KR102511313B1 - 컨택터 어레이 및 그 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

피검사체의 패드와 검사 장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키는 컨택터 어레이에 있어서, 복수의 관통홀을 구비하는 절연성의 필름; 및 전도성 입자를 함유하고 탄성 변형 가능하도록 형성되고, 상기 관통홀 각각에 삽입되어 상기 필름의 두께 방향으로 돌출되도록 배치되는 컨택터를 포함하며, 상기 컨택터가 상기 관통홀을 통과한 상태로 고정되어 상기 컨택터와 상기 필름이 서로 일체로 형성되는 것을 특징으로 한다.

Description

컨택터 어레이 및 그 제조 방법{CONTACTOR ARRAY AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}
본 발명은 컨택터 어레이 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
반도체 소자에 대한 성능 검사 시에는 다수의 프로브 핀(예: 컨택터, 상호접속 구조체 등)이 장착된 프로브 조립체가 사용된다. 프로브 조립체에 장착되어 있는 다수의 프로브 핀은 피검사체의 패드에 접촉하면서 전기를 보내고, 돌아오는 신호에 따라 피검사체의 불량 패드를 선별하게 된다.
다수의 프로브 핀은 포고 핀(Pogo pin) 등을 사용하고 있으며, 탄성력에 의해 피검사체 패드의 단자와의 접촉을 보장하면서 전기적으로 검사 신호를 전달할 수 있다. 종래에는, 개별적으로 포고 핀 등의 프로브 핀을 제작하고, 제작된 프로브 핀을 베이스 부재 등에 조립하여 하나의 조립체를 제조하는 복잡한 과정이 필요하다.
한편, 이러한 조립체 구성과 다르게, 선행기술인 한국등록특허공보 제756120호는 하나의 탄성체로 이루어진 프로브 부재를 개시하였고, 전술한 조립 과정이 생략될 수 있다. 선행기술에 개시된 프로브 부재는 도전성 입자가 함유된 복수의 접속용 도전부가 일 방향으로 정렬된 하나의 탄성체로 구성된다.
다만, 이러한 탄성체 구조의 경우, 이웃하는 프로브 핀 간에 힘과 변위가 전달될 수 있고, 전기 신호의 간섭이 일어날 가능성도 있다. 예를 들어, 피검사체와 접촉하여 검사를 진행하는 과정에서 이웃하는 프로브 핀 간에 전기 또는 열이 통하는 등 서로 간의 간섭으로 검사의 정확성이 저하될 수 있다.
따라서, 종래 기술에 따른 프로브 부재는 정확한 접촉을 보장하는데 문제점, 핀마다 개별적인 오버 드라이브를 정확하게 구현하기 어려운 문제점 등이 있다. 나아가, 하나의 탄성체 구조로는 핀에 해당하는 부위만을 길게, 핀과 핀 사이의 간격(피치)을 좁게 형성하기 어려운 문제점 등이 있다.
한국등록특허공보 제756120호 (2007. 8. 30. 등록)
본 발명은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 컨택터 간의 피치를 미세화하면서도 컨택터 상호간 절연이 보장될 수 있는 컨택터 어레이 및 그 제조 방법을 제공하고자 한다.
또한, 컨택터 간의 피치를 미세화하면서도 각 컨택터가 개별적으로 정확하게 동작할 수 있고, 상호간 열 팽창이나 위치 변화에 의한 간섭이 억제될 수 있는 컨택터 어레이 및 그 제조 방법을 제공하고자 한다.
또한, 컨택터의 지지 및 조립을 위한 구성요소를 최소화하여, 경제성 및 경량화를 달성할 수 있는 컨택터 어레이 및 그 제조 방법을 제공하고자 한다.
또한, 컨택터의 길이를 길게 형성하면서 컨택터 간의 피치를 미세화할 수 있도록 구성되는 컨택터 어레이 및 그 제조 방법을 제공하고자 한다.
