KR20170108655A - 검사용 소켓 및 검사용 소켓의 제조방법 - Google Patents

검사용 소켓 및 검사용 소켓의 제조방법 Download PDF

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KR20170108655A
KR20170108655A KR1020160032916A KR20160032916A KR20170108655A KR 20170108655 A KR20170108655 A KR 20170108655A KR 1020160032916 A KR1020160032916 A KR 1020160032916A KR 20160032916 A KR20160032916 A KR 20160032916A KR 20170108655 A KR20170108655 A KR 20170108655A
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Abstract

본 발명은 검사용 소켓 및 검사용 소켓의 제조방법에 대한 것으로서, 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 연결하기 위한 검사용 소켓에 있어서, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 상부전극이 마련되어 있는 상부필름을 포함하는 상부 시트형 커넥터; 상기 상부 시트형 커넥터의 하측에 배치되어 있으며 상기 상부 시트형 커넥터와 이격되어 있는 하부 시트형 커넥터로서, 상기 검사장치의 패드와 대응되는 위치마다 하부전극이 마련되어 있는 하부필름을 포함하는 하부 시트형 커넥터; 상기 상부 시트형 커넥터와 상기 하부 시트형 커넥터의 사이에 배치되며, 절연성 소재로 이루어지고 탄성을 가지는 절연성 탄성시트; 및 상기 절연성 탄성시트 내에 배치되어 있으며 상기 상부전극과 상기 하부전극을 서로 전기적으로 접속시키는 도전성 와이어를 포함하는 검사용 소켓 및 검사용 소켓의 제조방법에 대한 것이다.

Description

검사용 소켓 및 검사용 소켓의 제조방법{Test socket and fabrication method thereof}
본 발명은 검사용 소켓 및 검사용 소켓의 제조방법에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 반복적인 검사시에도 도전성 와이어의 탄성력이 저하되지 않고, 소켓 전체의 전기적 특성이 그대로 유지될 수 있는 검사용 소켓 및 검사용 소켓의 제조방법에 대한 것이다.
일반적으로 웨이퍼의 불량여부를 검사하기 위한 장치로서 검사용 소켓이 사용되는데, 이러한 검사용 소켓은 기판상에 다수의 와이어를 와이어 본딩기술을 이용하여 접합시켜 제작되는데, 이때 와이어는 매우 가늘고 긴 금속소재로 이루어지지게 된다.
각각의 와이어는 대부분이 개별적으로 동작되고 와이어의 굴곡을 이용하여 탄성을 부여하도록 설계되어 있게 된다. 즉, 웨이퍼에 접촉시 탄성적으로 변형되는 것에 의하여 웨이퍼에 확실하게 접촉될 수 있도록 구성된다.
이러한 종래기술의 검사용 소켓은 각각의 와이어가 탄성을 가지면서도 검사가 완료된 후에는 확실하게 복원이 될 수 있도록 하기 위하여 그 표면에 소정의 도금층을 형성하는 공정을 수행하게 된다. 이와 같이 얇은 와이어에 도금공정을 수행하는 것을 쉽지 않을 뿐 아니라, 빈번하여 검사를 수행하는 경우에는 와이어 표면에 형성된 도금층이 탈락되는 것에 의하여 탄성흡수능력이 저하되는 문제점이 있었다.
이와 같이 탄성흡수능력이 저하되는 경우에는 탄성변형된 후에 원래 상태로 복원이 되지 않아 웨이퍼 상에 확실하게 접촉되기 어렵게 되고 이는 전체적인 검사의 신뢰성을 저하시키는 요인이 되고 있다.
