KR20230019610A - 검사용 소켓 및 그 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 검사용 소켓은 검사장치와 피검사 디바이스의 사이에 배치되어 상기 검사장치와 상기 피검사 디바이스를 전기적으로 접속하기 위한 검사용 소켓에 있어서, 상기 피검사 디바이스의 단자에 각각 대응되고, 상기 검사장치의 단자에 각각 대응되어 상기 검사장치의 단자와 피검사 디바이스의 단자를 전기적으로 연결하는 다수의 도전부; 및 상기 도전부를 서로 절연시키고 지지하기 위한 절연부;를 포함하고, 상기 도전부는 상기 절연부의 상부에 배치되는 상부 제1 전도성 와이어; 및 상기 상부 제1 전도성 와이어와 연결되고 상기 절연부의 하부에 배치되는 하부 제1 전도성 와이어를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

검사용 소켓 및 그 제조방법{TESTOR SOCKET AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}
본 발명은 검사용 소켓 및 그 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 피검사 디바이스와 검사장치 사이에 배치되어 피검사 디바이스에 대한 불량여부를 판단하기 위한 검사과정에서 사용되는 검사용 소켓 및 그 제조방법에 관한 것이다.
피검사 디바이스의 전기적 검사를 위해, 피검사 디바이스와 검사장치에 접촉되어 피검사 디바이스와 검사장치를 전기적으로 접속시키는 검사용 소켓이 당해 분야에서 사용되고 있다. 검사용 소켓은 검사장치의 전기 신호를 피검사 디바이스에 전달하고, 피검사 디바이스의 전기 신호를 검사장치에 전달한다. 이러한 검사용 소켓으로서, 포고핀 소켓과 도전성 러버 시트가 당해 분야에 알려져 있다.
포고핀 소켓은 피검사 디바이스에 가해지는 외력에 대응해 상하 방향으로 눌러지는 포고핀을 갖는다. 포고핀 소켓은, 포고핀을 수용하는 부품을 필요로 하므로, 얇은 두께를 갖기 어렵고, 미세 피치를 갖는 피검사 디바이스의 단자들에 적용되기 어렵다.
도전성 러버 시트는 피검사 디바이스에 가해지는 외력에 응해 탄성 변형할 수 있다. 도전성 러버 시트는 피검사 디바이스와 검사장치를 전기적으로 접속시키는 복수의 도전부와 도전부들을 이격시키는 절연부를 가진다. 절연부는 경화된 실리콘 러버로 이루어질 수 있다. 도전성 러버 시트는, 포고핀 소켓에 비해, 적은 제조 비용으로 제조될 수 있고, 피검사 디바이스의 단자를 손상시키지 않으며, 매우 얇은 두께를 가지는 점에서, 유리하다. 따라서, 포고핀 테스트 소켓을 도전성 러버 시트로 대체하는 시도가 피검사 디바이스의 검사 분야에서 시도되고 있다.
이러한 도전성 러버 시트는, 복수의 도전부를 가지고 있는데, 각 도전부는 다수의 도전성 입자가 연질의 탄성 절연물질 내에 상하방향으로 정렬된 상태로 배치된다. 검사과정에서 도전부에 피검사 디바이스의 단자가 접촉되어 가압되면 도전부가 압축되면서 상하방향으로 전기적 도통가능한 상태를 이루게 되고, 이후에 검사장치에서 소정의 전기적 신호가 인가되면 그 신호는 도전부를 통과하여 피검사 디바이스의 단자로 흐르게 되면서 소정의 전기적 검사가 이루어진다.
도1 및 2에 종래 검사용 소켓(10)이 도시되어 있다. 도시된 검사용 소켓(10)은 두께방향으로 연장되며 다수의 도전성 입자(11a)가 실리콘 고무 내에 두께방향으로 배열되는 도전부(11)와, 상기 도전부(11)들 사이에 배치되어 상기 도전부(11)들을 지지하며 실리콘 고무로 이루어지는 절연부(12)로 이루어지는 소켓 본체로 이루어진다.
이러한 검사용 소켓(10)을 검사장치(30)에 안착시킨 상태에서, 피검사 디바이스(20)의 단자(21)를 도전부(11)의 상단에 접촉하여 가압한 후에 검사장치(30)로부터 소정의 전기적인 신호를 인가시키면 상기 전기적 신호는 검사장치(30)의 패드(31)에서 도전부(11)를 거쳐서 피검사 디바이스(20)의 단자(21)로 전달되면서 소정의 전기적 검사가 이루어진다.
그런데, 이러한 종래 도전성 입자로 된 검사용 소켓은 반복압축하여 사용할 경우 검사용 소켓의 탄성부가 파손되어 도전부(11)의 도전성 입자(11a)들이 본래의 자리에서 이탈하여 입자간 제대로 된 접점을 형성하지 못할 수 있고, 고저항이 발생하거나 절연되어 검사용 소켓을 사용하지 못하는 문제점이 있고, 미세피치 도전부를 구현하는데 한계가 있다.