다만, 본 실시예가 이루고자 하는 기술적 과제는 상기된 바와 같은 기술적 과제들로 한정되지 않으며, 또 다른 기술적 과제들이 존재할 수 있다.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 수단으로서, 본 발명의 일 실시예는, 피검사체의 패드와 검사 장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키는 컨택터 어레이에 있어서, 복수의 관통홀을 구비하는 절연성의 필름; 및 전도성 입자를 함유하고 탄성 변형 가능하도록 형성되고, 상기 관통홀 각각에 삽입되어 상기 필름의 두께 방향으로 돌출되도록 배치되는 컨택터를 포함하며, 상기 컨택터가 상기 관통홀을 통과한 상태로 고정되어 상기 컨택터와 상기 필름이 서로 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는, 컨택터 어레이를 제공 할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예는, 피검사체의 패드와 검사 장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키는 컨택터 어레이를 제조하는 방법에 있어서, 관통홀이 형성되어 있는 필름과 상기 관통홀에 대응하는 수용부를 구비하는 몰드를 서로 정렬시키는 단계; 상기 수용부에 전도성 입자가 함유된 액상의 컨택터를 채우는 단계; 상기 수용부에 대응하는 위치에 자성체 패드가 형성된 자력 집중 부재를 상기 몰드에 정렬시키는 단계; 기설정된 압력 및 온도 조건에서 상기 컨택터를 경화시키는 단계; 및 상기 몰드로부터 상기 필름 및 상기 컨택터가 일체로 형성된 컨택터 어레이를 분리하는 단계를 포함하는, 컨택터 어레이를 제조하는 방법을 제공할 수 있다.
상술한 과제 해결 수단은 단지 예시적인 것으로서, 본 발명을 제한하려는 의도로 해석되지 않아야 한다. 상술한 예시적인 실시예 외에도, 도면 및 발명의 상세한 설명에 기재된 추가적인 실시예가 존재할 수 있다.
전술한 본 발명의 과제 해결 수단 중 어느 하나에 의하면, 컨택터 간의 피치를 미세화하면서도 컨택터 상호간 절연이 보장될 수 있는 컨택터 어레이 및 그 제조 방법을 제공할 수 있다.
또한, 컨택터 간의 피치를 미세화하면서도 각 컨택터가 개별적으로 정확하게 동작할 수 있고, 상호간 열 팽창이나 위치 변화에 의한 간섭이 억제될 수 있는 컨택터 어레이 및 그 제조 방법을 제공할 수 있다.
또한, 컨택터의 지지 및 조립을 위한 구성요소를 최소화하여, 경제성 및 경량화를 달성할 수 있는 컨택터 어레이 및 그 제조 방법을 제공할 수 있다.
또한, 컨택터의 길이를 길게 형성하면서 컨택터 간의 피치를 미세화할 수 있도록 구성되는 컨택터 어레이 및 그 제조 방법을 제공할 수 있다.
도 1 및 도 2는 본 발명에 따른 컨택터 어레이의 실시예들을 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 컨택터 어레이의 제조 방법을 도시한 도면이다.
도 4 내지 도 8은 도 3에 도시한 컨택터 어레이의 제조 방법의 각 단계를 도시한 도면이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미하며, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 일 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 1 및 도 2는 본 발명에 따른 컨택터 어레이의 실시예들을 도시한 도면이다. 본 발명에 따른 컨택터 어레이(100)는 검사 장치의 패드와 피검사체의 패드를 서로 전기적으로 접속시키는 구조체이며, 프로브 핀을 포함할 수 있다.