또한 와이어에 의하여 의존되어 웨이퍼에 접촉되는 경우에는 빈번한 사용과정에서 와이어의 위치가 최초 위치로부터 이탈되는 경우가 발생하게 되는데, 그 결과 와이어가 웨이퍼 상의 소정 위치에 접촉하지 못하게 되는 문제점도 있게 된다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 반복적인 검사시에도 도전성 와이어의 탄성력이 저하되지 않고, 소켓 전체의 전기적 특성이 그대로 유지될 수 있는 검사용 소켓 및 검사용 소켓의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 소켓은, 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 연결하기 위한 검사용 소켓에 있어서,
상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 상부전극이 마련되어 있는 상부필름을 포함하는 상부 시트형 커넥터;
상기 상부 시트형 커넥터의 하측에 배치되어 있으며 상기 상부 시트형 커넥터와 이격되어 있는 하부 시트형 커넥터로서, 상기 검사장치의 패드와 대응되는 위치마다 하부전극이 마련되어 있는 하부필름을 포함하는 하부 시트형 커넥터;
상기 상부 시트형 커넥터와 상기 하부 시트형 커넥터의 사이에 배치되며, 절연성 소재로 이루어지고 탄성을 가지는 절연성 탄성시트; 및
상기 절연성 탄성시트 내에 배치되어 있으며 상기 상부전극과 상기 하부전극을 서로 전기적으로 접속시키는 도전성 와이어를 포함한다.
상기 검사용 소켓에서,
상기 도전성 와이어는 상기 상부전극의 하면과 상기 하부전극의 하면에 접합되어 있으며, 상단부터 하단까지 직선형태를 가질 수 있다.
상기 검사용 소켓에서,
상기 도전성 와이어는 상기 상부전극의 하면과 상기 하부전극의 하면에 접합되어 있으며, 상기 도전성 와이어는 적어도 일부가 곡선형태로 구부려질 수 있다.
상기 검사용 소켓에서,
상기 상부전극의 상면에는 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 분포되어 있는 탄성전극이 마련될 수 있다.
상기 검사용 소켓에서,
상기 상부전극에는 다수의 요철이 상부에 형성되어 있으며, MEMS 제조방법에 의하여 제조된 접촉전극이 부착될 수 있다.
상기 검사용 소켓에서,
상기 상부전극의 사이에는 상기 상부필름과 상기 절연성 탄성시트를 V자 형태로 절개하여 형성한 절개부가 마련될 수 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 소켓의 제조방법은, 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 상기 피검사 디바이스의 단자와 상기 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키기 위한 검사용 소켓의 제조방법으로서,
(a) 상기 검사장치의 패드와 대응되는 위치마다 하부전극이 마련되어 있는 하부필름을 포함하는 하부 시트형 커넥터를 마련하는 단계;
(b) 상기 하부전극의 상면으로부터 상측으로 세워지도록 상기 하부전극에 도전성 와이어를 부착시키는 단계;
(c) 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 상부전극이 마련되어 있는 상부필름을 포함하는 상부 시트형 커넥터를 마련하는 단계;
(d) 상기 상부전극의 하면에 상기 도전성 와이어를 부착시키는 단계;
(e) 상기 상부 시트형 커넥터, 상기 하부 시트형 커넥터 및 도전성 와이어를 금형 내에 삽입한 후에, 상기 상부 시트형 커넥터와 상기 하부 시트형 커넥터의 사이에 액상 탄성 절연물질을 주입하는 단계; 및
(f) 상기 액상 탄성 절연물질을 경화시키는 단계를 포함한다.
상기 검사용 소켓의 제조방법에서,
상기 (c) 단계와 (d) 단계의 사이에는
(c-1) 상기 상부전극이 상기 도전성 와이어를 가압하여 도전성 와이어의 적어도 일부를 곡선형으로 구부리는 단계가 더 포함될 수 있다.
상기 검사용 소켓의 제조방법에서,
상기 (f) 단계 후에는,
(g) 상부전극들의 사이에 상기 상부필름과 상기 절연성 탄성시트를 V자 형태로 절개하여 절개부를 마련하는 단계가 더 포함될 수 있다.
상기 검사용 소켓의 제조방법에서,
상기 상부전극의 상면에는 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 분포되어 있는 탄성전극이 마련될 수 있다.
상기 검사용 소켓의 제조방법에서,
상기 상부전극에는 다수의 요철이 상부에 형성되어 있으며, MEMS 제조방법에 의하여 제조된 접촉전극이 부착될 수 있다.
본 발명은 도전성 와이어가 절연성 탄성시트 내부에 배치되어 있어서 절연성 탄성시트가 탄성기능을 수행하게 되어 장기간 사용하여도 도전성 와이어의 탄성 기능이 저하되지 않는 장점이 있다.