본 발명은 전술한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 도전부에서 원활한 통전이 이루어지고 피검사 디바이스의 전기적 검사를 안정적으로 수행하며 미세피치 도전부에 유리한 검사용 소켓 및 그 제조방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 검사용 소켓은 검사장치와 피검사 디바이스의 사이에 배치되어 상기 검사장치와 상기 피검사 디바이스를 전기적으로 접속하기 위한 검사용 소켓에 있어서, 상기 피검사 디바이스의 단자에 각각 대응되고, 상기 검사장치의 단자에 각각 대응되어 상기 검사장치의 단자와 피검사 디바이스의 단자를 전기적으로 연결하는 다수의 도전부; 및 상기 도전부를 서로 절연시키고 지지하기 위한 절연부;를 포함하고, 상기 도전부는 상기 절연부의 상부에 배치되는 상부 제1 전도성 와이어; 및 상기 상부 제1 전도성 와이어와 연결되고 상기 절연부의 하부에 배치되는 하부 제1 전도성 와이어를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 상부 제1 전도성 와이어는 상기 절연부의 상부를 따라 연장되는 상부 연장부; 및 상기 상부 연장부의 일측에서 절곡되어 상기 절연부에 매립되는 매립부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 상부 제1 전도성 와이어의 매립부는 상기 상부 연장부의 일단에서 상기 절연부 내부로 하향 연장되는 하향연장부; 상기 하향연장부의 하단에서 상부로 절곡되는 절곡부; 및 상기 절곡부에서 상부로 연장되는 상향연장부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 하부 제1 전도성 와이어는 상기 절연부의 하부를 따라 연장되는 하부 연장부; 및 상기 하부 연장부의 일측에서 절곡되어 상기 절연부에 매립되는 매립부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 상부 제1 전도성 와이어의 매립부는 상기 상부 연장부의 양측에 배치되고, 상기 하부 제1 전도성 와이어의 매립부는 상기 하부 연장부의 양측에 배치되며, 상기 상부 제1 전도성 와이어의 매립부와 상기 하부 제1 전도성 와이어의 매립부가 서로 연결되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 하부 제1 전도성 와이어의 매립부는 상기 하부 연장부의 일단에서 상기 절연부 내부로 상향 연장되는 상향연장부; 상기 상향연장부의 상단에서 하부로 절곡되는 절곡부; 및 상기 절곡부에서 하부로 연장되는 하향연장부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 하부 제1 전도성 와이어의 절곡부는 상기 상부 제1 전도성 와이어의 절곡부의 상측에서 서로 접촉하여 연결되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 절연부의 상측에 배치되는 제1 절연성 시트; 및
상기 절연부의 하측에 배치되는 제2 절연성 시트를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 도전부는 상기 절연부의 상부에 배치되어 상기 상부 제1 전도성 와이어와 교차되는 상부 제2 전도성 와이어; 및 상기 절연부의 하부에 배치되어 상기 상부 제2 전도성 와이어와 연결되고 상기 하부 제1 전도성 와이어와 교차되는 하부 제2 전도성 와이어를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 상부 제2 전도성 와이어는 상기 절연부의 상부에서 상기 상부 제1 전도성 와이어와 직교하도록 배치되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 도전부는 상기 절연부의 상부에 배치되어 상기 상부 제1 전도성 와이어와 교차되는 상부 제3 전도성 와이어; 상기 절연부의 상부에 배치되어 상기 상부 제1 전도성 와이어와 교차되는 상부 제4 전도성 와이어; 상기 절연부의 하부에 배치되어 상기 상부 제3 전도성 와이어와 연결되고 상기 하부 제1 전도성 와이어와 교차되는 하부 제3 전도성 와이어; 및 상기 절연부의 하부에 배치되어 상기 상부 제4 전도성 와이어와 연결되고 상기 하부 제1 전도성 와이어와 교차되는 하부 제4 전도성 와이어를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 검사용 소켓의 제조방법은 검사장치와 피검사 디바이스의 사이에 배치되어 상기 검사장치와 상기 피검사 디바이스를 전기적으로 접속하기 위한 검사용 소켓의 제조방법에 있어서, 상기 검사용 소켓은 상기 피검사 디바이스의 단자에 각각 대응되고, 상기 검사장치의 단자에 각각 대응되어 상기 검사장치의 단자와 피검사 디바이스의 단자를 전기적으로 연결하는 다수의 도전부; 및 상기 도전부를 서로 절연시키고 지지하기 위한 절연부;를 포함하고, a) 상기 절연부의 상측에 배치된 상부 제1 전도성 와이어와, 상기 절연부의 하측에 배치된 하부 제1 전도성 와이어를 서로 연결하여 상기 도전부를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, b) 상기 a)단계 후 상기 상부 제1 전도성 와이어 및 하부 제1 전도성 와이어의 일부를 각각 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 a)단계에서는 와이어 연결장치를 이용하여 상기 상부 제1 전도성 와이어 및 하부 제1 전도성 와이어를 연결하고, 상기 와이어 연결장치는 상기 상부 제1 전도성 와이어가 삽입되는 삽입부재; 상기 삽입부재에 삽입된 상부 제1 전도성 와이어를 회전시키는 회전부재; 및 상기 하부 제1 전도성 와이어가 권취 및 권출되는 권취부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 a)단계는 a-1) 하부에 상기 상부 제1 전도성 와이어가 삽입되는 삽입공이 형성되는 삽입부재가 상기 절연부를 관통하는 단계; a-2) 상기 삽입공에 삽입된 상기 상부 제1 전도성 와이어의 일부가 회전부재의 일단에 지지된 상태에서 상기 회전부재가 회전하는 단계; 및 a-3) 상기 회전부재에 의해 지지된 상부 제1 전도성 와이어가 상기 하부 제1 전도성 와이어를 감는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 검사용 소켓 및 제조방법은 상, 하부 와이어를 직접 연결하여 도전부를 형성함으로써 낮고 균일한 저항을 얻을 수 있고, 핀간 특성 편차 없이 균일한 도전부를 형성할 수 있는 장점이 있다.
또한, 본 발명에 따른 검사용 소켓은 상, 하부 와이어를 직접 연결하여 도전부를 형성함으로써 미세피치에 유리한 장점이 있다.
도 1은 종래 검사용 소켓을 도시한 도면이고,
도 2는 도1에서 검사를 위해 피검사 디바이스를 검사용 소켓에 접촉하여 가압시킨 상태를 도시한 도면이며,
도 3은 본 발명의 검사용 소켓을 검사장치에 장착한 상태를 도시한 도면이고,
도 4 내지 도 7은 본 발명에 따른 검사용 소켓의 제조공정을 도시한 도면으로서 도 4는 본 발명에 따른 검사용 소켓에서 절연부의 단면도이며,
도 5는 본 발명에 따른 검사용 소켓에서 도전부를 형성하기 위해 상하측 와이어를 연결한 상태를 도시한 도면이고,
도 6은 본 발명에서 와이어 연결 장치를 이용하여 상하측 와이어를 연결하는것을 도시한 도면이며,
도 7은 본 발명에서 상하측 와이어의 일부를 제거하여 도전부를 형성한 상태를 도시한 도면이고,
도 8은 본 발명의 제1실시예에 따른 검사용 소켓의 평면도이며,
도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 검사용 소켓의 평면도이고,
도 10은 본 발명의 제3실시예에 따른 검사용 소켓의 평면도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 따라서, 몇몇 실시예에서, 잘 알려진 공정 단계들, 잘 알려진 소자 구조 및 잘 알려진 기술들은 본 발명이 모호하게 해석되는 것을 피하기 위하여 구체적으로 설명되지 않는다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다. 또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "아래에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 아래에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 아래에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below)"또는 "아래(beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 소자는 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.