도 1을 참조하면, 컨택터 어레이(100)는 필름(110) 및 컨택터(120)를 포함할 수 있다. 본 발명에 따른 컨택터 어레이(100)는 절연성의 필름(110)에 복수의 컨택터(120)를 두께 방향으로 연장되는 핀 형태로 나열하여 필름(110)과 일체형으로 형성되는 것을 특징으로, 각 컨택터(120)가 개별적으로 정확하게 동작할 수 있고 상호간 간섭 및 열 팽창이 억제될 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 컨택터 어레이(100)는 지지 및 조립을 위한 구성요소를 최소화하여, 경제성 및 경량성을 달성할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 필름(110)은 복수의 관통홀(111)을 구비할 수 있다. 예를 들어, 필름(110)은 복수의 관통홀(111)에 복수의 컨택터(120)를 각각 수용할 수 있다. 필름(110)은 복수의 관통홀(111)에 수용된 복수의 컨택터(120)와 일체화되어 컨택터 어레이(100)를 형성할 수 있다.
필름(110)은 컨택터(120)에 비하여 열팽창 계수가 작은 재질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 필름(110)은 폴리이미드(polyimide) 재질로 이루어질 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 컨택터 어레이(100)는 열팽창 계수가 작은 폴리이미드 재질의 필름(110)에 복수의 컨택터(120)가 나열될 수 있다. 폴리이미드 재질의 필름(110)은 열에 대한 수축 또는 팽창에 따른 위치 변형이 적어 정렬이 틀어지는 것(Mis-Align)을 방지할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 컨택터(120)는 전도성 입자를 함유하고 탄성 변형 가능하도록 형성되고, 관통홀(111) 각각에 삽입되어 필름(110)의 두께 방향으로 돌출되도록 배치될 수 있다.
컨택터(120)는 전도성 입자를 함유하는 실리콘(silicone)을 포함하는 재질로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 컨택터(120)는 다양한 종류의 고분자 물질을 포함할 수 있다. 컨택터(120)는 실리콘, 폴리부타디엔, 폴리이소프렌, SBR, NBR 등 및 그들의 수소화합물과 같은 디엔형 고무로 형성될 수 있고, 또한, 스티렌부타디엔 블럭코폴리머, 스티렌이소프렌 블럭코폴리머 등 및 그들의 수소 화합물과 같은 블럭코폴리머로 이루어질 수도 있다. 또한, 컨택터(120)는 클로로프렌, 우레탄 고무, 폴리에틸렌형 고무, 에피클로로히드린 고무, 에틸렌-프로필렌 코폴리머, 에틸렌프로필렌디엔 코폴리머 등의 재질로 이루어질 수 있다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 컨택터(120)는 제1 탄성부(122) 및 제2 탄성부(123)를 포함하도록 구성할 수 있다. 제1 탄성부(122)는 관통홀(111)을 관통하도록 배치될 수 있고, 제2 탄성부(123)는 제1 탄성부(122)에 두께 방향으로 연결될 수 있다. 본 발명에 따른 컨택터(120)는 제1 탄성부(122)와 제2 탄성부(123)의 두께 방향에서 바라본 단면 형상이 상이한 것을 특징으로 할 수 있다.
예를 들어, 제2 탄성부(123)의 두께 방향에서 바라본 단면 형상은 제1 탄성부(122)의 두께 방향에서 바라본 단면 형상보다 작게 설계할 수 있다. 양 단부에 배치된 제2 탄성부(123)는 피검사체 또는 검사 장치의 패드에 접촉되므로, 상대적으로 직경을 작게, 즉, 단면 형상을 작게 형성하여 미세 피치의 패드에 대응시킬 수 있다.
구체적으로, 양 단부에 배치된 제2 탄성부(123)는 중심부에 배치된 제1 탄성부(122)에 비해 직경을 작게 설계함으로써, 주변 부품과의 간섭을 피할 수 있고, 인접한 핀 간의 누설 전류를 최소화할 수 있다. 반면, 관통홀(111)을 관통하도록 중심부에 배치된 제1 탄성부(122)는 상대적으로 직경을 크게, 즉 넓은 단면적을 가지도록 형성하여 피검사체 패드와 검사체 패드 간의 전기적인 접속에 대한 접촉 불안정을 해소시킬 수 있다. 본 발명에 따른 컨택터(120)는 미세 피치의 패드에 대응함과 동시에 테스트 시 요구되는 전기 전도도 또한 확보할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 탄성부(122)에 두께 방향으로 연결되는 제2 탄성부(123)는, 제1 탄성부(122)와 경도(hardness), 탄성율(Young's modulus) 및 비저항(resistivity)을 포함하는 물리적 성질 중 적어도 하나가 서로 다르도록 구성할 수 있다. 예를 들어, 컨택터(120)는 각 패드의 단자와 직접적으로 접촉되는 양 단부에 입자의 크기가 작은 제2 탄성부(123)를 배치하고, 입자의 크기가 큰 제1 탄성부(122)를 제2 탄성부(123) 사이에 개재하여, 테스트 시 각 부위에 요구되는 경도, 탄성율 및 전기 전도도 등을 모두 확보할 수 있다.