또한 도전성 와이어는 상부필름과 하부필름에 지지된 상부전극과 하부전극에 각각 접합되어 있어서 빈번하게 사용하더라도 도전성 와이어의 위치가 변경되는 일이 없어서 검사의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 소켓을 나타내는 도면.
도 2는 도 1의 작동도.
도 3 내지 도 6은 도 1의 검사용 소켓의 제조방법을 나타내는 도면.
도 7 내지 도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사용 소켓을 나타내는 도면.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 소켓을 첨부된 도면을 참조하면서 상세하게 설명하겠다.
본 발명에 따른 검사용 소켓(100)은, 피검사 디바이스(160)와 검사장치(170)의 사이에 배치되어 피검사 디바이스(160)의 단자(161)와 검사장치(170)의 패드(171)를 서로 전기적으로 연결하기 위한 것이다. 이러한 검사용 소켓(100)은 상부 시트형 커넥터(110), 하부 시트형 커넥터(120), 절연성 탄성시트(130) 및 도전성 와이어(140)를 포함한다.
상기 상부 시트형 커넥터(110)는, 상기 피검사 디바이스(160)의 단자(161)와 대응되는 위치마다 상부전극(111)이 마련되어 있는 상부필름(112)을 포함하는 것이다. 이러한 상부 시트형 커넥터(110)는 주변부가 프레임에 의하여 고정되어 있어서 상부 시트형 시트가 좌우로 이동하는 것을 억제한다.
한편, 상기 상부전극(111)은 상기 상부필름(112)에 지지된 상태에서 그 상면이 상기 피검사 디바이스(160)의 단자(161)에 접촉되고 하면은 도전성 와이어(140)에 접속되어 피검사 디바이스(160)의 단자(161)와 도전성 와이어(140) 간의 전기적 흐름을 가능하게 하는 것이다. 이러한 상부전극(111)은 상부필름(112)에 마련된 관통공에 끼워져서 지지되어 있게 되는 것이다.
이러한 상부전극(111)으로는 니켈, 구리, 은, 팔라듐, 철 등을 사용할 수 있고, 전체가 단일 금속으로 이루어지는 것일 수도 있고, 2종 이상의 금속의 합금으로 이루어지는 것 또는 2종 이상의 금속이 적층된 것일 수도 있다. 또한, 상부전극(111)에서의 상면 또는 하면은 해당 상부전극(111)의 산화가 방지되는 동시에 접촉 저항이 작은 상부전극(111)이 얻어지는 점에서, 금, 은, 팔라듐 등의 화학적으로 안정하고 높은 도전성을 갖는 금속에 의해 형성되어 있는 것이 바람직하다.
상기 상부필름(112)은 주변부가 프레임(미도시)에 고정되어 위치가 유지되고, 상부필름(112)에서 피검사 디바이스(160)의 단자(161)와 대응되는 위치마다 관통공이 형성되어 있는 것이다. 이러한 상부필름(112)의 하면에는 절연성 탄성시트(130)가 일체화되어 부착되어 있게 된다.
이러한 상부필름(112)을 구성하는 재료로서는, 액정 폴리머, 폴리이미드 수지, 폴리에스테르 수지, 폴리아라미드 수지, 폴리아미드 수지 등의 수지 재료, 글래스 섬유 보강형 에폭시 수지, 글래스 섬유 보강형 폴리에스테르 수지, 글래스 섬유 보강형 폴리이미드 수지 등의 섬유 보강형 수지 재료, 에폭시 수지 등에 알루미나, 붕소 나이트라이드 등의 무기 재료를 필러로서 함유한 복합 수지 재료 등을 이용할 수 있다.
또한, 상부 시트형 커넥터(110)를 고온 환경 하에서 사용할 경우에는, 상부필름(112)으로서, 선열팽창 계수가 3×10-5/K 이하의 것을 이용하는 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 1×10-6 내지 2×10-5/K, 특히 바람직하게는 1×10-6 내지 6×10-6/K이다. 이러한 상부필름(112)을 이용함으로써, 당해 상부필름(112)의 열팽창에 의한 상부전극(111)의 위치 어긋남을 억제할 수 있다.
또한, 상부필름(112)의 두께(d)는, 10 내지 200㎛인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 15 내지 100㎛이다.