본 명세서에서 어떤 부분이 다른 부분과 연결되어 있다고 할 때, 이는 직접적으로 연결되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 연결되어 있는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성 요소를 포함한다고 할 때, 이는 특별히 그에 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
본 명세서에서 제 1, 제 2, 제 3 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 이러한 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되는 것은 아니다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소들로부터 구별하는 목적으로 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위로부터 벗어나지 않고, 제 1 구성 요소가 제 2 또는 제 3 구성 요소 등으로 명명될 수 있으며, 유사하게 제 2 또는 제 3 구성 요소도 교호적으로 명명될 수 있다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않은 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
본 발명에서의 검사용 소켓(100)은 두개의 전자 디바이스의 전기적 접속을 위한 것으로서, 상기 두개의 전자 디바이스 중 하나는 검사장치(160)일 수 있고, 다른 하나는 검사장치(160)에 의해 검사되는 피검사 디바이스(150)일 수 있다.
본 발명의 검사용 소켓(100)은 피검사 디바이스(150)의 전기적 검사 시에 검사장치(160)와 피검사 디바이스(150)의 전기적 접속을 위해 사용될 수 있고, 피검사 디바이스(150)의 제조 공정 중 후공정에서, 피검사 디바이스(150)의 최종적인 전기적 검사를 위해 사용될 수 있다.
본 발명에 따른 검사용 소켓(100)은 도3에 도시된 바와 같이 검사장치(160)와 피검사 디바이스(150) 사이에 배치되며 검사장치(160)와 피검사 디바이스(150)를 전기적으로 접속시킨다.
여기서, 피검사 디바이스(150)는 반도체 패키지일 수 있지만, 이에 한정되지는 않는다. 반도체 패키지는, 반도체 IC 칩과 다수의 리드 프레임과 다수의 단자를 육면체 형태로 패키징한 반도체 디바이스이다. 반도체 IC 칩은 메모리 IC 칩 또는 비메모리 IC 칩이 될 수 있다. 상기 단자로서는 핀, 솔더볼(solder ball) 등이 사용될 수 있다. 피검사 디바이스(150)는 그 하측에 반구형의 다수의 단자(151)를 가진다.
검사장치(160)는 피검사 디바이스(150)의 전기적 특성, 기능적 특성, 동작 속도 등을 검사할 수 있고, 검사가 수행되는 보드 내에, 전기적 테스트 신호를 출력할 수 있고 응답 신호를 받을 수 있는 다수의 단자(161)를 가질 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 검사용 소켓(100)은 소켓 몸체를 구성하는 도전성 러버시트(110)와 도전성 러버시트(110)를 지지하는 지지프레임(140)을 포함한다.
도 3은 본 발명의 검사용 소켓을 검사장치에 장착한 상태를 도시한 도면이다.
피검사 디바이스(150)의 단자(151)는 검사용 소켓(100)을 통해 대응하는 검사장치(160)의 단자(161)와 전기적으로 접속되고, 검사용 소켓(100)은 피검사 디바이스(150)의 단자(151)와 이것에 대응하는 검사장치(160)의 단자(161)를 상하 방향으로 전기적으로 접속시켜 피검사 디바이스(150)를 검사하게 된다.
본 발명에 따른 검사용 소켓(100)에서 도전성 러버시트(110)는 다수의 도전부(120)와, 절연부(130)를 포함한다.
도 4는 본 발명에 따른 검사용 소켓에서 절연부의 단면도이다.
상기 절연부(130)는 도전부(120)의 형상을 유지하고 도전부(120)를 상하방향으로 유지시키면서 각 도전부(120)를 서로 절연하고 지지하는 것으로, 절연부(130)는 하나의 탄성체로 형성되고 상하방향과 수평 방향으로 탄성을 가진다.
절연부(130)는 탄성 절연물질로 이루어지고, 액상의 절연물질이 경화되어 성형된다. 절연부(130)를 구성하는 탄성 절연물질로서는 한 예로서 실리콘, 또는 실리콘 고무가 이용될 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
도 4에 도시된 바와 같이 절연부(130)의 상하부에는 제1 절연성 시트(131)와, 제2 절연성 시트(132)가 각각 배치된다.
절연부(130)의 상부에 배치되는 제1 절연성 시트(131)와, 절연부(130)의 하부에 배치되는 제2 절연성 시트(132)는 절연성을 나타내도록 합성수지 재질로 이루어지고, 각각 절연부(130)의 상측과 하측에 배치되어 절연부(130)를 지지한다. 본 실시예에서 제1 절연성 시트(131)와 제 2절연성 시트(132)는 필름(film)형태로 이루어진다.
상기 도전부(120)는 피검사 디바이스(150)에서 각각의 단자(151)를 이에 대응하는 검사장치(160)의 단자에 각각 전기적으로 접속되도록 하기 위한 것으로, 이를 위해 각각의 도전부(120)는 절연부(130)에서 피검사 디바이스(150)의 각각의 단자(151)와 대응되는 위치에 배치된다.
도 7은 본 발명에서 도전부(120)를 도시한 것으로, 본 발명에서 도전부(120)는 와이어(121, 122)로 이루어지고, 구체적으로 절연부(130)의 상부에 배치되는 상부 제1 전도성 와이어(121)와, 절연부(130)의 하부에 배치되는 하부 제1 전도성 와이어(122)를 포함한다.
본 발명에서 도전부(120)는 피검사 디바이스(150)의 각 단자(151)에 대응되는 위치에서 상부 제1 전도성 와이어(121)와, 상부 제1 전도성 와이어(121)와 연결되는 하부 제1 전도성 와이어(122)로 구성되고, 상부 제1 전도성 와이어(121)와 하부 제1 전도성 와이어(122)가 전기적으로 연결되어 하나의 도전부(120)를 형성하게 된다.
상부 제1 전도성 와이어(121)는 도7에 도시된 바와 같이 절연부(130)의 상부, 즉 절연부(130)의 상측에 배치되는 제1 절연성 시트(131)의 상부면을 따라 연장되는 상부 연장부(121d)와, 상부 연장부(121d)의 양단에 일체로 형성되는 매립부를 포함한다.