즉, 본 발명에 따른 컨택터(120)는 피검사체 패드의 단자 및 검사 장치 패드의 단자와 직접적으로 접촉하는 제2 탄성부(123)의 경도 및 탄성율을 제2 탄성부(123) 사이에 개재된 제1 탄성부(122)보다 높일 수 있도록 설계하여, 테스트 동작의 정밀도를 향상시킬 뿐만 아니라, 반복적인 사용으로 인한 양 단부의 변형이나 손상 등을 방지할 수 있다.
또한, 제1 탄성부(122) 및 제2 탄성부(123)에 각 포함된 전도성 입자는 재질 및 크기 중 적어도 하나가 서로 다를 수 있다. 예를 들어, 전도성 입자는 강자성체인 철, 구리, 아연, 크롬, 니켈, 은, 코발트, 알루미늄 등과 같은 단일 도전성 금속재 또는 이들 금속재료 둘 이상의 합금재로 이루어질 수 있다. 또한, 전도성 입자는 코어 금속의 표면을 전도성이 뛰어난 금, 은, 로듐, 파라듐, 백금 또는 은과 금, 음과 로듐, 은과 파라듐 등과 같은 금속으로 코팅하는 방법으로 제조될 수도 있다. 나아가, 전도성 입자는, 전도성 향상을 위하여, MEMS 팁(tip). 플레이크(flake), 선재, 탄소나노튜브(CNT, carbon nanotube), 그래핀(graphene) 등을 더 포함할 수 있다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 컨택터 어레이(100')는 컨택터(120)가 두께 방향으로 돌출되는 높이(h)는 컨택터(120)가 반복하여 배치되는 간격(d)보다 큰 값을 가질 수 있다. 예를 들어, 도 2에 도시된 컨택터 어레이(100')는 필름(110)에 일 방향으로 나열된 복수의 컨택터(120)가 필름(110)으로부터 돌출되는 높이(h)에 길이감을 가지도록 형성하여 각 단자와의 안정적인 접촉을 확보할 수 있다. 또한, 컨택터 어레이(100')는 필름(110)에 일 방향으로 나열된 복수의 컨택터(120)간의 배치 간격(d)은 최소화하여 각 단자의 미세피치에 대응할 수 있다. 이와 같이, 본 발명에 따른 컨택터 어레이(100')는 컨택터(120)의 길이를 길게 형성하면서 컨택터(120) 간의 피치를 미세화할 수 있다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 컨택터 어레이(100, 100')는 컨택터(120)가 관통홀(111)을 통과한 상태로 고정되어 컨택터(120)와 필름(110)이 서로 일체로 형성될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 컨택터 어레이(100, 100')는 컨택터(120)의 지지 및 조립을 위한 구성요소를 최소화하여 경제성 및 경량화를 달성할 수 있다. 이하, 도 3을 참조하여 도 1 및 도 2에 도시된 본 발명에 따른 컨택터 어레이(100, 100')의 제조 방법을 살펴보도록 한다.