상기 하부 시트형 커넥터(120)는, 상기 상부 시트형 커넥터(110)의 하측에 배치되는 것으로서, 그 사이에 절연성 탄성시트(130)를 두고서 상기 상부 시트형 커넥터(110)와 이격되어 배치된다.
상기 하부 시트형 커넥터(120)는 상기 검사장치(170)의 패드(171)와 대응되는 위치마다 하부전극(121)이 마련되어 있는 하부필름(122)을 포함한다. 이때 하부전극(121)은 그 하면이 검사장치(170)의 패드(171)에 접촉되고 상면은 도전성 와이어(140)의 하단이 접합되어 있는 것으로서 도전성 와이어(140)와 검사장치(170)의 패드(171)를 서로 전기적으로 연결시키게 된다.
이러한 하부 시트형 커넥터(120)에서 하부전극(121)은 소재 및 형상은 상기 상부필름(112)의 소재 및 형상과 유사하므로 자세한 설명은 생략한다. 또한 하부필름(122)의 소재 및 형상도 상기 상부필름(112)의 소재 및 형상과 유사하므로 자세한 설명은 생략한다.
상기 절연성 탄성시트(130)는 상기 상부 시트형 커넥터(110)와 상기 하부 시트형 커넥터(120)의 사이에 배치되는 것으로서, 절연성 소재로 이루어지고 탄성을 가지게 된다.
이러한 절연성 탄성시트(130)는 그 상면이 상부필름(112)에 일체화되어 있으며, 그 하면은 하부필름(122)에 일체화되어 있어서 상부필름(112) 및 하부필름(122)과 동일몸체로 사용된다.
절연성 탄성시트(130)로 사용되는 탄성 고분자 물질로서는, 가교 구조를 갖는 고분자 물질이 바람직하다. 이러한 탄성 고분자 물질을 얻기 위해 이용할 수 있는 경화성의 고분자 물질 형성 재료로서는, 여러 가지의 것을 이용할 수 있고, 그 구체예로서는, 폴리부타디엔 고무, 천연 고무, 폴리이소프렌 고무, 스티렌-부타디엔 공중합체 고무, 아크릴로니트릴-부타디엔 공중합체 고무 등의 공역(共役) 디엔계 고무 및 이들의 수소 첨가물, 스티렌-부타디엔-디엔블록 공중합체 고무, 스티렌-이소프렌블록 공중합체 등의 블록 공중합체 고무 및 이들의 수소 첨가물, 클로로프렌 고무, 우레탄 고무, 폴리에스테르계 고무, 에피크롤히드린 고무, 실리콘 고무, 에틸렌-프로필렌 공중합체 고무, 에틸렌-프로필렌-디엔 공중합체 고무 등을 들 수 있다. 이러한 소재 중에서 성형 가공성 및 전기 특성의 관점에서 실리콘 고무를 이용하는 것이 바람직하다.
실리콘 고무로서는, 액상 실리콘 고무를 가교 또는 축합(縮合)한 것이 바람직하다. 액상 실리콘 고무는, 축합형의 것, 부가형의 것, 비닐기나 히드록실기를 함유하는 것 등의 어떠한 것이라도 좋다. 구체적으로는, 디메틸실리콘 미가공 고무, 메틸비닐실리콘 미가공 고무, 메틸페닐비닐실리콘 미가공 고무 등을 들 수 있다.
상기 도전성 와이어(140)는 상기 절연성 탄성시트(130) 내에 배치되어 있으며 상기 상부전극(111)과 상기 하부전극(121)을 서로 전기적으로 접속시키는 것으로서, 금속소재로 이루어진다. 이러한 도전성 와이어(140)는 금속소재라면 무엇이나 사용가능하나 와이어 본딩가능한 구리선 또는 금, 은과 같은 금속소재가 사용가능하다.
이러한 도전성 와이어(140)는 상기 상부전극(111)의 하면과 상기 하부전극(121)의 상면에 접합되어 있다. 구체적으로 도전성 와이어(140)는 솔더링에 의하여 상기 상부전극(111)의 하면과 하부전걱의 상면에 견고하게 고정되어 있게 된다.