각 매립부는 절연부(130)의 내부에 매립되는 부분으로 상부 연장부(121d)의 일단에서 절곡되어 절연부(130) 내부로 하향 연장되는 하향연장부(121c)와, 하향연장부(121c)의 하단에서 상부로 절곡되는 절곡부(121b)와, 절곡부(121b)에서 상부로 연장되는 상향연장부(121a)가 모두 일체로 형성되어 하나의 와이어로 이루어진다. 그리고, 상향연장부(121a)의 상단은 절연부의 상부 즉, 제1 절연성 시트(131)의 상부로 노출되어 위치한다.
하부 제1 전도성 와이어(122)는 절연부(130)의 하부, 즉 절연부(130)의 하측에 배치되는 제2 절연성 시트(132)의 하부면을 따라 연장되는 하부 연장부(122d)와, 하부 연장부(122d)의 양단에 일체로 형성되는 매립부를 포함한다.
하부 연장부(122d)의 양측에 위치하는 각 매립부는 절연부(130)의 내부에 매립되는 부분으로 하부 연장부(122d)의 일단에서 절곡되어 절연부(130) 내부로 상향 연장되는 상향연장부(122c)와, 상향연장부(122c)의 상단에서 하부로 절곡되는 절곡부(122b)와, 절곡부(122b)에서 하부로 연장되는 하향연장부(122a)가 모두 일체로 형성되어 하나의 와이어로 이루어진다. 그리고, 하향연장부(122a)의 하단은 절연부의 하부 즉, 제2 절연성 시트(132)의 하부로 노출되어 위치한다.
그리고, 상부 제1 전도성 와이어(121) 및 하부 제1 전도성 와이어(122)는 각 절곡부(121b, 122b)에서 서로 연결되어 전기적으로 접속되고, 도시된 바와 같이 하부 제1 전도성 와이어(122)의 절곡부(122b)가 상부 제1 전도성 와이어(121)의 하향연장부(121c) 및 상향연장부(121a) 사이에서 절곡부(121b)의 상측에 위치하여 절곡부(121b)와 접촉하여 절곡부(121b)에 의해 지지된다.
본 실시예에서 상부 제1 전도성 와이어(121) 및 하부 제1 전도성 와이어(122)는 메탈 소재로 이루어지고, 구체적으로 구리 또는 구리에 금, 은, 백금을 도금한 와이어 등이 사용될 수 있다.
본 발명에서 도전부(120)를 형성하는 공정이 도5 내지 도7에 도시되어 있다. 도 5는 본 발명에 따른 검사용 소켓에서 도전부를 형성하기 위해 상하측 와이어를 연결한 상태를 도시한 도면이고, 도 6은 본 발명에서 와이어 연결 장치를 이용하여 상하측 와이어를 연결하는 것을 도시한 도면이며, 도 7은 본 발명에서 상부 제1 전도성 와이어(121) 및 하부 제1 전도성 와이어(122)의 일부를 제거하여 도전부를 형성한 상태를 도시한 도면이다.
본 발명의 검사용 소켓(100)의 제조에서 도전부(120)의 제조공정은 a) 절연부(130)의 상측에 배치된 상부 제1 전도성 와이어(121)와, 절연부(130)의 하측에 배치된 하부 제1 전도성 와이어(122)를 서로 연결하는 단계; 및 b) 상기 a)단계 후 상부 제1 전도성 와이어(121) 및 하부 제1 전도성 와이어(122)의 일부를 각각 제거하여 다수의 도전부(120)를 형성하는 단계를 포함하고, a) 단계는 a-1) 하부에 상기 상부 제1 전도성 와이어(121)가 삽입되는 삽입공(211)이 형성되는 삽입부재(210)가 상기 절연부(130)를 관통하는 단계; a-2) 상기 삽입공(211)에 삽입된 상기 상부 제1 전도성 와이어(121)의 일부가 회전부재(230)의 일단에 지지된 상태에서 상기 회전부재(230)가 회전하는 단계; 및 a-3) 상기 회전부재(230)에 의해 지지된 상부 제1 전도성 와이어(121)가 상기 하부 제1 전도성 와이어(122)를 감는 단계;를 포함한다.
이하에서 도전부(120)의 제조공정에 대해 보다 상세하게 설명한다.
본 발명에서는 상부 제1 전도성 와이어(121) 및 하부 제1 전도성 와이어(122)를 연결하는 단계에서 별도의 와이어 연결장치(200)를 이용하여 상, 하부 제1 전도성 와이어(121, 122)를 서로 연결한다.
도 6a 내지 도 6d는 와이어 연결장치(200)를 이용하여 상부 제1 전도성 와이어(121) 및 하부 제1 전도성 와이어(122)를 연결하는 과정을 도시한 도면이다.
본 발명에서 와이어 연결장치(200)는 도시된 바와 같이 상부 제1 전도성 와이어(121)가 삽입되는 삽입부재(210)와, 삽입부재(210)에 삽입된 상부 제1 전도성 와이어(121)의 일부를 회전시키는 회전부재(230)와, 하부 제1 전도성 와이어(122)가 권취 및 권출되는 권취부재(220)를 포함한다.
와이어 연결장치(200)에서 삽입부재(210)는 상부 제1 전도성 와이어(121)가 삽입된 상태로 절연부(130)에 삽입되고 절연부(130)를 관통하는 것으로, 삽입부재(210)의 하부에는 상부 제1 전도성 와이어(121)가 삽입되는 삽입공(211)이 형성된다. 삽입부재(210)의 하단은 바늘과 같이 뾰족하게 형성되어 절연부를 쉽게 관통할 수 있도록 형성된다.
상기 회전부재(230)는 삽입부재(210)에 삽입된 상부 제1 전도성 와이어(121)의 일부를 회전시키고 하부 제1 전도성 와이어(122)를 상부 제1 전도성 와이어(121)에 연결시키기 위한 것으로, 도시된 바와 같이 약3/4의 원호 형태로 이루어지고, 일단에는 상부 제1 전도성 와이어(121)가 안착되는 홈(231)이 형성되며, 절연부(130)의 하측에서 회전수단(미도시)에 의해 권취부재(220)의 주위를 회전한다.
상기 권취부재(220)는 하부 제1 전도성 와이어(122)가 권취 및 권출되는 것으로, 절연부(130)의 하측에 배치되어 권취부재(220)에 감긴 하부 제1 전도성 와이어(122)가 상부 제1 전도성 와이어(121)에 연결되면서 권취부재(220)로부터 하부 제1 전도성 와이어(122)가 권출된다.