도 3은 본 발명에 따른 컨택터 어레이의 제조 방법을 도시한 도면이고, 도 4 내지 도 8은 도 3에 도시한 컨택터 어레이의 제조 방법의 각 단계를 도시한 도면이다. 도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 컨택터 어레이를 제조하는 방법(S100)은 단계 S110에서 필름(110)과 몰드(210)를 서로 정렬시킬 수 있고, 단계 S120에서 수용부(211)에 액상의 컨택터(120)를 채울 수 있다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 필름(110)과 몰드(210)를 서로 정렬시키는 단계(S110)는 관통홀(111)이 형성되어 있는 필름(110)과 관통홀(111)에 대응하는 수용부(211)를 구비하는 몰드(210)를 서로 정렬시킬 수 있다. 예를 들어, 필름(110)의 관통홀(111)과 몰드(210)의 수용부(211)를 서로 대응시켜 필름(110)과 몰드(210)를 정렬시킬 수 있다. 여기서, 몰드(210)는 자성이 없는 금속이나 수지로 이루어질 수 있다. 일 예로, 알루미늄(Al) 및 토론(Torlon) 등을 포함할 수 있다.
필름(110)과 몰드(210)를 서로 정렬시키는 단계(S110)는 복수의 플레이트(212)를 적층하여 수용부(211)를 형성할 수 있다. 예를 들어, 수용부(211)를 구비한 각 플레이트(212)를 여러 층으로 적층하여 컨택터(120)의 길이감을 형성할 수 있다.
즉, 본 발명에 따른 컨택터(120)는 길이가 긴 형상을 용이하게 제조할 수 있도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 다층의 플레이트(212)를 적층함으로써 컨택터(120)의 길이를 늘려 나감으로써, 단면적은 미세하게 유지하면서 길이가 긴 형상의 컨택터(120)를 효과적으로 제조할 수 있다.
따라서, 본 발명에 따른 컨택터 어레이(100)는 소형화 추세에 대응하면서도 테스트 동작의 정밀도를 향상시킬 수 있고, 반복적인 사용으로 인한 형상의 변형이나 손상 등을 방지할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따라, 복수의 플레이트(212)를 적층하여 형성하는 수용부(211)의 높이는 이웃하는 수용부(211)와의 간격보다 큰 값을 가질 수 있다. 예를 들어, 복수의 컨택터(120)는 수용부(211)의 높이에 대응하여 길이감을 가질 수 있고, 이웃하는 수용부(211)와의 간격에 따라 컨택터(120) 간의 간격을 최소화할 수 있다.
단계 S120에서 수용부(211)에 전도성 입자(121)가 함유된 액상의 컨택터(120)를 채울 수 있다. 예를 들어, 필름(110)을 개재한 복수의 플레이트(212)의 수용부(211)에 액상의 컨택터(120)를 채워 넣을 수 있다. 액상의 컨택터(120)를 채우는 단계(S120)는 복수의 플레이트(212)를 순차적으로 적층하는 것과 번갈아가며 수행될 수 있다. 예를 들어, 한 층의 플레이트(212)의 수용부(211)에 액상의 컨택터(120)를 채운 후, 다음 층의 플레이트(212)를 적층하고 해당 층의 수용부(211)에 액상의 컨택터(120)를 채울 수 있다.
도 6을 참조하면, 컨택터 어레이를 제조하는 방법(S100)은 단계 S130에서 자력 집중 부재(220)를 정렬시킬 수 있다. 자력 집중 부재(220)를 정렬시키는 단계(S130)는 수용부(211)에 대응하는 위치에 자성체 패드(221)가 형성된 자력 집중 부재(220)를 몰드(210)에 정렬시킬 수 있다. 자력 집중 부재(220)는 일정 간격을 두고 복수의 자성체 패드(221)를 포함할 수 있다. 여기서, 자성체 패드(221)는, 일 예로, 니켈(Ni), 니켈-코발트 합금(NiCo) 및 철(Fe) 등과 같은 자성체 금속으로 이루어질 수 있다. 이때, 자력 집중 부재(220)는 약자성체 재질로 형성함으로써, 자성체 패드(221)에 자력이 집중되도록 유도할 수 있다.