또한, 상기 도전성 와이어(140)는 적어도 일부가 곡선형태로 구부려져 있게 된다. 구체적으로 도전성 와이어(140)는 상부전극(111)과 하부전극(121)의 사이로서 중간부분이 곡선형태로 구부려져 있게 된다. 이때 도전성 와이어(140)의 최소간격은 적어도 50㎛가 되도록 하는 것이 좋다. 이와 같이 도전성 와이어(140)가 미리 구부러져 있는 경우에는 외력에 의하여 도전성 와이어(140)가 쉽게 구부려질 수 있게 된다.
이러한 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 소켓(100)은 다음과 같은 제조방법을 가지게 된다.
먼저, 상기 검사장치(170)의 패드(171)와 대응되는 위치마다 하부전극(121)이 마련되어 있는 하부필름(122)을 포함하는 하부 시트형 커넥터(120)를 마련한다.
이후에, 도 3에 도시된 바와 같이 상기 하부전극(121)의 상면으로부터 상측으로 세워지도록 상기 하부전극(121)에 도전성 와이어(140)를 부착시킨다. 구체적으로 와이어 본딩 공정을 수행하여 도전성 와이어(140)를 하부전극(121)에 부착시킨다.
이후에, 상기 피검사 디바이스(160)의 단자(161)와 대응되는 위치마다 상부전극(111)이 마련되어 있는 상부필름(112)을 포함하는 상부 시트형 커넥터(110)를 마련한다.
이후에, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 상부전극(111)이 상기 도전성 와이어(140)를 가압하여 도전성 와이어(140)의 적어도 일부를 곡선형으로 구부리게 된다. 구체적으로는 솔더크림(113)을 상부전극(111)의 하면에 도포한 후에, 상기 상부전극(111)의 하면을 도전성 와이어(140)의 상단에 위치시키고 이후에 상부전극(111)을 하측으로 가압하면서 상기 도전성 와이어(140)를 구부리게 된다. 이때 도전성 와이어(140)는 임의의 방향으로 구부려질 수 있게 된다.
이후에, 외부에서 열을 가하게 되면 솔더크림(113)이 용융되고 이후에 서서히 식히면 상기 솔더크림(113)이 굳으면서 상기 도전성 와이어(140)가 상기 상부전극(111)의 하면에 견고하게 부착된다.
이후에, 도 6에 도시된 바와 같이 상기 상부 시트형 커넥터(110), 상기 하부 시트형 커넥터(120) 및 도전성 와이어(140)를 금형(150) 내에 삽입한 후에, 상기 상부 시트형 커넥터(110)와 상기 하부 시트형 커넥터(120)의 사이에 경화되면 절연성 탄성시트(130)가 되는 액상 탄성 절연물질(130')을 주입한다.
이후에, 금형(150) 내부를 가열하게 되면 액상 탄성 절연물질(130')이 경화되면서 소정의 검사용 소켓(100)이 제작완료된다.
이러한 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 소켓은, 도전성 와이어에 별도의 도금공정을 수행할 필요가 없다는 장점이 있다.
한, 본 발명의 검사용 소켓은, 절연성 탄성시트가 도전성 와이어와 함께 탄성기능을 수행하기 때문에 장시간 탄성력을 유지할 수 있는 장점이 있다.
또한, 본 발명의 검사용 소켓은 상부전극이 상부필름에 지지되어 있기 때문에, 장기간 사용후에도 상부전극의 위치가 최초 위치로부터 좌우방향으로 벗어나는 일이 적게 된다.
또한, 본 발명의 검사용 소켓은 도전성 와이어가 미리 일정정도 구부려져 있기 때문에 외력이 가해지는 경우에도 쉽게 구부려질 수 있는 장점이 있다.
또한 본 발명의 검사용 소켓은 탄성부로 활용하는 실리콘의 경도 조절로 검사용 소켓 또는 프로브블럭의 Force 조절이 용이한 장점이 있다.
이러한 본 발명의 검사용 소켓은 위와 실시예에 한정되는 것이 아니라 다음과 같이 변형되는 것도 가능하다.