도 6a 내지 도 6d를 참조하여 상부 제1 전도성 와이어(121)와 하부 제1 전도성 와이어(122)가 서로 연결되는 과정을 보다 상세하게 설명한다.
먼저, 도 6a에 도시된 바와 같이 절연부(130)의 상측에서 상부 제1 전도성 와이어(121)가 삽입공(211)에 삽입된 상태에서 삽입부재(210)가 절연부(130)의 상측에서 하측까지 관통한다. 즉, 제1 절연성 시트(131)와, 절연부(130)와, 제2 절연성 시트(132)를 순차적으로 관통하고, 제2 절연성 시트(132)를 관통한 삽입부재(210)의 하단은 제2 절연성 시트(132)의 하측에 위치하게 된다.
그리고, 삽입부재(210)의 삽입공(211)이 회전부재(230)의 회전운동 궤적에 위치하게 되면 회전부재(230)가 회전하게 되고, 삽입공(211)에 삽입된 상부 제1 전도성 와이어(121)가 회전부재(230)의 일단에 형성된 홈(231)에 안착된 상태에서 회전부재(230)가 권취부재(220)를 중심으로 권취부재(220) 주위를 회전하게 된다(도 6b 참조). 그리고, 회전부재(230)의 회전과 함께 삽입부재(210)를 다시 절연부(130) 상측으로 이동시킨다.
도 6c에 도시된 바와 같이 회전부재(230)가 회전하면서 회전부재(230)의 선단에 형성된 홈(231)에 안착된 상부 제1 전도성 와이어(121)가 하부 제1 전도성 와이어(122)를 감게 되고, 삽입부재(210)는 절연부(130)의 상측에 위치하게 된다. 이를 보다 상세하게 설명하면 도시된 바와 같이 회전부재(230)의 홈(231)을 중심으로 일측으로 연장되는 상부 제1 전도성 와이어(121)의 부분은 권취부재(220)의 상부를 통과하게 되고, 회전부재(230)의 홈(231)을 중심으로 반대쪽으로 연장되는 상부 제1 전도성 와이어(121)의 부분(홈(231)에서 삽입공(211)으로 연장되는 상부 제1 전도성 와이어(121)의 부분)은 권취부재(220)의 하부를 통과하면서 상부 제1 전도성 와이어(121)가 하부 제1 전도성 와이어(122)를 감게 된다.
그 다음 도 6d에 도시된 바와 같이 회전부재(230)가 약 180도 이상 회전하게 되면 상부 제1 전도성 와이어(121)가 회전부재(230) 선단의 홈(231)으로부터 이탈하게 되고, 상부 제1 전도성 와이어(121)가 회전부재(230) 선단의 홈(231)으로부터 이탈하면서 권취부재(220)는 회전부재(230)의 홈(231)을 중심으로 일측으로 연장되는 상부 제1 전도성 와이어(121)의 부분과, 반대쪽으로 연장되는 상부 제1 전도성 와이어(121)의 부분 사이를 완전히 통과하게 된다. 이와 함께 절연부(130)가 좌측으로 이동되면서 상부 제1 전도성 와이어(121)가 하부 제1 전도성 와이어(122)를 약 한바퀴 정도 감게 된다. 그리고, 절연부(130)를 계속 좌측으로 이동시키면 상부 제1 전도성 와이어(121)와 하부 제1 전도성 와이어(122)가 연결된 부분(도7에서 상부 제1 전도성 와이어(121) 및 하부 제1 전도성 와이어(122)의 절곡부(121b, 122b))이 절연부(130) 내에 위치하게 된다.
이와 같은 과정을 반복하면서 상부 제1 전도성 와이어(121) 및 하부 제1 전도성 와이어(122)가 절연부(130)의 상하측에 위치하면서 일정 간격으로 절연부(130) 내부에서 서로 연결된다.
상부 제1 전도성 와이어(121) 및 하부 제1 전도성 와이어(122)가 서로 연결완료된 상태가 도 5에 도시되어 있다.
도 5에 도시된 바와 같이 상부 제1 전도성 와이어(121) 및 하부 제1 전도성 와이어(122)를 서로 연결한 다음, 절연부(130)의 상측에 위치하는 상부 제1 전도성 와이어(121) 일부를 레이저로 제거하고, 이와 반대쪽에 위치하는 하부 제1 전도성 와이어(122)의 일부를 마찬가지로 레이저로 제거한다.
그러면, 도 7에 도시된 바와 같이 상부 제1 전도성 와이어(121)는 다수개로 분리되고, 마찬가지로 하부 제1 전도성 와이어(122)도 다수개로 분리되며, 분리된 각각의 상부 제1 전도성 와이어(121) 및 하부 제1 전도성 와이어(122)는 서로 연결된 상태가 되는데 서로 연결된 하나의 상부 제1 전도성 와이어(121) 및 하나의 하부 제1 전도성 와이어(122)가 하나의 도전부(120)를 형성하게 된다.
도 7에 도시된 바와 같이 본 발명에서는 상부 제1 전도성 와이어(121)에서 상부연장부(121d)의 양측 그리고, 하부 제1 전도성 와이어(122)에서 하부연장부(122d)의 양측이 각각 서로 연결되는 구조로 이루어져서 피검사 디바이스(150)의 검사를 반복 수행하더라도 각 도전부(120)의 구성이 안정적으로 유지되고 지지된다. 다만, 다른 실시예로서 하나의 도전부(120)에서 상, 하부 제1 전도성 와이어(121, 122)의 일부분이 서로 연결되는 구조로 구현할 수도 있다.
도 7에서 점선으로 표시된 부분이 하나의 도전부(120)를 형성하게 되고, 이와 같이 형성된 하나의 도전부(120)가 도 3에서와 같이 피검사 디바이스(150)의 단자(151)와 검사장치(160)의 단자(161)를 서로 전기적으로 연결하여 검사를 수행하게 된다.
본 발명에 따른 검사용 소켓은 전술한 바와 같이 상부 제1 전도성 와이어와 하부 제1 전도성 와이어를 직접 연결함으로써 낮고 균일한 저항을 얻을 수 있고, 기존 파우더가 배열된 형태의 소켓은 핀간 수명 및 특성 편차가 있는데 반해, 본 발명에서는 상기와 같이 도전부를 형성함으로써 균일한 장점이 있다.