도 7을 참조하면, 컨택터 어레이를 제조하는 방법(S100)은 단계 S140에서 기설정된 압력 및 온도 조건에서 컨택터(120)를 경화시킬 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 컨택터(120)는 관통홀(111)에 삽입된 상태로 상 변화에 의하여 경화되어 필름(110)과 일체로 형성될 수 있다.
예를 들어, 컨택터(120)는 수용부(211)에 채워질 때 적어도 일부분이 액체 상일 수 있고, 수용부(211) 내에서 수용부(211) 및 필름(110)과 접촉되면서 그 형태가 고정될 수 있다. 이후, 컨택터(120)는 고체 상으로 상 변화가 일어날 수 있고, 점성(viscosity)이 증가되고 경화될 수 있다. 컨택터(120)는 필름(110)과 일체로 직접 접합된 구조체를 형성할 수 있다.
즉, 본 발명에 따른 컨택터 어레이(100)는 컨택터(120)와 필름(110)이 서로 결합되어 일체로 이루어질 수 있고, 접착 물질 또는 체결 부품 등을 포함하는 결합을 위한 매개물 없이 일체로 형성될 수 있다.
실시예에 따라, 컨택터(120)는 외부의 압력에 의해 필름(110)과 일체로 결합되는 형상으로 경화될 수 있고, 컨택터(120)는 외부에서 가해지는 열에 의해 필름(110)과 일체로 결합될 수 있다. 다만, 추가로 열이나 압력을 가하지 않더라도, 기설정된 온도 및 압력 범위에서 필름(110)과 접촉 상태를 유지하면서 경화되도록 할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따라, 자력 집중 부재(220)에 의하여 열 및 압력 중 적어도 하나가 컨택터(120)에 가해질 수 있다. 예를 들어, 컨택터(120)를 경화시키는 단계(S140)는 자성체 패드(221)에 의하여 수용부(211)가 폐쇄되도록 자력 집중 부재(220)가 몰드(210)에 밀착될 수 있다. 수용부(211)에 액상의 컨택터(120)가 채워진 몰드(210)의 상단과 하단에 자력 집중 부재(220)를 밀착시킬 수 있다. 자성체 패드(221)는 컨택터 어레이(100)의 자력을 집중시키기 위함이다.
도 8을 참조하면, 컨택터 어레이를 제조하는 방법(S100)은 단계 S150에서 필름(110)과 컨택터(120)가 일체로 형성된 컨택터 어레이(100)를 분리할 수 있다. 컨택터 어레이(100)를 분리하는 단계(S150)는 몰드(210)로부터 필름(110) 및 컨택터(120)가 일체로 형성된 컨택터 어레이(100)를 분리할 수 있다.
예를 들어, 단계 S150에서, 먼저, 몰드(210)에 밀착된 자력 집중 부재(220)를 몰드(210)로부터 분리할 수 있다. 이 후, 필름(110)과 일체로 형성된 컨택터 어레이(100)를 몰드(210)로부터 분리할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따라, 적층된 복수의 플레이트(212)를 한 층씩 제거함으로써 제조가 완료된 컨택터 어레이(100)에 손상이 가지 않게 몰드(210)로부터 분리시킴과 동시에 보다 쉽게 컨택터 어레이(100)를 몰드(210)로부터 분리시킬 수 있다.
상술한 설명에서, 단계 S110 내지 S150은 본 발명의 구현 예에 따라서, 추가적인 단계들로 더 분할되거나, 더 적은 단계들로 조합될 수 있다. 또한, 일부 단계는 필요에 따라 생략될 수도 있고, 단계 간의 순서가 전환될 수도 있다.