먼저, 상술한 실시예에서는 상부전극이 직접 피검사 디바이스의 단자와 접촉되는 것을 예시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 도 7의 검사용 소켓(200)에서는 상부전극(211)의 상면에 절연물질 내에 다수의 도전성 입자(2141)가 분포되어 있는 탄성전극(214)이 추가로 배치되는 것이 가능하다. 이때 절연물질은 상술한 절연성 탄성시트와 동일하게 실리콘 고무가 사용되는 것이 가능하다.
`상기 도전성 입자(2141)는 자성을 띠는 도전성 입자가 이용된다. 이러한 도전성 입자(2141)의 구체예로서는, 철, 코발트, 니켈 등의 자성을 갖는 금속의 입자 혹은 이들 합금의 입자 또는 이들의 금속을 함유하는 입자, 또는 이들의 입자를 코어 입자로 하여, 당해 코어 입자의 표면에 금, 은, 팔라듐, 로듐 등의 도전성이 양호한 금속의 도금을 한 것, 혹은 비자성 금속 입자 혹은 글래스 비드 등의 무기물질 입자 또는 폴리머 입자를 코어 입자로 하여, 당해 코어 입자의 표면에 니켈, 코발트 등의 도전성 자성 금속의 도금을 한 것 등을 들 수 있다.
이들 중에서는 니켈 입자를 코어 입자로 하고, 그 표면에 도전성이 양호한 금도금을 한 것을 이용하는 것이 바람직하다.
코어 입자의 표면에 도전성 금속을 피복하는 수단으로서는, 특별히 한정되는 것이 아니지만, 예컨대 화학 도금 또는 전해 도금법, 스패터링법, 증착법 등이 이용되고 있다.
이러한 도전성 입자(2141)의 입자 직경은 1 내지 100 ㎛인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 2 내지 50 ㎛, 더욱 바람직하게는 3 내지 30 ㎛, 특히 바람직하게는 4 내지 20 ㎛이다. 또한, 도전성 입자의 형상은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 고분자 물질 형성 재료 중에 쉽게 분산시킬 수 있는 점에서, 구 형상의 것, 별 형상의 것 혹은 이들이 응집한 2차 입자인 것이 바람직하다.
이와 같이 상부전극(211)의 상면에 탄성전극(214)이 추가로 배치되는 경우 피검사 디바이스의 단자는 탄성이 우수한 탄성전극(214)에 접촉하게 됨으로서 단자의 손상 내지 파손을 방지할 수 있는 장점이 있다. 또한 탄성기능을 탄성전극(214)이 추가하게 되는 장점도 있게 된다.
한편, 도 7의 실시예에서는 도전성 와이어가 곡선형인 것을 예시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 도 8에 도시된 바와 같이 검사용 소켓(300)에서는 도전성 와이어(340)가 직선형상을 가지는 것도 가능하다.
또한, 도 9의 검사용 소켓(400)에서는 상기 상부전극(411)에 다수의 요철이 상부에 형성되어 있으며, MEMS 제조방법에 의하여 제조된 접촉전극(415)이 부착되어 있는 것을 개시하고 있다. 이때 도 9의 실시예의 접촉전극(415)은 에칭 및 도금공정에 의하여 정밀하게 제작될 수 있는 것으로서 미세한 요철구조를 원하는데로 제작할 수 있게 된다. 이와 같이 MEMS 공정에 의하여 제작된 전극이 사용되는 경우에는 전기적 검사의 신뢰성을 향상시킬 수 있게 된다.
이와 같이 피검사 디바이스의 단자와 접촉하는 전극이 포토 및 에칭 공정으로 만들어지므로 Off-set에 유리하고, 정확한 전극 배열이 가능해지는 장점이 있다. 또한 접촉전극의 형상을 원하는 데로 변경가능하므로 원하는 효과를 얻을 수 있게 되는 장점이 있다.
또한 도 10의 검사용 소켓(500)에서는 도 9의 실시예에서 도전성 와이어(540)가 굽은 형태가 아닌 직선형 형태가 될 수 있음을 도시하고 있게 된다.
도 11의 검사용 소켓(600)에서는 상기 상부전극(611)의 사이에는 상기 상부필름(612)과 상기 절연성 탄성시트(630)를 V자 형태로 절개하여 형성한 절개부(616)가 마련되어 있는 것을 개시하고 있다. 이와 같이 절개부(616)가 마련되어 있는 경우에는 각각의 상부전극(611)이 독립적으로 상하이동할 수 있게 되는 장점이 있게 된다.