또한, 본 발명에서는 상기와 같이 상부 제1 전도성 와이어와 하부 제1 전도성 와이어를 직접 연결하여 도전부를 형성함으로써 미세피치에 유리한 장점이 있다.
도 8은 전술한 본 발명의 제1실시예에 따른 검사용 소켓의 평면도로서, 도시된 바와 같이 상부 제1 전도성 와이어(121)가 평면상에서 일자로 형성되는 각 부분이 하나의 도전부(120)를 형성하게 된다.
한편, 전술한 제1실시예에서는 절연부(130)의 상하측에 제1,2 절연성 시트(131,132)를 배치하는 예를 참조하여 설명하였으나, 제1,2 절연성 시트(131,132) 없이 절연부(130)의 상하측에 상,하부 제1 전도성 와이어(121, 122)가 직접 배치될 수 있다.
다음으로 본 발명의 제2실시예에 따른 검사용 소켓(100)에 대해 설명한다. 도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 검사용 소켓의 평면도이다.
제2실시예가 제1실시예와 다른 점은 도9에 도시된 바와 같이 상부 제1 전도성 와이어(121) 외에 상부 제2 전도성 와이어(123)가 추가된다는 점이다.
제2실시예에서 상부 제2 전도성 와이어(123)에서 도전성 러버시트(110) 상부로 노출되는 상부 연장부 부분은 상부 제1 전도성 와이어(121)와 교차되도록 배치된다. 도9에서는 상부 제2 전도성 와이어(123)가 평면상에서 상부 제1 전도성 와이어(121)와 직교하는 예를 도시한 것이다.
상부 제2 전도성 와이어(123) 또한 상부 제1 전도성 와이어(121)와 마찬가지로 절연부(130)의 상부, 즉 절연부(130)의 상측에 배치되는 제1 절연성 시트(131)의 상부면을 따라 연장되는 상부 연장부와, 상부 연장부의 양단에 일체로 형성되는 매립부를 포함하고, 절연부(130)의 내부에 매립되는 각 매립부는 상부 연장부의 일단에서 절연부(130) 내부로 하향 연장되는 하향연장부와, 하향연장부의 하단에서 상부로 절곡되는 절곡부와, 절곡부에서 상부로 연장되는 상향연장부가 모두 일체로 형성되어 이루어진다. 그리고, 상향연장부의 상단은 절연부(130)의 상부 즉, 제1 절연성 시트(131)의 상부로 노출되어 위치한다. 상부 제2 전도성 와이어(123)의 상기 상부 연장부, 및 매립부의 하향연장부, 절곡부, 상향연장부는 상부 제1 전도성 와이어(121)의 상부 연장부(121d), 및 매립부의 하향연장부(121c), 절곡부(121b), 상향연장부(121a)와 동일하다.
그리고, 절연부(130)의 하측에는 상부 제2 전도성 와이어(123)와 연결되는 하부 제2 전도성 와이어(미도시)가 배치된다.
하부 제2 전도성 와이어는 절연부(130)의 하부, 즉 절연부(130)의 하측에 배치되는 제2 절연성 시트(132)의 하부면을 따라 연장되는 하부 연장부와, 하부 연장부의 양단에 일체로 형성되는 매립부를 포함하고, 하부 연장부의 양측에 위치하는 각 매립부는 절연부(130)의 내부에 매립되는 부분으로 하부 연장부의 일단에서 절연부(130) 내부로 상향 연장되는 상향연장부와, 상향연장부의 상단에서 하부로 절곡되는 절곡부와, 절곡부에서 하부로 연장되는 하향연장부가 모두 일체로 형성되어 이루어진다. 그리고, 하향연장부의 하단은 절연부(130)의 하부 즉, 제2 절연성 시트(132)의 하부로 노출되어 위치한다. 하부 제2 전도성 와이어의 하부 연장부 및 매립부의 상향연장부, 절곡부, 하향연장부는 하부 제1 전도성 와이어(122)의 하부 연장부(122d), 및 매립부의 상향연장부(122c), 절곡부(122b), 하향연장부(122a)와 동일하다.
그리고, 하부 제2 전도성 와이어(122)의 하부 연장부는 하부 제1 전도성 와이어(122)의 하부 연장부(122d)와 교차되도록 배치되고 도9와 유사하게 직교하게 배치될 수 있다.
상부 제2 전도성 와이어(123) 및 하부 제2 전도성 와이어는 상, 하부 제1 전도성 와이어(121, 122)와 유사하게 각 절곡부에서 서로 연결되어 전기적으로 접속되고, 상부 제2 전도성 와이어(123) 및 하부 제2 전도성 와이어의 연결공정 또한 전술한 와이어 연결장치(200)를 이용하여 상, 하부 제1 전도성 와이어(121, 122)와 동일하게 이루어질 수 있다. 그리고, 상, 하부 제2 전도성 와이어(123) 또한 그 일부를 레이저로 제거하는 공정이 수행될 수 있다. 또한 도 9에서는 도전부(120)가 가로방향으로만 배치된 예를 도시하였으나 세로방향으로도 배치되어 도시된 제2 전도성 와이어(123)의 상하측에 또다른 제2 전도성 와이어(123)가 배치될 수 있다.
제2 실시예에서는 전술한 바와 같이 상, 하부 제1 전도성 와이어(121, 122)에 각각 상, 하부 제2 전도성 와이어(123)가 교차되어 배치됨으로써 전기적 접속이 보다 안정적으로 이루어질 수 있고, 검사작업이 반복적으로 수행되더라도 정확한 검사가 이루어질 수 있다.
그 외 구성 및 효과에 대해서는 이전 실시예와 동일하여 여기서는 그 상세한 설명은 생략한다.
다음으로 본 발명의 제3실시예에 따른 검사용 소켓(100)에 대해 설명한다. 도 10은 본 발명의 제3실시예에 따른 검사용 소켓의 평면도이다.
제3실시예가 제1실시예와 다른 점은 도10에 도시된 바와 같이 상부 제1 전도성 와이어(121) 외에 상부 제3 전도성 와이어(124) 및 상부 제4 전도성 와이어가(125)가 추가된다는 점이다.