전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
100: 컨택터 어레이
110: 필름
120: 컨택터
210: 몰드
220: 자력 집중 부재

Claims (12)

  1. 피검사체의 패드와 검사 장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키는 컨택터 어레이에 있어서,
    복수의 관통홀을 구비하는 절연성의 필름; 및
    전도성 입자를 함유하고 탄성 변형 가능하도록 형성되고, 상기 관통홀 각각에 삽입되어 상기 필름의 두께 방향으로 돌출되도록 배치되는 컨택터를 포함하며,
    상기 컨택터가 상기 관통홀을 통과한 상태로 고정되어 상기 컨택터와 상기 필름이 서로 일체로 형성되고,
    상기 컨택터는,
    상기 관통홀을 관통하도록 배치되는 제1 탄성부; 및
    상기 제1 탄성부의 양단부에 상기 두께 방향으로 연결되고, 상기 두께 방향에서 바라본 단면 형상이 상기 제1 탄성부와 상이한 제2 탄성부를 구비하고,
    상기 제1 탄성부의 직경에 비해 상기 제2 탄성부의 직경이 작게 형성되는 것을 특징으로 하는, 컨택터 어레이.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 컨택터는 상기 관통홀에 삽입된 상태로 상 변화에 의하여 경화되어 상기 필름과 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는, 컨택터 어레이.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 필름은 상기 컨택터에 비하여 열팽창 계수가 작은 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는, 컨택터 어레이.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 필름은 폴리이미드(polyimide) 재질로 이루어지고,
    상기 컨택터는 상기 전도성 입자를 함유하는 실리콘(silicone)을 포함하는 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는, 컨택터 어레이.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 컨택터가 상기 두께 방향으로 돌출되는 높이는 상기 컨택터가 반복하여 배치되는 간격보다 큰 값을 가지는 것을 특징으로 하는, 컨택터 어레이.
  6. 삭제
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 탄성부와 상기 제2 탄성부는 경도, 탄성율 및 비저항을 포함하는 물리적 성질 중 적어도 하나가 서로 다른 것인, 컨택터 어레이.
  8. 피검사체의 패드와 검사 장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키는 컨택터 어레이를 제조하는 방법에 있어서,
    관통홀이 형성되어 있는 필름과 상기 관통홀에 대응하는 수용부를 구비하는 몰드를 서로 정렬시키는 단계;
    상기 수용부에 전도성 입자가 함유된 액상의 컨택터를 채우는 단계;
    상기 수용부에 대응하는 위치에 자성체 패드가 형성된 자력 집중 부재를 상기 몰드에 정렬시키는 단계;
    기설정된 압력 및 온도 조건에서 상기 컨택터를 경화시키는 단계; 및
    상기 몰드로부터 상기 필름 및 상기 컨택터가 일체로 형성된 컨택터 어레이를 분리하는 단계를 포함하고,
    상기 컨택터는,
    상기 관통홀을 관통하도록 배치되는 제1 탄성부; 및
    상기 제1 탄성부의 양단부에 상기 필름의 두께 방향으로 연결되고, 상기 필름의 두께 방향에서 바라본 단면 형상이 상기 제1 탄성부와 상이한 제2 탄성부를 구비하고,
    상기 제1 탄성부의 직경에 비해 상기 제2 탄성부의 직경이 작게 형성되는 것인, 컨택터 어레이를 제조하는 방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 몰드를 정렬시키는 단계에서는, 복수의 플레이트를 적층하여 상기 수용부를 형성하는 것을 특징으로 하는, 컨택터 어레이를 제조하는 방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 복수의 플레이트를 적층하여 형성하는 상기 수용부의 높이는 이웃하는 수용부와의 간격보다 큰 값을 갖는 것을 특징으로 하는, 컨택터 어레이를 제조하는 방법.
  11. 제 9 항에 있어서,
    상기 컨택터를 채우는 단계는, 상기 복수의 플레이트를 순차적으로 적층하는 것과 번갈아가며 수행되는 것을 특징으로 하는, 컨택터 어레이를 제조하는 방법.
  12. 제 8 항에 있어서,
    상기 컨택터를 경화시키는 단계에서는, 상기 자력 집중 부재에 의하여 열 및 압력 중 적어도 하나가 탄성부에 가해지는 것을 특징으로 하는, 컨택터 어레이를 제조하는 방법.
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