電極領域上に配置された、当該アダプター本体における接続用電極に対応するパターンに従って配置された複数の剛性導体を有する、請求項４乃至請求項７のいずれかに記載の異方導電性コネクターと
   を具えてなることを特徴とするアダプター装置。
10. 請求項８または請求項９に記載のアダプター装置を具えてなることを特徴とする回路装置の電気的検査装置。
    
    

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