제2실시예에서 평면상에서 상부 제1 전도성 와이어(121)와 교차되는 하나의상부 제2 전도성 와이어(123)가 배치되나, 제3실시예에서는 평면상에서 상부 제3 전도성 와이어(124) 및 상부 제4 전도성 와이어(125)가 상부 제1 전도성 와이어(121)와 교차되도록 배치된다.
제3실시예에서 상부 제3 전도성 와이어(124)에서 도전성 러버시트(110) 상부로 노출되는 상부 연장부 부분과 상부 제4 전도성 와이어(125)에서 상부로 노출되는 상부 연장부 부분은 상부 제1 전도성 와이어(121)와 교차되도록 배치된다. 도10에서는 상부 제3 전도성 와이어(124)가 평면상에서 상부 제1 전도성 와이어(121)의 우측부분을 기준으로 반시계 방향으로 예각을 이루도록 배치되고, 상부 제4 전도성 와이어(125)가 평면상에서 상부 제1 전도성 와이어(121)의 좌측부분을 기준으로 시계 방향으로 예각을 이루도록 배치되는 예를 도시한 것이다.
상부 제3 전도성 와이어(124) 및 상부 제4 전도성 와이어(125) 각각은 상부 제1 전도성 와이어(121)와 마찬가지로 절연부(130)의 상부, 즉 절연부(130)의 상측에 배치되는 제1 절연성 시트(131)의 상부면을 따라 연장되는 상부 연장부와, 상부 연장부의 양단에 일체로 형성되는 매립부를 포함하고, 절연부(130)의 내부에 매립되는 각 매립부는 상부 연장부의 일단에서 절연부(130) 내부로 하향 연장되는 하향연장부와, 하향연장부의 하단에서 상부로 절곡되는 절곡부와, 절곡부에서 상부로 연장되는 상향연장부가 모두 일체로 형성되어 이루어진다. 그리고, 상향연장부의 상단은 절연부(130)의 상부 즉, 제1 절연성 시트(131)의 상부로 노출되어 위치한다. 상부 제3 전도성 와이어(124) 및 상부 제4 전도성 와이어(125)의 상기 상부 연장부, 및 매립부의 하향연장부, 절곡부, 상향연장부는 상부 제1 전도성 와이어(121)의 상부 연장부(121d), 및 매립부의 하향연장부(121c), 절곡부(121b), 상향연장부(121a)와 동일하다.
그리고, 절연부(130)의 하측에는 상부 제3 전도성 와이어(124)와 연결되는 하부 제3 전도성 와이어(미도시)가 배치되고, 상부 제4 전도성 와이어(125)와 연결되는 하부 제4 전도성 와이어(미도시)가 배치된다.
하부 제3 전도성 와이어 및 하부 제4 전도성 와이어 각각은 절연부(130)의 하부, 즉 절연부(130)의 하측에 배치되는 제2 절연성 시트(132)의 하부면을 따라 연장되는 하부 연장부와, 하부 연장부의 양단에 일체로 형성되는 매립부를 포함하고, 하부 연장부의 양측에 위치하는 각 매립부는 절연부(130)의 내부에 매립되는 부분으로 하부 연장부의 일단에서 절연부(130) 내부로 상향 연장되는 상향연장부와, 상향연장부의 상단에서 하부로 절곡되는 절곡부와, 절곡부에서 하부로 연장되는 하향연장부가 모두 일체로 형성되어 이루어진다. 그리고, 하향연장부의 하단은 절연부(130)의 하부 즉, 제2 절연성 시트(132)의 하부로 노출되어 위치한다. 하부 제3 전도성 와이어 및 하부 제4 전도성 와이어의 하부 연장부 및 매립부의 상향연장부, 절곡부, 하향연장부는 하부 제1 전도성 와이어(122)의 하부 연장부(122d), 및 매립부의 상향연장부(122c), 절곡부(122b), 하향연장부(122a)와 동일하다.
그리고, 하부 제3 전도성 와이어 및 하부 제4 전도성 와이어의 하부 연장부는 하부 제1 전도성 와이어(122)의 하부 연장부(122d)와 교차되도록 배치되고 도10에 도시된 바와 같이 유사하게 배치될 수 있다.
상부 제3 전도성 와이어(124)와 하부 제3 전도성 와이어, 상부 제4 전도성 와이어(125)와 하부 제4 전도성 와이어는 상, 하부 제1 전도성 와이어(121, 122)와 유사하게 각 절곡부에서 서로 연결되어 전기적으로 접속되고, 상, 하부 제3 전도성 와이어 및 상,하부 제4 전도성 와이어의 연결공정 또한 전술한 와이어 연결장치(200)를 이용하여 상, 하부 제1 전도성 와이어(121, 122)와 동일하게 이루어질 수 있다. 그리고, 제3 전도성 와이어(124) 및 제4 전도성 와이어(125) 또한 그 일부를 레이저로 제거하는 공정이 수행될 수 있고, 도 10에서는 도전부(120)가 가로방향으로만 배치된 예를 도시하였으나 세로방향으로도 배치되어 도시된 제3, 4 전도성 와이어(124, 125)의 상하측에 또다른 제3, 4 전도성 와이어(124, 125)가 배치될 수 있다.
제3 실시예에서는 전술한 바와 같이 상, 하부 제1 전도성 와이어(121, 122)에 각각 상, 하부 제3, 4 전도성 와이어가 교차되어 배치됨으로써 전기적 접속이 보다 안정적으로 이루어질 수 있고, 검사작업이 반복적으로 수행되더라도 정확한 검사가 이루어질 수 있다.
그 외 구성 및 효과에 대해서는 이전 실시예와 동일하여 여기서는 그 상세한 설명은 생략한다.
이상, 본 발명을 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 아니하며, 당해 기술분야의 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변형이 가능할 수 있을 것이다.