이상에서 다양한 실시예를 들어 본 발명을 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 본 발명의 권리범위로부터 합리적으로 해석될 수 있는 것이라면 무엇이나 본 발명의 권리범위에 속하는 것은 당연하다.
100...검사용 소켓 110...상부 시트형 커넥터
111...상부전극 112...상부필름
113...솔더크림 120..하부 시트형 커넥터
121...하부전극 122...하부필름
130...절연성 탄성시트 130'...액상 탄성 절연물질
140...도전성 와이어 150...금형
160...피검사 디바이스 161...단자
170...검사장치 171...패드

Claims (11)

  1. 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 연결하기 위한 검사용 소켓에 있어서,
    상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 상부전극이 마련되어 있는 상부필름을 포함하는 상부 시트형 커넥터;
    상기 상부 시트형 커넥터의 하측에 배치되어 있으며 상기 상부 시트형 커넥터와 이격되어 있는 하부 시트형 커넥터로서, 상기 검사장치의 패드와 대응되는 위치마다 하부전극이 마련되어 있는 하부필름을 포함하는 하부 시트형 커넥터;
    상기 상부 시트형 커넥터와 상기 하부 시트형 커넥터의 사이에 배치되며, 절연성 소재로 이루어지고 탄성을 가지는 절연성 탄성시트; 및
    상기 절연성 탄성시트 내에 배치되어 있으며 상기 상부전극과 상기 하부전극을 서로 전기적으로 접속시키는 도전성 와이어를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 도전성 와이어는 상기 상부전극의 하면과 상기 하부전극의 하면에 접합되어 있으며, 상단부터 하단까지 직선형태를 가지는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 도전성 와이어는 상기 상부전극의 하면과 상기 하부전극의 하면에 접합되어 있으며, 상기 도전성 와이어는 적어도 일부가 곡선형태로 구부려져 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 상부전극의 상면에는 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 분포되어 있는 탄성전극이 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 상부전극에는 다수의 요철이 상부에 형성되어 있으며, MEMS 제조방법에 의하여 제조된 접촉전극이 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 상부전극의 사이에는 상기 상부필름과 상기 절연성 탄성시트를 V자 형태로 절개하여 형성한 절개부가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  7. 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 상기 피검사 디바이스의 단자와 상기 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키기 위한 검사용 소켓의 제조방법으로서,
    (a) 상기 검사장치의 패드와 대응되는 위치마다 하부전극이 마련되어 있는 하부필름을 포함하는 하부 시트형 커넥터를 마련하는 단계;
    (b) 상기 하부전극의 상면으로부터 상측으로 세워지도록 상기 하부전극에 도전성 와이어를 부착시키는 단계;
    (c) 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 상부전극이 마련되어 있는 상부필름을 포함하는 상부 시트형 커넥터를 마련하는 단계;
    (d) 상기 상부전극의 하면에 상기 도전성 와이어를 부착시키는 단계;
    (e) 상기 상부 시트형 커넥터, 상기 하부 시트형 커넥터 및 도전성 와이어를 금형 내에 삽입한 후에, 상기 상부 시트형 커넥터와 상기 하부 시트형 커넥터의 사이에 액상 탄성 절연물질을 주입하는 단계; 및
    (f) 상기 액상 탄성 절연물질을 경화시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓의 제조방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 (c) 단계와 (d) 단계의 사이에는
    (c-1) 상기 상부전극이 상기 도전성 와이어를 가압하여 도전성 와이어의 적어도 일부를 곡선형으로 구부리는 단계가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓의 제조방법.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 (f) 단계 후에는,
    (g) 상부전극들의 사이에 상기 상부필름과 상기 절연성 탄성시트를 V자 형태로 절개하여 절개부를 마련하는 단계가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓의 제조방법.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 상부전극의 상면에는 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 분포되어 있는 탄성전극이 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓의 제조방법.
  11. 제7항에 있어서,
    상기 상부전극에는 다수의 요철이 상부에 형성되어 있으며, MEMS 제조방법에 의하여 제조된 접촉전극이 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓의 제조방법.
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