100 : 검사용 소켓 110 : 도전성 러버시트
120 : 도전부 130 : 절연부
140 : 지지프레임 150 : 피검사 디바이스
160 : 검사장치 121 : 상부 제1 전도성 와이어
122 : 하부 제1 전도성 와이어 200 : 와이어 연결장치

Claims (15)

  1. 검사장치와 피검사 디바이스의 사이에 배치되어 상기 검사장치와 상기 피검사 디바이스를 전기적으로 접속하기 위한 검사용 소켓에 있어서,
    상기 피검사 디바이스의 단자에 각각 대응되고, 상기 검사장치의 단자에 각각 대응되어 상기 검사장치의 단자와 피검사 디바이스의 단자를 전기적으로 연결하는 다수의 도전부; 및
    상기 도전부를 서로 절연시키고 지지하기 위한 절연부;를 포함하고,
    상기 도전부는
    상기 절연부의 상부에 배치되는 상부 제1 전도성 와이어; 및
    상기 상부 제1 전도성 와이어와 연결되고 상기 절연부의 하부에 배치되는 하부 제1 전도성 와이어를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 상부 제1 전도성 와이어는 상기 절연부의 상부를 따라 연장되는 상부 연장부; 및
    상기 상부 연장부의 일측에서 절곡되어 상기 절연부에 매립되는 매립부를 포함하는 검사용 소켓.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 상부 제1 전도성 와이어의 매립부는
    상기 상부 연장부의 일단에서 상기 절연부 내부로 하향 연장되는 하향연장부;
    상기 하향연장부의 하단에서 상부로 절곡되는 절곡부; 및
    상기 절곡부에서 상부로 연장되는 상향연장부를 포함하는 검사용 소켓.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 하부 제1 전도성 와이어는 상기 절연부의 하부를 따라 연장되는 하부 연장부; 및
    상기 하부 연장부의 일측에서 절곡되어 상기 절연부에 매립되는 매립부를 포함하는 검사용 소켓.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 상부 제1 전도성 와이어의 매립부는 상기 상부 연장부의 양측에 배치되고,
    상기 하부 제1 전도성 와이어의 매립부는 상기 하부 연장부의 양측에 배치되며,
    상기 상부 제1 전도성 와이어의 매립부와 상기 하부 제1 전도성 와이어의 매립부가 서로 연결되는 검사용 소켓.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 하부 제1 전도성 와이어의 매립부는
    상기 하부 연장부의 일단에서 상기 절연부 내부로 상향 연장되는 상향연장부;
    상기 상향연장부의 상단에서 하부로 절곡되는 절곡부; 및
    상기 절곡부에서 하부로 연장되는 하향연장부를 포함하는 검사용 소켓.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 상부 제1 전도성 와이어의 매립부는
    상기 상부 연장부의 일단에서 상기 절연부 내부로 하향 연장되는 하향연장부;
    상기 하향연장부의 하단에서 상부로 절곡되는 절곡부; 및
    상기 절곡부에서 상부로 연장되는 상향연장부를 포함하고,
    상기 하부 제1 전도성 와이어의 절곡부는 상기 상부 제1 전도성 와이어의 절곡부의 상측에서 서로 접촉하여 연결되는 검사용 소켓.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 절연부의 상측에 배치되는 제1 절연성 시트; 및
    상기 절연부의 하측에 배치되는 제2 절연성 시트를 더 포함하는 검사용 소켓.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 도전부는
    상기 절연부의 상부에 배치되어 상기 상부 제1 전도성 와이어와 교차되는 상부 제2 전도성 와이어; 및
    상기 절연부의 하부에 배치되어 상기 상부 제2 전도성 와이어와 연결되고 상기 하부 제1 전도성 와이어와 교차되는 하부 제2 전도성 와이어를 더 포함하는 검사용 소켓.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 상부 제2 전도성 와이어는 상기 절연부의 상부에서 상기 상부 제1 전도성 와이어와 직교하도록 배치되는 검사용 소켓.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 도전부는
    상기 절연부의 상부에 배치되어 상기 상부 제1 전도성 와이어와 교차되는 상부 제3 전도성 와이어;
    상기 절연부의 상부에 배치되어 상기 상부 제1 전도성 와이어와 교차되는 상부 제4 전도성 와이어;
    상기 절연부의 하부에 배치되어 상기 상부 제3 전도성 와이어와 연결되고 상기 하부 제1 전도성 와이어와 교차되는 하부 제3 전도성 와이어; 및
    상기 절연부의 하부에 배치되어 상기 상부 제4 전도성 와이어와 연결되고 상기 하부 제1 전도성 와이어와 교차되는 하부 제4 전도성 와이어를 더 포함하는 검사용 소켓.
  12. 검사장치와 피검사 디바이스의 사이에 배치되어 상기 검사장치와 상기 피검사 디바이스를 전기적으로 접속하기 위한 검사용 소켓의 제조방법에 있어서,
    상기 검사용 소켓은 상기 피검사 디바이스의 단자에 각각 대응되고, 상기 검사장치의 단자에 각각 대응되어 상기 검사장치의 단자와 피검사 디바이스의 단자를 전기적으로 연결하는 다수의 도전부; 및
    상기 도전부를 서로 절연시키고 지지하기 위한 절연부;를 포함하고,
    a) 상기 절연부의 상측에 배치된 상부 제1 전도성 와이어와, 상기 절연부의 하측에 배치된 하부 제1 전도성 와이어를 서로 연결하여 상기 도전부를 형성하는 단계를 포함하는 검사용 소켓의 제조방법.
  13. 제12항에 있어서,
    b) 상기 a)단계 후 상기 상부 제1 전도성 와이어 및 하부 제1 전도성 와이어의 일부를 각각 제거하는 단계를 더 포함하는 검사용 소켓의 제조방법.
  14. 제12항에 있어서,
    상기 a)단계에서는 와이어 연결장치를 이용하여 상기 상부 제1 전도성 와이어 및 하부 제1 전도성 와이어를 연결하고,
    상기 와이어 연결장치는
    상기 상부 제1 전도성 와이어가 삽입되는 삽입부재;
    상기 삽입부재에 삽입된 상부 제1 전도성 와이어를 회전시키는 회전부재; 및
    상기 하부 제1 전도성 와이어가 권취 및 권출되는 권취부재를 포함하는 검사용 소켓의 제조방법.
  15. 제12항에 있어서,
    상기 a)단계는
    a-1) 하부에 상기 상부 제1 전도성 와이어가 삽입되는 삽입공이 형성되는 삽입부재가 상기 절연부를 관통하는 단계;
    a-2) 상기 삽입공에 삽입된 상기 상부 제1 전도성 와이어의 일부가 회전부재의일단에 지지된 상태에서 상기 회전부재가 회전하는 단계; 및
    a-3) 상기 회전부재에 의해 지지된 상부 제1 전도성 와이어가 상기 하부 제1 전도성 와이어를 감는 단계;를 포함하는 검사용 소켓의 제조방법.
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